專利名稱：整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至其它由不同制造執(zhí)行系統(tǒng)控制的生產(chǎn)線進(jìn)行處理。
背景技術(shù)：
一般的大量生產(chǎn)設(shè)備在不同生產(chǎn)在線均設(shè)有多個(gè)能夠進(jìn)行相同制程步驟的機(jī)臺。如此一來，在制品批次可以由一目前生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至其它生產(chǎn)線的待制造區(qū)，等候進(jìn)行次一制程步驟。此種在制品批次轉(zhuǎn)換生產(chǎn)線處理的情況稱之為備援處理。
在備援處理執(zhí)行之前，工廠作業(yè)人員必須進(jìn)行幾個(gè)備援預(yù)備程序。首先，目前處理在制品的機(jī)臺的制程工程師必須選擇適合的備援機(jī)臺以及需于該備援機(jī)臺上執(zhí)行的試量產(chǎn)(pilot run)程序。而提供備援制造的機(jī)臺的制程工程師則需建立合乎規(guī)格的機(jī)臺制程加工程序以及控制該備援機(jī)臺的制造執(zhí)行系統(tǒng)上所執(zhí)行的制程控制。備援機(jī)臺的制程整合工程師必須準(zhǔn)備備援機(jī)臺的制造執(zhí)行系統(tǒng)的流程數(shù)據(jù)。該備援機(jī)臺的制程執(zhí)行系統(tǒng)可以存取并維持該在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。繼之，將該備援計(jì)劃向相關(guān)工程師以及技術(shù)人員發(fā)布。在該在制品批次送往該備援機(jī)臺之前，目前機(jī)臺和備援機(jī)臺的技術(shù)人員必須先互相溝通。
備援制造的預(yù)備工作困難且復(fù)雜，其作業(yè)流程也很復(fù)雜。而且也不能控制該在制品等候備援制造執(zhí)行時(shí)的等候時(shí)間。
當(dāng)一制程步驟轉(zhuǎn)由另一個(gè)生產(chǎn)線執(zhí)行時(shí)，生產(chǎn)數(shù)據(jù)便交由執(zhí)行備援制造的生產(chǎn)線來維持。如此一來，同一個(gè)在制品批次的制造會同時(shí)涉及多個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)。而先進(jìn)制程控制程序無法在此種涉及多個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)的狀況下施行。而且，該等制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)儲存是各自獨(dú)立，使得無法再一在制品進(jìn)行制造處理的過程中，正確而快速地追蹤其目前狀態(tài)及位置。
而將不同生產(chǎn)線的制造執(zhí)行系統(tǒng)合并為單一制造執(zhí)行系統(tǒng)并非為一實(shí)際可行的方法。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的為提供一仿真整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一第一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至一第二生產(chǎn)線進(jìn)行處理，其中該第一生產(chǎn)線與該第二生產(chǎn)線分別由一第一制造執(zhí)行系統(tǒng)及一第二制造執(zhí)行系統(tǒng)控制，以提高在制品批次在分別屬于不同制造執(zhí)行系統(tǒng)的不同生產(chǎn)線之間轉(zhuǎn)移處理的效率。
為達(dá)成本發(fā)明上述目的，本發(fā)明提供一種整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一第一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至一第二生產(chǎn)線進(jìn)行處理，其中該第一生產(chǎn)線與該第二生產(chǎn)線分別由一第一制造執(zhí)行系統(tǒng)及一第二制造執(zhí)行系統(tǒng)控制。
本發(fā)明的整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其包括數(shù)據(jù)庫及第一計(jì)算機(jī)裝置。該數(shù)據(jù)庫用以儲存一在制品批次編號及該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)編號、以及該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)規(guī)則及與該在制品批次編號相關(guān)的制造授受數(shù)據(jù)，其中上述數(shù)據(jù)是提供該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)及該第二制造執(zhí)行系統(tǒng)之用。該第一計(jì)算機(jī)裝置是供該第一生產(chǎn)線之用，用以連結(jié)該第一生產(chǎn)線、該數(shù)據(jù)庫及該第二制造執(zhí)行系統(tǒng)，使得能夠交換數(shù)據(jù)。
