專利名稱：收費(fèi)方法及收費(fèi)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及針對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)管理服務(wù)而進(jìn)行的收費(fèi)方法及收費(fèi)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著技術(shù)長(zhǎng)足的進(jìn)步、制造商之間開(kāi)發(fā)競(jìng)爭(zhēng)的進(jìn)一步激化，制造商生產(chǎn)產(chǎn)品的種類越來(lái)越多，但同時(shí)其壽命周期卻正在縮短。在這樣的狀況下，就要求制造商制定一種可以根據(jù)社會(huì)或客戶的需求來(lái)生產(chǎn)產(chǎn)品的生產(chǎn)體制，也就是可以應(yīng)對(duì)多品種小批量生產(chǎn)的生產(chǎn)體制。
對(duì)于制定如上述的生產(chǎn)體制而言，維持生產(chǎn)設(shè)備較高的生產(chǎn)率是很有效的。例如，在接受了緊急的生產(chǎn)請(qǐng)求時(shí)，若能立即應(yīng)對(duì)并進(jìn)行生產(chǎn)，則可以避免喪失機(jī)會(huì)，并可以提高顧客滿意度。可以使用可利用率(Availability)來(lái)作為這種設(shè)備的生產(chǎn)率的指標(biāo)。
可利用率(Availability)用{(可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time))-(停機(jī)時(shí)間(Downtime))}/(可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time))×100來(lái)表示。可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)例如與從放置設(shè)備的工廠的開(kāi)工時(shí)間中除去停工時(shí)間(Non-Scheduled Time)所剩的時(shí)間一致。此外，停機(jī)時(shí)間(Downtime)由用于定期檢修等的計(jì)劃停機(jī)時(shí)間(ScheduledDowntime)和由于突發(fā)的故障而導(dǎo)致的計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間(UnscheduledDowntime)構(gòu)成。由計(jì)算式可知，縮短停機(jī)時(shí)間(Downtime)對(duì)于達(dá)到較高可利用率(Availability)是有效的。
為了將設(shè)備的可利用率(Availability)維持在規(guī)定的程度上，維護(hù)管理是不可或缺的。設(shè)備的維護(hù)管理由提供設(shè)備的賣主或接受了賣主委托的企業(yè)(以下稱企業(yè)等)作為服務(wù)業(yè)務(wù)來(lái)進(jìn)行。這時(shí)，進(jìn)行維護(hù)管理服務(wù)，使得設(shè)備滿足制造商與企業(yè)等之間所協(xié)定的可利用率(Availability)。因此，在維護(hù)管理服務(wù)期，設(shè)備以規(guī)定的可利用率(Availability)運(yùn)轉(zhuǎn)，從而可以說(shuō)其生產(chǎn)率是基本恒定的。
近年來(lái)，正在開(kāi)發(fā)可以通過(guò)維護(hù)管理來(lái)提高生產(chǎn)率的系統(tǒng)。在這樣的系統(tǒng)中，制造商(設(shè)備的用戶)與賣主共同進(jìn)行維護(hù)管理。具體地說(shuō)，賣主通過(guò)通信網(wǎng)遠(yuǎn)程獲得設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)信息，與制造商一樣實(shí)時(shí)掌握設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，從而與用戶協(xié)作進(jìn)行必要的維護(hù)管理作業(yè)。通過(guò)用戶和賣主共同所有設(shè)備信息，并根據(jù)信息來(lái)協(xié)作進(jìn)行維護(hù)管理作業(yè)，可使作業(yè)更有效。由此，可通過(guò)加快故障的修復(fù)來(lái)縮短設(shè)備的計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間(UnscheduledDowntime)等，可以提高設(shè)備的可利用率(Availability)。
此外，在上述系統(tǒng)中，賣主在獲得運(yùn)轉(zhuǎn)信息的同時(shí)，還獲得零件的使用時(shí)間等與設(shè)備的零件更換有關(guān)的信息。賣主根據(jù)已獲得的信息算出零件的最佳更換周期，并將已算出的更換周期反饋給用戶。這樣，用戶就可以高效地進(jìn)行零件更換，從而可以在實(shí)質(zhì)上削減設(shè)備的計(jì)劃停機(jī)時(shí)間(Scheduled Downtime)等，進(jìn)而可以提高可利用率(Availability)。
這樣，在上述方法中，可以在維護(hù)管理期提高設(shè)備的可利用率(Availability)，也就是生產(chǎn)率，甚至還可以實(shí)現(xiàn)比維護(hù)合同等中的預(yù)定值更高的生產(chǎn)率(可利用率(Availability))。這時(shí)，可以說(shuō)賣主不僅進(jìn)行“維護(hù)”作業(yè)，還進(jìn)行“改進(jìn)”作業(yè)。
但是，由企業(yè)等進(jìn)行的維護(hù)管理服務(wù)通常不是無(wú)償?shù)?，而是向用?制造商)收取費(fèi)用。例如，企業(yè)等針對(duì)規(guī)定作業(yè)向用戶收取一定金額的費(fèi)用，或是收取與維護(hù)作業(yè)所需時(shí)間成正比的金額的費(fèi)用。此外，在日本專利特開(kāi)2002-117336號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了針對(duì)晶片處理片數(shù)等設(shè)備實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)量進(jìn)行收費(fèi)的方法。
但是，這些以往的收費(fèi)方法是以預(yù)先設(shè)定的可利用率(Availability)等為指標(biāo)，并應(yīng)用在用于實(shí)現(xiàn)恒定生產(chǎn)率的維護(hù)管理服務(wù)中的，所以這種方法不能將上述“改進(jìn)”作業(yè)與其他“維護(hù)”作業(yè)分開(kāi)來(lái)收費(fèi)。因此，在直接應(yīng)用以往的收費(fèi)方法來(lái)確定收費(fèi)金額的時(shí)候，由于以下原因無(wú)法使企業(yè)等與用戶雙方都滿意。
首先，對(duì)于提供服務(wù)的企業(yè)等而言，由于上述的與用戶的協(xié)作作業(yè)要求實(shí)時(shí)的待機(jī)狀態(tài)，所以增加了費(fèi)用負(fù)擔(dān)。因此，在賣主收取維護(hù)管理的費(fèi)用時(shí)，除了對(duì)以往的“維護(hù)”作業(yè)收取費(fèi)用以外，當(dāng)然還要對(duì)“改進(jìn)”作業(yè)收取費(fèi)用。
另一方面，對(duì)于用戶而言，也會(huì)從設(shè)備生產(chǎn)率的提高中獲得制造成本下降等好處。因此，根據(jù)企業(yè)等的要求，也能夠接收對(duì)“改進(jìn)”作業(yè)支付費(fèi)用的作法。但是，對(duì)于用戶而言，根據(jù)訂購(gòu)狀態(tài)等，可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)并不與生產(chǎn)時(shí)間相等，而單純的收費(fèi)金額的增大將帶來(lái)制造成本的增加，從而是難以接受的。
因此，需要一種在維護(hù)管理操作中，可以針對(duì)為提高生產(chǎn)率而做出貢獻(xiàn)的部分(改進(jìn)操作部分)進(jìn)行定量收費(fèi)，從而能夠使用戶與維護(hù)管理企業(yè)等雙方都滿意的收費(fèi)方法，而這種收費(fèi)方法是目前沒(méi)有的。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情況，本發(fā)明的目的是提供一種能夠使設(shè)備的用戶和維護(hù)管理企業(yè)雙方都滿意的收費(fèi)方法及收費(fèi)系統(tǒng)。
為了達(dá)到上述目的，根據(jù)本發(fā)明的原理來(lái)公開(kāi)以下發(fā)明。
作為本發(fā)明第一個(gè)方面的收費(fèi)方法，是用于確定設(shè)備的維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用金額的收費(fèi)方法，其特征在于，包括量化步驟，該步驟是將規(guī)定的服務(wù)期中的所述設(shè)備的生產(chǎn)率量化；比較步驟，該步驟是將在所述量化步驟中量化的生產(chǎn)率與預(yù)定的生產(chǎn)率基準(zhǔn)進(jìn)行比較，算出它們的差；收費(fèi)金額確定步驟，該步驟根據(jù)在所述比較步驟中算出的差來(lái)確定針對(duì)所述服務(wù)期內(nèi)的所述維護(hù)管理服務(wù)的收費(fèi)金額。
上述結(jié)構(gòu)的收費(fèi)方法還可以包括生產(chǎn)率基準(zhǔn)確定步驟，該步驟在規(guī)定的預(yù)備期使所述設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，并將所述預(yù)備期中的所述設(shè)備的生產(chǎn)率量化，從而確定所述生產(chǎn)率基準(zhǔn)。
