本發(fā)明涉及電路技術(shù)領域，特別是涉及一種調(diào)整電源輸出電流的方法和裝置。

背景技術(shù)：

恒流電源是指電源輸出的電流大小是恒定不變的，不會隨著電壓的變化而變化。恒流電源一般的工作原理是：為了保證輸出電流恒定，它的輸出電壓將隨負載阻抗的變化而變化。恒定電流的大小是可以預設的，當達到電流預設值時，它的輸出電壓也穩(wěn)定下來；當達不到電流預設值時，它的輸出電壓將一直增大，直到達到電流預設值為止，或者直到過電壓保護電路工作為止。

但是，對于啟動時電流較大的負載(如感性負載)，利用恒流電源設定較大的電流值時，短時間內(nèi)負載的電流會比較小，而恒流電源則開始不斷輸出更高的電壓，當輸出電壓超出該恒流電源的額定值時，該恒流電源將啟動過電壓保護，因此該恒流電源將停止工作，實際不輸出，導致負載也無法正常工作，即現(xiàn)有的恒流電源不適用于負載電流變化較大的電子產(chǎn)品。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種調(diào)整電源輸出電流的方法和裝置，以解決現(xiàn)有的恒流電源啟動過電壓保護后停止工作，導致負載無法正常工作，不適用于負載電流變化較大的電子產(chǎn)品的問題。

為了解決上述問題，本發(fā)明公開了一種調(diào)整電源輸出電流的方法，包括：

在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整所述電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；其中，所述第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е滤鲭娫磫舆^電壓保護的電流閾值；

每隔設定的時間間隔獲取所述電源的當前輸出電流，并將所述電源的當 前輸出電流調(diào)整為所述當前輸出電流與所述第一調(diào)整電流的總和，直至所述電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

優(yōu)選地，在所述每隔設定的時間間隔獲取所述電源的當前輸出電流的步驟之前，還包括：

計算將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流需要的總調(diào)整次數(shù)；其中，所述初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時所述電源的輸出電流。

優(yōu)選地，所述每隔設定的時間間隔獲取所述電源的當前輸出電流，并將所述電源的當前輸出電流調(diào)整為所述當前輸出電流與所述第一調(diào)整電流的總和，直至所述電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止的步驟包括：

將調(diào)整次數(shù)的初始值賦值為零；

判斷當前調(diào)整次數(shù)是否小于所述總調(diào)整次數(shù)；

若當前調(diào)整次數(shù)小于所述總調(diào)整次數(shù)，則獲取所述電源的當前輸出電流，并將所述電源的當前輸出電流調(diào)整為所述當前輸出電流與所述第一調(diào)整電流的總和；

將當前調(diào)整次數(shù)加1，并返回所述判斷當前調(diào)整次數(shù)是否小于所述總調(diào)整次數(shù)的步驟；

若當前調(diào)整次數(shù)大于或等于所述總調(diào)整次數(shù)，則判斷所述電源的當前輸出電流是否等于所述目標輸出電流；

若所述電源的當前輸出電流不等于所述目標輸出電流，則將所述電源的當前輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流。

優(yōu)選地，在所述確定每次調(diào)整所述電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流的步驟之前，還包括：

判斷所述電源的初始輸出電流與所述目標輸出電流的差值的絕對值是否小于所述電流閾值；其中，所述初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時所述電源的輸出電流；

若是，則將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流；

若否，則執(zhí)行所述確定每次調(diào)整所述電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整 電流的步驟。

優(yōu)選地，所述確定每次調(diào)整所述電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流的步驟包括：

獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間間隔，并計算所述第二調(diào)整電流和所述時間間隔的乘積；

判斷所述目標輸出電流是否小于所述電源的初始輸出電流；其中，所述初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時所述電源的輸出電流；

若是，則將所述乘積的負值確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；

若否，則將所述乘積確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流。

優(yōu)選地，所述計算將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流需要的總調(diào)整次數(shù)的步驟包括：

獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間間隔；

計算所述目標輸出電流與所述初始輸出電流的差的絕對值，并計算所述絕對值與所述單位時間對應的第二調(diào)整電流的第一商值，將所述第一商值作為將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流需要的總調(diào)整時間；

計算所述總調(diào)整時間與所述時間間隔的第二商值，將所述第二商值對應的向下取整值作為所述總調(diào)整次數(shù)。

優(yōu)選地，所述獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流的步驟包括：

接收用戶輸入的設定的單位時間對應的第二調(diào)整電流；或者，

計算所述電流閾值的二分之一值與所述時間間隔的第三商值，將所述第三商值確定為單位時間對應的第二調(diào)整電流。

為了解決上述問題，本發(fā)明還公開了一種調(diào)整電源輸出電流的裝置，包括：

確定模塊，用于在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整所述電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；其中，所述第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е滤鲭娫磫舆^電壓保護的電流閾值；

