專利名稱：半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元工作狀態(tài)控制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元的工作狀態(tài)控制方法，特別涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元的工作狀態(tài)實(shí)時(shí)識(shí)別方法，和當(dāng)用預(yù)定的單元監(jiān)控模塊識(shí)別出不正常工作的單元時(shí)把不正常工作單元與正常工作單元立即分開的方法。
一般通過高精密工藝來制造半導(dǎo)體器件。把高功能設(shè)備配置在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上，用于高精密加工。
操作員通過半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)精心監(jiān)視設(shè)備的操作，以提高設(shè)備的工作效率。
如

圖1所示，半導(dǎo)體制造設(shè)備3設(shè)置在生產(chǎn)線上。待加工的批量加工件(lot)10加入到設(shè)備3中。
此時(shí)，操作員通過與設(shè)備3聯(lián)機(jī)連接的操作員接口PC(O/I PC)2精心監(jiān)視設(shè)備3的工作。
設(shè)備3用設(shè)備服務(wù)器(沒畫)聯(lián)機(jī)連接到主計(jì)算機(jī)1。主計(jì)算機(jī)1聯(lián)機(jī)連接至O/I PC2。
當(dāng)操作員把基本制造數(shù)據(jù)，例如，要在設(shè)備3中加工的批量加工件10的標(biāo)識(shí)符(ID)和要對(duì)批量加工件10進(jìn)行加工的設(shè)備3的標(biāo)識(shí)符(ID)，輸入計(jì)算機(jī)1時(shí)，主計(jì)算機(jī)1根據(jù)輸入的基本制造數(shù)據(jù)檢索用于處理批量加工件10的加工條件數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫(kù)。
此后，操作員檢查加工條件數(shù)據(jù)，并輸入加工起始指令或終止指令。之后，批量加工件在設(shè)備3的內(nèi)外快速被跟蹤。
此時(shí)，設(shè)備3用其工作單元，例如，加載部件和卸載部件(沒畫)，室4等，對(duì)批量加工件10進(jìn)行加工。
設(shè)備3對(duì)批量加工件10進(jìn)行加工時(shí)，操作員通過O/I PC2對(duì)設(shè)備3的工作精心監(jiān)視，以連續(xù)識(shí)別單元的工作狀態(tài)，如果某單元中出現(xiàn)了任何問題，例如，室4中的一個(gè)室出了問題，操作員立即切斷設(shè)備，停止整個(gè)加工。由此防止因不正常工作單元造成的工作問題。
但是，這種半導(dǎo)體制造設(shè)備的常規(guī)控制系統(tǒng)有一些問題。
首先，即使只在設(shè)備的幾個(gè)單元中出現(xiàn)了錯(cuò)誤而其它單元還是正常工作的情況下，操作員很難實(shí)時(shí)識(shí)別不正常工作的單元。結(jié)果，當(dāng)識(shí)別出不正常工作的單元時(shí)，不能立即把不正常工作單元與正常加工流程分開。
第二，把批量加工件加進(jìn)不正常工作單元時(shí)，會(huì)出現(xiàn)工作問題。
第三，當(dāng)識(shí)別出不正常工作單元時(shí)，為了維修不正常工作單元要關(guān)閉整個(gè)設(shè)備。
本發(fā)明的目的是，通過包含在主計(jì)算機(jī)中的單元狀態(tài)監(jiān)控模塊，通過識(shí)別設(shè)備的單元的實(shí)時(shí)工作狀態(tài)，并把不正常工作單元與正常工作流程分開，以防止由不正常工作單元造成的工作問題。
本發(fā)明的另一目的是，通過單元狀態(tài)監(jiān)控模塊，只單獨(dú)關(guān)閉不正常工作單元，使其與其它正常工作單元分開，以提高工作效率。
為實(shí)現(xiàn)上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)，半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元的狀態(tài)控制方法包括以下步驟接收來自設(shè)備的各單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；檢索與各單元對(duì)應(yīng)的參考數(shù)據(jù)；確定各單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)是否處在與各單元對(duì)應(yīng)的參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)；如果確定工作狀態(tài)數(shù)據(jù)處在參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，則返回到接收來自設(shè)備的各單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；如果確定各單元中的一個(gè)單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)不處在參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，則改變一個(gè)單元的變量ID(variableID)的關(guān)鍵值(key value)；把改變了關(guān)鍵值的變量ID加載到預(yù)定單元的控制消息上，并把其上加載了變量ID的單元控制消息下載到設(shè)備中，以改變一個(gè)單元的工作狀態(tài)。
單元控制消息最好是流函數(shù)消息。
單元控制消息最好是S1F12。
變量ID最好是ECID。
