專利名稱：系統(tǒng)監(jiān)視裝置及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及系統(tǒng)監(jiān)視裝置及其控制方法，特別地在用于生產(chǎn)產(chǎn)品等的系統(tǒng)用于削減耗能的系統(tǒng)監(jiān)視裝置及其控制方法。
背景技術(shù)：
以往，關(guān)于生產(chǎn)產(chǎn)品等的系統(tǒng)中的耗能的削減，進(jìn)行了各種研究。例如，對現(xiàn)狀下的能量的消耗量進(jìn)行提示，通過這樣提示消耗量，來實(shí)現(xiàn)其削減意識(shí)的提聞。另外，在專利文獻(xiàn)I (日本特開2008 — 102708號(hào)公報(bào))中公開了如下技術(shù)，S卩，基于一個(gè)月等的長期間內(nèi)的節(jié)能目標(biāo)值及過去的能量實(shí)績值，來對一天等的短周期的耗能量設(shè)定基線(base line),并基于該基線來計(jì)算各短周期的能量削減的實(shí)績值，并進(jìn)行顯示。另外，在專利文獻(xiàn)2 (日本特開2010 - 250381號(hào)公報(bào))中公開了計(jì)算在加工設(shè)備所消耗的消耗功率中的改善余地量的能量監(jiān)視裝置。在該能量監(jiān)視裝置中，實(shí)時(shí)計(jì)測由加工設(shè)備消耗的耗電量，并將該耗電量分為基于加工的附加價(jià)值創(chuàng)出部分和無附加價(jià)值部分，并計(jì)算出無附加價(jià)值部分的電力累積值來作為改善余地量?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2008 - 102708號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開2010 - 250381號(hào)公報(bào)在僅基于現(xiàn)狀的耗能量來研究其消耗量削減的對策的情況下，通常先從系統(tǒng)中的消耗量的總量多的部分開始研究削減。然而，耗能量的多的部分并非一定是應(yīng)該削減的部分。另外，在專利文獻(xiàn)I所述的技術(shù)中，僅表示削減目標(biāo)和實(shí)測值，而針對能量削減，并未記載其方針事項(xiàng)。另外，在專利文獻(xiàn)2所述的技術(shù)中，在能量削減中能夠?qū)⒂懈纳朴嗟氐牧孔鳛樵u(píng)價(jià)對象，但在這里也并未記載對能量削減的方針事項(xiàng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于該實(shí)際情況而做出的，其目的在于，提供一種能夠提供與系統(tǒng)中的耗能的削減相關(guān)的方針的系統(tǒng)監(jiān)視裝置及其控制方法。本發(fā)明的一個(gè)技術(shù)方案的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于用于表示影響由制造系統(tǒng)制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而耗能的設(shè)備的動(dòng)作。該系統(tǒng)監(jiān)視裝置具有:獲取單元，其連續(xù)獲取所述狀態(tài)數(shù)據(jù)；裕度計(jì)算單元，其基于所獲取的連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均值和針對所述狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基 準(zhǔn)值的裕度；能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述設(shè)備的能量削減余地；顯示單元，其顯示所述能量削減余地。
優(yōu)選地，裕度計(jì)算單元提取根據(jù)所述移動(dòng)平均及連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)偏差來計(jì)算出的值與基準(zhǔn)值之差，來作為所述裕度。優(yōu)選地，所述能量削減余地提取單元每隔規(guī)定時(shí)間計(jì)算能量削減余地，所述顯示單元將該能量削減余地顯示為曲線圖或表格。優(yōu)選地，所述獲取單元分別按照各區(qū)域或者各工序而被設(shè)置，所述系統(tǒng)監(jiān)視裝置通過各所述獲取單元獲取每個(gè)所述區(qū)域或者每個(gè)所述工序的狀態(tài)數(shù)據(jù)；所述能量削減余地提取單元根據(jù)每個(gè)區(qū)域或者每個(gè)工序的該狀態(tài)數(shù)據(jù)提取能量削減余地；所述顯示單元將該能量削減余地與區(qū)域或工序的圖一并進(jìn)行顯示。優(yōu)選地，所述能量削減余地提取單元通過對作為所述狀態(tài)數(shù)據(jù)和所述基準(zhǔn)值之差的裕度進(jìn)行隨時(shí)間累計(jì)，來提取能量削減余地。優(yōu)選地，還具有控制單元，該控制單元控制所述設(shè)備的動(dòng)作，以使所述狀態(tài)數(shù)據(jù)屬于所述基準(zhǔn)值的范圍內(nèi)。本發(fā)明的另一技術(shù)方案的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于從對影響制造系統(tǒng)的制造品質(zhì)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)測的傳感器輸出的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而耗能的設(shè)備的動(dòng)作。該系統(tǒng)監(jiān)視裝置具有:接收單元，其連續(xù)地接收所述狀態(tài)數(shù)據(jù)；裕度計(jì)算單元，其基于由所述接收單元獲取的連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均值和針對所述狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度；能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述設(shè)備的能量削減余地；顯示單元，其顯示所述能量削減余地。本發(fā)明的又一技術(shù)方案的系統(tǒng)監(jiān)視裝置的控制方法，用于控制系統(tǒng)監(jiān)視裝置的動(dòng)作，其中，基于從對影響制造系統(tǒng)的制造品質(zhì)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)測的傳感器輸出的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來將上述系統(tǒng)監(jiān)視裝置利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而耗能的設(shè)備的動(dòng)作。在該方法中，所述系統(tǒng)監(jiān)視裝置，連續(xù)地接收所述狀態(tài)數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)至存儲(chǔ)器；根據(jù)存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中的連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)來 計(jì)算移動(dòng)平均值；基于所述移動(dòng)平均值和針對所述狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度；根據(jù)所述裕度提取所述設(shè)備的能量削減余地；將所述能量削減余地顯示在顯示部上。本發(fā)明的其他技術(shù)方案的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于用于表示影響在無塵室內(nèi)制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的清潔度，來利用于為了調(diào)整該無塵室的清潔度而耗能的過濾器風(fēng)機(jī)的動(dòng)作。該系統(tǒng)監(jiān)視裝置具有:微粒傳感器，其連續(xù)獲取所述清潔度；裕度計(jì)算單元，其基于所獲取的連續(xù)的所述清潔度的移動(dòng)平均值和針對所述清潔度能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度；能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述過濾器風(fēng)機(jī)的能量削減余地；顯示單元，其顯示所述能量削減余地。本發(fā)明的另一其他技術(shù)方案的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于用于表示影響在爐內(nèi)制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的溫度，來利用于為了調(diào)整該爐內(nèi)的溫度而耗能的加熱器的動(dòng)作。