一種合流式氣體流量控制裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種合流式氣體流量控制裝置，包括控制電路板、流量檢測器、電磁閥模塊；所述流量控制器通過氣管與電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口相連；所述控制電路板通過導(dǎo)線與流量檢測器和電磁閥模塊相連；所述流量檢測器的進(jìn)氣口進(jìn)入待測氣流，流量檢測器將流量信號傳給控制電路板；所述控制電路板向電磁閥模塊發(fā)出控制信號；所述電磁閥模塊在控制信號的作用下調(diào)整閥門角度，從而控制流過流量檢測器的氣流；本發(fā)明通過控制電路板、流量檢測器、電磁閥模塊的配合使用，能夠降低產(chǎn)品成本，簡化加工工藝，減小流量變小對真空泵產(chǎn)生負(fù)荷，延長真空泵的使用壽命；同時用于氣體混合。
【專利說明】一種合流式氣體流量控制裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及精密控制設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地說涉及一種合流式氣體流量控制裝 置。

【背景技術(shù)】
[0002] 在圖1中，該裝置包含流量檢測與控制模塊8、流量控制閥9、氣道7 ;所述流量檢 測與控制模塊8與氣道7相連，檢測當(dāng)前流量，并與設(shè)定流量對比；所述流量控制閥9與氣 道7相連，在流量檢測與控制模塊8作出計算后，由它控制對流量進(jìn)行調(diào)整；所述流量控制 閥9內(nèi)部由線圈纏繞截流柱，構(gòu)成電磁鐵，在控制電流的作用下產(chǎn)生磁場，通過和磁鐵產(chǎn)生 不同的吸合度來控制氣流；該裝置價格昂貴，工藝繁瑣，不適合降低儀器的成本，同時氣體 流量減小時會增加真空泵的負(fù)荷，減少真空泵的使用壽命，不利于產(chǎn)品的長期穩(wěn)定性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 針對上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是：提出了一種減小流量變小對真空泵 產(chǎn)生負(fù)荷，延長真空泵的使用壽命；降低產(chǎn)品成本的合流式高精度氣體流量控制裝置。
[0004] 本發(fā)明的技術(shù)解決方案是這樣實現(xiàn)的：一種合流式氣體流量控制裝置，包括控制 電路板、流量檢測器、電磁閥模塊；所述電磁閥模塊設(shè)有第一進(jìn)氣口以及用于接入合流氣體 的第二進(jìn)氣口；所述流量控制器通過氣管與電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口相連；所述控制電路 板通過導(dǎo)線與流量檢測器和電磁閥模塊相連；所述流量檢測器的進(jìn)氣口進(jìn)入待測氣流，流 量檢測器將流量信號傳給控制電路板；所述控制電路板將當(dāng)前流量值和設(shè)定流量值比對， 作出反應(yīng)向電磁閥模塊發(fā)出控制信號；所述電磁閥模塊在控制信號的作用下調(diào)整電磁閥的 閥門角度，調(diào)節(jié)電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口氣流，同時調(diào)節(jié)電磁閥模塊的第二進(jìn)氣口氣流，從 而控制流過流量檢測器的氣流。
[0005] 由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)： 本發(fā)明的一種合流式氣體流量控制裝置，通過控制電路板、流量檢測器、電磁閥模塊的 配合使用，能夠降低產(chǎn)品成本，簡化加工工藝，減小流量變小對真空泵產(chǎn)生負(fù)荷，延長真空 泵的使用壽命；同時用于氣體混合。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 下面結(jié)合附圖對本發(fā)明技術(shù)方案作進(jìn)一步說明： 附圖1為現(xiàn)有的一種氣體流量控制裝置結(jié)構(gòu)示意圖； 附圖2為本發(fā)明的一種合流式氣體流量控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 其中：1、控制電路板；2、流量檢測器；3、電磁閥模塊；4、第一進(jìn)氣口；5、第二進(jìn)氣口； 6、氣管；7、氣道；8、流量檢測與控制模塊；9、流量控制閥。

【具體實施方式】
[0007] 下面結(jié)合附圖來說明本發(fā)明。
[0008] 如附圖2所示為本發(fā)明所述的一種合流式氣體流量控制裝置，包括控制電路板1、 流量檢測器2、電磁閥模塊3 ;所述電磁閥模塊3設(shè)有第一進(jìn)氣口 4以及用于接入合流氣體 的第二進(jìn)氣口 5 ;所述流量控制器2通過氣管6與電磁閥模塊3的第一進(jìn)氣口 4相連；所述 控制電路板1通過導(dǎo)線與流量檢測器2和電磁閥模塊3相連；所述流量檢測器2的進(jìn)氣口 進(jìn)入待測氣流，流量檢測器2將流量信號傳給控制電路板1 ;所述控制電路板1將當(dāng)前流量 值和設(shè)定流量值比對，作出反應(yīng)向電磁閥模塊3發(fā)出控制信號；所述電磁閥模塊3在控制信 號的作用下調(diào)整電磁閥的閥門角度，減小電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口 4氣流，同時增大電磁 閥模塊的第二進(jìn)氣口 5氣流或者增大電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口 4氣流，同時減小電磁閥模 塊的第二進(jìn)氣口 5氣流，從而控制流過流量檢測器2的氣流；最后在整個系統(tǒng)的實時反饋與 控制中實現(xiàn)精確控制氣流流量的作用；尤其的是所述合流氣體必須是對檢測氣流使用無影 響的氣體。
[0009] 通過控制電路板1、流量檢測器2、電磁閥模塊3的配合使用，能夠降低產(chǎn)品成本， 簡化加工工藝，減小流量變小對真空泵產(chǎn)生負(fù)荷，延長真空泵的使用壽命；可同時用于氣體 混合。
[0010] 上述實施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人 士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明 精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種合流式氣體流量控制裝置，其特征在于：包括控制電路板、流量檢測器、電磁閥 模塊；所述電磁閥模塊設(shè)有第一進(jìn)氣口以及用于接入合流氣體的第二進(jìn)氣口；所述流量控 制器通過氣管與電磁閥模塊的第一進(jìn)氣口相連；所述控制電路板通過導(dǎo)線與流量檢測器和 電磁閥模塊相連；所述流量檢測器的進(jìn)氣口進(jìn)入待測氣流，流量檢測器將流量信號傳給控 制電路板；所述控制電路板將當(dāng)前流量值和設(shè)定流量值比對，作出反應(yīng)向電磁閥模塊發(fā)出 控制信號；所述電磁閥模塊在控制信號的作用下調(diào)整電磁閥的閥門角度，調(diào)節(jié)電磁閥模塊 的第一進(jìn)氣口氣流，同時調(diào)節(jié)電磁閥模塊的第二進(jìn)氣口氣流，從而控制流過流量檢測器的 氣流。
【文檔編號】G05D7/06GK104142695SQ201410311402
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年7月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月2日
【發(fā)明者】左德慶 申請人:蘇州宏瑞凈化科技有限公司