技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了監(jiān)測一制造裝置的方法，包括：于預(yù)定時(shí)段內(nèi)收集控制器的控制信號(hào)與該制造裝置相對(duì)應(yīng)的感測信號(hào)。將控制信號(hào)與相對(duì)應(yīng)的感測信號(hào)作分割，得到至少一控制步驟。根據(jù)控制信號(hào)、感測信號(hào)、至少一控制步驟或用戶手冊(cè)所得的信息，的其中至少一項(xiàng)，計(jì)算該控制器的一特征。根據(jù)該特征產(chǎn)生該控制器一健康指標(biāo)。在該健康指標(biāo)超過一預(yù)定門檻值時(shí)，產(chǎn)生一警告信號(hào)。

技術(shù)研發(fā)人員：陳德銘;張森嘉;賴建良;戴齊廷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
文檔號(hào)碼：201511005801
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.29
技術(shù)公布日：2017.05.17