本發(fā)明是涉及質(zhì)量流量控制裝置的發(fā)明，涉及基于流體的壓力或者差壓的測(cè)量值對(duì)質(zhì)量流量進(jìn)行控制的質(zhì)量流量控制裝置，但不限于此。

背景技術(shù)：

質(zhì)量流量控制裝置(質(zhì)量流量控制器)是至少包括測(cè)量流體的流量的流量計(jì)、控制流體的流量的流量控制閥、對(duì)流量計(jì)和流量控制閥進(jìn)行控制的控制電路及其他零部件的控制設(shè)備。質(zhì)量流量控制裝置出于例如在半導(dǎo)體的制造工藝中對(duì)向腔室內(nèi)供給的氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行控制等目的而被廣泛使用。

質(zhì)量流量控制裝置中所使用的流量計(jì)具有各種各樣的形式。對(duì)于出于控制半導(dǎo)體的制造工藝中的氣體的質(zhì)量流量的目的而使用的質(zhì)量流量控制裝置，主要使用熱式流量計(jì)或者壓力式流量計(jì)。利用流量計(jì)進(jìn)行測(cè)量的氣體的流量容易受到所測(cè)量的氣體的壓力的影響。例如，在流量計(jì)的上游側(cè)的氣體的壓力發(fā)生了急劇變化的情況下等，難以準(zhǔn)確地測(cè)量流量。因此，出于準(zhǔn)確地測(cè)量流量而對(duì)其進(jìn)行控制的目的，提出了一種具有用于使流量計(jì)的上游側(cè)的氣體的壓力保持恒定的機(jī)構(gòu)的質(zhì)量流量控制裝置。

例如，在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種流體的流量控制裝置的發(fā)明，其特征在于，檢測(cè)流體流入的入口側(cè)的壓力的變動(dòng)，基于檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行控制，使流量用傳感器(傳感器單元)的上游側(cè)的流體的壓力恒定。在專利文獻(xiàn)1中，作為發(fā)明的實(shí)施方式，記載了在流量用傳感器的上游側(cè)設(shè)有壓力控制機(jī)構(gòu)(壓力控制單元)的流量控制裝置的構(gòu)成例。該壓力控制機(jī)構(gòu)利用壓電元件監(jiān)視并檢測(cè)壓力的變動(dòng)，使管的路徑變動(dòng)，進(jìn)行壓力的調(diào)整。

另外，例如，在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了一種質(zhì)量流量控制器的發(fā)明，其是具有流量控制閥和流量傳感器的質(zhì)量流量控制器，其特征在于，具有配置在流量控制閥的上游側(cè)的壓力控制閥、配置在壓力控制閥與流量控制閥之間的壓力傳感器、以及通過(guò)反饋壓力傳感器的輸出來(lái)控制壓力控制閥的控制部。在專利文獻(xiàn)2的圖1中，作為發(fā)明的實(shí)施方式，示出了一種使用熱式流量計(jì)的質(zhì)量流量控制器的實(shí)施例。

在專利文獻(xiàn)2的圖4中示出了一種使用以往的質(zhì)量流量控制器的半導(dǎo)體制造線的例子。在該圖所示出的半導(dǎo)體制造線中，多種氣體被供給至多個(gè)管線。在各氣體供給管線中，隨著自上游側(cè)朝向下游側(cè)去，儲(chǔ)氣罐、機(jī)械式調(diào)壓器、測(cè)量?jī)x表、過(guò)濾器及質(zhì)量流量控制器按該順序由配管連接起來(lái)。機(jī)械式調(diào)壓器是為了供給穩(wěn)定的流量的氣體而設(shè)置的。

此外，例如，在專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了一種質(zhì)量流量控制器的發(fā)明，其包括流量控制閥、流量檢測(cè)單元、配置在流量控制閥的上游側(cè)的壓力控制閥以及配置在壓力控制閥與流量控制閥之間的壓力檢測(cè)單元，流量檢測(cè)單元構(gòu)成為檢測(cè)在流路內(nèi)流動(dòng)的流體的差壓。在專利文獻(xiàn)3的圖1中，作為發(fā)明的實(shí)施方式，示出了一種將專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)的質(zhì)量流量控制器的熱式質(zhì)量流量計(jì)替換成壓力式質(zhì)量流量計(jì)而得到的結(jié)構(gòu)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平10－207554號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2003－280745號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)2004－157719號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

所述專利文獻(xiàn)1～3中公開(kāi)的發(fā)明均能夠通過(guò)在流量計(jì)的上游側(cè)設(shè)置壓力檢測(cè)單元(壓力傳感器)及壓力控制單元(壓力控制閥等)來(lái)將流量計(jì)的上游側(cè)的氣體的壓力保持為恒定，在這一方面，有助于提高流量的測(cè)量精度。

但是，以往技術(shù)的壓力控制單元均是以由壓力檢測(cè)單元檢測(cè)到的壓力為控制量(controlled variable)的所謂的主動(dòng)控制(active control)。因而，以壓力為控制量的主動(dòng)控制和以由流量計(jì)檢測(cè)到的流量為控制量的主動(dòng)控制這兩個(gè)主動(dòng)控制在一臺(tái)質(zhì)量流量控制裝置中同時(shí)進(jìn)行，因此無(wú)法避免多個(gè)主動(dòng)控制相互影響(或者干擾)。因此，存在這樣的問(wèn)題：在由于某種原因而流量計(jì)的上游側(cè)的氣體的壓力發(fā)生了變動(dòng)的情況下，直至恢復(fù)為原來(lái)的壓力為止需花費(fèi)時(shí)間。