該系統(tǒng)監(jiān)視裝置具有:溫度傳感器，其連續(xù)獲取所述溫度；裕度計(jì)算單元，其基于所獲取的連續(xù)的所述溫度的移動(dòng)平均值和針對所述溫度能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度；能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述加熱器的能量削減余地；顯示單元，其顯示所述能量削減余地。根據(jù)本發(fā)明，在基于表示影響在制造系統(tǒng)中制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的狀態(tài)數(shù)據(jù)來利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而消能的設(shè)備的動(dòng)作的系統(tǒng)監(jiān)視裝置中，連續(xù)獲取狀態(tài)數(shù)據(jù)，并計(jì)算出所獲取的連續(xù)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均值。然后，計(jì)算出所計(jì)算出的移動(dòng)平均值相對于對該狀態(tài)數(shù)據(jù)保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值的裕度。然后，根據(jù)該裕度提取上述的設(shè)備的能量削減余地并進(jìn)行顯示。由此，能夠提供基于制造系統(tǒng)的狀態(tài)的與耗能的削減相關(guān)的方針。


圖1是概略地示出了制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。圖2是用于說明對圖1的制造系統(tǒng)提示的信息內(nèi)容的圖。圖3是示出了圖2的內(nèi)容的變形例的圖。

圖4是概略地示出了制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。圖5是用于說明對圖4的制造系統(tǒng)提示的信息內(nèi)容的圖。圖6是示意性示出了控制器的硬件結(jié)構(gòu)的圖。圖7是示意性示出了控制器的功能結(jié)構(gòu)的圖。圖8是在控制器中執(zhí)行的處理的流程圖。圖9是示出了基于控制器的顯示的一個(gè)例子的圖。圖10是示出了與室內(nèi)的裝置的布局一起顯示對該室內(nèi)的各裝置的能量削減余地的一個(gè)顯示例子的圖。圖11是示出了就微粒傳感器的檢測輸出以不同的兩個(gè)以上的方式顯示的一個(gè)例子的圖。圖12是用于說明就微粒傳感器的檢測輸出顯示多天的檢測結(jié)果的一個(gè)例子的圖。圖13是用于說明就微粒傳感器的檢測輸出顯示多天的檢測結(jié)果的一個(gè)例子的圖。圖14是用于說明就微粒傳感器的檢測輸出顯示多天的檢測結(jié)果的一個(gè)例子的圖。圖15是用于說明就微粒傳感器的檢測輸出顯示多天的檢測結(jié)果的一個(gè)例子的圖。圖16是示意性示出了控制器的功能結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。圖17是示意性示出了制造系統(tǒng)中的狀態(tài)數(shù)據(jù)和預(yù)測范圍的一個(gè)例子的圖。圖18是分別示意性示出了在圖17的時(shí)刻T1、T2、T3的移動(dòng)平均、上限預(yù)測值及下限預(yù)測值的圖。圖19是用于說明圖17的預(yù)測范圍的變更的圖。圖20是示出了能量削減余地等的計(jì)算結(jié)果的一個(gè)例子的圖。圖21是示出了能量削減余地等的計(jì)算結(jié)果的其他例子的圖。圖22是示出了多個(gè)系統(tǒng)的能量削減余地的計(jì)算結(jié)果的顯示例的圖。圖23是示出了改善后的各系統(tǒng)中的信息的一個(gè)例子的圖。圖24是示出了改善后的各系統(tǒng)中的信息的其他例子的圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖，說明本發(fā)明的加熱爐的實(shí)施方式。此外，對相同的結(jié)構(gòu)要素，在各圖中標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，不重復(fù)詳細(xì)說明。[第一實(shí)施方式]<系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)(I) >圖1是概略地示出了本實(shí)施方式的制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的圖。參照圖1，制造系統(tǒng)包括回流爐700，而且，用加熱器702對該回流爐700內(nèi)的空氣進(jìn)行加熱。控制器100基于用于檢測回流爐700內(nèi)的溫度的溫度傳感器701的檢測輸出，來決定加熱器702的控制內(nèi)容。而且，控制器100經(jīng)由操作器750控制加熱器702的輸出。此外，在本實(shí)施方式中，控制器100與監(jiān)視器111相連接，將從溫度傳感器701輸入(接收)到的檢測溫度等顯示在監(jiān)視器111上。圖2是用于說明對圖1的制造系統(tǒng)提示的信息內(nèi)容的圖。本實(shí)施方式的控制器100提供用于削減(下面，稱為“節(jié)能”)制造系統(tǒng)中的耗能量的浪費(fèi)的信息。圖2示出了畫面801和畫面802。畫面801示出了與節(jié)能對策前的制造系統(tǒng)中的耗能相關(guān)的信息。具體而言，在畫面801示出兩個(gè)曲線圖。上方的曲線圖示出了加熱器702的電力使用量的隨時(shí)間的變化。下方的曲線圖示出了與加熱器702相關(guān)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的隨時(shí)間的變化?！盃顟B(tài)數(shù)據(jù)”是表示在用于生產(chǎn)產(chǎn)品等的系統(tǒng)中對該系統(tǒng)所制造出的產(chǎn)品品質(zhì)帶來影響的狀態(tài)的數(shù)據(jù)。在圖1所示的制造系統(tǒng)中，在對作為制造基板的一個(gè)工序的回流工序的控制中，采用回流爐700內(nèi)的溫度來作為狀態(tài)數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。回流爐700內(nèi)的溫度是對作為產(chǎn)品的一個(gè)例子的基板上的焊接的品質(zhì)帶來影響的參數(shù)。在圖1的制造系統(tǒng)中，對該溫度設(shè)定上限值及下限值，并以使該溫度保持在其范圍內(nèi)的方式控制加熱器702的動(dòng)作。而且，在圖2的畫面801示出的例子中，如在其上段示出那樣適宜地對加熱器702供電，由此如其下段所示地使回流爐700內(nèi)的溫度在其上限值和下限值之間的范圍(基準(zhǔn)范圍)內(nèi)變化。此外，在畫面801的下段，將實(shí)測值和下限值之差的積分值(區(qū)域)作為多余能量，用陰影線表示。下面，說明多余能量。在圖1的系統(tǒng)中，基準(zhǔn)范圍是比常溫高很多的溫度范圍。由此，在圖1的系統(tǒng)中，為了將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持在基準(zhǔn)范圍內(nèi)，需要利用加熱器702來提升回流爐700內(nèi)的溫度。在此，為了將供給至加熱器702的電量抑制在最低限來使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)位于基準(zhǔn)范圍內(nèi)，只要以將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持為與下限值一致的狀態(tài)的方式對加熱器702供電即可。S卩，在狀態(tài)數(shù)據(jù)具有比下限值高的值的情況下，能夠認(rèn)為狀態(tài)數(shù)據(jù)與下限值之差是因?qū)訜崞?02多余地供電而引起的溫度的上 升。從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，在畫面801的下段，顯示狀態(tài)數(shù)據(jù)與下限值之差的積分值來作為因多余能量引起的溫度的上升。將因這樣的多余能量引起的溫度的上升量，在本說明書中有時(shí)稱為“裕度”。如畫面801所示，本實(shí)施方式的系統(tǒng)監(jiān)視裝置將狀態(tài)數(shù)據(jù)(回流爐700的溫度)與為了調(diào)整該狀態(tài)數(shù)據(jù)的值而使用的設(shè)備(加熱器702)的耗能一起進(jìn)行顯示，并且，顯示狀態(tài)數(shù)據(jù)相對于基準(zhǔn)范圍的裕度。由此，系統(tǒng)的管理人員能夠視覺辨認(rèn)該系統(tǒng)的現(xiàn)狀的控制方式相對于將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持為最低限基準(zhǔn)范圍內(nèi)的狀態(tài)而存在何種程度的余地。由此，系統(tǒng)的管理人員以能夠在將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持在基準(zhǔn)范圍內(nèi)的狀態(tài)下削減對上述設(shè)備供給的能量的方式變更設(shè)備的控制方式。在圖2的畫面802示出了變更了設(shè)備的控制方式的情況下的與圖1的系統(tǒng)相關(guān)的信息。在畫面802上，在其上段示出了耗電量的隨時(shí)間的變化，在其下段示出了狀態(tài)數(shù)據(jù)的隨時(shí)間的變化。