遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)及中央控制裝置、客戶(hù)端和信息采集裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)及中央控制裝置、客戶(hù)端和信息采集裝置。片材制造工序的該遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的特征在于，具備中央控制裝置和與其異地設(shè)置的客戶(hù)端裝置，中央控制裝置具有第一信息收發(fā)單元和信息生成單元，客戶(hù)端裝置具有第二信息收發(fā)單元和片材制造控制單元，第一與第二信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程連接，中央控制裝置基于用第一信息收發(fā)單元接收到的與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第1信息以及與清漆相關(guān)的第2信息，通過(guò)信息生成單元生成與片材制造條件相關(guān)的第3信息，用第一信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將第3信息發(fā)送給客戶(hù)端裝置，客戶(hù)端裝置用第二信息收發(fā)單元接收第3信息，通過(guò)片材制造控制單元基于第3信息控制片材制造工序的制造條件。
【專(zhuān)利說(shuō)明】遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)及中央控制裝置、客戶(hù)端和信息采集裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種由清漆制成用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置的片材的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，作為光半導(dǎo)體裝置的制造方法，研究著以下方法:制造包含粒子和固化性樹(shù)脂的清漆，從該清漆制造B階段的密封片材等的覆蓋片材，用該覆蓋片材覆蓋光半導(dǎo)體元件。
[0003]例如，提出了以下方法:利用由B階段的熱固性樹(shù)脂構(gòu)成的熒光體層來(lái)覆蓋安裝于基板的發(fā)光二極管，之后使熒光體層C階段化，由此制造LED裝置(例如，參照以下專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2009-060031號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0006]然而，在密封片材制造工廠(chǎng)制造包含熒光體層的密封片材，因此將制造出的密封片材出貨到LED裝置制造工廠(chǎng)。此外，在密封片材制造工廠(chǎng)，從LED裝置制造工廠(chǎng)提供與發(fā)光二極管和LED裝置相關(guān)的信息，基于該信息和與清漆相關(guān)的信息，生成適合于設(shè)為目的的LED裝置的密封片材的制造條件。
[0007]然而，在LED裝置制造工廠(chǎng)半導(dǎo)體元件和/或光半導(dǎo)體裝置發(fā)生變動(dòng)的情況下，在密封片材制造工廠(chǎng)需要與這些變動(dòng)對(duì)應(yīng)地再次制造密封片材，或者進(jìn)一步將再次制造的不同種類(lèi)的密封片材運(yùn)送至LED裝置制造工廠(chǎng)。因此，存在花費(fèi)功夫、時(shí)間這種問(wèn)題。
[0008]另一方面，還考慮在LED裝置制造工廠(chǎng)內(nèi)設(shè)置密封片材制造工廠(chǎng)，從而省略所述功夫、時(shí)間。
[0009]然而，LED裝置制造工廠(chǎng)存在與清漆相關(guān)的信息不充分而無(wú)法準(zhǔn)確地生成密封片材的制造條件這種問(wèn)題。
[0010]本發(fā)明的目的在于提供一種在光半導(dǎo)體裝置的制造工廠(chǎng)能夠簡(jiǎn)單且可靠地制造適合于光半導(dǎo)體裝置的覆蓋片材的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)以及其中央控制裝置、客戶(hù)端裝置和信息采集裝置。
[0011]用于解決問(wèn)題的方案
[0012]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，
[0013]所述遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)包括中央控制裝置和與所述中央控制裝置異地設(shè)置的客戶(hù)端裝置，
[0014]所述中央控制裝置具有第一信息收發(fā)單元和信息生成單元，
[0015]所述客戶(hù)端裝置具有第二信息收發(fā)單元和片材制造控制單元，
[0016]所述中央控制裝置的所述第一信息收發(fā)單元與所述客戶(hù)端裝置的第二信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程連接，
[0017]所述中央控制裝置基于用所述第一信息收發(fā)單元接收到的與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，通過(guò)所述信息生成單元生成與片材制造條件相關(guān)的第3信息，并用所述第一信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將所述第3信息發(fā)送給所述客戶(hù)端裝置，所述客戶(hù)端裝置用所述第二信息收發(fā)單元接收所述第3信息，并通過(guò)所述片材制造控制單元根據(jù)所述第3信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
[0018]優(yōu)選還包括信息采集裝置，所述中央控制裝置與所述信息采集裝置通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接，
[0019]所述信息采集裝置具有第三信息收發(fā)單元，
[0020]所述信息采集裝置通過(guò)所述第三信息收發(fā)單元接收所述第I信息和第2信息，并用所述第三信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將所述第I信息和所述第2信息發(fā)送給所述中央控制裝置。
[0021]優(yōu)選所述信息采集裝置包括分別用于接受所述第I信息和所述第2信息的第I信息采集裝置和第2信息采集裝置。
[0022]優(yōu)選所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第I信息的第I信息存儲(chǔ)單元和用于存儲(chǔ)所述第2信息的第2信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第I信息存儲(chǔ)單元和所述第2信息存儲(chǔ)單元讀取所述第I信息和所述第2信息，所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)所述第3信息的第3信息存儲(chǔ)單元，所述片材制造控制單元從所述第3信息存儲(chǔ)單元讀取所述第3信息。
[0023]優(yōu)選所述客戶(hù)端裝置還接收包括清漆、清漆中所含粒子、清漆中所含固化性樹(shù)脂、半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息，和/或單位期間半導(dǎo)體裝置制造量信息的第4信息，并根據(jù)所述第4信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行修正控制。
[0024]優(yōu)選所述中央控制裝置還基于與本次之前的片材制造條件相關(guān)的第5信息生成與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息，并將所述與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息發(fā)送到所述客戶(hù)端裝置，
[0025]所述客戶(hù)端裝置根據(jù)所述與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
[0026]優(yōu)選所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)所述第4信息的第4信息存儲(chǔ)單元，所述片材制造控制單元從所述第4信息存儲(chǔ)單元讀取第4信息。
[0027]優(yōu)選所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第5信息的第5信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第5信息存儲(chǔ)單元讀取第5信息。
[0028]優(yōu)選所述與片材制造條件相關(guān)的第3信息進(jìn)一步包括與清漆制造工序的制造條件相關(guān)的信息，所述片材制造控制單元根據(jù)所述第3信息進(jìn)一步對(duì)所述清漆制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
[0029]本發(fā)明還提供一種片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述中央控制裝置包括:
[0030]第一信息收發(fā)單元，用于通過(guò)網(wǎng)絡(luò)接收與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，以及
[0031]信息生成單元，與所述第一信息收發(fā)單元連接，用于基于所述第I信息和第2信息生成與片材制造條件相關(guān)的第3信息，并通過(guò)所述第一信息收發(fā)單元發(fā)送所述第3信息。
[0032]優(yōu)選所述信息生成單元還被配置為基于與本次之前的片材制造條件相關(guān)的第5信息生成與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息，并通過(guò)所述第一信息收發(fā)單元發(fā)送與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息。
[0033]優(yōu)選所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第5信息的第5信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第5信息存儲(chǔ)單元讀取第5信息。
[0034]優(yōu)選所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第I信息的第I信息存儲(chǔ)單元和用于存儲(chǔ)所述第2信息的第2信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第I信息存儲(chǔ)單元和所述第2信息存儲(chǔ)單元讀取所述第I信息和所述第2信息。
[0035]本發(fā)明還提供一種片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的客戶(hù)端裝置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述客戶(hù)端裝置包括:
[0036]第二信息收發(fā)單元，用于與所述片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置連接，接收與片材制造條件相關(guān)的第3信息，以及
[0037]片材制造控制單元，與所述第二信息收發(fā)單元連接，用于根據(jù)由所述第二信息收發(fā)單元接收到的與片材制造條件相關(guān)的第3信息，對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
[0038]優(yōu)選所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)所述與片材制造條件相關(guān)的第3信息的信息存儲(chǔ)單元。