對(duì)作為所述問(wèn)題的例子的、流量計(jì)使用壓力式流量計(jì)的情況更具體地進(jìn)行說(shuō)明。利用壓力式流量計(jì)進(jìn)行的流量的測(cè)量例如是利用流量同壓力式流量計(jì)的上游側(cè)的壓力(以下稱作“P1”)與下游側(cè)的壓力(以下稱作“P2”)之間的差壓ΔP成比例的關(guān)系等來(lái)進(jìn)行的。在主動(dòng)控制流量控制閥的開(kāi)度以使與流量成比例的差壓ΔP接近目標(biāo)值的情況下，若壓力控制單元的將P1控制為恒定值的功能不夠完善或者控制發(fā)生延遲，則受P2的變化的影響，P1也會(huì)發(fā)生變化。

若如此，則即使能夠?qū)⒉顗害控制為目標(biāo)值，也會(huì)由于控制前后的壓力P1的變化而導(dǎo)致流量偏離目標(biāo)值。為了補(bǔ)正該偏離，例如，需要針對(duì)使用的氣體種類按照P1的不同值預(yù)先測(cè)量差壓ΔP與流量的關(guān)系等對(duì)策，獲取數(shù)據(jù)需花費(fèi)龐大的時(shí)間和工時(shí)。

另一方面，為了使要測(cè)量流量的氣體的壓力保持恒定，例如，如專利文獻(xiàn)2的圖4所圖示的那樣，可以考慮在儲(chǔ)氣罐與質(zhì)量流量控制裝置之間設(shè)置機(jī)械式調(diào)壓器等。機(jī)械式調(diào)壓器用于進(jìn)行將下游側(cè)的壓力保持為預(yù)先設(shè)定的值的所謂的被動(dòng)控制(passive control)。因此，被認(rèn)為采用所述結(jié)構(gòu)能夠使質(zhì)量流量控制器的內(nèi)部的氣體的壓力迅速地恢復(fù)為原來(lái)的壓力。

但是，在專利文獻(xiàn)2的圖4所示出的以往的半導(dǎo)體制造線中，在機(jī)械式調(diào)壓器與質(zhì)量流量控制裝置內(nèi)的流量計(jì)之間存在有測(cè)量?jī)x表、過(guò)濾器及配管等。這些構(gòu)件及配管所具有的流體阻力以及在內(nèi)部流動(dòng)的氣體的容量大到進(jìn)行壓力控制時(shí)無(wú)法忽視的程度。因此，即使利用機(jī)械式調(diào)壓器調(diào)整了氣體的壓力，也無(wú)法避免這樣的問(wèn)題：在流量計(jì)的位置處的氣體壓力到達(dá)所述調(diào)整好的壓力為止需要花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間。

本發(fā)明是鑒于以往的質(zhì)量流量控制裝置所具有的所述各問(wèn)題而做成的，其目的在于提供一種這樣的質(zhì)量流量控制裝置：即使在流量計(jì)的上游側(cè)的壓力P1發(fā)生了變動(dòng)的情況下，也能夠使該壓力P1瞬間地恢復(fù)為原來(lái)的壓力，由此，能夠提高流量計(jì)所測(cè)量的流量的測(cè)量精度。

本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置包括：流量計(jì)；機(jī)械式調(diào)壓閥，其與流量計(jì)相鄰地配置在流量計(jì)的上游側(cè)；流量控制閥，其配置在流量計(jì)的下游側(cè)。

采用該特征，以由流量計(jì)測(cè)量出的流量為控制量來(lái)變更流量控制閥的開(kāi)度，從而主動(dòng)地控制流體的流量。另一方面，流量計(jì)的內(nèi)部的流體的壓力由配置在其上游側(cè)的機(jī)械式調(diào)壓閥被動(dòng)地控制。因而，不存在像以往技術(shù)那樣兩個(gè)主動(dòng)控制相互干擾的情況。

并且，機(jī)械式調(diào)壓閥與流量計(jì)相鄰地配置在流量計(jì)的上游側(cè)，因此機(jī)械式調(diào)壓閥的壓力調(diào)整的結(jié)果瞬間地反映到流量計(jì)的內(nèi)部的壓力。因而，在流量計(jì)的內(nèi)部的壓力發(fā)生了變動(dòng)的情況下，該壓力返回至原來(lái)的壓力所需的時(shí)間比以往技術(shù)短。

在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式中，機(jī)械式調(diào)壓閥埋設(shè)于質(zhì)量流量控制裝置的基部(基底)中。采用該特征，能夠在同樣埋設(shè)于基部的流量計(jì)的附近配置機(jī)械式調(diào)壓閥，因此優(yōu)選。并且，與將機(jī)械式調(diào)壓閥配置在基部的上表面的情況相比，通過(guò)將機(jī)械式調(diào)壓閥埋設(shè)于基部，使基部的上表面的空間產(chǎn)生寬裕，因此能夠在那里設(shè)置其他構(gòu)件，或者謀求質(zhì)量流量控制裝置整體的小型化。

本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置不存在多個(gè)主動(dòng)控制相互干擾的情況，并且，機(jī)械式調(diào)壓閥的壓力調(diào)整的結(jié)果瞬間地反映到流量計(jì)的內(nèi)部的壓力，因此能夠迅速且穩(wěn)定地控制流量計(jì)的內(nèi)部的壓力。由此，能夠?qū)⒘髁坑?jì)要測(cè)量的流體的壓力始終保持恒定，因此流量計(jì)的測(cè)量精度得到提高，進(jìn)而能夠提高質(zhì)量流量控制裝置的流量控制的精度。

另外，例如，在像以下列舉出的情況下，在流體被封入質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部的狀態(tài)下，質(zhì)量流量控制裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止。

(1)因操作人員的操作，質(zhì)量流量控制裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)。

(2)因停電等事故，向質(zhì)量流量控制裝置供給的電力被切斷時(shí)。

(3)在質(zhì)量流量控制裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)中，因電源電路的故障等，向流量控制閥施加的電壓變成0(零)時(shí)(常用的常閉型的流量控制閥的情況下)。

(4)在質(zhì)量流量控制裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)中，因壓電元件的破損等，流量控制閥的開(kāi)動(dòng)作變得無(wú)法進(jìn)行時(shí)(常用的常閉型的流量控制閥的情況下)。