此外，在畫面802的上段，用虛線示出了在畫面801示出的耗電量的變化。畫面802的畫面特別地示出了以對在畫面801上耗電量特別多的時(shí)刻Tl為止的耗電量進(jìn)行抑制的方式變更了設(shè)備的控制方式后的結(jié)果。在畫面802的下段，也用與在畫面801的下段畫出的方法相同的方法，將與多余能量相對應(yīng)的部分畫陰影線來表示。通過如上述那樣的耗電的削減，在畫面802的下段，到時(shí)刻T2為止的溫度與畫面801的下段的相對應(yīng)的時(shí)間段的結(jié)果相比變得更低。該情況也能夠根據(jù)作為到時(shí)刻T2為止的多余能量而畫了陰影線的部分的面積減少的情況來視覺辨認(rèn)。其中，在畫面802上的到時(shí)刻T2為止的溫度變化也位于基準(zhǔn)范圍內(nèi)。因此，在畫面802示出的信息意味著:通過抑制到時(shí)刻Tl為止的耗電量來將回流爐700內(nèi)的溫度保持在基準(zhǔn)范圍內(nèi)的同時(shí)節(jié)能成功。此外，在畫面802的上段，在時(shí)刻Tl以后也與畫面801的上段的耗電相比耗電量有所下降，相對于此，在畫面802的下段示出的回流爐700內(nèi)的溫度比在畫面801的下段示出的相對應(yīng)的時(shí)間段的溫度有所上升。這可認(rèn)為是因投入到回流爐700內(nèi)的基板的個(gè)數(shù)的減少、因?yàn)殛P(guān)閉了拍熱管的閘板、對用于排熱的風(fēng)扇的控制等、對系統(tǒng)的干擾等的影響而引起的。換句話來講，在制造系統(tǒng)中，將有可能對狀態(tài)數(shù)據(jù)帶來影響的事項(xiàng)的產(chǎn)生時(shí)刻登錄在控制器100上，并將該事項(xiàng)與消電量及/或狀態(tài)數(shù)據(jù)相結(jié)合地顯示在畫面801上，由此系統(tǒng)的管理人員能夠基于 提示的信息，來更加可靠地研究用于降低系統(tǒng)中的耗能量的對策。此外，在畫面801及畫面802的下段，示出狀態(tài)數(shù)據(jù)與下限值之差的積分值來作為多余能量。這是因?yàn)樵诔蔀閷ο蟮南到y(tǒng)中為了使回流爐700內(nèi)的溫度向上升的方向變化而對設(shè)備(加熱器702)供給能量。另一方面，例如，在為了對系統(tǒng)內(nèi)的空間進(jìn)行冷卻來使該空間的溫度下降而對設(shè)備(例如，冷卻風(fēng)扇)供給能量的情況下，多余能量如圖3的畫面803所示。在圖3的畫面803的上段和下段，與圖2的畫面801同樣地，示出了設(shè)備的耗能量和狀態(tài)數(shù)據(jù)的隨時(shí)間的變化。此外，在畫面803的下段，示出了上限值與狀態(tài)數(shù)據(jù)之差的積分值作為多余能量。在圖3的例子中，為了將設(shè)備的消電抑制在最低限的同時(shí)使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)位于最低限基準(zhǔn)范圍內(nèi)，只要將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持為上限值即可。因此，從使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)位于最低限基準(zhǔn)范圍內(nèi)這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，可以說為了使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)的值下降至比該上限值更低而對設(shè)備供給的能量是多余的。由此，在圖3的例子中，示出上限值與狀態(tài)數(shù)據(jù)之差的積分值作為多余能量。基于圖3的畫面803，系統(tǒng)管理人員能夠認(rèn)識(shí)到應(yīng)該在哪個(gè)期間、以何種程度降低對設(shè)備供給的電量。由此，該管理人員能夠以降低過剩的耗能的同時(shí)使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)位于基準(zhǔn)范圍內(nèi)的方式?jīng)Q定設(shè)備的控制方式。
<系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)(2) >圖4是概略地示出了本實(shí)施方式的制造系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的其他例子的圖。參照圖4，制造系統(tǒng)包括作為用于制造產(chǎn)品的空間的清潔室500。在清潔室500內(nèi)，設(shè)置有用于檢測該清潔室500內(nèi)的清潔度的微粒傳感器200。雖然在圖4中省略了圖示，但在清潔室500內(nèi)設(shè)置有用于制造產(chǎn)品的生產(chǎn)線，并安排有用于管理該生產(chǎn)線等的工作人員。在清潔室500的頂棚部分形成有框體501，在各框體501內(nèi)設(shè)置有包含用于將清潔室500內(nèi)的灰塵排出到該清潔室500外的風(fēng)機(jī)的過濾器風(fēng)機(jī)單元(FFU) 300。在圖4中，虛線箭頭表示空氣的流動(dòng)。在清潔室500內(nèi)，通過使過濾器風(fēng)機(jī)單元300的風(fēng)機(jī)(下面，有時(shí)記述為“過濾器風(fēng)機(jī)單元300”來表示包含在過濾器風(fēng)機(jī)單元300內(nèi)的“風(fēng)機(jī)”)運(yùn)轉(zhuǎn)，來將空氣導(dǎo)入到清潔室500內(nèi)，由此，清潔室500內(nèi)的空氣經(jīng)由設(shè)置在清潔室500的底面的通氣孔排出到清潔室500外。圖4的制造系統(tǒng)包括基于微粒傳感器200的檢測輸出來控制過濾器風(fēng)機(jī)單元300的動(dòng)作的控制器100?？刂破?00與監(jiān)視器111相連接。監(jiān)視器111由液晶顯示裝置等通用的顯示裝置來實(shí)現(xiàn)。在圖4的例子中，由微粒傳感器200檢測出的清潔室500內(nèi)的清潔度，是表示對在制造系統(tǒng)中制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)帶來影響的狀態(tài)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。另外，過濾器風(fēng)機(jī)單元300是為了調(diào)整該系統(tǒng)的狀態(tài)而運(yùn)轉(zhuǎn)并由此耗能的設(shè)備的一個(gè)例子。而且，控制器100是基于上述狀態(tài)數(shù)據(jù)來控制上述設(shè)備的動(dòng)作的系統(tǒng)監(jiān)視裝置的一個(gè)例子。圖5是用于說明對圖4的制造系統(tǒng)提示的信息內(nèi)容的圖。圖5示出了畫面804 和畫面805。在畫面804示出了與節(jié)能對策前的制造系統(tǒng)的耗能相關(guān)的信息。具體而言，在畫面804示出了兩個(gè)曲線圖。上方的曲線圖表示過濾器風(fēng)機(jī)單元300的電使用量的隨時(shí)間的變化。下方的曲線圖示出了狀態(tài)數(shù)據(jù)的隨時(shí)間的變化。在圖4的系統(tǒng)中，“狀態(tài)數(shù)據(jù)”是由微粒傳感器200計(jì)測出的清潔室500內(nèi)的清潔度。在圖4的制造系統(tǒng)中，設(shè)定對該清潔度(在每單位體積內(nèi)含有的粉塵的個(gè)數(shù))的上限值，而且，以使該清潔度保持在該上限值以下的方式控制過濾器風(fēng)機(jī)單元300的動(dòng)作。而且，在圖5的畫面804示出的例中，如在其上段示出那樣對過濾器風(fēng)機(jī)單元300適宜地供電，由此如其下段所示，清潔室500內(nèi)的清潔度在其上限值以下發(fā)生變化。另外，在控制器100中登錄有在制造系統(tǒng)中有可能對清潔室500的清潔度帶來影響的事件(event)(將產(chǎn)品搬入清潔室500內(nèi))的時(shí)刻。在畫面804的下段,將該事件以能夠識(shí)別其發(fā)生時(shí)刻的方式與狀態(tài)數(shù)據(jù)一起表示。在畫面804的下段，將實(shí)測值與上限值之差的積分值(區(qū)域)作為多余能量，畫陰影線來表示。下面，說明這里的多余能量。在圖4的系統(tǒng)中，過濾器風(fēng)機(jī)單元300為了將清潔室500內(nèi)的灰塵排出到該清潔室500外而接受供電。即，過濾器風(fēng)機(jī)單元300為了降低在清潔室500中作為清潔度而檢測出的值，接受能量的供給。為了將供給至過濾器風(fēng)機(jī)單元300的電量抑制為最低限來將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持在基準(zhǔn)值以下，只要以使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)保持為上限值的方式對過濾器風(fēng)機(jī)單元300供電即可。S卩，在狀態(tài)數(shù)據(jù)具有比上限值低的值的情況下，能夠認(rèn)為上限值與狀態(tài)數(shù)據(jù)之差是因?qū)^濾器風(fēng)機(jī)單元300多余地供電而引起的檢測值的下降。從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，在畫面804的下段，示出上限值與狀態(tài)數(shù)據(jù)之差的積分值來作為因多余能量而引起的檢測值的下降。