專利名稱：用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)和管理方法
背景技術(shù)：
1.發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于管理通過大量加工工序制造出的半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)和管理方法。
2.相關(guān)技術(shù)描述著名的半導(dǎo)體設(shè)備，例如超大規(guī)模集成電路(VLSI)，是通過大量加工處理而完成的。做為用于該半導(dǎo)體設(shè)備的一個生產(chǎn)系統(tǒng)，被稱為工作車間系統(tǒng)的生產(chǎn)裝置，選擇性地用于同種生產(chǎn)裝置，在工廠里構(gòu)成設(shè)備組，而作為加工目標(biāo)的基片在那些設(shè)備組中，通過來回移動來制作成品。注意到，在本文中，一個生產(chǎn)裝置包括一個用在檢測加工工藝中的裝置。
通常，大約二十個基片存放在一個載體里，載體在每個設(shè)備組之間可以自動傳輸。由于傳輸上的自動化，基片可以不靠近工人，從而可以改善成品率，并且可以消除因等待設(shè)備旁的工人所造成的時間損失。所傳送的基片在每個生產(chǎn)裝置都進(jìn)行了所需的加工。
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)裝置主要歸類為成批加工型和按片加工型。
由于很少幾種半導(dǎo)體，類似于存儲器產(chǎn)品，在傳統(tǒng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中是以大批量進(jìn)行生產(chǎn)的，生產(chǎn)裝置的主流是能夠按大約幾片到100片同時加工基片的成批加工型。然而，采用成批加工型的生產(chǎn)裝置雖然加工基片效率高，但是，較難保持高加工能力，并且，在要求產(chǎn)品多樣化的當(dāng)今市場中，也難于靈活應(yīng)付多樣化半導(dǎo)體產(chǎn)品類型的小批量生產(chǎn)。
相反，在按片加工型的生產(chǎn)裝置情況中，由于基片可被逐一地加工，因此有可能靈活處理不同類型半導(dǎo)體的小批量生產(chǎn)。此外，按片加工型的優(yōu)勢還在于基片從載體中取出到加工完畢返回到預(yù)定位置的這段時間，即，所謂的間歇時間較短，加工工藝可以適用于各種不同的基片，并且，經(jīng)化學(xué)處理后到漂洗之間的時間段也較短，等等。這樣，按片加工型正在成為半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的主流。
每個制造設(shè)備的基片的加工，可以基于不同的加工方法，具體取決于所加工的成品的類型。在每個生產(chǎn)裝置中基片的加工可被運用。特別是，隨著各種類型半導(dǎo)體對小批量生產(chǎn)的需求的增加，這個趨勢正變得更加明顯。在此情形中，有必要把基片每批分類，以及當(dāng)每次批類改變時，必須轉(zhuǎn)換生產(chǎn)裝置的加工方法。一批是指一組放在一起，沿著各道加工工序同時移動和加工的基片，一批意思為生產(chǎn)或裝運的一個單位。
那么，在生產(chǎn)不同類型半導(dǎo)體設(shè)備的工廠里，通常利用一個基于通用數(shù)據(jù)庫以把計劃，設(shè)計和生產(chǎn)集成起來的系統(tǒng)，即一個所謂CIM(計算機集成生產(chǎn))系統(tǒng)，來實現(xiàn)每個生產(chǎn)裝置中加工方法的轉(zhuǎn)換。
通過CIM系統(tǒng)，對生產(chǎn)線中每個生產(chǎn)設(shè)備的控制就可以由一臺計算機進(jìn)行集中管理。必須由每個生產(chǎn)設(shè)備實現(xiàn)的加工方法，可由采用CIM系統(tǒng)的計算機逐個地進(jìn)行控制，從而就可以避免通過手工改變生產(chǎn)設(shè)備的加工方法。并且可減輕工人的負(fù)擔(dān)，由工人所帶來的灰塵引起的清潔度的影響可以得到控制。
注意到，隨著觀察一般性產(chǎn)品或重要客戶的產(chǎn)品的運輸日期的必要性的增加，或者隨著小批量生產(chǎn)各種類型半導(dǎo)體的趨勢變得更加明顯，成品組的類型增加了，而歸類在同一組中的基片的數(shù)目卻減少了。在此情形下，如果基片，所有這些基片總是歸類于相同批，被存放在每個載體中，則用于每個載體的基片數(shù)量就會減少而且造成基片加工效率的降低。那么，把屬于不同批的基片存放到相同的載體上并傳送基片，是合乎需要的。
如果所有存放在該載體里的基片歸類于相同組，則加工工藝的決定或生產(chǎn)設(shè)備的啟動順序可以由載體單元來管理。但是，如果歸類于不同批的基片被一起存儲在相同載體里，則有必要由該基片單元處理加工工藝或生產(chǎn)裝置工作起始順序的決定。
然而，如果某個加工方法或生產(chǎn)裝置工作的某個啟動順序由使用CIM系統(tǒng)的基片單元來處理，那么需處理的信息量變得非常巨大，并且，與由載體單元處理相比，增加了充當(dāng)主機的計算機的負(fù)擔(dān)。此外，由于有必要交換大量信息數(shù)據(jù)，諸如在計算機主機(宿主計算機)和每個生產(chǎn)裝置間每個基片加工工藝的具體內(nèi)容，所以數(shù)據(jù)的傳輸和接收花費時間并且要求計算機主機具有較高的性能。
發(fā)明概述本發(fā)明是針對上述和其它缺點而設(shè)計出的，并且本發(fā)明的一個目標(biāo)是構(gòu)造能夠減輕計算機主機負(fù)擔(dān)并能夠由基片單元指示加工條件和工作啟動順序的CIM系統(tǒng)。
在本發(fā)明中，應(yīng)用于每個基片的加工方法在每個生產(chǎn)裝置中而不是在計算機主機中管理。一個或多個被編號的加工方法存儲于每個生產(chǎn)裝置里。
計算機主機處理每批的一個加工流程，例如，在加工流程中基片按順序傳送到生產(chǎn)裝置，并且按流程中的加工方法進(jìn)行加工。注意到，一批是指一組隨著一個加工流程一起移動和加工的基片的集合，并且，一批意味著生產(chǎn)和裝運的一個單元。一旦接收到從一個生產(chǎn)裝置傳送到另一個生產(chǎn)裝置的基片的一個批序號的信息，計算機主機根據(jù)批序號找到該基片的加工工藝，并把加工工藝的信息發(fā)送給加工基片產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置。
一旦接收到加工工藝序號信息，該生產(chǎn)裝置就對應(yīng)該加工方法序號讀出一個加工方法，并且根據(jù)該加工方法加工該基片。當(dāng)該加工進(jìn)程完成后，有關(guān)加工過程的信息發(fā)送給主機。當(dāng)證實所有基片的加工已完成，計算機主機控制某些傳送裝置以便把存放加工完畢的基片的載體，傳送到生產(chǎn)裝置中，并進(jìn)行下一步的處理。
用上述結(jié)構(gòu)，因為即使加工方法的決定和生產(chǎn)裝置工作的起始順序的決定由該基片單元而不是該載體單元處理，也沒必要在計算機主機里處理每個生產(chǎn)裝置中每個基片加工方法的具體內(nèi)容，所以可減輕計算機主機的負(fù)擔(dān)。此外，由于沒必要交換大量信息數(shù)據(jù)如每個基片加工方法的具體內(nèi)容，數(shù)據(jù)傳輸和接收所需時間就能得到控制，因而也就不再要求計算機主機具備較高的性能。
此外，由于無論批的類型如何基片都可存儲于一個載體中，從而就能提高實際存放的基片數(shù)與可能存放該載體的基片數(shù)之間的比率，同時，可有效執(zhí)行生產(chǎn)裝置之間基片的傳送。
從下列與附圖結(jié)合的描述，該描述中字符通過其圖說明相同或相近部分，本發(fā)明的其它目標(biāo)和特征將是顯而易見的。
通過下文中結(jié)合附圖進(jìn)行描述，使得本發(fā)明的其它目標(biāo)和特征變得一目了然，下文的描述中，類似的標(biāo)注圖符代表所有附圖中的相同或類似的部分。
附圖簡述在附圖中

圖1是一個視圖，圖示了用于本發(fā)明的一個載體的結(jié)構(gòu)；圖2是一個方框圖，圖示了計算機主機，多個生產(chǎn)裝置及載體傳送裝置之間的關(guān)系；圖3是一個方框圖，圖示了載體傳送時刻，計算機主機和該生產(chǎn)裝置的操作；圖4是一個加工工序表，圖示了在生產(chǎn)裝置被使用的次數(shù)和加工方法序號之間的關(guān)系；圖5圖示了在一個摻雜裝置中每個加工工藝的具體內(nèi)容；圖6是一個流程圖，圖示了該計算機主機的操作；圖7是一個流程圖，圖示了該生產(chǎn)裝置的操作；圖8是一個方框圖，圖示了用于清理載體的時間分配；并且圖9是一個加工工序表，圖示了存儲在該計算機主機存儲器中的一個加工工序表的例子。