在上述結(jié)構(gòu)的收費(fèi)方法的所述量化步驟中，例如，至少根據(jù)可利用率(Availability)、可用時(shí)間(Uptime)及產(chǎn)量中的任一個(gè)來(lái)量化所述設(shè)備的生產(chǎn)率。
在上述結(jié)構(gòu)的收費(fèi)方法的所述收費(fèi)金額確定步驟中，可以在算出的差上乘以預(yù)定的變換率來(lái)確定收費(fèi)金額。
作為本發(fā)明第二個(gè)方面的收費(fèi)系統(tǒng)，是用于確定設(shè)備的維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用金額的收費(fèi)系統(tǒng)，其特征在于，包括量化裝置，該裝置將規(guī)定的服務(wù)期中的所述設(shè)備的生產(chǎn)率量化；比較裝置，該裝置將量化的生產(chǎn)率與預(yù)定的生產(chǎn)率基準(zhǔn)進(jìn)行比較，算出它們的差；收費(fèi)金額確定裝置，該裝置根據(jù)算出的差來(lái)確定針對(duì)所述服務(wù)期內(nèi)的所述維護(hù)管理服務(wù)的收費(fèi)金額。
上述結(jié)構(gòu)的收費(fèi)系統(tǒng)還可以包括生產(chǎn)率基準(zhǔn)確定裝置，該裝置在規(guī)定的預(yù)備期使所述設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，并將所述預(yù)備期中的所述設(shè)備的生產(chǎn)率量化，從而確定所述生產(chǎn)率基準(zhǔn)。
在上述結(jié)構(gòu)的收費(fèi)系統(tǒng)中，所述量化裝置，例如至少根據(jù)可利用率(Availability)、可用時(shí)間(Uptime)及產(chǎn)量中的任一個(gè)來(lái)量化所述設(shè)備的生產(chǎn)率。
在上述結(jié)構(gòu)的收費(fèi)系統(tǒng)中，所述收費(fèi)金額確定裝置也可以在算出的差上乘以預(yù)定的變換率來(lái)確定收費(fèi)金額。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例的收費(fèi)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是設(shè)備結(jié)構(gòu)的例子的示意圖；圖3是廠方計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是企業(yè)方計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是設(shè)備信息DB所存儲(chǔ)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；圖6是設(shè)備信息DB所存儲(chǔ)的維護(hù)數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；圖7是概況信息DB所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；圖8是概況信息DB所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；圖9是聯(lián)絡(luò)目標(biāo)DB所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；圖10是零件信息DB所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；
圖11是收費(fèi)信息DB所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的示意圖；圖12是收費(fèi)動(dòng)作的流程的一個(gè)例子的示意圖；圖13是維護(hù)·監(jiān)視動(dòng)作的流程的一個(gè)例子的示意圖；圖14是更換周期計(jì)算動(dòng)作的流程的一個(gè)例子的示意圖；圖15是收費(fèi)金額確定動(dòng)作的流程的一個(gè)例子的示意圖；圖16是賬單的一個(gè)例子的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，對(duì)本實(shí)施例中針對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)管理服務(wù)的收費(fèi)系統(tǒng)及收費(fèi)方法予以說(shuō)明。
在本實(shí)施例中，生產(chǎn)設(shè)備是半導(dǎo)體制造裝置，半導(dǎo)體設(shè)備制造商作為用戶在工廠里使用該制造裝置。設(shè)備的維護(hù)管理服務(wù)由提供了設(shè)備的賣主或接受了賣主委托的企業(yè)(以下稱企業(yè))進(jìn)行，并且企業(yè)針對(duì)提供的服務(wù)向用戶收費(fèi)。
圖1示出了本實(shí)施例中的收費(fèi)系統(tǒng)11的結(jié)構(gòu)。
如圖1所示，本實(shí)施例的收費(fèi)系統(tǒng)11由一個(gè)或多個(gè)用戶的一個(gè)或多個(gè)工廠12和服務(wù)企業(yè)者的企業(yè)13通過(guò)通信線路14連接構(gòu)成。
通信線路14例如由因特網(wǎng)構(gòu)成。此外，通信線路14也可以例如由專線、公眾線路網(wǎng)、ISDN網(wǎng)、有線電視網(wǎng)、無(wú)線通信網(wǎng)、衛(wèi)星通信網(wǎng)等中的任一種，或是它們的組合構(gòu)成。
工廠12中設(shè)置有一臺(tái)或多臺(tái)設(shè)備15和廠方計(jì)算機(jī)16。設(shè)備15與廠方計(jì)算機(jī)16通過(guò)LAN(Local Area Network)等廠內(nèi)配線網(wǎng)17連接。廠方計(jì)算機(jī)16對(duì)在工廠12中所使用的設(shè)備15進(jìn)行集中管理。
設(shè)備15是用于制造半導(dǎo)體裝置、液晶顯示裝置等電子設(shè)備的裝置，例如是預(yù)處理設(shè)備15(成膜裝置、熱處理裝置等)或后處理設(shè)備15(安裝裝置、試驗(yàn)裝置等)。一個(gè)工廠12內(nèi)設(shè)置有一種或多種設(shè)備15。
圖2示出了設(shè)備15的結(jié)構(gòu)。在圖2中，以將片狀物的等離子體CVD裝置用作設(shè)備15的情況為例來(lái)說(shuō)明。
如圖2所示，設(shè)備15具有成型為圓筒形狀的腔室110。
在腔室110的側(cè)壁上形成有排氣口111。排氣口111通過(guò)APC(自動(dòng)調(diào)壓裝置)112連接有真空泵113。真空泵113由渦輪分子泵等構(gòu)成，用于將腔室110內(nèi)抽成規(guī)定的減壓氣氛。此外，在腔室110的側(cè)壁上設(shè)有閘閥114，在開(kāi)放了閘閥114的狀態(tài)下，可以在腔室110與外部之間搬運(yùn)晶片W。
在腔室110大致中間的位置設(shè)有基座115?；?15由鋁等導(dǎo)體構(gòu)成，從而構(gòu)成平行平板電極的下部電極。在基座115的上表面放置晶片W。
基座115設(shè)置在軸116所支撐的平臺(tái)117上。軸116穿過(guò)在腔室110的底面上所開(kāi)設(shè)的開(kāi)口而設(shè)置。軸116連接在沒(méi)有圖標(biāo)的升降機(jī)構(gòu)上，從而使基座115與平臺(tái)117一同升降。軸116的內(nèi)部構(gòu)成中空，從而向內(nèi)部穿入配線等。
平臺(tái)117的下部被由不銹鋼等構(gòu)成的波紋管118所包裹。波紋管118的上端和下端分別被螺紋固定在平臺(tái)117的下部及腔室110的底面上。波紋管118隨著平臺(tái)117的升降而伸縮，從而保持腔室110內(nèi)的氣密狀態(tài)?；?15上連接有第一高頻電源119。第一高頻電源119具有0.1～13MHz范圍的頻率。
在基座115的上方設(shè)有噴頭120。噴頭120被設(shè)置成與基座115平行相對(duì)，并且，在與基座115相對(duì)的面上具有電極板121。
電極板121由導(dǎo)體的圓板狀部件構(gòu)成，且其整個(gè)表面具有許多氣孔121a。在電極板121上連接有第二高頻電源122。第二高頻電源122具有13～150MHz范圍的頻率。電極板121與基座115一同構(gòu)成平行平板電極的一對(duì)相對(duì)的電極。
噴頭120具有與電極板121的氣孔121a和連通的中空部分120a。而且，噴頭120連接在氣體供給管123上。氣體供給管123經(jīng)由質(zhì)量流量控制器(MFC)124連接在氣體源125上。從氣體源125供給的氣體被MFC124控制成規(guī)定的流量供給到噴頭120的中空部分120a，并從氣孔121a向腔室110的內(nèi)部噴出。
從氣體源125供給等離子體CVD處理所需的處理氣體及載體氣體。在進(jìn)行成膜操作時(shí)，向基座115及電極板121施加規(guī)定的高頻電壓，從而在它們兩個(gè)之間的空間內(nèi)產(chǎn)生氣體的等離子體。通過(guò)等離子體中的活性粒子，在晶片W的表面上形成規(guī)定的CVD膜。
而且，設(shè)備15具有計(jì)時(shí)器126。計(jì)時(shí)器126對(duì)設(shè)備15開(kāi)啟著的時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)。所計(jì)時(shí)間作為后述的可用時(shí)間(Uptime)被存儲(chǔ)在設(shè)備狀況DB中。
