專利名稱：預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體的制造系統(tǒng)，特別是涉及一種整體保養(yǎng)的排程系統(tǒng)的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)中使用的設(shè)備是極其昂貴和復(fù)雜的。工程師們?yōu)榱舜_保生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性，必須依循標(biāo)準(zhǔn)操作程序(SOPs)進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)(PM)。由于設(shè)備的數(shù)量和種類很多，所以利用人工管理設(shè)備保養(yǎng)的效率很低。而且，人工管理容易發(fā)生人為疏失，而發(fā)生設(shè)備應(yīng)保養(yǎng)而未保養(yǎng)的情況，導(dǎo)致設(shè)備的損壞、影向生產(chǎn)進(jìn)度，進(jìn)而降低了企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。
為了對(duì)所有的設(shè)備執(zhí)行各種定期或不定期的保養(yǎng)計(jì)劃，管理人員常利用紙本或個(gè)人電腦上的應(yīng)用軟體進(jìn)行排程規(guī)劃。同時(shí)，工程師根據(jù)保養(yǎng)計(jì)劃進(jìn)行保養(yǎng)。保養(yǎng)時(shí)工程師會(huì)依標(biāo)準(zhǔn)操作程序上所定義的保養(yǎng)項(xiàng)目與表格進(jìn)行保養(yǎng)。當(dāng)工程師完成保養(yǎng)后，他將在PM表上記錄資料，并將PM表送給管理人員檢查和簽名。最后，工程師將PM表放到文件夾中儲(chǔ)存并做為日后的參考記錄。當(dāng)保養(yǎng)項(xiàng)目的結(jié)果失敗時(shí)，工程師將填寫一份PM OCAP表進(jìn)行異常處理的追蹤與處置。
許多不想要的特征和上述人工過(guò)程有關(guān)。沒(méi)有和其他電腦處理資訊的系統(tǒng)結(jié)合，很容易得到影響保養(yǎng)品質(zhì)的矛盾資料。而且，人工過(guò)程很費(fèi)時(shí)間。大部分設(shè)備有一個(gè)界面，PC使用者能夠用該界面和設(shè)備交互得到設(shè)備的參數(shù)。設(shè)備的參數(shù)是決定是否進(jìn)行保養(yǎng)的關(guān)鍵因素。保養(yǎng)設(shè)備需要工程師接近設(shè)備、記錄參數(shù)的時(shí)間，而且進(jìn)一步需要校正人工資料錯(cuò)誤的時(shí)間，比如，這些錯(cuò)誤可能是工程師在記錄時(shí)造成的。而且，當(dāng)保養(yǎng)的周期和保養(yǎng)項(xiàng)目的規(guī)定發(fā)生了變化，管理人員就需要更新保養(yǎng)計(jì)劃和PM表；否則，保養(yǎng)計(jì)劃上的資料和PM表可能相互矛盾。對(duì)于管理人員來(lái)說(shuō)，因這樣一個(gè)變化重新人工制定所有保養(yǎng)計(jì)劃的效率也是很低的。許多時(shí)間和精力由于生產(chǎn)的需要被投入到人工調(diào)整新的保養(yǎng)中。例如，當(dāng)一個(gè)管理人員想執(zhí)行一個(gè)新的保養(yǎng)計(jì)劃時(shí)，所有的工程師們必須在進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)立即更新保養(yǎng)狀況。人工管理會(huì)在原始計(jì)劃和實(shí)際結(jié)果間引起矛盾。
為了確保所有保養(yǎng)都被執(zhí)行，任何需要不定期保養(yǎng)的設(shè)備必須有效的進(jìn)行管理。保養(yǎng)可能被遺忘，并且保養(yǎng)計(jì)劃可能沒(méi)有被執(zhí)行。在這些情況下，設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性是得不到保證的。
而且，人工管理和書面工作浪費(fèi)了人力和紙張。用人工管理的職工在記錄保養(yǎng)資料時(shí)花費(fèi)了太多的精力，浪費(fèi)了太多的紙張。而且，紙本文件難以保存，查詢和分析。紙本文件資料不能有效的用來(lái)改進(jìn)以后的保養(yǎng)參數(shù)。一個(gè)工具被檢測(cè)后，檢測(cè)者得到參數(shù)，并判斷該工具是否需要保養(yǎng)。因此，這種不規(guī)則的工具保養(yǎng)是沒(méi)有排程(Schedule)的。
在現(xiàn)有技術(shù)中存在著根據(jù)不規(guī)則工具即時(shí)參數(shù)的變化決定保養(yǎng)日期的需求。參數(shù)資訊收集的自動(dòng)控制、保養(yǎng)日期的計(jì)算和將保養(yǎng)日期登入到保養(yǎng)時(shí)程中的進(jìn)一步的需求也存在。
由此可見，上述現(xiàn)有的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法在方法與操作上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法存在的問(wèn)題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般方法又沒(méi)有適切的方法能夠解決上述問(wèn)題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。
有鑒于上述現(xiàn)有預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法存在的缺陷，而提供一種新的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器，其中一個(gè)以網(wǎng)路為基礎(chǔ)的、使用者界面友好的、強(qiáng)大的全設(shè)備管理系統(tǒng)(TEMS)已經(jīng)被發(fā)明，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使該系統(tǒng)和其他電腦資訊系統(tǒng)結(jié)合，可以簡(jiǎn)化保養(yǎng)的過(guò)程。通過(guò)電子化的保養(yǎng)流程控管與跨資訊系統(tǒng)間的整合，落實(shí)保養(yǎng)的實(shí)施與獲得最佳的保養(yǎng)品質(zhì)；依設(shè)備保養(yǎng)特性的不同，建立完整的保養(yǎng)管理機(jī)制，使設(shè)備達(dá)到最佳的可靠性、穩(wěn)定性。藉由該系統(tǒng)的應(yīng)用，設(shè)備的非周期性保養(yǎng)日期可以藉由每天或幾天一次的檢測(cè)中進(jìn)行預(yù)測(cè)與調(diào)整，從而更加適于實(shí)用。
本發(fā)明的另一目的在于，克服現(xiàn)有的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法存在的缺陷，而提供一種新的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其可以降低保養(yǎng)的問(wèn)題，一個(gè)關(guān)于預(yù)防保養(yǎng)的強(qiáng)大的、使用者界面友好的管理系統(tǒng)得到了發(fā)展。該系統(tǒng)結(jié)合其他資訊系統(tǒng)的資料，應(yīng)用專業(yè)的知識(shí)和手法。該系統(tǒng)提供預(yù)防保養(yǎng)的動(dòng)態(tài)預(yù)測(cè)與自動(dòng)預(yù)警的方式來(lái)改善管理效率，使所有的設(shè)備保養(yǎng)均能落實(shí)，確保設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性。通過(guò)電子化的保養(yǎng)管理與資料儲(chǔ)存，簡(jiǎn)化保養(yǎng)作業(yè)流程，減少人力與紙張的耗費(fèi)；并藉由系統(tǒng)的整合與分析，提供管理報(bào)表與預(yù)警機(jī)制，提升保養(yǎng)資料的應(yīng)用價(jià)值。與自動(dòng)化連線系統(tǒng)連結(jié)，自動(dòng)地收集相關(guān)設(shè)備參數(shù)，工程師不需特地前往工廠紀(jì)錄設(shè)備相關(guān)參數(shù)，而能節(jié)省抄表時(shí)間的浪費(fèi)與避免資料抄寫錯(cuò)誤發(fā)生。與設(shè)備保養(yǎng)作業(yè)規(guī)范系統(tǒng)連結(jié)，即時(shí)獲得正確的設(shè)備預(yù)防保養(yǎng)資訊(OI、保養(yǎng)表格)，確保資料的一致性與達(dá)到最佳的保養(yǎng)品質(zhì)。