優(yōu)選實施方案的詳細(xì)描述接下來，將對本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。
在本發(fā)明中，作為加工目標(biāo)的基片上，附上一個標(biāo)識號(基片ID)，每個載體上也附上一個標(biāo)識號(載體ID)。圖1示出了用于本發(fā)明的一個載體的一個結(jié)構(gòu)示意圖。在圖1所示的載體100中，存放了作為待加工目標(biāo)的多個基片101。對于工人來說，有可能恰當(dāng)?shù)卦O(shè)置可能存放的基片的數(shù)值。進(jìn)一步講，本說明書中，每個基片被固定在該載體里的那部分稱為插槽。插槽越多，可存放的基片數(shù)量也就越多。
基片歸屬的批的分類可以被附加以做為給每個基片101的一個批序號來補充該基片ID。用此方法，設(shè)計者認(rèn)為必要的信息可被恰當(dāng)寫入在基片上。通過在基片上直接附上一個批號，工人就可直觀地辨別出該基片的所屬的批次。附在每個基片上的這些序號足以分辨出各個不同的基片，而且，字符，數(shù)字，條形碼和其它符號可用做該序號。
圖1中，<1>對應(yīng)批序號，<2>對應(yīng)基片ID。被附加到每個基片的這些數(shù)值可用墨水和激光來附加。此外，該數(shù)值可用其它方法寫入該基片。
此外，在每個載體中提供了能夠用磁性的方法重寫數(shù)據(jù)的存儲裝置102(在后文中稱為載體信息存儲裝置)。存于該載體的一個載體ID和每個基片101的一個批序號被存儲在該載體信息存儲裝置102中。并且，除該序號外，還有設(shè)計者認(rèn)為必要的信息，如載體的每個插槽中的基片的存儲狀態(tài)，被存儲的基片的基片ID值，實現(xiàn)用于清理該載體的時間分配的載體傳送次數(shù)值，等等，都可做為信息被恰當(dāng)?shù)卮鎯?。圖1中，存儲在該載體信息存儲裝置102中的<3>，<4>和<5>分別對應(yīng)于一個載體ID，每個插槽中的存儲狀態(tài)以及存儲在每個插槽中的一個基片的批序號。
進(jìn)一步講，該載體信息存儲裝置102可以是任何存儲裝置，只要它能夠重寫數(shù)據(jù)，而不一定非要用磁性方式重寫數(shù)據(jù)的存儲裝置。
此外，圖1所示的載體稱為蓋子未合、開的開放式盒子和開放式器的載體。用于本發(fā)明的該載體不限于此結(jié)構(gòu)，并且也可采用具有一個容器合上盒子類型的載體。
每個存放基片101的載體100在各個生產(chǎn)裝置之間自動搬運。各個生產(chǎn)裝置之間自動搬運。圖2圖示了載體傳送裝置103，每個生產(chǎn)裝置以及一臺計算機主機105之間的關(guān)系。圖2中，圖示了由生產(chǎn)裝置A104a，生產(chǎn)裝置B 104b，生產(chǎn)裝置C 104c，生產(chǎn)裝置D 104d和生產(chǎn)裝置E 104e組成的五個生產(chǎn)裝置。但是，生產(chǎn)裝置的個數(shù)可任意設(shè)置。
每個生產(chǎn)裝置附上一個標(biāo)識號(裝置ID)。
計算機主機105控制該傳送裝置103并把該載體100傳送到具有一個被分配裝置ID的一個生產(chǎn)裝置。注意到，雖然載體100在每個生產(chǎn)裝置之間被自動傳送，如有必要，此傳送也可在計算機主機105里被轉(zhuǎn)換成手動(方式)傳送載體100。
當(dāng)載體100被傳送到一個指定的生產(chǎn)裝置，存儲在該載體信息存儲裝置102中的必要信息就被讀入進(jìn)該生產(chǎn)裝置。在下文中將結(jié)合圖3，對生產(chǎn)裝置和計算機主機105是如何根據(jù)所讀取的信息進(jìn)行操作，作出描述。
圖3中，在載體被傳送時刻，生產(chǎn)裝置和該計算機主機105的操作將用該生產(chǎn)裝置A 104a做為例子進(jìn)行描述。每個生產(chǎn)裝置都帶有用于讀入存儲在該載體信息存儲裝置102中的信息的讀入裝置110，而裝置102又在被傳送到該生產(chǎn)裝置的載體100里。此外，每個生產(chǎn)裝置還帶有一個中央處理器CPU111，基片加工工藝被存儲在其中的一個存儲器112以及基片加工裝置116中。
然后，一個載體ID和被存儲在每個插槽中一基片的一個批序號也被讀入該讀取裝置110并被送到該CPU111。該CPU111把讀入的載體ID和被存儲在每個插槽中的一個基片的讀入的批序號，發(fā)送以及該CPU111被提供在其中的生產(chǎn)裝置的一個裝置ID送到該計算機主機105的一個中央處理器CPU113。
該CPU113根據(jù)被送到其中的批序號，識別出每個基片所屬的批次。在每批的每個加工工序中，將加工工藝序號存入一存儲器115。然后，根據(jù)每個基片的批次號，載體ID和裝置ID的批序號，CPU113讀出相應(yīng)于該批序號的一批的一個相應(yīng)加工工序的一個加工工藝的序號，該批序號被存儲在該存儲器115中，并且該CPU115把該加工方法序號送到該生產(chǎn)裝置的CPU111。
圖9用以下內(nèi)容為例圖示了存儲在該存儲器115中的一個加工工序流程，每個加工工序中的加工處理內(nèi)容，生產(chǎn)裝置，每個基片加工工序的在位還是缺席以及每個基片的批序號。在此，圖示了一個實例，在該例中歸類于三個批的十個基片分別存儲在一個載體中。同樣，每個批的一個加工工序流程被存儲。此外，每個加工工序的加工工藝序號也被存儲在圖9所示的加工工序表中以作補充。
進(jìn)一步講，雖未圖示于圖3中，只要一個批被設(shè)定，該CPU113就可以使用被送到它的該載體ID，在該計算機主機提供的一個計數(shù)器電路中，對該載體被傳送的次數(shù)值進(jìn)行計數(shù)。然后，該CPU113，可以根據(jù)送給它的批序號對應(yīng)被存儲在該存儲器115中的一個批序號以辨認(rèn)一個批，可以根據(jù)該載體被傳送和該裝置ID送給它的次數(shù)計數(shù)值決定在該批中的一個相應(yīng)加工工序，以及，可以讀出該加工工序的一個加工方法序號以把它送到該生產(chǎn)裝置的CPU111。
例如，如果一個批序號是A，按照圖4所示的一個加工工序，加工一個基片。然后，如果該載體被傳送的次數(shù)計數(shù)值為兩次并且該裝置ID與該生產(chǎn)裝置E對應(yīng)，則該CPU113可判定正在執(zhí)行保護(hù)膜應(yīng)用的第十步加工工序以及把一個加工工藝序號是7。
當(dāng)生產(chǎn)裝置的CPU111接收到加工工藝序號信息后，CPU111取相應(yīng)于存儲在該存儲器112中加工方法序號的加工方法的具體內(nèi)容并且控制該基片加工裝置116以便每個基片按照該加工方法進(jìn)行加工。
由該基片加工裝置116加工工序的內(nèi)容根據(jù)該生產(chǎn)裝置的一個類型而變化。例如，如果，該生產(chǎn)裝置是一個摻雜裝置，則可推測圖5所示的加工方法被存儲在該摻雜裝置的一個存儲器中。然后，如果一個加工方法序號是3，則一個基片在加速電壓100KEV和劑量數(shù)5×1017原子每平方厘米(ATOMS/CM2)條件下進(jìn)行加工。
進(jìn)一步講，在圖2和圖3中，圖示說明是以所有該生產(chǎn)裝置都是按片加工類型為前提的。但是，該成批加工類型的一個生產(chǎn)裝置可能被包括在一組生產(chǎn)裝置中。在該成批加工類型的生產(chǎn)裝置情況中，如果存儲在相同載體里的所有基片可能用相同加工方法加工，則所有該基片可同時被加工。如果所有存儲在相同載體里的基片不能用相同加工方法加工，則該基片為每個加工工藝進(jìn)行歸類，并且為每個加工方法的每個基片進(jìn)行多次加工處理。
當(dāng)所有存放在該載體中的基片加工完畢后，生產(chǎn)裝置的CPU111通知該計算機主機105的CPU113加工工序已完成的信息。注意到，可為每個基片通知加工工序的完成。如果可為每個基片通知加工工序的完成，該計算機主機可以仔細(xì)識別該加工工序已正常完成的基片。
當(dāng)通知了所有基片的加工工序的完成信息后，該計算機主機105決定該載體被傳送到哪個生產(chǎn)裝置。此決定可用各種方法實現(xiàn)。當(dāng)載體被傳送到該裝置時，該計算機主機105可以存儲該載體ID，存儲該裝置ID和存儲從在被分別提供的一個存儲器中的該生產(chǎn)裝置的CPU111發(fā)送的該批序號，以及主機105可以決定一個生產(chǎn)裝置，該生產(chǎn)裝置被用于由這些數(shù)值，基于存儲在該存儲器115中的加工工序流程的下一個加工工序。此外，在通知來自該生產(chǎn)裝置加工工序的完成的同時，該載體ID，該裝置ID和該批序號可以再次被送到該計算機主機105的CPU113，而且，該計算機主機105可以決定一個生產(chǎn)裝置，該生產(chǎn)裝置被用在基于存儲在該存儲器115中的加工工序流程的下一步驟中。進(jìn)一步講，當(dāng)載體被傳送到該裝置時，計算機主機105可以讀出有關(guān)信息，該信息是基于從該生產(chǎn)裝置的CPU111送出的載體ID，裝置ID和該批序號的信息，并將這些信息保存到分別提供的存儲器中。