本發(fā)明亦提供一種整合的制造執(zhí)行方法，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一第一生產(chǎn)線進(jìn)行一第一制程步驟的處理，其中該第一生產(chǎn)線由一第一制造執(zhí)行系統(tǒng)控制。該方法首先確認(rèn)多個(gè)機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)，其中該多個(gè)機(jī)臺是可用于執(zhí)行一第二制程步驟以處理該在制品批次。繼之，于該多個(gè)機(jī)臺中選定一機(jī)臺作為保留機(jī)臺，其中該選定的機(jī)臺屬于一第二生產(chǎn)線。再將該在制品批次由該第一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至該第二生產(chǎn)線。并且執(zhí)行該第二制程步驟，其是由該第二生產(chǎn)線的該保留機(jī)臺為之。同時(shí)，收集生產(chǎn)數(shù)據(jù)以及檢測數(shù)據(jù)，其是與該第一生產(chǎn)線的制造執(zhí)行規(guī)則對應(yīng)。
依據(jù)本發(fā)明的進(jìn)行濕式反應(yīng)的方法是可以藉由執(zhí)行一計(jì)算機(jī)程序?yàn)橹?，其中上述?jì)算機(jī)程序是儲存于一儲存媒體中，上述計(jì)算機(jī)程序可加載于一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)并且執(zhí)行上述本發(fā)明的整合的制造執(zhí)行的控制方法。


圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)的示意圖。
圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例保留機(jī)臺系統(tǒng)的運(yùn)作示意圖。
符號說明100系統(tǒng)；102制造執(zhí)行系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)；104數(shù)據(jù)庫；106計(jì)算機(jī)裝置；108計(jì)算機(jī)存儲裝置；200保留機(jī)臺系統(tǒng)；202在制品批次編號1；204生產(chǎn)線C；206生產(chǎn)線D。
具體實(shí)施例方式
茲以圖1及圖2為例，說明本發(fā)明的實(shí)施。本發(fā)明提供一種整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至其它生產(chǎn)線進(jìn)行處理，本發(fā)明亦提供一保留生產(chǎn)機(jī)臺的方法，其是藉由一整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行生產(chǎn)機(jī)臺產(chǎn)能使用的確認(rèn)。
依據(jù)本實(shí)施例，上述被處理的在制品批次為一晶片批次，其是藉由一批次編號來加以辨識。參照圖1，其顯示本發(fā)明系統(tǒng)100的示意圖。一制造執(zhí)行系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)102儲存與生產(chǎn)線A～Z的制造執(zhí)行系統(tǒng)對應(yīng)的所有數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫104是與制造執(zhí)行系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)102連結(jié)。每一生產(chǎn)線具有一計(jì)算機(jī)裝置106，其是與制造執(zhí)行系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)102及數(shù)據(jù)庫104連結(jié)。每一計(jì)算機(jī)裝置106具有一中央處理器、一鍵盤、一鼠標(biāo)、以及一用以與制造執(zhí)行系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)102連結(jié)的網(wǎng)絡(luò)連結(jié)裝置。
數(shù)據(jù)庫104用以儲存一在制品批次編號及其對應(yīng)的在制品。一用于建立數(shù)據(jù)庫104的軟件程序可以自動判斷該在制品批次編號目前對應(yīng)的制造執(zhí)行系統(tǒng)編號，亦即，該在制品批次目前所在生產(chǎn)線的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其中該制造執(zhí)行系統(tǒng)用以控制該在制品批次所進(jìn)行的各個(gè)制造授受活動。數(shù)據(jù)庫104記錄了所有和該在制品批次編號相關(guān)的制造授受活動。而且，數(shù)據(jù)庫104也記錄了各個(gè)機(jī)臺的機(jī)臺編號，以及可以執(zhí)行該在制品批次下一制程步驟的機(jī)臺編號。數(shù)據(jù)庫104亦記錄了該在制品批次的制程步驟及各為了執(zhí)行制造步驟所進(jìn)行的各生產(chǎn)線之間的制造授受活動。數(shù)據(jù)庫104中的數(shù)據(jù)是儲存于一計(jì)算機(jī)存儲裝置108中。