設(shè)備15具有由微機(jī)、存儲(chǔ)器等構(gòu)成的中央處理部分127。中央處理部分127發(fā)送用于控制設(shè)備15所有動(dòng)作的操作信號(hào)。
在上述設(shè)備15的動(dòng)作中，中央處理部分127與APC 112連接，從而檢測(cè)腔室110的內(nèi)部壓力，同時(shí)將壓力維持在規(guī)定范圍內(nèi)。此外，中央處理部分127與MFC 124連接，從而將向腔室110供給的氣體的流量調(diào)節(jié)在規(guī)定量上。這樣，中央處理部分127通過(guò)APC 112、MFC 124等對(duì)反應(yīng)進(jìn)行控制，同時(shí)獲得腔室110內(nèi)部的信息。
此外，設(shè)備15還具有用于檢測(cè)晶片W溫度的溫度傳感器、對(duì)晶片W的處理片數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)的晶片計(jì)數(shù)器、對(duì)腔室110內(nèi)的粒子量進(jìn)行計(jì)數(shù)的粒子計(jì)數(shù)器等，由此，中央處理部分127也可以獲得其他數(shù)據(jù)。
中央處理部分127將關(guān)于這些設(shè)備15運(yùn)轉(zhuǎn)狀況的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部分128中，同時(shí)通過(guò)通信部分129將這些數(shù)據(jù)發(fā)送給廠方計(jì)算機(jī)126。此外，雖然在圖中，將存儲(chǔ)部分128設(shè)在了設(shè)備15中，但是也可以將存儲(chǔ)部分128從設(shè)備15中分離出來(lái)，例如設(shè)在圖1的計(jì)算機(jī)16內(nèi)。
此外，設(shè)備15具有連接在中央處理部分127上的輸入輸出控制部分130。輸入輸出控制部分130連接在具有顯示畫(huà)面、鍵盤(pán)等的輸入輸出裝置131上。輸入輸出裝置131起到人機(jī)接口的作用。工廠12內(nèi)的工人從輸入輸出裝置131輸入設(shè)定條件等規(guī)定的控制信息，然后，將表示設(shè)備15的狀態(tài)的信息作為輸出來(lái)讀取。
此外，工人從輸入輸出裝置輸入與對(duì)設(shè)備15已進(jìn)行的維護(hù)作業(yè)有關(guān)的數(shù)據(jù)。例如，工人在由于故障或定期地更換零件時(shí)輸入當(dāng)時(shí)的日期、零件的種類、使用時(shí)間等與設(shè)備15的維護(hù)有關(guān)的信息。所輸入的信息作為維護(hù)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部分128中。
維護(hù)數(shù)據(jù)中還包括與維護(hù)無(wú)關(guān)的其他日志數(shù)據(jù)。日志數(shù)據(jù)是將設(shè)備15的所有的動(dòng)作歷史與時(shí)間戳一同數(shù)據(jù)化了的數(shù)據(jù)，從而顯示工廠12的工人對(duì)設(shè)備15進(jìn)行了什么樣的操作、設(shè)備15的某個(gè)傳感器何時(shí)怎樣動(dòng)作、設(shè)備15的軟件是何時(shí)進(jìn)入了什么樣的例程、向存儲(chǔ)部分128何時(shí)存入了什么樣的數(shù)據(jù)等。
中央處理部分127也將從輸入輸出裝置13 1輸入的上述維護(hù)數(shù)據(jù)存入存儲(chǔ)部分128中，同時(shí)將其發(fā)送給廠方計(jì)算機(jī)16。
圖3示出了廠方計(jì)算機(jī)16的結(jié)構(gòu)。如圖3所示，廠方計(jì)算機(jī)16具有中央處理部分18、通信部分19、存儲(chǔ)部分20以及輸入輸出控制部分21。
中央處理部分18由微機(jī)、存儲(chǔ)器等構(gòu)成，用于控制廠方計(jì)算機(jī)16的動(dòng)作。
通信部分19起到廠內(nèi)配線網(wǎng)17及通信線路14在廠方計(jì)算機(jī)16上的接口的功能。中央處理部分18通過(guò)通信部分19與工廠12內(nèi)的設(shè)備15等進(jìn)行信息的收發(fā)。
中央處理部分18將從設(shè)備15獲得的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)及維護(hù)數(shù)據(jù)通過(guò)通信部分19發(fā)送給后述的企業(yè)方計(jì)算機(jī)。運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)幾乎被實(shí)時(shí)地發(fā)送給企業(yè)方計(jì)算機(jī)，維護(hù)數(shù)據(jù)在其產(chǎn)生的同時(shí)或者每隔規(guī)定的間隔被發(fā)送出去。
存儲(chǔ)部分20存儲(chǔ)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)及維護(hù)數(shù)據(jù)。中央處理部分18將從設(shè)備15經(jīng)由廠內(nèi)配線網(wǎng)17接收的上述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部分20中。
此外，存儲(chǔ)部分20也可以存儲(chǔ)與設(shè)備15的存儲(chǔ)部分128相同內(nèi)容的上述數(shù)據(jù)，或者也可以存儲(chǔ)比設(shè)備15的存儲(chǔ)部分128更長(zhǎng)時(shí)間的數(shù)據(jù)。此外，上述數(shù)據(jù)可以存儲(chǔ)在設(shè)備15的存儲(chǔ)部分128及廠方計(jì)算機(jī)16的存儲(chǔ)部分20中的任一側(cè)。
輸入輸出控制部分21連接在具有顯示畫(huà)面、鍵盤(pán)等的輸入輸出裝置22上。輸入輸出裝置22起到人機(jī)接口的作用。工廠12內(nèi)的工人從輸入輸出裝置22對(duì)廠方計(jì)算機(jī)16及設(shè)備15進(jìn)行控制，并獲得與設(shè)備15等有關(guān)的信息。
在發(fā)生故障時(shí)，例如，用戶方的工人通過(guò)廠方計(jì)算機(jī)16的輸入輸出裝置22從企業(yè)那里獲得與應(yīng)對(duì)故障有關(guān)的信息，然后進(jìn)行必要的處置。
此處，廠方計(jì)算機(jī)16除了在發(fā)生故障時(shí)等計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間(Unscheduled Downtime)及定期檢修時(shí)等計(jì)劃停機(jī)時(shí)間(ScheduledDowntime)以外，總是使設(shè)備15開(kāi)啟，使其無(wú)論何時(shí)都處于可生產(chǎn)的狀態(tài)。
廠方計(jì)算機(jī)16在設(shè)備15不進(jìn)行生產(chǎn)動(dòng)作而處于待機(jī)狀態(tài)時(shí)，使設(shè)備15每隔規(guī)定的時(shí)間進(jìn)行測(cè)試動(dòng)作。此時(shí)，設(shè)備15根據(jù)規(guī)定的檢測(cè)程序?qū)μ撛O(shè)的晶片進(jìn)行通常的成膜動(dòng)作。廠方計(jì)算機(jī)16若在測(cè)試動(dòng)作中檢測(cè)出異常，則根據(jù)需要關(guān)閉設(shè)備15，進(jìn)行修復(fù)處理。此外，在進(jìn)行測(cè)試動(dòng)作時(shí)，后述的企業(yè)方計(jì)算機(jī)監(jiān)視設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，若檢測(cè)出異常則將其內(nèi)容通知給用戶方。
如上所述，計(jì)時(shí)器126對(duì)設(shè)備15開(kāi)啟的時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)。即，計(jì)時(shí)器126對(duì)設(shè)備15實(shí)際上正常可運(yùn)轉(zhuǎn)，以及處于可正常運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)的時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)。在本說(shuō)明書(shū)中，將設(shè)備15實(shí)際正常運(yùn)轉(zhuǎn)，以及處于可正常運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)的時(shí)間表示為“可用時(shí)間(Uptime)”。
返回到圖1，服務(wù)企業(yè)家的企13配備有企業(yè)方計(jì)算機(jī)23。圖4中示出了企業(yè)方計(jì)算機(jī)23的結(jié)構(gòu)。如圖4所示，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23具有中央處理部分24、通信部分25、輸入輸出控制部分26及存儲(chǔ)部分27。
中央處理部分由微機(jī)、存儲(chǔ)器等構(gòu)成，用來(lái)控制企業(yè)方計(jì)算機(jī)23的操作。
通信部分25起到企業(yè)方計(jì)算機(jī)23一側(cè)的外部接口的作用。中央處理部分24通過(guò)通信部分25與一個(gè)或多個(gè)廠方計(jì)算機(jī)16進(jìn)行信息的收發(fā)。