[0039]優(yōu)選所述第二信息收發(fā)單元還被設(shè)置為接收包括清漆、清漆中所含粒子、清漆中所含固化性樹(shù)脂、半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息，和/或單位期間半導(dǎo)體裝置制造量信息的第4信息，并且
[0040]所述片材制造控制單元還被配置為根據(jù)所述第4信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行修正控制。
[0041]優(yōu)選所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)第4信息的第4信息存儲(chǔ)單元，所述片材制造控制單元從所述第4信息存儲(chǔ)單元讀取第4信息。
[0042]本發(fā)明還提供一種片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的信息采集裝置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述信息采集裝置包括:
[0043]信息接收單元，用于接收與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，以及
[0044]信息發(fā)送單元，與所述信息接收單元以及所述片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置連接，用于將所述信息接收單元接收到的所述第I信息和第2信息發(fā)送至所述中央控制裝置。
[0045]本發(fā)明的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)是具備制造包含粒子和固化性樹(shù)脂的清漆的清漆制造工序、從所述清漆制造B階段的覆蓋片材的片材制造工序以及用所述覆蓋片材覆蓋光半導(dǎo)體元件的覆蓋工序的光半導(dǎo)體裝置的制造方法中的所述片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)。
[0046]在該系統(tǒng)中，優(yōu)選中央控制裝置具備第I信息收發(fā)單元、第I信息存儲(chǔ)單元、第2信息存儲(chǔ)單元以及信息生成單元，另一方面，設(shè)置于與中央控制裝置不同的位置(異地設(shè)置的位置)的客戶(hù)端裝置具備第2信息收發(fā)單元、第3信息存儲(chǔ)單元以及片材制造控制單J Li ο
[0047]而且，在中央控制裝置中，第I信息收發(fā)單元接收與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息和與所述清漆相關(guān)的第2信息，將各第I信息和第2信息分別存儲(chǔ)到第I信息存儲(chǔ)單元和第2信息存儲(chǔ)單元，用信息生成單元生成片材制造工序的制造條件，能夠?qū)⒃撈闹圃旃ば虻闹圃鞐l件提供給客戶(hù)端裝置。
[0048]而且，在客戶(hù)端裝置中，用第2信息收發(fā)單元接收從中央控制裝置提供的與制造條件相關(guān)的第3信息，將第3信息存儲(chǔ)到第3信息存儲(chǔ)單元，基于所述第3信息，用片材制造控制單元控制片材制造工序的制造條件。
[0049]因此，能夠與客戶(hù)端裝置分開(kāi)地在中央控制裝置中決定片材制造工序的制造條件，并且客戶(hù)端裝置能夠控制片材制造工序的制造條件。
[0050]另外，從中央控制裝置提供的與片材制造工序的制造條件相關(guān)的第3信息基于第I信息和第2信息。因此，客戶(hù)端裝置基于從中央控制裝置提供的第3信息，用片材制造控制單元，能夠高精度地控制片材制造工序的制造條件。其結(jié)果，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0051]另外，本發(fā)明的系統(tǒng)優(yōu)選還生成和控制所述清漆制造工序的制造條件，所述信息生成單元基于所述第I信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第I信息以及所述第2信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第2信息，還生成所述清漆制造工序的所述制造條件，所述片材制造控制單元基于所述第3信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第3信息，還控制所述清漆制造工序的所述制造條件。
[0052]在該系統(tǒng)中，信息生成單元基于第I信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的第I信息以及第2信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的第2信息，還生成清漆制造工序的制造條件，片材制造控制單元基于第3信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的第3信息還控制清漆制造工序的制造條件。因此，能夠高精度地制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置的覆蓋片材，并且能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0053]另外，在本發(fā)明的系統(tǒng)中，第I信息優(yōu)選包含與安裝光半導(dǎo)體元件的基板相關(guān)的信息。
[0054]根據(jù)該系統(tǒng)，第I信息包含與安裝光半導(dǎo)體元件的基板相關(guān)的信息，因此中央控制裝置還與所述各信息一起具備與安裝光半導(dǎo)體元件的基板相關(guān)的信息。
[0055]因此，基于與基于第I信息生成的制造條件相關(guān)的高精度的第3信息，客戶(hù)端裝置能夠更進(jìn)一步聞精度地控制片材制造工序的制造條件。
[0056]另外，在本發(fā)明的系統(tǒng)中，所述客戶(hù)端裝置優(yōu)選具備:第4信息存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息和/或包含每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置的制造量的第4信息；以及作為片材制造控制單元的修正單元，其基于所述第4信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第4信息，對(duì)所述片材制造工序的所述制造條件進(jìn)行修正。
[0057]粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件的批次信息根據(jù)每個(gè)批次而發(fā)生變動(dòng)。另夕卜，每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置的制造量根據(jù)每個(gè)單位期間而發(fā)生變動(dòng)。因此，有時(shí)所制造的光半導(dǎo)體裝置的物性根據(jù)每個(gè)批次和/或每個(gè)單位期間而發(fā)生變動(dòng)。在這種情況下，中央控制裝置每次基于第4信息來(lái)生成制造條件是煩雜的。
[0058]但是，在該系統(tǒng)中，在客戶(hù)端裝置中，用作為片材制造控制單元的修正單元基于第4信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息和/或包含每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置的制造量的第4信息，能夠修正片材制造工序的制造條件。因此，容易與批次信息和/或光半導(dǎo)體裝置的制造量的變動(dòng)對(duì)應(yīng)地修正片材制造工序的制造條件，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0059]另外，在本發(fā)明的系統(tǒng)中，優(yōu)選所述中央控制裝置具備存儲(chǔ)第5信息的第5信息存儲(chǔ)單元，該第5信息與本次之前制造所述覆蓋片材的制造條件相關(guān)，基于所述第5信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第5信息，生成用于本次制造所述覆蓋片材的制造條件。
[0060]根據(jù)該系統(tǒng)，中央控制裝置能夠累積與本次之前制造覆蓋片材的制造條件相關(guān)的第5信息。因此，基于過(guò)去累積的制造條件，能夠在本次制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置的覆蓋片材，并且能夠在本次高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0061]本發(fā)明的中央控制裝置是具備制造包含粒子和固化性樹(shù)脂的清漆的清漆制造工序、從所述清漆制造B階段的覆蓋片材的片材制造工序以及用所述覆蓋片材覆蓋光半導(dǎo)體元件的覆蓋工序的光半導(dǎo)體裝置的制造方法中的、用于生成所述片材制造工序的制造條件的中央控制裝置，優(yōu)選具備:第I信息收發(fā)單元；第I信息存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)與所述光半導(dǎo)體元件相關(guān)的第I信息；第2信息存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)與所述清漆相關(guān)的第2信息；以及信息生成單元，其基于所述第I信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第I信息和所述第2信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第2信息生成所述制造條件。
[0062]該中央控制裝置具備第I信息收發(fā)單元、第I信息存儲(chǔ)單元、第2信息存儲(chǔ)單元以及信息生成單元。
[0063]因此，根據(jù)該中央控制裝置，第I信息收發(fā)單元接收與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，將各第I信息和第2信息分別存儲(chǔ)到第I信息存儲(chǔ)單元和第2信息存儲(chǔ)單元，能夠用信息生成單元生成片材制造工序的制造條件。
[0064]其結(jié)果,根據(jù)所述片材制造工序的制造條件,能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0065]另外，優(yōu)選本發(fā)明的中央控制裝置還生成所述清漆制造工序的制造條件，所述信息生成單元基于所述第I信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第I信息以及所述第2信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第2信息還生成所述清漆制造工序的所述制造條件。
[0066]在該中央控制裝置中，信息生成單元基于第I信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的第I信息以及第2信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的第2信息還生成清漆制造工序的制造條件。因此，能夠高精度地制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置的覆蓋片材，并且能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0067]另外，在本發(fā)明的中央控制裝置中，所述第I信息優(yōu)選包含與安裝所述光半導(dǎo)體元件的基板相關(guān)的信息。
[0068]根據(jù)該中央控制裝置，第I信息包含與安裝光半導(dǎo)體元件的基板相關(guān)的信息，因此中央控制裝置還能夠與所述各信息一起具備與安裝光半導(dǎo)體元件的基板相關(guān)的信息。
[0069]因此，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0070]另外，優(yōu)選本發(fā)明的中央控制裝置具備第5信息存儲(chǔ)單元，該第5信息存儲(chǔ)單元存儲(chǔ)與本次之前制造所述覆蓋片材的制造條件相關(guān)的第5信息，基于所述第5信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第5信息，生成用于本次制造所述覆蓋片材的制造條件。