調(diào)整模塊，用于每隔設定的時間間隔獲取所述電源的當前輸出電流，并將所述電源的當前輸出電流調(diào)整為所述當前輸出電流與所述第一調(diào)整電流的總和，直至所述電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

優(yōu)選地，所述裝置還包括：

計算模塊，用于在所述調(diào)整模塊每隔設定的時間間隔獲取所述電源的當前輸出電流之前，計算將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流需要的總調(diào)整次數(shù)；其中，所述初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時所述電源的輸出電流。

優(yōu)選地，所述調(diào)整模塊包括：

次數(shù)賦值子模塊，用于將調(diào)整次數(shù)的初始值賦值為零；

次數(shù)判斷子模塊，用于判斷當前調(diào)整次數(shù)是否小于所述總調(diào)整次數(shù)；

電流調(diào)整子模塊，用于當所述次數(shù)判斷子模塊的判斷結(jié)果為當前調(diào)整次數(shù)小于所述總調(diào)整次數(shù)時，獲取所述電源的當前輸出電流，并將所述電源的當前輸出電流調(diào)整為所述當前輸出電流與所述第一調(diào)整電流的總和；

次數(shù)調(diào)整子模塊，用于將當前調(diào)整次數(shù)加1，并調(diào)用所述次數(shù)判斷子模塊；

電流判斷子模塊，用于當所述次數(shù)判斷子模塊的判斷結(jié)果為當前調(diào)整次數(shù)大于或等于所述總調(diào)整次數(shù)時，判斷所述電源的當前輸出電流是否等于所述目標輸出電流；若所述電源的當前輸出電流不等于所述目標輸出電流，則將所述電源的當前輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流。

優(yōu)選地，所述裝置還包括：

判斷模塊，用于在所述確定模塊確定每次調(diào)整所述電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流之前，判斷所述電源的初始輸出電流與所述目標輸出電流的差值的絕對值是否小于所述電流閾值；其中，所述初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時所述電源的輸出電流；若是，則將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流；若否，則調(diào)用確定模塊。

優(yōu)選地，所述確定模塊包括：

參數(shù)獲取子模塊，用于獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間 間隔；

乘積計算子模塊，用于計算所述第二調(diào)整電流和所述時間間隔的乘積；

比較判斷子模塊，用于判斷所述目標輸出電流是否小于所述電源的初始輸出電流；其中，所述初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時所述電源的輸出電流；

電流確定子模塊，用于當所述比較判斷子模塊的判斷結(jié)果為是時，將所述乘積的負值確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；當所述比較判斷子模塊的判斷結(jié)果為否時，將所述乘積確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流。

優(yōu)選地，所述計算模塊包括：

參數(shù)獲取子模塊，用于獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間間隔；

時間計算子模塊，用于計算所述目標輸出電流與所述初始輸出電流的差的絕對值，并計算所述絕對值與所述單位時間對應的第二調(diào)整電流的第一商值，將所述第一商值作為將所述電源的初始輸出電流調(diào)整為所述目標輸出電流需要的總調(diào)整時間；

次數(shù)計算子模塊，用于計算所述總調(diào)整時間與所述時間間隔的第二商值，將所述第二商值對應的向下取整值作為所述總調(diào)整次數(shù)。

優(yōu)選地，所述參數(shù)獲取子模塊，具體用于接收用戶輸入的設定的單位時間對應的第二調(diào)整電流；或者，計算所述電流閾值的二分之一值與所述時間間隔的第三商值，將所述第三商值確定為單位時間對應的第二調(diào)整電流。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明包括以下優(yōu)點：

本發(fā)明中在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流，每隔設定的時間間隔將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。本發(fā)明中采用緩變的方式調(diào)整電源的輸出電流，每次調(diào)整的值即第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，因 此在輸出電流的調(diào)整過程中，不會引起電源啟動過電壓保護，保證在整個調(diào)整過程中電源都能夠正常工作，進而保證負載能夠正常工作，因此該種電源能夠適用于負載電流變化較大的電子產(chǎn)品。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例一的一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖；

圖2是本發(fā)明實施例二的一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖；

圖3是本發(fā)明實施例三的一種磁控濺射設備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例三的一種電磁鐵電路的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明實施例三的一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖；