，從而更加適于實(shí)用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，適用于根據(jù)工具的參數(shù)預(yù)測(cè)該工具的保養(yǎng)日期，其包括以下步驟獲得上述參數(shù)的探測(cè)值和上述參數(shù)的保養(yǎng)值的差值；判斷上述差值是否小于或等于預(yù)設(shè)值；如果上述差值小于或等于上述預(yù)設(shè)值，運(yùn)行保養(yǎng)程式；以及如果上述差值大于上述預(yù)設(shè)值，則根據(jù)上述差值和變動(dòng)量值預(yù)測(cè)上述保養(yǎng)日期，該變動(dòng)量值表示的是參數(shù)在每單位時(shí)間的變化。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中藉由把目前的日期(a)加到被上述變動(dòng)量值相除的上述差值(b)上以預(yù)測(cè)上述保養(yǎng)日期；以及將上述保養(yǎng)日期儲(chǔ)存到保養(yǎng)排程中。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值由統(tǒng)計(jì)方法得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值藉由儲(chǔ)存的資料計(jì)算得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值從相應(yīng)參數(shù)的探測(cè)值的資料計(jì)算得到，該參數(shù)探測(cè)值從預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期之前、經(jīng)過(guò)一段期間后的工具上獲得。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的獲得，所述的判斷和所述的執(zhí)行是自動(dòng)進(jìn)行的。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的期間為多天。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值由前面保養(yǎng)日期的預(yù)測(cè)中獲得的資料計(jì)算得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值從相應(yīng)參數(shù)的探測(cè)值的資料計(jì)算得到，該參數(shù)探測(cè)值從經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后的工具上得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值由使用者即刻輸入的資料計(jì)算得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值由儲(chǔ)存的資料和使用者即刻輸入的資料計(jì)算得到。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，適用于預(yù)測(cè)工具的保養(yǎng)日期，其包括以下步驟獲取工具的多個(gè)參數(shù)的多個(gè)探測(cè)值與該些參數(shù)的多個(gè)保養(yǎng)值之間的多個(gè)差值；判斷每個(gè)上述差值是否小于或等于相應(yīng)的每個(gè)參數(shù)的預(yù)設(shè)值；如果預(yù)設(shè)的上述差值的數(shù)目小于或等于它們相應(yīng)的上述預(yù)設(shè)值，則執(zhí)行保養(yǎng)程式；以及如果預(yù)設(shè)的上述差值的數(shù)目不小于或等于它們相應(yīng)的上述預(yù)設(shè)值，則根據(jù)每個(gè)參數(shù)的上述差值和多個(gè)變動(dòng)量值預(yù)測(cè)上述保養(yǎng)日期；其中每個(gè)變動(dòng)量值表示的是上述工具每單位時(shí)間相應(yīng)的其中的一個(gè)參數(shù)的變化。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中預(yù)設(shè)的數(shù)目等于1；以及將上述保養(yǎng)日期儲(chǔ)存在保養(yǎng)排程中。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中每個(gè)上述變動(dòng)量值從相應(yīng)參數(shù)的探測(cè)值的相應(yīng)資料中計(jì)算得到，該相應(yīng)的參數(shù)探測(cè)值是從保養(yǎng)日期預(yù)測(cè)之前、經(jīng)過(guò)一段期間后的工具上獲得。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值從儲(chǔ)存的資料中計(jì)算得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的期間是多天。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值從使用者即刻輸入的資料計(jì)算得到。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中所述的變動(dòng)量值由統(tǒng)計(jì)方法決定。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其中每個(gè)上述變動(dòng)量值表示的是相應(yīng)參數(shù)每單位時(shí)間的變化。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，適用于預(yù)測(cè)工具的保養(yǎng)日期，其包括一資料庫(kù)，由表示每單位時(shí)間上述工具參數(shù)變化的變動(dòng)量值組成；以及一控制器，具有操作性的與上述資料庫(kù)連接，設(shè)定用來(lái)根據(jù)上述變動(dòng)量值和參數(shù)保養(yǎng)值與參數(shù)探測(cè)值之間的差值預(yù)測(cè)上述工具的保養(yǎng)日期；其中的上述控制器，當(dāng)上述差值小于或等于預(yù)設(shè)值時(shí)，其設(shè)定為用于提供建議上述工具進(jìn)行保養(yǎng)程式。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，上述的儀器進(jìn)一步由一連接單元組成，該連接單元連接于上述工具和上述儀器之間，該連接單元設(shè)定用來(lái)從上述工具中獲取上述參數(shù)探測(cè)值。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，上述的儀器進(jìn)一步由連接到上述控制器的制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置單元，以將上述保養(yǎng)日期儲(chǔ)存到保養(yǎng)時(shí)程中。
前述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，其中所述的控制器設(shè)定用來(lái)根據(jù)多個(gè)變動(dòng)量值和多個(gè)參數(shù)的保養(yǎng)值與多個(gè)參數(shù)的探測(cè)值之間的多數(shù)個(gè)差值，預(yù)測(cè)上述工具的上述保養(yǎng)日期。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，為了達(dá)到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下本發(fā)明提供了兩種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，以及利用上述方法的儀器。第一種方法是在保養(yǎng)排程程序中引進(jìn)了一個(gè)變動(dòng)量，該變動(dòng)量是藉由在幾天內(nèi)獲得的一個(gè)工具的參數(shù)計(jì)算得到的，或者是使用者自己輸入的。然后該方法即可根據(jù)目前獲得的參數(shù)和變動(dòng)量，應(yīng)用統(tǒng)計(jì)的方法，預(yù)測(cè)及調(diào)整設(shè)備的非周期性保養(yǎng)日期。
除了不止一個(gè)參數(shù)追蹤決定保養(yǎng)日期外，第二種方法與第一種方法相似。每個(gè)參數(shù)有自己的變動(dòng)量。保養(yǎng)日期藉由與每個(gè)參數(shù)的變動(dòng)量計(jì)算而確定。
本發(fā)明的第三實(shí)施例提供了一個(gè)自動(dòng)化系統(tǒng)以獲得工具的資訊和使用該資訊對(duì)保養(yǎng)日期進(jìn)行最好的預(yù)測(cè)。自動(dòng)化系統(tǒng)系應(yīng)用本發(fā)明第一實(shí)施例與第二實(shí)施例中所述的方法計(jì)算保養(yǎng)日期。自動(dòng)化系統(tǒng)由一連接單元，一控制器和一資料庫(kù)組成。
