本發(fā)明涉及生產(chǎn)自動化調(diào)度領(lǐng)域，尤其是涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法。

背景技術(shù)：

在一定的約束條件下，如何分解制造系統(tǒng)中的任務(wù)，如何安排分解后各任務(wù)，獲得最優(yōu)的生產(chǎn)性能，是制造系統(tǒng)調(diào)度所需解決的問題。半導(dǎo)體生產(chǎn)線的規(guī)模龐大、耦合度高、可重入、不確定性較高，是典型的復(fù)雜制造系統(tǒng)，多采用動態(tài)調(diào)度方法實(shí)現(xiàn)其生產(chǎn)調(diào)度。

部分研究人員采用實(shí)時(shí)分析生產(chǎn)線某個(gè)或某些生產(chǎn)信息(設(shè)備瓶頸度、待加工工件的屬性等)的方法，確定生產(chǎn)投料及派工策略，以達(dá)到提高生產(chǎn)性能的目的。中國專利“一種半導(dǎo)體生產(chǎn)調(diào)度方法和裝置”(申請?zhí)枺?01310740754.6)提供一種生產(chǎn)調(diào)度方法和裝置，通過動態(tài)分析生產(chǎn)線上不同加工設(shè)備中l(wèi)ot的負(fù)載信息，控制生產(chǎn)投料，保證生產(chǎn)線在制品庫存量平衡，以縮短產(chǎn)品的平均生產(chǎn)周期。該方法通過調(diào)度裝置動態(tài)統(tǒng)計(jì)生產(chǎn)線負(fù)載信息，并以此控制投料，保證了調(diào)度的準(zhǔn)確性；但該方法沒有綜合考慮生產(chǎn)線全局信息，只關(guān)注負(fù)載信息及平均加工周期，未能確保提高生產(chǎn)線的綜合性能，且在在線決策中時(shí)刻關(guān)注各個(gè)設(shè)備的lot信息，計(jì)算量較大。

還有部分研究人員結(jié)合制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行管理系統(tǒng)對生產(chǎn)過程的優(yōu)化，通過生產(chǎn)數(shù)據(jù)分析生產(chǎn)線全局信息，進(jìn)行調(diào)度決策。中國專利“一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線動態(tài)調(diào)度策略自動選擇方法”(專利號：ZL201310119517.8)提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度策略動態(tài)選擇方法，該方法采用數(shù)據(jù)約簡和分類算法分析生產(chǎn)線歷史數(shù)據(jù)，離線訓(xùn)練調(diào)度決策模型；在線應(yīng)用中，將實(shí)際生產(chǎn)線當(dāng)前生產(chǎn)狀態(tài)輸入該模型，可得到對應(yīng)最優(yōu)的調(diào)度策略。該方法采用數(shù)據(jù)挖掘方法提取生產(chǎn)數(shù)據(jù)中的有效信息，為生產(chǎn)調(diào)度決策提供支持，但方法中的調(diào)度周期與生產(chǎn)運(yùn)行狀況無關(guān)，由決策者設(shè)定，未必能及時(shí)響應(yīng)擾動，因此，動態(tài)調(diào)度的實(shí)時(shí)性有待提高。

