專利名稱：基板傳送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于液晶顯示(LCD)裝置的基板傳送系統(tǒng)，更具體地說，涉及一種具有自動引導(dǎo)運(yùn)載車(auto guided vehicle)的系統(tǒng)，所述自動引導(dǎo)運(yùn)載車設(shè)有條形碼讀取器且用來傳送其中載有基板的基板柜(cassette)。
背景技術(shù)：
通常，LCD裝置包括用密封劑粘合在一起的TFT陣列基板和濾色片基板，且在二者之間填充有液晶。液晶顯示板通常由玻璃基板形成。目前已能夠生產(chǎn)出大尺寸的液晶顯示板，然而，傳送這些大尺寸的液晶顯示板卻存在一定困難，因此，需要一種用于傳送大尺寸基板的基板傳送系統(tǒng)。
在現(xiàn)有技術(shù)中，基板是由其中載有一個或多個基板的基板柜來傳送的。該基板柜由自動引導(dǎo)運(yùn)載車傳送到相應(yīng)步驟的工作臺上。傳送系統(tǒng)包括一基板柜儲存架(stocker)，用于儲存基板柜；一機(jī)械手(robot arm)，用于將基板柜從基板柜儲存架中取出；一自動引導(dǎo)運(yùn)載車，用于傳送基板柜；一軌道，所述自動引導(dǎo)運(yùn)載車在其上移動；多個工作臺；以及一例如主機(jī)的主計算機(jī)，用于控制自動引導(dǎo)系統(tǒng)。
下面將參照圖1來解釋按照現(xiàn)有技術(shù)的基板柜傳送系統(tǒng)。
首先，基板經(jīng)過各種工序，并將經(jīng)過相同工序的基板裝載到相同的基板柜中且儲存在基板柜儲存架內(nèi)。即，例如，將經(jīng)過了制造作為開關(guān)裝置的薄膜晶體管工藝中形成柵極線工序的基板裝載到要在后續(xù)工序中被保存或儲存的相同基板柜中。
為了用裝載于基板柜儲存架中的基板執(zhí)行預(yù)定的工序，將基板柜從基板柜儲存架裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車上。通過由主機(jī)向基板柜儲存架發(fā)出一命令來執(zhí)行該工序。因此，基板柜儲存架設(shè)置有一個用來接收主機(jī)數(shù)據(jù)的接收器。將載于自動引導(dǎo)運(yùn)載車上的基板柜傳送到將要執(zhí)行相應(yīng)工序的工序工作臺上。沿著預(yù)定的路徑移動自動引導(dǎo)運(yùn)載車，從而使自動引導(dǎo)運(yùn)載車到達(dá)相應(yīng)的工作臺上。相應(yīng)的工作臺可以是LCD裝置的制造設(shè)備，該設(shè)備包括一個執(zhí)行例如基板柜清潔、濺射、形成光阻層等各種工序的腔室。
每個工作臺都包括一用于將所傳送的基板柜保存到使用的擱板(shelf)。自動引導(dǎo)運(yùn)載車到達(dá)相應(yīng)的工作臺上，并用自動引導(dǎo)運(yùn)載車的機(jī)械手將載有基板的基板柜卸載到相應(yīng)工作臺的擱板上。而且，在擱板任意一點(diǎn)(即工作臺的一側(cè))處形成的條形碼讀取器讀取附在基板柜一側(cè)的條形碼來識別基板柜，然后將數(shù)據(jù)傳送給主機(jī)。因此，由主機(jī)確定相應(yīng)自動引導(dǎo)運(yùn)載車基板柜的上序。
如果條形碼讀取器將讀取的信息傳送給主機(jī)，則由主機(jī)確定對相應(yīng)的基板柜將要執(zhí)行的工序并命令進(jìn)行或停止相應(yīng)工作臺上的工序。將在相應(yīng)工作臺上經(jīng)過一特定工序的基板再次裝載到基板柜中。然后，主機(jī)命令閑置的自動引導(dǎo)運(yùn)載車來裝載基板柜并為儲存而傳送到基板柜儲存架上，在所述基板柜中裝載有已執(zhí)行過工序的基板。
然而，在基板傳送系統(tǒng)中，必須在每個工作臺上都分別設(shè)置條形碼讀取器，由此提高了成本。也就是說，條形碼讀取器是引起成本增加的昂貴裝置。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種基板傳送系統(tǒng)，該設(shè)備和方法基本上避免了因現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點(diǎn)帶來的一個或者多個問題。