將因這樣的多余能量引起的檢測值的下降，在本說明書中有時(shí)稱為“裕度”。如畫面804所示，本實(shí)施方式的系統(tǒng)監(jiān)視裝置將狀態(tài)數(shù)據(jù)(由微粒傳感器200檢測的值)與為了調(diào)整該狀態(tài)數(shù)據(jù)的值而使用的設(shè)備(過濾器風(fēng)機(jī)單元300)的耗能一起進(jìn)行顯示，并且，顯示狀態(tài)數(shù)據(jù)相對于基準(zhǔn)范圍(在圖4的系統(tǒng)中，是上限值)的裕度。由此，系統(tǒng)的管理人員能夠視覺辨認(rèn)該系統(tǒng)的現(xiàn)狀的控制方式相對于能夠?qū)顟B(tài)數(shù)據(jù)保持為最低限基準(zhǔn)范圍內(nèi)的狀態(tài)相比存在何種程度的余地。由此，系統(tǒng)的管理人員以能夠在將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持在基準(zhǔn)范圍內(nèi)的狀態(tài)下削減對上述設(shè)備供給的能量的方式變更設(shè)備的控制方式。 在圖5的畫面805示出了變更了設(shè)備的控制方式的情況下的與圖4的系統(tǒng)相關(guān)的信息，在其上段示出了耗電量的隨時(shí)間的變化，在其下段示出了狀態(tài)數(shù)據(jù)的隨時(shí)間的變化。在畫面805，為了特別地抑制向清潔室500搬入產(chǎn)品之前的耗電量而變更設(shè)備的控制方式的情況。在畫面805的上段，與畫面804的上段相比，到時(shí)刻T3為止的耗電被削減。通過這樣的耗電的削減，如畫面805的下段所示，到時(shí)刻T4為止的微粒傳感器200的檢測值與畫面804的下段的相對應(yīng)的時(shí)間段的結(jié)果相比有所上升。然而，畫面805的下段的檢測值，在到時(shí)刻T4之前的期間內(nèi)也位于基準(zhǔn)范圍內(nèi)(上限值以下)。由此，在畫面805示出的信息意味著:通過抑制到時(shí)刻T3為止的耗電量來將清潔室500內(nèi)的清潔度保持在基準(zhǔn)范圍內(nèi)的同時(shí)節(jié)能成功。<硬件結(jié)構(gòu)>下面，對作為“系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)(2)”參照圖4等說明的對清潔室500內(nèi)的灰塵的數(shù)量進(jìn)行控制的系統(tǒng)，進(jìn)行說明。`圖6是示意性示出了控制器100的硬件結(jié)構(gòu)的圖。參照圖6,控制器100包括:CPU (Central Processing Unit:中央處理單兀)10,其是用于對控制器100整體進(jìn)行控制的運(yùn)算裝置；ROM (Read Only Memory:只讀存儲(chǔ)器)11，其用于存儲(chǔ)由CPUlO執(zhí)行的程序等；RAM(Random Access Memory:隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)12，其發(fā)揮CPU10執(zhí)行程序時(shí)的工作區(qū)域的功能；通信裝置18，其由調(diào)制解調(diào)器等來實(shí)現(xiàn)，該調(diào)制解調(diào)器進(jìn)行用于接收來自微粒傳感器200的檢測輸出并發(fā)送對過濾器風(fēng)機(jī)單元300的控制數(shù)據(jù)等的通信；顯示用接口 14，其是向監(jiān)視器111發(fā)送圖像數(shù)據(jù)時(shí)的接口 ；操作部15，其用于接受對控制器100的操作輸入；存儲(chǔ)裝置16，其用于保存由CPU10執(zhí)行的程序等；介質(zhì)控制器17，其通過訪問能夠?qū)刂破?00裝拆的存儲(chǔ)介質(zhì)900，來從該存儲(chǔ)介質(zhì)900讀取文件或者將文件寫入該存儲(chǔ)介質(zhì)900。顯示用接口 14可由監(jiān)視器111的驅(qū)動(dòng)用基板來以硬件方式實(shí)現(xiàn)，也可以由驅(qū)動(dòng)用軟件來以軟件方式實(shí)現(xiàn)。操作部15例如由鍵盤、鼠標(biāo)等輸入裝置來實(shí)現(xiàn)。此外，在本實(shí)施方式中，操作部15由觸摸傳感器來實(shí)現(xiàn)，與監(jiān)視器111 一體地由觸摸面板來實(shí)現(xiàn)。在本實(shí)施方式中，例如通過使CPU10執(zhí)行適當(dāng)?shù)某绦騺韺?shí)現(xiàn)本說明書所記載的控制器100的功能的至少一部分。由CPU10執(zhí)行的程序的至少一部分也可以存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)介質(zhì)900中。作為存儲(chǔ)介質(zhì) 900,可例舉 CD — ROM (Compact Disc-Read Only Memory:只讀光盤)、DVD 一ROM (Digital Versatile Disk-Read Only Memory:數(shù)字多功能光盤-只讀存儲(chǔ)器)、USB(Universal Serial Bus:通用串行總線)存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)卡、FD(Flexible Disk:軟盤)、硬盤、磁帶、盒式記錄帶、MO (Magnetic Optical Disc:磁光盤)、MD (Mini Disc:迷你光盤)、IC(Integrated Circuit:集成電路)卡(除了存儲(chǔ)卡之外)、光卡、掩模型(mask) ROM、EPROM、EEPROM(ElectronicalIy Erasable Programmable Read-Only Memory:電可擦可編程只讀存儲(chǔ)器)等非易失性地保存程序的介質(zhì)。另外，還有通過網(wǎng)絡(luò)下載CPUlO所執(zhí)行的程序來安裝到存儲(chǔ)裝置16上的情況。<功能結(jié)構(gòu)>圖7是示意性示出了控制器100的功能結(jié)構(gòu)的圖。參照圖7，控制器100包括數(shù)據(jù)儲(chǔ)存部101、品質(zhì)裕度計(jì)算部102、能量削減余地計(jì)算部103及顯示控制部104。數(shù)據(jù)儲(chǔ)存部101例如由RAM12及/或存儲(chǔ)裝置16來實(shí)現(xiàn)。品質(zhì)裕度計(jì)算部102、能量削減余地計(jì)算部103及顯示控制部104例如通過使CPU10執(zhí)行適當(dāng)?shù)某绦騺韺?shí)現(xiàn)。數(shù)據(jù)儲(chǔ)存部101接收并儲(chǔ)存來自微粒傳感器200的連續(xù)的檢測輸出(狀態(tài)數(shù)據(jù))。品質(zhì)裕度計(jì)算部102基于儲(chǔ)存在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存部101中的狀態(tài)數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)值(對狀態(tài)數(shù)據(jù)的上限值或下限值)，來計(jì)算上述的“裕度”。能量削減余地計(jì)算部103計(jì)算由品質(zhì)裕度計(jì)算部102計(jì)算出的裕度的累計(jì)值。顯示控制部104將由能量削減余地計(jì)算部103計(jì)算出的裕度的累計(jì)值如圖2的畫面801及圖5的畫面804那樣顯示在監(jiān)視器111上。此外，還向數(shù)據(jù)儲(chǔ)存部101導(dǎo)入過濾器風(fēng)機(jī)單元300的消電量。顯示控制部104能夠?qū)⑦^濾器風(fēng)機(jī)單元300的耗電量與上述的裕度的累計(jì)值一起顯示在監(jiān)視器111上。<控制流程>圖8是在控制器100中用于顯示如圖5的畫面804那樣的畫面的處理的流程圖。該處理可以利用實(shí)時(shí)取得的微粒傳感器200的檢測結(jié)果及過濾器風(fēng)機(jī)單元300的耗電量來執(zhí)行，也可以利用預(yù)先保存在存儲(chǔ)裝置16中的檢測結(jié)果及耗電量來執(zhí)行。參照圖8，在步驟SlO中，CPU10設(shè)定對狀態(tài)數(shù)據(jù)的管理基準(zhǔn)，并進(jìn)入步驟S20的處理。管理基準(zhǔn)是對狀態(tài)數(shù)據(jù)的上限值、下限值、基準(zhǔn)范圍。即，管理基準(zhǔn)的設(shè)定是指，用于管理狀態(tài)數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)值的設(shè)定。CPUlO基于通過對操作部15的操作來輸入的信息以及預(yù)先登錄在存儲(chǔ)裝置16及/或存儲(chǔ)介質(zhì)900中的信息等，來設(shè)定基準(zhǔn)值。在步驟S20中，CPU10以預(yù)先設(shè)定的時(shí)間間隔(采樣時(shí)間)獲取狀態(tài)數(shù)據(jù)，然后，基于所獲取的狀態(tài)數(shù)據(jù)來計(jì)算上述的裕度，并進(jìn)入步驟S30的處理。在步驟S30中，CPU10判斷在步驟S20中計(jì)算出的裕度是否超過O。此外，就裕度而言，如果狀態(tài)數(shù)據(jù)在基準(zhǔn)范圍內(nèi)，則超過0，但如果狀態(tài)數(shù)據(jù)在基準(zhǔn)范圍外，則小于O。具體而言，例如，在圖4所示的制造系統(tǒng)中，計(jì)算從上限值減去狀態(tài)數(shù)據(jù)來得到的值來作為裕度。在微粒傳感器200的檢測值小于上限值時(shí)，裕度為正(+)值。另一方面，在微粒傳感器200的檢測值超過上限值時(shí)，裕度是負(fù)(一)值。在后者的情況下，認(rèn)為裕度不超過0，并進(jìn)入步驟S40的處理。

