帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，包括數(shù)據(jù)庫、采集傳感器、真空系統(tǒng)、粒子計數(shù)器、浮游菌采樣盤、浮游菌控制器，所述采集傳感器用于采集超凈潔凈室的數(shù)據(jù)、并將數(shù)據(jù)經(jīng)過第一多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫中；所述真空系統(tǒng)與粒子計數(shù)器、浮游菌采樣盤相連接，用于提供氣源；所述粒子計數(shù)器連接有等動力采樣頭，且粒子計數(shù)器將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫；所述浮游菌控制器經(jīng)過第二多路處理模塊后與浮游菌采樣盤相連接，且浮游菌采樣盤將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過第二多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫。本實用新型可以方便、全面、實時的監(jiān)測，不易造成潔凈室中生產(chǎn)的產(chǎn)品被污染，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利說明】
帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種監(jiān)測系統(tǒng)，尤其涉及了一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室。
【背景技術】
[0002]潔凈室是指無論室外空氣條件如何變化，仍能使室內(nèi)空氣中微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除，且室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度等特性控制在特定范圍內(nèi)。而超凈潔凈室是指潔凈室達到了1sl級，“1sl級”的標準為0.111111<10顆/1113，0.211111<2顆/1113，;[081級的潔凈度實現(xiàn)難度非常大，對應用于超大規(guī)模集成電路和高世代平板顯示制造等電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展極其重要?，F(xiàn)有技術的監(jiān)測系統(tǒng)監(jiān)測數(shù)據(jù)實時反饋、存儲、分析記錄等無法滿足潔凈環(huán)境發(fā)展需求，特別是當粒子數(shù)超標時無法實時報警提醒操作人員，造成潔凈室中生產(chǎn)的產(chǎn)品被污染，嚴重威脅產(chǎn)品質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對現(xiàn)有技術存在的不足，本實用新型的目的就在于提供了一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，能夠滿足超凈潔凈室發(fā)展需求，可以方便、全面、實時的監(jiān)測，不易造成潔凈室中生產(chǎn)的產(chǎn)品被污染，保證產(chǎn)品質(zhì)量。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案是這樣的:一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，包括數(shù)據(jù)庫、采集傳感器、真空系統(tǒng)、粒子計數(shù)器、浮游菌采樣盤、浮游菌控制器，所述采集傳感器用于采集超凈潔凈室的數(shù)據(jù)、并將數(shù)據(jù)經(jīng)過第一多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫中；所述真空系統(tǒng)與粒子計數(shù)器、浮游菌采樣盤相連接，用于提供氣源;所述粒子計數(shù)器連接有等動力采樣頭，且粒子計數(shù)器將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫;所述浮游菌控制器經(jīng)過第二多路處理模塊后與浮游菌采樣盤相連接，且浮游菌采樣盤將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過第二多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫。
[0005]作為一種優(yōu)選方案，所述采集傳感器包括溫濕度傳感器、壓差傳感器，該溫濕度傳感器與壓差傳感器將信號經(jīng)過第一多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫中。
[0006]作為一種優(yōu)選方案，所述采集傳感器設置于不銹鋼外殼內(nèi)。
[0007]作為一種優(yōu)選方案，所述等動力采樣頭與浮游菌采樣盤設置在距離地面或操作平臺的高度為0.8?1.5m之間。
[0008]作為一種優(yōu)選方案，還設置有報警燈，所述數(shù)據(jù)庫將報警信號經(jīng)過集線器、第一多路處理模塊傳輸?shù)綀缶療簟?br>[0009]作為一種優(yōu)選方案，所述數(shù)據(jù)庫通過網(wǎng)絡與計算機相連接，用于遠程控制。
[0010]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果:
[0011 ] 1.遠程控制:可在控制室通過計算機進行遠程實時監(jiān)控及設定報警，數(shù)據(jù)儲存，報告編輯，打印輸出；
[0012]2.聲光報警:多種報警功能，以保證系統(tǒng)長期穩(wěn)定的運行，可實現(xiàn)采樣流量報警，通訊失敗報警、數(shù)值超標報警、硬件故障報警；
[0013]3.外置真空系統(tǒng)，等動力采樣，流量28.3升/分鐘；
