專利名稱：測試程式除錯裝置及半導體測試裝置及測試程式除錯方法及測試方法
技術領域：
本發(fā)明關于一種測試程式除錯裝置、半導體測試裝置、測試程式除錯方法及測試方法。特別是本發(fā)明關于一種虛擬執(zhí)行半導體測試裝置用的測試程式并進行測試程式的除錯的測試程式除錯裝置及測試程式除錯方法，以及藉由執(zhí)行測試程式而對被測試元件進行測試的半導體測試裝置及測試方法。
背景技術：
半導體測試裝置藉由執(zhí)行半導體測試裝置用的測試程式，向被測試元件供給測試圖案，并進行被測試元件的各種測試。該測試程式由用于規(guī)定測試條件、測試圖案的生成、測試圖案的比較等龐大的指令構成，并對應半導體測試裝置的種類及被測試元件的種類而制作或變更。而且，在測試程式制作或變更時，必須對該測試程式是否正常動作進行驗證。因此，習知技術是藉由在利用工作站等通用電腦模擬半導體測試裝置及被測試元件的測試程式除錯裝置中，執(zhí)行測試程式，而進行測試程式的驗證(例如日本專利早期公開的特開2001-51025號公報)。
但是，如上所述，測試程式由龐大的指令構成，所以測試程式的執(zhí)行需要大量的時間。而且，習知的測試程式除錯裝置不能只執(zhí)行測試程式的部分指令，即使在只對復數(shù)個測試專案中的部分測試專案的指令進行驗證，和只對用于生成復數(shù)個測試圖案中的部分測試圖案的指令進行驗證的情況下，也必須執(zhí)行測試程式的所有指令。因此，存在需要在測試程式的驗證上花費大量時間的課題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種能夠解決上述課題的測試裝置。該目的由權利要求范圍中的獨立項所記述的特征的組合實現(xiàn)。而且，從屬項規(guī)定本發(fā)明的更加有利的具體例子。
本發(fā)明的第1形態(tài)為進行半導體測試裝置用的測試程式的除錯的測試程式除錯裝置，包括模擬被測試元件的被測試元件模擬設備、執(zhí)行測試程式并模擬半導體測試裝置，且向被測試元件模擬設備供給測試圖案的半導體測試裝置模擬設備。
半導體測試裝置模擬設備具有用于獲取測試程式中應驗證的指令的范圍即驗證范圍的驗證范圍獲取部、使測試程式中的驗證范圍以外的范圍即非驗證范圍中所包含的非驗證范圍的指令中的，用于進行被測試元件模擬設備的設定的設定指令以外的非設定指令簡單化的指令簡單化部、用于執(zhí)行驗證范圍中所包含的驗證范圍指令，設定指令及利用指令簡單化部被簡單化的非設定指令的指令執(zhí)行部。
也可使非設定指令包括作為非設定指令，用于進行測試圖案的生成的圖案生成指令，及對測試圖案，將從被測試元件模擬設備所輸出的輸出圖案與期待值進行比較的圖案比較指令；指令簡單化部將圖案生成指令及圖案比較指令簡單化；指令執(zhí)行部執(zhí)行驗證范圍指令及設定指令，以及被簡單化的圖案生成指令及圖案比較指令。
也可使指令簡單化部將非設定指令作為不利用指令執(zhí)行部執(zhí)行的指令而設定；指令執(zhí)行部執(zhí)行驗證范圍指令及設定指令，而不執(zhí)行非設定指令。
本發(fā)明的第2形態(tài)為進行半導體測試裝置用的測試程式的除錯的測試程式除錯裝置，包括模擬被測試元件的被測試元件模擬設備、執(zhí)行測試程式并模擬半導體測試裝置，且與被測試元件模擬設備進行測試圖案的收授的半導體測試裝置模擬設備。
半導體測試裝置模擬設備獲取測試程式中應驗證的指令的范圍即驗證范圍；被測試元件模擬設備使根據(jù)測試程式中的驗證范圍以外的范圍即非驗證范圍所包含的非驗證范圍指令中的，用于進行被測試元件模擬設備設定的設定指令以外的非設定指令的模擬簡單化并執(zhí)行。
也可使被測試元件模擬設備預先保持對從半導體測試裝置模擬設備所供給的測試圖案的輸出圖案，并對根據(jù)非設定指令的來自半導體測試裝置模擬設備的測試圖案，輸出預先所保持的輸出圖案。
