一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)及其控制器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及工業(yè)制造自動化領域，具體涉及一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)及其控制器。
【背景技術】
[0002]現(xiàn)有的潔凈真空傳輸系統(tǒng)的控制器主要為可編程控制器(Pr0gra_ableLogicController，簡稱PLC)。潔凈真空傳輸系統(tǒng)要求實時性好，可靠性高，可編程能力強，所以通常選用中型可編程控制器作為控制系統(tǒng)。中型可編程控制器由電源模塊、CPU模塊、數(shù)字量輸入模塊、數(shù)量輸出模塊、位控模塊、通信模塊、模擬量輸入模塊、模擬量輸出模塊組成。各模塊之間需要通過PLC專用背板進行直列安裝。通常所有模塊加起來尺寸可以達到360X100X150 (長X寬X高)毫米，非常占空間。中型可編程控制器通常支持的編程語言為梯形圖、結構化文本、語句表、流程圖、功能塊圖等。就編程靈活性而言，結構化文本和標準C語言較接近，靈活性最高，實現(xiàn)基本的邏輯控制和簡單的算法比較容易，但是如果要實現(xiàn)復雜的算法就比較困難，而且編碼的復雜度也很高。中型可編程控制器與其他系統(tǒng)進行通信時需要進行通信模塊擴展、比如以太網(wǎng)、串口都需要另外增加相應的通信模塊來實現(xiàn)對相應的通信協(xié)議的支持。由此產(chǎn)生體積大、重量大、各類通信協(xié)議擴展不方便，無法做高級算法運算的缺點。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，有必要針對現(xiàn)有技術中存在的問題，提供一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)及其控制器，具備擴展性能強、運算速度快、體積小、重量輕的特點。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案:
[0005]一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，包括通過CAN總線依次連接的IRC主控制器、脈沖板、用戶1板和系統(tǒng)1板。
[0006]所述IRC主控制器用于控制脈沖板發(fā)出PWM信號；
[0007]所述脈沖板用于根據(jù)IRC主控制器的指令，發(fā)出不同的PWM信號。
[0008]所述IRC主控制器上裝載有嵌入式Linux操作系統(tǒng)。
[0009]所述用戶1板和系統(tǒng)1板用于將脈沖板發(fā)出的PWM信號連接到潔凈真空傳輸系統(tǒng)，并通過改變用戶1板和系統(tǒng)1板各輸出口與脈沖板各輸出口的連接關系，對脈沖板的輸出信號進行邏輯編程。
[0010]一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)，包括以上所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，還包括IPC上位機、真空設備、真空規(guī)、加熱系統(tǒng)、泵系統(tǒng)、系統(tǒng)1接口板、用戶1接口板、糾偏傳感器和驅(qū)動系統(tǒng)；IPC上位機通過以太網(wǎng)與所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的IRC主控制器連接，IPC上位機還通過Dvicenet總線與真空設備、真空規(guī)和加熱系統(tǒng)連接；所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的系統(tǒng)1板通過系統(tǒng)1接口板與驅(qū)動系統(tǒng)通信連接，驅(qū)動系統(tǒng)與所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的脈沖板通信，所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的用戶1板通過用戶1接口板與糾偏傳感器、泵系統(tǒng)和真空設備連接。
[0011]還包括示教盒，所述示教盒與潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的IRC主控制器連接，用于對IRC主控制器的控制過程進行示教作業(yè)。
[0012]本發(fā)明提供的潔凈真空傳輸系統(tǒng)及其控制器，通過使用所述控制器取代笨重的中型可編程控制器，保證了擴展性能和運算速度，同時大大減小了設備體積，減輕了重量。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的結構示意圖。
[0014]圖2是本發(fā)明潔凈真空傳輸系統(tǒng)的整體結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面將結合附圖和具體的實施例對本發(fā)明的技術方案進行詳細說明。
[0016]請參閱圖1，本發(fā)明實施例提供的一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，包括通過CAN總線依次連接的IRC主控制器、脈沖板、用戶1板和系統(tǒng)1板。
[0017]所述IRC主控制器用于控制脈沖板發(fā)出不同的PWM信號。在IRC主控制器上裝載有嵌入式Linux操作系統(tǒng)，能夠在嵌入式Linux環(huán)境下開發(fā)適用于不同尺寸晶圓傳輸?shù)目刂栖浖?br>[0018]所述脈沖板用于根據(jù)IRC主控制器的指令，發(fā)出不同的PWM信號。
[0019]所述用戶1板和系統(tǒng)1板用于將脈沖板發(fā)出的PWM信號連接到潔凈真空傳輸系統(tǒng)，通過改變用戶1板和系統(tǒng)1板各輸出口與脈沖板各輸出口的連接關系，能夠?qū)γ}沖板輸出的PWM信號進行邏輯編程。用戶1板和系統(tǒng)1板上集成了部分PLC的邏輯功能，因此，傳統(tǒng)PLC的一些邏輯編程功能也可以通過用戶1板和系統(tǒng)1板實現(xiàn)。
[0020]本發(fā)明實施例是在現(xiàn)有的潔凈真空傳輸系統(tǒng)的機械構型和功能需求的基礎上設計的一款針對潔凈環(huán)境中晶圓搬運的控制系統(tǒng)。通過上述設計取代現(xiàn)有技術中的中型可編程控制器，極大的減小了整個控制系統(tǒng)的體積。把各類通信功能和接口整合到用戶1板和系統(tǒng)1板上，可以解決潔凈真空傳輸系統(tǒng)中各類通信協(xié)議較多的問題，不需要像中型可編程控制器一樣通過增加通信模塊來擴展通信，既節(jié)省了成本又減小了體積。通過脈沖板取代中型可編程控制器的位控模塊，在保證了性能、提高了定位精度的同時也減小了體積，在擴展性能上與PLC —樣，可以根據(jù)潔凈真空傳輸系統(tǒng)的控制規(guī)模的大小而進行擴展。