圖6是本發(fā)明實施例三的另一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖；

圖7是本發(fā)明實施例四的一種調(diào)整電源輸出電流的裝置的結(jié)構(gòu)框圖；

圖8是本發(fā)明實施例五的一種調(diào)整電源輸出電流的裝置的結(jié)構(gòu)框圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明。

實施例一

參照圖1，示出了本發(fā)明實施例一的一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖。

本實施例的調(diào)整電源輸出電流的方法可以包括以下步驟：

步驟101，在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流。

本實施例中，在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，調(diào)整輸出電流的過程中并非直接將輸出電流調(diào)整至目標輸出電流，而是經(jīng)過多次調(diào)整，每次將電源的輸出電流調(diào)整一部分。因此，首先可以確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流，在后續(xù)的每次調(diào)整過程中將電源的輸出電流調(diào)整該 第一調(diào)整電流即可，其中第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，因此，每次調(diào)整時輸出電流的變化并不會超過上述電流閾值，從而能夠避免輸出電流變化較大時導致電源啟動過電壓保護。

步驟102，每隔設定的時間間隔獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

在確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流后，即可按照每隔設定的時間間隔將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和的方式，緩慢對輸出電流進行調(diào)整，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

本實施例中采用緩變的方式調(diào)整電源的輸出電流，每次調(diào)整的值即第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，因此在輸出電流的調(diào)整過程中，不會引起電源啟動過電壓保護，保證在整個調(diào)整過程中電源都能夠正常工作，進而保證負載能夠正常工作，因此該種電源能夠適用于負載電流變化較大的電子產(chǎn)品。

實施例二

參照圖2，示出了本發(fā)明實施例二的一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖。

本實施例的調(diào)整電源輸出電流的方法可以包括以下步驟：

步驟201，在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，判斷電源的初始輸出電流與目標輸出電流的差值的絕對值是否小于電流閾值。若否，則執(zhí)行步驟202；若是，則執(zhí)行步驟205。

本實施例中，可以根據(jù)實際情況確定是否調(diào)整電源向負載的輸出電流。例如，可以在電源剛啟動后開始向負載輸出電流，需要增大電源的輸出電流時確定調(diào)整電源向負載的輸出電流；還可以在電源正在向負載輸出電流的過程中，需要減小電源的輸出電流時確定調(diào)整電源向負載的輸出電流，等等，本實施例對此并不加以限制。

其中，初始輸出電流是指在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時電源當前的輸出電流，例如，在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時電源當前的輸出電流為0，則該初始輸出電流即為0；在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時電源當前的輸出電流為100A(安培)，則該初始輸出電流即為100A，等等。目標輸出電流為設定值，即需要電源最終向負載輸出的穩(wěn)定電流值，該目標輸出電流可以為用戶(即當前使用該電源的操作人員)根據(jù)實際情況輸入的值，對于目標輸出電流的具體數(shù)值本實施例并不加以限制，本領域技術(shù)人員可以根據(jù)歷史經(jīng)驗數(shù)據(jù)進行設置，也可以根據(jù)模擬實驗的結(jié)果進行設置，還可以根據(jù)已有的相關模型對相關數(shù)據(jù)分析的結(jié)果進行設置，等等。

在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，計算電源的初始輸出電流與目標輸出電流的差值，由于初始輸出電流可能小于目標輸出電流，也可能大于目標輸出電流，因此進一步對該差值取絕對值，并判斷該差值的絕對值是否小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，進而確定是否需要采用漸變的方式將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流。

步驟202，確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流。

如果步驟201的判斷結(jié)果為否，即初始輸出電流與目標輸出電流的差值的絕對值大于或等于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，則說明若直接將初始輸出電流調(diào)整上述差值的絕對值的大小，也即一次性將初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流，將導致電源啟動過電壓保護，因此該種情況下需要采用漸變的方式將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流。

在漸變調(diào)整的過程中，每次調(diào)整時對輸出電流的調(diào)整幅度需小于上述電流閾值以避免電源啟動過電壓保護，因此確定的每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流小于上述電流閾值。

優(yōu)選地，該步驟202可以包括以下：

子步驟a1，獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間間隔，并計算第二調(diào)整電流和時間間隔的乘積；

