一種半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于電子技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到一種半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在評(píng)估測(cè)試半導(dǎo)體器件的參數(shù)時(shí)和使用半導(dǎo)體器件時(shí)，經(jīng)常會(huì)需要清楚器件在指定溫度的特性，需要控制半導(dǎo)體器件處于某一溫度值上。
[0003]中國(guó)專(zhuān)利(公開(kāi)號(hào)CN203689188U，公開(kāi)日2014年7月2日)公開(kāi)了一種半導(dǎo)體溫度控制裝置，在導(dǎo)熱金屬板的結(jié)構(gòu)框架上安裝半導(dǎo)體制冷片，利用半導(dǎo)體材料的Peltier效應(yīng)，控制通入半導(dǎo)體制冷片的電流流向，控制其吸熱或者放熱，從而控制導(dǎo)熱金屬片的溫度。
[0004]但上述結(jié)構(gòu)的溫度控制裝置，在需要較高溫度時(shí)，加熱需要的電流較高，能耗及設(shè)備要求較高，升溫過(guò)程較慢。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易，快速升高被測(cè)半導(dǎo)體器件溫度。
[0006]本實(shí)用新型的半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，包括通過(guò)螺栓連接的鋁板A和鋁板B，鋁板A和鋁板B分別連接一 PTC加熱板，鋁板A和鋁板B之間安裝半導(dǎo)體制冷片，鋁板A外側(cè)安裝循環(huán)水箱，鋁板B外側(cè)連接絕緣導(dǎo)熱膜，絕緣導(dǎo)熱膜外側(cè)連接被測(cè)半導(dǎo)體器件；
[0007]還包括固態(tài)繼電器、電源和與二者連接的溫控儀；
[0008]固態(tài)繼電器接收溫控儀的指控接通或斷開(kāi)制冷片電源，電源通過(guò)固態(tài)繼電器連接半導(dǎo)體制冷片和PTC加熱板。
[0009]還包括安裝在絕緣導(dǎo)熱膜上的熱敏電阻，其和溫控儀連接，溫控儀采集熱敏電阻的溫度信號(hào)，控制電源接通PTC加熱板或半導(dǎo)體制冷片。
[0010]本實(shí)用新型的半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，以?xún)射X板作為框架和熱量傳遞主體，兩鋁板之間設(shè)置半導(dǎo)體制冷片，控制裝置的制冷和加熱，鋁板A置于循環(huán)水箱和半導(dǎo)體制冷片之間，構(gòu)成一套熱量交換裝置，鋁板B置于半導(dǎo)體制冷片和絕緣導(dǎo)熱膜之間，形成另一套熱量交換裝置，兩鋁板同時(shí)和PTC加熱板連接，通過(guò)溫控儀控制電源接通或斷開(kāi)PTC加熱板，對(duì)于通過(guò)提高制冷片電流提高溫度的裝置，本裝置可實(shí)現(xiàn)快速升溫，裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中:1.鋁板A ;2.鋁板B ;3.半導(dǎo)體制冷片；4.PTC加熱板；5.循環(huán)水箱；6.絕緣導(dǎo)熱膜；7.螺栓；8.固態(tài)繼電器；9.電源；10.溫控儀；11.熱敏電阻；12.被測(cè)半導(dǎo)體器件。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0014]實(shí)施例1
[0015]參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型的半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，包括通過(guò)螺栓7連接的鋁板Al和鋁板B2，鋁板Al和鋁板B2分別連接一 PTC加熱板4，鋁板Al和鋁板B2之間安裝半導(dǎo)體制冷片3，鋁板Al外側(cè)安裝循環(huán)水箱5，鋁板B2外側(cè)連接絕緣導(dǎo)熱膜6，絕緣導(dǎo)熱膜6外側(cè)連接被測(cè)半導(dǎo)體器件12 ;
[0016]還包括固態(tài)繼電器8、電源9和與二者連接的溫控儀10 ；
[0017]固態(tài)繼電器8接收溫控儀10的指控接通或斷開(kāi)電源，電源9通過(guò)固態(tài)繼電器8連接半導(dǎo)體制冷3片和PTC加熱板4。
[0018]還包括安裝在絕緣導(dǎo)熱膜上的熱敏電阻11，其和溫控儀10連接，溫控儀10采集熱敏電阻11的溫度信號(hào)，控制電源9接通PTC加熱板4和半導(dǎo)體制冷片3。
[0019]本實(shí)用新型的半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，以?xún)射X板作為框架和熱量傳遞主體，兩鋁板之間設(shè)置半導(dǎo)體制冷片3，控制裝置的制冷和加熱，鋁板Al置于循環(huán)水箱5和半導(dǎo)體制冷片3之間，構(gòu)成一套熱量交換裝置，鋁板B2置于半導(dǎo)體制冷片3和絕緣導(dǎo)熱膜6之間，形成另一套熱量交換裝置，兩鋁板同時(shí)和PTC加熱板4連接，通過(guò)溫控儀10控制電源9接通或斷開(kāi)PTC加熱板4，對(duì)于通過(guò)提高制冷片電流提高溫度的裝置，本裝置可實(shí)現(xiàn)快速升溫，裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，其特征在于:包括通過(guò)螺栓連接的鋁板A和鋁板B，鋁板A和鋁板B分別連接一 PTC加熱板，鋁板A和鋁板B之間安裝半導(dǎo)體制冷片，鋁板A外側(cè)安裝循環(huán)水箱，鋁板B外側(cè)連接絕緣導(dǎo)熱膜，絕緣導(dǎo)熱膜外側(cè)連接被測(cè)半導(dǎo)體器件； 還包括固態(tài)繼電器、電源和與二者連接的溫控儀； 固態(tài)繼電器接收溫控儀的指控接通或斷開(kāi)電源，電源通過(guò)固態(tài)繼電器連接半導(dǎo)體制冷片和PTC加熱板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，其特征在于:還包括安裝在絕緣導(dǎo)熱膜上的熱敏電阻，其和溫控儀連接，溫控儀采集熱敏電阻的溫度信號(hào)，控制電源接通PTC加熱板或半導(dǎo)體制冷片。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件加熱與溫控裝置，包括通過(guò)螺栓連接的鋁板A和鋁板B，鋁板A和鋁板B分別連接一PTC加熱板，鋁板A和鋁板B之間安裝半導(dǎo)體制冷片，鋁板A外側(cè)安裝循環(huán)水箱，鋁板B外側(cè)連接絕緣導(dǎo)熱膜，絕緣導(dǎo)熱膜外側(cè)連接被測(cè)半導(dǎo)體器件；還包括固態(tài)繼電器、電源和與二者連接的溫控儀；固態(tài)繼電器接收溫控儀的指控接通或斷開(kāi)電源，電源通過(guò)固態(tài)繼電器連接半導(dǎo)體制冷片和PTC加熱板；本裝置控制被測(cè)半導(dǎo)體器件達(dá)到需要的溫度，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)易，快速升高被測(cè)半導(dǎo)體器件溫度。
【IPC分類(lèi)】G05D23/24
【公開(kāi)號(hào)】CN204945839
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520528007
【發(fā)明人】王丕龍, 王新強(qiáng), 徐旭
【申請(qǐng)人】青島佳恩半導(dǎo)體有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月6日
【申請(qǐng)日】2015年7月20日