然后，計算機主機105指定載體100所要傳送到的生產(chǎn)裝置的一個裝置ID，有關(guān)載體傳送裝置103見圖2，傳送裝置103能自動傳送載體100。當(dāng)載體100傳送到指定的生產(chǎn)裝置后，保存在載體信息存儲裝置102中的信息再一次被讀取并且重復(fù)上述操作。
有關(guān)上述操作，僅專注于計算機主機的一個流程示在圖6中。該計算機主機控制載體傳送裝置并且傳送一個載體。當(dāng)該載體被傳送到一個指定的生產(chǎn)裝置，該計算機主機接收一個載體ID，每個裝置的一個批序號，一個裝置ID及其它來自該生產(chǎn)裝置的信息。
然后，該計算機主機根據(jù)批序號在該存儲器115中搜索相應(yīng)批序號的加工工序(加工工序表)的一個流程。如果沒有找到加工工序表，該基片從該批中被預(yù)先或被完全地移出并開始劃分出去(使其成為非批成員？)，而且由工人采取適當(dāng)?shù)拇胧?br> 如果有一個加工工序表，則該計算機主機根據(jù)載體ID，裝置ID和該加工工序表，在其存儲器115中搜尋對應(yīng)的加工工藝序號。如果，沒有對應(yīng)的加工方法序號，則該基片從該批中被預(yù)先或完全移出并開始劃分出去，而且由該工人采取適當(dāng)?shù)拇胧?br> 如果有找到相應(yīng)的加工方法批序號，則該計算機主機把該批序號送到生產(chǎn)裝置。下一步，當(dāng)加工工序完成的通知從該生產(chǎn)裝置被送出時，計算機主機在該存儲器115里搜尋執(zhí)行下一個加工處理的生產(chǎn)裝置，并且，控制載體傳送裝置把該載體傳送到指定的生產(chǎn)裝置。
下一步，在圖7圖示了只專注于生產(chǎn)裝置的一個流程圖。當(dāng)載體通過該載體傳送裝置傳送時，并且，被放入一個預(yù)定位置(工作片堆棧器)，則就可以由讀取裝置110從載體信息存儲裝置102中讀出載體ID和批序號。
然后，讀出的載體ID和批序號以及裝置ID被送往計算機主機。下一步，生產(chǎn)裝置從計算機主機接收一個相應(yīng)的加工方法序號。該生產(chǎn)裝置根據(jù)保存在存儲器112中的所接收的加工方法序號，搜尋一個相應(yīng)的加工方法。
如果沒有找到相應(yīng)的加工方法，則向計算機主機通知結(jié)果，并且，把該基片從該批中預(yù)先地或完全地移出，該基片開始劃分出去，并由工人采取適當(dāng)?shù)拇胧?。如果找到一個相應(yīng)的加工方法，該基片就按照該加工方法在該基片加工裝置116中進(jìn)行加工。當(dāng)該基片的加工處理完成時，生產(chǎn)裝置給該計算機主機發(fā)送一個加工工序完成的消息。
注意到，生產(chǎn)裝置可以向計算機主機發(fā)送一個基片加工處理被啟動的消息。如果一個正常操作通過發(fā)送一個加工處理開始的通知給該計算機主機的方式在一個生產(chǎn)裝置中被執(zhí)行，則它可以在早期階段被確定。
此外，雖然在本發(fā)明中，生產(chǎn)裝置的加工方法由計算機主機自動地選擇，但是工人可控制該計算機主機以隨意地轉(zhuǎn)換加工方法的選擇。進(jìn)一步講，工人可以在生產(chǎn)裝置一側(cè)手工地選擇加工方法，或者，也有可能在該生產(chǎn)裝置一側(cè)由工人把計算機主機設(shè)置成禁止對加工方法的選擇。
此外，如果生產(chǎn)裝置是一個檢測裝置時，由檢測結(jié)果得來的一個基片的加工處理狀態(tài)質(zhì)量的一個指示器的等級可以與該檢測完畢的通知一起發(fā)送到該計算機主機。進(jìn)一步講，通過該檢測劃分出去的一個基片ID可以被一起通知到該計算機主機。
進(jìn)一步講，如果劃分出去的該基片可以直接被存儲在載體中，并且，在與其它基片在一起的每個生產(chǎn)裝置之間進(jìn)行傳送，則載體信息存儲裝置可以存儲基片被劃分出去的信息，并且，當(dāng)存儲在該載體中所有基片被劃分出去時，就可以把載體從生產(chǎn)線中傳送出去。
本發(fā)明的上述生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)或本發(fā)明的上述生產(chǎn)線的管理方法可以用于集成電路的生產(chǎn)線或用于半導(dǎo)體顯示設(shè)備的生產(chǎn)線。尤其是，它可用于液晶顯示設(shè)備中，具有由每個象素內(nèi)的一個有機發(fā)光設(shè)備發(fā)光的發(fā)光元件中DMD中(數(shù)字微鏡設(shè)備)，PDP(中等離子體顯示屏面)，F(xiàn)ED(中場發(fā)射顯示)，等等的生產(chǎn)線中該生產(chǎn)線通過批或通過生產(chǎn)線的管理方法來處理經(jīng)過按片加工的大量基片。
應(yīng)當(dāng)注意的是，雖然本發(fā)明的上述生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)或本發(fā)明的上述生產(chǎn)線的管理方法按照存儲在該載體信息存儲裝置中的信息進(jìn)行解釋，并通過該載體單元處理了一個批，但是本發(fā)明不限于此結(jié)構(gòu)。例如，每個基片特殊信息，如批序號，基片ID等等可在該基片單元里進(jìn)行處理。這樣，用于記錄該信息的裝置(基片信息記錄裝置)被提供在每個基片上以便能夠從外部讀該信息。由于幾乎沒必要重寫每個基片的該特別信息，因此能重寫該信息的信息存儲裝置，如載體信息存儲裝置，可能不一定非要提供。在基片上，或在半導(dǎo)體薄膜上，在絕緣薄膜上或在該基片上組成的傳導(dǎo)材料上，等激光蝕刻的方法可列出來以記錄該信息。另外，該信息可通過把上述薄膜構(gòu)制成一個信息圖形的方式來記錄。
本發(fā)明的實施方案將在后文中進(jìn)行說明。實施方案1在本實施方案中，將描述存儲在載體信息存儲裝置里的信息的重寫過程。
存儲在載體信息存儲裝置里的信息的重寫或更新可以在工人一側(cè)或者生產(chǎn)裝置一側(cè)來實現(xiàn)。存儲在載體信息存儲裝置里的信息的重寫或更新在各種情況中實現(xiàn)。
當(dāng)載體ID信息的重寫或更新一般在工人一側(cè)實現(xiàn)，被首次附加到載體上，當(dāng)基片被存儲在每個插槽中，以及每個基片的批序號和每個基片的一個存儲狀態(tài)被寫入，等等的時候。注意到這些不一定總在工人一側(cè)實現(xiàn)行，它也能在生產(chǎn)裝置一側(cè)實現(xiàn)行。
當(dāng)基片傳送的次數(shù)被更新時，當(dāng)每個加工批的存儲狀態(tài)因為基片從批中移去而發(fā)生更新時，信息的重寫或更新一般在生產(chǎn)裝置側(cè)實現(xiàn)。此外，如果被劃分出去的基片(被)直接存儲于該載體并與其它基片一起在某個生產(chǎn)裝置之間(被)傳送，則載體信息存儲裝置可存儲被劃分出去的該基片信息。因此，在該載體信息存儲裝置中的有關(guān)劃分出去的信息在傳送該載體前由該生產(chǎn)裝置一側(cè)更改。注意到，這些不需要總在該生產(chǎn)裝置一側(cè)實現(xiàn)，也可在工人一側(cè)實現(xiàn)。
進(jìn)一步講，當(dāng)寫入或更改由該生產(chǎn)裝置一側(cè)實現(xiàn)時，可以將機關(guān)情況信息通知計算機主機。此外，傳送次數(shù)值的更改信息也可與基片的加工通知一起發(fā)送給計算機主機。
此外，如果生產(chǎn)裝置是檢測裝置，從檢測結(jié)果獲得的基片的加工狀態(tài)的質(zhì)量指示器的等級也可被寫入進(jìn)該載體信息存儲裝置。
進(jìn)一步講，用于顯示存儲于該載體信息存儲裝置中的信息的一個功能可以在載體中提供以便工人直觀地作出決定。實施方案2
在本實施方案中，清洗的時間分配和一個載體的生命周期將參照圖8進(jìn)行描述。
圖8圖示了生產(chǎn)線里的一個載體的流程。當(dāng)載體被安置在該生產(chǎn)線里后，對該載體進(jìn)行清洗，隨后，將載體信息存儲裝置安裝到該載體上。然后，向載體給定的載體ID保存到載體信息存儲裝置中。
然后，該載體通過載體傳送裝置(被)傳送，并被堆疊于生產(chǎn)裝置的一個儲料器中。在生產(chǎn)裝置里加工的一個基片(被)存放于該載體中。