本發(fā)明的目的在于提供一種具有條形碼讀取器的基板傳送系統(tǒng)，所述條形碼讀取器讀取自動引導(dǎo)運(yùn)載車或基板柜儲存架上基板柜的條形碼，該系統(tǒng)具有成本低和操作穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。
以下要說明本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點(diǎn)，有些內(nèi)容可以從說明書中看出，或者是通過對本發(fā)明的實施來學(xué)習(xí)。采用說明書及其權(quán)利要求書和附圖中具體描述的結(jié)構(gòu)就能實現(xiàn)并達(dá)到本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)。
為了實現(xiàn)這些和其他目的，根據(jù)本發(fā)明的目的，如這里具體和概括描述的那樣，一種用于制造液晶顯示(LCD)裝置的基板傳送系統(tǒng)包括具有條形碼的一基板柜；用來儲存基板柜的一基板柜儲存架；具有條形碼讀取器的一自動引導(dǎo)運(yùn)載車，所述自動引導(dǎo)運(yùn)載車能傳送基板；用來確定自動引導(dǎo)運(yùn)載車移動路徑的一移動路徑單元；多個工序工作臺，制造LCD裝置過程中在所述工序工作臺上對基板執(zhí)行工序；以及用來控制基板柜儲存架、自動引導(dǎo)運(yùn)載車和工序工作臺的一主機(jī)。
按照本發(fā)明另一方面，一種用于制造液晶顯示(LCD)裝置的基板傳送系統(tǒng)包括具有條形碼的一基板柜；用來儲存基板柜的一基板柜儲存架，所述基板柜儲存架具有一條形碼讀取器；能夠傳送基板柜的一自動引導(dǎo)運(yùn)載車；沿自動引導(dǎo)運(yùn)載車的移動路徑設(shè)置的一軌道；多個工序工作臺，制造LCD裝置過程中在所述工序工作臺上對基板執(zhí)行工序；以及用來控制基板柜儲存架、自動引導(dǎo)運(yùn)載車和工序工作臺的一主機(jī)。
按照本發(fā)明另一方面，一種制造液晶顯示(LCD)裝置過程中傳送基板的方法包括如下步驟將具有條形碼的基板柜從基板柜儲存架卸載到具有條形碼讀取器的自動引導(dǎo)運(yùn)載車上；用條形碼讀取器讀取附在基板柜上的條形碼；分析來自條形碼讀取器的信息；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到要執(zhí)行工序的工作臺上；在該工作臺上裝載基板柜；檢測其上已經(jīng)完成工序的基板柜并將信息傳送給主機(jī)；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到設(shè)置有已執(zhí)行過工序的基板柜的工作臺上，并將已執(zhí)行過工序的基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中；以及將基板柜傳送給基板柜儲存架。
按照本發(fā)明另一方面，一種制造液晶顯示(LCD)裝置過程中傳送基板的方法包括如下步驟用設(shè)置在基板柜儲存架中的條形碼讀取器讀取附在基板柜上的條形碼；將基板柜從具有條形碼讀取器的基板柜儲存架裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到要執(zhí)行工序的工作臺上；在該工作臺上卸載基板柜；檢測其上已經(jīng)完成工序的基板柜并將信息傳送給主機(jī)；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到設(shè)置有已執(zhí)行過工序的基板柜的工作臺上，并將該基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中；以及將基板柜傳送給基板柜儲存架。
應(yīng)理解的是，前面總的描述和以下的詳細(xì)描述是示例性和解釋性的，意欲用它們對所要求保護(hù)的本發(fā)明作進(jìn)一步的解釋。