在步驟S40中，CPU10將在步驟S20中計(jì)算出的裕度的值修正為“O”，并進(jìn)入步驟S50的處理。在步驟S50中，CPUlO設(shè)定計(jì)算能量削減余地的單位期間，并進(jìn)入步驟S60的處理。CPUlO基于例如通過操作部15輸入的信息，來進(jìn)行該設(shè)定。在步驟S60中，CPUlO計(jì)算在步驟S50中設(shè)定的每個(gè)單位期間內(nèi)的能量削減余地，并進(jìn)入步驟S70的處理。此外，將單位期間設(shè)定為如一個(gè)小時(shí)、兩個(gè)小時(shí)等比一天的期間短的期間。在步驟S70中，CPUlO計(jì)算一天的能量削減余地,并進(jìn)入步驟S80的處理。在步驟S80中，CPUlO生成包含在步驟S60及步驟S70中計(jì)算出的能量削減余地的曲線圖、表格的圖像數(shù)據(jù)，并進(jìn)入步驟S90的處理。在步驟S90中，CPUlO將包含在步驟S80中生成的圖像數(shù)據(jù)的如圖5的畫面804那樣的表示能量削減余地的畫面顯示在監(jiān)視器111上，并結(jié)束處理。< 顯示例(1)>圖9是示出了顯示某一天的清潔室500中的微粒傳感器200的檢測輸出的結(jié)果的一個(gè)例子的圖。CPUlO從微粒傳感器200接收連續(xù)的檢測輸出，并利用預(yù)先設(shè)定的上限值，將如圖9示出那樣的畫面顯 示在監(jiān)視器111等上。在圖9中示出了曲線圖811和表格812。在曲線圖811中，橫軸表示時(shí)刻，縱軸表示由微粒傳感器200檢測出的微粒數(shù)。在圖9示出了檢測結(jié)果的制造系統(tǒng)中，針對成為微粒傳感器200的檢測對象的清潔室500，設(shè)定每單位體積內(nèi)的微粒數(shù)“10000”(p/cf)來作為管理基準(zhǔn)(上限值)。而且，在曲線圖811中，對微粒傳感器200的檢測輸出和微粒數(shù)“10000”之間的差的部分畫上陰影線來表示“削減余地”。該部分相當(dāng)于在圖2的畫面801等中表示為“多余能量”的部分。CPUlO通過求出“10000”以下的檢測值和“10000”之差，來生成用于顯示曲線圖811的數(shù)據(jù)。表格812是為了將作為曲線圖811的削減余地而示出的區(qū)域的大小表示為數(shù)值而顯示的。表格812中的數(shù)據(jù)I表示在曲線圖811中畫上陰影線的部分相對于微粒數(shù)“10000”以下的部分整體的比例的百分比的值。CPUlO求出“ 10000”以下的檢測值和“ 10000”之差，并通過求出它們的累計(jì)值來計(jì)算上述數(shù)據(jù)I的值。此外，在表格812中，最大削減余地表示該部分整體相對于作為基準(zhǔn)值的微粒數(shù)“10000”以下的部分整體的比例(即，100 (%))，另外，最小削減余地表示在成為顯示對象的期間內(nèi)微粒傳感器200的檢測值保持為微粒數(shù)“10000”的情況下的削減余地的比例(即，O
(%))。<顯示例(2)>圖10是示出了將對該室內(nèi)的各裝置的能量削減余地與室內(nèi)的裝置的布局一起顯示的一個(gè)顯示例子的圖。在圖10中示出了表格821和裝置布局822。在表格821中示出了在室內(nèi)配置的裝置中顯示出能量削減余地的工序的一覽表。裝置布局822示出了分別表示兩個(gè)工作室的區(qū)域8220、8225、與它們相鄰的更衣室及空氣浴塵室(air shower)的配置。區(qū)域8220包括表示芯片焊接機(jī)(die bonder)的圖標(biāo)8221、表示等離子清潔機(jī)的圖標(biāo)8222、表示絲焊器(wire bonder)的圖標(biāo)8223。區(qū)域8225包括分別表示兩個(gè)成型機(jī)的圖標(biāo)8226、8227。表格821包括工序、品質(zhì)管理值及削減余地。工序分別確定包含在裝置布局822內(nèi)的各工序。品質(zhì)管理值是在各工序中設(shè)定的對狀態(tài)數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)值(上限值及/或下限值等)。削減余地是在各工序中的如在參照圖9說明的例子中表示為“數(shù)據(jù)I”那樣的值，而且削減余地的值表示:在特定的整個(gè)期間內(nèi)，與以滿足最低限基準(zhǔn)值的方式對用于保持各工序的環(huán)境的設(shè)備進(jìn)行控制的情況相比，為了更加安全地保持環(huán)境而被控制的量。具體而言，是該特定期間內(nèi)的位于基準(zhǔn)范圍內(nèi)的檢測值和基準(zhǔn)值之差的累計(jì)值。在表格821中，作為工序，示出了分別與圖標(biāo)8221、8222、8223、8226、8227相對應(yīng)的工序(依次為“芯片焊接”、“等離子清潔”、“絲焊”、“塑模1”、“塑模2”)。另外，在表格821中，作為各工序的品質(zhì)管理值，示出了對各工序中的微粒傳感器200的檢測值(狀態(tài)數(shù)據(jù))的基準(zhǔn)值(依次為“ 10000”、“ 10000”、“ 10000”、“ 100000”、“ 100000”)。而且，在表格 821 中，示出了對各工序的特定期間(例如，一天)內(nèi)的削減余地的計(jì)算結(jié)果(依次為“98.8 (%)”、“74.2(%)，，、“98.6 (%)，，、“99.4 (%)，，、“91.2 (%)”)。用于顯示裝置布局822的信息預(yù)先登錄在控制器100中。而且，在控制器100的存儲(chǔ)裝置16中，登錄有用于將裝置布局822內(nèi)的至少一個(gè)工序和配置在該工序的執(zhí)行場所的微粒傳感器200的檢測輸出建立對應(yīng)關(guān)系的信息。另外，在控制器100的存儲(chǔ)裝置16中，儲(chǔ)存有與裝置布局822內(nèi)的至少一個(gè)工序相關(guān)的微粒傳感器200的檢測輸出。在控制器100中，在通過操作部15 (或者，通過通信裝置18來從其他裝置)輸入用于指定工作室等的信息時(shí)，CPUlO基于包含在所指定的工作室內(nèi)的各工序的微粒傳感器200的檢測輸出來計(jì)算削減余地，并將如圖10示出那樣的畫面顯示在監(jiān)視器111上。<顯示例(3)>圖11是示出了就微粒傳感器200的檢測輸出以不同的兩個(gè)以上的方式顯示的一個(gè)例子的圖。圖11包括曲線圖831、曲線圖832、表格833。曲線圖831表示微粒傳感器200的特定期間內(nèi)的檢測值的變化。曲線圖832示出了基于曲線圖831所示的檢測結(jié)果和對該系統(tǒng)設(shè)定的上限值來計(jì)算出的每規(guī)定時(shí)間(例如，每一個(gè)小時(shí))內(nèi)的削減余地的值。表格833示出了曲線圖831中的各時(shí)間段的削減余地的值。此外，表格833中的“O點(diǎn)”表示從O點(diǎn)00分到O點(diǎn)59分為止的時(shí)間段。另外，在其他欄記載的時(shí)間段也同樣地，表示從記載的時(shí)刻到剛要到接著記載的時(shí)刻之前的時(shí)刻為止的時(shí)間段。CPUlO利用從微粒傳感器200獲取的對某一工序的檢測值，來計(jì)算該檢測值與基準(zhǔn)值(上限值等)之差，并通過計(jì)算該差值的每規(guī)定期間的累計(jì)值，來取得各時(shí)間段的削減余地的值。然后，CPUlO將各時(shí)間段的削減余地的值以曲線圖832的方式進(jìn)行顯示，另外，以表格833的方式進(jìn)行顯示。<顯示例(4)>圖12 圖14是用于說明顯示多天的檢測結(jié)果的一個(gè)例子的圖。首先， 在圖12中示出了某一天(11月20日)的微粒傳感器200的檢測值的隨時(shí)間的變化。另外，在圖13中示出了另一天(11月27日)的檢測值的隨時(shí)間的變化，另外，在圖14中示出了又一天(11月28日)的檢測值的隨時(shí)間的變化。此外，針對各天的檢測值，一起顯示了對該系統(tǒng)設(shè)定的基準(zhǔn)值(各圖中的“管理基準(zhǔn)”)以及每單位體積內(nèi)的微粒數(shù)“10000”(p/cf))。在圖15中，以表格形式示出了根據(jù)圖12 圖14的各天的檢測值求出的各天的能量削減余地的值。在控制器100中，將多天中的每一天的檢測結(jié)果登錄到存儲(chǔ)裝置16中，CPUlO將它們?nèi)鐖D12 圖14示出那樣顯示在監(jiān)視器111等上，另外，計(jì)算各天的能量削減余地來如圖15示出那樣顯示在監(jiān)視器111等上。此外，也可以同時(shí)顯示圖12 圖14的曲線圖和圖15的表格。由此，系統(tǒng)的管理人員能夠同時(shí)視覺辨認(rèn)多天的結(jié)果，能夠綜合地或長期地研究系統(tǒng)的控制內(nèi)容。[第二實(shí)施方式]<功能結(jié)構(gòu)>圖16是示意性示出了本發(fā)明的系統(tǒng)監(jiān)視裝置的第二實(shí)施方式的控制器100的功能結(jié)構(gòu)的圖。此外，本實(shí)施方式的控制器100的硬件結(jié)構(gòu)能夠采用與第一實(shí)施方式同樣的硬件結(jié)構(gòu)，因而在此不重復(fù)詳細(xì)說明。