此處敘述的任何特征或綜合特征，如果該特征包括在任何綜合特征中并不相互矛盾，以及該特征從上下文、本說(shuō)明書與熟悉此技藝者的知識(shí)中是明顯的，則都包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。為了概述本發(fā)明，此處敘述了本發(fā)明的某些特點(diǎn)、優(yōu)點(diǎn)和新穎性特征。當(dāng)然，并不能理解為本發(fā)明的任何特定的實(shí)施例都必須包含這些特點(diǎn)、優(yōu)點(diǎn)和新穎性特征。在下述的詳細(xì)說(shuō)明和申請(qǐng)專利范圍中，本發(fā)明的獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)是很明顯的。
經(jīng)由上述可知，本發(fā)明是關(guān)于一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器。該預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，包括下列步驟獲得一個(gè)或多個(gè)參數(shù)的探測(cè)值和應(yīng)保養(yǎng)值之間的差值，判斷差值是否接近預(yù)設(shè)的應(yīng)保養(yǎng)值。如果任何一個(gè)差值超過(guò)其相應(yīng)的預(yù)設(shè)值，則該方法進(jìn)一步包括執(zhí)行或推薦開始保養(yǎng)的步驟。如果沒(méi)有差值超過(guò)其相應(yīng)的預(yù)設(shè)值，則該方法也包括根據(jù)差值和表示參數(shù)每單位時(shí)間變化的變動(dòng)量值預(yù)測(cè)工具保養(yǎng)日期的步驟。本發(fā)明還提出了以這種方式預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，該儀器包括一控制器，一資料庫(kù)和一連接單元。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器至少具有下列優(yōu)點(diǎn)執(zhí)行本發(fā)明的全設(shè)備管理系統(tǒng)TEMS(請(qǐng)參閱圖27所示)的制程流程代替保養(yǎng)的人工過(guò)程(請(qǐng)參閱圖26所示)有多個(gè)優(yōu)點(diǎn)。第一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是與TEMS結(jié)合的其他電腦資訊系統(tǒng)可以確保資料的一致性和獲得高品質(zhì)的保養(yǎng)。和設(shè)備的自動(dòng)化系統(tǒng)結(jié)合，該系統(tǒng)可以直接從設(shè)備的本身獲得參數(shù)。這節(jié)約了工程師的時(shí)間，否則其必須到設(shè)備處記錄設(shè)備的參數(shù)；同時(shí)消除了人工傳輸資料的錯(cuò)誤。
綜上所述，本發(fā)明特殊的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器，其中一個(gè)以網(wǎng)路為基礎(chǔ)的、使用者界面友好的、強(qiáng)大的全設(shè)備管理系統(tǒng)(TEMS)已經(jīng)被發(fā)明。該系統(tǒng)和其他電腦資訊系統(tǒng)結(jié)合，簡(jiǎn)化了保養(yǎng)的過(guò)程。通過(guò)電子化的保養(yǎng)流程控管與跨資訊系統(tǒng)間的整合，落實(shí)保養(yǎng)的實(shí)施與獲得最佳的保養(yǎng)品質(zhì)；依設(shè)備保養(yǎng)特性的不同，建立完整的保養(yǎng)管理機(jī)制，使設(shè)備達(dá)到最佳的可靠性、穩(wěn)定性。藉由該系統(tǒng)的應(yīng)用，設(shè)備的非周期性保養(yǎng)日期可以藉由每天或幾天一次的檢測(cè)中進(jìn)行預(yù)測(cè)與調(diào)整。本發(fā)明另提供一種特殊的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器，其中為了降低保養(yǎng)的問(wèn)題，一個(gè)關(guān)于預(yù)防保養(yǎng)的強(qiáng)大的、使用者界面友好的管理系統(tǒng)得到了發(fā)展。該系統(tǒng)結(jié)合其他資訊系統(tǒng)的資料，應(yīng)用專業(yè)的知識(shí)和手法。該系統(tǒng)提供預(yù)防保養(yǎng)的動(dòng)態(tài)預(yù)測(cè)與自動(dòng)預(yù)警的方式來(lái)改善管理效率，使所有的設(shè)備保養(yǎng)均能落實(shí)，確保設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性。通過(guò)電子化的保養(yǎng)管理與資料儲(chǔ)存，簡(jiǎn)化保養(yǎng)作業(yè)流程，減少人力與紙張的耗費(fèi)；并藉由系統(tǒng)的整合與分析，提供管理報(bào)表與預(yù)警機(jī)制，提升保養(yǎng)資料的應(yīng)用價(jià)值。與自動(dòng)化連線系統(tǒng)連結(jié)，自動(dòng)地收集相關(guān)設(shè)備參數(shù)，工程師不需特地前往工廠紀(jì)錄設(shè)備相關(guān)參數(shù)，而能節(jié)省抄表時(shí)間的浪費(fèi)與避免資料抄寫錯(cuò)誤發(fā)生。與設(shè)備保養(yǎng)作業(yè)規(guī)范系統(tǒng)連結(jié)，即時(shí)獲得正確的設(shè)備預(yù)防保養(yǎng)資訊(OI、保養(yǎng)表格)，確保資料的一致性與達(dá)到最佳的保養(yǎng)品質(zhì)。其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，并在同類方法中未見有類似的設(shè)計(jì)公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在方法上或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。


圖1是本發(fā)明的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法的縮略的流程圖。
圖2是本發(fā)明的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器的標(biāo)準(zhǔn)元件的圖表。
圖3是本發(fā)明全設(shè)備管理系統(tǒng)(TEMS)結(jié)構(gòu)的標(biāo)準(zhǔn)元件的圖表。
圖4是表示制造資訊主導(dǎo)裝置(FIM)系統(tǒng)和TEMS的連結(jié)的圖表。
圖5是藉由TEMS自動(dòng)安排定期保養(yǎng)的處理流程。
圖6是加入新的定期保養(yǎng)的TEMS功能的熒幕截面圖(Screenshot)。
圖7是修改定期保養(yǎng)時(shí)程的TEMS功能的熒幕截面圖。
圖8是安排定期保養(yǎng)的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖9是PM排程的設(shè)備配置。
圖10是記錄保養(yǎng)日期的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖11是顯示定期保養(yǎng)的預(yù)測(cè)規(guī)則的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖12是藉由TEMS自動(dòng)預(yù)測(cè)不定期保養(yǎng)時(shí)程的制程流程。
圖13是設(shè)定不定期保養(yǎng)配置的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖14是記錄和顯示不定期保養(yǎng)的參數(shù)目前值的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖15是不定期保養(yǎng)預(yù)測(cè)規(guī)則的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖16是不定期保養(yǎng)的顯示時(shí)程的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖17是由管理保養(yǎng)記錄的定期保養(yǎng)系統(tǒng)產(chǎn)生的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖18是由管理保養(yǎng)記錄的不定期保養(yǎng)系統(tǒng)產(chǎn)生的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖19是異常保養(yǎng)記錄的TEMS實(shí)施例的熒幕截面圖。