[0071]根據(jù)該中央控制裝置，能夠累積與本次之前制造覆蓋片材的制造條件相關(guān)的第5信息。因此，基于過(guò)去累積的制造條件，能夠在本次制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置的覆蓋片材，并且能夠在本次高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0072]本發(fā)明的客戶(hù)端裝置是具備制造包含粒子和固化性樹(shù)脂的清漆的清漆制造工序、從所述清漆制造B階段的覆蓋片材的片材制造工序以及用所述覆蓋片材覆蓋光半導(dǎo)體元件的覆蓋工序的光半導(dǎo)體裝置的制造方法中的、用于控制所述片材制造工序的制造條件的客戶(hù)端裝置，優(yōu)選具備--第2信息收發(fā)單元；第3信息存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)與所述制造條件有關(guān)的第3信息；以及片材制造控制單元，其基于所述第3信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第3信息，控制所述片材制造工序的所述制造條件。
[0073]根據(jù)該客戶(hù)端裝置，用第2信息收發(fā)單元接收從中央控制裝置提供的與制造條件相關(guān)的第3信息，將與片材制造工序的制造條件相關(guān)的第3信息存儲(chǔ)到第3信息存儲(chǔ)單元，基于所述第3信息，用片材制造控制單元，能夠高精度地控制片材制造工序的制造條件。
[0074]因此，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0075]另外，優(yōu)選本發(fā)明的客戶(hù)端裝置還控制所述清漆制造工序的制造條件，所述片材制造控制單元基于所述第3信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第3信息，還控制所述清漆制造工序的所述制造條件。
[0076]根據(jù)該客戶(hù)端裝置，片材制造控制單元基于第3信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的第3信息，還控制清漆制造工序的制造條件，因此能夠高精度地制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置的覆蓋片材，并且能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0077]另外，本發(fā)明的客戶(hù)端裝置優(yōu)選具備:第4信息存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)第4信息，該第4信息包含粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息和/或每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置的制造量；以及作為片材制造控制單元的修正單元，其基于所述第4信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的所述第4信息，對(duì)所述片材制造工序的所述制造條件進(jìn)行修正。
[0078]粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件的批次信息根據(jù)每個(gè)批次而發(fā)生變動(dòng)。另外，每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置的制造量根據(jù)每個(gè)單位期間而發(fā)生變動(dòng)。因此，有時(shí)所制造的光半導(dǎo)體裝置的物性根據(jù)每個(gè)批次和/或單位期間而發(fā)生變動(dòng)。在這種情況下，中央控制裝置每次根據(jù)第4信息生成制造條件是煩雜的。
[0079]但是，在該客戶(hù)端裝置中，用作為片材制造控制單元的修正單元，基于第4信息存儲(chǔ)單元所存儲(chǔ)的粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息和/或每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置的制造量的第4信息，能夠修正片材制造工序的制造條件。因此，容易與批次信息和/或光半導(dǎo)體裝置的制造量的變動(dòng)對(duì)應(yīng)地，修正片材制造工序的制造條件，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。
[0080]發(fā)明的效果
[0081]根據(jù)具備本發(fā)明的中央控制裝置和客戶(hù)端裝置的本發(fā)明的系統(tǒng)，能夠與客戶(hù)端裝置分開(kāi)地在中央控制裝置中生成制造條件，并且客戶(hù)端裝置能夠控制制造條件。另外，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0082]圖1示出本發(fā)明的系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0083]圖2A~圖2E是圖1示出的密封片材的放大截面圖，圖2A示出僅由熒光體層構(gòu)成的密封片材，圖2B示出具備熒光體的濃度不同的多個(gè)熒光體層的密封片材，圖2C示出具備具有向下方打開(kāi)的凹部的樹(shù)脂層以及填充到凹部的熒光體層的密封片材，圖2D示出具備截面大致梯形狀的熒光體層以及形成于其周?chē)臉?shù)脂層的密封片材，圖2E示出具備截面大致矩形狀的熒光體層以及形成于其周?chē)臉?shù)脂層的密封片材。
[0084]圖3F~圖3G是圖1示出的密封片材的放大截面圖，圖3F示出具備樹(shù)脂層、形成于樹(shù)脂層的上側(cè)的熒光體層的密封片材，圖3G示出具備樹(shù)脂層、形成于樹(shù)脂層的上側(cè)的熒光體層以及在樹(shù)脂層的下側(cè)以包圍用于形成光半導(dǎo)體元件的部分的方式形成的功能層的密封片材。
[0085]圖4示出圖1的變形例的系統(tǒng)的概要結(jié)構(gòu)圖。
[0086]圖5A~圖5B是圖2A的密封片材的變形例的放大截面圖，圖5A示出將覆蓋片材相對(duì)配置在覆蓋光半導(dǎo)體元件的密封層的上側(cè)的狀態(tài)，圖5B示出將覆蓋片材層疊到密封層的上表面的狀態(tài)。
[0087]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0088]1:系統(tǒng)；2:中央控制裝直；3:片材制造控制裝直(客戶(hù)端裝直);6:弟I存儲(chǔ)器；8:第ICPU ；11:清漆；12:密封片材；13:光半導(dǎo)體元件；14:基板；15:第I信息；16:第2信息；17:第3信息；20:光半導(dǎo)體裝置；23 --第3存儲(chǔ)器；24 --第4存儲(chǔ)器；60:覆蓋片材；S1:清漆制造工序；S2:片材制造工序；S3:密封工序。

【具體實(shí)施方式】
[0089][系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)]
[0090]作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的系統(tǒng)I是設(shè)置于控制部門(mén)5和光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4的系統(tǒng)，其中，該光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4設(shè)置于與該控制部門(mén)5不同的位置(異地設(shè)置的位置)。通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將控制部門(mén)5與設(shè)置于不同的位置(異地設(shè)置的位置)的光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4內(nèi)的各裝置連接，對(duì)片材制造工序進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
[0091 ] 系統(tǒng)I生成和控制具備清漆制造工序S1、片材制造工序S2以及密封工序S3 (覆蓋工序的一例)的光半導(dǎo)體裝置20的制造方法中的清漆制造工序SI和片材制造工序S2的制造條件，其中，在該清漆制造工序SI中，制造包含粒子和固化性樹(shù)脂的清漆11，在該片材制造工序S2中，從清漆11制造作為B階段的覆蓋片材的密封片材12，在該密封工序S3 (覆蓋工序的一例)中，用密封片材12密封光半導(dǎo)體元件13。系統(tǒng)I具備中央控制裝置2以及作為客戶(hù)端裝置的片材制造控制裝置3。
[0092]控制部門(mén)5具備中央控制裝置2。
[0093]中央控制裝置2具備第I信息收發(fā)單元37、作為第I信息存儲(chǔ)單元的第I存儲(chǔ)器
6、作為第2信息存儲(chǔ)單元的第2存儲(chǔ)器7、作為信息生成單元的第1CPU8以及作為第5信息存儲(chǔ)單元的第5存儲(chǔ)器10。
[0094] 第I存儲(chǔ)器6存儲(chǔ)光半導(dǎo)體元件13、安裝光半導(dǎo)體元件13的基板14以及與光半導(dǎo)體裝置20相關(guān)的第I信息15。
[0095]作為第I信息15，具體地說(shuō)作為與光半導(dǎo)體元件13相關(guān)的信息，例如可舉出光半導(dǎo)體元件13的形狀、光半導(dǎo)體元件13的尺寸、光半導(dǎo)體元件13的發(fā)光峰值波長(zhǎng)、基板14的每個(gè)單位面積的光半導(dǎo)體元件13的安裝數(shù)以及每一個(gè)基板14的光半導(dǎo)體元件13的安裝數(shù)等。
[0096]另外，作為第I信息15，具體地說(shuō)作為與基板14相關(guān)的信息，例如可舉出基板14的外形形狀、基板14的尺寸以及基板14的表面形狀(是否存在凹部等)等。
[0097]并且，作為第I信息15，具體地說(shuō)作為與光半導(dǎo)體裝置20相關(guān)的信息，例如可舉出光半導(dǎo)體裝置20的色溫、光半導(dǎo)體裝置20的總光通量以及光半導(dǎo)體裝置20的配光特性等。具體地說(shuō)，在設(shè)為目標(biāo)的光的顏色為自然光的情況下，目標(biāo)色溫例如為4600K以上且例如為5500K以下。另外，在設(shè)為目標(biāo)的光的顏色為白色的情況下，目標(biāo)色溫例如為3250K以上且例如為3800K以下。從上述溫度范圍中選擇目標(biāo)色溫。
[0098]中央控制裝置2與第I信息采集裝置21通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接，構(gòu)成為從光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4所具有的第I信息采集裝置21輸入第I信息15。
[0099]第2存儲(chǔ)器7存儲(chǔ)與清漆11相關(guān)的第2信息16。
[0100]作為第2信息16,具體地說(shuō)作為與粒子相關(guān)的信息,例如可舉出粒子的種類(lèi)、粒子的混合比例、粒子的最大長(zhǎng)度的平均值(在粒子為球形狀的情況下為平均粒徑)等。此外，在粒子包含后述的熒光體的情況下，作為與粒子相關(guān)的信息，還可舉出熒光體的吸收峰值波長(zhǎng)。另外，作為第2信息16，具體地說(shuō)作為與固化性樹(shù)脂相關(guān)的信息，例如可舉出固化性樹(shù)脂的種類(lèi)、固化性樹(shù)脂的粘度、固化性樹(shù)脂的混合比例以及固化性樹(shù)脂的固化速度等。并且，作為第2信息16，具體地說(shuō)作為與清漆相關(guān)的信息，例如可舉出清漆的粘度。另外，作為第2信息16，在脫模片材28 (后述)設(shè)置有定位標(biāo)記(未圖示)的情況下，還可舉出涂布后的多個(gè)清漆11的相對(duì)位置信息等。