當(dāng)一在制品批次被轉(zhuǎn)移到一由不同制造執(zhí)行系統(tǒng)控制的生產(chǎn)線的機(jī)臺時(shí)，該制造執(zhí)行系統(tǒng)并未記錄該在制品批次的制造授受數(shù)據(jù)。相反的，該在制品批次的制造步驟的執(zhí)行，是依據(jù)其目前制造執(zhí)行系統(tǒng)的制程規(guī)則為之。
在制造執(zhí)行期間，計(jì)算機(jī)裝置106自目前制造執(zhí)行系統(tǒng)讀取與該在制品批次標(biāo)號對應(yīng)的一制造授受設(shè)定數(shù)據(jù)。該制造授受設(shè)定數(shù)據(jù)是儲存于計(jì)算機(jī)存儲裝置108中，其包含該在制品批次編號、目前制造執(zhí)行系統(tǒng)編號、該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)規(guī)則及與該在制品批次編號相關(guān)的制造授受數(shù)據(jù)。
該機(jī)臺所執(zhí)行的每一制程步驟是一制造授受行為，其與一制造授受活動編號對應(yīng)。在執(zhí)行一制程步驟時(shí)，機(jī)臺的制造授受活動都被紀(jì)錄，且該制造授受活動符合該目前制造執(zhí)行系統(tǒng)規(guī)則。該制造授受活動數(shù)據(jù)符合目前生產(chǎn)線的制造執(zhí)行系統(tǒng)的規(guī)則，其包含下列數(shù)據(jù)在制品運(yùn)入/運(yùn)出數(shù)據(jù)、生產(chǎn)數(shù)據(jù)、以及檢測數(shù)據(jù)。因此，即使該制造授受活動是由不同生產(chǎn)線的制造執(zhí)行系統(tǒng)所執(zhí)行，其仍然符合目前生產(chǎn)線制造執(zhí)行系統(tǒng)的規(guī)則。且由于制程數(shù)據(jù)以及檢測數(shù)據(jù)不必在不同的制造執(zhí)行系統(tǒng)重復(fù)儲存，因而可以減少需要儲存的數(shù)據(jù)量。
同一在制品批次編號對應(yīng)的制造數(shù)據(jù)均由目前生產(chǎn)線的制造執(zhí)行系統(tǒng)儲存之，其它生產(chǎn)線的制造執(zhí)行系統(tǒng)并不需要重復(fù)儲存之。當(dāng)需要搜尋某一在制品批次編號對應(yīng)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)時(shí)，或是需要在一龐大的制造系統(tǒng)中找尋某一在制品批次目前所在位置時(shí)，此方式亦減少了搜尋所需要的時(shí)間。
數(shù)據(jù)庫104進(jìn)一步儲存一保留機(jī)臺數(shù)據(jù)，其中該保留機(jī)臺屬于一不同的生產(chǎn)線，使得在制品批次能被運(yùn)送到該不同生產(chǎn)線的該保留機(jī)臺進(jìn)行次一制程步驟的處理。此一程序使得一等待處理的在制品批次能夠送到另一生產(chǎn)線進(jìn)行處理，而無須空等在目前生產(chǎn)在線。該保留機(jī)臺的設(shè)定是依據(jù)該在制品批次與其它生產(chǎn)線的相關(guān)數(shù)據(jù)而決定。
圖2是顯示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的保留機(jī)臺系統(tǒng)200的運(yùn)作示意圖，其顯示將一機(jī)臺設(shè)定為執(zhí)行次一制程步驟的保留機(jī)臺的程序。保留機(jī)臺系統(tǒng)200包含生產(chǎn)線C204及生產(chǎn)線D206，其用以處理在制品批次，其對應(yīng)在制品批次編號1(202)。其中，生產(chǎn)線C204包含4個(gè)機(jī)臺機(jī)臺CA-1、機(jī)臺CA-2、機(jī)臺CA-3、及機(jī)臺CA-4，且每一上述機(jī)臺均可用以執(zhí)行一制程步驟2以處理在制品批次編號1(202)的在制品批次。其中，生產(chǎn)線D206包含4個(gè)機(jī)臺機(jī)臺DA-1、機(jī)臺DA-2、機(jī)臺DA-3、及機(jī)臺DA-4，且每一上述機(jī)臺均可用以執(zhí)行一制程步驟2以處理在制品批次編號1(202)的在制品批次。
在制品批次編號1(202)的在制品批次是在生產(chǎn)線C204進(jìn)行制程步驟1的處理，其是稱之為目前生產(chǎn)線，由一目前制造執(zhí)行系統(tǒng)C控制之。負(fù)責(zé)生產(chǎn)線C204的作業(yè)人員由生產(chǎn)線C204的計(jì)算機(jī)裝置106中的紀(jì)錄得知，在制品批次編號1(202)的在制品批次將要完成制程步驟1的處理，而可以準(zhǔn)備進(jìn)行制程步驟2的處理。