在對輸出電流進行調(diào)整時，設定一時間間隔，即每個多長時間對電源的輸出電流進行一次調(diào)整，對于該時間間隔的具體數(shù)值，本領域技術(shù)人員可以 根據(jù)實際經(jīng)驗進行相關設置，例如可以設置為200ms(毫秒)、250ms、300ms等，本實施例對此并不加以限制。還可以確定一單位時間對應的第二調(diào)整電流，即在單位時間內(nèi)對輸出電流的調(diào)整幅度，該第二調(diào)整電流可以為用戶根據(jù)實際經(jīng)驗設定，也可以通過程序自動計算得到，因此上述獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流可以包括：接收用戶輸入的設定的單位時間對應的第二調(diào)整電流；或者，計算電流閾值的二分之一值與時間間隔的第三商值，將第三商值確定為單位時間對應的第二調(diào)整電流，需要說明的是，本實施例中并不限定于上述的電流閾值的二分之一值，也可以取其它值，如電流閾值的三分之二值、電流閾值的三分之一值等，本領域技術(shù)人員根據(jù)實際經(jīng)驗進行相關處理即可。

子步驟a2，判斷目標輸出電流是否小于電源的初始輸出電流；若是，則執(zhí)行子步驟a3；若否，則執(zhí)行子步驟a4；

子步驟a3，將乘積的負值確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；

如果目標輸出電流小于電源的初始輸出電流，則說明需要減小初始輸出電流，因此該種情況下每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流應為上述乘積的負值。

子步驟a4，將乘積確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流。

步驟203，計算將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流需要的總調(diào)整次數(shù)。

由于每隔設定的時間間隔對輸出電流進行一次調(diào)整，因此可以計算將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流需要的總調(diào)整次數(shù)。優(yōu)選地，該步驟203可以包括以下子步驟：

子步驟b1，獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間間隔；

該過程參照上述子步驟a1的相關描述即可，本實施例在此不再詳細論述。

子步驟b2，計算目標輸出電流與初始輸出電流的差的絕對值，并計算絕對值與單位時間對應的第二調(diào)整電流的第一商值，將第一商值作為將初始輸 出電流調(diào)整為目標輸出電流需要的總調(diào)整時間；

子步驟b3，計算總調(diào)整時間與時間間隔的第二商值，將第二商值對應的向下取整值作為總調(diào)整次數(shù)。

步驟204，每隔設定的時間間隔獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

由于可以每隔設定的時間間隔對電源的輸出電流進行調(diào)整，因此，在一種優(yōu)選實施例中，該步驟204可以包括以下子步驟：

子步驟c1，判斷是否到達設定的時間間隔；若是則執(zhí)行子步驟c2；若否，則執(zhí)行子步驟c1繼續(xù)判斷；

子步驟c2，獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和；

子步驟c3，判斷電源的當前輸出電流是否等于目標輸出電流；若否，則返回子步驟c1；若是，則結(jié)束調(diào)整。

由于每隔設定的時間間隔對電源的輸出電流調(diào)整一次，調(diào)整的總次數(shù)即為上述計算出的總調(diào)整次數(shù)，因此在調(diào)整上述總調(diào)整次數(shù)后，即可使電源的輸出電流達到目標輸出電流。因此，在另一種優(yōu)選實施例中，該步驟204可以包括以下子步驟：

子步驟d1，將調(diào)整次數(shù)的初始值賦值為零；

子步驟d2，判斷當前調(diào)整次數(shù)是否小于總調(diào)整次數(shù)；若是，則執(zhí)行子步驟d3；若否，則執(zhí)行子步驟d5；

子步驟d3，若當前調(diào)整次數(shù)小于總調(diào)整次數(shù)，則獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和；

子步驟d4，將當前調(diào)整次數(shù)加1，并返回子步驟d2；

子步驟d5，若當前調(diào)整次數(shù)大于或等于總調(diào)整次數(shù)，則判斷電源的當前輸出電流是否等于目標輸出電流；若否，則執(zhí)行子步驟c6；若是，則不作處理；

子步驟d6，若電源的當前輸出電流不等于目標輸出電流，則將電源的當 前輸出電流調(diào)整為目標輸出電流。

經(jīng)過上述對電源的輸出電流進行漸變式的調(diào)整過程，可以保證每次對輸出電流的調(diào)整幅度不會超過能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流，從而能夠避免在對輸出電流的調(diào)整過程中引起電源的過電壓保護，避免電源停止工作。

步驟205，將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流。

如果步驟201的判斷結(jié)果為是，即初始輸出電流與目標輸出電流的差值的絕對值小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，則說明若直接將初始輸出電流調(diào)整上述差值的絕對值的大小，也即一次性將初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流，也不會導致電源啟動過電壓保護，因此該種情況下可以直接將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流，而無需再采用漸變的方式對輸出電流進行調(diào)整，從而避免了不必要的漸變式調(diào)整，降低了調(diào)整時間，提高了調(diào)整效率。