[0101]中央控制裝置2與第2信息采集裝置22通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接，構(gòu)成為從光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4所具有的第2信息采集裝置22輸入第2信息16。
[0102]另外，控制部門(mén)5例如還能夠設(shè)置在能夠制造與用光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4的片材制造裝置34 (后述)制造的密封片材12相同的密封片材12的密封片材制造工廠(chǎng)內(nèi)。構(gòu)成為從密封片材制造工廠(chǎng)的控制部門(mén)5所具有的第2信息采集裝置22輸入第2信息16。
[0103]第1CPU8是基于第I存儲(chǔ)器6所存儲(chǔ)的第I信息15以及第2存儲(chǔ)器7所存儲(chǔ)的第2信息16生成密封片材12的制造條件的信息生成單元。
[0104]在第1CPU8中預(yù)先存儲(chǔ)有規(guī)定的程序處理，第1CPU8按照程序處理生成密封片材12的制造條件。
[0105]作為密封片材12的制造條件，例如可舉出密封片材12的層結(jié)構(gòu)的種類(lèi)、清漆11的涂布條件等。此外，在密封片材12為后述的B階段的情況下，還可舉出使A階段的清漆11進(jìn)行B階段化時(shí)的清漆11的加熱條件、活性能量射線(xiàn)的照射條件等。另外，還可舉出B階段的密封片材12的壓縮彈性率。
[0106]如參照?qǐng)D2和圖3那樣，密封片材12例如以具備含有熒光體的熒光體層26的含熒光體的密封片材、即熒光體片材構(gòu)成。作為密封片材12的層結(jié)構(gòu)，例如可舉出如圖2A?圖2E所示那樣熒光體層26能夠與光半導(dǎo)體元件13 (虛擬線(xiàn))直接接觸的接觸結(jié)構(gòu)、并且例如圖3F和圖3G所示那樣熒光體層26能夠覆蓋光半導(dǎo)體元件13、另一方面在熒光體層26與光半導(dǎo)體元件13 (虛擬線(xiàn))之間隔著間隔的分離結(jié)構(gòu)等。
[0107]在圖2和圖3中虛擬線(xiàn)示出被埋設(shè)于密封片材12的光半導(dǎo)體元件13。
[0108]作為接觸結(jié)構(gòu)的密封片材12，從例如圖2A所示那樣僅由熒光體層26構(gòu)成的密封片材12A、如圖2B所示那樣具備熒光體的濃度不同且在厚度方向上層疊的多個(gè)熒光體層26A和26B的密封片材12B、如圖2C所示那樣具備具有向下方打開(kāi)的凹部的樹(shù)脂層27和填充到凹部的熒光體層26的密封片材12C、參照?qǐng)D2D和圖2E那樣具備俯視觀(guān)察大致圓形狀或者俯視觀(guān)察大致矩形狀的熒光體層26和形成于其周?chē)臉?shù)脂層27的密封片材12、SP如圖2D所示那樣隨著熒光體層26形成為朝向上側(cè)而寬度變大的截面觀(guān)察大致梯形狀的密封片材12D并且如圖2E所示那樣熒光體層26形成為截面觀(guān)察大致矩形狀的密封片材12E等中選擇。
[0109]另外，作為分離結(jié)構(gòu)的密封片材12，例如從圖3F所示那樣具備樹(shù)脂層27和形成于樹(shù)脂層27的上側(cè)的熒光體層26的密封片材12F、或者例如圖3G所示那樣具備樹(shù)脂層27、形成于樹(shù)脂層27的上側(cè)的熒光體層26以及在樹(shù)脂層27的下側(cè)仰視觀(guān)察形成為包圍要形成光半導(dǎo)體元件13的部分的功能層29的密封片材12G等中選擇。此外，在圖3G中，通過(guò)在樹(shù)脂中混合具備熒光體等的波長(zhǎng)變換功能、白色顏料(具體地說(shuō)，二氧化鈦等)等光反射功能的功能材料，來(lái)從功能層29中選擇。
[0110]具體地說(shuō)，作為具有上述各種結(jié)構(gòu)的密封片材12，可舉出公知的密封片材，具體地說(shuō)，作為接觸結(jié)構(gòu)的密封片材12，例如從日本特開(kāi)2010-067641號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2009-231750號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2009-188207號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2009-182149號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2009-099784號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2009-060031號(hào)公報(bào)等所記載的密封片材(熒光體片材)中選擇(決定)，并且，作為分離結(jié)構(gòu)的密封片材12，例如從日本特開(kāi)2011-258634號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2011-228525號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2011-159874號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2011-082340號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2010-192844號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2010-153500號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2010-123802號(hào)公報(bào)等所記載的密封片材(熒光體片材)中選擇(決定)。
[0111]適當(dāng)?shù)剡x擇具有接觸結(jié)構(gòu)的熒光體層26、熒光體的濃度不同的兩個(gè)熒光體層26A和熒光體層26B以及樹(shù)脂層27(包含凹部)的尺寸，從所述公開(kāi)公報(bào)所記載的范圍中選擇。
[0112]作為清漆11的涂布條件，例如可舉出緊接著涂布之后的清漆11的形狀、緊接著涂布之后的清漆11的厚度等。此外，所述形狀包含清漆11相互隔開(kāi)間隔而成的形狀。
[0113]如圖1所示，第1CPU8被配置成能夠讀取第I存儲(chǔ)器6所存儲(chǔ)的第I信息15和第2存儲(chǔ)器7所存儲(chǔ)的第2信息16。
[0114]如圖1所示，第5存儲(chǔ)器10是用于存儲(chǔ)用第1CPU8生成的密封片材12的制造條件的區(qū)域。
[0115]此外，在第5存儲(chǔ)器10中設(shè)置有記錄區(qū)域(未圖示)，該記錄區(qū)域(未圖示)能夠記錄與本次之前制造密封片材12的制造條件相關(guān)的第5信息19。此外，記錄區(qū)域所記錄并累積的第5信息19被配置成在本次的制造過(guò)程中用第1CPU8讀取并再次用第1CPU8生成密封片材12的制造條件。
[0116]光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4具備片材制造裝置34和密封裝置32。
[0117]片材制造裝置34具備清漆制造裝置33、片材化裝置31以及片材制造控制裝置3 (客戶(hù)端裝置)。
[0118]清漆制造裝置33例如具備容器52，該容器52配備攪拌機(jī)51。
[0119]片材化裝置31例如具備分配器、涂抹器、狹縫式涂布機(jī)等涂布裝置53。作為涂布裝置53，優(yōu)選舉出分配器。另外，片材化裝置31還能夠具備干燥機(jī)55，該干燥機(jī)55具有在上下方向上相互隔開(kāi)間隔配置的加熱器54。
[0120]片材制造控制裝置3 (客戶(hù)端裝置)具備第2信息收發(fā)單元38、作為第3信息存儲(chǔ)單元的第3存儲(chǔ)器23、作為第4信息存儲(chǔ)單元的第4存儲(chǔ)器24以及片材制造控制單元即作為修正單元的第2CPU25。
[0121]中央控制裝置2的第I信息收發(fā)單元37與片材制造控制裝置3的第2信息收發(fā)單元38通過(guò)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程連接。
[0122]第3存儲(chǔ)器23存儲(chǔ)與用第1CPU8生成的密封片材12的制造條件相關(guān)的第3信息17。
[0123]第3信息17包含用第1CPU8生成的密封片材12的制造條件。
[0124]第3存儲(chǔ)器23配置成被從第5存儲(chǔ)器10輸入用第1CPU8生成的第3信息17。
[0125]第4存儲(chǔ)器24存儲(chǔ)第4信息18，該第4信息18包含粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件13中至少一種的批次信息和/或每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量。
[0126]批次信息為隨著批次的變更而變動(dòng)的信息，具體地說(shuō)，可舉出根據(jù)批次不同而不同的粒子的最大長(zhǎng)度的平均值(在粒子為球形狀的情況下，平均粒徑)等，并且，可舉出根據(jù)批次不同而不同的固化性樹(shù)脂的粘度等。此外，在粒子包含熒光體的情況下，作為熒光體的批次信息可舉出根據(jù)批次不同而不同的熒光體的吸收峰值波長(zhǎng)。并且，作為與根據(jù)批次不同而不同的清漆相關(guān)的信息，可舉出由所述粒子和/或固化性樹(shù)脂的批次不同而引起的清漆的粘度。
[0127]作為每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量，以每個(gè)月期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量、例如從1000個(gè)以上、優(yōu)選為5000個(gè)以上且例如200,000個(gè)以下的范圍中選擇。
[0128]第4存儲(chǔ)器24配置成被從光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4內(nèi)的第I信息采集裝置21以及光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4或者控制部門(mén)5內(nèi)的第2信息采集裝置22輸入第4信息18。
[0129]作為第4信息18中從第I信息采集裝置21輸入的第4信息18B，例如可舉出光半導(dǎo)體元件13的批次信息、每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量，并且，作為從第2信息采集裝置22輸入的第4信息18A，例如可舉出粒子的批次信息、固化性樹(shù)脂的批次信息以及清漆的批次信息。
[0130]在第2CPU25中預(yù)先存儲(chǔ)有規(guī)定的程序處理，第2CPU25基于第3存儲(chǔ)器23所存儲(chǔ)的第3信息17，對(duì)清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行控制。另外，第2CPU25還能夠基于第4存儲(chǔ)器24所存儲(chǔ)的第4信息18，對(duì)清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行修正。
[0131]第2CPU25被配置成能夠讀取第3存儲(chǔ)器23所存儲(chǔ)的第3信息17以及第4存儲(chǔ)器24所存儲(chǔ)的第4信息18。
[0132]第2CPU25被配置成能夠?qū)Ω髑迤嶂圃煅b置33和片材化裝置31分別控制且修正清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件。
[0133]密封裝置32具備加壓裝置35和密封控制裝置36。
[0134]加壓裝置35例如在上下方向上隔開(kāi)間隔相對(duì)置，可選擇具有兩個(gè)平板41的加壓機(jī)等，該兩個(gè)平板41能夠在上下方向上按壓密封片材12和基板14。
[0135]密封控制裝置36被配置成能夠控制密封工序S3的密封條件。此外，被配置成在密封控制裝置36中設(shè)置有未圖示的存儲(chǔ)器，被從第I信息采集裝置21輸入密封工序S3的密封條件，而且，控制密封工序S3的密封條件。
[0136]接著，說(shuō)明利用該系統(tǒng)I在光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4制造光半導(dǎo)體裝置20的方法。
