專利名稱：：半導體制造代工廠關鍵機臺實時派工預測系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及半導體制造廠生產自動化系統(tǒng)，特別涉及半導體制造代工廠關鍵機臺實時派工預測系統(tǒng)。
背景技術：
：一般說來，當前的半導體制造行業(yè)中，為了提高生產效率，降低生產成本，半導體器件的設計部門和制造部門是分開的，也就是說，半導體器件的設計部門專門進行半導體器件的電路和結構設計，而半導體器件的制造部門按照半導體器件設計部門設計好的半導體器件的電路和結構專門制造半導體器件。本行業(yè)稱這種按照半導體器件設計部門設計的半導體器件電路和結構制造各種半導體器件的工廠為半導體制造代工廠。因此，半導體制造代工廠同時生產種類繁多數量不同的半導體器件，而且各種類型的半導體器件的加工工藝不同、加工的時間周期不同，加工的數量不同，各類半導體器件客戶要求的交貨日期和交貨數量也各不相同。在這種復雜的條件下，如何充分利用各站點機臺的產能，尤其是要如何百分之百利用最昂貴機臺組的產能，是半導體企業(yè)能否在激烈競爭中生存及發(fā)展的關鍵所在.實時安排生產線中各個機臺特別是關鍵機臺上的在線工件的加工時間順序、加工時間長短、特別是合理安排在例如光刻的關鍵機臺同時加工各類半導體器件等工作是極其復雜而又重要的。當前在半導體器件生產線上生產管理人員不能根據生產線上的相關機臺的工作狀態(tài)隨時合理調整各個機臺的派工次序以避免可能的機臺空擋期。生產線上的各個機臺的工作狀態(tài)隨時變化，生產線的實際在線工件分布隨時變化，工件的加工順序也在隨時變化，各類半導體器件在關鍵機臺的加工時間和加工數量也不同。在這種復雜的環(huán)境里，生產管理人員由于不能全面了解及消化各方信息，不能最有效地安排相關機臺的工作，使生產線上的關鍵機臺成為生產加工瓶頸，充分利用各站點機臺的產能，尤其是最大可能利用最昂貴機臺組的產能。為了能夠按照客戶要求的交貨日期按時按量生產出質量優(yōu)良的半導體器件，而且充分發(fā)揮半導體器件生產流水線上的各種制造機臺的工作能力，特別是合理使用例如光刻機等關鍵機臺，必須采用自動化方式準確地計算各類半導體器件的晶片在生產流水線上各個機臺位置的在線加工分布狀態(tài)，了解關鍵機臺的工作狀態(tài)，合理安排各類半導體器件的晶片在生產流水線上，例如光刻機的關鍵機臺上的加工時間順序，并將待加工的各類半導體器件按待加工的類型分類編組，將進行同類加工的工件分在同一組，按編組同時進行同類加工。以根據關鍵機臺的工作狀態(tài)合理利用關鍵機臺，最有效地發(fā)揮生產線的生產能力。
發(fā)明內容為了克服上述的半導體制造代工廠中管理人員不能全面了解及消化各個機臺的工作狀態(tài)信息、不能合理地制定出各類工件在各個機臺的加工時間順序，不能對關鍵機臺合理實時派工，不能將分布在各個機臺站點的工件進行分類編組，—以利同類工件連續(xù)加工，不能最有效地組織生產、不能最充分發(fā)揮生產線上各個機臺的加工能力，—尤其是昂貴機臺組的產能等缺點提出本發(fā)明。本發(fā)明的目的是，提出一種半導體制造代工廠關鍵機臺派工預測系統(tǒng)，用本發(fā)明的關鍵機臺派工預測系統(tǒng)，動態(tài)隨機實時采集待加工工件在生產線上各個加工站的分布量、各個機臺特別是關鍵機臺的工件在線存留量、各個工件在關鍵機臺所需要的加工時間、各個關鍵機臺的工作能力和是否能正常工作的工作狀態(tài)、需要在關鍵機臺加工的工件數量、工件的合格率等相關數據，根據產品的交貨日期、工件所需的加工時間周期進行生產狀態(tài)計算和分析，將不同類型的半導體器件分類編組，將要進行系統(tǒng)加工的不同類型的工件編在同一組內，同時加工在同一組內的多種類型的工件。按照本發(fā)明的半導體器件制造代工廠用的關鍵機臺實時派工預測系統(tǒng)包括①派工規(guī)則存儲顯示器(dispatchingRules)；②制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫(MESdada)，該數據庫中包括每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間；③數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置(DBtablesandjobs)；④關鍵機臺實時派工裝置(CriticalstageRTD)；⑤產品產出時間預測裝置(FABForecast)。通過結合附圖進行的以下描述可以更好地理解本發(fā)明目的和本發(fā)明的優(yōu)點，附圖是說明書的一個組成部分，附圖與說明書的文字部分一起說明本發(fā)明的原理和特征，附圖中顯示出代表本發(fā)明原理和特征的實施例。其中，圖1是按照本發(fā)明的半導體器件制造代工廠關鍵機臺派工預測系統(tǒng)框圖。附圖中指示數字所指示的內容①派工規(guī)則存儲顯示器；②制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫(MESdada)；③數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置；④關鍵機臺實時派工裝置；⑤產品產出時間預測裝置；具體實施方式以下結合附圖詳細說明按本發(fā)明的半導體制造代工廠關鍵機臺派工預測系統(tǒng)的運行情況。