其中，在(1)及(2)的情況下，分別能夠通過(guò)對(duì)操作人員的操作及對(duì)事故的修復(fù)而使質(zhì)量流量控制裝置再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。但是，在(3)及(4)的情況下，只要不對(duì)電源電路及壓電元件的故障進(jìn)行修理或者更換質(zhì)量流量控制裝置，則不可能使質(zhì)量流量控制裝置再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。即，在這些情況下，例如需要從氣體的供給管線等卸下質(zhì)量流量控制裝置。

另一方面，對(duì)于例如半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等，存在將例如腐蝕性氣體等有害氣體用作工藝氣體的情況。在內(nèi)部封入有這樣的有害氣體的狀態(tài)下卸下質(zhì)量流量控制裝置來(lái)拆開(kāi)修理的情況下，隨著質(zhì)量流量控制裝置的拆開(kāi)，有害氣體有可能泄漏到外部。因此，在沒(méi)有應(yīng)對(duì)有害氣體的準(zhǔn)備的地點(diǎn)不能將質(zhì)量流量控制裝置拆開(kāi)來(lái)進(jìn)行修理。

因此，針對(duì)這樣的情況，公知有在比質(zhì)量流量控制裝置靠上游側(cè)或者下游側(cè)的氣體流路設(shè)置用于使封入質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部的氣體安全排出的分支配管的方案。通常，能夠借助這樣的分支配管，例如使用真空泵等，在卸下質(zhì)量流量控制裝置之前，使氣體從質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部排出。

不過(guò)，本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置如所述那樣設(shè)有機(jī)械式調(diào)壓閥。詳細(xì)而言，如后述那樣，機(jī)械式調(diào)壓閥構(gòu)成為：在調(diào)壓室的壓力低于規(guī)定的設(shè)定壓力時(shí)，在閥芯與閥座之間產(chǎn)生間隙而開(kāi)閥；在調(diào)壓室的壓力高于設(shè)定壓力時(shí)，閥芯與閥座之間的間隙消失而閉閥。因而，如所述那樣因質(zhì)量流量控制裝置產(chǎn)生某種異常等原因而質(zhì)量流量控制裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)，若調(diào)壓室的壓力高于設(shè)定壓力，則機(jī)械式調(diào)壓閥閉合。

在所述情況下，形成了流體的流路的被機(jī)械式調(diào)壓閥和流量控制閥劃分出的一部分(以下，有時(shí)稱作“封閉空間”)，流體被封入該封閉空間。封閉空間的體積通常為0.5cm³以上、1.0cm³以下。

在仍為所述那樣的狀態(tài)下，即使如所述那樣借助分支配管使用真空泵等對(duì)上游側(cè)或者下游側(cè)的分支配管進(jìn)行減壓，也無(wú)法使封入質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部的流體排出。

因此，本發(fā)明的另一優(yōu)選實(shí)施方式的質(zhì)量流量控制裝置還包括用于強(qiáng)制地使所述機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥的強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)。這樣，在利用強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥的狀態(tài)下，例如能夠通過(guò)如所述那樣借助分支配管使用真空泵等對(duì)上游側(cè)或者下游側(cè)的分支配管進(jìn)行減壓，從而在卸下質(zhì)量流量控制裝置之前使流體從質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部排出。

另外，作為機(jī)械式調(diào)壓閥的具體例，能夠列舉出這樣的機(jī)械式調(diào)壓閥：包括：調(diào)壓室，其構(gòu)成所述質(zhì)量流量控制裝置的流體的流路的一部分；隔膜，其將所述調(diào)壓室的內(nèi)部區(qū)域和所述流路的外部區(qū)域隔開(kāi)，機(jī)械式調(diào)壓閥構(gòu)成為，當(dāng)所述調(diào)壓室內(nèi)的所述流體的壓力低于規(guī)定的設(shè)定壓力時(shí)所述隔膜的至少一部分向所述調(diào)壓室側(cè)移位而開(kāi)閥。

在質(zhì)量流量控制裝置包括具有所述那樣的結(jié)構(gòu)的機(jī)械式調(diào)壓閥的情況下，所述強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)包括通過(guò)來(lái)自外部的操作使所述隔膜的至少一部分向所述調(diào)壓室側(cè)移位的構(gòu)件。這樣，能夠利用該構(gòu)件機(jī)械地使隔膜的至少一部分向調(diào)壓室側(cè)移位，強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥，使流體從質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部排出。

另外，優(yōu)選強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)配置在流體的流路的外部區(qū)域。由此，能夠省略用于確保流體的流路的密閉性的密封構(gòu)造等，使強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)成為更簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)。

此外，優(yōu)選由所述強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥時(shí)的開(kāi)度大于所述質(zhì)量流量控制裝置(通常的)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的該機(jī)械式調(diào)壓閥的最大開(kāi)度。這樣，能夠提高強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥來(lái)使流體從質(zhì)量流量控制裝置的內(nèi)部排出時(shí)的排出效率，縮短排出所需時(shí)間，或者提高利用真空泵的排氣所達(dá)到的真空度。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置的構(gòu)成例的示意圖。

圖2是表示本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥的一實(shí)施例的剖視圖。

圖3是表示本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥的另一實(shí)施例的剖視圖。

圖4是表示本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置的安裝例的側(cè)視圖。

圖5是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的質(zhì)量流量控制裝置所具有的機(jī)械式調(diào)壓閥及強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)的剖視圖。

圖6是表示圖5所示的機(jī)械式調(diào)壓閥被強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)開(kāi)閥的狀況的剖視圖。

圖7是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的質(zhì)量流量控制裝置的安裝例的側(cè)視圖。

圖8的(A)是圖7所示的質(zhì)量流量控制裝置的俯視圖，圖8的(B)是其仰視圖。

具體實(shí)施方式

使用附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，這里所說(shuō)明的實(shí)施方式不過(guò)是本發(fā)明的實(shí)施方式的示例，本發(fā)明的實(shí)施方式不限于這里例示的實(shí)施方式。