[0137]1.制造條件生成工序
[0138]在該方法中，首先，用第I信息采集裝置21的第3信息收發(fā)單元接收第I信息15，并且將第I信息15發(fā)送給中央控制裝置2。中央控制裝置2的第I信息收發(fā)單元37接收第I信息15而發(fā)送給第I存儲(chǔ)器6。在所述信息發(fā)送方法中，例如還能夠通過(guò)對(duì)第I信息采集裝置21與中央控制裝置2進(jìn)行連接的網(wǎng)絡(luò)等線(xiàn)路來(lái)發(fā)送第I信息15。
[0139]另外，用第2信息采集裝置22的第3信息收發(fā)單元接收第2信息16，將第2信息16發(fā)送給中央控制裝置2。中央控制裝置2的第I信息收發(fā)單元37接收第2信息16發(fā)送給第2存儲(chǔ)器7。所述發(fā)送方法與將第I信息15發(fā)送給第I存儲(chǔ)器6的發(fā)送方法相同。
[0140]接著，第1CPU8讀取第I存儲(chǔ)器6所存儲(chǔ)的第I信息15和第2存儲(chǔ)器7所存儲(chǔ)的第2信息16，接著，按照規(guī)定的程序處理，基于這些第I信息15和第2信息16，生成密封片材12的制造條件作為第3信息17 (接著詳細(xì)進(jìn)行說(shuō)明)。
[0141]2.制造控制工序
[0142]之后，用第1CPU8生成的第3信息17被記錄到第5存儲(chǔ)器10，接著，第5存儲(chǔ)器10所記錄的第3信息17通過(guò)第I信息收發(fā)單元37被發(fā)送給片材制造控制裝置3，片材制造控制裝置3的第2信息收發(fā)單元38接收第3信息17，發(fā)送給第3存儲(chǔ)器23。
[0143]將第3信息17發(fā)送給第3存儲(chǔ)器23的方法與將第I信息15發(fā)送給第I存儲(chǔ)器6的發(fā)送方法相同。
[0144]另外，用第I信息采集裝置21和第2信息采集裝置22的第3信息收發(fā)單元將第4信息18發(fā)送給片材制造控制裝置3，片材制造控制裝置3的第2信息收發(fā)單元38接收第4信息18并發(fā)送給第4存儲(chǔ)器24。將第4信息18發(fā)送給第4存儲(chǔ)器24的方法與將第I信息15發(fā)送給第I存儲(chǔ)器6的發(fā)送方法相同。
[0145]之后，第2CPU25讀取第3存儲(chǔ)器23所存儲(chǔ)的第3信息17，接著，按照規(guī)定的程序處理，基于第3信息17對(duì)清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行控制。
[0146]而且，在片材制造裝置34中，基于用第2CPU25控制的制造條件，依次實(shí)施清漆制造工序SI和片材制造工序S2。
[0147]3.清漆制造工序SI
[0148]在清漆制造裝置33中，首先，按照用第2CPU25控制的制造條件實(shí)施清漆制造工序SI。
[0149]具體地說(shuō)，在清漆制造工序SI中，首先，分別準(zhǔn)備粒子和固化性樹(shù)脂，將這些粒子和固化性樹(shù)脂進(jìn)行混合，將清漆11制備為含粒子的固化性樹(shù)脂組合物。
[0150]作為粒子，例如從熒光體、填充劑等中選擇。
[0151]熒光體具有波長(zhǎng)變換功能，例如從能夠?qū)⑺{(lán)色光變換為黃色光的黃色熒光體、能夠?qū)⑺{(lán)色光變換為紅色光的紅色熒光體等中選擇。
[0152]作為黃色熒光體，例如從(Ba，Sr，Ca)2Si04;Eu、(Sr，Ba)2Si04:Eu(正硅酸鋇(BOS))等硅酸鹽熒光體、例如Y3Al5O12: Ce (YAG (釔?鋁?石榴石):Ce)、Tb3Al3O12: Ce (TAG (鋱?鋁?石榴石):Ce)等具有石榴石型晶體結(jié)構(gòu)的石榴石型熒光體、例如Ca-a -SiAlON等氮氧化物熒光體等中選擇。
[0153]作為紅色熒光體，例如從CaAlSiN3:Eu、CaSiN2:Eu等氮化物熒光體等中選擇。
[0154]作為熒光體的形狀,例如從球狀、板狀、針狀等中選擇。
[0155]熒光體的最大長(zhǎng)度的平均值(在是球狀的情況下，平均粒徑)例如從0.1 μπι以上、優(yōu)選為I μ m以上且例如200 μ m以下、優(yōu)選100 μ m以下的范圍中選擇。
[0156]突光體的吸收峰值波長(zhǎng)例如從300nm以上、優(yōu)選為430nm以上且例如550nm以下、優(yōu)選470nm以下的范圍中選擇。
[0157]以單獨(dú)使用或者一起使用的方式選擇熒光體。
[0158]熒光體的混合比例從相對(duì)于固化性樹(shù)脂100質(zhì)量部例如為0.1質(zhì)量部以上、優(yōu)選為0.5質(zhì)量部以上且例如為80質(zhì)量部以下、，優(yōu)選50質(zhì)量部以下的范圍中選擇。
[0159]作為填充劑，例如從有機(jī)硅粒子(具體地說(shuō)，包含有機(jī)硅橡膠粒子)等有機(jī)微粒子、例如二氧化硅(例如，煙霧二氧化硅等)、滑石、氧化鋁、氮化鋁、氮化硅等無(wú)機(jī)微粒子中選擇。另外，填充劑的最大長(zhǎng)度的平均值(在為球狀的情況下，平均粒徑)例如從0.1 μπι以上、優(yōu)選I μ m以上且例如200 μ m以下、優(yōu)選100 μ m以下的范圍中選擇。以單獨(dú)使用或者一起使用的方式選擇填充劑。填充劑的混合比例從相對(duì)于固化性樹(shù)脂100質(zhì)量部例如0.1質(zhì)量部以上、優(yōu)選0.5質(zhì)量部以上且例如70質(zhì)量部以下、優(yōu)選50質(zhì)量部以下的范圍中選擇。
[0160]作為固化性樹(shù)脂，例如從兩階段固化型樹(shù)脂中選擇，該兩階段固化型樹(shù)脂具有兩個(gè)階段的反應(yīng)機(jī)理，通過(guò)第一階段的反應(yīng)B階段化(半固化)，通過(guò)第二階段的反應(yīng)C階段化(完全固化)。
[0161]作為兩階段固化型樹(shù)脂，例如從通過(guò)加熱而固化的兩階段固化型熱固性樹(shù)脂、例如通過(guò)照射活性能量射線(xiàn)(例如紫外線(xiàn)、電子線(xiàn)等)而固化的兩階段固化型活性能量射線(xiàn)固化性樹(shù)脂等中選擇。優(yōu)選選擇兩階段固化型熱固性樹(shù)脂。
[0162]具體地說(shuō)，作為兩階段固化型熱固性樹(shù)脂，例如從有機(jī)硅樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、尿素樹(shù)脂、三聚氰胺樹(shù)脂、不飽和聚酯樹(shù)脂等中選擇。從光透過(guò)性和耐久性的觀(guān)點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選從兩階段固化型有機(jī)硅樹(shù)脂中選擇。
[0163]作為兩階段固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如從具有縮合反應(yīng)和加成反應(yīng)這兩種反應(yīng)體系的縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂等中選擇。
[0164]作為這樣的縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)娃樹(shù)脂，選自:例如含有硅烷醇基兩末端聚硅氧烷、含烯基的三烷氧基硅烷、有機(jī)氫聚硅氧烷、縮合催化劑以及氫化硅烷化催化劑的第一縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)娃樹(shù)脂，例如含有硅烷醇基兩末端聚硅氧烷、含烯屬不飽和烴基的硅化合物、含烯屬不飽和烴基的硅化合物、有機(jī)氫聚硅氧烷、縮合催化劑以及氫化硅烷化催化劑的第二縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如含有兩末端硅烷醇基型硅油、含烯基的二烷氧基烷基硅烷、有機(jī)氫聚硅氧烷、縮合催化劑以及氫化硅烷化催化劑的第三縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如含有I分子中至少具有2個(gè)烯基硅烷基的有機(jī)聚硅氧烷、I分子中至少具有2個(gè)氫化硅烷基的有機(jī)聚硅氧烷、氫化硅烷化催化劑以及固化延遲劑的第四縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如含有在I分子中同時(shí)具有至少2個(gè)烯屬不飽和烴基和至少2個(gè)氫化硅烷基的第一有機(jī)聚硅氧烷、不含烯屬不飽和烴基且在I分子中具有至少2個(gè)氫化硅烷基的第二有機(jī)聚硅氧烷、氫化硅烷化催化劑以及氫化硅烷化抑制劑的第五縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如含有在I分子中同時(shí)具有至少2個(gè)烯屬不飽和烴基和至少2個(gè)硅烷醇基的第一有機(jī)聚硅氧烷、不含烯屬不飽和烴基且I分子中具有至少2個(gè)氫化硅烷基的第二有機(jī)聚硅氧烷、氫化硅烷化抑制劑以及氫化硅烷化催化劑的第六縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如含有硅化合物以及硼化合物或者鋁化合物的第七縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂，例如含有聚鋁硅氧烷以及硅烷偶聯(lián)劑的第八縮合反應(yīng)/加成反應(yīng)固化型有機(jī)硅樹(shù)脂等。
[0165]A階段的兩階段固化型樹(shù)脂的粘度例如從3000mPa *s以上、優(yōu)選5000mPa *s以上且例如20000mPa.s以下、優(yōu)選15000mPa.s以下的范圍中選擇。此外，將A階段的兩階段固化型樹(shù)脂的溫度調(diào)節(jié)為25°C，使用E型圓錐以轉(zhuǎn)速99s—1測(cè)量A階段的兩階段固化型樹(shù)脂的粘度。通過(guò)與所述方法相同的方法測(cè)量以下的粘度。
[0166]固化性樹(shù)脂的混合比例從相對(duì)于含粒子的固化性樹(shù)脂組合物(清漆)例如30質(zhì)量％以上、優(yōu)選40質(zhì)量％以上、更優(yōu)選50質(zhì)量％以上且例如98質(zhì)量％以下、優(yōu)選95質(zhì)量％以下、更優(yōu)選90質(zhì)量％以下的范圍中選擇。
[0167]另外，根據(jù)需要，還能夠使含粒子的固化性樹(shù)脂組合物含有溶劑。
[0168]作為溶劑，選自:例如己烷等脂肪族烴，例如二甲苯等芳香族烴，例如乙烯基甲基環(huán)狀硅氧烷、兩末端乙烯基聚二甲基硅氧烷等硅氧烷等。溶劑以含顆粒固化性樹(shù)脂組合物成為后述的粘度那樣的配混比例在含顆粒的固化性樹(shù)脂組合物中配混。
[0169]在制備含粒子的固化性樹(shù)脂組合物時(shí)，具體地說(shuō)，如圖1所示，在清漆制造裝置33中，基于用第2CPU25控制的清漆制造工序SI的制造條件，例如用第2CPU25控制的與密封片材12的層結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的清漆11的種類(lèi)，更具體地說(shuō)用第2CPU25控制的粒子的種類(lèi)、粒子的混合比例、粒子的最大長(zhǎng)度的平均值(在粒子為球形狀的情況下，平均粒徑)、固化性樹(shù)脂的種類(lèi)、固化性樹(shù)脂的粘度、固化性樹(shù)脂的混合比例、在粒子包含熒光體的情況下熒光體的吸收峰值波長(zhǎng)、清漆11的粘度等，在容器52內(nèi)混合所述各成分。接著，使用攪拌機(jī)51來(lái)混合這些所述各成分。
[0170]由此，制備清漆11。
[0171]此外，在固化性樹(shù)脂為兩階段固化型樹(shù)脂的情況下，以A階段的含粒子的固化性樹(shù)脂組合物制備清漆11。
[0172]將清漆11在25°C、一個(gè)氣壓條件下的粘度例如調(diào)整為l，000mPa *s以上、優(yōu)選4，OOOmPa.s以上且例如1，000，OOOmPa.s以下、優(yōu)選100，OOOmPa.s以下的范圍內(nèi)。
[0173]4.片材制造工序S2
[0174]在片材化裝置31中，在清漆制造工序SI之后，按照用第2CPU25控制的制造條件實(shí)施片材制造工序S2。
[0175]即，從清漆11形成密封片材12。