把改變了關(guān)鍵值的變量ID加到預(yù)定的單元控制消息和把其上加載了變量ID的單元控制消息下載到設(shè)備中的步驟之后，半導(dǎo)體制造設(shè)備中單元的工作狀態(tài)控制方法最好還包括以下步驟把預(yù)定的告警消息下載到設(shè)備中；確定是否有由設(shè)備發(fā)出的警報(bào)；如果確定設(shè)備沒發(fā)出警報(bào)，則返回到把預(yù)定告警消息下載到設(shè)備中的步驟；如果確定設(shè)備發(fā)出了警報(bào)，則把預(yù)定的報(bào)警消息下載到設(shè)備中。
告警消息和報(bào)警消息最好是流函數(shù)消息告警消息最好是S2F41。
報(bào)警消息最好是S10F3或S10F5。
因此，按本發(fā)明，實(shí)時(shí)識(shí)別半導(dǎo)體制造設(shè)備的工作狀態(tài)，識(shí)別之后立即把不正常工作單元與其它正常工作單元分開。
通過參見附圖對(duì)優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明，本發(fā)明的上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)將變得更清楚。
圖1是半導(dǎo)體制造設(shè)備的常規(guī)控制系統(tǒng)的原理圖；圖2是實(shí)施本發(fā)明的半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)的原理圖；圖3是按本發(fā)明的半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備的單元的工作狀態(tài)控制方法的流程圖；圖4是按本發(fā)明的半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備的單元的工作狀態(tài)控制方法的第一實(shí)施例的流程圖。
以下將參見展示出本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的附圖更充分地說明本發(fā)明。但是，本發(fā)明也能以許多不同的形式實(shí)施，本發(fā)明不受這里所述實(shí)施例的限制；提供這些實(shí)施例使對(duì)本發(fā)明的公開更充分和更完全，以便充分展示給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。
如圖2所示，主計(jì)算機(jī)1包括單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20，用于接收關(guān)于設(shè)備3的單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，它是由設(shè)備3經(jīng)設(shè)備服務(wù)器(沒畫)加載的。
當(dāng)單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20插入主計(jì)算機(jī)1時(shí)，設(shè)備3也具備了適當(dāng)?shù)膱?bào)告功能，因此能把設(shè)備3的各單元的工作狀態(tài)實(shí)時(shí)報(bào)告給單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20。
單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20連續(xù)監(jiān)視存貯在主計(jì)算機(jī)1中的稱作參考數(shù)據(jù)的各單元工作狀態(tài)，以實(shí)時(shí)檢查各單元是否正常工作。如果確定一些單元不正常工作，則立即關(guān)閉不正常工作單元，將其與其它正常工作單元分開。
例如，在第一室4a中出現(xiàn)了錯(cuò)誤，單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20就關(guān)閉第一室4a，使第一室4a與其它正常工作室，即與第二室4b和第三室4c分開。由于只關(guān)閉了第一室，其它室4b和4c仍然工作，設(shè)備中的加工連續(xù)進(jìn)行，使生產(chǎn)力提高。
如圖3所示，首先，單元狀態(tài)監(jiān)控模塊實(shí)時(shí)接收連續(xù)由設(shè)備3加載的設(shè)備3的各單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，因此。單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20能立即識(shí)別設(shè)備3的各單元的工作狀態(tài)。
之后，單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20檢索相應(yīng)于存貯在主計(jì)算機(jī)1的數(shù)據(jù)庫(kù)中的設(shè)備3的各單元參考數(shù)據(jù)(S20)。單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20比較收到的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)與檢索的參考數(shù)據(jù)，并確定是否有任何一個(gè)單元產(chǎn)生的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)不處在相應(yīng)于該單元的參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)(S30)。
這時(shí)，如果確定各單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)處在相應(yīng)于各單元的參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，則沒有單元會(huì)產(chǎn)生不在相應(yīng)于該單元的參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20返回到第一步驟S20，并連續(xù)接收工作狀態(tài)數(shù)據(jù)。