存放基片的載體被傳送到執(zhí)行下一道加工工序的生產(chǎn)裝置。該載體從一個生產(chǎn)裝置到另一個生產(chǎn)裝置的傳送次數(shù)值被計數(shù)，并且計算機主機判定該計算出的次數(shù)值是大于還是小于一個設(shè)定的次數(shù)限定值(傳送次數(shù)限定值)。
如果該計算出的次數(shù)值小于該傳送次數(shù)限定值，該載體就被直接傳送到下一個生產(chǎn)裝置，并且，重復(fù)上述操作。如果該計算出的次數(shù)值大于該傳送次數(shù)限定值，該載體就被自動地傳送到自動清洗該載體的清洗裝置。然后，當(dāng)該載體在該清洗裝置中被清洗時，該載體就重新被堆疊于該生產(chǎn)裝置的儲料器中，同時啟動上述操作。
進(jìn)一步講，該載體的傳送次數(shù)值可在該生產(chǎn)裝置中進(jìn)行計數(shù)，并存儲于在該載體提供的載體信息存儲裝置中，或者，可存儲于該計算機主機(被)提供的存儲器中。
此外，在傳送次數(shù)值小于傳送次數(shù)限定值的情況中，如果從生產(chǎn)裝置向計算機主機發(fā)送一個帶進(jìn)一個空載體的請求，那么就可以從待傳送的載體中，按傳送次數(shù)從小到大的順序進(jìn)行選擇。
進(jìn)一步講，對載體的清洗的次數(shù)值進(jìn)行計算，并且計算機主機判定該計算出的次數(shù)值是否大于還是小于設(shè)定的次數(shù)限定值(清洗次數(shù)的限定值)。所計算出的載體清洗次數(shù)可以經(jīng)計算并保存到載體上的載體信息存儲裝置中，或者保存在主計算機的存儲器中。
如果清洗次數(shù)值存儲于載體信息存儲裝置中，那么該載體信息存儲裝置可在清洗前從該載體(被)移出，并且在該清洗完成后被安裝進(jìn)該載體。在這種情況下，該載體信息存儲裝置在清洗前被處理掉以安裝新的載體信息存儲裝置，或者與該清洗之前同樣的載體信息存儲裝置也可被安裝。如果安裝新的載體信息存儲裝置，那么存儲于將被拋棄的該載體信息存儲裝置中的信息可以被轉(zhuǎn)移到計算機主機，并且在該清洗之后，存儲于計算機主機中的信息可以寫入該新的載體信息存儲裝置中。但是，無論該載體信息存儲裝置是否被拋棄，至關(guān)重要的是要對存儲于該載體信息存儲裝置的清洗次數(shù)值進(jìn)行重置。
如果清洗次數(shù)值小于該清洗次數(shù)限定值，該載體被直接傳送到下一個生產(chǎn)裝置，并且重復(fù)上述操作。如果該清洗次數(shù)值大于該清洗次數(shù)限定值，則對該載體進(jìn)行檢測，并且由工人決定該載體是直接地重新使用還是在適當(dāng)?shù)靥幚砗蟊恢匦率褂?，還是將該載體拋棄。如果該載體被重新使用，它在該清洗裝置中被清洗，在該生產(chǎn)裝置的儲料器中被堆疊，并且啟動上述操作。
本實施方案可以與第一個實施方案相結(jié)合來實現(xiàn)。
用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，即使加工工藝的決定和生產(chǎn)裝置工作的一條指令由該基片單元而不是載體單元來管理，既然沒必要在該計算機主機處理每個生產(chǎn)裝置中用于每個基片的一個加工方法的具體內(nèi)容，那么也就減輕了該計算機主機的負(fù)擔(dān)。此外，由于沒必要在該計算機主機和每個生產(chǎn)裝置之間交換大量的信息數(shù)據(jù)，如用于每個基片的加工方法的具體內(nèi)容，就可以對所需數(shù)據(jù)傳輸和接收的時間進(jìn)行控制，而且不需要該計算機主機具備較高性能。
此外，由于基片不管批的類型如何都可存儲于載體中，實際被存儲的基片數(shù)與可能存儲于該載體中的基片數(shù)的比率就能得到增加，并且在每個生產(chǎn)裝置之間基片的傳送就可有效地實現(xiàn)。
那么，可以看出，提供了用于管理一個生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)和管理方法。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會認(rèn)可本發(fā)明可以通過以圖釋說明的目的且并不限于此方法以提供的不同于該優(yōu)選實施方案來進(jìn)行實施，以及本發(fā)明僅受限制于下列權(quán)利要求。
權(quán)利要求
1.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含其內(nèi)部提供有存儲裝置和存儲有多個基片的載體；一個生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中存儲于所述載體里的所述多個基片中的每一個基片的標(biāo)識信息以及所述多個基片中的每一個基片的一個批序號被存儲在所述存儲裝置里，其中所述生產(chǎn)裝置包含用于讀取所述多個基片中的每一個基片的所述標(biāo)識信息以及在所述存儲裝置里所述多個基片中的每一個基片的所述批序號的第一裝置，用于把由所述第一裝置讀出的，所述多個基片中的每一個基片的標(biāo)識信息以及所述多個基片中的每一個基片的所述批序號等以及所述生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息送到所述計算機主機的第二裝置，其內(nèi)部存儲有多個加工工藝的第一存儲器，以及把加工處理應(yīng)用于所述多個基片中的每一個基片的第三裝置，其中所述計算機主機包含第二存儲器，第二存儲器中保存有每個批次的加工工藝序號，以及包含第四裝置，第4裝置可以根據(jù)每個所述基片的標(biāo)識，以及基于由所述生產(chǎn)裝置發(fā)送的信息，讀取每個保存在所述第二存儲器中的基片所對應(yīng)的加工工藝序號，以及讀取所述大量基片中每個基片所在批次的序號，以及所述生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息，這些信息從生產(chǎn)裝置中發(fā)送出去，并把所述加工工藝序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置中，以及其中所述生產(chǎn)裝置從存儲于所述第一存儲器中的所述多個加工方法里讀出相應(yīng)于所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號的一個加工方法，以及在所述第二裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第三裝置，并且在所述第三裝置中根據(jù)所發(fā)送的加工方法加工所述大量基片中的每個基片。
2.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含其內(nèi)部提供有存儲裝置和存儲有多個基片的一個載體；一個用于傳送所述載體的第一裝置；一個生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中，所述大量基片中的每個基片的標(biāo)識信息，存放在所述載體中，而所述大量基片中的每個基片所在的批序號則存儲在所述存儲裝置中。其中所述生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和讀出存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述批序號的第二裝置，用于把所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和由所述第一裝置讀取的所述多個基片中的每個基片的一個批序號以及所述生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第三裝置，保存有大量加工工藝的第一存儲器，以及把加工處理應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第四裝置，其中所述計算機主機包含一個保存每個批的每個加工處理中的一個加工工藝序號的第二存儲器，和第五裝置，第五裝置根據(jù)所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息讀出存儲于所述第二存儲器里的所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)的加工工藝序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置，以及其中所述生產(chǎn)裝置從存儲于所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出相應(yīng)于所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號的一個加工方法并且在所述第三裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第四裝置，并且根據(jù)在所述第四裝置里的所發(fā)送的加工方法，加工所述多個基片中的每個基片。