[0176]在形成密封片材12時(shí)，例如首先將清漆11涂布到脫模片材28的表面。
[0177]作為脫模片材28，例如從聚乙烯膜、聚酯膜(PET等)等聚合物膜、例如陶瓷片材、例如金屬箔等中選擇。優(yōu)選從聚合物膜中選擇。另外，還能夠在脫模片材28的表面實(shí)施氟處理等剝離處理。另外，脫模片材28的形狀并不特別進(jìn)行限定，例如從俯視觀(guān)察大致矩形狀(包含短形條狀、長(zhǎng)條狀)等中選擇。并且，作為脫模片材28，選擇是否形成定位標(biāo)記(未圖示)以及定位標(biāo)記的位置信息、尺寸等。形成標(biāo)記以確保涂布清漆11的區(qū)域。
[0178]在將清漆11涂布到脫模片材28的表面時(shí)，例如選擇分配器、涂抹器、狹縫式涂布機(jī)等涂布裝置53。優(yōu)選選擇分配器。
[0179]從清漆11的涂布條件中選擇密封片材12的厚度，以使其例如成為10 μ m以上、優(yōu)選50 μ m以上且例如2000 μ m以下、優(yōu)選1000 μ m以下。
[0180]也就是說(shuō)，從涂布裝置53的涂布條件中選擇以將清漆11調(diào)節(jié)為用第2CPU25控制的制造條件，具體地說(shuō)是用第2CPU25控制的緊接著涂布之后的清漆11的形狀、緊接著涂布之后的清漆11的厚度。
[0181]此外，在脫模片材28形成有定位標(biāo)記(未圖示)的情況下，一邊用涂布裝置53所配備的傳感器(未圖示)確認(rèn)相對(duì)于定位標(biāo)記的涂布位置一邊調(diào)節(jié)清漆11相對(duì)于定位標(biāo)記的相對(duì)位置。
[0182]之后，在清漆11含有兩階段固化型樹(shù)脂的情況下，使清漆IlB階段化。具體地說(shuō)，如果從熱固型中選擇兩階段固化型樹(shù)脂，則將清漆11投放到干燥機(jī)55內(nèi)來(lái)對(duì)清漆11進(jìn)行加熱。
[0183]加熱條件從加熱溫度例如為40°C以上、優(yōu)選80°C以上、更優(yōu)選100°C以上且例如2000C以下、優(yōu)選150°C以下、更優(yōu)選140°C以下的范圍中選擇。加熱時(shí)間例如從I分鐘以上、優(yōu)選5分鐘以上、更優(yōu)選10分鐘以上且例如24小時(shí)以下、優(yōu)選I小時(shí)以下、更優(yōu)選0.5小時(shí)以下的范圍中選擇。
[0184]另一方面，如果從活性能量固化型中選擇兩階段固化型樹(shù)脂，則使用紫外線(xiàn)燈(未圖示)對(duì)清漆11照射紫外線(xiàn)。
[0185]由此，制造在脫模片材28的表面層疊的密封片材12。
[0186]將密封片材12在25°C時(shí)的壓縮彈性率調(diào)節(jié)為例如0.040MPa以上、優(yōu)選0.050MPa以上、更優(yōu)選0.075MPa以上、進(jìn)一步優(yōu)選0.1OOMPa以上且例如0.145MPa以下、優(yōu)選
0.140MPa以下、更優(yōu)選0.135MPa以下、進(jìn)一步優(yōu)選0.125MPa以下的范圍。
[0187]5.密封工序S3
[0188]在密封裝置32的加壓裝置35中，在片材制造工序S2之后，按照用密封控制裝置36控制的條件實(shí)施密封工序S3。
[0189]具體地說(shuō)，在密封工序S3中，首先準(zhǔn)備安裝了光半導(dǎo)體元件13的基板14。
[0190]基板14例如從在硅基板、陶瓷基板、聚酰亞胺樹(shù)脂基板、金屬基板上層疊絕緣層得到的層疊基板等絕緣基板中選擇。
[0191]另外，在基板14的表面形成有導(dǎo)體圖案(未圖不)，該導(dǎo)體圖案(未圖不)具備用于與以下說(shuō)明的光半導(dǎo)體元件13的端子(未圖示)進(jìn)行電連接的電極(未圖示)以及與該電極(未圖示)連續(xù)的布線(xiàn)。導(dǎo)體圖案例如從金、銅、銀、鎳等導(dǎo)體中選擇。
[0192]另外，基板14的表面形成為平坦?fàn)??；蛘撸m然并未圖示，但是也可以在基板14的要安裝光半導(dǎo)體元件13的表面形成向下方凹下的凹部。
[0193]基板14的外形形狀并不特別進(jìn)行限定，例如從俯視觀(guān)察大致矩形狀、俯視觀(guān)察大致圓形狀等中選擇。適當(dāng)?shù)剡x擇基板14的尺寸，例如從最大長(zhǎng)度例如2mm以上、優(yōu)選1mm以上且例如300mm以下、優(yōu)選10mm以下的范圍中選擇。
[0194]光半導(dǎo)體元件13是將電能變換為光能的LED(發(fā)光二極管元件)、LD(激光二極管)等，例如從厚度比面方向長(zhǎng)度(與厚度方向正交的正交方向長(zhǎng)度)短的截面觀(guān)察大致矩形狀中選擇。作為光半導(dǎo)體元件13，優(yōu)選從發(fā)出藍(lán)色光的藍(lán)色LED中選擇。根據(jù)用途和目的適當(dāng)?shù)剡x擇光半導(dǎo)體元件13的尺寸，具體地說(shuō)，從厚度例如10 μπι以上且100ym以下而最大長(zhǎng)度例如0.05mm以上、優(yōu)選0.1mm以上且例如5mm以下、優(yōu)選2mm以下的范圍中選擇。
[0195]光半導(dǎo)體兀件13的發(fā)光峰值波長(zhǎng)例如從400nm以上、優(yōu)選430nm以上且例如500nm以下、優(yōu)選470nm以下的范圍中選擇。
[0196]例如將光半導(dǎo)體元件13倒裝安裝到基板14或者引線(xiàn)接合連接到基板14。
[0197]另外，能夠?qū)σ粋€(gè)基板14安裝多個(gè)(在圖1中3個(gè))光半導(dǎo)體元件13。每一個(gè)基板14的光半導(dǎo)體元件13的安裝數(shù)例如從I以上、優(yōu)選4以上且例如2000以下、優(yōu)選400以下的范圍中選擇。
[0198]接著，在該方法中，將安裝了光半導(dǎo)體元件13的基板14設(shè)置于加壓裝置35。
[0199]在將安裝了光半導(dǎo)體元件13的基板14設(shè)置于加壓裝置35時(shí)，具體地說(shuō)，將安裝了光半導(dǎo)體元件13的基板14設(shè)置于下側(cè)的平板41。
[0200]接著，使層疊在脫模片材28的上表面的密封片材12進(jìn)行上下反轉(zhuǎn)，使其與光半導(dǎo)體元件13的上側(cè)相對(duì)置。也就是說(shuō)，將密封片材12配置成朝向光半導(dǎo)體元件13。
[0201]接著，用密封片材12覆蓋光半導(dǎo)體元件13。用密封片材12埋設(shè)光半導(dǎo)體元件13。
[0202]具體地說(shuō)，基于用密封控制裝置36控制的加壓條件，用密封片材12覆蓋光半導(dǎo)體元件13。
[0203]具體地說(shuō)，如圖1的箭頭所示，使密封片材12下降(按下)。詳細(xì)地說(shuō)，將密封片材12加壓到安裝了光半導(dǎo)體元件13的基板14。
[0204]由此，用密封片材12覆蓋光半導(dǎo)體元件13。
[0205]也就是說(shuō)，用密封片材12埋設(shè)光半導(dǎo)體元件13，并且在密封片材12具備熒光體層26的情況下,用突光體層26覆蓋光半導(dǎo)體兀件13。
[0206]詳細(xì)地說(shuō)，如圖2A?圖2G所示，在從接觸結(jié)構(gòu)中選擇密封片材12的熒光體層26的層結(jié)構(gòu)的情況下，熒光體層26與光半導(dǎo)體元件13(圖2的虛擬線(xiàn))的表面直接接觸，用熒光體層26覆蓋光半導(dǎo)體元件13。也就是說(shuō)，熒光體層26密封光半導(dǎo)體元件13。換言之，突光體層26兼作密封層。
[0207]另一方面，如圖3F和圖3G所示，在從分離結(jié)構(gòu)中選擇密封片材12的熒光體層26的層結(jié)構(gòu)的情況下，熒光體層26被配置成與光半導(dǎo)體元件13 (圖3的虛擬線(xiàn))隔著樹(shù)脂層27并且覆蓋光半導(dǎo)體元件13的上側(cè)。另一方面，樹(shù)脂層27與光半導(dǎo)體元件13(圖2的虛擬線(xiàn))的表面直接接觸并覆蓋光半導(dǎo)體元件13。也就是說(shuō)，樹(shù)脂層27密封光半導(dǎo)體元件13而形成密封層。
[0208]之后，如果密封片材12處于B階段，則使密封片材12C階段化。
[0209]例如，根據(jù)用密封控制裝置36控制的、C階段化中的密封片材12的加熱條件、活性能量射線(xiàn)的照射條件，使密封片材12C階段化。
[0210]具體地說(shuō)，在從熱固化型中選擇兩階段固化型樹(shù)脂的情況下，對(duì)B階段的密封片材12進(jìn)行加熱。
[0211]詳細(xì)具體地說(shuō)，一邊維持平板41對(duì)密封片材12的加壓狀態(tài)一邊投放到干燥機(jī)內(nèi)。由此，對(duì)B階段的密封片材12進(jìn)行加熱。
[0212]加熱溫度例如從80°C以上、優(yōu)選100°C以上且例如200°C以下、優(yōu)選180°C以下的范圍中選擇。另外，加熱時(shí)間例如從10分鐘以上、優(yōu)選30分鐘以上且例如10小時(shí)以下、優(yōu)選5小時(shí)以下的范圍中選擇。
[0213]通過(guò)密封片材12的加熱，使B階段的密封片材12C階段化(完全固化)。
[0214]另一方面，在從活性能量射線(xiàn)固化型中選擇兩階段固化型樹(shù)脂的情況下，通過(guò)將活性能量射線(xiàn)照射到密封片材12，使B階段的密封片材12C階段化(完全固化)。具體地說(shuō)，使用紫外線(xiàn)燈等對(duì)B階段的密封片材12照射紫外線(xiàn)。
[0215]由此，制造出具備密封片材12、用密封片材12密封的光半導(dǎo)體元件13以及安裝了光半導(dǎo)體元件13的基板14的光半導(dǎo)體裝置20。
[0216]在圖1中，在一個(gè)光半導(dǎo)體裝置20中設(shè)置有多個(gè)(三個(gè))光半導(dǎo)體元件13。
[0217]之后，如箭頭所示，從密封片材12剝下脫模片材28。
[0218]此外，之后，根據(jù)需要在將多個(gè)光半導(dǎo)體元件13安裝于一個(gè)基板14的情況下，還能夠與各光半導(dǎo)體元件13對(duì)應(yīng)地切斷密封片材12而單片化。
[0219]6.制造條件的累積、批次變更和每個(gè)單位期間的制造量
[0220]在本次之前的密封片材12的制造過(guò)程中，將清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件記錄與累積到第5存儲(chǔ)器10的記錄區(qū)域(未圖示)。
[0221]也就是說(shuō)，第5存儲(chǔ)器10將第3信息17輸入到第3存儲(chǔ)器23，并且將第3信息17作為是過(guò)去信息的第5信息19，直接累積到第5存儲(chǔ)器10的記錄區(qū)域。
[0222]而且，通過(guò)本次的密封片材12的制造，第1CPU8讀取累積到第5存儲(chǔ)器10的、本次之前制造密封片材12的清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件，根據(jù)該制造條件生成本次的清漆制造工序SI的制造條件以及本次的片材制造工序S2的制造條件。
[0223]另外，粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息和/或每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量發(fā)生變動(dòng)。與該變動(dòng)對(duì)應(yīng)地，將這些第4信息18從第I信息采集裝置21和第2信息采集裝置22發(fā)送給第4存儲(chǔ)器24，接著，第2CPU25讀取第4存儲(chǔ)器24所存儲(chǔ)的第4信息18，按照規(guī)定的程序處理，對(duì)清漆制造工序SI的制造條件和/或片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行修正。
[0224][作用效果]
[0225]通過(guò)本發(fā)明，能夠?qū)υO(shè)置于與中央控制裝置、客戶(hù)端裝置和信息采集裝置不同的位置(異地設(shè)置的位置)的片材制造工序?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)程控制。
[0226]而且，在該系統(tǒng)I中，中央控制裝置2具備第I存儲(chǔ)器6、第2存儲(chǔ)器7以及第1CPU8，另一方面，片材制造控制裝置3 (客戶(hù)端裝置)具備第3存儲(chǔ)器23和第2CPU25。