以上調(diào)度方法是根據(jù)生產(chǎn)線當(dāng)前狀態(tài)進(jìn)行調(diào)度決策，調(diào)度運(yùn)行結(jié)果并不影響調(diào)度實(shí)施，結(jié)合控制理論，可將上述調(diào)度方法稱為開環(huán)調(diào)度方法。由于調(diào)度決策的開環(huán)實(shí)施，此類調(diào)度方法的實(shí)施通?；跁r(shí)間或事件的，即周期性地生成調(diào)動方案并實(shí)施，或者當(dāng)生產(chǎn)線出現(xiàn)大的擾動時(shí)，如設(shè)備宕機(jī)、急件插入等，才會生成調(diào)度方案并實(shí)施。在實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)作中，由于隨機(jī)性因素的存在，如加工時(shí)間的隨機(jī)分布等，調(diào)度方案的實(shí)施會出現(xiàn)累計(jì)誤差，當(dāng)累計(jì)誤差超過一定限度，現(xiàn)行的調(diào)度方案已失效，因此，周期性調(diào)度(基于時(shí)間的調(diào)度)不能滿足生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化目的；而另一方面，生產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行過程中或生產(chǎn)線輕負(fù)載運(yùn)行時(shí)，當(dāng)一臺工作負(fù)荷較低的設(shè)備(非瓶頸設(shè)備)宕機(jī)時(shí)，并不影響到現(xiàn)行的調(diào)度方案的有效實(shí)施，因此，無需重新生成調(diào)度方案，而基于事件的調(diào)度在此時(shí)就會產(chǎn)生不必要的損耗。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種有效減少調(diào)度決策時(shí)間、確保生產(chǎn)控制穩(wěn)定、提高調(diào)度有效性的半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法。

本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法，包括：

調(diào)度模型庫獲取步驟：根據(jù)生產(chǎn)線歷史數(shù)據(jù)離線建立由多個(gè)不同調(diào)度目標(biāo)下的調(diào)度模型組成的調(diào)度模型庫，每個(gè)調(diào)度模型表征某個(gè)調(diào)度目標(biāo)下生產(chǎn)線狀態(tài)與調(diào)度方案間關(guān)系；

共生仿真系統(tǒng)建立步驟，建立半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的仿真模型，將所述仿真模型與半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線組成共生仿真系統(tǒng)；

調(diào)度方案生成步驟，根據(jù)調(diào)度目標(biāo)從調(diào)度模型庫中選取相應(yīng)的調(diào)度模型，以半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的當(dāng)前狀態(tài)數(shù)據(jù)作為所述調(diào)度模型的輸入，生成相應(yīng)的調(diào)度方案，并將該調(diào)度方案同時(shí)應(yīng)用于共生仿真系統(tǒng)中的半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線和仿真模型，運(yùn)行共生仿真系統(tǒng)；

在線閉環(huán)調(diào)度步驟，以設(shè)定采樣周期對共生仿真系統(tǒng)中的半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線和仿真模型的生產(chǎn)性能分別進(jìn)行采樣，根據(jù)所采樣的生產(chǎn)性能判斷當(dāng)前采樣時(shí)刻是否為動態(tài)調(diào)度時(shí)刻，若是，則執(zhí)行調(diào)度方案生成步驟，若否，則繼續(xù)對下一采樣時(shí)刻進(jìn)行判定。

所述仿真模型為根據(jù)半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線建立的、無擾動的理想生產(chǎn)線。

所述調(diào)度方案生成步驟執(zhí)行前，共生仿真系統(tǒng)中的仿真模型獲取半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的當(dāng)前狀態(tài)數(shù)據(jù)，以該當(dāng)前狀態(tài)數(shù)據(jù)更新仿真模型，實(shí)現(xiàn)仿真模型與半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的同步。

所述在線閉環(huán)調(diào)度步驟具體為：

1)在每個(gè)采樣時(shí)刻記錄共生仿真系統(tǒng)的生產(chǎn)性能P，半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線和仿真模型的生產(chǎn)性能分別記為實(shí)際性能P_a和仿真性能P_s；

2)計(jì)算采樣時(shí)刻的實(shí)際性能P_a和仿真性能P_s間的指標(biāo)偏差率，根據(jù)指標(biāo)偏差率和調(diào)度方案更新判定準(zhǔn)則判斷所對應(yīng)的采樣時(shí)刻是否為動態(tài)調(diào)度時(shí)刻，若是，則執(zhí)行步驟3)，若否，則執(zhí)行步驟4)；

