一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法
【專利摘要】一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，包括根據(jù)同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不同產(chǎn)品特性，建立滿足所述不同產(chǎn)品共性條件工藝流程的主工藝流程，并在主流程工藝流程上預(yù)設(shè)不同條件工藝流程的分支流程；其中，主工藝流程包括多個(gè)工藝站點(diǎn)和虛擬站點(diǎn)，分支流程的設(shè)置以一個(gè)開始站點(diǎn)開始和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)結(jié)束；接著將待建立工藝流程與主流程工藝流程進(jìn)行比較，得到不同于主流程工藝流程中工藝站點(diǎn)的集合；然后從工藝站點(diǎn)集合中歸納出一個(gè)或多個(gè)具有連續(xù)站點(diǎn)的子集，將子集用在主工藝流程上預(yù)設(shè)不同條件工藝流程的相應(yīng)分支流程替代；最后依次將主工藝流程中相同的工藝站點(diǎn)與分支流程通過虛擬站點(diǎn)串接起來，得到該待建產(chǎn)品的工藝流程。
【專利說明】一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體微電子【技術(shù)領(lǐng)域】中的工藝流程建立技術(shù)，更具體地說，涉及一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]所謂的半導(dǎo)體工藝指得是集成電路IC在由設(shè)計(jì)文件生產(chǎn)成為實(shí)體的過程步驟和技術(shù)，比如，摻雜、注入、光刻和腐蝕都是現(xiàn)在比較流行也是傳統(tǒng)的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。而擴(kuò)展到集成電路上，這個(gè)“半導(dǎo)體工藝”名詞一般又多了一層“特征尺寸”的感念，比如，CPU是core2duo,用的是45nm的工藝；當(dāng)然,現(xiàn)在,最先進(jìn)的工藝已經(jīng)達(dá)到了 30nm左右，甚至在實(shí)驗(yàn)室中有更低的數(shù)值得以實(shí)現(xiàn)。
[0003]為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠，并有高的成品率，對各種產(chǎn)品的生產(chǎn)均需建立相應(yīng)工藝流程。通常，工藝流程的建立是一個(gè)產(chǎn)品一條主流程，建立工藝流程的方式，需要把每一個(gè)工藝步驟中相應(yīng)的工藝條件一步一步輸入，比如，設(shè)備信息、程式信息和數(shù)據(jù)收集信息等。
[0004]通常，在制造執(zhí)行系統(tǒng)控制下，進(jìn)行不同的工藝流程具有不同的工藝條件，工藝圖就是一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程的示意，包括原料投入到產(chǎn)品包裝的全過程，一般是用一個(gè)方框表示一個(gè)工序，旁邊簡單注明工藝條件(如溫度，壓力，酸堿度和PH值等)，方框與方框之間用箭頭表示工序的走向，關(guān)鍵設(shè)備可畫出形象性示意圖；一般熟練的工藝技術(shù)人員可根據(jù)工藝流程圖組織和管理生產(chǎn)。
[0005]目前，建立主工藝流程的方式，需要把每一個(gè)工藝步驟中相應(yīng)的工藝條件一步一步輸入，比如設(shè)備信息，程式信息，數(shù)據(jù)收集信息等。產(chǎn)品試驗(yàn)有一個(gè)專門的系統(tǒng)去建立這個(gè)試驗(yàn)的每個(gè)步驟條件，在這個(gè)系統(tǒng)中所有的數(shù)據(jù)都需要人為去建立設(shè)定。
[0006]然而，當(dāng)一個(gè)產(chǎn)品的主流程與另一個(gè)產(chǎn)品的主流程差異性不是很大時(shí)，例如:同一個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn)55nmLP的兩個(gè)產(chǎn)品，A產(chǎn)品是有深N阱(DNW)這一道流程的，而B產(chǎn)品是沒有DNW這一道流程，這時(shí)候，系統(tǒng)中就必須建立兩套主流程來滿足兩個(gè)產(chǎn)品的各自需求，這樣的建立方法增加了操作系統(tǒng)的裝載量，同時(shí)，也增加了操作人員的工作量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，該方法通過對一條工藝主流程(main flow)預(yù)設(shè)不同條件的工藝流程的分支流程(branch flow),同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不同產(chǎn)品可以根據(jù)產(chǎn)品的特性來選擇適合本產(chǎn)品的分支流程，減少了工藝流程建立的時(shí)間，提高了工作效率。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，用于對同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)中的不同產(chǎn)品進(jìn)行工藝流程的整體設(shè)計(jì)，所述方法包括如下步驟:
[0010]步驟SOl:根據(jù)同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不同產(chǎn)品特性，建立滿足所述不同產(chǎn)品共性條件工藝流程的主工藝流程；并在主工藝流程上預(yù)設(shè)滿足所述不同產(chǎn)品差異性條件工藝流程的分支流程；其中，所述主流程工藝流程包括多個(gè)工藝站點(diǎn)和虛擬站點(diǎn)，所述虛擬站點(diǎn)包括開始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，所述開始站點(diǎn)與結(jié)束站點(diǎn)成對出現(xiàn)，一個(gè)開始站點(diǎn)只對應(yīng)一個(gè)結(jié)束站點(diǎn)；所述分支流程的設(shè)置以一個(gè)開始站點(diǎn)開始和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)結(jié)束；
[0011]步驟S02:將待建立工藝流程與所述主工藝流程進(jìn)行比較，得到不同于所述主流程工藝流程中工藝站點(diǎn)的集合；
[0012]步驟S03:從所述工藝站點(diǎn)集合中歸納出一個(gè)或多個(gè)具有連續(xù)站點(diǎn)的子集，將所述子集用所述在主工藝流程上預(yù)設(shè)不同條件工藝流程的相應(yīng)分支流程替代；
[0013]步驟S04:依次將所述主工藝流程中相同的工藝站點(diǎn)與所述分支流程通過所述虛擬站點(diǎn)串接起來，得到所述待建產(chǎn)品的工藝流程。
[0014]優(yōu)選地，所述開始站點(diǎn)和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)之間包括O個(gè)、I個(gè)或多個(gè)工藝站點(diǎn)。
[0015]優(yōu)選地，上一個(gè)所述分支流程中的結(jié)束站點(diǎn)是下一個(gè)分支流程中的開始站點(diǎn)。
[0016]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，通過使用多通道管(Mult1-path)的功能來建立工藝流程，其可以針對同一技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝流程建立一條主工藝流程，對主工藝流程(main flow)預(yù)設(shè)不同條件的工藝流程的分支流程，再根據(jù)產(chǎn)品的特性來選擇適合本產(chǎn)品的branch flow,這樣,提高了main flow的共用性,避免了建立多個(gè)main flow，提高了工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為通過本發(fā)明設(shè)計(jì)方法生成的多通道管控工藝流程結(jié)構(gòu)示意圖
[0018]圖2為生成本發(fā)明多通道管控工藝流程不允許出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)示意圖
[0019]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中需生成的多通道管控工藝流程的示意圖
[0020]圖4為圖3所示實(shí)施例中需生成的多通道管控等效工藝流程示意圖
【具體實(shí)施方式】
[0021]需要說明的是，本發(fā)明的多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，適合用于對同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)中的不同產(chǎn)品進(jìn)行工藝流程的整體設(shè)計(jì)，尤其適用于當(dāng)同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)中的不同產(chǎn)品，它們中一個(gè)產(chǎn)品的主工藝流程與另一個(gè)產(chǎn)品的主流程差異性不是很大時(shí)，就不必建立多套主工藝流程來滿足多個(gè)產(chǎn)品的各自需求，而只要建立一條具有共性的主流程，將多個(gè)產(chǎn)品的各自工藝需求差異用分支流程替代，這樣大大減少了操作人員的工作量。
[0022]上述系統(tǒng)中技術(shù)可以由硬件、軟件或軟硬件相結(jié)合實(shí)現(xiàn)，在本實(shí)施例中，可以用于由上位機(jī)+下位機(jī)架構(gòu)構(gòu)成；其中，下位機(jī)為可編程控制器。
[0023](Programmable Logic Device,簡稱PLD)。在本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案可以概括如下:即該方法具體包括如下步驟:
[0024]步驟SOl:根據(jù)同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不同產(chǎn)品特性，建立滿足上述不同產(chǎn)品共性條件工藝流程的主工藝流程；并在主工藝流程上預(yù)設(shè)滿足上述不同產(chǎn)品差異性條件工藝流程的分支流程；其中，該主流程工藝流程包括多個(gè)工藝站點(diǎn)和虛擬站點(diǎn)，虛擬站點(diǎn)包括開始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，開始站點(diǎn)與結(jié)束站點(diǎn)成對出現(xiàn)，一個(gè)開始站點(diǎn)只對應(yīng)一個(gè)結(jié)束站點(diǎn)；該分支流程的設(shè)置以一個(gè)開始站點(diǎn)開始和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)結(jié)束；
[0025]步驟S02:將待建立工藝流程與上述主工藝流程進(jìn)行比較，得到不同于上述主流程工藝流程中工藝站點(diǎn)的集合；
[0026]步驟S03:從上述工藝站點(diǎn)集合中歸納出一個(gè)或多個(gè)具有連續(xù)站點(diǎn)的子集，將上述子集用所述在主工藝流程上預(yù)設(shè)不同條件工藝流程的相應(yīng)分支流程替代；
[0027]步驟S04:依次將上述主工藝流程中相同的工藝站點(diǎn)與上述分支流程通過上述虛擬站點(diǎn)串接起來，得到上述產(chǎn)品的待建立工藝流程。
[0028]下面結(jié)合附圖1-4，對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0029]請參閱圖1，圖1為通過本發(fā)明設(shè)計(jì)方法生成的多通道管控工藝流程結(jié)構(gòu)示意圖。首先，在本實(shí)施例中，需根據(jù)同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不同產(chǎn)品特性，建立滿足不同產(chǎn)品共性條件工藝流程的主工藝流程；如圖所示，該主工藝流程包括了 10個(gè)站點(diǎn)00100、00200、00300、00400、00500、00600、00700、00800、00900 和 001000 ；其中，00100、00300、00400、00600、00700,00900和001000為工藝站點(diǎn)，00200、00500和00800是虛擬站點(diǎn)。
[0030]虛擬站點(diǎn)是為在主流程工藝流程上預(yù)設(shè)不同條件工藝流程的分支流程準(zhǔn)備的。虛擬站點(diǎn)分為開始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，分支流程的設(shè)置以一個(gè)開始站點(diǎn)開始和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)結(jié)束。如圖1所示，開始站點(diǎn)00200和與結(jié)束站點(diǎn)00500成對出現(xiàn)，即一個(gè)開始站點(diǎn)00200只對應(yīng)一個(gè)結(jié)束站點(diǎn)00500 ;在一些實(shí)施例中，上一個(gè)所述分支流程中的結(jié)束站點(diǎn)可以是下一個(gè)分支流程中的開始站點(diǎn)；例如，上述分支流程中的結(jié)束站點(diǎn)00500可以作為與結(jié)束站點(diǎn)00800相配對的開始站點(diǎn)00500。
[0031]上述開始站點(diǎn)和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)之間包括O個(gè)、I個(gè)或多個(gè)工藝站點(diǎn)。例如，圖1中的開始站點(diǎn)00200和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)00500之間的3個(gè)分支流程均包括2個(gè)工藝站點(diǎn) B00100 和 B00200。
[0032]請參閱圖2，圖2為生成本發(fā)明多通道管控工藝流程不允許出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，在本實(shí)施例中，圖2中有下列三種情況是不允許出現(xiàn)的:
[0033]①.連續(xù)兩個(gè)開始站點(diǎn)之間設(shè)置分支流程是不允許的；如圖2中所示，開始站點(diǎn)00200又有一個(gè)開始站點(diǎn)00400的情況。
[0034]②.完全嵌套設(shè)置分支流程是不允許，如圖2中所示，開始站點(diǎn)00200和結(jié)束站點(diǎn)00500定義的分支流程，不能嵌套在以開始站點(diǎn)00100和結(jié)束站點(diǎn)00600定義的分支流程中。
[0035]③.連續(xù)出現(xiàn)兩個(gè)分支流程的結(jié)束站點(diǎn)是不允許，如圖2中所示，兩個(gè)開始于開始站點(diǎn)00200不能有兩個(gè)結(jié)束站點(diǎn)00500和00700。