3.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含其內(nèi)部提供有存儲裝置和存儲有多個基片的一個載體；一個第一生產(chǎn)裝置；一個第二生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中，所述大量基片中的每個基片的標(biāo)識信息，存放在所述載體中，而所述大量基片中的每個基片所在的批序號則存放在所述存儲器中。其中所述第一生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和讀出存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述批序號的第一裝置，用于把所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和由所述第一裝置讀入的所述多個基片中的每個基片的一個批序號以及所述生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第二裝置，在其內(nèi)部存儲有多個加工方法的第一存儲器，以及把加工工序應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第三裝置，其中所述計算機主機包含一個存儲每個批的每個加工處理中的一個加工方法序號的第二存儲器，一個存儲每個批的每個加工處理的一個生產(chǎn)裝置識別信息的第三存儲器，和第四裝置，該第四裝置基于所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息讀出存儲于所述第二存儲器里的所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)的一個加工方法序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述第一生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置，其中所述第一生產(chǎn)裝置從存儲所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出相應(yīng)于所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號的一個加工方法并且在所述第二裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第三裝置，并且根據(jù)在所述第三裝置里發(fā)送的加工方法，加工所述多個基片中的每個基片，其中，當(dāng)所述多個基片的所有加工處理在所述第三裝置里完成時，該加工工序的完成做為信息由所述第二裝置傳送到所述計算機主機，以及其中，當(dāng)該加工工序的完成做為信息被傳送到所述計算機主機時，由所述第四裝置根據(jù)對應(yīng)存儲在所述第三存儲器里的每個批的每個加工工序的一個生產(chǎn)裝置的識別信息決定將被用于下一個加工工序中的所述第二生產(chǎn)裝置。
4.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含其內(nèi)部提供有存儲裝置和存儲有多個基片的一個載體；一個用于傳送所述載體的第一裝置；一個第一生產(chǎn)裝置；一個第二生產(chǎn)裝置以及一臺計算機主機，其中，所述大量基片中的每個基片的標(biāo)識信息，存放在所述載體中，而所述大量基片中的每個基片所在的批序號則存放在所述存儲器中。其中所述第一生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和讀出存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述批序號的第一裝置，用于把所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和由所述第一裝置讀入的所述多個基片中的每個基片的一個批序號以及所述生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第二裝置，在其內(nèi)部存儲有多個加工方法的第一存儲器，以及把加工工序應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第三裝置，其中所述計算機主機包含一個存儲每個批的每個加工處理中的一個加工方法序號的第二存儲器，一個存儲每個批的每個加工處理的一個生產(chǎn)裝置識別信息的第三存儲器，和第四裝置，該第四裝置基于所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息讀出存儲于所述第二存儲器里的所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)的一個加工方法序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述第一生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置，其中所述第一生產(chǎn)裝置從存儲所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出相應(yīng)于所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號的一個加工方法并且在所述第二裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第三裝置，并且根據(jù)在所述第三裝置里發(fā)送的加工方法，加工所述多個基片中的每個基片，其中，當(dāng)所述多個基片的所有加工處理在所述第四裝置里完成時，該加工工序的完成做為信息由所述第三裝置傳送到所述計算機主機，以及其中，當(dāng)該加工工序的完成做為信息被傳送到所述計算機主機時，由所述第五裝置基于對應(yīng)存儲在所述第三存儲器里的每個批的每個加工處理的一個生產(chǎn)裝置的所述識別信息決定將被用于下一個加工工序中的所述第二生產(chǎn)裝置，由此所述載體通過控制所述第一裝置被傳送到所述第二生產(chǎn)裝置。
5.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含其內(nèi)部提供有存儲裝置和存儲有多個基片的一個載體；多個生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中，所述大量基片中的每個基片的標(biāo)識信息，存放在所述載體中，而所述大量基片中的每個基片所在的批序號則存放在所述存儲器中。其中所述大量生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和讀出存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述批序號的第一裝置，用于把所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和由所述第一裝置讀入的所述多個基片中的每個基片的一個批序號以及所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第二裝置，存儲有多個加工方法的一個第一存儲器，以及把加工處理應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第三裝置，其中所述計算機主機包含一個存儲每個批的每個加工處理中的一個加工方法序號的第二存儲器，一個存儲每個批的每個加工處理的生產(chǎn)裝置識別信息的第三存儲器，和第四裝置，該第四裝置基于所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息讀出存儲于所述第二存儲器里的所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)的一個加工方法序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述多個基片中的每個基片的所述批次序號以及所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置，其中所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置從存儲所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號所對應(yīng)的加工方法并且在所述第二裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第三裝置，并且根據(jù)在所述第三裝置里所發(fā)送的加工方法，加工所述多個基片中的每個基片，其中，當(dāng)所述多個基片的所有加工處理在所述第三裝置里完成時，該加工工序的完成做為信息由所述第二裝置傳送到所述計算機主機，以及其中，當(dāng)該加工工序的完成做為信息被傳送到所述計算機主機時，由所述第四裝置根據(jù)對應(yīng)存儲在所述第三存儲器里的每個批的每個加工處理的一個生產(chǎn)裝置的所述識別信息決定將被用于下一個加工處理中的一個生產(chǎn)裝置。