參照圖16，本實(shí)施·方式的控制器100除了圖7所示的第一實(shí)施方式的控制器100之外，還包括品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)計(jì)算部105。品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)計(jì)算部105基于特定期間內(nèi)的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來計(jì)算該特定期間內(nèi)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的預(yù)測值。<基于預(yù)測值的能量削減余地的計(jì)算>(預(yù)測值)在本實(shí)施方式中，CPUlO連續(xù)獲取微粒傳感器200的檢測輸出，然后，針對各時(shí)間點(diǎn)，利用預(yù)先決定的設(shè)定期間內(nèi)的過去的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來導(dǎo)出能夠預(yù)測到的清潔度變化的范圍(預(yù)測范圍)。而且，在本實(shí)施方式中，CPUlO基于預(yù)測范圍和基準(zhǔn)值之間的關(guān)系，來計(jì)算能量削減余地。由此，系統(tǒng)的管理人員能夠更加可靠地使?fàn)顟B(tài)數(shù)據(jù)屬于基準(zhǔn)范圍內(nèi)的同時(shí)，能夠建立用于削減在系統(tǒng)中設(shè)備所消耗的能量的控制計(jì)劃。圖17是示意性示出了制造系統(tǒng)中的狀態(tài)數(shù)據(jù)和預(yù)測范圍的一個(gè)例子的圖。在圖17中，用實(shí)線表示狀態(tài)數(shù)據(jù)的實(shí)測值(實(shí)測值RV)，用虛線表示預(yù)測范圍的上限值(上限預(yù)測值PH)和下限值(下限預(yù)測值PL)，另外，用單點(diǎn)劃線表示預(yù)測范圍的平均值(平均值A(chǔ)V)。各時(shí)間點(diǎn)上的預(yù)測范圍是利用相對于該時(shí)間點(diǎn)的設(shè)定期間內(nèi)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均μ和該設(shè)定期間內(nèi)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)偏差σ來導(dǎo)出的。具體而言，預(yù)測范圍的上限值PH和下限值PL是按照如下的公式(I)及公式(2)來導(dǎo)出的。PH = μ + 3 σ...(I)PL = μ — 3 0...(2)(上限預(yù)測值及下限預(yù)測值的說明)圖18是分別示意性示出了圖17的時(shí)刻T1、T2、T3的移動(dòng)平均、上限預(yù)測值及下限預(yù)測值的圖。在圖18的(A)中，針對時(shí)刻Tl，用實(shí)線示出了該時(shí)刻Tl之前的設(shè)定期間內(nèi)的實(shí)測值的狀態(tài)數(shù)據(jù)的分布。另外，在圖18的(A)中，移動(dòng)平均用AVl表示，而且，對該AVl加上3σ ( σ是根據(jù)該設(shè)定期間內(nèi)的實(shí)測值來求出的移動(dòng)偏差)而得到的值為上限預(yù)測值ΡΗ1，另外，從該AVl減去3 σ而得到的值為下限預(yù)測值PU。在圖18的(B)中，針對時(shí)刻T2，用實(shí)線示出了該時(shí)刻T2之前的設(shè)定期間內(nèi)的實(shí)測值的狀態(tài)數(shù)據(jù)的分布。另外，在圖18的(B)中，該設(shè)定期間內(nèi)的移動(dòng)平均用AV2表示，并且，對AV2加上3σ而得到的值為上限預(yù)測值ΡΗ2，從AV2減去3σ而得到的值為下限預(yù)測值 PL2。并且，在圖18的(C)中，針對時(shí)刻Τ3，用實(shí)線示出了該時(shí)刻Τ3之前的設(shè)定期間內(nèi)的實(shí)測值的狀態(tài)數(shù)據(jù)的分布。另外，在圖18的(C)中，該設(shè)定期間內(nèi)的移動(dòng)平均用AV3表示，并且，對八￥3加上3 0而得到的值為上限預(yù)測值？!13，從4￥3減去3 0而得到的值為下限預(yù)測值PL3。預(yù)測范圍是時(shí)時(shí)刻刻導(dǎo)出的。S卩，就時(shí)刻Tl的預(yù)測范圍而言，基于剛要到該時(shí)刻Tl之前的設(shè)定期間內(nèi)的狀態(tài)數(shù)據(jù)來導(dǎo)出，另外，就各個(gè)時(shí)刻Τ2、Τ3的預(yù)測范圍而言，分別基于剛要到該時(shí)刻Τ2、Τ3之前的設(shè)定期間內(nèi)的狀態(tài)數(shù)據(jù)來導(dǎo)出。由此，能夠?qū)r(shí)時(shí)刻刻變化的清潔室500的狀況反映到預(yù)測范圍。(上限預(yù)測值及/或下限預(yù)測值的修正)控制器100在狀態(tài)數(shù)據(jù)的實(shí)測值超過了預(yù)測范圍的上限值或下限值的情況下，將該上限值向上方進(jìn)行修正或?qū)⒃撓孪拗迪蛳路竭M(jìn)行修正。在圖19中示出了狀態(tài)數(shù)據(jù)的實(shí)測值在表示為“異常檢 測”的時(shí)間點(diǎn)超過了預(yù)測范圍的上限值的情況。于是，在圖19中，與此相應(yīng)地，將此后的上限預(yù)測值向上方進(jìn)行了修正。修正前的上限預(yù)測值PH用虛線表示，修正后的上限預(yù)測值PHX用點(diǎn)線表示。就此時(shí)的修正而言，例如基于針對各時(shí)刻的過去的設(shè)定期間內(nèi)的實(shí)測值的狀態(tài)數(shù)據(jù)，對例如按照公式(I)或公式(2)來計(jì)算出的上限值(或下限值)加上(或減去)預(yù)先決定的值來實(shí)現(xiàn)。此外，這樣的預(yù)測范圍的上限值或下限值的修正，例如僅在從檢測到異常起預(yù)先決定的期間內(nèi)進(jìn)行。(能量削減余地的計(jì)算)圖20是由本實(shí)施方式的CPUlO在監(jiān)視器111等上顯示的能量削減余地等的計(jì)算結(jié)果的圖。在圖20中示出了曲線圖841和表格842。在曲線圖841中，狀態(tài)數(shù)據(jù)(微粒傳感器200的檢測值)用實(shí)線表示，并且，如上述那樣計(jì)算出的預(yù)測值(上限預(yù)測值)用虛線表示。此外，圖20的橫軸表示時(shí)間的經(jīng)過。另外，用粗虛線表示管理基準(zhǔn)(對狀態(tài)數(shù)據(jù)的上限側(cè)的基準(zhǔn)值)。在本實(shí)施方式中，對預(yù)測值在基準(zhǔn)值以下的期間內(nèi)的表示基準(zhǔn)值和預(yù)測值之差的部分畫上陰影線，該部分表示能量削減余地。在本實(shí)施方式中，基于預(yù)測值來導(dǎo)出能量削減余地。在表格842中，示出了在曲線圖841中示出的結(jié)果中的品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)和能量削減余地的值。能量削減余地是在曲線圖841中畫上陰影線的部分相對于該曲線圖841的在基準(zhǔn)值(10000p/cf)以下的部分的比例。品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)是表示上述的預(yù)測值超過上述的基準(zhǔn)值的程度的值。在圖20所示的例子中，示出了上述的預(yù)測值超過了基準(zhǔn)值的部分的微粒數(shù)的累計(jì)值。CPUlO如上述那樣計(jì)算預(yù)測值，而且，對該預(yù)測值超過上述基準(zhǔn)值的部分計(jì)算該預(yù)測值和上述基準(zhǔn)值之差的累計(jì)值，由此計(jì)算上述品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)。在本實(shí)施方式中，CPUlO基于在考慮還包含對系統(tǒng)的干擾等的影響在內(nèi)的時(shí)時(shí)刻刻變化的系統(tǒng)的狀況的基礎(chǔ)上計(jì)算出的預(yù)測值，來計(jì)算出系統(tǒng)的品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)。由此，本實(shí)施方式的系統(tǒng)監(jiān)視裝置能夠?qū)ο到y(tǒng)的狀態(tài)數(shù)據(jù)超過其基準(zhǔn)范圍的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行數(shù)值處理來提供。此外，在系統(tǒng)監(jiān)視裝置中，作為預(yù)測值，也可以計(jì)算狀態(tài)數(shù)據(jù)到達(dá)的概率不同的多個(gè)預(yù)測值。即，CPUlO例如除了按照上述的公式(I)及公式(2)來計(jì)算出的預(yù)測值之外，還計(jì)算與這些預(yù)測值相比狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠到達(dá)的概率更低的預(yù)測值。具體而言，在將按照上述的公式(I)及公式(2)來計(jì)算出的預(yù)測值設(shè)定為“上限預(yù)測值(1)”、“下限預(yù)測值(I)”的情況下，CPUlO還計(jì)算“上限預(yù)測值(2)”、“下限預(yù)測值(2)”、“上限預(yù)測值(3)”、“下限預(yù)測值