圖1是表示本發(fā)明的質(zhì)量流量裝置的構(gòu)成例的示意圖。流體(液體或者氣體)從圖的左側(cè)流入質(zhì)量流量控制裝置1，從右側(cè)流出。本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置1包括流量計(jì)2、機(jī)械式調(diào)壓閥3、以及流量控制閥4。機(jī)械式調(diào)壓閥3與流量計(jì)2相鄰地配置在流量計(jì)2的上游側(cè)。流量控制閥4配置在流量計(jì)2的下游側(cè)。流量控制閥4包括閥4b以及用于開(kāi)閉閥4b的壓電元件4a。

流量計(jì)2能夠使用具有測(cè)量流體的流量的功能的公知的流量計(jì)。如所述那樣，在半導(dǎo)體的制造工藝中，為了控制氣體的質(zhì)量流量而使用的質(zhì)量流量控制裝置主要使用熱式流量計(jì)或者壓力式流量計(jì)。熱式流量計(jì)是這樣測(cè)量流量的：在從流路分支出的傳感器管的上游側(cè)及下游側(cè)分別設(shè)置傳感器導(dǎo)線，間接地加熱流體，利用伴隨著因流體的流動(dòng)引起的熱量的移動(dòng)而產(chǎn)生的傳感器導(dǎo)線間的溫差來(lái)測(cè)量流量。

壓力式流量計(jì)是，在流路的中間設(shè)計(jì)噴嘴、孔、以及層流元件等流體阻力件，例如，利用流量同流體阻力件的上游側(cè)的壓力P1與下游側(cè)的壓力P2之間的差壓ΔP成比例的關(guān)系等來(lái)測(cè)量流量。對(duì)于壓力式流量計(jì)，可以針對(duì)P1和P2分別使用獨(dú)立的壓力測(cè)量手段來(lái)進(jìn)行壓力的測(cè)量，也可以使用能夠測(cè)量P1和P2之間的差壓的差壓測(cè)量手段來(lái)進(jìn)行壓力的測(cè)量。壓力或者差壓的測(cè)量能夠使用公知的壓力傳感器或者差壓傳感器。

圖1中例示的流量計(jì)2構(gòu)成為：設(shè)有層流元件2a來(lái)作為流體阻力件，分別利用獨(dú)立的壓力傳感器2b及壓力傳感器2c測(cè)量層流元件2a的上游側(cè)的壓力P1及下游側(cè)的壓力P2。利用壓力式流量計(jì)測(cè)量出的流量是體積流量，因此，例如能夠使用P1和P2的平均值等，將其換算為質(zhì)量流量。在替代壓力傳感器2b及壓力傳感器2c而使用一個(gè)差壓傳感器來(lái)測(cè)量ΔP的情況下，除了差壓傳感器之外還設(shè)置壓力傳感器來(lái)測(cè)量壓力式流量計(jì)的位置處的流體壓力，能夠使用該壓力來(lái)將體積流量換算為質(zhì)量流量。

在本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置中，流量計(jì)能夠使用公知的各種形式的流量計(jì)。但是，其中，對(duì)于壓力式流量計(jì)而言，上游側(cè)的壓力的變動(dòng)直接影響流量的測(cè)量精度。因而，流量計(jì)使用壓力式流量計(jì)的情況能夠最大限度地發(fā)揮本發(fā)明的壓力調(diào)整的效果。但是，對(duì)于壓力式流量計(jì)以外的流量計(jì)(例如熱式流量計(jì)等)，雖然不如壓力式流量計(jì)的情況明顯，上游側(cè)的壓力的變動(dòng)也會(huì)對(duì)測(cè)量精度造成影響，因此，本發(fā)明的效果不限于使用壓力式流量計(jì)的情況。

作為流量計(jì)的上游側(cè)的壓力發(fā)生變動(dòng)的主要原因，例如，可以想到向質(zhì)量流量控制裝置供給氣體的氣體供給管線的氣體的壓力(以下，稱作“P0”)因某些原因而發(fā)生變動(dòng)的情況等。在圖1所示的質(zhì)量流量控制裝置1中，出于監(jiān)視P0的變動(dòng)的目的，在機(jī)械式調(diào)壓閥的上游側(cè)配置有壓力傳感器5。另外，用于測(cè)量向質(zhì)量流量控制裝置供給的氣體的溫度T的溫度傳感器6也配置在同一位置。

機(jī)械式調(diào)壓閥3是能夠不使用電氣手段僅憑借機(jī)械動(dòng)作來(lái)進(jìn)行壓力調(diào)整的調(diào)壓閥(壓力調(diào)節(jié)器)。機(jī)械式調(diào)壓閥3具有這樣的作用：即使機(jī)械式調(diào)壓閥3的上游側(cè)的壓力(P0)和機(jī)械式調(diào)壓閥3的下游側(cè)的壓力(P1)在假定的范圍內(nèi)變動(dòng)，也能夠始終將下游側(cè)的壓力(P1)維持為預(yù)先設(shè)定好的恒定值。因此，即使在氣體供給管線的氣體壓力P0發(fā)生了變動(dòng)或者隨著由于質(zhì)量流量控制裝置的作用帶來(lái)的流量控制而流量計(jì)的下游側(cè)的壓力P2發(fā)生了變動(dòng)的情況下，也能夠防止因P0或者P2的變動(dòng)的影響而P1發(fā)生的變動(dòng)于未然。

實(shí)施例1

使用圖2進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明機(jī)械式調(diào)壓閥3的調(diào)壓作用。圖2是表示本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥的一實(shí)施例的剖視圖。從氣體供給管線向質(zhì)量流量控制裝置1供給來(lái)的氣體從流體入口3a流入機(jī)械式調(diào)壓閥3的內(nèi)部。氣體通過(guò)閥芯3c和閥座3d之間的間隙進(jìn)入調(diào)壓室3f，之后，從流體出口3k流向流量計(jì)2。