[0036]下面通過一個(gè)具體實(shí)施例，詳細(xì)敘述對本發(fā)明設(shè)計(jì)方法的實(shí)現(xiàn)原理。請參閱圖3，圖3為本發(fā)明實(shí)施例中需生成的多通道管控工藝流程的示意圖。如圖所示，在主工藝流程上設(shè)置了三個(gè)分支流程:BRFlow01、BRFlow02和BRFlow03 ;該三個(gè)分支流程的開始站點(diǎn)均為00200，結(jié)束站點(diǎn)為00500 ;第一分支流程BRFlowOl具有兩個(gè)工藝站點(diǎn)B00100和B00200，第二分支流程BRFlow02具有兩個(gè)工藝站點(diǎn)B00100和B00200，第三分支流程BRFlow03沒有工藝站點(diǎn)，直接跳過主流程中的站點(diǎn)00300和00400。
[0037]該技術(shù)節(jié)點(diǎn)具有4個(gè)不同的產(chǎn)品，在每個(gè)產(chǎn)品上設(shè)置了該產(chǎn)品所需要使用的分支流程。如圖中所示:[0038]①.產(chǎn)品PR0D1/PR0D2:在主工藝流程的基礎(chǔ)上所設(shè)置的分支流程是BRFlowl ；
[0039]②.產(chǎn)品PR0D3:在主工藝流程的基礎(chǔ)上所設(shè)置的分支流程是BRFlow2 ；
[0040]③.產(chǎn)品PRODl:在主工藝流程的基礎(chǔ)上所設(shè)置的分支流程是BRFlow3。
[0041]請參閱圖4，圖4為圖3所示實(shí)施例中需生成的多通道管控等效工藝流程示意圖。如圖所示，產(chǎn)品PR0D1、產(chǎn)品PR0D2和產(chǎn)品PR0D3，最后生成各自的工藝流程相同，即上述三個(gè)產(chǎn)品執(zhí)行了主工藝站點(diǎn)00100、00200、分支流程工藝站點(diǎn)B00100、B00200、主工藝站點(diǎn)00500,00600和00700 ;而產(chǎn)品PR0D4跳過了兩個(gè)主工藝站點(diǎn)，只執(zhí)行了工藝站點(diǎn)00100、00200,00500,00600 和 00700。
[0042]綜上所述，本發(fā)明通過使用多通道管控(Mult1-path)的功能來建立工藝流程，可以針對同一技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝流程建立一條主工藝流程，對主工藝流程預(yù)設(shè)不同條件的工藝流程的分支流程，再根據(jù)產(chǎn)品的特性來選擇適合本產(chǎn)品的分支流程，這樣提高了主工藝流程的共用性，避免了建立多個(gè)主工藝流程，提高了工作效率。
[0043]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，用于對同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)中的不同產(chǎn)品進(jìn)行工藝流程的整體設(shè)計(jì)，所述方法包括如下步驟: 步驟SOl:根據(jù)同種技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不同產(chǎn)品特性，建立滿足所述不同產(chǎn)品共性條件工藝流程的主工藝流程；并在主工藝流程上預(yù)設(shè)滿足所述不同產(chǎn)品差異性條件工藝流程的分支流程；其中，所述主流程工藝流程包括多個(gè)工藝站點(diǎn)和虛擬站點(diǎn)，所述虛擬站點(diǎn)包括開始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，所述開始站點(diǎn)與結(jié)束站點(diǎn)成對出現(xiàn)，一個(gè)開始站點(diǎn)只對應(yīng)一個(gè)結(jié)束站點(diǎn)；所述分支流程的設(shè)置以一個(gè)開始站點(diǎn)開始和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)結(jié)束； 步驟S02:將待建立工藝流程與所述主工藝流程進(jìn)行比較，得到不同于所述主流程工藝流程中工藝站點(diǎn)的集合； 步驟S03:從所述工藝站點(diǎn)集合中歸納出一個(gè)或多個(gè)具有連續(xù)站點(diǎn)的子集，將所述子集用所述在主工藝流程上預(yù)設(shè)不同條件工藝流程的相應(yīng)分支流程替代； 步驟S04:依次將所述主工藝流程中相同的工藝站點(diǎn)與所述分支流程通過所述虛擬站點(diǎn)串接起來，得到所述待建產(chǎn)品的工藝流程。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，所述開始站點(diǎn)和以其相應(yīng)的結(jié)束站點(diǎn)之間包括O個(gè)、I個(gè)或多個(gè)工藝站點(diǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道管控工藝流程的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，上一個(gè)所述分支流程中的結(jié)束站點(diǎn)是下一個(gè)分支流程中的開始站點(diǎn)。
【文檔編號】G05B19/418GK103941674SQ201410117735
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】俞曉菁, 朱燕萍 申請人:上海華力微電子有限公司