實施例三

本實施例中，以為磁控濺射設備中的電磁線圈提供電流的恒流電源為例，說明調(diào)整電源輸出電流的方法。

濺射是指荷能粒子(例如氬離子)轟擊固體表面，引起表面各種粒子，如原子、分子或團束從該物體表面逸出的現(xiàn)象。在濺射裝置中，等離子體產(chǎn)生于工藝腔室內(nèi)，等離子體的正離子被陰極負電所吸引，轟擊腔室中的靶材，撞出靶材的原子，并沉積到襯底上。在靶材附近使用磁鐵可以改善濺射效果，它可以迫使等離子中的電子按照一定的軌道運動，增加了電子的運動時間，從而增加了電子和要電離的氣體的碰撞的機會，從而得到高密度的等離子體，提供高的沉積速率。同時磁鐵所控的電子的軌道會影響不同位置的靶材的侵蝕速率，同時影響薄膜的沉積的均勻性以及靶材的壽命。磁控濺射設備廣泛的應用于集成電路、液晶顯示器、薄膜太陽能及其LED(Light Emitting Diode，發(fā)光二極管)等領域。

參照圖3，示出了本發(fā)明實施例三的一種磁控濺射設備的結(jié)構(gòu)示意圖。 該磁控濺射設備為如下結(jié)構(gòu)：反應腔室1(包括腔室主體2和工藝組件8)、被濺射的靶材3、絕緣材料4(例如G10，玻璃纖維與樹脂碾壓復合材料)、電機5、磁控管6(磁控管在電機的驅(qū)動下繞中心軸旋轉(zhuǎn))、去離子水7(用于冷卻靶材，去離子水充滿絕緣材料和被濺射的靶材中間)、承載晶片的靜電卡盤9、真空系統(tǒng)10和電磁鐵組件11。PVD(Physical Vapor Deposition，物理氣相沉積)工藝過程中，所沉積出薄膜可能會存在中間較厚而邊緣較薄的問題，為了補償這種效應，會在圖3的相應位置增加電磁鐵組件11，通過其產(chǎn)生的一個雙極磁場重新定向金屬離子，吸引金屬離子向邊緣運動，通過調(diào)整電磁鐵的電流的強度和方向，從而能沉積出厚度更為均勻的薄膜。電磁鐵組件11中一共包含4組線圈，每組線圈由一定匝數(shù)的漆包線繞制在腔室構(gòu)成，在PVD工藝過程中，通過向?qū)€圈輸出一定方向和大小的電流來產(chǎn)生磁場，從而改變反應腔室中金屬離子的分布。

在實際應用中，為了節(jié)約成本，會為每兩組線圈配置1個大小和方向可變的直流源，通過控制直流源接入線圈兩端的方向來控制線圈內(nèi)電流的方向。電磁鐵電路的結(jié)構(gòu)如圖4所示，其中a、b、c、d為電磁鐵組件中的銅線線圈，電流源1通過轉(zhuǎn)換電路向線圈a和線圈c輸出電流，電流源2通過轉(zhuǎn)換電路向線圈b和線圈d輸出電流，圖4中，A、B表示電流源1的兩個輸出端，C、D表示電流源2的兩個輸出端，1、2表示電流源1向線圈a的兩個輸入端，3、4表示電流源2向線圈b的兩個輸入端，5、6表示電流源1向線圈c的兩個輸入端，7、8表示電流源2向線圈d的兩個輸入端。

例如，在磁控濺射設備(如PVD CuBS設備)上使用的Emag電源(即埃馬克電源)，它是一種恒流電源，主要技術(shù)指標如下：輸出電壓：0～160V，輸出電流：0～31A，電源功率：5KW。其負載為感性負載，在啟動時需要較大的電流，因此出現(xiàn)的問題是：使用Emag電源一次性給線圈兩端加較大的電流值(例如大于+5A)時，短時間內(nèi)負載電流會比較小，而Emag電源則開始不斷輸出更高的電壓，當電壓超出該電源的額定值時，該Emag電源將啟動過電壓保護，從而停止工作，進而導致負載無法正常工作。