閥芯3c被閥彈簧3b的彈力向閥座3d的方向下壓。閥芯3c與閥座3d之間的間隙的大小通過(guò)從下方上推閥芯3的閥桿3e的上下動(dòng)作來(lái)調(diào)整。閥桿3e的底部載置于隔膜3g的上表面。在隔膜3g的下表面配置有隔膜按壓件3h，隔膜按壓件3h的底部被調(diào)壓彈簧3i支承。調(diào)壓彈簧3i的位置能夠利用調(diào)整螺釘3j在上下方向上進(jìn)行調(diào)整。

在調(diào)壓室3f的壓力P1低于設(shè)定壓力PS時(shí)，流體下壓隔膜3g的力較弱，因此，在調(diào)整彈簧3i的彈力的作用下，隔膜按壓件3h、閥桿3e及閥芯3c克服閥彈簧3b的彈力及壓力P0而被頂向上方。結(jié)果，在閥芯3c和閥座3d之間形成間隙，因此流體從流體入口3a流入，經(jīng)由調(diào)壓室3f從流體出口3k流出。

在調(diào)壓室3f的壓力P1高于設(shè)定壓力PS時(shí)，除了閥彈簧3b的彈力及壓力P0之外，還有流體下壓隔膜3g的力發(fā)揮作用，因此隔膜按壓件3h、閥桿3e及閥芯3c克服調(diào)整彈簧3i的彈力而向下方移位。結(jié)果，閥芯3c與閥座3d之間的間隙消失，因此流體的流動(dòng)被阻斷。

像這樣，機(jī)械式調(diào)壓閥3以在隔膜3g承受的調(diào)壓室3f的壓力P1低于設(shè)定壓力PS時(shí)流體流動(dòng)、在高于設(shè)定壓力PS時(shí)流體不流動(dòng)的方式發(fā)揮作用。結(jié)果，P1被調(diào)整到與設(shè)定壓力PS相等。另外，能夠利用調(diào)整螺釘3j的位置來(lái)變更設(shè)定壓力PS。當(dāng)使用螺絲刀等擰緊調(diào)整螺釘3j時(shí)，調(diào)壓彈簧3i的彈力升高，因此設(shè)定壓力PS向高壓側(cè)轉(zhuǎn)變。相反，當(dāng)擰松調(diào)整螺釘3j時(shí)，設(shè)定壓力PS向低壓側(cè)轉(zhuǎn)變。

所述機(jī)械式調(diào)壓閥3對(duì)壓力P1的調(diào)壓作用是通過(guò)與隔膜3g的上下動(dòng)作聯(lián)動(dòng)的閥桿3e的上下動(dòng)作直接實(shí)現(xiàn)的。因此，在P1發(fā)生了變動(dòng)而成為與設(shè)定壓力PS不同的值時(shí)，調(diào)整作用迅速動(dòng)作，P1立即被調(diào)整到與PS相等。該調(diào)整作用是基于調(diào)壓室3f的壓力P1與設(shè)定壓力PS之差來(lái)進(jìn)行的，因此無(wú)論P(yáng)1的變動(dòng)的原因是P0的變動(dòng)還是P2的變動(dòng)，都迅速地發(fā)揮作用。

本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置的機(jī)械式調(diào)壓閥的調(diào)壓作用也可以說(shuō)是被動(dòng)控制。這里，“被動(dòng)”是指“處于承受其他對(duì)象發(fā)出的動(dòng)作的立場(chǎng)。承受者”(出自日本新明解國(guó)語(yǔ)辭典)。在本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥3中，隔膜3g處于承受調(diào)壓室3f的壓力P1的變動(dòng)的立場(chǎng)。于是，將檢測(cè)壓力P1的變動(dòng)的手段(隔膜3g)的位移直接用于調(diào)整閥芯3c與閥座3d之間的間隙。因而，機(jī)械式調(diào)壓閥的調(diào)壓作用在整體上可以說(shuō)是被動(dòng)控制。

相對(duì)于此，以往技術(shù)的壓力控制單元也可以說(shuō)是主動(dòng)控制。這里，“主動(dòng)”是指“積極地帶動(dòng)其他對(duì)象”(出自日本新明解國(guó)語(yǔ)辭典)。在以往技術(shù)中，以使由壓力檢測(cè)單元(壓力傳感器)檢測(cè)出的壓力P1等于設(shè)定壓力PS的方式使壓力控制單元(壓力控制閥)積極地動(dòng)作。這里，壓力檢測(cè)單元和壓力控制單元作為實(shí)現(xiàn)完全不同的功能的構(gòu)件彼此獨(dú)立地構(gòu)成。因而，以往技術(shù)的壓力控制單元在整體上可以說(shuō)是主動(dòng)控制。

對(duì)于被動(dòng)控制和主動(dòng)控制，它們對(duì)于壓力P1的變動(dòng)的響應(yīng)速度不同。即，在本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥那樣的被動(dòng)控制的情況下，壓力檢測(cè)單元和壓力控制單元構(gòu)成為不可分割的一體，因此，壓力P1的變動(dòng)立即反映到壓力控制單元(機(jī)械式調(diào)壓閥)的動(dòng)作中。而與此相對(duì)地，在以往技術(shù)的壓力控制單元那樣的主動(dòng)控制的情況下，壓力檢測(cè)單元和壓力控制單元彼此獨(dú)立地構(gòu)成，在流體的流路中所處的位置也不同。并且，基于由壓力檢測(cè)單元檢測(cè)出的壓力來(lái)使壓力控制單元?jiǎng)幼?。結(jié)果，到壓力控制單元的壓力控制的結(jié)果反映到壓力檢測(cè)單元的輸出為止產(chǎn)生時(shí)間的延遲。