反之，如果確定各單元的某些工作狀態(tài)數(shù)據(jù)不在參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，任何單元產(chǎn)生了不在相應(yīng)于該單元的參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)時(shí)，則單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20把該確定結(jié)果傳送到主計(jì)算機(jī)1。之后，主計(jì)算機(jī)1將產(chǎn)生工作狀態(tài)數(shù)據(jù)超出參考數(shù)據(jù)范圍的該單元變量ID的關(guān)鍵值改變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)(S40)。結(jié)果，不正常工作單元與其它正常工作單元分開。例如，假若第一室4a的工作時(shí)間量參考數(shù)據(jù)和收到的第一室的工作數(shù)據(jù)分別是10,000小時(shí)和10,001小時(shí)，則確定第一室4a的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)不在其參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)。之后，單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20確定第一室4a中發(fā)生一些問題，并將該確定報(bào)告主計(jì)算機(jī)。按該確定，主計(jì)算機(jī)1將第一室4a變量ID的關(guān)鍵值，改變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)，使第一室4a與其它正常工作室4b和4c立即分開。
由主計(jì)算機(jī)1改變的變量ID最好是設(shè)備的恒定ID(ECID)它能全部一起改變室4的工作狀態(tài)。
步驟S40之后，單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20接收來自主計(jì)算機(jī)1的具有改變了關(guān)鍵值的變量ID，把該變量ID加載到一單元控制消息上，并把其上加載了變量ID的該單元控制消息下載到設(shè)備3中(S50)。因此，該設(shè)備能立即關(guān)閉不正常工作單元，即，第一室4a。
這時(shí)，按本發(fā)明特征，從該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20下載的單元控制消息是允許平滑通信的流函數(shù)消息。
該單元控制消息的流函數(shù)模形最好是能標(biāo)準(zhǔn)化的S1F12。例如，如果識(shí)別出第一室4a是不正常工作，該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20關(guān)閉第一室4a，將其與其它正常工作室4b和4c分開。首先，該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20接收變量ID的ECID，其中，通過主計(jì)算機(jī)1把該關(guān)鍵值狀態(tài)變成關(guān)閉狀態(tài)，并把ECID加載到流函數(shù)消息的S1F12上。之后，該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20把其上加載了ECID的S1F12下載到設(shè)備3。結(jié)果，按改變了關(guān)鍵值的ECID，只把第一室4a關(guān)閉，并立即將它與其它正常工作室4b和4c分開。
常規(guī)控制系統(tǒng)中，由于操作員難以實(shí)時(shí)識(shí)別不正常工作單元，不正常工作單元不能立即與正常工作流程分開。而且，使產(chǎn)品加入不正常工作單元，會(huì)出現(xiàn)工作問題。
但是在按本發(fā)明的控制系統(tǒng)中，主計(jì)算機(jī)1在無操作員干涉的情況下通過單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20能實(shí)時(shí)識(shí)別不正常工作單元并用單元控制消息把不正常工作單元立即與正常工作單元分開。由此能防止因不正常工作單元造成的工作問題。
如圖4所示，在該單元控制消息下載到設(shè)備3的步驟50之后，該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20可把引發(fā)警報(bào)聲的告警消息下載到設(shè)備3，因此，設(shè)備3可按告警消息中的遠(yuǎn)程指令而產(chǎn)生有預(yù)定音量的報(bào)警聲。(S61)，產(chǎn)生報(bào)警時(shí)，操作員能實(shí)時(shí)識(shí)別設(shè)備3的某單元中出現(xiàn)的工作問題，并采取適當(dāng)?shù)拇胧┝⒓唇鉀Q工作問題。
該告警消息最好是允許平滑通信的流函數(shù)消息。
該告警消息的流函數(shù)模形最好是適合于標(biāo)準(zhǔn)化的S2F41。
該告警消息下載到設(shè)備3之后，該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20連續(xù)監(jiān)視設(shè)備3的工作，并確定是否有設(shè)備3產(chǎn)生的警告(S62)。
如果確定設(shè)備3沒產(chǎn)生告警，該單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20確定通信中出現(xiàn)了問題，并把控制處理流程返回到步驟S61，重復(fù)告警消息下載到設(shè)備3的步驟。