所包括用來對本發(fā)明作進(jìn)一步理解并且包括在內(nèi)構(gòu)成本發(fā)明說明書一部分的附圖，示出了本發(fā)明的各個實施例，并且連同說明書文字部分一起用來解釋本發(fā)明的原理。在附圖中圖1是表示按照現(xiàn)有技術(shù)的基板傳送系統(tǒng)的示意圖；
圖2是表示按照本發(fā)明的基板傳送系統(tǒng)的框圖；以及圖3是表示按照本發(fā)明另一實施例的基板傳送系統(tǒng)的框圖。
具體實施例方式
以下要具體描述本發(fā)明的最佳實施例，在附圖中表示了這些例子。
本發(fā)明旨在使用多個基板柜，按照各個工序劃分的多個基板裝載并儲存到一個基板柜儲存架中。在基板柜儲存架中還可以設(shè)置一機(jī)械手和一接收器，所述機(jī)械手用來將基板柜裝載到基板柜儲存架中，或者從基板柜儲存架卸載基板柜，而所述接收器用來接收來自主機(jī)的數(shù)據(jù)。
自動引導(dǎo)運(yùn)載車包括自動引導(dǎo)運(yùn)載車上部形成的一個基板柜裝載單元，在其上可放置一個基板柜；設(shè)置在自動引導(dǎo)運(yùn)載車的下部并用來移動自動引導(dǎo)運(yùn)載車的一腳輪(caster)；用來驅(qū)動腳輪的一腳輪驅(qū)動單元；用來通過有線/無線通信將數(shù)據(jù)傳送到主機(jī)或從主機(jī)接收數(shù)據(jù)的一數(shù)據(jù)傳送/接收單元；用來讀取附在基板柜上的條形碼的一條形碼讀取器；以及用來將基板柜裝載到相應(yīng)工作臺的擱板上或者從相應(yīng)工作臺的擱板上卸載基板柜的一機(jī)械手。例如，在確定自動引導(dǎo)運(yùn)載車移動路徑的軌道的預(yù)定位置處設(shè)置一位置檢測傳感器，所述位置檢測傳感器用來檢測自動引導(dǎo)運(yùn)載車的位置并將信息傳送給主機(jī)，所述位置檢測傳感器通常安裝在各自工作臺的前面，從而在工作臺的前面停止自動引導(dǎo)運(yùn)載車。在工作臺上安裝一擱板和一基板柜檢測傳感器，所述擱板用來從自動引導(dǎo)運(yùn)載車裝載/卸載基板柜，所述基板柜檢測傳感器用來檢測已執(zhí)行過工序的基板柜。
在傳送基板柜的自動引導(dǎo)運(yùn)載車中安裝用來讀取附在基板柜預(yù)定位置上的條形碼讀取器。條形碼讀取器可以安裝在設(shè)置于自動引導(dǎo)運(yùn)載車一側(cè)的機(jī)械手上。這里，在各個工作臺的擱板上不必安裝條形碼讀取器。
下面將參照圖2解釋按照本發(fā)明的系統(tǒng)操作過程。
首先，將包含經(jīng)過相同工序的基板的基板柜從基板柜儲存架裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中。當(dāng)然，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，在某些情況下，這些基板可以沒有要求經(jīng)過相同的工序。基板柜儲存架通過從主機(jī)接收命令，將載有將要執(zhí)行工序的基板的基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中。由安裝在基板柜儲存架一側(cè)的機(jī)械手執(zhí)行基板柜的裝載。自動引導(dǎo)運(yùn)載車通過移動路徑到達(dá)相應(yīng)的工作臺上，所述移動路徑例如是引導(dǎo)自動引導(dǎo)運(yùn)載車的軌道。
在對應(yīng)于相應(yīng)工作臺的軌道的預(yù)定位置處設(shè)置用來檢測自動引導(dǎo)運(yùn)載車位置的位置檢測傳感器，從而在精確的位置處停止自動引導(dǎo)運(yùn)載車并將自動引導(dǎo)運(yùn)載車的位置信息傳送給主機(jī)。已經(jīng)到達(dá)相應(yīng)工作臺的自動引導(dǎo)運(yùn)載車，用條形碼讀取器讀取已裝載的基板柜的條形碼并將數(shù)據(jù)傳送給主機(jī)，所述條形碼讀取器安裝在位于自動引導(dǎo)運(yùn)載車一側(cè)的機(jī)械手上。主機(jī)分析信息，確定裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中的基板是否完成了預(yù)定的工序，以及將命令傳送給自動引導(dǎo)運(yùn)載車。