(3)”、“上限預(yù)測值(4)”、“下限預(yù)測值(4)”。這些預(yù)測值例如是按照以下的公式(3) 公式
(8)來計(jì)算出的?！吧舷揞A(yù)測值(2)”= μ +4σ...(3)“下限預(yù)測值(2)”= μ —知…(4)“上限預(yù)測值(3)”= μ +5σ...(5)“下限預(yù)測值(3)”= μ - 5σ...(6)“上限預(yù)測值(4)”= μ +6σ...(7)“下限預(yù)測值(4)”= μ —6σ …(8)此外，在這些預(yù)測值中，狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠到達(dá)的概率從高到低的順序依次是“上限預(yù)測值(1)”、“上限預(yù)測值(2)”、“上限預(yù)測值(3)”、“上限預(yù)測值(4)”。即，“上限預(yù)測值(I)”能夠到達(dá)的概率最高，“上限預(yù)測值(4)”能夠到達(dá)的概率最低。另外，關(guān)于下限值也同樣地，狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠到達(dá)的概率從高到低的順序依次是“下限預(yù)測值(1)”、“下限預(yù)測值(2)”、“下限預(yù)測值(3)”、“下限預(yù)測值(4)”。即，“下限預(yù)測值(I)”能夠到達(dá)概率最高，“下限預(yù)測值
(4)”能夠到達(dá)的概率最低。將這樣計(jì)算多個(gè)到達(dá)概率的預(yù)測值的情況的能量削減余地等的顯示情況如圖21所示。在圖21中示出了曲線圖843和表格844。在曲線圖843中，狀態(tài)數(shù)據(jù)的實(shí)測值用實(shí)線表示。另外，基于狀態(tài)數(shù)據(jù)來計(jì)算出的上限預(yù)測值(I)用虛線表示，上限預(yù)測值(2)用點(diǎn)線表示，上限預(yù)測值(3)用單點(diǎn)劃線表示，而且，上限預(yù)測值(4)用雙點(diǎn)劃線表示。 另外，對狀態(tài)數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)值(上限值)用粗虛線表示。在表格844中，示出了在曲線圖843中示出的結(jié)果中分別針對上限預(yù)測值(I) 上限預(yù)測值(4)計(jì)算出的品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)和能量削減余地的值。能量削減余地是在曲線圖843中各預(yù)測值在基準(zhǔn)值以下的期間內(nèi)的表示該基準(zhǔn)值和預(yù)測值之差的部分相對于基準(zhǔn)值以下的部分的比例。品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)是各預(yù)測值的超過基準(zhǔn)值的部分的累計(jì)值。通過如圖21那樣進(jìn)行顯示，系統(tǒng)管理人員能夠視覺辨認(rèn)與各預(yù)測值相對應(yīng)的品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)，由此，在該系統(tǒng)中的設(shè)備的控制中，能夠可靠地理解到為了將狀態(tài)數(shù)據(jù)保持在基準(zhǔn)值以下而將具有余量的控制進(jìn)行到何種程度。[第三實(shí)施方式]在以上說明的第一實(shí)施方式或第二實(shí)施方式中，CPUlO計(jì)算特定期間的能量削減余地。能量削減余地例如是如下所述地導(dǎo)出的，即，針對特定期間，計(jì)算狀態(tài)數(shù)據(jù)位于最低限基準(zhǔn)范圍時(shí)的檢測值的累計(jì)值，并計(jì)算這樣的檢測值和實(shí)際檢測出的狀態(tài)數(shù)據(jù)(或者，是對狀態(tài)數(shù)據(jù)的預(yù)測值)之差的累計(jì)值，然后，求出后者的累計(jì)值相對于前者的累計(jì)值的比例，來作為能量削減余地。即，在各實(shí)施方式中，在各系統(tǒng)中，計(jì)算出的能量削減余地為比例。在本實(shí)施方式中，CPUlO對多個(gè)系統(tǒng)分別計(jì)算能量削減余地并進(jìn)行顯示。圖22是示出了多個(gè)系統(tǒng)的能量削減余地的計(jì)算結(jié)果的顯示例的圖。在圖22中示出了曲線圖851 856和表格860。曲線圖851、853、855分別表示不同的系統(tǒng)(對象A、對象B、對象C)中的用于保持系統(tǒng)的環(huán)境的設(shè)備(為了調(diào)整狀態(tài)數(shù)據(jù)的值而利用的設(shè)備)的耗電量的隨時(shí)間的變化。另夕卜，曲線圖852、854、856分別表示上述的對象A、對象B、對象C中的狀態(tài)數(shù)據(jù)和對該狀態(tài)數(shù)據(jù)的管理基準(zhǔn)(上限側(cè)及下限側(cè)的限制值)。此外，在曲線圖852、854、856中，對如參照畫面801 (參照圖2)及畫面804 (參照圖5)等來說明的那樣的多余能量畫上陰影線來表示。CPUlO獲取各系統(tǒng)中的狀態(tài)數(shù)據(jù)及管理基準(zhǔn)，并基于它們來計(jì)算各系統(tǒng)中的能量削減余地。將該計(jì)算結(jié)果表示在表格860中。在表格860中，對象A、對象B、對象C各自的能量削減余地分別為“50%”、“3%”、“70%，，。管理整個(gè)系統(tǒng)的管理人員通過參照表格860，能夠同時(shí)視覺辨認(rèn)各系統(tǒng)中的能量削減余地。由此，能夠?qū)Ω飨到y(tǒng)中的能量削減余地進(jìn)行比較。即，管理人員能夠在多個(gè)系統(tǒng)中選擇能量削減余地高的系統(tǒng)來作為控制內(nèi)容的改善對象，而不是選擇耗能量多的系統(tǒng)來作為控制內(nèi)容的改善對象。
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圖23是示出了改善后的各系統(tǒng)中的信息的一個(gè)例子的圖。曲線圖871、873、875分別示出了上述的對象A、對象B、對象C中的設(shè)備的耗電量的隨時(shí)間的變化。此外，在曲線圖875中用虛線示出的是在圖22的曲線圖855中示出的改善前的設(shè)備的耗電量。另外，曲線圖872、874、876分別示出了如在曲線圖871、873、875中示出那樣向設(shè)備供電的情況下的上述的對象A、對象B、對象C中的狀態(tài)數(shù)據(jù)和對該狀態(tài)數(shù)據(jù)的管理基準(zhǔn)(上限側(cè)及下限側(cè)的限制值)。在圖23中示出了僅對在圖22中示出的例子中能量削減余地的值最高的對象C進(jìn)行了系統(tǒng)改善時(shí)的信息。具體而言，如圖23的曲線圖875所示，與曲線圖855相比，對設(shè)備的供電量有所降低。由此，如圖23的曲線圖876所示，與曲線圖856相比，狀態(tài)數(shù)據(jù)進(jìn)行變動(dòng)直至位于基準(zhǔn)值附近為止。但是，狀態(tài)數(shù)據(jù)收斂在基準(zhǔn)范圍內(nèi)。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，系統(tǒng)的管理人員能夠在多個(gè)系統(tǒng)中從能量削減余地高的系統(tǒng)開始削減能量的消耗量，由此，能夠高效地實(shí)現(xiàn)耗能量的削減。圖24是示出了改善后的各系統(tǒng)中的信息的其他例子的圖。曲線圖881、883、885分別示出了上述的對象A、對象B、對象C中的設(shè)備的耗電量的隨時(shí)間的變化。此外，在曲線圖881、885中用虛線表示的是在圖22的曲線圖851、855中示出的改善前的設(shè)備的耗電量。另外，曲線圖882、884、886分別示出了如在曲線圖881、883、885中示出的那樣向設(shè)備供電時(shí)的上述的對象A、對象B、對象C中的狀態(tài)數(shù)據(jù)和對該狀態(tài)數(shù)據(jù)的管理基準(zhǔn)(上限側(cè)及下限側(cè)的制限值)。