而且，計(jì)算機(jī)裝置106亦顯示，有8個(gè)機(jī)臺具有執(zhí)行制程步驟2的制程能力，亦即生產(chǎn)線C204的4個(gè)機(jī)臺(機(jī)臺CA-1、CA-2、CA-3、及CA-4)以及生產(chǎn)線D206的4個(gè)機(jī)臺(DA-1、DA-2、DA-3、及DA-4)。繼之，需確認(rèn)上述8個(gè)機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)，以決定是否將在制品批次編號1(202)的在制品批次由生產(chǎn)線C204轉(zhuǎn)移到生產(chǎn)線D206進(jìn)行處理。
當(dāng)生產(chǎn)線C204的作業(yè)人員與生產(chǎn)線D206的作業(yè)人員溝通并確認(rèn)后，即藉由計(jì)算機(jī)裝置106將該在制品批次指定由生產(chǎn)線D206的機(jī)臺處理之。此時(shí)，數(shù)據(jù)庫104記錄了該在制品批次及該機(jī)臺的保留狀態(tài)。當(dāng)在制品批次編號1(202)的在制品批次由生產(chǎn)線C204轉(zhuǎn)移到生產(chǎn)線D206進(jìn)行處理時(shí)，在制品批次可稱之為備援處理批次，其由生產(chǎn)線D206進(jìn)行備援制造處理。
藉由計(jì)算機(jī)裝置106所做成的保留機(jī)臺記錄，提供備援制造處理的生產(chǎn)線D206將會顯示備援處理批次的狀態(tài)。
當(dāng)在制品批次編號1(202)的在制品批次在生產(chǎn)線D206完成制程步驟2的處理時(shí)，其是預(yù)設(shè)由生產(chǎn)線D206中執(zhí)行次一制程步驟的機(jī)臺處理之，其是依據(jù)計(jì)算機(jī)裝置106記錄的機(jī)臺編號為之。當(dāng)制程步驟2完成時(shí)，計(jì)算機(jī)裝置106即通知生產(chǎn)線C204的作業(yè)人員該在制品批次完成處理的訊息，并通知該作業(yè)人員該在制品批次的次一制程步驟將由生產(chǎn)線C204的機(jī)臺D-O-1、機(jī)臺D-O-2、及機(jī)臺D-O-3中之一者處理。
繼之，生產(chǎn)線C204的作業(yè)人員確認(rèn)用以執(zhí)行次一制程步驟的機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)。計(jì)算機(jī)裝置106確認(rèn)預(yù)設(shè)生產(chǎn)線D206有3個(gè)機(jī)臺(機(jī)臺D-O-1、機(jī)臺D-O-2、及機(jī)臺D-O-3)可用以進(jìn)行次一制程步驟，而生產(chǎn)線C204有4個(gè)機(jī)臺(機(jī)臺C-O-1、機(jī)臺C-O-2、機(jī)臺C-O-3、及機(jī)臺C-O-4)可用以進(jìn)行次一制程步驟。確認(rèn)過上述機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)后，該作業(yè)人員可以選擇依據(jù)生產(chǎn)線D206的該預(yù)設(shè)機(jī)臺進(jìn)行處理，或是將生產(chǎn)線C204的機(jī)臺進(jìn)行次一制程步驟的處理。上述圖2中所述的程序，是可以將一個(gè)以上制程步驟依據(jù)一既定順序合并處理之。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求范圍所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一第一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至一第二生產(chǎn)線進(jìn)行處理，其中該第一生產(chǎn)線與該第二生產(chǎn)線分別由一第一制造執(zhí)行系統(tǒng)及一第二制造執(zhí)行系統(tǒng)控制，其包括一數(shù)據(jù)庫，用以儲存一在制品批次編號及該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)編號、該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)規(guī)則及與該在制品批次編號相關(guān)的制造授受數(shù)據(jù)，其中上述數(shù)據(jù)是提供該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)及該第二制造執(zhí)行系統(tǒng)之用；以及一第一計(jì)算機(jī)裝置，其是供該第一生產(chǎn)線之用，用以連結(jié)該第一生產(chǎn)線、該數(shù)據(jù)庫及該第二制造執(zhí)行系統(tǒng)，使得能夠交換數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其中該數(shù)據(jù)庫所記錄的該制造授受數(shù)據(jù)是由該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)及該第二制造執(zhí)行系統(tǒng)而來，且該制造授受數(shù)據(jù)符合該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)規(guī)則。