如果確定基板在相應(yīng)的工作臺上已經(jīng)完成了預(yù)定的工序，則設(shè)置在自動引導(dǎo)運(yùn)載車一側(cè)的機(jī)械手就將基板柜裝載到相應(yīng)工作臺的擱板上。主機(jī)分析從條形碼(即基板的唯一識別標(biāo)記)接收到的信息，由此確定目前工序的進(jìn)程狀態(tài)和基板上將要執(zhí)行的工序。在相應(yīng)工作臺上執(zhí)行工序的同時自動引導(dǎo)運(yùn)載車可以在相應(yīng)工作臺前等待，或者可以移動到另一個工作臺，以提高工序的效率。
將相應(yīng)工作臺上已執(zhí)行過工序的基板再次裝載到備用的基板柜中，并且相應(yīng)工作臺的基板柜檢測傳感器將在基板柜中完成基板工序的信息傳送給主機(jī)。主機(jī)分析所傳送的數(shù)據(jù)并將閑置的自動引導(dǎo)運(yùn)載車命令到相應(yīng)的工作臺上。安裝在自動引導(dǎo)運(yùn)載車上的機(jī)械手將執(zhí)行過工序的基板裝載到被命令的自動引導(dǎo)運(yùn)載車中。當(dāng)基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車時，條形碼讀取器同時讀取附在基板柜上的條形碼，并將信息傳送給主機(jī)。主機(jī)分析從條形碼讀取器接收到的信息并將基板柜的工序信息存儲起來。
然后，自動引導(dǎo)運(yùn)載車將裝載的基板柜傳送到基板柜儲存架中，從而將其儲存起來。這里，主機(jī)、基板柜儲存架、自動引導(dǎo)運(yùn)載車和各自工作臺之間的聯(lián)絡(luò)是由有線或無線通信完成的，例如局域網(wǎng)LAN。
如上所述，由于條形碼讀取器安裝在自動引導(dǎo)運(yùn)載車的機(jī)械手上，以檢測基板柜，因此，與分別在每個相應(yīng)工作臺的擱板上都設(shè)置一個條形碼讀取器的現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠極大地減少所需的條形碼讀取器的數(shù)量。
在本發(fā)明的另一實施例中，在基板柜儲存架上安裝條形碼讀取器。具體地說，條形碼讀取器在基板柜儲存架的一側(cè)形成，并安裝在機(jī)械手的一側(cè)，所述的機(jī)械手將基板柜裝載到基板自動引導(dǎo)運(yùn)載車中。圖3用來解釋本發(fā)明這一實施例的示例性操作過程。
通過在基板柜儲存架一側(cè)形成的機(jī)械手，將其中具有基板的基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中。通過接收器由主機(jī)向基板柜儲存架發(fā)出裝載命令，所述接收器用來接受來自安裝在基板柜儲存架上的主機(jī)的命令?？梢酝ㄟ^有線或無線通信進(jìn)行命令的傳輸。
條形碼是用來識別基板柜的識別標(biāo)記，將所述條形碼附在已裝載的基板柜上的預(yù)定位置。設(shè)置在基板柜儲存架預(yù)定位置上的條形碼讀取器讀取條形碼，并將信息傳送給主機(jī)。條形碼讀取器可以設(shè)置在將基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中的機(jī)械手上。
主機(jī)分析從設(shè)置在基板柜儲存架上的條形碼讀取器接收到的傳輸信息，并命令自動引導(dǎo)運(yùn)載車將基板柜傳送到要對基板執(zhí)行工序的工作臺上。通過基板柜儲存架的機(jī)械手，將基板工作臺裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中，并將自動引導(dǎo)運(yùn)載車移動到相應(yīng)的工作臺上。
將用來檢測自動引導(dǎo)運(yùn)載車位置的位置檢測傳感器附在相應(yīng)工作臺上軌道的一側(cè)上。用位置檢測傳感器將自動引導(dǎo)運(yùn)載車準(zhǔn)確地定位到相應(yīng)工作臺的前面。然后，自動引導(dǎo)運(yùn)載車在相應(yīng)工作臺的擱板上卸載已裝載的基板柜。通過安裝在自動引導(dǎo)運(yùn)載車上的機(jī)械手將基板柜卸載。