本發(fā)明的第3形態(tài)為藉由執(zhí)行測試程式而對被測試元件進行測試的半導體測試裝置，包括獲取測試程式中的被測試元件的測試應使用的指令范圍即測試范圍的測試范圍獲取部、使測試程式中的測試范圍以外的范圍即非測試范圍所包含的非測試范圍指令中的，用于進行被測試元件設定的設定指令以外的非設定指令簡單化的指令簡單化部、執(zhí)行測試范圍所包含的測試范圍指令，設定指令及由指令簡單化部被簡單化的非設定指令的指令執(zhí)行部。
也可使非設定指令包括作為非設定指令，用于進行測試圖案的生成的圖案生成指令，及對測試圖案，將從被測試元件所輸出的測試圖案與期待值進行比較的圖案比較指令；指令簡單化部將圖案生成指令及圖案比較指令簡單化；指令執(zhí)行部執(zhí)行測試范圍指令及設定指令，以及被簡單化的圖案生成指令及圖案比較指令。
本發(fā)明的第4形態(tài)為利用測試程式除錯裝置的測試程式除錯方法，其中該測試程式除錯裝置包括模擬被測試元件的被測試元件模擬設備、執(zhí)行半導體測試裝置用的測試程式并模擬半導體測試裝置，且對被測試元件模擬設備供給測試圖案的半導體測試裝置模擬設備；包括獲取測試程式中應驗證的指令的范圍即驗證范圍的階段、使測試程式中的驗證范圍以外的范圍即非驗證范圍所包含的非驗證范圍指令中的，用于進行被測試元件模擬設備的設定的設定指令以外的非設定指令簡單化的階段、執(zhí)行驗證范圍中所包含的驗證范圍指令，設定指令及被簡單化的非設定指令的階段。
本發(fā)明的第5形態(tài)為藉由執(zhí)行測試程式而對被測試元件進行測試的測試方法，包括獲取測試程式中應該用于被測試元件的測試的指令的范圍即測試范圍的階段、使測試程式中的測試范圍以外的范圍即非測試范圍所包含的非測試范圍指令中的，用于進行被測試元件的設定的設定指令以外的非設定指令簡單化的階段、執(zhí)行測試范圍中所包含的測試范圍指令，設定指令及被簡單化的非設定指令的階段。
另外，上述發(fā)明的概要并未列舉本發(fā)明的所有必要特征，這些特征群的子集也可又形成發(fā)明。
如利用本發(fā)明，可提供一種能夠在短時間內(nèi)對測試程式中所包含的指令正確地進行驗證的測試程式除錯裝置及測試程式除錯方法，而且能夠提供一種有選擇地對測試程式中所包含的所需的測試專案進行測試的半導體測試裝置及測試方法。


圖1所示為測試程式除錯裝置100的構成的一個例子。
圖2所示為半導體測試裝置200的構成的一個例子。
圖3所示為測試程式110及圖案程式300的構成的一個例子。
100測試程式除錯裝置102半導體測試裝置模擬設備104被測試元件模擬設備106模擬器控制部108測試模組模擬器110測試程式112應用程式114語言解析執(zhí)行部116測試器程式庫118測試器匯流排模擬器120驗證范圍獲取部122指令簡單化部
124虛擬測試器匯流排126虛擬寄存器128虛擬記憶體130虛擬測試執(zhí)行部136測試結(jié)果解析判定部138輸出圖案表格200半導體測試裝置202被測試元件204測試模組控制部206測試模組210應用程式212語言解析執(zhí)行部214測試器程式庫216測試器匯流排驅(qū)動器218測試范圍獲取部220指令簡單化部222測試器匯流排224寄存器226記憶體228測試執(zhí)行部300圖案程式302測試號碼304測試條件指令集306測定指令集308設定指令310圖案生成指令312圖案比較指令314測試圖案的位址316圖案資料具體實施方式
下面，通過發(fā)明的實施形態(tài)對本發(fā)明進行說明，但是以下的實施形態(tài)并不限定關于權利要求的發(fā)明，而且實施形態(tài)中所說明的特征的所有組合也未必是發(fā)明的解決方法所必須的。