因此，針對感性負載的恒流電源，在加載電流時不宜一下預設過大電流， 否則容易產(chǎn)生高電壓使該恒流電源被保護。但是，目前的恒流電源無法解決上述問題，即使通過操作人員在Emag電源供電時對其輸出電流進行控制，但是步驟多、速度慢且需要操作人員對該Emag電源的輸入數(shù)值限制非常熟悉。針對上述問題，由于恒流電源不能一次性輸出超過能夠?qū)е略撾娫磫舆^電壓保護的電流閾值，因此本實施例中提出了在恒流電源向負載輸出電流的過程中采取Ramp(漸變)加載電流的方式來避免觸發(fā)電源過電壓保護以及保證整個設置流程的自動化。對于一個較高的目標電流值，將每隔一個時間段設置一個變動不超過電源過電壓保護的電流閾值(具體的電流閾值為多少，跟負載本身線圈特性如匝數(shù)有關，可以經(jīng)過實際試驗測定，如PVD CuBS設備所采用的Emag電源經(jīng)實際測驗后，一次性增加小于5A的電流時可避免Emag電源電壓過載從而被關閉保護的現(xiàn)象)，直到若干個時間段后最終達到目標電流值。

本實施例中，可以預先設置用于調(diào)整電源輸出電流的功能函數(shù)PhyPowerSupply::do_SetPower(Power，rampRate)，該功能函數(shù)可以包括兩個參數(shù)Power(即上述的目標輸出電流)和rampRate(即上述單位時間對應的第二調(diào)整電流)，當確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，可以調(diào)用該功能函數(shù)執(zhí)行調(diào)整電源輸出電流的過程。還可以預先設置一個最小設值間隔時間cfgInterval(即上述的時間間隔)和需要漸變的最小值cfgPowerDiffMin(即上述的電流閾值)，這些值將在上述功能函數(shù)的執(zhí)行過程中利用。

在一種優(yōu)選實施例中，在設計功能函數(shù)時可以提供兩個輸入?yún)?shù)接口：Power和rampRate，即Power和rampRate均為用戶輸入的設定值。對應于該種情況，圖5為本發(fā)明實施例三的一種調(diào)整電源輸出電流的方法的步驟流程圖。該調(diào)整電源輸出電流的方法可以包括以下步驟：

步驟501，接收用戶輸入的Power和rampRate，調(diào)用功能函數(shù)PhyPowerSupply::do_SetPower(Power，rampRate)。

步驟502，判斷是否滿足Power<0。若是，則執(zhí)行步驟503；若否，則執(zhí)行步驟504。

步驟503，令Power＝0。

步驟504，判斷是否滿足rampRate<0。若是，則執(zhí)行步驟515；若否，則執(zhí)行步驟505。

步驟505，獲取電源的初始輸出電流iniPower，并判斷是否滿足fabs(Power－iniPower)<cfgPowerDiffMin。其中fabs是指取絕對值。若是，則執(zhí)行步驟515；若否，則執(zhí)行步驟506。

步驟506，計算PowerSlice＝(rampRate/1000)×cfgInterval。其中PowerSlice為上述每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流，rampRate/1000是指對單位進行統(tǒng)一，rampRate為每s(秒)對應的第二調(diào)整電流，則cfgInterval的單位為ms(毫秒)。

步驟507，判斷是否滿足Power<iniPower。若是，則執(zhí)行步驟508；若否，則執(zhí)行步驟509。

步驟508，令PowerSlice＝－PowerSlice(PowerSlice的負值)。

步驟509，計算cycle＝int(rampTime/cfgInterval)。其中，int是指向下取整，cycle為上述的總調(diào)整次數(shù)，rampTime為總調(diào)整時間，rampTime＝(fabs(Power-iniPower)/rampRate)×1000，rampTime的單位為ms。

步驟510，令調(diào)整次數(shù)i＝0(int i＝0)。

步驟511，判斷是否滿足i<cycle。若是(true)，則執(zhí)行步驟512；若否(false)，則執(zhí)行步驟514。

步驟512，令curPower＝curPower+PowerSlice，將電源的輸出電流調(diào)整為curPower。

步驟513，令i＝i+1(++i)，并返回步驟511。

步驟514，判斷是否滿足Power?。絚urPower。其中，?。绞侵覆坏扔凇Ｈ羰?，則執(zhí)行步驟515；若否，則不作處理。

步驟515，將電源的輸出電流設置為Power。

例如，需要給Emag電源以每秒4A的Ramp率加一個20A的電流。其中配置參數(shù)cfgPowerDiffMin為5A，cfgInterval為250ms，執(zhí)行PhyPowerSupply::do_SetPower(20，4)，則相關參數(shù)rampTime等于5000ms，cycle等于20，PowerSlice等于1A，那么Emag電源就以每250ms增加1A 的頻率進行20次調(diào)整，并在第5000ms的時候達到預設值20A。

