本發(fā)明涉及電氣制品的裝配工序的管理方法。

背景技術(shù)：

在對組合了裝有半導(dǎo)體部件(IC，LSI，晶體管等)的基板和存儲裝置等的電氣制品進(jìn)行裝配時，為了防止由帶電的工具或人手進(jìn)行作業(yè)而使用了將靜電除去并防止的衣物等。但是，裝配中，電氣制品和工具或人不一定是同電位，有產(chǎn)生意外的靜電放電的可能性。關(guān)于靜電放電的檢測，有以下的文獻(xiàn)。

在日本特開平10－12691號公報中公開了在電子設(shè)備(例如薄膜晶體管液晶顯示器)的制造工序中通過天線對基板上產(chǎn)生的基于剝離帶電的靜電放電的電磁波或放電光進(jìn)行檢測、并由此檢測與靜電放電相關(guān)的損害的技術(shù)。

在日本特表2009－515171號公報中公開了通過經(jīng)由電阻將地電位與電路基板之間連接的電壓計測電路來計測裝配工具接觸電路基板時發(fā)生的靜電放電、并由此監(jiān)視電路基板的ESD曝露的技術(shù)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平10－12691號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特表2009－515171號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

通過上述的以往技術(shù)能夠在對象物上檢測出發(fā)生了靜電放電，但不能判斷該靜電放電對于對象物是否帶來涉及其品質(zhì)程度的影響。因此，有連沒有受到涉及品質(zhì)程度的影響的對象物也被視為不合格品的情況，相應(yīng)地導(dǎo)致良品率惡化。

本發(fā)明是為了解決上述的那樣的課題而做出的，其目的在于提供一種能夠精度良好地對受到靜電放電的影響的電氣制品進(jìn)行識別并管理的電氣制品的裝配工序的管理方法。

用于解決課題的手段

本發(fā)明是為了達(dá)成上述的目的而至少具備搭載有半導(dǎo)體部件的基板和電源電路的電氣制品的裝配工序的管理方法，該電氣制品的裝配工序的管理方法的特征在于，

在執(zhí)行上述電氣制品的裝配的期間，總是計測夾著上述電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線或信號線上的2點(diǎn)間的電位差，

在上述2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，記錄上述2點(diǎn)間的電位差的計測數(shù)據(jù)，并將用于識別上述電氣制品已受到靜電放電的影響的標(biāo)識賦予給上述電氣制品。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，通過總是計測夾著電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線或信號線上的2點(diǎn)間的電位差，監(jiān)視在執(zhí)行電氣制品的裝配的期間、在2點(diǎn)間的電位差是否沒有發(fā)生超過規(guī)定閾值的變化，從而能夠精度良好地識別并管理受到了靜電放電的影響的電氣制品。

附圖說明

圖1是用于說明涉及本發(fā)明的實(shí)施方式1的裝置構(gòu)成的圖。

圖2是用于對實(shí)施方式1中半導(dǎo)體部件5與靜電計測器9之間的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖3是用于對實(shí)施方式1中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。

圖4是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。

圖5是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。

圖6是用于說明涉及本發(fā)明的實(shí)施方式2的裝置構(gòu)成的圖。

圖7是用于對實(shí)施方式2中半導(dǎo)體部件5與靜電計測器9之間的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖8是用于對實(shí)施方式2中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。

圖9是用于說明實(shí)施方式2的1個變形例的圖。

圖10是用于對實(shí)施方式3中信號線上的2點(diǎn)間的電位差進(jìn)行計測的例進(jìn)行說明的圖。

圖11是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。

圖12是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，對各圖中共同的要素賦予相同的符號而省略重復(fù)的說明。

實(shí)施方式1

圖1是用于說明涉及本發(fā)明的實(shí)施方式1的裝置構(gòu)成的圖。

圖1所示的裝置具備作業(yè)臺1。電氣制品2被置于作業(yè)臺1。電氣制品2至少具備基板3和電源電路4。基板3搭載有半導(dǎo)體部件5?；?和電源電路4使用工具6而搭載于電氣制品2。

半導(dǎo)體部件5通過電線7經(jīng)由基板3而與電源電路4電連接。并且，電線7經(jīng)由端子8而與靜電計測器9連接。靜電計測器9與計算機(jī)10連接。

靜電計測器9在進(jìn)行電氣制品2的裝配的期間，總是計測夾著電氣制品2的內(nèi)部的阻抗要素(半導(dǎo)體部件5)而電連接的電線7上的2點(diǎn)間的電位差。另外，計測周期優(yōu)選的是100ns以下。