反之，如果確定設(shè)備3產(chǎn)生了告警，則單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20執(zhí)行把有正文的報(bào)警消息下載到設(shè)備3的監(jiān)視器的下一步驟，操作員可用視覺識(shí)別不正常工作單元(S63)。按報(bào)警消息的正文，操作員識(shí)別不正常工作單元，并立即采取適當(dāng)措施，解決不正常工作單元造成的工作問題。
與單元控制消息或告警消息相同，報(bào)警消息最好是允許平滑通信的流函數(shù)消息。
報(bào)警消息的流函數(shù)模形最好是適合標(biāo)準(zhǔn)化的S10F3或S10F5。S10F5比S10F3能傳送更大量的正文。
報(bào)警消息可以下載到O/I PC2以及設(shè)備3的監(jiān)視器中。因此，盡管從設(shè)備3至操作員之間有很大距離，操作員通過離它很近的O/I PC2能識(shí)別不正常工作單元并立即采取適當(dāng)措施。
因此，通過主計(jì)算機(jī)重復(fù)上述步驟能有效控制設(shè)備。
如此所述，按本發(fā)明，通過單元狀態(tài)監(jiān)控模塊20能實(shí)時(shí)控制設(shè)備單元的工作狀態(tài)。由此，使不正常工作單元能立即與其它正常工作單元分開。
本發(fā)明能用于設(shè)置在生產(chǎn)線中并需要預(yù)定控制而效率不受損失的半導(dǎo)體制造設(shè)備中。
已參考所述實(shí)施例說明了本發(fā)明。但是，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)了解，本發(fā)明顯然還會(huì)有許多替換、改進(jìn)和變化。因此，本發(fā)明包括在所附的權(quán)利要求規(guī)定的本發(fā)明精神和范圍內(nèi)的所有這些替換、改變和變化。
如上所述，按半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)的配置設(shè)備單元的狀態(tài)控制方法，其中，預(yù)定的單元狀態(tài)監(jiān)控模塊被插入主計(jì)算機(jī)中，以實(shí)時(shí)識(shí)別不正常工作單元，并立即將其與正常工作流程分開。由此防止由不正常工作單元造成的工作問題，使整個(gè)生產(chǎn)效率顯著提高。
權(quán)利要求
1．一種半導(dǎo)體制造設(shè)備控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元的狀態(tài)控制方法，其特征是，包括以下步驟接收來自所述設(shè)備的所述各單元的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；檢索對(duì)應(yīng)于所述各單元的參考數(shù)據(jù)；確定所述各單元的所述工作狀態(tài)數(shù)據(jù)是否處在對(duì)應(yīng)于所述各單元的所述參考數(shù)據(jù)的范圍內(nèi)；如果確定所述工作狀態(tài)數(shù)據(jù)處在所述參考數(shù)據(jù)內(nèi)，返回到接收工作狀態(tài)數(shù)據(jù)的所述步驟，如果確定所述各單元中的一個(gè)單元的所述工作狀態(tài)數(shù)據(jù)不處在所述參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，改變所述一個(gè)單元的變量ID的關(guān)鍵值；和把改變了關(guān)鍵值的所述變量ID加載到預(yù)定的單元控制消息上，并將其上加載了所述變量ID的所述單元控制消息下載到所述設(shè)備中，來改變所述設(shè)備的所述一個(gè)單元的工作狀態(tài)。
2．按照權(quán)利要求1的方法，其特征是，所述單元控制消息是流函數(shù)消息。
3．按照權(quán)利要求2的方法，其特征是，所述單元控制消息是S1F12。
4．按照權(quán)利要求1的方法，其特征是，所述變量ID是ECID。
5．按照權(quán)利要求1的方法，其特征是，在把改變了關(guān)鍵值的所述變量ID加載到預(yù)定單元控制消息上并把其上加了所述變量ID的所述單元控制消息下載到所述設(shè)備中的步驟之后，還包括以下步驟把預(yù)定的告警消息下載到所述設(shè)備中；確定所述設(shè)備是否產(chǎn)生了告警；和如果確定所述設(shè)備沒有發(fā)出告警，返回到把預(yù)定的告警消息下載到所述設(shè)備中的步驟，如果確定從所述設(shè)備發(fā)出告警，把預(yù)定的報(bào)警消息下載到所述設(shè)備中。
6．按照權(quán)利要求5的方法，其特征是，所述告警消息和所述報(bào)警消息是流函數(shù)消息。
7．按照權(quán)利要求6的方法，其特征是，所述告警消息是S2F41。
8．按照權(quán)利要求6的方法，其特征是，所述報(bào)警消息是S10F3或S10F5。
全文摘要
一種半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)中配置設(shè)備單元的狀態(tài)控制方法,其中,主計(jì)算機(jī)中包括有預(yù)定的單元狀態(tài)監(jiān)控模塊,通過單元狀態(tài)監(jiān)控模塊能實(shí)時(shí)識(shí)別不正常工作單元,當(dāng)識(shí)別出正常工作單元時(shí)立即將其與正常工作流程分開,結(jié)果,防止了由不正常工作單元造成的工作問題并提高了設(shè)備的生產(chǎn)力。
文檔編號(hào)G05B19/418GK1223456SQ9811673
公開日1999年7月21日 申請(qǐng)日期1998年7月30日 優(yōu)先權(quán)日1998年1月14日
發(fā)明者趙平日 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社