另外，對(duì)于被動(dòng)控制和主動(dòng)控制，它們受其他主動(dòng)控制的影響(干擾)的程度不同。即，在本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥那樣的被動(dòng)控制的情況下，即使作為流量控制閥的主動(dòng)控制的結(jié)果、流體的壓力發(fā)生了變動(dòng)，該發(fā)生了變動(dòng)的壓力也會(huì)因機(jī)械式調(diào)壓閥的作用而立即恢復(fù)為原來(lái)的壓力。

與此相對(duì)地，在像以往技術(shù)的壓力控制單元那樣的主動(dòng)控制的情況下，在作為流量控制閥對(duì)質(zhì)量流量的主動(dòng)控制的結(jié)果、流體的壓力發(fā)生了變動(dòng)時(shí)，為了消除該壓力變動(dòng)，作為另一個(gè)主動(dòng)控制的壓力控制單元發(fā)揮作用，來(lái)欲使壓力恢復(fù)為原來(lái)的壓力。但是，在主動(dòng)控制的情況下，與被動(dòng)控制相比，壓力調(diào)整需要更長(zhǎng)的時(shí)間。因而，為了調(diào)整在那個(gè)期間內(nèi)因壓力的變動(dòng)引起的流量的變動(dòng)，流量控制閥的主動(dòng)控制再次起作用。這樣，兩個(gè)主動(dòng)控制相互影響(干擾)，因此直到壓力和流量最終穩(wěn)定為止所需的時(shí)間變長(zhǎng)。

在本發(fā)明中，機(jī)械式調(diào)壓閥3與流量計(jì)2相鄰地配置在流量計(jì)2的上游側(cè)。這里，“相鄰”是指，在機(jī)械式調(diào)整閥3和流量計(jì)2之間不存在其他構(gòu)成零部件，兩者相互之間利用配管構(gòu)件直接連接。優(yōu)選將機(jī)械式調(diào)整閥3和流量計(jì)2連接起來(lái)的配管構(gòu)件盡可能地短。

通過(guò)將機(jī)械式調(diào)壓閥3與流量計(jì)2相鄰地配置在流量計(jì)2的上游側(cè)，兩者之間的流體阻力及流體的體積就會(huì)較小，因此，將機(jī)械式調(diào)壓閥3的調(diào)壓室3f的壓力調(diào)整為等于設(shè)定壓力PS的結(jié)果能立即反映到流量計(jì)2的內(nèi)部的壓力。由此，流量計(jì)2的內(nèi)部的壓力始終維持為等于設(shè)定壓力PS，因此流量計(jì)2的流量測(cè)量的精度提高。另外，不再需要假定流量計(jì)的上游側(cè)的壓力P1的變動(dòng)并準(zhǔn)備龐大的流量用的數(shù)據(jù)。

在機(jī)械式調(diào)壓閥3中，隔膜3g的下表面與供質(zhì)量流量控制裝置1設(shè)置的環(huán)境的外部空氣相連通。因此，在使用調(diào)整螺釘3j調(diào)整了設(shè)定壓力PS時(shí)的大氣壓與實(shí)際使用質(zhì)量流量控制裝置1時(shí)的大氣壓不同的情況下，由機(jī)械式調(diào)壓閥3調(diào)整的調(diào)壓室3f的壓力P1與設(shè)定壓力PS存在偏差。為了防止該情況，例如，在預(yù)先知道使用質(zhì)量流量控制裝置1的地點(diǎn)的海拔時(shí)，可以采取考慮與制造地之間的海拔差并進(jìn)行設(shè)定壓力PS的調(diào)整等對(duì)策。

將機(jī)械式調(diào)壓閥的壓力調(diào)整功能通過(guò)實(shí)施例來(lái)表示出來(lái)，例如，在圖2所示的構(gòu)造的機(jī)械式調(diào)壓閥的情況下，將設(shè)定壓力PS設(shè)定為0.05MPa(50kPa)，使氣體供給管線的壓力P0在0.10MPa～0.30MPa之間變動(dòng)時(shí)，機(jī)械式調(diào)壓閥的下游側(cè)的壓力P1的變動(dòng)在50±5kPa的范圍內(nèi)。若壓力式流量計(jì)的上游側(cè)的壓力變動(dòng)在該范圍內(nèi)，則流量的測(cè)量精度不存在問(wèn)題。

實(shí)施例2

圖3是表示本發(fā)明的機(jī)械式調(diào)壓閥的另一實(shí)施例的剖視圖。在這里示出的另一實(shí)施例中，機(jī)械式調(diào)壓閥的基本構(gòu)造與圖2中例示的實(shí)施例相同。較大的不同點(diǎn)在于，替代圖2的實(shí)施例所示的閥芯3c與閥桿3e分開(kāi)的構(gòu)造，采用了兩者成為一體的閥芯3c’。該閥芯c’的下部構(gòu)成為細(xì)長(zhǎng)的棒狀，該閥芯3c’的頂端與隔膜3g的上表面相接觸。采用該結(jié)構(gòu)，隔膜3g的上下動(dòng)作直接傳遞到閥芯3c’，因此能夠?qū)崿F(xiàn)更迅速的壓力調(diào)整。

另外，圖3的閥芯3c’與閥座3d’之間的接觸面不是平面而是由圓錐形的一部分構(gòu)成。并且，通過(guò)使調(diào)壓室3f的遠(yuǎn)離隔膜3g的一側(cè)的直徑較小，使調(diào)壓室3f的體積與圖2的情況相比減小。采用這些結(jié)構(gòu)，流體從流體入口3a流向調(diào)壓室3f時(shí)的流體阻力降低，因此機(jī)械式調(diào)壓閥3的開(kāi)閉動(dòng)作順利進(jìn)行，并且，比閥芯靠下游側(cè)的流體的體積減少，因此機(jī)械式調(diào)壓閥的調(diào)壓結(jié)果更快地反映到流量計(jì)2的壓力。

