本發(fā)明實施例涉及智控，尤其涉及一種安全控制電路、系統(tǒng)及半導(dǎo)體設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著工業(yè)自動化的發(fā)展，大量的自動化設(shè)備被應(yīng)用至加工制造中。在實際運行過程中，這些自動化設(shè)備可能會出現(xiàn)故障或者其它不良情況，因此需要使得這些自動化設(shè)備快速停止運行，以避免人員傷害或設(shè)備損壞。

2、為了滿足這種需求，急停安全控制開關(guān)應(yīng)運而生，當(dāng)急停安全控制開關(guān)被觸發(fā)時，將斷開設(shè)備與電源之間的連接，設(shè)備停止運行。

3、然而，目前的急停方案中，在實際工作過程中，控制回路具有多個急停安全控制開關(guān)，當(dāng)其中一個急停安全控制開關(guān)被觸發(fā)或者出現(xiàn)故障時，將影響其它急停安全控制開關(guān)的運行狀態(tài)，存在其它急停安全控制開關(guān)誤工作，或者不工作的情況，因而目前的急停方案有待提高。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本發(fā)明實施例提供一種安全控制電路、系統(tǒng)及半導(dǎo)體設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)多個開關(guān)模組之間的獨立控制，提高設(shè)備運行安全性。

2、本發(fā)明實施例提供了一種安全控制電路，包括：集線模組，所述集線模組包括第二連接器和信號連接器，所述信號連接器至少包括多個第一連接器，且多個所述第一連接器和所述第二連接器之間串行級聯(lián)連接；多個開關(guān)模組，被配置為與所述集線模組中的所述第一連接器一一對應(yīng)，所述開關(guān)模組包括第三連接器，所述第三連接器用于與相對應(yīng)的第一連接器連接；其中，所述第一連接器用于接收相對應(yīng)的開關(guān)模組的狀態(tài)檢測信號，所述第二連接器用于輸出被觸發(fā)的開關(guān)模組的狀態(tài)檢測信號。

3、本發(fā)明實施例還提供了一種安全控制系統(tǒng)，包括：前述任一示例所述的安全控制電路；處理器，與所述安全控制電路電連接，用于處理所述狀態(tài)檢測信號。

4、本發(fā)明實施例還提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括如前述任一示例所述的安全控制系統(tǒng)。

5、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實施例的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點：

6、本發(fā)明實施例提供的安全控制電路中，集線模組包括第二連接器和信號連接器，信號連接器至少包括多個第一連接器，且多個第一連接器和第二連接器之間串行級聯(lián)連接，多個開關(guān)模組與集線模組中第一連接器一一對應(yīng)，且開關(guān)模組中的第三連接器與相對應(yīng)的第一連接器連接，這樣在開關(guān)模組被觸發(fā)或出現(xiàn)故障時，第二連接器可以輸出被觸發(fā)的開關(guān)模組的狀態(tài)檢測信號，而未被觸發(fā)的開關(guān)模塊將不會通過第二連接器輸出狀態(tài)檢測信號，由此實現(xiàn)多個開關(guān)模組之間的獨立控制，能夠降低或者避免因開關(guān)模組之間的相互影響導(dǎo)致的誤操作，因而能夠提高設(shè)備運行安全性。

技術(shù)特征：

1.一種安全控制電路，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安全控制電路，其特征在于，所述開關(guān)模組還包括：第一類型開關(guān)，所述第一類型開關(guān)的類型包括常閉開關(guān)或常開開關(guān)，所述第一類型開關(guān)包括控制端、第一端和第二端；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的安全控制電路，其特征在于，所述第一類型開關(guān)的數(shù)量為兩個。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的安全控制電路，其特征在于，所述第一連接器包括多個與第一類型端子對一一對應(yīng)的第二類型端子對，所述第二類型端子對包括第一連接端子；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的安全控制電路，其特征在于，所述信號連接器還包括：備用連接器，所述備用連接器包括所述第二類型端子對，且同一所述第二類型端子對中的所述第一連接端子通過連接線短接，并串接至所述控制回路中。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的安全控制電路，其特征在于，所述第二連接器包括多個與各個所述控制回路兩端的第一類型端子對應(yīng)的第一匯總連接端子。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的安全控制電路，其特征在于，所述開關(guān)模組還包括：第二類型開關(guān)，所述第二類型開關(guān)與所述第一類型開關(guān)的類型不同，且所述第二類型開關(guān)與所述第一類型開關(guān)構(gòu)成聯(lián)動開關(guān)，所述第二類型開關(guān)包括控制端、第一端和第二端；

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的安全控制電路，其特征在于，所述第一連接器包括多個第二連接端子，所述第二連接端子用于與所述第三連接器中的第四連接端子一一對應(yīng)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的安全控制電路，其特征在于，所述第二連接器包括：第二匯總連接端子，所述第二匯總連接端子連接所有第一連接器中相對應(yīng)的其中一個第四連接端子；

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的安全控制電路，其特征在于，所述第一類型端子對的數(shù)量為兩個，所述第三類型端子對的數(shù)量為一個。

11.根據(jù)權(quán)利要求2或7所述的安全控制電路，其特征在于，所述開關(guān)模組還包括：驅(qū)動機構(gòu)，與所述控制端連接，用于改變開關(guān)狀態(tài)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安全控制電路，其特征在于，所述安全控制電路還包括：延長線，所述延長線的一端具有第四連接器，另一端具有第五連接器，所述第四連接器與所述第一連接器連接，所述第五連接器與所述第三連接器連接。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安全控制電路，其特征在于，所述信號連接器還包括：備用連接器和拓展連接器中的一種或兩種，所述備用連接器、所述拓展連接器和所述第一連接器相同。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的安全控制電路，其特征在于，所述集線模組包括集線電路板。

15.一種安全控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：

16.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求15所述的安全控制系統(tǒng)。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備包括多個加工腔室，且多個所述加工腔室均與所述安全控制系統(tǒng)電連接，且與所述開關(guān)模組一一對應(yīng)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種安全控制電路、系統(tǒng)及半導(dǎo)體設(shè)備，其中，所述安全控制電路包括：集線模組，所述集線模組包括第二連接器和信號連接器，信號連接器至少包括多個第一連接器，且所述第一連接器和第二連接器之間串行級聯(lián)連接；多個開關(guān)模組，被配置為與所述集線模組中的所述第一連接器一一對應(yīng)，所述開關(guān)模組包括第三連接器，所述第三連接器用于與相對應(yīng)的第一連接器連接；其中，所述第一連接器用于接收相對應(yīng)的開關(guān)模組的狀態(tài)檢測信號，所述第二連接器用于輸出被觸發(fā)的開關(guān)模組的狀態(tài)檢測信號。采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)崿F(xiàn)多個開關(guān)模組之間的獨立控制，提高設(shè)備運行安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：王斌,陳德旺,王耀磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：宸微設(shè)備科技（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2