[0227]而且，中央控制裝置2將各第I信息15和第2信息16分別存儲(chǔ)到第I存儲(chǔ)器6和第2存儲(chǔ)器7，用第1CPU8生成片材制造工序S2的制造條件，能夠?qū)⒃撝圃鞐l件提供給片材制造控制裝置3 (客戶(hù)端裝置)。
[0228]而且，在片材制造控制裝置3中，將與從中央控制裝置2提供的制造條件相關(guān)的第3信息17存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)器23，根據(jù)所述第3信息17，用第2CPU25控制片材制造工序S2的制造條件。
[0229]因此，能夠與片材制造控制裝置3分開(kāi)地在中央控制裝置2中生成片材制造工序S2的制造條件，并且能夠用片材制造控制裝置3控制片材制造工序S2的制造條件。
[0230]另外，與從中央控制裝置2提供的片材制造工序S2的制造條件相關(guān)的第3信息17基于第I信息15和第2信息16。因此，片材制造控制裝置3能夠基于從中央控制裝置2提供的第3信息17，用第2CPU25高精度地控制片材制造工序S2的制造條件。其結(jié)果，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0231]另外，在該系統(tǒng)I中，第1CPU8基于第I存儲(chǔ)器6所存儲(chǔ)的第I信息15以及第2存儲(chǔ)器7所存儲(chǔ)的第2信息16，還生成清漆制造工序SI的制造條件，第2CPU25基于第3存儲(chǔ)器23所存儲(chǔ)的第3信息17，還控制清漆制造工序SI的制造條件。因此，能夠高精度地制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20的密封片材12，并且能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0232]并且，根據(jù)該系統(tǒng)1，第I信息15包含與安裝光半導(dǎo)體元件13的基板14相關(guān)的信息，因此中央控制裝置2還和與光半導(dǎo)體元件13相關(guān)的信息以及與光半導(dǎo)體裝置20相關(guān)的信息一起具備與安裝光半導(dǎo)體元件13的基板14相關(guān)的信息。
[0233]因此，片材制造控制裝置3根據(jù)基于第I信息15生成的與片材制造工序S2的制造條件相關(guān)的高精度的第3信息17，能夠更進(jìn)一步高精度地控制片材制造工序S2的制造條件。
[0234]另外，在該系統(tǒng)I中，在片材制造控制裝置3中，用第2CPU25，根據(jù)第4存儲(chǔ)器24所存儲(chǔ)的粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件13中至少一種的批次信息和/或包含每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量的第4信息18，能夠修正片材制造工序S2的制造條件。因此，容易與批次信息和/或光半導(dǎo)體裝置20的制造量的變動(dòng)對(duì)應(yīng)地，對(duì)清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行修正，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0235]并且，根據(jù)該系統(tǒng)I，中央控制裝置2的第5存儲(chǔ)器10能夠累積與本次之前制造密封片材12的制造條件相關(guān)的第5信息19。因此，能夠基于過(guò)去累積的制造條件，在本次制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20的密封片材12，并且能夠在本次高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0236]該中央控制裝置2具備第I存儲(chǔ)器6、第2存儲(chǔ)器7以及第1CPU8。
[0237]因此，根據(jù)該中央控制裝置2，能夠?qū)⒏鞯贗信息15和第2信息16分別存儲(chǔ)到第I存儲(chǔ)器6和第2存儲(chǔ)器7，用第1CPU8生成清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件。
[0238]其結(jié)果，基于所述清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0239]另外，在該中央控制裝置2中，第1CPU8進(jìn)一步基于第I存儲(chǔ)器6所存儲(chǔ)的第I信息15以及第2存儲(chǔ)器7所存儲(chǔ)的第2信息16，生成清漆制造工序SI的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件。因此，能夠高精度地制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20的密封片材12，并且能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0240]另外，根據(jù)該中央控制裝置2，第I信息15包含與安裝光半導(dǎo)體元件13的基板14相關(guān)的信息，因此中央控制裝置2還和與光半導(dǎo)體元件13相關(guān)的信息以及與光半導(dǎo)體裝置20相關(guān)的信息一起具備與安裝光半導(dǎo)體元件13的基板14相關(guān)的信息。
[0241]因此，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0242]根據(jù)該中央控制裝置2，能夠累積與本次之前制造密封片材12的制造條件相關(guān)的第5信息19。因此，基于過(guò)去累積的制造條件，能夠在本次制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20的密封片材12，并且能夠在本次高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0243]根據(jù)該片材制造控制裝置3，能夠?qū)c清漆制造工序SI相關(guān)的制造條件以及與片材制造工序S2的制造條件相關(guān)的制造條件的第3信息17存儲(chǔ)到第3存儲(chǔ)器23，基于所述第3信息17，用第2CPU25高精度地控制與清漆制造工序SI相關(guān)的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件。
[0244]因此，能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0245]另外，根據(jù)該片材制造控制裝置3，第2CPU25進(jìn)一步基于第3存儲(chǔ)器23所存儲(chǔ)的第3信息17控制與清漆制造工序SI相關(guān)的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件，因此能夠高精度地制造適合于設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20的密封片材12，并且能夠高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0246]另外，在該片材制造控制裝置3中，用第2CPU25，基于第4存儲(chǔ)器24所存儲(chǔ)的包含粒子、固化性樹(shù)脂、清漆和光半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息和/或每個(gè)單位期間的光半導(dǎo)體裝置20的制造量的第4信息18，能夠?qū)εc清漆制造工序SI相關(guān)的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行修正。因此，能夠容易與批次信息和/或光半導(dǎo)體裝置20的制造量的變動(dòng)對(duì)應(yīng)地，對(duì)與清漆制造工序SI相關(guān)的制造條件以及片材制造工序S2的制造條件進(jìn)行修正，而高精度地制造設(shè)為目的的光半導(dǎo)體裝置20。
[0247][變形例]
[0248]在圖4以后的說(shuō)明中，對(duì)與圖1相同的部件附加相同的參照標(biāo)記，省略其詳細(xì)說(shuō)明。
[0249]在圖1的實(shí)施方式中，中央控制裝置2與片材制造控制裝置3 (客戶(hù)端裝置)具有一對(duì)一的關(guān)系，即，對(duì)一個(gè)中央控制裝置2設(shè)置有一個(gè)片材制造控制裝置3。但是，中央控制裝置2和片材制造控制裝置3的對(duì)應(yīng)關(guān)系并不限定于此，例如圖4所示，還能夠?qū)σ粋€(gè)中央控制裝置2設(shè)置多個(gè)片材制造控制裝置3。
[0250]具體地說(shuō)，在相互獨(dú)立設(shè)置的多個(gè)光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4各自中設(shè)置有片材制造控制裝置3。中央控制裝置2和多個(gè)片材制造控制裝置3構(gòu)成為能夠從多個(gè)片材制造控制裝置3分別所具有的第I信息采集裝置21將多個(gè)第I信息15發(fā)送給第I存儲(chǔ)器6，并且能夠?qū)⒂玫?CPU8生成的第3信息17從第5存儲(chǔ)器10發(fā)送給多個(gè)第3存儲(chǔ)器23。
[0251]在圖4的實(shí)施方式中，一個(gè)中央控制裝置2對(duì)一個(gè)片材制造控制裝置3A(3)提供第3信息17，并且從一個(gè)片材制造控制裝置3A(3)的第I信息采集裝置21獲取第I信息15而存儲(chǔ)到第I存儲(chǔ)器6，用第5存儲(chǔ)器10累積該第I信息15，而且，還能夠向其它片材制造控制裝置3B (或者其它多個(gè)片材制造控制裝置3B和3C) (3)提供給第3信息17。
[0252]也就是說(shuō)，一個(gè)中央控制裝置2能夠使從多個(gè)片材制造控制裝置3提供的多個(gè)第I信息15(要存儲(chǔ)到第I存儲(chǔ)器6的第I信息15、具體地說(shuō)與光半導(dǎo)體元件13相關(guān)的信息、與基板14相關(guān)的信息、與光半導(dǎo)體裝置20相關(guān)的信息)一元化。即，一個(gè)中央控制裝置2能夠作為能夠匯集多個(gè)片材制造控制裝置3的第I信息15而對(duì)多個(gè)片材制造控制裝置3提供與它們對(duì)應(yīng)的第3信息17的匯集型中央控制裝置2而發(fā)揮功能。
[0253]因此，作為一個(gè)中央控制裝置2的同時(shí)能夠?qū)Ω髌闹圃炜刂蒲b置3提供高精度的第3信息17。
[0254]另外，在圖1的實(shí)施方式中，系統(tǒng)I生成和控制清漆制造工序SI的制造工序。也就是說(shuō)，用片材制造控制裝置3控制清漆制造工序SI的制造條件。但是，還能夠?qū)⑾到y(tǒng)I構(gòu)成為系統(tǒng)I不生成和控制清漆制造工序SI的制造工序。具體地說(shuō)，還能夠不控制清漆制造工序SI的制造條件而僅控制片材制造工序S2的制造條件。
[0255]根據(jù)該實(shí)施方式，第2CPU25不需要控制清漆制造工序SI的制造條件，因此能夠使第2CPU25的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
[0256]另外，在圖1的實(shí)施方式中，密封裝置32、片材化裝置31以及清漆制造裝置33被設(shè)置于光半導(dǎo)體裝置制造工廠(chǎng)4。但是，密封裝置32、片材化裝置31以及清漆制造裝置33還能夠分別被設(shè)置于不同位置的工廠(chǎng)，通過(guò)遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)連接。
[0257]另外，在圖1的實(shí)施方式中設(shè)置兩個(gè)信息采集裝置。根據(jù)需要，還能夠設(shè)置一個(gè)或者三個(gè)以上的信息采集裝置。
[0258]另外，在圖1的實(shí)施方式中，第1、第2、第3信息收發(fā)單元能夠分別具有信息接收單元和信息發(fā)送單元。