輸入輸出控制部分26連接在具有屏幕、鍵盤(pán)等的輸入輸出裝置28上。輸入輸出裝置28起到人機(jī)接口的作用。企業(yè)方的操作員從輸入輸出裝置28進(jìn)行規(guī)定的輸入處理，從而控制企業(yè)方計(jì)算機(jī)23。此外，企業(yè)方的工人從輸入輸出裝置28通過(guò)電子郵件向用戶方發(fā)送對(duì)策信息，并確認(rèn)設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。
存儲(chǔ)部分27包括各種數(shù)據(jù)庫(kù)(DB)而構(gòu)成。存儲(chǔ)部分27具有設(shè)備信息DB 29、概況信息DB 30、聯(lián)絡(luò)目標(biāo)DB 31、零件信息DB 32及收費(fèi)信息DB 33。
在設(shè)備信息DB 29中，按每臺(tái)設(shè)備15存儲(chǔ)有作為維護(hù)管理服務(wù)對(duì)象的設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)和維護(hù)數(shù)據(jù)。設(shè)備信息DB 29，例如，被按各個(gè)用戶、工廠12被分類。
圖5示出了設(shè)備信息DB 29中所存儲(chǔ)的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。在圖5所示的例子中，設(shè)備信息DB 29，以圖5中的*1所示的格式存儲(chǔ)了設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)。
此外，在運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)中包含有從設(shè)備15的計(jì)時(shí)器126獲得的設(shè)備15的可用時(shí)間(Uptime)。如上所述，可用時(shí)間(Uptime)表示設(shè)備15處于開(kāi)啟的時(shí)間。由于計(jì)時(shí)器126例如在每隔單位收費(fèi)期(將在后面說(shuō)明)被復(fù)位，所以，計(jì)時(shí)器126所示的值是單位收費(fèi)期內(nèi)的可用時(shí)間(Uptime)。
可用時(shí)間(Uptime)并不僅限于設(shè)備15實(shí)際進(jìn)行生產(chǎn)的時(shí)間(Productive Time)，也包括雖然不進(jìn)行生產(chǎn)但處于待機(jī)狀態(tài)的時(shí)間(Standby Time)。在工廠12的開(kāi)工時(shí)間中，設(shè)備15通常被開(kāi)啟著，從而即使在不進(jìn)行生產(chǎn)的情況下，也處于待機(jī)狀態(tài)，以便可以立即應(yīng)對(duì)來(lái)自顧客的緊急訂貨。這樣，可用時(shí)間(Uptime)包括生產(chǎn)時(shí)間(ProductiveTime)和待機(jī)時(shí)間(Standby)，由設(shè)備15處于開(kāi)啟的時(shí)間構(gòu)成。
圖6示出了設(shè)備信息DB 29所存儲(chǔ)的維護(hù)數(shù)據(jù)的一個(gè)例子。在圖6所示的例子中，設(shè)備信息DB 29按種類存儲(chǔ)與零件更換有關(guān)的維護(hù)數(shù)據(jù)。維護(hù)數(shù)據(jù)由每個(gè)零件的更換日期(時(shí)間)、總計(jì)使用時(shí)間等構(gòu)成。
概況信息DB 30存儲(chǔ)有各步驟的參數(shù)(溫度、壓力等)的標(biāo)準(zhǔn)概況，這些參數(shù)構(gòu)成設(shè)備15的操作方案。
圖7示出了概況信息DB 30中所存儲(chǔ)的、步驟A、B、…中各參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)概況的一個(gè)例子。在圖7所示的例子中，以*2和*3所示的格式存儲(chǔ)著作為步驟A中的變化參數(shù)的壓力、氣體流量等。
此外，如圖8所示，概況信息DB 30存儲(chǔ)有各設(shè)備15的規(guī)定處理中的步驟表(處方)。處方是預(yù)先從用戶通過(guò)通信線路14自動(dòng)或人工地通知到企業(yè)中的。并且，例如以*4所示的格式存儲(chǔ)處方(recipe)。
概況信息DB 30所存儲(chǔ)的處方及基準(zhǔn)概況用于后述的廠方計(jì)算機(jī)16對(duì)設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的監(jiān)視中。
更詳細(xì)地說(shuō)，中央處理部分24根據(jù)圖8所示的處方，按各個(gè)參數(shù)讀取圖7所示的標(biāo)準(zhǔn)概況。企業(yè)方計(jì)算機(jī)23(中央處理部分24)將從設(shè)備15接收的實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)中的各參數(shù)的變化概況與所讀取的標(biāo)準(zhǔn)概況進(jìn)行比較，判斷設(shè)備15的狀態(tài)。
例如，若各參數(shù)的實(shí)際變化概況與標(biāo)準(zhǔn)概況沒(méi)有在5％的誤差范圍內(nèi)，則企業(yè)方計(jì)算機(jī)23判斷設(shè)備15處于異常狀態(tài)。
聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息DB 31存儲(chǔ)有用戶方工人及企業(yè)方工人的聯(lián)絡(luò)目標(biāo)(郵件地址等)。圖9示出了這樣一個(gè)例子。在圖9所示的聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息DB31中，按每個(gè)設(shè)備15鏈接有負(fù)責(zé)該設(shè)備15的維護(hù)管理操作的人員(用戶方及企業(yè)方)的郵件地址。
零件信息DB 32存儲(chǔ)有構(gòu)成設(shè)備15的各個(gè)零件的最佳更換周期。圖10示出了零件信息DB 32的一個(gè)例子。如圖10所示，零件信息DB 32中按設(shè)備15的種類存儲(chǔ)有構(gòu)成零件的最佳更換周期。
最佳更換周期是企業(yè)推薦的可穩(wěn)定使用零件的期間。最佳更換周期是基于在實(shí)際使用中所產(chǎn)生的零件更換數(shù)據(jù)進(jìn)行最優(yōu)化了的值。例如，最佳更換周期是作為維護(hù)數(shù)據(jù)所收集的零件使用周期的平均值或是在該值上加上規(guī)定裕量的值。當(dāng)然，最優(yōu)化方法并不僅限于此。
最優(yōu)化是數(shù)據(jù)量越多，就越能夠得到可靠性高的數(shù)據(jù)。因此，從一個(gè)或多個(gè)用戶收集數(shù)據(jù)，并基于這些數(shù)據(jù)算出的最佳更換周期，例如就比用戶單獨(dú)算出的可靠性更高。
收費(fèi)信息DB 33存儲(chǔ)有針對(duì)維護(hù)管理服務(wù)的收費(fèi)金額的確定處理中所使用的各種數(shù)據(jù)。圖1示出了收費(fèi)信息DB 33所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)的例子。在圖11所示的例子中，按用戶存儲(chǔ)有與所使用設(shè)備15的種類、序號(hào)、使用開(kāi)始日期、預(yù)備期、單位收費(fèi)期、可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)、生產(chǎn)率基準(zhǔn)值及收費(fèi)率有關(guān)的數(shù)據(jù)。
這些信息是通過(guò)用戶與企業(yè)之間的協(xié)定等而決定的既定值，在確定收費(fèi)金額之前已被輸入到企業(yè)方計(jì)算機(jī)23中。
使用開(kāi)始日期表示開(kāi)始設(shè)備15實(shí)際運(yùn)用的日期，或者是開(kāi)始維護(hù)管理服務(wù)的日期。根據(jù)使用開(kāi)始日期來(lái)判斷后述的預(yù)備期及單位收費(fèi)期的日期的到來(lái)。
預(yù)備期是用來(lái)確定后述的生產(chǎn)率基準(zhǔn)值的期間，是開(kāi)始維護(hù)管理服務(wù)之前的預(yù)備期間。預(yù)備期例如是設(shè)備15的使用開(kāi)始日期之后的，或者是正式開(kāi)始維護(hù)管理服務(wù)之前的規(guī)定期間，例如是3個(gè)月。
在預(yù)備期中，設(shè)備15的維護(hù)管理基本上由用戶自己來(lái)進(jìn)行，在發(fā)生故障時(shí)，企業(yè)才響應(yīng)用戶的聯(lián)絡(luò)進(jìn)行作業(yè)。企業(yè)通過(guò)通信線路14獲得設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)信息，并存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)，但是，在得到來(lái)自用戶的通知之后才采取措施。這樣，預(yù)備期的維護(hù)管理主要由用戶進(jìn)行，使得企業(yè)的貢獻(xiàn)達(dá)到最低限。
單位收費(fèi)期表示企業(yè)收取費(fèi)用的期間，即針對(duì)維護(hù)服務(wù)產(chǎn)生費(fèi)用的期間，例如，將其設(shè)定為1年。單位收費(fèi)期從預(yù)備期結(jié)束后、或者從前一個(gè)單位收費(fèi)期結(jié)束后開(kāi)始，到該單位收費(fèi)期結(jié)束后產(chǎn)生收費(fèi)。