將基板柜傳送到相應(yīng)工作臺的同時，自動引導(dǎo)運(yùn)載車恰好傳送基板柜?；谟筛皆诨骞駜Υ婕苌系臈l形碼讀取器所讀取的信息，由主機(jī)確定是否將裝載到基板柜中的基板傳送到下一個工序。
在相應(yīng)工作臺上對在相應(yīng)工作臺的擱板上卸載的基板執(zhí)行工序。在相應(yīng)工作臺上執(zhí)行工序的同時，自動引導(dǎo)運(yùn)載車能夠在預(yù)定的位置處等待，或者移動到另一個工作臺上，以提高工序的效率。
將相應(yīng)工作臺上已執(zhí)行工序的基板再次裝載到在基板柜中，并在擱板上等待自動引導(dǎo)運(yùn)載車。將用來檢測已執(zhí)行工序的基板柜的傳感器附接到基板柜位于的擱板上，所述基板柜中裝載有已執(zhí)行工序的基板，從而檢測到已執(zhí)行工序的基板柜并將數(shù)據(jù)信息傳輸給主機(jī)。主機(jī)分析數(shù)據(jù)信息，將閑置的自動引導(dǎo)運(yùn)載車發(fā)送到已執(zhí)行工序的基板柜所在的工作臺上，并將基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中，自動引導(dǎo)運(yùn)載車移動并將基板柜儲存到基板柜儲存架。
如上所述，在本發(fā)明中，附在基板柜的條形碼讀取器是設(shè)置在自動引導(dǎo)運(yùn)載車上或基板柜儲存架上，而不是設(shè)置在現(xiàn)有技術(shù)中的每一個相應(yīng)工作臺的各個擱板上。根據(jù)這一點(diǎn)，能夠極大地減少條形碼讀取器的數(shù)目，由此在有效實現(xiàn)基板柜傳送的同時降低了成本。也不必在工作臺上設(shè)置條形碼讀取器，從而提高了面積的效率。
顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員無需脫離本發(fā)明的原理和范圍還能對本發(fā)明的基板傳送系統(tǒng)作出各種各樣的修改和變更。因此，本發(fā)明的意在覆蓋權(quán)利要求書及其等效物范圍內(nèi)的修改和變更。
權(quán)利要求
1.一種用于制造液晶顯示(LCD)裝置的基板傳送系統(tǒng)，包括具有條形碼的一基板柜；用來儲存基板柜的一基板柜儲存架；具有條形碼讀取器的一自動引導(dǎo)運(yùn)載車，所述自動引導(dǎo)運(yùn)載車能傳送基板柜；用來確定自動引導(dǎo)運(yùn)載車移動路徑的一移動路徑單元；多個工序工作臺，制造LCD裝置過程中在所述工序工作臺上對基板執(zhí)行工序；以及用來控制基板柜儲存架、自動引導(dǎo)運(yùn)載車和工序工作臺的一主機(jī)。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，基板柜儲存架和自動引導(dǎo)運(yùn)載車包括裝載和卸載基板柜的一機(jī)械手。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，機(jī)械手具有一條形碼讀取器。
4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，工序工作臺各自包括裝載和卸載基板柜的一擱板和檢測已執(zhí)行過工序的基板柜的一傳感器。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，移動驅(qū)動單元包括檢測自動引導(dǎo)運(yùn)載車位置的一位置檢測傳感器。
6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，移動驅(qū)動單元包括一軌道。
7.一種用按照權(quán)利要求1的基板傳送系統(tǒng)制造液晶顯示(LCD)裝置的方法，包括如下步驟分別在濾色片基板和薄膜晶體管基板上執(zhí)行多個工序，所述濾色片基板和所述薄膜晶體管基板是用所述基板傳送系統(tǒng)來傳送的；和將濾色片基板和薄膜晶體管基板粘接在一起且在兩基板之間設(shè)置有液晶材料。