[0259]另外，在圖1的實(shí)施方式中，使片材制造控制裝置3作為本發(fā)明的客戶(hù)端裝置來(lái)控制片材制造工序S2的制造條件，密封控制裝置36控制密封工序S3的密封條件，但是，例如還能夠使片材制造控制裝置3兼作密封控制裝置36而構(gòu)成一個(gè)制造控制裝置，控制片材制造工序S2的制造條件和密封工序S3的密封條件兩者。
[0260]另外，在圖2和圖3的實(shí)施方式中，將本發(fā)明的覆蓋片材設(shè)為密封光半導(dǎo)體元件13的密封片材12進(jìn)行了說(shuō)明，但是并不限定于此，例如圖5所示，還能夠選擇為在預(yù)先密封光半導(dǎo)體元件13的樹(shù)脂層(密封層)27(參照?qǐng)D5A)上層疊的覆蓋片材60 (參照?qǐng)D5A的箭頭和圖5B)。
[0261]在圖5A中，覆蓋片材60從與圖1的密封片材12相同的材料中選擇。
[0262]在圖5B中，覆蓋片材60覆蓋光半導(dǎo)體元件13的上側(cè)，具體地說(shuō)，隔著樹(shù)脂層27而在光半導(dǎo)體元件13的上側(cè)隔開(kāi)間隔配置。
[0263]并且，在圖2和圖3的實(shí)施方式中，將密封片材12選擇為突光體片材(含突光體的密封片材)，但是，例如雖然并未圖示，但是還能夠選擇為不含熒光體而含有密封層(樹(shù)脂層)的密封片材12。
[0264]另外，在圖1的說(shuō)明中，第I信息15包含與安裝光半導(dǎo)體元件13的基板14相關(guān)的信息，但是也能夠不含該信息地構(gòu)成第I信息15。
【權(quán)利要求】
1.一種片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)包括中央控制裝置和與所述中央控制裝置異地設(shè)置的客戶(hù)端裝置， 所述中央控制裝置具有第一信息收發(fā)單元和信息生成單元， 所述客戶(hù)端裝置具有第二信息收發(fā)單元和片材制造控制單元， 所述中央控制裝置的所述第一信息收發(fā)單元與所述客戶(hù)端裝置的第二信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程連接， 所述中央控制裝置基于用所述第一信息收發(fā)單元接收到的與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，通過(guò)所述信息生成單元生成與片材制造條件相關(guān)的第3信息，并用所述第一信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將所述第3信息發(fā)送給所述客戶(hù)端裝置，所述客戶(hù)端裝置用所述第二信息收發(fā)單元接收所述第3信息，并通過(guò)所述片材制造控制單元根據(jù)所述第3信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括信息采集裝置，所述中央控制裝置與所述信息采集裝置通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接， 所述信息采集裝置具有第三信息收發(fā)單元， 所述信息采集裝置通過(guò)所述第三信息收發(fā)單元接收所述第I信息和第2信息，并用所述第三信息收發(fā)單元通過(guò)網(wǎng)絡(luò)將所述第I信息和所述第2信息發(fā)送給所述中央控制裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于，所述信息采集裝置包括分別用于接受所述第I信息和所述第2信息的第I信息采集裝置和第2信息采集裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于， 所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第I信息的第I信息存儲(chǔ)單元和用于存儲(chǔ)所述第2信息的第2信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第I信息存儲(chǔ)單元和所述第2信息存儲(chǔ)單元讀取所述第I信息和所述第2信息，所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)所述第3信息的第3信息存儲(chǔ)單元，所述片材制造控制單元從所述第3信息存儲(chǔ)單元讀取所述第3信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于， 所述客戶(hù)端裝置還接收包括清漆、清漆中所含粒子、清漆中所含固化性樹(shù)脂、半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息，和/或單位期間半導(dǎo)體裝置制造量信息的第4信息，并根據(jù)所述第4信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行修正控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于， 所述中央控制裝置還基于與本次之前的片材制造條件相關(guān)的第5信息生成與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息，并將所述與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息發(fā)送到所述客戶(hù)端裝置， 所述客戶(hù)端裝置根據(jù)所述與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于，所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)所述第4信息的第4信息存儲(chǔ)單元，所述片材制造控制單元從所述第4信息存儲(chǔ)單元讀取第4信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求6的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于，所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第5信息的第5信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第5信息存儲(chǔ)單元讀取第5信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)的片材制造工序的遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)，其特征在于，所述片材制造條件相關(guān)的第3信息進(jìn)一步包括與清漆制造工序的制造條件相關(guān)的信息，所述片材制造控制單元根據(jù)所述第3信息進(jìn)一步對(duì)所述清漆制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
10.一種片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述中央控制裝置包括: 第一信息收發(fā)單元，用于通過(guò)網(wǎng)絡(luò)接收與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，以及 信息生成單元，與所述第一信息收發(fā)單元連接，用于基于所述第I信息和第2信息生成與片材制造條件相關(guān)的第3信息，并通過(guò)所述第一信息收發(fā)單元發(fā)送所述第3信息。
11.根據(jù)權(quán)利要 求10的片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置，其特征在于，所述信息生成單元還被配置為基于與本次之前的片材制造條件相關(guān)的第5信息生成與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息，并通過(guò)所述第一信息收發(fā)單元發(fā)送所述與本次片材制造條件相關(guān)的第3信息。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置，其特征在于，所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第5信息的第5信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第5信息存儲(chǔ)單元讀取第5信息。
13.根據(jù)權(quán)利要求10至12任一項(xiàng)的片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置，其特征在于，所述中央控制裝置具有存儲(chǔ)所述第I信息的第I信息存儲(chǔ)單元和用于存儲(chǔ)所述第2信息的第2信息存儲(chǔ)單元，所述信息生成單元從所述第I信息存儲(chǔ)單元和所述第2信息存儲(chǔ)單元讀取所述第I信息和所述第2信息。
14.一種片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的客戶(hù)端裝置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述客戶(hù)端裝置包括: 第二信息收發(fā)單元，用于與所述片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置連接，接收與片材制造條件相關(guān)的第3信息，以及片材制造控制單元，與所述第二信息收發(fā)單元連接，用于根據(jù)由所述第二信息收發(fā)單元接收到的與片材制造條件相關(guān)的第3信息，對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行控制。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的客戶(hù)端裝置，其特征在于，所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)所述與片材制造條件相關(guān)的第3信息的信息存儲(chǔ)單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求14或15的片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的客戶(hù)端裝置，其特征在于， 所述第二信息收發(fā)單元還被設(shè)置為接收包括清漆、清漆中所含粒子、清漆中所含固化性樹(shù)脂、半導(dǎo)體元件中至少一種的批次信息，和/或單位期間半導(dǎo)體裝置制造量信息的第4信息，并且 所述片材制造控制單元還被配置為根據(jù)所述第4信息對(duì)所述片材制造工序的制造條件進(jìn)行修正控制。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的客戶(hù)端裝置，其特征在于，所述客戶(hù)端裝置具有存儲(chǔ)第4信息的第4信息存儲(chǔ)單元，所述片材制造控制單元從所述第4信息存儲(chǔ)單元讀取第4信息。
18.一種片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的信息采集裝置，所述片材由清漆制成，并用于制造具有半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，所述信息采集裝置包括: 信息接收單元，用于接收與光半導(dǎo)體元件和光半導(dǎo)體裝置相關(guān)的第I信息以及與所述清漆相關(guān)的第2信息，以及 信息發(fā)送單元，與所述信息接收單元以及所述片材制造工序遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)中的中央控制裝置連接，用于將所述信息接收單元接收到的所述第I信息和第2信息發(fā)送至所述中央控制裝置。
【文檔編號(hào)】G05B19/418GK104076760SQ201310693566
【公開(kāi)日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2013年12月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月28日
【發(fā)明者】伊藤久貴, 二宮明人, 大藪恭也, 梅谷榮弘, 松田廣和 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社