在圖24中示出了對在圖22中示出的例子中能量削減余地的值最高的對象C和能量削減余地的值次高的對象B進(jìn)行了系統(tǒng)改善時(shí)的信息。如圖24的曲線圖881所示，與曲線圖851相比，對設(shè)備的供電量有所下降。由此，如圖24的曲線圖882所示，與曲線圖852相比，狀態(tài)數(shù)據(jù)進(jìn)行變動(dòng)直至位于基準(zhǔn)值附近為止。但是，狀態(tài)數(shù)據(jù)收斂在基準(zhǔn)范圍內(nèi)。應(yīng)該認(rèn)為本次公開的各實(shí)施方式及其變形例在所有點(diǎn)上是例示，而并非用于限定。本發(fā)明的范圍并非由上述說明來表示，而是由權(quán)利要求書來表示，與權(quán)利要求書等同的意思及其范圍內(nèi)的所有的變更都包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，為了計(jì)算裕度，可以不利用標(biāo)準(zhǔn)偏差，而利用能夠根據(jù)狀態(tài)數(shù)據(jù)的頻率分布來計(jì)算出的值、對平均值乘以系數(shù)而得到的值等能夠利用統(tǒng)計(jì)方法來導(dǎo)出的值。另外，成為對象的系統(tǒng)是與產(chǎn)品的制造相關(guān)的系統(tǒng)，而且是耗能的系統(tǒng)，因此，除了在本實(shí)施方式中說明的例子之外，也可以是如下的系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中，將氧氣濃度作為氮?dú)庵脫Q爐中的狀態(tài)數(shù)據(jù)，另外將通過消耗能量來制造出的能夠定義為二次能量的氮?dú)庠O(shè)定為所消耗的能量的系統(tǒng)。另外，作為另一例，可例舉設(shè)置有空氣促動(dòng)器及真空吸盤的制造裝置的制造系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中，采用壓力來作為狀態(tài)數(shù)據(jù)，并且采用在壓縮機(jī)制造出的壓縮空氣來作為在制造中所利用的能量。作為又一例，可例舉利用了需要冷卻水或熱水的制造裝置的系統(tǒng)。在這樣的系統(tǒng)的情況下，狀態(tài)數(shù)據(jù)是溫度，在制造中利用的能量是生成冷卻水或熱水的裝置所消耗的熱能量。作為再一例，可例舉設(shè)置有制造設(shè)備的空調(diào)系統(tǒng)，在該空調(diào)系統(tǒng)中，將溫度作為狀態(tài)數(shù)據(jù)，將空調(diào)機(jī)的功率作為所消耗的能量。另外，可以單獨(dú)實(shí)施各實(shí)施方式及其變形例，也可以根據(jù)需要適宜組合各實(shí)施方式及其變形例來 實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于用于表示影響由制造系統(tǒng)制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而耗能的設(shè)備的動(dòng)作， 該系統(tǒng)監(jiān)視裝置的特征在于，具有: 獲取單元，其連續(xù)獲取所述狀態(tài)數(shù)據(jù)； 裕度計(jì)算單元，其基于所獲取的連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均值和針對所述狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度； 能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述設(shè)備的能量削減余地； 顯示單元，其顯示所述能量削減余地。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，其特征在于， 所述裕度計(jì)算單元提取根據(jù)所述移動(dòng)平均及連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)偏差來計(jì)算出的值與基準(zhǔn)值之差，來作為所述裕度。
3.如權(quán)利要求1或2所述的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，其特征在于， 所述能量削減余地提取單元每隔規(guī)定時(shí)間計(jì)算能量削減余地，所述顯示單元將該能量削減余地顯示為曲線圖或表格。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，其特征在于， 所述獲取單元分別按照各區(qū)域或者各工序而被設(shè)置，所述系統(tǒng)監(jiān)視裝置通過各所述獲取單元獲取每個(gè)所述區(qū)域或者每個(gè)所述工序的狀態(tài)數(shù)據(jù)； 所述能量削減余地提取單元根據(jù)`每個(gè)區(qū)域或者每個(gè)工序的該狀態(tài)數(shù)據(jù)提取能量削減余地； 所述顯示單元將該能量削減余地與區(qū)域或工序的圖一并進(jìn)行顯示。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，其特征在于， 所述能量削減余地提取單元通過對作為所述狀態(tài)數(shù)據(jù)和所述基準(zhǔn)值之差的裕度進(jìn)行隨時(shí)間累計(jì)，來提取能量削減余地。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)監(jiān)視裝置，其特征在于， 還具有控制單元，該控制單元控制所述設(shè)備的動(dòng)作，以使所述狀態(tài)數(shù)據(jù)屬于所述基準(zhǔn)值的范圍內(nèi)。
7.一種系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于從對影響制造系統(tǒng)的制造品質(zhì)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)測的傳感器輸出的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而耗能的設(shè)備的動(dòng)作， 該系統(tǒng)監(jiān)視裝置的特征在于，具有: 接收單元，其連續(xù)地接收所述狀態(tài)數(shù)據(jù)； 裕度計(jì)算單元，其基于由所述接收單元獲取的連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)的移動(dòng)平均值和針對所述狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度； 能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述設(shè)備的能量削減余地； 顯示單元，其顯示所述能量削減余地。
8.一種系統(tǒng)監(jiān)視裝置的控制方法，用于控制系統(tǒng)監(jiān)視裝置的動(dòng)作，其中，基于從對影響制造系統(tǒng)的制造品質(zhì)的狀態(tài)進(jìn)行計(jì)測的傳感器輸出的狀態(tài)數(shù)據(jù)，來將上述系統(tǒng)監(jiān)視裝置利用于為了調(diào)整該制造系統(tǒng)的狀態(tài)而耗能的設(shè)備的動(dòng)作， 該系統(tǒng)監(jiān)視裝置的控制方法的特征在于，所述系統(tǒng)監(jiān)視裝置， 連續(xù)地接收所述狀態(tài)數(shù)據(jù)并存儲(chǔ)至存儲(chǔ)器； 根據(jù)存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中的連續(xù)的所述狀態(tài)數(shù)據(jù)來計(jì)算移動(dòng)平均值； 基于所述移動(dòng)平均值和針對所述狀態(tài)數(shù)據(jù)能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度； 根據(jù)所述裕度提取所述設(shè)備的能量削減余地； 將所述能量削減余地顯示在顯示部上。
9.一種系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于用于表示影響在無塵室內(nèi)制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的 清潔度，來利用于為了調(diào)整該無塵室的清潔度而耗能的過濾器風(fēng)機(jī)的動(dòng)作， 該系統(tǒng)監(jiān)視裝置的特征在于，具有: 微粒傳感器，其連續(xù)獲取所述清潔度； 裕度計(jì)算單元，其基于所獲取的連續(xù)的所述清潔度的移動(dòng)平均值和針對所述清潔度能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度； 能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述過濾器風(fēng)機(jī)的能量削減余地； 顯示單元，其顯示所述能量削減余地。
10.一種系統(tǒng)監(jiān)視裝置，基于用于表示影響在爐內(nèi)制造的產(chǎn)品的制造品質(zhì)的狀態(tài)的溫度，來利用于為了調(diào)整該爐內(nèi)的溫度而耗能的加熱器的動(dòng)作， 該系統(tǒng)監(jiān)視裝置的特征在于，具有: 溫度傳感器，其連續(xù)獲取所述溫度； 裕度計(jì)算單元，其基于所獲取的連續(xù)的所述溫度的移動(dòng)平均值和針對所述溫度能夠保證制造品質(zhì)的基準(zhǔn)值，來計(jì)算所述移動(dòng)平均值相對于所述基準(zhǔn)值的裕度； 能量削減余地提取單元，其根據(jù)所述裕度提取所述加熱器的能量削減余地； 顯示單元，其顯示所述能量削減余地。
全文摘要
提供一種能夠提供與系統(tǒng)中的耗能的削減相關(guān)的方針的系統(tǒng)監(jiān)視裝置及其控制方法。在畫面(801)上示出與節(jié)能對策前的制造系統(tǒng)中的耗能相關(guān)的信息。畫面(801)的上方的曲線圖表示加熱器的電力使用量的隨時(shí)間的變化。下方的曲線圖表示與加熱器相關(guān)的狀態(tài)數(shù)據(jù)的隨時(shí)間的變化。在下方的曲線圖中示出狀態(tài)數(shù)據(jù)與下限值之差來作為多余能量。
文檔編號(hào)G05B19/418GK103246245SQ201310050099
公開日2013年8月14日 申請日期2013年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月14日
發(fā)明者八竹英紀(jì), 服部玲子 申請人:歐姆龍株式會(huì)社