可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)是在用戶的工廠12中，在當(dāng)前單位收費(fèi)期內(nèi)設(shè)備15應(yīng)該可運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間。可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)例如是由配置設(shè)備15的用戶的工廠12的開(kāi)工預(yù)定所預(yù)先確定的值，在圖中所示的例子中為8400小時(shí)(350天)。
收費(fèi)金額是通過(guò)量化單位收費(fèi)期內(nèi)的生產(chǎn)率而獲得的可利用率(Availability)來(lái)確定的?？衫寐?Availability)是在單位收費(fèi)期內(nèi)可用時(shí)間(Uptime)相對(duì)于可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)的比例，可通過(guò)(可用時(shí)間(Uptime))/(可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time))×100(％)來(lái)算出?？捎脮r(shí)間(Uptime)存儲(chǔ)在設(shè)備信息DB 29中。
此處，在本說(shuō)明書(shū)中，可利用率(Availability)與所說(shuō)的利用率(utilization)不同。利用率表示生產(chǎn)時(shí)間(Productive Time)在可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)中的比例。另一方面，用于算出可利用率(Availability)的上式中的可用時(shí)間(Uptime)還包括對(duì)生產(chǎn)沒(méi)有貢獻(xiàn)的待機(jī)時(shí)間(Standby Time)等。因此，可利用率(Availability)表示可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)中設(shè)備“能夠運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間”的比例。
生產(chǎn)率基準(zhǔn)值被用作計(jì)算收費(fèi)金額的計(jì)算基準(zhǔn)。生產(chǎn)率基準(zhǔn)值是通過(guò)將上述的預(yù)備期中的設(shè)備15的生產(chǎn)率量化來(lái)確定的。生產(chǎn)率基準(zhǔn)值使用與收費(fèi)對(duì)象期中相同的量化方法來(lái)確定，并確定為可利用率(Availability)?？衫寐?Availability)從預(yù)備期中的可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間Operations Time)和可用時(shí)間(Uptime)，并利用與上述的單位收費(fèi)期中的相同的方法來(lái)算出。
收費(fèi)金額是將在單位收費(fèi)期中量化的生產(chǎn)率(可利用率(Availability))與生產(chǎn)率基準(zhǔn)值進(jìn)行比較而確定的。如上所述，在預(yù)備期中，維護(hù)管理主要由用戶進(jìn)行，從而使得企業(yè)的貢獻(xiàn)達(dá)到最低限。另一方面，在收費(fèi)對(duì)象期，則由用戶與企業(yè)協(xié)作進(jìn)行。
通過(guò)將預(yù)備期內(nèi)的生產(chǎn)率(基準(zhǔn)值)與收費(fèi)對(duì)象期內(nèi)的生產(chǎn)率(實(shí)測(cè))進(jìn)行比較，可對(duì)收費(fèi)對(duì)象期的維護(hù)管理中的與企業(yè)的貢獻(xiàn)量相對(duì)應(yīng)的生產(chǎn)率的變化進(jìn)行量化。在本例中，企業(yè)只在提高了生產(chǎn)率的時(shí)候收費(fèi)，并只收與提高量成比例的金額。
收費(fèi)率是用于將收費(fèi)對(duì)象期的實(shí)測(cè)生產(chǎn)率與生產(chǎn)率基準(zhǔn)的差值(提高量)換算為收費(fèi)金額的比率。例如，當(dāng)收費(fèi)對(duì)象期的可利用率(Availability)是56％，而基準(zhǔn)值是51％的時(shí)候，表示量化了的生產(chǎn)率提高量的所述差值是5％。例如，當(dāng)收費(fèi)率是30,000日元/％時(shí)，針對(duì)該設(shè)備15的收費(fèi)金額通過(guò)它們的乘積被確定為150,000日元。
收費(fèi)率由企業(yè)與用戶來(lái)協(xié)定。收費(fèi)率根據(jù)設(shè)備種類、使用年數(shù)、簽約年數(shù)來(lái)確定。此外，在圖示例子中，收費(fèi)率是對(duì)應(yīng)每種設(shè)備的種類設(shè)定的。
下面，參照

上述收費(fèi)系統(tǒng)11的動(dòng)作。圖12～圖15示出了企業(yè)方計(jì)算機(jī)23(特別是中央處理部分24)的動(dòng)作流程。這里，圖12～圖15所示的流程僅是一個(gè)例子，只要能獲得同樣的效果，可以是任一種流程。
首先，用戶的工廠12接收設(shè)備15，并進(jìn)行啟動(dòng)作業(yè)。在設(shè)備15顯示出規(guī)定功能時(shí)，進(jìn)行驗(yàn)收(步驟S11)。驗(yàn)收后，開(kāi)始設(shè)備15的實(shí)際運(yùn)用。該日期被作為使用開(kāi)始日期存儲(chǔ)在收費(fèi)信息DB 33中。
另一方面，用戶與提供設(shè)備15的維護(hù)管理服務(wù)的企業(yè)訂立合同，并在設(shè)備15的運(yùn)用開(kāi)始的同時(shí)，開(kāi)始維護(hù)管理服務(wù)。此時(shí)，用戶與企業(yè)規(guī)定了收費(fèi)金額確定方法。即規(guī)定了基準(zhǔn)值的設(shè)定方法及用于設(shè)定的預(yù)備期、單位收費(fèi)對(duì)象期、收費(fèi)率等被確定。這些信息被輸入到企業(yè)方計(jì)算機(jī)23中，并存儲(chǔ)在收費(fèi)信息DB 33中。
企業(yè)從設(shè)備15的運(yùn)用開(kāi)始，進(jìn)行規(guī)定期間的維護(hù)管理作業(yè)，例如規(guī)定為3個(gè)月的預(yù)備期(步驟S12)。在所述預(yù)備期期間，維護(hù)管理基本上由用戶自己進(jìn)行，在發(fā)生故障時(shí)，企業(yè)才響應(yīng)來(lái)自用戶的聯(lián)絡(luò)來(lái)進(jìn)行作業(yè)。企業(yè)通過(guò)通信線路14獲得設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)信息，并存儲(chǔ)各種數(shù)據(jù)，但是，在得到來(lái)自用戶的通知之后才采取措施。這樣，在預(yù)備期中，以將設(shè)備15的生產(chǎn)率維持在規(guī)定程度為目標(biāo)來(lái)進(jìn)行維護(hù)管理。
預(yù)備期結(jié)束后(步驟S13；是)，企業(yè)算出所述預(yù)備期內(nèi)的可利用率(Availability)(步驟S14)。如上所述，可利用率(Availability)是將預(yù)備期內(nèi)設(shè)備的可用時(shí)間(Uptime)利用可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)除得的比例(％)。已算出的基準(zhǔn)值作為生產(chǎn)率基準(zhǔn)值被存儲(chǔ)在收費(fèi)信息DB 33中。
預(yù)備期結(jié)束后，企業(yè)開(kāi)始對(duì)設(shè)備15進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)視等，開(kāi)始如下述的“通常的”維護(hù)管理作業(yè)(步驟S15)。圖13示出了監(jiān)視動(dòng)作流程的一個(gè)例子。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23實(shí)時(shí)接收設(shè)備15的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)(步驟S21)。企業(yè)方計(jì)算機(jī)23將接收到的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在設(shè)備信息DB 29中(步驟S22)。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23在從設(shè)備信息DB 29接收到的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)中讀取規(guī)定的參數(shù)，例如基于溫度的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)(變化概況)(步驟S23)。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23參照概況信息DB 30中所存儲(chǔ)的與溫度有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)概況，與運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)的概況進(jìn)行比較(步驟S24)。企業(yè)方計(jì)算機(jī)23判斷實(shí)測(cè)概況與標(biāo)準(zhǔn)概況的差是否在規(guī)定的誤差范圍內(nèi)(例如，5％)(步驟S25)。