圖1為關于本發(fā)明的一實施形態(tài)的測試程式除錯裝置100的構成的一個例子。測試程式除錯裝置100藉由利用工作站等通用電腦被實現(xiàn)，并模擬半導體測試裝置200及被測試元件202的動作，而驗證測試程式110是否正常地動作并進行除錯。這樣，由于測試程式除錯裝置100為模擬半導體測試裝置200及被測試元件202的裝置，所以首先參照圖2，對實際的半導體測試裝置200的構成及動作進行說明。
圖2為關于本發(fā)明的一實施形態(tài)的半導體測試裝置200的構成的一個例子。半導體測試裝置200包括與被測試元件202連接并進行被測試元件202和測試圖案的收授的測試模組206、對測試模組206進行控制的測試模組控制部204、將測試模組控制部204和測試模組206進行連接的測試器匯流排222。測試模組控制部204具有測試程式110、應用程式210、語言解析執(zhí)行部212、測試器程式庫214及測試器匯流排驅(qū)動器216。而且，應用程式210作為測試范圍獲取部218及指令簡單化部220發(fā)揮作用。而且，測試模組206具有寄存器224、記憶體226及測試執(zhí)行部228。
測試程式110記述對被測試元件202所進行的測試的內(nèi)容。語言解析執(zhí)行部212進行測試程式110的語法解析，并依據(jù)測試程式110，使半導體測試裝置200進行動作。應用程式210與測試程式110及語言解析執(zhí)行部212協(xié)同動作，進行向被測試元件202的測試圖案的施加控制等。測試程度庫214將利用語言解析執(zhí)行部212進行語法解析的測試程式110的指令轉(zhuǎn)換為寄存器級的指令，并進行圖案資料的生成和測試模組206的設定，且對測試模組206進行測定動作的指示。然后，測試器匯流排驅(qū)動器216通過測試器匯流排222，將由測試器程式庫214所生成的圖案資料轉(zhuǎn)送到寄存器224。
寄存器224存儲由測試器程式庫214所生成的圖案資料，并將所存儲的圖案資料直接或通過記憶體226供給到測試執(zhí)行部228。然后，測試執(zhí)行部228根據(jù)寄存器224或記憶體226存儲的圖案資料，進行被測試元件202的測試，并將測試結(jié)果存儲到寄存器224或記憶體226中。然后，測試器匯流排驅(qū)動器216將寄存器224或記憶體226中所存儲的測試結(jié)果，通過測試器匯流排222取入到測試器程式庫214中。然后，應用程式210根據(jù)被取入到測試器程式庫214中的測試結(jié)果，進行被測試元件202的好壞判定、被測試元件202的特性解析等。
圖1所示的測試程式除錯裝置100模擬上述的半導體測試裝置200及被測試元件202的動作，驗證測試程式110是否正常地動作并進行除錯。下面，參照圖1對測試程式除錯裝置100的構成及動作進行說明。
測試程式除錯裝置100具有模擬被測試元件202的被測試元件模擬設備104、執(zhí)行測試程式110并模擬半導體測試裝置200，向被測試元件202供給測試圖案的半導體測試裝置模擬設備102。半導體測試裝置模擬設備102具有將測試模組206進行仿真的測試模組模擬器108、對測試模組模擬器108進行控制的模擬器控制部106、將模擬器控制部106和測試模組模擬器108進行虛擬連接的虛擬測試器匯流排124、對被測試元件模擬設備104的測試結(jié)果進行解析的測試結(jié)果解析判定部136。
模擬器控制部106包括測試程式110、應用程式112、語言解析執(zhí)行部114、測試器程式庫116及測試器匯流排模擬器118。而且，應用程式112作為驗證范圍獲取部120及指令簡單化部122發(fā)揮作用。而且，測試模組模擬器108包括虛擬寄存器126、虛擬記憶體128及虛擬測試執(zhí)行部130。