圖20是日常保養(yǎng)記錄的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖21是下載保養(yǎng)項(xiàng)目文件的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖22是修復(fù)保養(yǎng)記錄的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖23是失去控制行為程序(OCAP)的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖24是同意會(huì)簽的各層級(jí)的設(shè)定的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖25是通知系統(tǒng)中的使用者登錄上網(wǎng)當(dāng)其他使用者在等待他或她的同意時(shí)的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。
圖26是現(xiàn)有的保養(yǎng)執(zhí)行的人工管理的制程流程。
圖27是藉由TEMS對(duì)保養(yǎng)進(jìn)行自動(dòng)管理的制程流程。
圖28是TEMS系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。
圖29是FIM-EIM和TEMS之間在定期保養(yǎng)中的連接的熒幕截面圖。
圖30是在TEMS系統(tǒng)中臨時(shí)停止一次保養(yǎng)的完整的制程流程。
圖31是PM表和PM OCAP表之間的關(guān)系。
圖32是從FIM-EIM系統(tǒng)和TEMS系統(tǒng)中如何決定保養(yǎng)日期的天數(shù)和極值。
圖33是FIM-EIM和TEMS之間在不定期保養(yǎng)中的連接的熒幕截面圖。
S100、S102、S104、S106步驟 200控制器204資料庫(kù) 206連接單元202制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器其具體實(shí)施方式
、方法、步驟、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。
現(xiàn)在詳細(xì)敘述本發(fā)明的較佳實(shí)施例和相應(yīng)圖式中顯示的實(shí)例。在本文的其他地方，相近或相同的標(biāo)號(hào)在圖式和說(shuō)明書中用來(lái)指示相同或相近的部分。需要指出的是，圖式是簡(jiǎn)化的形式，而不是精確的比例。關(guān)于此處的公開，僅僅是為了方便和簡(jiǎn)單明了，方向性的辭匯(如頂部，底部，左邊，右邊，向上的，向下的，上面的，在…之上，下面的，在…下面，后面和前面)與相應(yīng)的圖式結(jié)合運(yùn)用。這些方向性辭匯不應(yīng)該以任何方式解釋為對(duì)本發(fā)明范圍的限制。
盡管此處公開的是特定的實(shí)施例，但其應(yīng)該理解為是藉由實(shí)例描述這些實(shí)施例，而不是對(duì)實(shí)施例進(jìn)行限制。盡管是論述可仿效的實(shí)施例，下述詳細(xì)敘述的目的應(yīng)該理解為包含所有實(shí)施例的修正，替代物和可能落入到附屬的權(quán)利要求定義的發(fā)明的范圍和精神的等價(jià)物。其應(yīng)該理解和鑒別為此時(shí)描述的方法步驟和結(jié)構(gòu)沒(méi)有包含半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備排程保養(yǎng)的完整的制程流程。本發(fā)明可以與現(xiàn)有技術(shù)中應(yīng)用的不同排程和統(tǒng)計(jì)技術(shù)進(jìn)行結(jié)合使用，此處包括很多現(xiàn)有成熟的方法步驟對(duì)理解本發(fā)明很有必要。通常，本發(fā)明在綜合保養(yǎng)排程系統(tǒng)的領(lǐng)域中具有實(shí)用性。然而為了例舉的需要，下述說(shuō)明是關(guān)于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的綜合保養(yǎng)排程系統(tǒng)。特別是請(qǐng)參閱圖1所示，是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法的簡(jiǎn)短的流程圖，下述實(shí)例1列表說(shuō)明了該方法的簡(jiǎn)單應(yīng)用。在實(shí)施例的圖1中，得到了參數(shù)的保養(yǎng)值與參數(shù)的探測(cè)值之間的差值(S100)，其中參數(shù)的探測(cè)值從一個(gè)工具上得到。參數(shù)可能是回圈晶片的數(shù)量或RF功率-小時(shí)(RF watt-hours)的數(shù)量，但是并不限定于此。該工具是可能需要保養(yǎng)的任一設(shè)備。該差值等于保養(yǎng)值減去探測(cè)值。差值算出后，進(jìn)行比較(S102)以決定差值是否大于或等于預(yù)設(shè)值?，F(xiàn)在，在實(shí)例1中，2003/4/2上的差值(S100)取決于1100減去100得到1000，該值不小于或等于零。同樣，2003/4/3上的800的差值不小于或等于零。
實(shí)例1預(yù)測(cè)一不定期保養(yǎng)目前值型式累計(jì)形式參數(shù)最大值1100參數(shù)最小值900保養(yǎng)項(xiàng)目1000片的回圈晶片


公式1-1變動(dòng)量＝[∑(目前值(n)-目前值(n-1))]/(日期(1)-日期(7))；n＝1-7公式1-2預(yù)測(cè)日＝日期+[(最小參數(shù)值-目前值)/變動(dòng)量]公式1-3目前值(n)＝參數(shù)值(n)-參數(shù)值(last PM)比如，當(dāng)差值小于或等于預(yù)設(shè)值時(shí)，保養(yǎng)程序(S106)需要立即進(jìn)行。比如，如果預(yù)設(shè)值是零，一旦參數(shù)的探測(cè)值達(dá)到了保養(yǎng)值，工具就需要進(jìn)行保養(yǎng)。如果差值大于預(yù)設(shè)值，則進(jìn)行保養(yǎng)日期計(jì)算(S104)，其中所述的保養(yǎng)日期是藉由將差值除以多樣性或變動(dòng)量值后加到目前的日期中來(lái)進(jìn)行預(yù)測(cè)的。由于在列舉的實(shí)施例中，差值是除以變動(dòng)量值的，變動(dòng)量的值表示的是每單位時(shí)間參數(shù)的變化。變動(dòng)量值最少可以藉由兩種方式的其中一種設(shè)定。一種方式包括從相應(yīng)的參數(shù)探測(cè)值的資料計(jì)算變動(dòng)量值，其中參數(shù)的探測(cè)值是從保養(yǎng)日期預(yù)測(cè)前的經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的工具中獲得的。由于目前較佳的資料是儲(chǔ)存資料，時(shí)間的周期為幾天。儲(chǔ)存的資料可以從上述幾天的工具中所得的參數(shù)中獲得，和/或從先前保養(yǎng)的日期預(yù)測(cè)中所得的參數(shù)中獲得。另一種方法包括從使用者立即輸入的資料中計(jì)算變動(dòng)量值。另一種方法包括從與使用者立即輸入的資料相關(guān)聯(lián)的儲(chǔ)存資料中計(jì)算變動(dòng)量值。一個(gè)統(tǒng)計(jì)方法用于上述所有決定變動(dòng)量值的方法。例如，如果保養(yǎng)沒(méi)有立即進(jìn)行，保養(yǎng)日期可以儲(chǔ)存在保養(yǎng)時(shí)程中。在實(shí)例1中，用公式1-1計(jì)算變動(dòng)量值(c欄)，用公式1-2計(jì)算預(yù)測(cè)的保養(yǎng)日期(d欄)，用公式1-3計(jì)算目前值(b欄)。
根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例，圖1也應(yīng)用于一種藉由追蹤多項(xiàng)參數(shù)以預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法。當(dāng)應(yīng)用多個(gè)參數(shù)時(shí)，每個(gè)參數(shù)有自己的相關(guān)的探測(cè)值、保養(yǎng)值、預(yù)設(shè)值和變動(dòng)量值。探測(cè)值是從工具中獲取的參數(shù)值。保養(yǎng)值通常是不允許超過(guò)探測(cè)值的參數(shù)值。參數(shù)的保養(yǎng)值和參數(shù)的探測(cè)值之間的差值(S100)由所有被追蹤的參數(shù)計(jì)算得到。預(yù)設(shè)值決定差值的中斷點(diǎn)。進(jìn)行比較(S102)用來(lái)決定預(yù)先設(shè)定的差值的數(shù)量是否少于或等于其相應(yīng)的預(yù)設(shè)值。在列舉的實(shí)施例中，預(yù)先設(shè)定的數(shù)是一個(gè)因此比較(S102)用來(lái)決定每個(gè)差值是否少于或等于其預(yù)設(shè)值。如果這些差值中的任何一個(gè)小于或等于其相應(yīng)的預(yù)設(shè)值，保養(yǎng)程序(S106)就盡快執(zhí)行。如果所有的差值大于它們各自的預(yù)設(shè)值，于是根據(jù)各個(gè)參數(shù)的差值和變動(dòng)量值來(lái)運(yùn)行保養(yǎng)日期計(jì)算(S104)以預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期。差值除以變動(dòng)量值，其中每個(gè)變動(dòng)量值表示的是每單位時(shí)間相應(yīng)參數(shù)的變化。