6.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含其內(nèi)部提供有存儲裝置和存儲有多個基片的一個載體；一個用于傳送所述載體的第一裝置；多個生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中，所述大量基片中的每個基片的標(biāo)識信息，存放在所述載體中，而所述大量基片中的每個基片所在的批序號則存放在所述存儲器中。其中所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和讀出存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述批序號的第二裝置，用于把所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和由所述第二裝置讀入的所述多個基片中的每個基片的一個批序號以及所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第三裝置，存儲有多個加工方法的一個第一存儲器，以及把加工處理應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第四裝置，其中所述計算機主機包含一個存儲每個批的每個加工工序中的一個加工方法序號的第二存儲器，一個存儲每個批的每個加工處理里的一個生產(chǎn)裝置識別信息在其中的第三存儲器，和第五裝置，該第五裝置根據(jù)所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息讀出對應(yīng)于存儲于所述第二存儲器里的所述多個基片中的每個基片的一個加工方法序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置，以及計數(shù)器裝置，其中所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置從存儲所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出相應(yīng)于所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號所對應(yīng)的一個加工方法并且在所述第三裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第四裝置，并且根據(jù)在所述第四裝置所發(fā)送的加工方法，加工所述多個基片中的每個基片，其中，當(dāng)所述多個基片的所有加工工序在所述第四裝置里完成時，該加工工序的完成做為信息由所述第三裝置傳送到所述計算機主機，其中，當(dāng)該加工工序的完成做為信息被傳送到所述計算機主機時，由所述第五裝置根據(jù)對應(yīng)存儲在所述第三存儲器里的每個批的每個加工處理的一個生產(chǎn)裝置的所述識別信息決定將用于下一個加工處理中的一個生產(chǎn)裝置，由此所述載體通過控制所述第一裝置被傳送到將用于下一步加工工序的所述裝置，其中所述載體在所述生產(chǎn)裝置中的每個裝置之間被傳送的次數(shù)值在所述計數(shù)器裝置里進(jìn)行計算，以及其中，當(dāng)所述被計算出的次數(shù)值超出次數(shù)的一個固定值時，所述載體被重置。
7.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含提供存儲裝置和存儲有多個基片的一個載體；一個用于傳送所述載體的第一裝置；多個生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中，所述大量基片中的每個基片的標(biāo)識信息，存放在所述載體中，而所述大量基片中的每個基片所在的批序號則存放在所述存儲器中。其中所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和讀出存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述批序號的第二裝置，用于把所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和由所述第二裝置讀入的所述多個基片中的每個基片的一個批序號以及所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第三裝置，存儲有多個加工方法的第一存儲器，以及把加工處理應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第四裝置，其中所述計算機主機包含一個存儲每個批的每個加工工序中的一個加工方法序號的第二存儲器，一個存儲每個批的每個加工處理里的一個生產(chǎn)裝置識別信息的第三存儲器，和第五裝置，第五裝置根據(jù)所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息讀出對應(yīng)于存儲于所述第二存儲器里的所述多個基片中的每個基片的一個加工方法序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置，以及計數(shù)器裝置，其中所述生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置從存儲所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號所對應(yīng)的一個加工方法并且在所述第三裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第四裝置，并且根據(jù)在所述第四裝置里所發(fā)送的加工方法，加工所述多個基片中的每個基片，其中，當(dāng)所述多個基片的所有加工工序在所述第四裝置里完成時，該加工處理的完成做為信息由所述第三裝置傳送到所述計算機主機，其中，當(dāng)該加工工序的完成做為信息被傳送到所述計算機主機時，由所述第五裝置基于對應(yīng)存儲在所述第三存儲器里的每個批的每個加工處理的一個生產(chǎn)裝置的所述識別信息決定將被用于下一個加工處理中的一個生產(chǎn)裝置，由此所述載體通過控制所述第一裝置被傳送到將被用于下一步加工工序的所述裝置，其中所述載體在所述生產(chǎn)裝置中的每個裝置之間被傳送的次數(shù)值在所述計數(shù)器裝置進(jìn)行計算。其中所述載體被傳送的次數(shù)值被存儲在所述存儲裝置中，以及其中，當(dāng)所述被計算出的次數(shù)值超出次數(shù)的一個固定值時，所述載體被重置。
8.一種用于生產(chǎn)線的管理系統(tǒng)，包含記錄一條特殊信息的基片，其中該特殊記錄包含一個批序號；一個生產(chǎn)裝置；以及一臺計算機主機，其中所述生產(chǎn)裝置包含用于讀出所述基片的所述特殊信息的第一裝置，用于把由所述第一裝置讀入的所述基片的所述特殊信息以及所述生產(chǎn)裝置的識別信息發(fā)送到所述計算機主機的第二裝置，存儲有多個加工方法的第一存儲器，以及把加工處理應(yīng)用于所述多個基片中的每個基片的第三裝置，其中所述計算機主機包含一個存儲每個批的每個加工處理的一個加工方法序號的第二存儲器，和第四裝置，該第四裝置根據(jù)所述基片的所述特殊信息讀出對應(yīng)于存儲于所述第二存儲器里的所述基片的一個加工方法序號，讀出從所述生產(chǎn)裝置發(fā)送的所述基片的所述標(biāo)識信息，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置，以及其中所述生產(chǎn)裝置從存儲所述第一存儲器里的所述多個加工方法中讀出所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號所對應(yīng)的一個加工方法并且在所述第二裝置中把所述被讀出的加工方法發(fā)送到所述第三裝置，并且根據(jù)在所述第三裝置里所發(fā)送的加工方法，加工所述基片。