但是，上述方式中不僅需要用戶輸入Power，還要需要用戶輸入rampRate，并且該rampRate需要選取合適的值，否則可能還是會觸發(fā)恒流源的電壓保護機制，因此需要用戶對該電源有較深的了解才能選取合適的rampRate。因此，在另一種優(yōu)選實施例中，在軟件操作人員專業(yè)程度存在差異的情況下，為了避免上述問題，可以僅提供一個輸入?yún)?shù)接口用于輸入Power參數(shù)，對于功能函數(shù)PhyPowerSupply::do_SetPower中的rampRate參數(shù)，可以通過結(jié)合配置參數(shù)自動計算出來。例如，假定電流閾值的cfgPwerDiffMin 1/2為合適的PowerSlice值，則根據(jù)各變量參數(shù)間關系可以得出cfgPowerDiffMin/2＝PowerSlice＝(rampRate/1000)×cfgInterval，進而計算出rampRate＝(cfgPwerDiffMin×1000)/(cfgInternal×2)。本實施例中并不限定為上述1/2值，通過調(diào)整rampRate計算公式(即調(diào)整上述1/2值)可以對rampRate設置范圍進行一定的調(diào)整，調(diào)整的基本原則是保證安全、反應速度快且適中。對應于該種情況，在圖5所示的方法之前還可以包括計算rampRate的過程，如圖6所示，該調(diào)整電源輸出電流的方法在上述步驟502之前，可以包括以下步驟：

步驟601，接收用戶輸入的Power，調(diào)用用于計算rampRate的功能函數(shù)PhyEMagDC::SetCurrent(Power)。

步驟602，計算rampRate＝(cfgPwerDiffMin×1000)/(cfgInternal×2)。

步驟603，調(diào)用功能函數(shù)PhyPowerSupply::do_SetPower(Power，rampRate)。

需要說明的是，在步驟603之后，將繼續(xù)執(zhí)行上述步驟502～步驟515，為了簡便圖6中未示出后續(xù)步驟，具體參照上述圖5的相關描述即可，本實施例在此不再詳細論述。

本實施例具有以下優(yōu)點：

1、對超出電源保護電流閾值的目標電流，自動采用漸變式的增加方式，實現(xiàn)自動設置功能；

2、采用自動計算漸變值的機制，避免操作人員專業(yè)水平不一帶來的不 合理參數(shù)輸入問題；

3、可通過相關配置調(diào)整使?jié)u變值更加符合用戶要求，使得電源在使用安全的情況下提高反應速度，并且保持適中反應速度來延長電源使用壽命。

對于前述的各方法實施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列的動作組合，但是本領域技術(shù)人員應該知悉，本發(fā)明并不受所描述的動作順序的限制，因為依據(jù)本發(fā)明，某些步驟可以采用其他順序或者同時進行。其次，本領域技術(shù)人員也應該知悉，說明書中所描述的實施例均屬于優(yōu)選實施例，所涉及的動作和模塊并不一定是本發(fā)明所必須的。

實施例四

參照圖7，示出了本發(fā)明實施例四的一種調(diào)整電源輸出電流的裝置的結(jié)構(gòu)框圖。

本實施例的調(diào)整電源輸出電流的裝置可以包括以下模塊：

確定模塊701，用于在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；其中，第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值；

調(diào)整模塊702，用于每隔設定的時間間隔獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

本實施例中在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流，每隔設定的時間間隔將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。本實施例中采用緩變的方式調(diào)整電源的輸出電流，每次調(diào)整的值即第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值，因此在輸出電流的調(diào)整過程中，不會引起電源啟動過電壓保護，保證在整個調(diào)整過程中電源都能夠正常工作，進而保證負載能夠正常工作，因此該種電源能夠適用于負載電流變化較大的電子產(chǎn)品。

實施例五

參照圖8，示出了本發(fā)明實施例五的一種調(diào)整電源輸出電流的裝置的結(jié)構(gòu)框圖。

本實施例的調(diào)整電源輸出電流的裝置可以包括以下模塊：

判斷模塊801，用于在確定模塊確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流之前，判斷電源的初始輸出電流與目標輸出電流的差值的絕對值是否小于電流閾值；若是，則將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流；若否，則調(diào)用確定模塊；

其中，初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時電源的輸出電流。

確定模塊802，用于在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流后，確定每次調(diào)整電源的輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；其中，第一調(diào)整電流小于能夠?qū)е码娫磫舆^電壓保護的電流閾值；