[0021]請參閱圖2，本發(fā)明提供的一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)包括上述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，還包括IPC上位機、真空設備、真空規(guī)、加熱系統(tǒng)、泵系統(tǒng)、系統(tǒng)1接口板、用戶1接口板、糾偏傳感器和驅(qū)動系統(tǒng)。IPC上位機通過以太網(wǎng)與所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的IRC主控制器連接，IPC上位機還通過DeviceNET總線與真空設備、真空規(guī)和加熱系統(tǒng)連接。所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的系統(tǒng)1板通過系統(tǒng)1接口板與驅(qū)動系統(tǒng)通信連接，驅(qū)動系統(tǒng)與所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的脈沖板之間通信連接，所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的用戶1板通過用戶1接口板與糾偏傳感器、泵系統(tǒng)和真空設備連接。
[0022]作為改進，所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)還包括示教盒，所述示教盒與潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的IRC主控制器連接，用于對IRC主控制器的控制過程進行示教作業(yè)。根據(jù)實際工況需要，操作人員可以利用示教盒對IRC主控制器的運動控制過程進行示教編程；當系統(tǒng)自動運行時，IRC主控制器則遵循已示教的動作和路徑自行控制相關功能模塊完成生產(chǎn)。
[0023]本發(fā)明實施例提供的結晶真空傳輸系統(tǒng)多用于潔凈領域的半導體行業(yè)中晶圓的搬運。此外，還可以應用于電子、航天、醫(yī)療等工業(yè)自動化行業(yè)中各種小型工件在真空和大氣兩種環(huán)境下的搬運及運輸?shù)目刂葡到y(tǒng)上。針對于不同行業(yè)的應用不同，只需要根據(jù)負載的大小選擇合適的驅(qū)動系統(tǒng)，將用戶1板與相應的驅(qū)動系統(tǒng)相連，以及選擇滿足不同要求的真空設備即可。
[0024]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，其特征在于:包括通過CAN總線依次連接的IRC主控制器、脈沖板、用戶1板和系統(tǒng)1板。
2.根據(jù)權利要求1所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，其特征在于:所述IRC主控制器用于控制脈沖板發(fā)出PWM信號； 所述脈沖板用于根據(jù)IRC主控制器的指令，發(fā)出不同的PWM信號。
3.根據(jù)權利要求2所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，其特征在于:所述IRC主控制器上裝載有嵌入式Linux操作系統(tǒng)。
4.根據(jù)權利要求2所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，其特征在于:所述用戶1板和系統(tǒng)1板用于將脈沖板發(fā)出的PWM信號連接到潔凈真空傳輸系統(tǒng)，并通過改變用戶1板和系統(tǒng)1板各輸出口與脈沖板各輸出口的連接關系，對脈沖板的輸出信號進行邏輯編程。
5.一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)，其特征在于:包括權利要求1至4任一所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，還包括IPC上位機、真空設備、真空規(guī)、加熱系統(tǒng)、泵系統(tǒng)、系統(tǒng)1接口板、用戶1接口板、糾偏傳感器和驅(qū)動系統(tǒng)；IPC上位機通過以太網(wǎng)與所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的IRC主控制器連接，IPC上位機還通過Dvicenet總線與真空設備、真空規(guī)和加熱系統(tǒng)連接；所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的系統(tǒng)1板通過系統(tǒng)1接口板與驅(qū)動系統(tǒng)通信連接，驅(qū)動系統(tǒng)與所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的脈沖板通信，所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的用戶1板通過用戶1接口板與糾偏傳感器、泵系統(tǒng)和真空設備連接。
6.根據(jù)權利要求5所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)，其特征在于:還包括示教盒，所述示教盒與潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器的IRC主控制器連接，用于對IRC主控制器的控制過程進行示教作業(yè)。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種潔凈真空傳輸系統(tǒng)及其控制器，所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器包括通過CAN總線依次連接的IRC主控制器、脈沖板、用戶IO板和系統(tǒng)IO板。所述潔凈真空傳輸系統(tǒng)，包括以上所述的潔凈真空傳輸系統(tǒng)控制器，還包括IPC上位機、真空設備、真空規(guī)、加熱系統(tǒng)、泵系統(tǒng)、系統(tǒng)IO接口板、用戶IO接口板、糾偏傳感器和驅(qū)動系統(tǒng)。本發(fā)明提供的潔凈真空傳輸系統(tǒng)及其控制器，通過使用所述控制器取代笨重的中型可編程控制器，保證了擴展性能和運算速度，同時大大減小了設備體積，減輕了重量。
【IPC分類】G05B19-418
【公開號】CN104635653
【申請?zhí)枴緾N201310567349
【發(fā)明人】徐方, 鄧德智, 曲道奎, 鄒風山, 褚明杰, 陳廷輝
【申請人】沈陽新松機器人自動化股份有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2013年11月14日