變動(dòng)量值可能由上述設(shè)定所決定，但是應(yīng)用在多參數(shù)的上下文中。如本發(fā)明所述，變動(dòng)量值由考慮先前的測(cè)量參數(shù)的統(tǒng)計(jì)方法所決定，其中該參數(shù)是來(lái)自于儲(chǔ)存的資料和/或輸入的目前值。每個(gè)變動(dòng)量值都可以藉由相應(yīng)的參數(shù)的探測(cè)值計(jì)算，這些參數(shù)從S104預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的計(jì)算前、經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后的工具上所獲得。正如目前較佳的資料是儲(chǔ)存的資料，時(shí)間的周期為幾天。儲(chǔ)存的資料可以從上述經(jīng)過(guò)幾天后的工具上獲得的參數(shù)而獲得和/或從先前保養(yǎng)日期計(jì)算中獲得的參數(shù)中而獲得。對(duì)于輸入的目前值，使用者即刻輸入的資料可以用于計(jì)算變動(dòng)量值。測(cè)量的值可能包括由使用者輸入的目前的探測(cè)值以及先前測(cè)量的儲(chǔ)存的資料的綜合。變動(dòng)量值也可以從與使用者即刻輸入的資料結(jié)合的儲(chǔ)存的資料計(jì)算得到。一旦計(jì)算出保養(yǎng)日期，最好保存在保養(yǎng)時(shí)程中。
執(zhí)行本發(fā)明的全設(shè)備管理系統(tǒng)TEMS(請(qǐng)參閱圖27所示)的制程流程代替保養(yǎng)的人工過(guò)程(請(qǐng)參閱圖26所示)有多個(gè)優(yōu)點(diǎn)。第一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是與TEMS結(jié)合的其他電腦資訊系統(tǒng)可以確保資料的一致性和獲得高品質(zhì)的保養(yǎng)。和設(shè)備的自動(dòng)化系統(tǒng)結(jié)合，該系統(tǒng)可以直接從設(shè)備的本身獲得參數(shù)。這節(jié)約了工程師的時(shí)間，否則其必須到設(shè)備處記錄設(shè)備的參數(shù)；同時(shí)消除了人工傳輸資料的錯(cuò)誤。
和標(biāo)準(zhǔn)操作程序(SOP)系統(tǒng)結(jié)合，該系統(tǒng)可以確保PM表上資料和SOP資料的一致性，由此達(dá)到了保養(yǎng)的品質(zhì)。動(dòng)態(tài)的預(yù)測(cè)和管理保養(yǎng)計(jì)劃可以改善管理的效率和確保保養(yǎng)被執(zhí)行。專業(yè)的方法和設(shè)備的參數(shù)的自動(dòng)收集結(jié)合后，TEMS能夠提供一個(gè)解決方案以進(jìn)行動(dòng)態(tài)預(yù)測(cè)和管理保養(yǎng)計(jì)劃，并能夠改善管理的效率。
執(zhí)行TEMS可以改善設(shè)備的生產(chǎn)效率。和定期保養(yǎng)、不定期保養(yǎng)、異常保養(yǎng)、設(shè)備維修、日常保養(yǎng)以及設(shè)備的記錄參數(shù)結(jié)合，保養(yǎng)管理系統(tǒng)可以監(jiān)測(cè)和管理保養(yǎng)的狀態(tài)，因此降低了設(shè)備的損壞，藉由擴(kuò)展生產(chǎn)的最大量改善了設(shè)備的生產(chǎn)效率。
保養(yǎng)的電腦管理和資料儲(chǔ)存降低了紙本的費(fèi)用，節(jié)約了員工的時(shí)間。TEMS支援監(jiān)測(cè)報(bào)告和警告報(bào)告的結(jié)合和分析儲(chǔ)存在管理系統(tǒng)的保養(yǎng)資料的特征，因此改善了保養(yǎng)資料的應(yīng)用值。
本發(fā)明提出的全設(shè)備管理系統(tǒng)能夠監(jiān)測(cè)和控制所有設(shè)備的狀態(tài)和保持設(shè)備一直運(yùn)行良好。由于激烈的競(jìng)爭(zhēng)，半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備被迫確保有效、經(jīng)濟(jì)的制程工具的排程、使用和保養(yǎng)。由于TEMS的代替，審核保養(yǎng)行為和快速查詢?cè)O(shè)備中所有工具的所有保養(yǎng)歷史紀(jì)錄成為可能?？焖俚膶⒐芾硐到y(tǒng)復(fù)制到新設(shè)備也成為可能，其中較舊設(shè)備的管理資料可以被新設(shè)備利用。從較舊的設(shè)備上獲取的資料可以使新工廠快速、更有效的啟動(dòng)。
請(qǐng)參閱圖3所示，TEMS的子系統(tǒng)包括一個(gè)設(shè)備管理系統(tǒng)(EMS)，預(yù)防保養(yǎng)管理(PMM)，零件管理系統(tǒng)(PMS)，統(tǒng)計(jì)的程序控制(SPC)系統(tǒng)，警報(bào)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(AMS)，攝像監(jiān)視器系統(tǒng)(CMS)，故障排除管理系統(tǒng)(TMS)，關(guān)鍵性能指示器(KPI)系統(tǒng)和成本分析系統(tǒng)(CAS)。請(qǐng)參閱圖4所示，TEMS也可以快速的獲得規(guī)范(OI)資訊和從其他OI系統(tǒng)(如制造資訊主導(dǎo)裝置(FIM))獲取預(yù)防保養(yǎng)(PM)項(xiàng)目資訊，以確保保養(yǎng)的有效性。藉由有效的執(zhí)行和管理的預(yù)防保養(yǎng)以確保設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，這樣降低了意外的錯(cuò)誤發(fā)生和從而保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。
設(shè)備管理系統(tǒng)(EMS)的功能包括管理和設(shè)定設(shè)備的基本資料，如設(shè)備的名稱，設(shè)備的位置等等。這個(gè)子系統(tǒng)也設(shè)定與設(shè)備相關(guān)的資料，如設(shè)定特殊設(shè)備的保養(yǎng)極值(tolerance)或停止/開始設(shè)備保養(yǎng)的排定的計(jì)劃。
預(yù)防保養(yǎng)管理(PMM)系統(tǒng)具有很多功能。其藉由修正和顯示設(shè)備的保養(yǎng)的排程計(jì)劃以管理保養(yǎng)的排程計(jì)劃。其也記錄和顯示定期保養(yǎng)(請(qǐng)參閱圖17所示)，不定期保養(yǎng)(請(qǐng)參閱圖18所示)，異常保養(yǎng)、設(shè)備維修、日常保養(yǎng)以及失去控制的行為程序(OCAP)。PMM不但適用于記錄或查詢不定期保養(yǎng)的設(shè)備參數(shù)，而且適用于每周或每月查詢?cè)O(shè)備的保養(yǎng)的報(bào)告。比如，PM表能夠從PDA上傳或下載。設(shè)備的規(guī)范(OI)也可以進(jìn)行查詢，如同在資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置(FIM-EIM)系統(tǒng)上一樣。許多工具需要定期保養(yǎng)。定期保養(yǎng)有一個(gè)保養(yǎng)的固定周期(如每周，每月等等。)和應(yīng)進(jìn)行的保養(yǎng)的極值。請(qǐng)參閱圖5所示，是用于自動(dòng)排程定期保養(yǎng)的制程流程。隨著保養(yǎng)的周期和極值，該TEMS系統(tǒng)可以預(yù)測(cè)需要下一次保養(yǎng)的設(shè)備指定部分。在列舉的實(shí)施例中，預(yù)測(cè)定期保養(yǎng)的公式如下公式2預(yù)測(cè)的PM日＝最后一次的PM日+極值+使用者的標(biāo)準(zhǔn)其中極值在FIM-EIM系統(tǒng)和TEMS系統(tǒng)中進(jìn)行定義。FIM-EIM系統(tǒng)中的極值對(duì)于全公司是標(biāo)準(zhǔn)值，TEMS系統(tǒng)中的極值較FIM-EIM系統(tǒng)中的極值嚴(yán)格。使用者的標(biāo)準(zhǔn)包括特別對(duì)于指定使用者的項(xiàng)目。例如，如果預(yù)測(cè)日指向周末，系統(tǒng)就將依據(jù)EQ.設(shè)定功能的“假期設(shè)定”的值安排周五或周一為保養(yǎng)日。
