本實用新型涉及一種全波長晶圓蝕刻終點探測控制系統(tǒng)電路，屬于控制電路技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，在蝕刻反應(yīng)器里，除了電極板的設(shè)計、晶片擺設(shè)、反應(yīng)氣體的輸出入、及RF電力的安置以外，終點探測系統(tǒng)也對蝕刻的制程控制有決定性的影響。為了確保蝕刻步驟能徹底的將被刻蝕薄膜加以清除，都在初步的蝕刻終了之后，再加上程度不等的過度蝕刻，以彌補因為薄膜厚度不均，或是其他因素所造成的蝕刻差距。而蝕刻終點及過度蝕刻的程度判斷是否精準(zhǔn)，則取決于終點探測系統(tǒng)的性能。因此如何提高終點探測系統(tǒng)的性能，從而更好的滿足工藝要求就成為了廣大電路設(shè)計者需要面對的難題。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本實用新型提供一種低功耗、低信噪比、信號傳輸速度快、穩(wěn)定性高的全波長晶圓蝕刻終點探測控制電路系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)提出的問題 。
一種全波長晶圓蝕刻終點探測控制系統(tǒng)電路，它包括CPLD模塊、CCD控制信號驅(qū)動模塊、電源及過流保護器、電壓變換器、CCD傳感器、數(shù)據(jù)存儲器、單片機控制模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、信號放大電路、以太網(wǎng)/USB通訊模塊；其特征在于所述的CPLD模塊中的CPLD芯片型號為5M1270Z TQ144；所述的單片機控制模塊中的單片機芯片型號為PIC32MZ-144；所述的CCD傳感器型號為S11155-2048-01；所述的單片機控制模塊分別與數(shù)據(jù)存儲器、電源及過流保護器、以太網(wǎng)/USB通訊模塊、電壓變換器、A/D轉(zhuǎn)換模塊相連；所述的CCD傳感器分別與CCD控制信號驅(qū)動模塊、電壓變換器、信號放大電路相連；所述的CPLD模塊分別與數(shù)據(jù)存儲器、CCD控制信號驅(qū)動模塊、電壓變換器相連；
還包括所述A/D轉(zhuǎn)換模塊包括一AD9826型模/數(shù)信號轉(zhuǎn)換芯片；
還包括所述的電壓變換電路中包含有一AD5203型數(shù)字可調(diào)電阻芯片。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型有如下特點和進步：本實用新型提供的一種全波長晶圓蝕刻終點探測控制系統(tǒng)電路，1、系統(tǒng)采用了型號為5M1270Z TQ144的CPLD芯片對CCD驅(qū)動控制，可使得系統(tǒng)具有低功耗、低信噪比、信號傳輸速度快等特點；
2、系統(tǒng)采用了型號為S11155-2048-01的CCD傳感器可同時對200-800nm波段的光譜進行檢測；
3、通過測試和試驗，系統(tǒng)可穩(wěn)定的保持100ms讀取一幅光譜數(shù)據(jù)。
附圖說明
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本實用新型作更進一步的說明。
如圖1所示一種全波長晶圓蝕刻終點探測控制系統(tǒng)電路，它包括CPLD模塊、CCD控制信號驅(qū)動模塊、電源及過流保護器、電壓變換器、CCD傳感器、數(shù)據(jù)存儲器、單片機控制模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、信號放大電路、以太網(wǎng)/USB通訊模塊；其特征在于所述的CPLD模塊中的CPLD芯片型號為5M1270Z TQ144；所述的單片機控制模塊中的單片機芯片型號為PIC32MZ-144；所述的CCD傳感器型號為S11155-2048-01；所述的單片機控制模塊分別與數(shù)據(jù)存儲器、電源及過流保護器、以太網(wǎng)/USB通訊模塊、電壓變換器、A/D轉(zhuǎn)換模塊相連；所述的CCD傳感器分別與CCD控制信號驅(qū)動模塊、電壓變換器、信號放大電路相連；所述的CPLD模塊分別與數(shù)據(jù)存儲器、CCD控制信號驅(qū)動模塊、電壓變換器相連；
還包括所述A/D轉(zhuǎn)換模塊包括一AD9826型模/數(shù)信號轉(zhuǎn)換芯片；
還包括所述的電壓變換電路中包含有一AD5203型數(shù)字可調(diào)電阻芯片。
本實用新型工作原理是： 系統(tǒng)上電后單片機控制模塊驅(qū)動數(shù)據(jù)存儲器將數(shù)據(jù)傳給CPLD模塊，CPLD將控制時序輸送給CCD控制信號驅(qū)動模塊，從而使CCD傳感器開始工作。CCD檢測到的光信號先經(jīng)過信號放大電路放大，再經(jīng)由A/D轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號后，傳遞給單片機控制模塊。單片機模塊將接收到的光信號處理后通過以太網(wǎng)/USB通訊模塊輸出。從而實現(xiàn)對半導(dǎo)體設(shè)備腔體內(nèi)光信號的探測。