對(duì)于機(jī)械式調(diào)壓閥，在閥芯3c與閥座3d之間的間隙夾有異物時(shí)閥芯無(wú)法完全閉合，有損壓力調(diào)整功能，因此成為問(wèn)題。為了防止該情況，例如，優(yōu)選在機(jī)械式調(diào)壓閥的上游側(cè)(根據(jù)需要，也在下游側(cè))設(shè)有用于除去異物的過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)等。過(guò)濾器能夠使用網(wǎng)式的過(guò)濾器、多孔質(zhì)的燒結(jié)金屬過(guò)濾器等公知的過(guò)濾器。

實(shí)施例3

圖4是表示本發(fā)明的質(zhì)量流量控制裝置的安裝例的側(cè)視圖。在該安裝例中，在質(zhì)量流量控制裝置1的基部7中設(shè)有流路8，在基部7的上表面載置了流量計(jì)2的壓力傳感器2b及壓力傳感器2c、流量控制閥4以及壓力傳感器5兼溫度傳感器6。并且，在基部7中分別埋設(shè)有作為流量計(jì)2的構(gòu)成物的層流元件2a、機(jī)械式調(diào)壓閥3。載置于基部7的上表面的零部件用殼體9覆蓋起來(lái)。

像該安裝例這樣，機(jī)械式調(diào)壓閥3整體埋設(shè)于基部7中，從而不需要用于供機(jī)械式調(diào)壓閥3載置于基部7的上表面的空間，因此能夠使質(zhì)量流量控制裝置1整體尺寸更緊湊。另外，能夠不變更質(zhì)量流量控制裝置1整體尺寸地在不需要的空間安裝其他零部件(例如圖4的壓力傳感器5兼溫度傳感器6等)。

實(shí)施例4

圖5是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的質(zhì)量流量控制裝置所具有的機(jī)械式調(diào)壓閥及強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)的剖視圖。這里所示出的機(jī)械式調(diào)壓閥的基本構(gòu)造與圖3中例示的實(shí)施例相同。較大的不同點(diǎn)在于，這里所示出的質(zhì)量流量控制裝置1還具有用于強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥的強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10。

在該例中，強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10包括定位螺釘10a、楔狀件10b、銷彈簧10c以及銷10d，所述各構(gòu)件收容于包括楔狀件收容孔11a和銷收容孔11b的強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)收容孔11。銷10d因銷彈簧10c的彈力而被向側(cè)方施力，在質(zhì)量流量控制裝置1的通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，如圖5所示，不妨礙隔膜3g等的動(dòng)作。

定位螺釘10a與形成于楔狀件收容孔11a的內(nèi)壁的螺紋槽相匹配。在強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥時(shí)，將定位螺釘10a擰入收容孔11a，從而定位螺釘10a與楔狀件10b的上端部接觸的同時(shí)從上方朝向下方移位。由此，楔狀件10b如圖6所示的空心箭頭所示那樣與銷10d的側(cè)方端部接觸的同時(shí)從上方朝向下方移位。

若楔狀件10b如所述那樣從上方朝向下方移位，則銷10d如帶斜線的箭頭所示那樣與隔膜按壓件3h的底面接觸的同時(shí)從側(cè)方朝向調(diào)壓彈簧3i的軸線方向移位。結(jié)果，銷10d如涂成黑色的箭頭所示那樣向上方上推隔膜按壓件3h。

如所述那樣進(jìn)行動(dòng)作，則被向上方上推的隔膜按壓件3h上推隔膜3g，隔膜3g上推閥芯3c’。結(jié)果，如圖6中的利用虛線的圓圈顯示出的那樣，閥芯3c’與閥座3d’之間產(chǎn)生間隙。即，機(jī)械式調(diào)壓閥3被強(qiáng)制地開(kāi)閥。

如所述那樣，采用這里所示出的質(zhì)量流量控制裝置1，能夠利用強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥。因而，即使如所述那樣在質(zhì)量流量控制裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)停止時(shí)液體被封入流體的流路8的由機(jī)械式調(diào)壓閥3和流量控制閥4劃分出的一部分(封閉空間)，也能夠使用真空泵等對(duì)機(jī)械式調(diào)壓閥3的上游側(cè)的分支配管(未圖示)的內(nèi)部進(jìn)行減壓，從而例如在從半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等卸下質(zhì)量流量控制裝置1之前使流體從封閉空間排出。其中，這里所示出的質(zhì)量流量控制裝置1的封閉空間的體積為0.7cm³。

對(duì)于構(gòu)成強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10的定位螺釘10a、楔狀件10b、銷彈簧10c以及銷10d的材料，只要具有能夠如所述那樣強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥的強(qiáng)度、硬度及耐磨耗性等，就不特別限定。另外，作為這里所示出的質(zhì)量流量控制裝置1的楔狀件10b及銷10d的材料，采用了聚縮醛。

另外，在上面所示出的質(zhì)量流量控制裝置1中，沒(méi)有設(shè)置對(duì)楔狀件10b向上方施力的機(jī)構(gòu)。因而，在強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥后，即使擰松定位螺釘10a，楔狀件10b也不會(huì)向上方返回，結(jié)果，銷10d也不會(huì)向側(cè)方返回。即，在上面所示出的質(zhì)量流量控制裝置1的情況下，一旦強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥，則之后機(jī)械式調(diào)壓閥3保持開(kāi)閥的狀態(tài)。但是，也可以是，設(shè)置對(duì)楔狀件10b向上方施力的機(jī)構(gòu)，能夠在強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥后，通過(guò)擰松定位螺釘10a，使機(jī)械式調(diào)壓閥3閉閥。

并且，優(yōu)選如所述那樣，強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10配置在流體的流路8的外部區(qū)域。這樣，如這里所示出的質(zhì)量流量控制裝置1那樣，能夠省略用于確保流體的流路8的密閉性的密封構(gòu)造等，使強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10成為更簡(jiǎn)潔的結(jié)構(gòu)。

