專利名稱：平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置。
背景技術(shù)：
微型機(jī)電系統(tǒng)，即MEMS (MicroElectric-MechanicalSystem)是指及微型傳感器、執(zhí)行器及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微電子機(jī)械系統(tǒng)。MEMS是在微電子學(xué)科基礎(chǔ)上發(fā)展起來，同時，它又是多學(xué)科交叉的學(xué)科。MEMS可以將所觀測對象的壓力、溫度、光強(qiáng)度等信號轉(zhuǎn)換成所需要的電信號，并通過微執(zhí)行器按照要求進(jìn)行對目標(biāo)的控制。同時，每個系統(tǒng)不是獨立的，它可以通過接口與其他 的系統(tǒng)進(jìn)行互聯(lián)。其中，微執(zhí)行器是MEMS的核心部分，它既可以為微系統(tǒng)提供動力，也可以成為微系統(tǒng)的操作和執(zhí)行單元。因此微執(zhí)行器有許多種不同的驅(qū)動方式。常見的驅(qū)動方式主要有靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、熱驅(qū)動、光驅(qū)動、形狀記憶合金(SMA)驅(qū)動和磁致伸縮驅(qū)動等形式。現(xiàn)在的平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置一般使用普通的控制器進(jìn)行控制，軟件一經(jīng)使用，無法更新，無法根據(jù)需要隨時更新，非常不利于控制。有鑒于此，特提出本實用新型。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可以根據(jù)需要隨時更新軟件進(jìn)行控制的平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用技術(shù)方案的基本構(gòu)思是—種平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，包括實時嵌入式控制器、D/A轉(zhuǎn)換模塊、放大器、微驅(qū)動器、平板式靜電微執(zhí)行器、傳感器、讀取電路，A/D轉(zhuǎn)換模塊；實時嵌入式控制器通過D/A轉(zhuǎn)換模塊與放大器的輸入端相連，放大器的輸出端連接到微驅(qū)動器的輸入端，微驅(qū)動器的輸出端連接至平板式靜電微執(zhí)行器的輸入端，平板式靜電微執(zhí)行器的輸出端連接至傳感器的輸入端，傳感器的輸出端連接至讀取電路的輸入端，讀取電路的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換模塊相連，A/D轉(zhuǎn)換模塊的輸出端連接實時嵌入式控制器的輸入端。優(yōu)選的，所述讀取電路為電容讀取電路。優(yōu)選的，所述傳感器為電容式位置傳感器。優(yōu)選的，所述D/A轉(zhuǎn)換模塊和A/D轉(zhuǎn)換模塊集成在實時嵌入式控制器。采用上述技術(shù)方案后，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下有益效果本實用新型采用實時嵌入式控制器使控制系統(tǒng)成為實時嵌入式系統(tǒng)，可以根據(jù)需要隨時對控制器的軟件更新，使整個系統(tǒng)的控制效果更佳。
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)框圖。
具體實施方式
如圖I所示，本實用新型是一種平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，包括實時嵌入式控制器I、D/A轉(zhuǎn)換模塊2、放大器3、微驅(qū)動器4、平板式靜電微執(zhí)行器5、傳感器6、讀取電路7，A/D轉(zhuǎn)換模塊8 ;實時嵌入式控制器I通過D/A轉(zhuǎn)換模塊2與放大器3的輸入端相連，放大器3的輸出端連接到微驅(qū)動器4的輸入端，微驅(qū)動器4的輸出端連接至平板式靜電微執(zhí)行器5的輸入端,平板式靜電微執(zhí)行器5的輸出端連接至傳感器6的輸入端,傳感器6的輸出端連接至讀取電路7的輸入端，讀取電路7的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換模塊8相連，A/D轉(zhuǎn)換模塊8的輸出端連接實時嵌入式控制器I的輸入端。本實用新型采用實時嵌入式控制器使控制系統(tǒng)成為實時嵌入式系統(tǒng)，可以根據(jù)需
要隨時對控制器的軟件更新，使整個系統(tǒng)的控制效果更佳。優(yōu)選的，所述傳感器6為電容式位置傳感器，電容式位置傳感器具有體積小，精度高，響應(yīng)迅速，不用與被測量物接觸等特點，適合于靜電式微執(zhí)行器的位置測量。優(yōu)選的，所述讀取電路7為電容讀取電路，信號傳輸更穩(wěn)定，讀取更準(zhǔn)確。優(yōu)選的，所述D/A轉(zhuǎn)換模塊2和A/D轉(zhuǎn)換模塊8集成在實時嵌入式控制器I內(nèi)。省去了外部接線，簡化了電路。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，其特征在于包括實時嵌入式控制器、D/A轉(zhuǎn)換模塊、放大器、微驅(qū)動器、平板式靜電微執(zhí)行器、傳感器、讀取電路，A/D轉(zhuǎn)換模塊；實時嵌入式控制器通過D/A轉(zhuǎn)換模塊與放大器的輸入端相連，放大器的輸出端連接到微驅(qū)動器的輸入端，微驅(qū)動器的輸出端連接至平板式靜電微執(zhí)行器的輸入端，平板式靜電微執(zhí)行器的輸出端連接至傳感器的輸入端，傳感器的輸出端連接至讀取電路的輸入端，讀取電路的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換模塊相連,A/D轉(zhuǎn)換模塊的輸出端連接實時嵌入式控制器的輸入端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，其特征在于所述傳感器為電容式位置傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，其特征在于所述讀取電路為電容讀取電路。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，其特征在于所述D/A轉(zhuǎn)換模塊和A/D轉(zhuǎn)換模塊集成在實時嵌入式控制器。
專利摘要一種平板式靜電微執(zhí)行器控制裝置，包括實時嵌入式控制器、D/A轉(zhuǎn)換模塊、放大器、微驅(qū)動器、平板式靜電微執(zhí)行器、傳感器、讀取電路，A/D轉(zhuǎn)換模塊；實時嵌入式控制器通過D/A轉(zhuǎn)換模塊與放大器的輸入端相連，放大器的輸出端連接到微驅(qū)動器的輸入端，微驅(qū)動器的輸出端連接至平板式靜電微執(zhí)行器的輸入端，平板式靜電微執(zhí)行器的輸出端連接至傳感器的輸入端，傳感器的輸出端連接至讀取電路的輸入端，讀取電路的輸出端與A/D轉(zhuǎn)換模塊相連，A/D轉(zhuǎn)換模塊的輸出端連接實時嵌入式控制器的輸入端。本實用新型采用實時嵌入式控制器使控制系統(tǒng)成為實時嵌入式系統(tǒng)，可以根據(jù)需要隨時對控制器的軟件更新，使整個系統(tǒng)的控制效果更佳。
文檔編號G05B19/04GK202583751SQ20122024472
公開日2012年12月5日 申請日期2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月29日
發(fā)明者郭濤, 王愛民, 熊晶, 栗青生, 李娜 申請人:郭濤, 王愛民, 熊晶