3)執(zhí)行調(diào)度方案生成步驟后執(zhí)行步驟1)；

4)保持調(diào)度方案不變，繼續(xù)對下一采樣時(shí)刻進(jìn)行判定，返回步驟2)。

所述指標(biāo)偏差率的計(jì)算公式為：

其中，p為指標(biāo)偏差率。

所述調(diào)度方案更新判定準(zhǔn)則為：

a)判斷采樣時(shí)刻i的指標(biāo)偏差率p_i是否為負(fù)且|p_i|≥δ，若是，則執(zhí)行步驟b)，若否，則執(zhí)行步驟4)，δ為偏差率閾值，是可接受的生產(chǎn)線性能指標(biāo)偏差率的最大值，由經(jīng)驗(yàn)設(shè)定；

b)獲取下一采樣時(shí)刻i+1的指標(biāo)偏差率p_i+1，判斷p_i+1是否仍為負(fù)且|p_i+1|≥δ，若是，則判定采樣時(shí)刻i+1為動態(tài)調(diào)度時(shí)刻，若否，則執(zhí)行步驟4)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1)本發(fā)明將閉環(huán)控制理論應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線動態(tài)調(diào)度中，通過對生產(chǎn)性能的監(jiān)測，控制動態(tài)調(diào)度的執(zhí)行，實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)動態(tài)調(diào)度，提高了調(diào)度的實(shí)時(shí)性。

2)本發(fā)明通過對生產(chǎn)性能的監(jiān)測，僅在生產(chǎn)性能發(fā)生一定偏差時(shí)才進(jìn)行調(diào)度方案的更新，既保證了調(diào)度方案的有效性，也減少了調(diào)度決策時(shí)間，避免了不必要的損耗。

3)本發(fā)明可以與已有的動態(tài)調(diào)度方法結(jié)合使用，應(yīng)用數(shù)據(jù)挖掘算法分析生產(chǎn)線歷史數(shù)據(jù)，離線建立精度較高的調(diào)度模型，在線應(yīng)用中，調(diào)度模型可根據(jù)生產(chǎn)線實(shí)時(shí)狀態(tài)數(shù)據(jù)，確定調(diào)度方案，提高了有效性。

4)本發(fā)明提供的半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法，對解決半導(dǎo)體生產(chǎn)線動態(tài)調(diào)度問題具有重要的應(yīng)用價(jià)值，對提高半導(dǎo)體企業(yè)的生產(chǎn)管理水平具有重要的指導(dǎo)意義。

5)本發(fā)明設(shè)定了調(diào)度方案的更新準(zhǔn)則，調(diào)度方案更新是在生產(chǎn)性能不斷惡化的情況下觸發(fā)，而不是在生產(chǎn)性能一出現(xiàn)波動就進(jìn)行觸發(fā)，避免頻繁更新調(diào)度方案，確保生產(chǎn)控制的穩(wěn)定；同時(shí)可確保生產(chǎn)運(yùn)行中性能指標(biāo)的偏差率控制在指定范圍內(nèi)，保證調(diào)度方案的有效性。

6)本發(fā)明提供的閉環(huán)調(diào)度控制方法不僅適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線，而且適用于其他制造系統(tǒng)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的閉環(huán)動態(tài)調(diào)度方法的原理圖；

圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法實(shí)現(xiàn)流程圖；

圖3為本發(fā)明調(diào)度方案更新判定流程圖；

圖4為實(shí)施例中應(yīng)用不同調(diào)度方法得到的生產(chǎn)性能對比圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。本實(shí)施例以本發(fā)明技術(shù)方案為前提進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。