請(qǐng)參閱圖6所示，是加入新的定期保養(yǎng)的TEMS功能的熒幕截面圖。如果新設(shè)備加到需要保養(yǎng)的FIM-EIM(制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置)系統(tǒng)中，該系統(tǒng)會(huì)發(fā)送一封電子郵件通知管理人員將定期保養(yǎng)加到TEMS系統(tǒng)，并設(shè)定保養(yǎng)的起始日期。如果設(shè)備的型式從需要保養(yǎng)的FIM-EIM(制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置)系統(tǒng)中移走，TEMS會(huì)自動(dòng)除去保養(yǎng)日期。請(qǐng)參閱圖29所示，是ADT-13的按季的PM2從FIM-EIM系統(tǒng)中移走的情況，TEMS系統(tǒng)自動(dòng)的在PM排程的計(jì)劃中停止預(yù)測(cè)時(shí)程。
請(qǐng)參閱圖7所示，是定期保養(yǎng)修改排程的TEMS的熒幕截面圖，而圖8顯示了定期保養(yǎng)的排程顯示。當(dāng)管理人員由于例如是生產(chǎn)需要而修改或取消已排定保養(yǎng)時(shí)，TEMS系統(tǒng)的“修改排程功能”將自動(dòng)檢測(cè)修改的保養(yǎng)日期，看看其是否在允許的極值內(nèi)，并如同圖24相關(guān)論述的一樣決定會(huì)簽的級(jí)別。請(qǐng)參閱圖24所示，是“會(huì)簽級(jí)別的設(shè)定”功能，其用于定義各種會(huì)簽級(jí)別(如，對(duì)理事會(huì)經(jīng)理、理事會(huì)領(lǐng)導(dǎo)的會(huì)簽等等…)。如果會(huì)簽的事件發(fā)生，該系統(tǒng)將為每個(gè)功能在y指定-會(huì)簽者(assigning-cosigner)熒幕上顯示會(huì)簽的級(jí)別(該指定-會(huì)簽者(assigning-cosigner)熒幕可以在圖30的步驟3中看到)。請(qǐng)參閱圖9所示，是PM排程的設(shè)備配置，使用者可以設(shè)定這些值；該系統(tǒng)將藉由這些設(shè)定值預(yù)測(cè)和重新安排下一次PM日。使用者可以臨時(shí)停止PM排程和重新啟動(dòng)PM(臨時(shí)停止PM的例子在圖30中進(jìn)行了闡述)。當(dāng)設(shè)備需要花時(shí)間修理或由于其他問(wèn)題需要停止時(shí)，管理人員也可以停止已排定的保養(yǎng)，當(dāng)問(wèn)題解決后，再重新啟動(dòng)已排定的保養(yǎng)。
請(qǐng)參閱圖10所示，是TEMS記錄保養(yǎng)日期的熒幕截面圖。TEMS會(huì)自動(dòng)連接到FIM-EIM系統(tǒng)，以得到供工程師保養(yǎng)和記錄的保養(yǎng)項(xiàng)目。工程師記錄保養(yǎng)資料后，TEMS利用該資料決定工具性能是否可接受。如果保養(yǎng)結(jié)果顯示不可接受的工具性能，TEMS會(huì)產(chǎn)生一個(gè)PM OCAP的記錄，用于工程師通知使用者和管理人員如同圖24所論述的進(jìn)行會(huì)簽。請(qǐng)參閱圖31所示，是有一個(gè)失敗項(xiàng)目的執(zhí)行的PM表，該系統(tǒng)為這個(gè)PM表產(chǎn)生了PM OCAP記錄。
TEMS可以根據(jù)指定給系統(tǒng)的規(guī)則預(yù)測(cè)下一次保養(yǎng)日期。請(qǐng)參閱圖32所示，是該系統(tǒng)如何從FIM-EIM以及TEMS中決定周期天數(shù)和極值的值。請(qǐng)參閱圖11所示，是這樣一個(gè)預(yù)防保養(yǎng)預(yù)測(cè)規(guī)則的TEMS熒幕截面圖。TEMS也根據(jù)上一次的保養(yǎng)日期和周期預(yù)測(cè)下一次保養(yǎng)日期。期間的資料可以來(lái)自TEMS預(yù)防保養(yǎng)管理(PMM)系統(tǒng)中的使用者設(shè)定，來(lái)自FIM-EIM系統(tǒng)的使用者設(shè)定，或FIM-EIM系統(tǒng)的預(yù)定設(shè)定(請(qǐng)參閱圖32所示)。
然而對(duì)于一些工具，例如，由于工具使用的變化，保養(yǎng)不能以定期的方式排程。于是，不定期保養(yǎng)的執(zhí)行可以根據(jù)設(shè)備的監(jiān)測(cè)參數(shù)是否超過(guò)圖12所示的流程表中其規(guī)范(OI)的規(guī)格。請(qǐng)參閱圖33所示，是FIM-EIM系統(tǒng)和TEMS系統(tǒng)之間不定期項(xiàng)目的關(guān)系。監(jiān)測(cè)參數(shù)(如圖33中的目前值)可以藉由電腦中運(yùn)行的程式或使用者更新。該OI儲(chǔ)存在FIM-EIM系統(tǒng)中。
請(qǐng)參閱圖13所示，是設(shè)定不定期保養(yǎng)的配置的TEMS。不定期保養(yǎng)的過(guò)程包括收集設(shè)備的參數(shù)，預(yù)測(cè)不定期保養(yǎng)的日期，以及記錄保養(yǎng)資料。和定期保養(yǎng)執(zhí)行一樣，TEMS也可以管理列舉在FIM-EIM系統(tǒng)中從不定期設(shè)備保養(yǎng)中加入或移走的工具族。管理人員能夠設(shè)定關(guān)于不定期保養(yǎng)的基本資訊，如每天的變化，變化的方向，設(shè)備參數(shù)收集的型式。
請(qǐng)參閱圖14所示，是記錄和顯示不定期保養(yǎng)參數(shù)目前值的TEMS執(zhí)行。如果收集型式設(shè)定為“自動(dòng)”，與設(shè)備相連的TEMS可以藉由每天運(yùn)行的程式自動(dòng)的收集和保存設(shè)備的參數(shù)。對(duì)于其他收集型式，使用者可以人工記錄或使用個(gè)人數(shù)位助理(PDA)記錄設(shè)備參數(shù)的目前值，計(jì)算不定期保養(yǎng)，并更新TEMS-PMM資料庫(kù)。輸入的參數(shù)值可有三種型式的目前值1)累計(jì)的型式，其中設(shè)備參數(shù)的值不能重設(shè)至零；這種情況下，設(shè)備參數(shù)的所有歷史紀(jì)錄資料收集在資料庫(kù)內(nèi)，目前值在資料庫(kù)中計(jì)算并儲(chǔ)存。(請(qǐng)參照例1)目前值＝參數(shù)值(last PM)-參數(shù)值(current)。2)轉(zhuǎn)換的型式，其中設(shè)備參數(shù)的目前值必須藉由預(yù)計(jì)算轉(zhuǎn)換；在這種型式中，從設(shè)備收集的列資料必須與工程值進(jìn)行計(jì)算。比如，可以將溫度從°F轉(zhuǎn)換到℃。目前值＝設(shè)備參數(shù)的值乘以工程值。3)重設(shè)的型式，其中設(shè)備參數(shù)的目前值須重設(shè)至零。在這種型式中，設(shè)備參數(shù)在執(zhí)行的保養(yǎng)后須重設(shè)至零。目前值＝設(shè)備的參數(shù)的值。如果收集的型式是“自動(dòng)”，于是自動(dòng)收集設(shè)備參數(shù)的程式將根據(jù)上述目前值的型式將實(shí)際值轉(zhuǎn)換到TEMS。
請(qǐng)參閱圖15所示，是不定期保養(yǎng)的預(yù)測(cè)規(guī)則的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。每個(gè)不定期保養(yǎng)日期的預(yù)測(cè)系在FIM-EIM系統(tǒng)中藉由使用設(shè)備參數(shù)的目前值計(jì)算保養(yǎng)日期的日常運(yùn)行程式更新，以及基于參數(shù)的定義的較上限和較下限規(guī)格計(jì)算保養(yǎng)日期。當(dāng)資料傾向于參數(shù)變化的方向時(shí)，如參數(shù)每天增加，而參數(shù)在下一天下降，保養(yǎng)已被執(zhí)行，設(shè)備參數(shù)的目前值已被重置。
請(qǐng)參閱圖16所示，是不定期保養(yǎng)的顯示時(shí)程的TEMS功能。TEMS藉由回顧日常參數(shù)和找出兩個(gè)最接近目前時(shí)間之間的期間參數(shù)的變化方向。TEMS將自動(dòng)連接到FIM-EIM系統(tǒng)，獲得給工程師進(jìn)行保養(yǎng)和記錄的保養(yǎng)項(xiàng)目。與定期保養(yǎng)相似，TEMS利用工程師記錄的保養(yǎng)資料決定工具性能是否可接受。如果保養(yǎng)結(jié)果顯示不可接受的工具性能，TEMS會(huì)產(chǎn)生PM OCAP(預(yù)防保養(yǎng)失去控制作業(yè)程序)記錄，用于工程師通知使用者和管理人員進(jìn)行會(huì)簽。TEMS于是根據(jù)指定給該系統(tǒng)的規(guī)則預(yù)測(cè)下一次保養(yǎng)日期。
其他的保養(yǎng)型式包括異常保養(yǎng)，維修保養(yǎng)，日常保養(yǎng)，以及PM OCAP保養(yǎng)。請(qǐng)參閱圖19所示，是異常保養(yǎng)記錄中的TEMS實(shí)施例的熒幕截面圖。當(dāng)設(shè)備發(fā)生不同于正常的情況，就進(jìn)行異常保養(yǎng)，這就是工程師需要藉由定義在FIM-EIM系統(tǒng)中的下述過(guò)程和記錄的維修日期以修理設(shè)備。請(qǐng)參閱圖22所示，是修復(fù)保養(yǎng)記錄的TEMS熒幕截面圖的實(shí)施例。如果下述異常保養(yǎng)的標(biāo)準(zhǔn)過(guò)程不能解決問(wèn)題，工程師必須記錄保養(yǎng)的全過(guò)程和在修正保養(yǎng)記錄描述遇到的問(wèn)題。修正的保養(yǎng)資料系被儲(chǔ)存作為以后的參考。