并且，靜電計測器9在上述的2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，將上述的2點(diǎn)間的電位差的計測數(shù)據(jù)向計算機(jī)10發(fā)送。另外，上述的閾值是表示可能影響到品質(zhì)的靜電放電的指標(biāo)，預(yù)先基于實(shí)驗(yàn)結(jié)果或仿真結(jié)果被設(shè)定。作為一例，在半導(dǎo)體部件的額定電壓為5.5V的情況下，閾值被設(shè)定為7V。

計算機(jī)10具備例如包含ROM、RAM等的存儲器、對各種信息進(jìn)行輸入輸出的輸入輸出接口、和能夠基于各種信息執(zhí)行各種運(yùn)算處理的處理器。計算機(jī)10接受并記錄從靜電計測器9發(fā)送的計測數(shù)據(jù)，并且對電氣制品2賦予用于識別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識。具體來說，計算機(jī)10向計測數(shù)據(jù)追加標(biāo)識。計算機(jī)10具有畫面作為輸出接口，將追加了標(biāo)識的計測數(shù)據(jù)向畫面顯示。并且，計算機(jī)10具有與外部機(jī)器連接的通信連接器作為輸出接口，經(jīng)由通信連接器將計測數(shù)據(jù)向外部發(fā)送。

圖2是用于對實(shí)施方式1中半導(dǎo)體部件5與靜電計測器9的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖1所示的電線7包含圖2所示的2根電線71、72。2根電線71、72將電源電路4(圖2中為電源裝置)和半導(dǎo)體部件5連線。靜電計測器9連接于電線71上的1點(diǎn)和電線72上的1點(diǎn)。靜電計測器9對2根電線71、72間的電位差進(jìn)行計測。

(流程圖)

圖3是用于對實(shí)施方式1中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。圖3所示的例行程序每當(dāng)電氣制品2的裝配開始就被執(zhí)行。

在步驟S101中，作業(yè)者將電線7和靜電計測器9連接。具體來說，作業(yè)者將2根電線71、72與靜電計測器9連接。另外，作業(yè)者不限定于人，也可以是具有機(jī)械臂等的機(jī)械設(shè)備。

在步驟S102中，作業(yè)者判斷電氣制品2的裝配工序是否結(jié)束。在裝配工序沒有結(jié)束的情況下，執(zhí)行步驟S103的處理。

在步驟S103中，靜電計測器9對2根電線71、72間的電位差進(jìn)行計測。

在步驟S104中，靜電計測器9判斷步驟S103中被計測出的電位差是否小于閾值。如上所述，閾值是用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定值，被預(yù)先設(shè)定。

在步驟S104的判斷條件成立的情況下，不產(chǎn)生對電氣制品2的品質(zhì)有影響的靜電放電，從步驟S102繼續(xù)處理。在步驟S102中判斷為電氣制品2的裝配工序已結(jié)束的情況下，本例行程序被結(jié)束。

在步驟S104的判斷條件不成立的情況下，步驟S103中被計測出的電位差的計測數(shù)據(jù)被記錄在計算機(jī)10中(步驟S105)。具體來說，靜電計測器9將計測數(shù)據(jù)向計算機(jī)10發(fā)送，計算機(jī)10將所接收到的計測數(shù)據(jù)存儲。

在步驟S106中，計算機(jī)10向計測數(shù)據(jù)賦予標(biāo)識。所謂標(biāo)識是用于識別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識。

在步驟S107中，計算機(jī)10將賦予了標(biāo)識的計測數(shù)據(jù)在畫面上顯示。并且，計算機(jī)10經(jīng)由通信連接器將計測數(shù)據(jù)向外部發(fā)送。通過這些處理，作業(yè)者能夠獲知在制造中的半成品上已發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電。

在步驟S108中，作業(yè)者將已發(fā)生可能影響到品質(zhì)的靜電放電的半成品除去。步驟S108的處理后，本例行程序被結(jié)束。

如以上所說明的那樣，根據(jù)涉及實(shí)施方式1的電氣制品的裝配工序的管理方法，總是計測夾著電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線7上的2點(diǎn)間的電位差，并監(jiān)視在進(jìn)行電氣制品的裝配的期間、2點(diǎn)間的電位差是否沒有發(fā)生超過規(guī)定閾值的變化，從而能夠精度良好地識別并管理受到了靜電放電的影響的電氣制品。并且，根據(jù)涉及實(shí)施方式1的電氣制品的裝配工序的管理方法，在制造中的半成品中發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電的情況下，也能夠直接將裝配中途的半成品除去。

(變形例)

說明上述的實(shí)施方式1的變形例。

圖4是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。圖4的構(gòu)成除了具有連接器71a、72b這點(diǎn)以外，與圖2的構(gòu)成是相同的。連接器71a被連接到電線71上的1點(diǎn)，連接器72b被連接到電線72上的1點(diǎn)。靜電計測器9與連接器71a和72b連接。用于電位差的計測的連接器71a、72b被預(yù)先配置在作為計測部位的2點(diǎn)處，因此靜電計測器9的安裝變得容易，電氣制品2的裝配工序的管理效率提高。