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其中該制造授受數(shù)據(jù)符合該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)規(guī)則，其包含在制品運(yùn)入/運(yùn)出數(shù)據(jù)、生產(chǎn)數(shù)據(jù)、以及檢測數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，進(jìn)一步包含一第二計(jì)算機(jī)裝置，其是供該第一生產(chǎn)線之用，用以將該第二制造系統(tǒng)的制造授受數(shù)據(jù)傳送至該數(shù)據(jù)庫。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其中該數(shù)據(jù)庫進(jìn)一步儲存一保留機(jī)臺數(shù)據(jù)，其中該保留機(jī)臺屬于該第二生產(chǎn)線，用以將該在制品批次送至該第二生產(chǎn)線的該保留機(jī)臺進(jìn)行次一制程步驟的處理。
6.一種整合的制造執(zhí)行方法，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一第一生產(chǎn)線進(jìn)行一第一制程步驟的處理，其中該第一生產(chǎn)線由一第一制造執(zhí)行系統(tǒng)控制，其包括確認(rèn)多個(gè)機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)，其中該多個(gè)機(jī)臺是可用于執(zhí)行一第二制程步驟以處理該在制品批次；于該多個(gè)機(jī)臺中選定一機(jī)臺作為保留機(jī)臺，其中該選定的機(jī)臺屬于一第二生產(chǎn)線；將該在制品批次由該第一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至該第二生產(chǎn)線；執(zhí)行該第二制程步驟，其是由該第二生產(chǎn)線的該保留機(jī)臺為之；以及收集生產(chǎn)數(shù)據(jù)以及檢測數(shù)據(jù)，其是與該第一生產(chǎn)線的制造執(zhí)行規(guī)則對應(yīng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的整合的制造執(zhí)行方法，進(jìn)一步將該生產(chǎn)數(shù)據(jù)及該檢測數(shù)據(jù)儲存于該第一制造執(zhí)行系統(tǒng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的整合的制造執(zhí)行方法，進(jìn)一步設(shè)定執(zhí)行該第二制程步驟的機(jī)臺為該保留機(jī)臺。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的整合的制造執(zhí)行方法，進(jìn)一步包含設(shè)定執(zhí)行該第二制程步驟的機(jī)臺為該保留機(jī)臺；確認(rèn)可用于執(zhí)行一第二制程步驟以處理該在制品批次的所有機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)；以及于一第三生產(chǎn)線機(jī)臺中選定一機(jī)臺作為保留機(jī)臺。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的整合的制造執(zhí)行方法，進(jìn)一步包含設(shè)定執(zhí)行該第二制程步驟的機(jī)臺為該保留機(jī)臺；確認(rèn)可用于執(zhí)行一第二制程步驟以處理該在制品批次的所有機(jī)臺的產(chǎn)能使用狀態(tài)；以及于該第一生產(chǎn)線機(jī)臺中選定一機(jī)臺作為保留機(jī)臺。
全文摘要
一種整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)，其用以整合一在制品批次的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，其中該在制品批次由一生產(chǎn)線轉(zhuǎn)送至其它生產(chǎn)線進(jìn)行處理，本發(fā)明亦提供一保留生產(chǎn)機(jī)臺的方法，其是藉由一整合的制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行生產(chǎn)機(jī)臺產(chǎn)能使用的確認(rèn)。
文檔編號G06Q10/00GK1606018SQ200410080578
公開日2005年4月13日 申請日期2004年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月8日
發(fā)明者沈美吟 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司