上述處理并不僅限于溫度參數(shù)，也同時(shí)進(jìn)行關(guān)于從設(shè)備15獲得的壓力等其他參數(shù)的處理。
當(dāng)判定為實(shí)測(cè)概況與標(biāo)準(zhǔn)概況的差在規(guī)定的誤差范圍內(nèi)時(shí)(步驟S25；是)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23接收運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)，并繼續(xù)對(duì)設(shè)備15進(jìn)行監(jiān)視。
另外，當(dāng)判斷為兩者的差不在上述范圍內(nèi)時(shí)(步驟S25；否)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23判斷設(shè)備15有故障發(fā)生。此時(shí)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23通過(guò)廠方計(jì)算機(jī)16的輸入輸出裝置向用戶方通知發(fā)生了故障及所述故障狀況(步驟S26)。同時(shí)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23從聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息DB 31中讀入制造商方(用戶)的維修負(fù)責(zé)人的郵件地址等聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息，向聯(lián)絡(luò)目標(biāo)發(fā)送郵件，通知發(fā)生了故障。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23在運(yùn)轉(zhuǎn)狀況中檢測(cè)出異常時(shí)，參照聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息DB31，向用戶(工廠21)方及企業(yè)方通知發(fā)生了故障及其內(nèi)容。用戶方的工人根據(jù)通知來(lái)確認(rèn)設(shè)備15的狀況，并進(jìn)行必要的處理。此外，企業(yè)方的負(fù)責(zé)業(yè)務(wù)人員根據(jù)通知，如果有必要?jiǎng)t攜帶更換零件前往使用發(fā)生故障的設(shè)備15的工廠12，進(jìn)行修復(fù)作業(yè)。
此外，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23通過(guò)企業(yè)方計(jì)算機(jī)23的輸入輸出裝置將發(fā)生了故障及其狀況也通知給企業(yè)方的操作員等。同時(shí)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23從聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息DB 31讀入企業(yè)方維修負(fù)責(zé)人的郵件地址等聯(lián)絡(luò)目標(biāo)信息，向聯(lián)絡(luò)目標(biāo)發(fā)送郵件，通知發(fā)生了故障。
用戶方及企業(yè)方的工人基于來(lái)自企業(yè)方計(jì)算機(jī)23的通知來(lái)進(jìn)行應(yīng)對(duì)處理。這里，向用戶方及企業(yè)方維修負(fù)責(zé)人發(fā)出通知的手段并不僅限于郵件，也可以是移動(dòng)電話、傳呼機(jī)、掌上電腦等。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23在通知發(fā)生了故障的同時(shí)，還向相關(guān)人員發(fā)送采取對(duì)策所需的信息(步驟S27)。用戶方及企業(yè)方的工人根據(jù)接收的對(duì)策信息進(jìn)行修復(fù)處理。
此時(shí)，計(jì)時(shí)器126在為了進(jìn)行修復(fù)處理而使設(shè)備15成關(guān)閉狀態(tài)的時(shí)刻停止計(jì)時(shí)。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23，例如在判斷出與腔室110內(nèi)的壓力有關(guān)的數(shù)據(jù)的概況為異常時(shí)，將所述內(nèi)容通知給用戶方工人，并指示進(jìn)行溫度修正。
如果工人進(jìn)行了作業(yè)也沒(méi)有改善異常，則企業(yè)方計(jì)算機(jī)23根據(jù)工人的報(bào)告確定原因，并通知給工人。例如，當(dāng)壓力無(wú)論如何也達(dá)不到規(guī)定值時(shí)，指示對(duì)APC 112及真空泵113進(jìn)行檢修、更換。
此外，當(dāng)故障是軟件的問(wèn)題時(shí)，用戶方計(jì)算機(jī)23，例如將規(guī)定軟件發(fā)送給廠方計(jì)算機(jī)16，然后由廠方計(jì)算機(jī)16自動(dòng)進(jìn)行修復(fù)處理。
修復(fù)處理結(jié)束后，一旦開(kāi)啟設(shè)備15，計(jì)時(shí)器126就開(kāi)始計(jì)時(shí)。這樣，計(jì)時(shí)器126對(duì)已除去設(shè)備15突發(fā)的(計(jì)劃外)停機(jī)時(shí)間(UnscheduledDowntime)的可用時(shí)間(Uptime)進(jìn)行計(jì)時(shí)。
如上所述，通過(guò)由用戶與企業(yè)協(xié)作進(jìn)行維護(hù)管理，可消除重復(fù)作業(yè)，并縮短用戶方工人的等待時(shí)間，從而可以在實(shí)質(zhì)上縮短發(fā)生故障時(shí)設(shè)備15的(計(jì)劃外)停機(jī)時(shí)間(Unscheduled Downtime)。因此，可以提高設(shè)備15的可利用率(Availability)(生產(chǎn)率)。
如上所述，在接收運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)，并對(duì)設(shè)備15進(jìn)行監(jiān)視的同時(shí)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23接收維護(hù)數(shù)據(jù)，并如下述地算出零件的最佳更換周期，存儲(chǔ)在零件信息DB 32中。
以下，參照?qǐng)D14所示的流程，對(duì)企業(yè)方計(jì)算機(jī)23處理維護(hù)數(shù)據(jù)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
包含在維護(hù)數(shù)據(jù)中的與設(shè)備15的零件更換有關(guān)的數(shù)據(jù)是在設(shè)備15的定期檢修時(shí)進(jìn)行更換，或者由于零件的原因發(fā)生故障從而進(jìn)行修理更換時(shí)產(chǎn)生的。也就是說(shuō)，通過(guò)由進(jìn)行零件更換的工人從設(shè)備15的輸入輸出裝置輸入已更換零件的種類、日期、使用期間等維護(hù)數(shù)據(jù)來(lái)產(chǎn)生數(shù)據(jù)。已產(chǎn)生的數(shù)據(jù)由廠方計(jì)算機(jī)16即時(shí)或定期發(fā)送出去，并由企業(yè)方計(jì)算機(jī)23接收所述數(shù)據(jù)(步驟S31)。
此處，設(shè)備15為了在突發(fā)故障時(shí)進(jìn)行零件更換以及進(jìn)行定期更換而停止時(shí)，計(jì)時(shí)器126停止計(jì)時(shí)。因此，計(jì)時(shí)器126對(duì)除去了計(jì)劃停機(jī)時(shí)間(Scheduled Downtime)和計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間(Unscheduled Downtime)的設(shè)備15的可用時(shí)間(Uptime)進(jìn)行計(jì)時(shí)。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23的中央處理部分127將接收的維護(hù)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在設(shè)備信息DB 29中(步驟S32)。接著，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23參照從設(shè)備信息DB29的維護(hù)數(shù)據(jù)中的已更換零件的種類，算出該零件的最佳更換周期(步驟S33)。
最佳更換周期，例如是收集的零件使用期間的平均值，或者是在該平均值上加上規(guī)定裕量或權(quán)重的值。也就是說(shuō)，對(duì)于所更換的零件算出平均使用時(shí)間，并添加規(guī)定裕量來(lái)推導(dǎo)出最佳更換周期。所述處理在每一次產(chǎn)生新的維護(hù)數(shù)據(jù)(零件更換數(shù)據(jù))產(chǎn)生時(shí)進(jìn)行，并將所推導(dǎo)出的最佳更換周期更新存儲(chǔ)到零件信息DB 32中。
這樣，關(guān)于多臺(tái)設(shè)備15，在每一次進(jìn)行零件更換，從而獲得新的維護(hù)數(shù)據(jù)時(shí)，零件信息DB 32所存儲(chǔ)的零件的更換周期都被最優(yōu)化。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23從一臺(tái)或多臺(tái)用戶所擁有的設(shè)備15收集維護(hù)數(shù)據(jù)。因此，零件的更換周期是基于豐富的數(shù)據(jù)而算出的，因此可靠性高。