請(qǐng)參閱圖20所示，是日常保養(yǎng)記錄的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。日常保養(yǎng)不同于定期保養(yǎng)，因?yàn)槿粘１ｐB(yǎng)需要每天進(jìn)行，而定期保養(yǎng)在保養(yǎng)可能進(jìn)行的范圍內(nèi)有一天或多天的極值。在一個(gè)保養(yǎng)記錄中，日常保養(yǎng)結(jié)合特定部門所有設(shè)備的所有項(xiàng)目。請(qǐng)參閱圖21所示，是下載保養(yǎng)項(xiàng)目文件的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。日常保養(yǎng)記錄可以藉由下載到PDA或以網(wǎng)路為基礎(chǔ)的界面存取。完成記錄后，資料將送到管理人員進(jìn)行會(huì)簽。請(qǐng)參閱圖23所示，是失去控制作業(yè)程序(OCAP)的執(zhí)行。如果任何預(yù)防保養(yǎng)的結(jié)果失敗，TEMS會(huì)自動(dòng)建立新的PM的OCAP，并將失敗的項(xiàng)目?jī)?chǔ)存到PM的OCAP中。TEMS通知工程師保養(yǎng)失敗項(xiàng)目的設(shè)備，并將任何矯正的行為資料記錄到PM的OCAP中。
TEMS也包括會(huì)簽的過(guò)程，以確保該管理部門確認(rèn)所有行為。在一個(gè)較佳的實(shí)施例中，每個(gè)行為在TEMS中有一個(gè)會(huì)簽的過(guò)程。使用者可以會(huì)簽文件和查詢文件的會(huì)簽歷史紀(jì)錄。請(qǐng)參閱圖24所示，是同意會(huì)簽者的層級(jí)的設(shè)定的TEMS窗口執(zhí)行。為了滿足每個(gè)工廠的需求，TEMS支援依據(jù)使用者需求的會(huì)簽過(guò)程的設(shè)定。設(shè)定完會(huì)簽過(guò)程的流程后，該系統(tǒng)在接下來(lái)的會(huì)簽過(guò)程的流程中會(huì)詢問(wèn)使用者設(shè)定合適的會(huì)簽者。TEMS從歷史紀(jì)錄資料中產(chǎn)生一系列可能的簽名者，且該歷史紀(jì)錄資料對(duì)于每一個(gè)使用者相關(guān)的以前的會(huì)簽者和請(qǐng)求者而言是獨(dú)一無(wú)二的。使用者也可以保存每次選擇的會(huì)簽者的設(shè)定時(shí)間。請(qǐng)參閱圖25所示，是當(dāng)其他使用者在等待他或她的同意時(shí)，通知登錄系統(tǒng)中的使用者的TEMS執(zhí)行的熒幕截面圖。使用者每次登錄到TEMS中，TEMS會(huì)藉由友好的操作界面通知任何會(huì)簽文件狀態(tài)的使用者。除此以外，會(huì)簽的子系統(tǒng)可以追蹤和查詢PM表的歷史紀(jì)錄。
TEMS也可以結(jié)合在PC伺服器中執(zhí)行每天/周/月報(bào)告的程式將提供總結(jié)資訊的電子郵件送給管理人員。當(dāng)設(shè)備保養(yǎng)日期遲緩或當(dāng)保養(yǎng)日期很快將過(guò)期，程式也會(huì)將通知送給合適的管理人員。保養(yǎng)狀態(tài)的資訊也會(huì)送給管理人員。當(dāng)會(huì)簽者花太多的時(shí)間簽署送給的文件時(shí)，該資訊也會(huì)送去通知會(huì)簽者。
TEMS的另一功能支援兩種型式的可以下載的保養(yǎng)項(xiàng)目的文件1)保養(yǎng)的日常項(xiàng)目和2)不定期保養(yǎng)的參數(shù)。工程師利用這個(gè)功能下載所需的保養(yǎng)項(xiàng)目到PDA以保持和記錄資料，并且將保養(yǎng)資料上傳到網(wǎng)路伺服器的資料庫(kù)中。除此以外，在FIM-EIM系統(tǒng)中敘述了保養(yǎng)表格和保養(yǎng)項(xiàng)目。工程師也須追蹤這些保養(yǎng)項(xiàng)目并記錄結(jié)果。
請(qǐng)參閱圖2所示，是有標(biāo)準(zhǔn)元件的圖表，表示的是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器。該儀器由一連接單元206，一資料庫(kù)204，一FIM-EIM(制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置)單元202，以及控制器200組成，其可以設(shè)定為至少與一個(gè)工具相連。為了獲得參數(shù)的探測(cè)值，連接單元206將一個(gè)工具連接到儀器。參數(shù)的探測(cè)值也可以包括多數(shù)的參數(shù)探測(cè)值，在這種情況下，連接單元206將允許從工具中獲得多數(shù)的探測(cè)值。同時(shí)，該至少一個(gè)工具也可以由多數(shù)的工具組成。在列舉的實(shí)施例中，連接單元206是系統(tǒng)自動(dòng)連接設(shè)備，通過(guò)的設(shè)備參數(shù)可以自動(dòng)的收集和儲(chǔ)存到圖28所示的TEMS系統(tǒng)中。
資料庫(kù)204儲(chǔ)存了表示工具每單位時(shí)間參數(shù)變化的變動(dòng)量值。當(dāng)許多參數(shù)被監(jiān)測(cè)時(shí)，變動(dòng)量值可能由多數(shù)的變動(dòng)量值組成，其中每個(gè)參數(shù)與自己的變動(dòng)量值相對(duì)應(yīng)以及多數(shù)的變動(dòng)量值儲(chǔ)存在資料庫(kù)204內(nèi)。資料庫(kù)204也儲(chǔ)存了工具的至少一個(gè)參數(shù)的探測(cè)值。如果只有一個(gè)參數(shù)用于保養(yǎng)的追蹤，資料庫(kù)204將保存對(duì)于該參數(shù)的一部分或所有探測(cè)值，其中此參數(shù)具有對(duì)于該工具的已記錄的歷史紀(jì)錄。如果多個(gè)參數(shù)用于衡量保養(yǎng)，資料庫(kù)204將會(huì)對(duì)已追蹤的參數(shù)包含一個(gè)探測(cè)值的歷史紀(jì)錄。資料庫(kù)204也可能含有每個(gè)參數(shù)的預(yù)設(shè)值。每個(gè)參數(shù)的保養(yǎng)值也儲(chǔ)存在資料庫(kù)204內(nèi)。
控制器200根據(jù)資料庫(kù)204中的變動(dòng)量值和示例中與圖1結(jié)合描述的探測(cè)值和保養(yǎng)值之間的差值為工具預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期。例如，如果保養(yǎng)值減去探測(cè)值小于或等于預(yù)設(shè)值，工具就需要保養(yǎng)。當(dāng)多數(shù)參數(shù)為保養(yǎng)目的而被追蹤時(shí)，差值可能包括多數(shù)的差值?？刂破?00利用差值或多數(shù)差值來(lái)預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期。對(duì)于這個(gè)過(guò)程，控制器200從連接單元206獲得探測(cè)值和從資料庫(kù)204獲得儲(chǔ)存的探測(cè)值來(lái)計(jì)算保養(yǎng)日期?？刂破?00也從連接單元206獲取新的探測(cè)值并儲(chǔ)存在資料庫(kù)204中。
FIM-EIM(制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置)單元202為定義保養(yǎng)日期和表格提供了幾個(gè)規(guī)則，如預(yù)先設(shè)定的保養(yǎng)日期和保養(yǎng)表格。FIM-EIM單元202有一個(gè)樹形子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)包括一個(gè)設(shè)備資訊系統(tǒng)，一個(gè)預(yù)防保養(yǎng)規(guī)范(PM OI)和PM表格系統(tǒng)。FIM-EIM單元202與控制器200相連以將保養(yǎng)日期儲(chǔ)存到保養(yǎng)時(shí)程中。FIM-EIM單元202也可以尋找出從控制器200處接收的預(yù)測(cè)日期的矛盾排程，并盡力有效的安排保養(yǎng)日期和次數(shù)。本發(fā)明根據(jù)已知的參數(shù)利用統(tǒng)計(jì)方法預(yù)測(cè)工具上發(fā)生的變化。因此，保養(yǎng)日期可以被預(yù)測(cè)，因而保養(yǎng)時(shí)程可以相應(yīng)的被制定。