此外，優(yōu)選為，由強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥時(shí)的開(kāi)度大于如所述那樣在質(zhì)量流量控制裝置1的(通常的)運(yùn)轉(zhuǎn)中由機(jī)械式調(diào)壓閥3將調(diào)壓室3f的壓力P1調(diào)整為設(shè)定壓力PS的動(dòng)作(以下，有時(shí)稱作“調(diào)壓動(dòng)作”)時(shí)的機(jī)械式調(diào)壓閥3的最大開(kāi)度(閥開(kāi)口部的剖面積)。這樣，能夠提高利用強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥而使流體從質(zhì)量流量控制裝置1的內(nèi)部排出時(shí)的排出效率，縮短排出所需時(shí)間，或者提高利用真空泵的排氣所達(dá)到的真空度。

實(shí)施例5

另外，強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)不限于所述實(shí)施例，只要能夠強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥，例如在從半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等卸下質(zhì)量流量控制裝置之前使流體從封閉空間排出，就可以具有任何結(jié)構(gòu)。

但是，例如半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等在使用多個(gè)工藝氣體的用途中，通常，將多個(gè)質(zhì)量流量控制裝置并列配置在基部(基底)上。并且，在該技術(shù)領(lǐng)域中，例如出于質(zhì)量流量控制裝置彼此的互換性的維持和/或設(shè)置面積(footprint)的極小化等的目的，將質(zhì)量流量控制裝置的大小及形狀的規(guī)格統(tǒng)一。因此，例如在安裝于半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等的狀態(tài)下，無(wú)法觸碰各質(zhì)量流量控制裝置的側(cè)面及底面。

因而，從機(jī)械式調(diào)壓閥的構(gòu)造來(lái)看，能夠通過(guò)將配置在其底面的調(diào)整螺釘擰入、提高調(diào)壓彈簧的彈力，從而強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥，但是在實(shí)際應(yīng)用中，利用這樣的方法來(lái)強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥開(kāi)閥是不可能的。

鑒于所述情況，優(yōu)選強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)緊湊地構(gòu)成為，收容于基部?jī)?nèi)的限定的空間，且強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)的操作部(例如，所述實(shí)施例中的定位螺釘10a及楔狀件收容孔11a等)能夠設(shè)于被載置在基部的上表面的零部件之間等。

因此，在本實(shí)施例中，一邊參照附圖，一邊對(duì)具有如所述那樣緊湊地構(gòu)成的強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)的質(zhì)量流量控制裝置的具體例進(jìn)行說(shuō)明。圖7是表示本發(fā)明的另一實(shí)施例的質(zhì)量流量控制裝置的安裝例的側(cè)視圖。圖8的(A)是圖7所示的質(zhì)量流量控制裝置的俯視圖，圖8的(B)是其仰視圖。其中，在圖8中，省略了殼體9。另外，在圖7及圖8中，強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10及強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)收容孔11都設(shè)于基部7的內(nèi)部，但是為了便于說(shuō)明，特意將它們圖示出來(lái)。

如圖7所示，楔狀件收容孔11a形成于基部7的上表面的未載置零部件的區(qū)域，在其內(nèi)收容定位螺釘10a及楔狀件10b。由此，例如在保持質(zhì)量流量控制裝置1組裝于半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等的狀態(tài)下，能夠操作定位螺釘10a，使強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10動(dòng)作。另外，圖7所示的虛線的四邊形與圖5及圖6所示的機(jī)械式調(diào)壓閥3及強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10的描畫(huà)區(qū)域相當(dāng)。

接著，如圖8所示，銷收容孔11b形成為朝向機(jī)械式調(diào)壓閥3的中心傾斜。因而，定位螺釘10a及楔狀件收容孔11a(未圖示)不是設(shè)于基部7的中央部，而是設(shè)于靠近拐角部的位置。這是出于避免構(gòu)成強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10的所述構(gòu)件及收容孔與形成于基部7的內(nèi)部的流路8相干擾的目的的配置。另外，圖8所示的單點(diǎn)劃線A－A’與圖5及圖6所示的機(jī)械式調(diào)壓閥3及強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10的剖面相當(dāng)。因而，在圖5及圖6中沒(méi)有描繪出流體出口3k。

采用以上那樣的結(jié)構(gòu)，對(duì)于本實(shí)施例的質(zhì)量流量控制裝置1，例如在保持組裝于半導(dǎo)體制造裝置的氣體供給管線等的狀態(tài)下，向形成于基部7的上表面的未載置零部件的區(qū)域的楔狀件收容孔11a擰入定位螺釘10a，從而能夠使強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)10動(dòng)作，強(qiáng)制地使機(jī)械式調(diào)壓閥3開(kāi)閥。

以上，以說(shuō)明本發(fā)明為目的，對(duì)具有特定的構(gòu)成的幾個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是，不言而喻，本發(fā)明的范圍不限于這些例示的實(shí)施方式，在權(quán)利要求書(shū)及說(shuō)明書(shū)所記載的特征的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行適當(dāng)修改。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1、質(zhì)量流量控制裝置；2、流量計(jì)；2a、層流元件；2b、壓力傳感器(P1)；2c、壓力傳感器(P2)；3、機(jī)械式調(diào)壓閥；3a、流體入口；3b、閥彈簧；3c、3c’、閥芯；3d、3d’、閥座；3e、閥桿；3f、調(diào)壓室；3g、隔膜；3h、隔膜按壓件；3i、調(diào)壓彈簧；3j、調(diào)整螺釘；3k、流體出口；4、流量控制閥；4a、壓電元件；4b、閥；5、壓力傳感器(P0)；6、溫度傳感器；7、基部；8、流路；9、殼體；10、強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)；10a、定位螺釘；10b、楔狀件；10c、銷彈簧；10d、銷；11、強(qiáng)制開(kāi)閥機(jī)構(gòu)收容孔；11a、楔狀件收容孔；11b、銷收容孔。