如上獲得的各種零件的最佳更換周期定期，例如每隔1～2周發(fā)送給所有用戶(步驟S35)。用戶參照接收的更換周期信息，可以制定新的計(jì)劃，從而能夠使設(shè)備15及工廠12等更有效地運(yùn)轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，可以實(shí)現(xiàn)定期檢修周期的最優(yōu)化，從而可實(shí)現(xiàn)設(shè)備15的可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(OperationsTime)的增加或計(jì)劃停機(jī)時(shí)間(Scheduled Downtime)的減小等設(shè)備15的生產(chǎn)率的提高。
返回到圖12，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23如上述進(jìn)行監(jiān)視動(dòng)作等。作為這樣的維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23在每個(gè)單位收費(fèi)對(duì)象期，確定與該期間內(nèi)的生產(chǎn)率的提高相對(duì)應(yīng)的收費(fèi)金額，并向用戶收取。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23根據(jù)收費(fèi)信息DB 33所存儲(chǔ)的設(shè)備15的使用開(kāi)始日期、單位收費(fèi)期及/或預(yù)備期來(lái)判斷收費(fèi)發(fā)生日期是否已到來(lái)(步驟S1 6)。當(dāng)預(yù)備期是3個(gè)月，單位收費(fèi)期是1年時(shí)，收費(fèi)發(fā)生月期是從使用開(kāi)始日期的1年3個(gè)月后。此外，也可以將在使用開(kāi)始日期上加上預(yù)備期而得到的日期作為服務(wù)開(kāi)始日期預(yù)先存儲(chǔ)在收費(fèi)信息DB 33中，從而從服務(wù)開(kāi)始日期在每一個(gè)單位期間判斷收費(fèi)的產(chǎn)生。
此外，在圖12所示的流程中，雖然分別進(jìn)行監(jiān)視處理與收費(fèi)金額確定處理，而實(shí)際上監(jiān)視處理與收費(fèi)金額處理是并列進(jìn)行的。
當(dāng)收費(fèi)發(fā)生日期到來(lái)時(shí)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23確定剛經(jīng)過(guò)的前一個(gè)單位收費(fèi)期的收費(fèi)金額(步驟S17)。圖15示出了收費(fèi)金額確定動(dòng)作的流程的一個(gè)例子。
首先，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23從設(shè)備信息DB 29讀入收費(fèi)期中的設(shè)備15的可用時(shí)間(Uptime)，同時(shí)從概況信息DB 30讀入設(shè)備15的可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)(步驟S41)。設(shè)備信息DB 29的可用時(shí)間(Uptime)與概況信息DB 30的可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)在確定了收費(fèi)金額后分別被復(fù)位。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23根據(jù)讀取的可用時(shí)間(Uptime)與可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)算出可利用率(Availability)(步驟S42)。具體地說(shuō)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23使用可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)除可用時(shí)間(Uptime)。然后向所得的值乘以100來(lái)導(dǎo)出可利用率(Availability)(％)。
接著，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23參照收費(fèi)信息DB 33的生產(chǎn)率基準(zhǔn)值(可利用率(Availability))，與算出的可利用率(Availability)進(jìn)行比較(步驟S43)。也就是說(shuō)，獲得算出值與基準(zhǔn)值的差值。所得差值是將收費(fèi)對(duì)象期中設(shè)備15的生產(chǎn)率提高量化了的數(shù)值，所以，針對(duì)所述差值進(jìn)行收費(fèi)。
接下來(lái)，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23參照收費(fèi)信息DB 33的收費(fèi)率，向量化的生產(chǎn)率提高量乘以收費(fèi)率來(lái)進(jìn)行換算(步驟S44)。由此確定了對(duì)于在對(duì)象期間內(nèi)對(duì)設(shè)備15的維護(hù)服務(wù)的、與生產(chǎn)率的提高相對(duì)應(yīng)的收費(fèi)金額(步驟S45)。
此外，在生產(chǎn)率不見(jiàn)提高時(shí)，不產(chǎn)生收費(fèi)。即，例如在差值為負(fù)值時(shí)就不產(chǎn)生收費(fèi)。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23根據(jù)設(shè)備信息DB 29的使用開(kāi)始日期，關(guān)于從開(kāi)始使用已經(jīng)過(guò)規(guī)定的收費(fèi)對(duì)象期的設(shè)備15，進(jìn)行與上述相同的處理。
企業(yè)方計(jì)算機(jī)23將如上述獲得的結(jié)果作為收取金額通知給用戶(圖12，步驟S18)。所述通知是在每一次產(chǎn)生結(jié)果時(shí)，或者在每個(gè)期末通知給用戶。通知方法為，通過(guò)郵件、傳真等手段例如以圖16所示的表格通知給用戶。
收到如圖所示的賬單的用戶可以清楚地知道通過(guò)維護(hù)管理服務(wù)，設(shè)備15的生產(chǎn)率提高了，并且針對(duì)其提高量進(jìn)行了收費(fèi)。由于與生產(chǎn)率的提高對(duì)應(yīng)地產(chǎn)生收費(fèi)，所以，可以避免由于對(duì)服務(wù)支付費(fèi)用而導(dǎo)致的成本無(wú)用的增加，由此，用戶能夠接受所請(qǐng)求的報(bào)酬。
如以上說(shuō)明，在本實(shí)施例中，從維護(hù)管理服務(wù)中有選擇地對(duì)設(shè)備15的生產(chǎn)率提高的部分進(jìn)行收費(fèi)。此外，收費(fèi)金額是與生產(chǎn)率提高度相對(duì)應(yīng)的金額。這樣，與一般的針對(duì)維護(hù)管理服務(wù)進(jìn)行的收費(fèi)方法不同，由于可以針對(duì)生產(chǎn)率的提高量來(lái)進(jìn)行收費(fèi)，因此，對(duì)于用戶與企業(yè)雙方而言，是滿意度較高的收費(fèi)方法。
即，對(duì)于用戶而言，由于根據(jù)生產(chǎn)率的提高量來(lái)支付維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用，因此，抑制了由于維護(hù)費(fèi)用的增加而導(dǎo)致的生產(chǎn)成本的上升。
對(duì)于企業(yè)而言，也能夠以用戶可以接受的方式，且在不降低顧客滿意度的情況下征收用于進(jìn)行如上述優(yōu)質(zhì)的維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用。
本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施例，可以進(jìn)行各種變形、應(yīng)用。下面說(shuō)明可適用于本發(fā)明的上述實(shí)施例的變形方式。
在上述實(shí)施例中，使收費(fèi)信息DB 33所存儲(chǔ)的生產(chǎn)率基準(zhǔn)值、單位收費(fèi)期、生產(chǎn)率基準(zhǔn)值、收費(fèi)率等為恒定的。但是，這些數(shù)據(jù)當(dāng)然可以根據(jù)用戶與企業(yè)的協(xié)定等而隨時(shí)改變。例如，也可以隨著設(shè)備15的使用年數(shù)的增長(zhǎng)，使生產(chǎn)率基準(zhǔn)值、收費(fèi)率等遞減。
在上述實(shí)施例中，生產(chǎn)率基準(zhǔn)值是，設(shè)置預(yù)備期并量化該期間的生產(chǎn)率而確定的值。但是，基準(zhǔn)值的設(shè)定方法不限于此。例如，也可以采用由用戶與企業(yè)預(yù)先規(guī)定的值。
在上述實(shí)施例中，生產(chǎn)率是根據(jù)可利用率(Availability)而量化的值。但是量化方法可以采用可利用率(Availability)、可用時(shí)間(Uptime)、單位期間內(nèi)的處理量等，或是它們的組合。
在上述實(shí)施例中，計(jì)時(shí)器126被設(shè)置在設(shè)備15中。但是，計(jì)時(shí)器126也可以設(shè)置在廠方計(jì)算機(jī)16上，或者由廠方計(jì)算機(jī)16中所安裝的軟件來(lái)構(gòu)成。