9.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，包含提供存儲裝置用以存放大量基片的載體；把存儲有所述多個基片的所述載體傳送到一個生產(chǎn)裝置，其中存儲在所述載體里的所述多個基片中的每個基片的標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的一個批序號被存儲在所述存儲裝置里，其中所述多個基片中的每個基片的標(biāo)識信息和存儲在所述存儲裝置中的所述多個基片中的每個基片的所述批序號被讀入所述生產(chǎn)裝置并且與所述生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起被傳送到一臺計算機主機，其中在所述計算機主機里提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工處理的一個加工方法序號，其中所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，以讀出對應(yīng)于所述多個基片中的每個基片的一個加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置，以及其中所述生產(chǎn)裝置對所述大量基片中的每個基片，依照基片所對應(yīng)的加工工藝，對其進(jìn)行加工處理，基片所對應(yīng)的工藝序號，從保存在計算機的存儲加工工藝的裝置中發(fā)送給所謂生產(chǎn)裝置。
10.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，包含將大量基片存放到具有存儲裝置的載體中；以及在計算機主機中控制載體傳送裝置，以便將存儲大量基片的所述載體傳送到生產(chǎn)裝置。其中存儲在所述載體里的所述多個基片中的每個基片的標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的批序號被存儲在所述存儲裝置里，其中存儲在所述存儲裝置中的所述多個基片中的每個基片的標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的所述批序號被讀入所述生產(chǎn)裝置并且與所述生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起傳送到所述計算機主機，其中所述計算機主機提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工處理的一個加工方法序號，其中所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，以讀出對應(yīng)于所述多個基片中的每個基片的一個加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置，以及其中所述生產(chǎn)裝置從存儲在由所述生產(chǎn)裝置里提供的所述存儲器中的所述多個加工方法之中，并根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述多個基片中的每個基片。
11.一種生產(chǎn)線的管理方法，包括存儲多個基片到一個帶有存儲裝置的載體中；以及將大量基片存放到具有存儲裝置的載體中；以及把存儲有所述多個基片的所述載體傳送到一個第一生產(chǎn)裝置，其中存儲在所述載體里的所述多個基片中的每個基片的標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的一個批序號被存儲在所述存儲裝置里，其中存儲在所述存儲裝置中的所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的所述批序號讀入所述第一生產(chǎn)裝置并且與所述第一生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起傳送到計算機主機，其中所述計算機主機提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工工序中的加工方法序號，其中所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述第一生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，讀出所述多個基片中的每個基片對應(yīng)的加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置，其中所述第一生產(chǎn)裝置從存儲在由所述第一生產(chǎn)裝置所提供的所述存儲器中的所述多個加工方法之中，根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述多個基片中的每個基片。
12.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，包含將大量基片存放到具有存儲裝置的載體中；以及在計算機主機中控制載體傳送裝置，以便將存儲大量基片的所述載體傳送到生產(chǎn)裝置。其中存儲在所述載體里的所述多個基片中的每個基片的標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的一個批序號被存儲在所述存儲裝置里，其中存儲在所述存儲裝置中的所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息和所述多個基片中的每個基片的所述批序號讀入所述第一生產(chǎn)裝置并且與所述第一生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起傳送到所述計算機主機，其中所述計算機主機提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工處理的一個加工工藝序號，其中所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述第一生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，讀出所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)的一加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述第一生產(chǎn)裝置，其中所述第一生產(chǎn)裝置從存儲在由所述第一生產(chǎn)裝置里提供的所述存儲器中的所述多個加工方法之中，并根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述多個基片中的每個基片，其中，當(dāng)所述多個基片的所有加工工序完成時，該加工處理的完成做為來自所述第一生產(chǎn)裝置的信息傳送到所述計算機主機，以及其中，一旦把此加工工序完成做為信息接收，則所述計算機主機基于存儲在所述計算機主機的所述存儲器里的每個批的每個加工工序，決定一個將用于下一個加工處理的第二生產(chǎn)裝置，并控制所述載體傳送裝置，以便把所述載體傳送到所述第二生產(chǎn)裝置。
13.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，該管理方法在多個生產(chǎn)裝置之間傳送一個存儲有多個基片的載體，并且把加工處理應(yīng)用于所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置里的所述多個基片中的每個基片，其中所述載體為保存在載體中，大量基片中的每一個基片提供了標(biāo)識信息以及為所述大量基片中每個基片所在的批次序號提供了存儲裝置信息；存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息以及所述多個基片中的每個基片的所述批序號，被讀入進(jìn)所述多個生產(chǎn)裝置的每個生產(chǎn)裝置，并且與所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起，發(fā)送到計算機主機；其中在所述計算機主機里提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工工序中的一個加工方法序號；所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，讀出所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置；所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置從存儲在由所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置里提供的一個存儲器中的所述多個加工方法之中，根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述多個基片中的每個基片；當(dāng)所述多個基片的所有加工工序完成時，該加工工序的完成作為來自所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的信息傳送到所述計算機主機；一旦把此加工處理完成做為信息接收，則所述計算機主機根據(jù)存儲在所述計算機主機的所述存儲器里的每個批的每個加工處理，在所述多個生產(chǎn)裝置中決定一個將用于下一個加工處理的生產(chǎn)裝置，并把所述載體傳送到將被用于下一個加工處理的所述生產(chǎn)裝置。