本發(fā)明提供的半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度方法框架如圖1所示，該方法以生產(chǎn)線歷史數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，通過樣本生成模塊生成樣本集；采用數(shù)據(jù)挖掘算法離線訓(xùn)練調(diào)度模型，生成調(diào)度模型庫；在線調(diào)度中，通過生產(chǎn)性能的反饋，確定生產(chǎn)線啟動調(diào)度的時(shí)刻，此時(shí)根據(jù)調(diào)度需求選取合適的調(diào)度模型，以生產(chǎn)線實(shí)時(shí)狀態(tài)數(shù)據(jù)為輸入，生成調(diào)度方案，并將該方案應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)動態(tài)調(diào)度。生產(chǎn)性能可以是多種多樣，如移動步數(shù)、工件排隊(duì)長度、設(shè)備利用率等，這里的生產(chǎn)性能視用戶需求選擇。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度方法易于與已有的開環(huán)調(diào)度方法結(jié)合使用。

上海某半導(dǎo)體制造公司擁有的5、6英吋硅片混合生產(chǎn)線中共有加工800多臺加工設(shè)備、上百種加工產(chǎn)品以及上千種加工流程工藝，生產(chǎn)量可達(dá)月產(chǎn)2.8萬片5英吋硅片、5.1萬片的6英吋硅片。生產(chǎn)線中共有10個(gè)加工區(qū)，分別是氧化擴(kuò)散區(qū)(DF)、注入?yún)^(qū)(IM)、外延區(qū)(EP)、光刻區(qū)(LT)、干法刻蝕區(qū)(PE)、淀積區(qū)(PC)、濺射區(qū)(TF)、濕法清洗區(qū)(WT)、虛擬設(shè)備區(qū)(DM)及測試區(qū)(BT)；生產(chǎn)線中的設(shè)備按可加工尺寸分類有三類，分別是只能加工5英吋的設(shè)備、只能加工6英吋的設(shè)備以及二者均可加工的設(shè)備；按加工方式分類共有四類，分別是單片加工設(shè)備、批量加工設(shè)備、多片加工設(shè)備、槽類加工設(shè)備。本發(fā)明以上述生產(chǎn)線為實(shí)施對象，對本發(fā)明方法進(jìn)行說明。

如圖2-3所示，本發(fā)明的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法，包括：

步驟1，根據(jù)生產(chǎn)線歷史數(shù)據(jù)離線建立由多個(gè)不同調(diào)度目標(biāo)下的調(diào)度模型組成的調(diào)度模型庫，每個(gè)調(diào)度模型表征某個(gè)調(diào)度目標(biāo)下生產(chǎn)線狀態(tài)與調(diào)度方案間關(guān)系。

調(diào)度模型庫包含多個(gè)優(yōu)化不同調(diào)度目標(biāo)的調(diào)度模型。所述的調(diào)度模型，是指采用數(shù)據(jù)挖掘算法，分析基于調(diào)度目標(biāo)Z獲取的最優(yōu)樣本集{S,D}(其中，S表征生產(chǎn)線狀態(tài)，D表征調(diào)度方案，Z表示調(diào)度目標(biāo))，建立的該調(diào)度目標(biāo)下由生產(chǎn)線狀態(tài)確定調(diào)度方案的模型，模型中S和D的關(guān)系可描述為：D＝Opt_z(S)。調(diào)度模型庫的建立可概括為以下2步：

1)基于生產(chǎn)線歷史數(shù)據(jù)，采用樣本生成模塊，根據(jù)調(diào)度目標(biāo)Z_i(i＝1,…,n；n是建立調(diào)度模型庫所采用的調(diào)度目標(biāo)的總數(shù))，獲取最優(yōu)樣本集{S_i,D_i}，其中，S_i是表征當(dāng)前生產(chǎn)線、加工區(qū)、設(shè)備及工件狀態(tài)的生產(chǎn)屬性集；D_i表示調(diào)度目標(biāo)Z_i下，生產(chǎn)狀態(tài)S_i對應(yīng)的最優(yōu)調(diào)度方案。

2)基于以上最優(yōu)樣本集，采用數(shù)據(jù)挖掘算法，離線訓(xùn)練該調(diào)度目標(biāo)下的調(diào)度模型其中，X是模型輸入，表征生產(chǎn)線狀態(tài)；O是模型輸出，表征調(diào)度方案。根據(jù)不同的調(diào)度目標(biāo)，建立調(diào)度模型庫