優(yōu)選地，確定模塊可以包括以下子模塊：

參數(shù)獲取子模塊，用于獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間間隔；

乘積計算子模塊，用于計算第二調(diào)整電流和時間間隔的乘積；

比較判斷子模塊，用于判斷目標輸出電流是否小于電源的初始輸出電流；其中，初始輸出電流為在確定調(diào)整電源向負載的輸出電流時電源的輸出電流；

電流確定子模塊，用于當比較判斷子模塊的判斷結(jié)果為是時，將乘積的負值確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流；當比較判斷子模塊的判斷結(jié)果為否時，將乘積確定為每次調(diào)整輸出電流時對應的第一調(diào)整電流。

計算模塊803，用于在調(diào)整模塊每隔設定的時間間隔獲取電源的當前輸出電流之前，計算將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流需要的總調(diào)整次數(shù)；

優(yōu)選地，計算模塊可以包括以下子模塊：

參數(shù)獲取子模塊，用于獲取單位時間對應的第二調(diào)整電流和設定的時間 間隔；

時間計算子模塊，用于計算目標輸出電流與初始輸出電流的差的絕對值，并計算絕對值與單位時間對應的第二調(diào)整電流的第一商值，將第一商值作為將電源的初始輸出電流調(diào)整為目標輸出電流需要的總調(diào)整時間；

次數(shù)計算子模塊，用于計算總調(diào)整時間與時間間隔的第二商值，將第二商值對應的向下取整值作為總調(diào)整次數(shù)。

優(yōu)選地，上述參數(shù)獲取子模塊，具體用于接收用戶輸入的設定的單位時間對應的第二調(diào)整電流；或者，計算電流閾值的二分之一值與時間間隔的第三商值，將第三商值確定為單位時間對應的第二調(diào)整電流。

調(diào)整模塊804，用于每隔設定的時間間隔獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和，直至電源的輸出電流達到設定的目標輸出電流為止。

優(yōu)選地，調(diào)整模塊可以包括以下子模塊：

次數(shù)賦值子模塊，用于將調(diào)整次數(shù)的初始值賦值為零；

次數(shù)判斷子模塊，用于判斷當前調(diào)整次數(shù)是否小于總調(diào)整次數(shù)；

電流調(diào)整子模塊，用于當次數(shù)判斷子模塊的判斷結(jié)果為當前調(diào)整次數(shù)小于總調(diào)整次數(shù)時，獲取電源的當前輸出電流，并將電源的當前輸出電流調(diào)整為當前輸出電流與第一調(diào)整電流的總和；

次數(shù)調(diào)整子模塊，用于將當前調(diào)整次數(shù)加1，并調(diào)用次數(shù)判斷子模塊；

電流判斷子模塊，用于當次數(shù)判斷子模塊的判斷結(jié)果為當前調(diào)整次數(shù)大于或等于總調(diào)整次數(shù)時，判斷電源的當前輸出電流是否等于目標輸出電流；若電源的當前輸出電流不等于目標輸出電流，則將電源的當前輸出電流調(diào)整為目標輸出電流。

本實施例具有以下優(yōu)點：

1、對超出電源保護電流閾值的目標電流，自動采用漸變式的增加方式，實現(xiàn)自動設置功能；

2、采用自動計算漸變值的機制，避免操作人員專業(yè)水平不一帶來的不合理參數(shù)輸入問題；

3、可通過相關配置調(diào)整使?jié)u變值更加符合用戶要求，使得電源在使用安全的情況下提高反應速度，并且保持適中反應速度來延長電源使用壽命。

對于裝置實施例而言，由于其與方法實施例基本相似，所以描述的比較簡單，相關之處參見方法實施例的部分說明即可。

本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。

本發(fā)明可以在由計算機執(zhí)行的計算機可執(zhí)行指令的一般上下文中描述，例如程序模塊。一般地，程序模塊包括執(zhí)行特定任務或?qū)崿F(xiàn)特定抽象數(shù)據(jù)類型的例程、程序、對象、組件、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等等。也可以在分布式計算環(huán)境中實踐本發(fā)明，在這些分布式計算環(huán)境中，由通過通信網(wǎng)絡而被連接的遠程處理設備來執(zhí)行任務。在分布式計算環(huán)境中，程序模塊可以位于包括存儲設備在內(nèi)的本地和遠程計算機存儲介質(zhì)中。

最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術(shù)語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、商品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、商品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、商品或者設備中還存在另外的相同要素。

以上對本發(fā)明所提供的一種調(diào)整電源輸出電流的方法和裝置，進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發(fā)明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應理解為對本發(fā)明的限制。