在上述實(shí)施例中，可用時(shí)間(Uptime)是對(duì)設(shè)備15處于開(kāi)啟狀態(tài)的時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)而得到的。但是，可用時(shí)間(Uptime)的設(shè)定方法，不限于此，例如也可以除去設(shè)備15的處理動(dòng)作實(shí)際已結(jié)束的時(shí)間來(lái)進(jìn)行計(jì)時(shí)。此外，也可以不是對(duì)設(shè)備15處于開(kāi)啟狀態(tài)的時(shí)間，而是對(duì)處于關(guān)閉狀態(tài)的時(shí)間進(jìn)行計(jì)時(shí)，然后將其從可運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間(Operations Time)中減去，從而算出可用時(shí)間(Uptime)。
此外，在上述例子中，即使在不進(jìn)行生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)間，設(shè)備15也通常處于開(kāi)啟狀態(tài)，并每隔規(guī)定的時(shí)間進(jìn)行測(cè)試動(dòng)作。但是，并不局限于此，也可以使設(shè)備15在不進(jìn)行生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)基本上關(guān)閉，并在每一規(guī)定時(shí)間開(kāi)啟，以進(jìn)行測(cè)試動(dòng)作。此時(shí)，即使在從之前的生產(chǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)，計(jì)時(shí)器126也作為開(kāi)啟狀態(tài)繼續(xù)進(jìn)行計(jì)時(shí)，并且，例如在測(cè)試動(dòng)作中檢測(cè)出異常的時(shí)刻停止計(jì)時(shí)。
在上述實(shí)施例中，與零件更換有關(guān)的維護(hù)數(shù)據(jù)是從設(shè)置于設(shè)備15中的輸入輸出裝置進(jìn)行輸入的。但是，并不局限于此，也可以從廠方計(jì)算機(jī)16輸入維護(hù)數(shù)據(jù)，并將所述數(shù)據(jù)發(fā)送給企業(yè)方計(jì)算機(jī)23。此外，從設(shè)備15所發(fā)送的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)及維護(hù)數(shù)據(jù)經(jīng)由廠內(nèi)配線網(wǎng)17被發(fā)送給企業(yè)方計(jì)算機(jī)23。但是，也可以將設(shè)備15直接連接在因特網(wǎng)等通信線路14上，并向企業(yè)方計(jì)算機(jī)23直接發(fā)送上述數(shù)據(jù)。
在上述實(shí)施例中，企業(yè)方計(jì)算機(jī)23將零件的最佳更換周期從已收集的維護(hù)數(shù)據(jù)中導(dǎo)出數(shù)據(jù)庫(kù)(DB)化，而且定期地發(fā)送給用戶方。發(fā)送所述數(shù)據(jù)也可以通過(guò)使企業(yè)方計(jì)算機(jī)23及廠方計(jì)算機(jī)16具有各自的瀏覽器，使得所述數(shù)據(jù)庫(kù)(DB)化的零件的最佳更換周期可在互聯(lián)網(wǎng)上公開(kāi)、檢索。
此外，在上述例子中，由廠方計(jì)算機(jī)16將各種數(shù)據(jù)發(fā)送給企業(yè)方計(jì)算機(jī)23。但是，也可以從企業(yè)方計(jì)算機(jī)23連接廠方計(jì)算機(jī)16，從而獲得運(yùn)轉(zhuǎn)狀況數(shù)據(jù)和維護(hù)數(shù)據(jù)。
在上述實(shí)施例中，用戶是半導(dǎo)體裝置制造商，用戶所使用的設(shè)備15是半導(dǎo)體裝置、液晶顯示裝置等的制造裝置。但是，并不局限于此，本發(fā)明也可以適用于CCD、太陽(yáng)能電池等其它電子設(shè)備的制造設(shè)備，甚至其他一般的工業(yè)產(chǎn)品的制造設(shè)備。
此外，本發(fā)明以2002年9月11日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)2002-265664號(hào)為基礎(chǔ)，包括其說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)、附圖以及摘要。在上述申請(qǐng)中所公開(kāi)的所有內(nèi)容均作為參照包括在本說(shuō)明書(shū)中。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明可應(yīng)用于使用對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)管理服務(wù)而進(jìn)行的收費(fèi)方法及收費(fèi)系統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域。
根據(jù)本發(fā)明，可提供一種能夠使用戶與銷售商等雙方都滿意的收費(fèi)方法及收費(fèi)系統(tǒng)。
權(quán)利要求
1.一種收費(fèi)方法，用于確定設(shè)備(15)的維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用的金額，其特征在于，包括量化步驟(S42)，該步驟將規(guī)定的服務(wù)期中的所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率量化；比較步驟(S43)，該步驟將在所述量化步驟(S42)中量化的生產(chǎn)率與預(yù)定的生產(chǎn)率基準(zhǔn)進(jìn)行比較，算出它們的差；收費(fèi)金額確定步驟(S45)，該步驟根據(jù)在所述比較步驟(S43)中算出的差來(lái)確定針對(duì)所述服務(wù)期內(nèi)的所述維護(hù)管理服務(wù)的收費(fèi)金額。
2.如權(quán)利要求1所述的收費(fèi)方法，其特征在于，包括生產(chǎn)率基準(zhǔn)確定步驟(S14)，該步驟在規(guī)定的預(yù)備期使所述設(shè)備(15)運(yùn)轉(zhuǎn)，并將所述預(yù)備期中的所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率量化，從而確定所述生產(chǎn)率基準(zhǔn)。
3.如權(quán)利要求1所述的收費(fèi)方法，其特征在于，在所述量化步驟(S42)中，至少基于可利用率、可用時(shí)間以及產(chǎn)量中的任一個(gè)來(lái)量化所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率。
4.如權(quán)利要求1所述的收費(fèi)方法，其特征在于，在所述收費(fèi)金額確定步驟(S45)中，在算出的差上乘以預(yù)定的變換率來(lái)確定收費(fèi)金額。
5.一種收費(fèi)系統(tǒng)，用于確定設(shè)備(15)的維護(hù)管理服務(wù)的費(fèi)用的金額，其特征在于，包括量化裝置，該裝置將規(guī)定的服務(wù)期中的所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率量化；比較裝置，該裝置將量化的生產(chǎn)率與預(yù)定的生產(chǎn)率基準(zhǔn)進(jìn)行比較，算出它們的差；收費(fèi)金額確定裝置，該裝置根據(jù)算出的差來(lái)確定針對(duì)所述服務(wù)期內(nèi)的所述維護(hù)管理服務(wù)的收費(fèi)金額。
6.如權(quán)利要求5所述的收費(fèi)系統(tǒng)，其特征在于，包括生產(chǎn)率基準(zhǔn)確定裝置(S14)，所述裝置在規(guī)定的預(yù)備期使所述設(shè)備(15)運(yùn)轉(zhuǎn)，并將所述預(yù)備期中的所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率量化，從而確定所述生產(chǎn)率基準(zhǔn)。
7.如權(quán)利要求5所述的收費(fèi)系統(tǒng)，其特征在于，所述量化裝置至少根據(jù)可利用率、可用時(shí)間及產(chǎn)量中的任一個(gè)來(lái)量化所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率。
8.如權(quán)利要求5所述的收費(fèi)系統(tǒng)，其特征在于，所述收費(fèi)金額確定裝置在算出的差上乘以預(yù)定的變換率來(lái)確定收費(fèi)金額。
全文摘要
提供設(shè)備(15)的維護(hù)管理服務(wù)的企業(yè)將規(guī)定的服務(wù)期中的所述設(shè)備(15)的生產(chǎn)率量化(S42)。并將量化的生產(chǎn)率與預(yù)定的生產(chǎn)率基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，算出它們的差(S43)。然后根據(jù)算出的差來(lái)確定與服務(wù)期內(nèi)的維護(hù)管理服務(wù)相對(duì)應(yīng)的收費(fèi)金額(S45)。由此，可進(jìn)行使設(shè)備(15)的用戶與維護(hù)管理企業(yè)雙方都滿意的收費(fèi)。
文檔編號(hào)G06Q50/00GK1571976SQ03801338
公開(kāi)日2005年1月26日 申請(qǐng)日期2003年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月11日
發(fā)明者唐澤涉 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社