并用半導體制造代工廠關鍵機臺派工預測系統(tǒng)的運行情況說明按液晶顯示器的半導體制造代工廠關鍵機臺派工預測系統(tǒng)。系統(tǒng)運行包括以下步驟步驟1，派工規(guī)則存儲顯示器(dispatchingRules)①中存儲的派工原則數據，和制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫(MESdada)②中的每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間等數據輸入數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置(DBtableandjobs)③；步驟2，數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置(DBtablesandjobs)③計算和分析所輸入的派工原則數據和每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間等數據，發(fā)出關鍵機臺的實時指令；步驟3，關鍵機臺的實時指令發(fā)送到關鍵機臺實時派工裝置(CriticalstageRTD)④，關鍵機臺的實時指令包括要進行相同加工的不同類型的工件編組、每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間等；步驟4，關鍵機臺實時派工裝置(CriticalstageRTD)④顯示出關鍵機臺的實時派工情況，并將實時派工結果輸入產品產出時間預測裝置(FABForecast)⑤同時通知相關前段站點提前做好準備為關鍵機臺供貨，以保證關鍵機臺的派工不斷貨；步驟5，產品產出時間預測裝置(FABForecast)⑤預測產品發(fā)出貨時間。本行業(yè)的技術人員應了解，在不脫離本發(fā)明精神或者主要特征的前提下，本發(fā)明還可以以其他特定的形式實施。因此，按本發(fā)明的全部技術方案，所列舉的實施方式只是用于說明本發(fā)明而不是限制本發(fā)明，并且，本發(fā)明不局限于本文中描述的細節(jié)。本發(fā)明要求保護的范圍由所附的權利要求書界定。權利要求1.半導體制造代工廠關鍵機臺實時派工預測系統(tǒng)，其特征是，系統(tǒng)包括(1)派工規(guī)則存儲顯示器；(2)制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫，該數據庫中包括每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間；(3)數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置；(4)關鍵機臺實時派工裝置；(5)產品產出時間預測裝置。2.按照權利要求1的系統(tǒng)，其特征是，系統(tǒng)運行包括以下步驟步驟1派工規(guī)則存儲顯示器①中存儲的派工原則數據，和制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫②中的每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間等數據輸入數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置；步驟2數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置③計算和分析所輸入的派工原則數據和每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間等數據，發(fā)出關鍵機臺的實時指令；步驟3關鍵機臺的實時指令發(fā)送到關鍵機臺實時派工裝置④，關鍵機臺的實時指令包括要進行相同加工的不同類型的工件編組、每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間等；步驟4關鍵機臺實時派工裝置④顯示出關鍵機臺的實時派工情況，并將實時派工結果輸入產品產出時間預測裝置⑤同時通知相關前段站點提前做好準備為關鍵機臺供貨，以保證關鍵機臺的派工不斷貨；步驟5產品產出時間預測裝置⑤預測產品發(fā)出貨時間。全文摘要半導體制造代工廠關鍵機臺實時派工預測系統(tǒng)，系統(tǒng)包括①派工規(guī)則存儲顯示器；②制造執(zhí)行系統(tǒng)數據庫，該數據庫中包括每盒晶片的位置順序、加工時間、各類工件的順序加工時間；③數據庫表格和數據處理程序和加工指令發(fā)出裝置；④關鍵機臺實時派工裝置；⑤產品產出時間預測裝置。文檔編號G06Q10/00GK1770182SQ20041006784公開日2006年5月10日申請日期2004年11月4日優(yōu)先權日2004年11月4日發(fā)明者俞曉華,向玉坤,彭朝湖,張一平申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司