本實(shí)施例以生產(chǎn)線中所有工件的總移動步數(shù)MOV為調(diào)度目標(biāo)，獲取100條對應(yīng)不同生產(chǎn)狀態(tài)的最優(yōu)樣本，作為最優(yōu)樣本集。隨機(jī)選取其中80條作為訓(xùn)練樣本，用于建立調(diào)度模型O＝f(X)，另外20條作為測試樣本，用于驗(yàn)證模型的有效性。

步驟2，建立半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的仿真模型，將所述仿真模型與半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線組成共生仿真系統(tǒng)。本實(shí)施例借助自主研發(fā)的半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度仿真軟件(FabSimSys)(軟件著作版權(quán)登記號：2011SR066503)，建立半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的仿真模型，該仿真模型為根據(jù)半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線建立的、無擾動的理想生產(chǎn)線，其運(yùn)行產(chǎn)生的生產(chǎn)性能是期望生產(chǎn)性能。

步驟3，半導(dǎo)體生產(chǎn)線在線調(diào)度中，以生產(chǎn)性能MOV為調(diào)度目標(biāo)，以固定時(shí)間間隔執(zhí)行調(diào)度方案更新判定，實(shí)施動態(tài)調(diào)度。在線調(diào)度過程概括為以下4步：

1)以1小時(shí)為采樣周期，在每個(gè)采樣點(diǎn)記錄共生仿真系統(tǒng)中的實(shí)際生產(chǎn)線MOV值P_a和仿真模型的MOV值P_s。

2)在每一個(gè)采樣時(shí)刻執(zhí)行調(diào)度方案更新判定，這里，設(shè)定偏差率閾值為δ＝5。調(diào)度方案更新判定流程如圖3所示，具體過程如下：計(jì)算MOV值在采樣時(shí)刻i的指標(biāo)偏差率p_i，判斷p_i是否為負(fù)且|p_i|≥δ。如果“是”，則計(jì)算下一采樣時(shí)刻i+1的指標(biāo)偏差率p_i+1，判斷p_i+1是否仍為負(fù)且|p_i+1|≥δ，如果“是”，則采樣時(shí)刻i+1為動態(tài)調(diào)度時(shí)刻。否則，繼續(xù)執(zhí)行下一采樣時(shí)刻的判定。

指標(biāo)偏差率p的定義如下：

3)若采樣時(shí)刻t為動態(tài)調(diào)度時(shí)刻，則在該時(shí)刻生成調(diào)度方案更新指令，并傳遞給動態(tài)調(diào)度器。

4)動態(tài)調(diào)度器在采樣時(shí)刻t接收調(diào)度方案更新指令，以生產(chǎn)線當(dāng)前狀態(tài)數(shù)據(jù)X_t為調(diào)度模型O＝f(X)的輸入，生成調(diào)度方案O_t，該方案即為當(dāng)前生產(chǎn)狀態(tài)下最優(yōu)的調(diào)度方案。將該調(diào)度方案同時(shí)應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)線和仿真模型，繼續(xù)運(yùn)行共生仿真系統(tǒng)。

每次啟動調(diào)度時(shí)，共生仿真系統(tǒng)中仿真模型從半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線獲取狀態(tài)信息，更新仿真狀態(tài)，保證與半導(dǎo)體實(shí)際生產(chǎn)線的同步；動態(tài)調(diào)度器根據(jù)對仿真模型和實(shí)際生產(chǎn)線同步運(yùn)行的生產(chǎn)線性能的比較結(jié)果，指導(dǎo)在線調(diào)度決策。動態(tài)調(diào)度器可以根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)線調(diào)度要求從調(diào)度模型庫中選擇調(diào)度模型，并且，以半導(dǎo)體生產(chǎn)線實(shí)時(shí)狀態(tài)數(shù)據(jù)為輸入，生成最優(yōu)的調(diào)度方案。