14.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，該管理方法在多個生產(chǎn)裝置之間傳送一個存儲有多個基片的載體，并且把加工處理應(yīng)用于所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置里的所述多個基片中的每個基片，其中所述載體為保存在載體中，大量基片中的每一個基片提供了標(biāo)識信息以及為所述大量基片中每個基片所在的批次序號提供了存儲裝置信息；存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息以及所述多個基片中的每個基片的所述批序號，被讀入進(jìn)所述多個生產(chǎn)裝置的每個生產(chǎn)裝置，并且與所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起，發(fā)送到計算機主機；其中在所述計算機主機里提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工工序中的一個加工方法序號；所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，讀出所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置；所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置從存儲在由所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置里提供的一個存儲器中的所述多個加工方法之中，根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述多個基片中的每個基片；當(dāng)所述多個基片的所有加工工序完成時，該加工工序的完成作為來自所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的信息傳送到所述計算機主機；一旦把此加工處理完成做為信息接收，則所述計算機主機根據(jù)存儲在所述計算機主機的所述存儲器里的每個批的每個加工處理，在所述多個生產(chǎn)裝置中決定一個將用于下一個加工處理的生產(chǎn)裝置，并把所述載體傳送到將被用于下一個加工處理的所述生產(chǎn)裝置。所述載體在所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置之間被傳送的次數(shù)值在所述計算機主機中進(jìn)行計算；以及當(dāng)所述計算出的次數(shù)值超出次數(shù)的一個固定值時，所述載體被重置。
15.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，該管理方法在多個生產(chǎn)裝置之間傳送一個存儲有多個基片的載體，并且把加工工序應(yīng)用于所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置里的所述多個基片中的每個基片，其中所述載體為保存在載體中，大量基片中的每一個基片提供了標(biāo)識信息以及為所述大量基片中每個基片所在的批次序號提供了存儲裝置信息；存儲在所述存儲裝置里的所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息以及所述多個基片中的每個基片的所述批序號，被讀入進(jìn)所述多個生產(chǎn)裝置的每個生產(chǎn)裝置，并且與所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起，發(fā)送到計算機主機；其中在所述計算機主機里提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工工序中的一個加工方法序號；所述計算機主機使用所述多個基片中的每個基片的所述標(biāo)識信息，所述多個基片中的每個基片的所述批序號以及所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，讀出所述多個基片中的每個基片所對應(yīng)加工方法序號，并且把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置；所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置從存儲在由所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置里提供的一個存儲器中的所述多個加工方法之中，根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述多個基片中的每個基片；當(dāng)所述多個基片的所有加工工序完成時，該加工工序的完成作為來自所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置的信息傳送到所述計算機主機；一旦把此加工處理完成做為信息接收，則所述計算機主機根據(jù)存儲在所述計算機主機的所述存儲器里的每個批的每個加工處理，在所述多個生產(chǎn)裝置中決定一個將用于下一個加工處理的生產(chǎn)裝置，并把所述載體傳送到將被用于下一個加工處理的所述生產(chǎn)裝置。所述載體在所述多個生產(chǎn)裝置中的每個生產(chǎn)裝置之間被傳送的次數(shù)值在所述計算機主機中進(jìn)行計算；所述載體被傳送的次數(shù)值被存儲在所述存儲裝置中；以及當(dāng)所述被計算出的次數(shù)值超出次數(shù)的一個固定值時，所述載體被重置。
16.一種用于生產(chǎn)線的管理方法，包含把一個記錄一條特殊信息的基片傳送到生產(chǎn)裝置，其中所述特殊信息包含一個批序號，其中記錄在所述基片里的所述特殊信息被讀入所述生產(chǎn)裝置里，并與所述生產(chǎn)裝置的標(biāo)識信息一起，發(fā)送給計算機主機，其中在所述計算機主機提供一個存儲器，該存儲器存儲有每個批的每個加工處理中的一個加工工藝序號，其中所述計算機主機使用所述基片的所述特殊信息，和使用所述生產(chǎn)裝置的所述標(biāo)識信息，讀出一個對應(yīng)于所述基片的一個加工方法序號并且所述計算機主機把該加工方法序號發(fā)送到所述生產(chǎn)裝置，以及其中所述生產(chǎn)裝置從存儲在由所述生產(chǎn)裝置提供的所述存儲器中的所述多個加工方法之中，并根據(jù)對應(yīng)于自所述計算機主機發(fā)送的所述加工方法序號，選擇一個加工方法，加工所述基片。
全文摘要
本發(fā)明用于構(gòu)造一個CIM系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠減輕計算機主機的負(fù)擔(dān)，并且能夠由基片單元通知加工條件以及由基片單元通知工作的一條啟動指令。本發(fā)明中，在每個生產(chǎn)裝置里而不是在一個計算機主機里，對應(yīng)用于每個基片的一個加工工藝進(jìn)行管理。一個或多個被編號的加工工藝被存儲在每個生產(chǎn)裝置中。通過上述結(jié)構(gòu)，即使對一個加工工藝的制定和一個生產(chǎn)裝置工作的一條指令通過基片單元而不是通過載體單元來管理，也由于沒有必要在該計算機主機中處理用于每個基片的一個加工方法的具體內(nèi)容，從而可以減輕該計算機主機的負(fù)擔(dān)。
文檔編號G06F19/00GK1417725SQ0214813
公開日2003年5月14日 申請日期2002年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月30日
發(fā)明者山崎舜平 申請人:株式會社半導(dǎo)體能源研究所