模擬器控制部106與圖2所示的測試模組控制部204進行相同的動作，并控制以軟體實現(xiàn)圖2所示的測試模組206的動作的測試模組模擬器108。測試程式110是移植圖2所示的測試程式110的，為利用測試程式除錯裝置100的除錯的物件。語言解析執(zhí)行部114進行測試程式110的語法解析，并依據(jù)測試程式110，使半導體測試裝置模擬設備102動作。應用程式112與測試程式110及語言解析執(zhí)行部114協(xié)同動作，并進行向被測試元件模擬設備104的測試圖案的施加控制等。測試程式116為本發(fā)明的指令執(zhí)行部的一個例子，將利用語言解析執(zhí)行部114而進行語法解析的測試程式110的指令轉(zhuǎn)換為寄存器級別的指令，并進行圖案資料的生成和測試模組模擬器108的設定，且對測試模組模擬器108進行測定動作的指示。而且，測試器匯流排模擬器118通過虛擬測試器匯流排124，將由測試器程式庫116所生成的圖案資料轉(zhuǎn)送到虛擬寄存器126。
虛擬寄存器126將利用測試器程式庫116所生成的圖案資料進行存儲，并將所存儲的圖案資料直接或通過虛擬記憶體128供給到虛擬測試執(zhí)行部130。然后，虛擬測試執(zhí)行部130根據(jù)虛擬寄存器126或虛擬記憶體128存儲的圖案資料，進行被測試元件模擬設備104的虛擬測試，并將虛擬測試結(jié)果存儲到虛擬寄存器126或虛擬記憶體128中。然后，測試器匯流排模擬器118將虛擬寄存器126或虛擬記憶體128中所存儲的虛擬測試結(jié)果，通過虛擬測試器匯流排124取入到測試器程式庫116中。然后，測試結(jié)果解析判定部136對測試器程式庫116、虛擬寄存器126或虛擬記憶體128中所存儲的虛擬測試結(jié)果，和預先所生成的虛擬測試結(jié)果的期待值進行比較研究。然后，測試結(jié)果解析判定部136對測試程式110是否正常動作進行驗證，并將驗證結(jié)果通知用戶。例如，當虛擬測試結(jié)果和期待值不同時，將形成虛擬測試結(jié)果的起因的測試程式110的行號碼等在顯示器上進行顯示，或利用印表機進行打印。
圖3所示為測試程式110及圖案程式300的構成的一個例子。測試程式110在每測試專案的識別字，即測試號碼302，具有用于規(guī)定測試條件的測試條件指令集304，及用于測定來自被測試元件202或測試模組模擬器108的輸出圖案的測定指令集306。測定指令集306包括用于進行測試模組206或測試模組模擬器108的設定的指令即設定指令308、用于進行測試圖案的生成的指令即圖案生成指令310、將從被測試元件202或被測試元件模擬設備104對測試圖案所輸出的輸出圖案，與預先所生成的期待值進行比較的圖案比較指令312。設定指令308為例如寄存器值的設定。而且，圖案程式300由圖案生成指令310調(diào)出，并具有用于生成測試圖案的資訊。具體地說，圖案程式300與測試圖案的位址314形成對應，保持用于表示測試圖案的圖案資料316。
圖1所示的測試程式除錯裝置100，藉由依次執(zhí)行圖3所示的測試程式110，而進行測試程式110的驗證，但是用戶也可選擇在測試程式110中應驗證的指令的范圍，或在圖案程式300中應驗證的圖案資料的范圍，并對所選擇的測試程式110的部分指令進行驗證。
意即，驗證范圍獲取部120根據(jù)用戶的指示輸入，獲取測試程式110中應驗證的指令的范圍即驗證范圍。例如，當測試程式110中的測試號碼302或測試號碼302的范圍由用戶指定時，驗證范圍獲取部120獲取測試號碼302或測試號碼302的范圍作為驗證范圍。而且，驗證范圍獲取部120也可根據(jù)用戶的指示輸入，獲取圖案程式300中應驗證的測試圖案的范圍作為驗證范圍。例如，當圖案程式300中的測試圖案的位址314或測試圖案的地址314的范圍由用戶指定時，驗證范圍獲取部120也可獲取被指定的測試圖案的位址314的測試圖案，或被指定的測試圖案的位址314的范圍的測試圖案作為驗證范圍。而且，當圖案程式300中的測試圖案的地址314及計數(shù)的范圍由用戶指定時，驗證范圍獲取部120也可從被指定的測試圖案的地址314，獲取被指定的計數(shù)范圍的測試圖案作為驗證范圍。另外，當測試圖案的位址314、測試圖案的位址的范圍，以及測試圖案的地址314及計數(shù)的范圍中的任一個都未被指定時，驗證范圍獲取部120也可獲取圖案程式300所有的測試圖案作為驗證范圍。