8.一種用于制造液晶顯示(LCD)裝置的基板傳送系統(tǒng)，包括具有條形碼的一基板柜；用來儲存基板柜的一基板柜儲存架，所述基板柜儲存架具有條形碼讀取器；能夠傳送基板柜的一自動引導(dǎo)運(yùn)載車；沿著自動引導(dǎo)運(yùn)載車的驅(qū)動路徑設(shè)置的一軌道；多個工序工作臺，制造LCD裝置過程中在所述工序工作臺上對基板執(zhí)行工序；以及用來控制基板柜儲存架、自動引導(dǎo)運(yùn)載車和工序工作臺的一主機(jī)。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于，基板柜儲存架包括具有條形碼讀取器的一機(jī)械手。
10.一種用按照權(quán)利要求8的基板傳送系統(tǒng)制造液晶顯示(LCD)裝置的方法，包括如下步驟分別在濾色片基板和薄膜晶體管基板上執(zhí)行多個工序，所述濾色片基板和所述薄膜晶體管基板是用所述基板傳送系統(tǒng)來傳送的；和將濾色片基板和薄膜晶體管基板粘接在一起且在兩基板之間設(shè)置有液晶。
11.一種制造液晶顯示(LCD)裝置過程中傳送基板的方法，包括如下步驟將具有條形碼的基板柜從基板柜儲存架卸載到具有條形碼讀取器的自動引導(dǎo)運(yùn)載車上；用條形碼讀取器讀取附在基板柜上的條形碼；分析來自條形碼讀取器的信息；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到要執(zhí)行工序的工作臺上；在工作臺上裝載基板柜；檢測其上已經(jīng)完成工序的基板柜，并將信息傳送給主機(jī)；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到設(shè)置已執(zhí)行過工序的基板柜的工作臺上，并將已執(zhí)行過工序的基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中；以及將基板柜傳送到基板柜儲存架。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，還包括將基板柜裝載到工作臺上之前，用條形碼讀取器讀取附在基板柜上的條形碼的步驟。
13.一種制造液晶顯示(LCD)裝置過程中傳送基板的方法，包括如下步驟用設(shè)置在基板柜儲存架中的條形碼讀取器讀取附在基板柜上的條形碼；將基板柜從具有條形碼讀取器的基板柜儲存架裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到要執(zhí)行工序的工作臺上；在工作臺上卸載基板柜；檢測其上已經(jīng)完成工序的基板柜，并將信息傳送給主機(jī)；將自動引導(dǎo)運(yùn)載車引到設(shè)置已執(zhí)行過工序的基板柜的工作臺上，并將基板柜裝載到自動引導(dǎo)運(yùn)載車中；以及將基板柜傳送到基板柜儲存架。
全文摘要
一種用于制造液晶顯示(LCD)裝置的基板傳送系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括具有條形碼的一基板柜；用來儲存基板柜的一基板柜儲存架；具有條形碼讀取器的一自動引導(dǎo)運(yùn)載車，所述自動引導(dǎo)運(yùn)載車能傳送基板；用來確定自動引導(dǎo)運(yùn)載車移動路徑的一移動路徑單元；多個工序工作臺，制造LCD裝置過程中在所述工序工作臺上對基板執(zhí)行工序；以及用來控制基板柜儲存架、自動引導(dǎo)運(yùn)載車和工序工作臺的一主機(jī)。自動引導(dǎo)運(yùn)載車和基板柜儲存架中至少一個具有條形碼讀取器。
文檔編號G06F7/00GK1514273SQ20031011603
公開日2004年7月21日 申請日期2003年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月31日
發(fā)明者蔡景洙, 宋炫昊 申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會社