[0014]4.二通道同步微粒計數(shù)，同時監(jiān)測0.5，5.0微米粒徑的懸浮粒子；
[0015]5.監(jiān)測每一臺等動力采樣頭的運行流量，并提供流量運行狀態(tài)的顯示，不會干擾層流；
[0016]6.在無菌環(huán)境中工作的粒子計數(shù)器可以24小時進行連續(xù)的監(jiān)測工作，并內(nèi)置流量監(jiān)控。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結合具體實施例對本實用新型作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0019]實施例:
[0020]如圖1所示，一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，包括數(shù)據(jù)庫1、采集傳感器、真空系統(tǒng)2、粒子計數(shù)器3、浮游菌采樣盤4、浮游菌控制器5，所述采集傳感器用于采集超凈潔凈室的數(shù)據(jù)、并將數(shù)據(jù)經(jīng)過第一多路處理模塊6、集線器8后傳輸至數(shù)據(jù)庫I中；所述真空系統(tǒng)2與粒子計數(shù)器3、浮游菌采樣盤4相連接，用于提供氣源;所述粒子計數(shù)器3連接有等動力采樣頭7，且粒子計數(shù)器3將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過集線器8后傳輸至數(shù)據(jù)庫;所述浮游菌控制器5經(jīng)過第二多路處理模塊9后與浮游菌采樣盤4相連接，且浮游菌采樣盤4將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過第二多路處理模塊9、集線器8后傳輸至數(shù)據(jù)庫I。
[0021]本實用新型優(yōu)選所述采集傳感器包括溫濕度傳感器10、壓差傳感器11，該溫濕度傳感器10與壓差傳感器11將信號經(jīng)過第一多路處理模塊6、集線器8后傳輸至數(shù)據(jù)庫I中；實施時滿足用戶在無菌生產(chǎn)區(qū)域?qū)崿F(xiàn)動態(tài)懸浮粒子監(jiān)控的要求的同時將壓差、溫濕度等采集傳感器納入本監(jiān)測系統(tǒng)當中，形成對整個無菌生產(chǎn)過程的動態(tài)環(huán)境監(jiān)測。
[0022]本實用新型優(yōu)選所述采集傳感器設置于不銹鋼外殼內(nèi)，耐腐蝕。
[0023]本實用新型優(yōu)選所述等動力采樣頭7與浮游菌采樣盤4設置在距離地面或操作平臺的高度為0.8-1.5m之間；實施時，等動力采樣頭7與浮游菌采樣盤4的取樣點應具有代表性，并根據(jù)產(chǎn)品工藝關鍵控制點進行設置，一般為工藝流程上人員活動頻繁處，組織氣流可能被破壞處;盡量避免在回風口附近取樣，而且測試人員應站在取樣口的下風側;任何潔凈室和局部潔凈區(qū)域采樣點不得少于2個，總采樣次數(shù)不得少于5次。
[0024]本實用新型優(yōu)選還設置有報警燈12，所述數(shù)據(jù)庫I將報警信號經(jīng)過集線器8、第一多路處理模塊6傳輸?shù)綀缶療?2，用于警報功能。
[0025]本實用新型優(yōu)選所述數(shù)據(jù)庫I通過網(wǎng)絡與計算機13相連接，用于遠程控制，可以遠程實時監(jiān)控及設定報警，數(shù)據(jù)儲存，報告編輯;所述計算機13還可以與打印機相連接，用于打印輸出。
[0026]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，其特征在于:包括數(shù)據(jù)庫、采集傳感器、真空系統(tǒng)、粒子計數(shù)器、浮游菌采樣盤、浮游菌控制器，所述采集傳感器用于采集超凈潔凈室的數(shù)據(jù)、并將數(shù)據(jù)經(jīng)過第一多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫中；所述真空系統(tǒng)與粒子計數(shù)器、浮游菌采樣盤相連接，用于提供氣源;所述粒子計數(shù)器連接有等動力采樣頭，且粒子計數(shù)器將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫;所述浮游菌控制器經(jīng)過第二多路處理模塊后與浮游菌采樣盤相連接，且浮游菌采樣盤將采集到的數(shù)據(jù)經(jīng)過第二多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫。2.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，其特征在于:所述采集傳感器包括溫濕度傳感器、壓差傳感器，該溫濕度傳感器與壓差傳感器將信號經(jīng)過第一多路處理模塊、集線器后傳輸至數(shù)據(jù)庫中。3.根據(jù)權利要求2所述的一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，其特征在于:所述采集傳感器設置于不銹鋼外殼內(nèi)。4.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，其特征在于:所述等動力采樣頭與浮游菌采樣盤設置在距離地面或操作平臺的高度為0.8?1.5m之間。5.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，其特征在于:還設置有報警燈，所述數(shù)據(jù)庫將報警信號經(jīng)過集線器、第一多路處理模塊傳輸?shù)綀缶療簟?.根據(jù)權利要求1所述的一種帶有自動監(jiān)測系統(tǒng)的超凈潔凈室，其特征在于:所述數(shù)據(jù)庫通過網(wǎng)絡與計算機相連接，用于遠程控制。
【文檔編號】G01D21/02GK205608477SQ201620334479
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年4月20日
【發(fā)明人】章洪偉, 章紅權, 姚飛紅
【申請人】江蘇姑蘇凈化科技有限公司