然后，指令簡單化部122使測試程式110中的，驗證范圍獲取部120所獲取的驗證范圍以外的范圍即非驗證范圍所包含的指令即非驗證范圍指令中，用于進行被測試元件模擬設備104的設定的指令，即設定指令308以外的指令，即非設定指令簡單化。例如，指令簡單化部122使非設定指令即圖案生成指令310及圖案比較指令312簡單化，并轉(zhuǎn)換為簡易的指令。例如，指令簡單化部122檢測出被設于圖案生成指令310的前部的測試圖案的執(zhí)行指令，并在包含有測試圖案的執(zhí)行指令的測試專案中，使較測試圖案的執(zhí)行指令處于后部的指令簡單化。
然后，測試器程式庫116執(zhí)行驗證范圍獲取部120所獲取的驗證范圍中包含的指令即驗證范圍指令，非驗證范圍指令中的設定指令308，以及非驗證范圍指令中由指令簡單化部122被簡單化的非設定指令，并使測試模組模擬器108動作。而且，作為非設定指令的簡單化的其他例子，指令簡單化部122也可將非設定指令設定為不由測試器程式庫116被執(zhí)行的指令。而且，測試器程式庫116也可執(zhí)行驗證范圍指令及設定指令，而不執(zhí)行非設定指令。
如上所述，藉由使從用戶所獲取的驗證范圍以外的指令簡單化，可在短時間內(nèi)對用戶所指定的驗證范圍進行驗證。另外，即使為在從用戶所獲取的驗證范圍以外的指令中，因不使被測試元件模擬設備104的寄存器值等的設定指令簡單化進行，而將測試程式110的部分指令作為驗證范圍的情況下，也可利用與驗證測試程式110的全部的場合相同的環(huán)境，使被測試元件模擬設備104進行動作，所以能夠正確地對測試程式110進行驗證。
而且，在其他例子中，也可取代利用指令簡單化部122的非設定指令的簡單化，而使被測試元件模擬設備104將基于非設定指令的模擬簡單化執(zhí)行。具體地說，被測試元件模擬設備104具有將對從半導體測試裝置模擬設備102所供給的測試圖案的輸出圖案，預先進行保持的輸出圖案表格138。而且，被測試元件模擬設備104對來自根據(jù)非設定指令的半導體測試裝置模擬設備102的測試圖案，輸出與該測試圖案形成對應并預先進行保持的輸出圖案。藉此，能夠減少利用被測試元件模擬設備104的模擬的時間，并可迅速地對驗證范圍進行驗證。
而且，圖2所示的半導體測試裝置200雖然藉由依次執(zhí)行圖3所示的測試程式110，可進行被測試元件202的測試，但用戶也可選擇在測試程式110中應測試的指令的范圍，或在圖案程式300中應測試的圖案資料的范圍，并對所選擇的測試程式110的一部分進行測試。
意即，測試范圍獲取部218根據(jù)用戶的輸入指示，獲取測試程式110中應進行測試的指令的范圍即測試范圍。例如，當測試程式110中的測試號碼302或測試號碼302的范圍由用戶指定時，測試范圍獲取部218獲取測試號碼302或測試號碼302的范圍作為試驗范圍。而且，測試范圍獲取部218也可根據(jù)用戶的指示輸入，獲取圖案程式300中應測試的測試圖案的范圍作為測試范圍。例如，當圖案程式300中的測試圖案的位址314或測試圖案的地址314的范圍由用戶指定時，測試范圍獲取部218也可獲取被指定的測試圖案的位址314的測試圖案，或被指定的測試圖案的位址314的范圍的測試圖案作為測試范圍。而且，當圖案程式300中的測試圖案的地址314及計數(shù)的范圍由用戶指定時，測試范圍獲取部218也可從被指定的測試圖案的地址314，獲取被指定的計數(shù)范圍的測試圖案作為測試范圍。另外，當測試圖案的位址314、測試圖案的位址的范圍，以及測試圖案的地址314及計數(shù)的范圍中的任一個都未被指定時，測試范圍獲取部218也可獲取圖案程式300所有的測試圖案作為測試范圍。