綜上所述，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將能夠理解本發(fā)明的方法可以容易保養(yǎng)排程的形成、特別是對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的保養(yǎng)排程的形成。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，適用于根據(jù)工具的參數(shù)預(yù)測(cè)該工具的保養(yǎng)日期，其特征在于其包括以下步驟獲得上述參數(shù)的探測(cè)值和上述參數(shù)的保養(yǎng)值的差值；判斷上述差值是否小于或等于預(yù)設(shè)值；如果上述差值小于或等于上述預(yù)設(shè)值，運(yùn)行保養(yǎng)程式；以及如果上述差值大于上述預(yù)設(shè)值，則根據(jù)上述差值和變動(dòng)量值預(yù)測(cè)上述保養(yǎng)日期，該變動(dòng)量值表示的是參數(shù)在每單位時(shí)間的變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中藉由把目前的日期(a)加到被上述變動(dòng)量值相除的上述差值(b)上以預(yù)測(cè)上述保養(yǎng)日期；以及將上述保養(yǎng)日期儲(chǔ)存到保養(yǎng)排程中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值由統(tǒng)計(jì)方法得到。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值藉由儲(chǔ)存的資料計(jì)算得到。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值從相應(yīng)參數(shù)的探測(cè)值的資料計(jì)算得到，該參數(shù)探測(cè)值從預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期之前、經(jīng)過(guò)一段期間后的工具上獲得。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的獲得，所述的判斷和所述的執(zhí)行是自動(dòng)進(jìn)行的。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的期間為多天。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值由前面保養(yǎng)日期的預(yù)測(cè)中獲得的資料計(jì)算得到。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值從相應(yīng)參數(shù)的探測(cè)值的資料計(jì)算得到，該參數(shù)探測(cè)值從經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后的工具上得到。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值由使用者即刻輸入的資料計(jì)算得到。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值由儲(chǔ)存的資料和使用者即刻輸入的資料計(jì)算得到。
12.一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，適用于預(yù)測(cè)工具的保養(yǎng)日期，特征在于其包括以下步驟獲取工具的多個(gè)參數(shù)的多個(gè)探測(cè)值與該些參數(shù)的多個(gè)保養(yǎng)值之間的多個(gè)差值；判斷每個(gè)上述差值是否小于或等于相應(yīng)的每個(gè)參數(shù)的預(yù)設(shè)值；如果預(yù)設(shè)的上述差值的數(shù)目小于或等于它們相應(yīng)的上述預(yù)設(shè)值，則執(zhí)行保養(yǎng)程式；以及如果預(yù)設(shè)的上述差值的數(shù)目不小于或等于它們相應(yīng)的上述預(yù)設(shè)值，則根據(jù)每個(gè)參數(shù)的上述差值和多個(gè)變動(dòng)量值預(yù)測(cè)上述保養(yǎng)日期；其中每個(gè)變動(dòng)量值表示的是上述工具每單位時(shí)間相應(yīng)的其中的一個(gè)參數(shù)的變化。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中預(yù)設(shè)的數(shù)目等于1；以及將上述保養(yǎng)日期儲(chǔ)存在保養(yǎng)排程中。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中每個(gè)上述變動(dòng)量值從相應(yīng)參數(shù)的探測(cè)值的相應(yīng)資料中計(jì)算得到，該相應(yīng)的參數(shù)探測(cè)值是從保養(yǎng)日期預(yù)測(cè)之前、經(jīng)過(guò)一段期間后的工具上獲得。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值從儲(chǔ)存的資料中計(jì)算得到。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的期間是多天。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值從使用者即刻輸入的資料計(jì)算得到。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中所述的變動(dòng)量值由統(tǒng)計(jì)方法決定。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，其特征在于其中每個(gè)上述變動(dòng)量值表示的是相應(yīng)參數(shù)每單位時(shí)間的變化。
20.一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，適用于預(yù)測(cè)工具的保養(yǎng)日期，其特征在于其包括一資料庫(kù)，由表示每單位時(shí)間上述工具參數(shù)變化的變動(dòng)量值組成；以及一控制器，具有操作性的與上述資料庫(kù)連接，設(shè)定用來(lái)根據(jù)上述變動(dòng)量值和參數(shù)保養(yǎng)值與參數(shù)探測(cè)值之間的差值預(yù)測(cè)上述工具的保養(yǎng)日期；其中的上述控制器，當(dāng)上述差值小于或等于預(yù)設(shè)值時(shí)，其設(shè)定為用于提供建議上述工具進(jìn)行保養(yǎng)程式。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，其特征在于上述儀器進(jìn)一步由一連接單元組成，該連接單元連接于上述工具和上述儀器之間，該連接單元設(shè)定用來(lái)從上述工具中獲取上述參數(shù)探測(cè)值。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，其特征在于上述儀器進(jìn)一步由連接到上述控制器的制造資訊主導(dǎo)裝置-設(shè)備資訊主導(dǎo)裝置單元，以將上述保養(yǎng)日期儲(chǔ)存到保養(yǎng)時(shí)程中。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，其特征在于其中所述的控制器設(shè)定用來(lái)根據(jù)多個(gè)變動(dòng)量值和多個(gè)參數(shù)的保養(yǎng)值與多個(gè)參數(shù)的探測(cè)值之間的多數(shù)個(gè)差值，預(yù)測(cè)上述工具的上述保養(yǎng)日期。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法以及儀器。該預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的方法，包括下列步驟獲得一個(gè)或多個(gè)參數(shù)的探測(cè)值和應(yīng)保養(yǎng)值之間的差值，判斷差值是否接近預(yù)設(shè)的應(yīng)保養(yǎng)值。如果任何一個(gè)差值超過(guò)其相應(yīng)的預(yù)設(shè)值，則該方法進(jìn)一步包括執(zhí)行或推薦開始保養(yǎng)的步驟。如果沒(méi)有差值超過(guò)其相應(yīng)的預(yù)設(shè)值，則該方法也包括根據(jù)差值和表示參數(shù)每單位時(shí)間變化的變動(dòng)量值預(yù)測(cè)工具保養(yǎng)日期的步驟。本發(fā)明還提出了以這種方式預(yù)測(cè)保養(yǎng)日期的儀器，該儀器包括一控制器，一資料庫(kù)和一連接單元。
文檔編號(hào)G06Q90/00GK1716521SQ20041005949
公開日2006年1月4日 申請(qǐng)日期2004年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月28日
發(fā)明者鄭國(guó)村, 曾澤民, 胡志峰, 葉明釗, 何宗軒, 黃國(guó)智, 周世達(dá), 顏宏吉 申請(qǐng)人:旺宏電子股份有限公司