圖5是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。圖5的構(gòu)成除了靜電計測器9具備發(fā)送計測數(shù)據(jù)的無線通信功能、并追加了無線通信機(jī)11這點(diǎn)以外，與圖1的構(gòu)成是相同的。無線通信機(jī)11接收靜電計測器9所發(fā)送的計測數(shù)據(jù)，并向計算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將靜電計測器9和計算機(jī)10無線連接的構(gòu)成。

圖11是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。在圖11所示的構(gòu)成中，按照每個作業(yè)臺設(shè)有靜電計測器9，各靜電計測器9與共同的有線傳送器12連接。有線傳送器12與計算機(jī)10連接。各靜電計測器9經(jīng)由有線傳送器12將計測數(shù)據(jù)向計算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將多個靜電計測器9和1臺計算機(jī)10有線連接的構(gòu)成。這點(diǎn)在以下的實(shí)施方式中也是相同的。

圖12是用于說明實(shí)施方式1的1個變形例的圖。在圖12所示的構(gòu)成中，按照每個作業(yè)臺設(shè)有靜電計測器9，各靜電計測器9具備無線通信功能。無線通信機(jī)13接收各靜電計測器9所發(fā)送的計測數(shù)據(jù)，并向計算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將多個靜電計測器9和1臺計算機(jī)10無線連接的構(gòu)成。這點(diǎn)在以下的實(shí)施方式中也是相同的。

實(shí)施方式2

接著，參照圖6～圖9來說明本發(fā)明的實(shí)施方式2。

上述的實(shí)施方式1中，為了對夾著阻抗要素(半導(dǎo)體部件)而電連接的電線上的2點(diǎn)間的電位差進(jìn)行計測，對電源電路4和半導(dǎo)體部件5之間的電線7上的2點(diǎn)間的電位差進(jìn)行計測。但是，電位差的計測部位不限定于此。實(shí)施方式2中設(shè)為對電源電路4的插座的端子間的電位差進(jìn)行計測。

圖6是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式2的裝置構(gòu)成的圖。

圖6所示的裝置具備作業(yè)臺1。電氣制品2被置于作業(yè)臺1上。電氣制品2至少具備基板3和電源電路4?；?搭載有半導(dǎo)體部件5。基板3和電源電路4使用工具6而搭載于電氣制品2。

電源電路4和半導(dǎo)體部件5經(jīng)由基板3通過電線7被電連接。并且，電線7在電源電路4內(nèi)與電線20電連接。電線20具有插座21。插座21與端子8連接。因此，電線20經(jīng)由端子8而與靜電計測器9連接。靜電計測器9與計算機(jī)10連接。

靜電計測器9在進(jìn)行電氣制品2的裝配的期間，總是計測夾著電氣制品2的內(nèi)部的阻抗要素(半導(dǎo)體部件5)而電連接的電線20上的2點(diǎn)間的電位差。另外，計測周期優(yōu)選的是100ns以下。

并且，靜電計測器9在上述的2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，將上述的2點(diǎn)間的電位差的計測數(shù)據(jù)向計算機(jī)10發(fā)送。另外，上述的閾值是表示可能影響到品質(zhì)的靜電放電的指標(biāo)，預(yù)先基于實(shí)驗(yàn)結(jié)果或仿真結(jié)果被設(shè)定。

關(guān)于計算機(jī)10，由于是實(shí)施方式1敘述過的那樣，因此省略其說明。

圖7是用于對實(shí)施方式2中半導(dǎo)體部件5和靜電計測器9的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖6所示的電線20包含圖7所示的2根電線73、74。2根電線73、74將電源電路4和其插座21連線。靜電計測器9連接于電線73上的1點(diǎn)和電線74上的1點(diǎn)。靜電計測器9對2根電線73、74間的電位差進(jìn)行計測。

(流程圖)

圖8是用于對實(shí)施方式2中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。圖8所示的例行程序每當(dāng)電氣制品2的裝配就被執(zhí)行。該例行程序除了步驟S101被置換為步驟S201、步驟S103被置換為步驟S203、步驟S104被置換為步驟S204這點(diǎn)以外，與圖3所示的例行程序是相同的。以下，在圖8中對與圖3所示的步驟相同的步驟賦予相同的符號。

在步驟S201中，作業(yè)者將電線20和靜電計測器9連接。具體來說，作業(yè)者將2根電線73、74與靜電計測器9連接。另外，作業(yè)者不限定于人，也可以是具有機(jī)械臂等的機(jī)械設(shè)備。