然后，指令簡單化部220使測試程式110中的，測試范圍獲取部218所獲取的測試范圍以外的范圍即非測試范圍所包含的指令即非測試范圍指令中，用于進行被測試元件202的設定的指令即設定指令308以外的指令，即非設定指令簡單化。例如，指令簡單化部220使非設定指令即圖案生成指令310及圖案比較指令312簡單化，并轉(zhuǎn)換為簡易的指令。然后，測試器程式庫214執(zhí)行測試范圍獲取部218所獲取的測試范圍中包含的指令即測試范圍指令，非測試范圍指令中的設定指令308，以及非測試范圍指令中由指令簡單化部220被簡單化的非設定指令，并使測試模組206動作。而且，作為非設定指令的簡單化的其他例子，指令簡單化部220也可將非設定指令設定為不由測試器程式庫214被執(zhí)行的指令。而且，測試器程式庫214也可執(zhí)行測試范圍指令及設定指令，而不執(zhí)行非設定指令。
如上所述，藉由使從用戶所獲取的測試范圍以外的指令簡單化，可在短時間內(nèi)對用戶所指定的測試范圍進行測試。另外，即使為在從用戶所獲取的測試范圍以外的指令中，因不使被測試元件202的寄存器值等的設定指令簡單化進行，而將測試程式110的一部分作為測試范圍的情況下，也可利用與對測試程式110的全部進行測試的場合相同的環(huán)境，使被測試元件202進行動作，所以能夠正確地對測試程式110進行測試。
以上，利用實施形態(tài)對本發(fā)明進行了說明，但本發(fā)明的技術范圍并不限定于上述實施形態(tài)所記述的范圍。在上述實施形態(tài)上，可加以多樣的變更或改良。由權利要求范圍的記述可知，這種加以變更或改良的形態(tài)也可包含于本發(fā)明的技術范圍中。
由上述說明可知，如利用本發(fā)明，可提供一種能夠在短時間內(nèi)正確地對測試程式中包含的所需指令進行驗證的測試程式除錯裝置及測試程式除錯方法，而且還提供一種能夠有選擇地對測試程式中包含的所需專案進行測試的半導體測試裝置及測試方法。
權利要求
1.一種測試程式除錯裝置，為對用于一半導體測試裝置的一測試程式進行除錯的測試程式除錯裝置，包括一被測試元件模擬設備，用以模擬一被測試元件；以及一半導體測試裝置模擬設備，執(zhí)行該測試程式并模擬該半導體測試裝置，且向該被測試元件模擬設備供給一測試圖案，包括一驗證范圍獲取部，用于獲取該測試程式中驗證的指令的范圍，即一驗證范圍；一指令簡單化部，使該測試程式中的該驗證范圍以外的范圍即一非驗證范圍中所包含的一非驗證范圍指令中，用于進行該被測試元件模擬設備的設定的一設定指令以外的一非設定指令簡單化；以及一指令執(zhí)行部，用于執(zhí)行該驗證范圍中所包含的一驗證范圍指令，該設定指令及利用該指令簡單化部被簡單化的該非設定指令。
2.根據(jù)權利要求1所述的測試程式除錯裝置，更包括該非設定指令包含用于進行該測試圖案的生成的一圖案生成指令，及對該測試圖案，將從該被測試元件模擬設備所輸出的輸出圖案與期待值進行比較的一圖案比較指令；該指令簡單化部將該圖案生成指令及該圖案比較指令簡單化；以及該指令執(zhí)行部執(zhí)行該驗證范圍指令及該設定指令，以及被簡單化的該圖案生成指令及該圖案比較指令。
3.根據(jù)權利要求1所述的測試程式除錯裝置，更包括該指令簡單化部將該非設定指令作為不利用該指令執(zhí)行部執(zhí)行的指令而設定；以及該指令執(zhí)行部執(zhí)行該驗證范圍指令及該設定指令，而不執(zhí)行該非設定指令。
4.一種測試程式除錯裝置，為進行一半導體測試裝置用的一測試程式的除錯的測試程式除錯裝置，該測試程式除錯裝置包括一被測試元件模擬設備，用以模擬一被測試元件；以及一半導體測試裝置模擬設備，執(zhí)行該測試程式并模擬該半導體測試裝置，且與該被測試元件模擬設備進行一測試圖案的收授；其中該半導體測試裝置模擬設備獲取該測試程式中驗證的指令的范圍，即一驗證范圍；以及該被測試元件模擬設備使根據(jù)該測試程式中的該驗證范圍以外的范圍即一非驗證范圍所包含的一非驗證范圍指令中，用于進行該被測試元件模擬設備設定的一設定指令以外的一非設定指令的模擬簡單化并執(zhí)行。