分別采用本發(fā)明提供的閉環(huán)調(diào)度控制方法和現(xiàn)有的開環(huán)動態(tài)調(diào)度方法(見中國專利“一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線動態(tài)調(diào)度策略自動選擇方法”，專利號：ZL201310119517.8)，對具有相同初始條件的半導(dǎo)體生產(chǎn)線進(jìn)行調(diào)度，記錄調(diào)度結(jié)果，對比分析兩種調(diào)度方法的性能。

在開環(huán)的動態(tài)調(diào)度方法中，以固定調(diào)度周期實(shí)施動態(tài)調(diào)度，調(diào)度周期由決策者設(shè)定。兩種調(diào)度方法的設(shè)置如下所示：閉環(huán)調(diào)度控制方法的采樣周期為1小時(shí)，調(diào)度周期由生產(chǎn)線運(yùn)行狀況決定；開環(huán)調(diào)度方法的調(diào)度周期為4小時(shí)。兩種調(diào)度方法作用的半導(dǎo)體生產(chǎn)線以相同的初始條件開始運(yùn)行，記錄連續(xù)3天內(nèi)采用閉環(huán)調(diào)度控制方法后動態(tài)調(diào)度執(zhí)行的時(shí)間及次數(shù)，統(tǒng)計(jì)平均調(diào)度周期；以4小時(shí)為周期記錄兩條生產(chǎn)線的生產(chǎn)性能。

實(shí)例結(jié)果如下：在連續(xù)3天內(nèi)，本發(fā)明所述的閉環(huán)調(diào)度控制方法共執(zhí)行12次動態(tài)調(diào)度，最短調(diào)度時(shí)間間隔為3小時(shí)，最長間隔為9小時(shí)，即平均調(diào)度周期為6小時(shí)，記錄的工件的總移動步數(shù)MOV的平均值為94166步；開環(huán)調(diào)度方法中，調(diào)度周期為4小時(shí)度，記錄的工件總移動步數(shù)MOV的平均值為92752步。

圖4所示為記錄的連續(xù)3天內(nèi)采用兩種調(diào)度方法產(chǎn)生的MOV隨時(shí)間的變化趨勢。圖中顯示，雖然初始條件相同，隨著時(shí)間的變化兩種調(diào)度方法產(chǎn)生的總移動步數(shù)MOV有一定差別。從圖中曲線可以看出，當(dāng)開環(huán)調(diào)度方法產(chǎn)生的MOV較小時(shí)，閉環(huán)調(diào)度方法作用下的生產(chǎn)線的MOV有所提高，相對于開環(huán)調(diào)度方法而言，閉環(huán)調(diào)度方法在一定程度上平滑了生產(chǎn)線的MOV曲線，使半導(dǎo)體生產(chǎn)線保持在相對穩(wěn)定的運(yùn)行狀態(tài)。并且，閉環(huán)調(diào)度方法產(chǎn)生的平均MOV比開環(huán)調(diào)度方法提高了1.52％；閉環(huán)調(diào)度方法的調(diào)度周期提高到了6小時(shí)，是開環(huán)調(diào)度的1.5倍。

綜上所述，半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法通過監(jiān)測半導(dǎo)體生產(chǎn)線的生產(chǎn)性能實(shí)施動態(tài)調(diào)度，有效提高了調(diào)度的實(shí)時(shí)性，同時(shí)也減少了不必要的調(diào)度規(guī)則更改，從而，保證了生產(chǎn)性能的變化幅度相對較小，避免了較差生產(chǎn)性能的出現(xiàn)。因此，閉環(huán)調(diào)度方法在保證生產(chǎn)性能良好的前提下，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體生產(chǎn)線的實(shí)時(shí)調(diào)度，保證了半導(dǎo)體生產(chǎn)線相對平穩(wěn)地運(yùn)行。

以上對本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。