在步驟S102中，作業(yè)者判斷電氣制品2的裝配工序是否結(jié)束。在裝配工序沒有結(jié)束的情況下，執(zhí)行步驟S203的處理。

在步驟S203中，靜電計測器9計測2根電線73、74間的電位差。

在步驟S204中，靜電計測器9判斷步驟S203中計測出的電位差是否小于閾值。閾值是區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定值，被預(yù)先設(shè)定。

在步驟S204的判斷條件成立的情況下，不產(chǎn)生對電氣制品2的品質(zhì)有影響的靜電放電，從步驟S102繼續(xù)處理。在步驟S102中判斷為電氣制品2的裝配工序已結(jié)束的情況下，本例行程序被結(jié)束。

在步驟S204的判斷條件不成立的情況下，步驟S203中計測出的電位差的計測數(shù)據(jù)被記錄(步驟S105)。具體來說，靜電計測器9將計測數(shù)據(jù)向計算機(jī)10發(fā)送，計算機(jī)10存儲所接收到的計測數(shù)據(jù)。

在步驟S106中，計算機(jī)10對標(biāo)識數(shù)據(jù)賦予標(biāo)識。所謂標(biāo)識是用于識別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識。

在步驟S107中，計算機(jī)10將賦予了標(biāo)識的計測數(shù)據(jù)在畫面上顯示。并且，計算機(jī)10經(jīng)由通信連接器將計測數(shù)據(jù)向外部發(fā)送。通過這些處理，作業(yè)者能夠獲知在制造中的半成品中發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電。

在步驟S108中，作業(yè)者將發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電的半成品除去。步驟S108的處理后，本例行程序被結(jié)束。

如以上所說明的那樣，根據(jù)涉及實(shí)施方式2的電氣制品的裝配工序的管理方法，總是計測夾著電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線20上的2點(diǎn)間的電位差，并監(jiān)視在執(zhí)行電氣制品的裝配的期間、2點(diǎn)間的電位差是否沒有發(fā)生超過規(guī)定閾值的變化，從而能夠精度良好地識別并管理受到了靜電放電的影響的電氣制品。并且，根據(jù)涉及實(shí)施方式2的電氣制品的裝配工序的管理方法，在制造中的半成品中發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電的情況下，也能夠直接將裝配中途的半成品除去。

(變形例)

說明上述的實(shí)施方式2的變形例。圖9是用于說明實(shí)施方式2的1個變形例的圖。圖9的構(gòu)成除了靜電計測器9具備發(fā)送計測數(shù)據(jù)的無線通信功能、且追加了無線通信機(jī)11這點(diǎn)以外，與圖6的構(gòu)成是相同的。無線通信機(jī)11接收靜電計測器9所發(fā)送的計測數(shù)據(jù)，并向計算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將靜電計測器9和計算機(jī)10無線連接的構(gòu)成。

實(shí)施方式3

接著，參照圖10來說明本發(fā)明的實(shí)施方式3。在實(shí)施方式1以及2中，計測電線上的2點(diǎn)間的電位差。但是，也可以利用設(shè)置在信號線上的信號測試用的連接器來計測信號線上的2點(diǎn)間的電位差。

圖10是用于對實(shí)施方式3中計測信號線上的2點(diǎn)間的電位差的例進(jìn)行說明的圖。電氣制品2具備基板3和電源電路?；?上配置有半導(dǎo)體部件和存儲器等的阻抗要素。靜電計測器9與設(shè)置在信號線上的信號測試用連接器81、82連接。靜電計測器9在進(jìn)行電氣制品2的裝配的期間，總是計測夾著阻抗要素的2個信號線上的2點(diǎn)(信號測試用連接器81、82)間的電位差。靜電計測器9在上述的2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，將上述的2點(diǎn)間的電位差的計測數(shù)據(jù)向計算機(jī)10發(fā)送。另外，上述的閾值是表示可能影響到品質(zhì)的靜電放電的指標(biāo)，預(yù)先基于實(shí)驗(yàn)結(jié)果和仿真結(jié)果被設(shè)定。關(guān)于計算機(jī)10，是上述實(shí)施方式1中敘述過的那樣，因此省略其詳細(xì)說明。計算機(jī)10將從靜電計測器9發(fā)送的計測數(shù)據(jù)記錄，并且將用于識別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識對電氣制品2賦予。

標(biāo)號說明

1 作業(yè)臺

2 電氣制品

3 基板

4 電源電路

5 半導(dǎo)體部件

6 工具

7 電線

8 端子

9 靜電計測器

10 計算機(jī)

11，13 無線通信機(jī)

12 有線傳送器

20 電線

21 插座

71，72，73，74 電線

71a，72b 連接器

81，82 信號測試用連接器