5.根據(jù)權利要求4所述的測試程式除錯裝置，更包括該被測試元件模擬設備預先保持對從該半導體測試裝置模擬設備所供給的該測試圖案的一輸出圖案，并對根據(jù)該非設定指令的來自該半導體測試裝置模擬設備的該測試圖案，輸出預先所保持的該輸出圖案。
6.一種半導體測試裝置，為藉由執(zhí)行一測試程式而對一被測試元件進行測試的半導體測試裝置，該半導體測試裝置包括一測試范圍獲取部，獲取該測試程式中的該被測試元件的測試使用的指令范圍，即一測試范圍；一指令簡單化部，使該測試程式中的該測試范圍以外的范圍即一非測試范圍所包含的一非測試范圍指令中，用于進行該被測試元件設定的一設定指令以外的一非設定指令簡單化；以及一指令執(zhí)行部，執(zhí)行該測試范圍所包含的一測試范圍指令，該設定指令及由該指令簡單化部被簡單化的該非設定指令。
7.根據(jù)權利要求6所述的半導體測試裝置，更包括該非設定指令包含用于進行該測試圖案的生成的一圖案生成指令，及對該測試圖案，將從該被測試元件所輸出的一測試圖案與期待值進行比較的一圖案比較指令；該指令簡單化部將該圖案生成指令及該圖案比較指令簡單化；以及該指令執(zhí)行部執(zhí)行該測試范圍指令及該設定指令，以及該被簡單化的該圖案生成指令及該圖案比較指令。
8.一種測試程式除錯方法，為利用一測試程式除錯裝置的測試程式除錯方法，其中該測試程式除錯裝置具有模擬一被測試元件的一被測試元件模擬設備、執(zhí)行一半導體測試裝置用的該測試程式并模擬該半導體測試裝置，且對該被測試元件模擬設備供給一測試圖案的一半導體測試裝置模擬設備，該測試程式除錯方法包括獲取該測試程式中驗證的指令的范圍即一驗證范圍的階段；使該測試程式中的該驗證范圍以外的范圍即一非驗證范圍所包含的一非驗證范圍指令中，用于進行該被測試元件模擬設備的設定的一設定指令以外的一非設定指令簡單化的階段；以及執(zhí)行該驗證范圍中所包含的一驗證范圍指令，該設定指令及被簡單化的該非設定指令的階段。
9.一種測試方法，為藉由執(zhí)行一測試程式而對一被測試元件進行測試的測試方法，該測試方法包括獲取該測試程式中用于該被測試元件的測試的指令的范圍即一測試范圍的階段；使該測試程式中的該測試范圍以外的范圍即非測試范圍所包含的非測試范圍指令中的，用于進行該被測試元件的設定的一設定指令以外的一非設定指令簡單化的階段；以及執(zhí)行該測試范圍中所包含的一測試范圍指令，該設定指令及被簡單化的該非設定指令的階段。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測試程式除錯裝置、半導體測試裝置、測試程式除錯方法及測試方法。本發(fā)明的測試程式除錯裝置包括被測試元件模擬設備及半導體測試裝置模擬設備。半導體測試裝置模擬設備具有驗證范圍獲取部、指令簡單化部與指令執(zhí)行部。驗證范圍獲取部是用于獲取測試程式中應驗證的指令的范圍，亦即驗證范圍。指令簡單化部是將設定指令以外的非設定指令加以簡化，其中設定指令是用來對測試程式中的驗證范圍以外的范圍(即非驗證范圍)中所包含的非驗證范圍的指令，進行被測試元件模擬設備的設定。指令執(zhí)行部是用于執(zhí)行驗證范圍中所包含的驗證范圍指令、設定指令以及被指令簡單化部所簡化的非設定指令。
文檔編號G06F11/263GK1864143SQ20048002887
公開日2006年11月15日 申請日期2004年10月5日 優(yōu)先權日2003年10月7日
發(fā)明者堀光男, 多田秀樹, 片岡孝浩, 關口宏之, 夢川一男 申請人:愛德萬測試株式會社