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數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)及方法

文檔序號(hào):6651687閱讀:6447來源:國(guó)知局
專利名稱:數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域
此發(fā)明是一種半導(dǎo)體數(shù)據(jù)管理技術(shù),特別是一種關(guān)于半導(dǎo)體數(shù)據(jù)歸檔管理的方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)
于半導(dǎo)體制造過程中,數(shù)據(jù)庫(kù)中的文件及記錄的數(shù)目隨時(shí)間逐漸累積。為了維持適當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)庫(kù)或文件大小,必須為文件及記錄作歸檔作業(yè)。然而,這些歸檔后的數(shù)據(jù)并不能讓客戶直接存取??蛻敉ǔ=?jīng)由電話或電子郵件(e-mail)詢問特定的歸檔數(shù)據(jù)。在確認(rèn)客戶擁有存取的權(quán)限后,作業(yè)人員經(jīng)由電子郵件、電話或請(qǐng)求申請(qǐng)通知數(shù)據(jù)管理人員以取得要求的歸檔數(shù)據(jù)。另一方面,當(dāng)客戶沒有足夠的存取權(quán)限時(shí),作業(yè)人員將回復(fù)客戶,其所要求的歸檔數(shù)據(jù)無法提供。當(dāng)數(shù)據(jù)管理人員從歸檔系統(tǒng)中取得請(qǐng)求的歸檔數(shù)據(jù),接著傳遞至作業(yè)人員。最后,作業(yè)人員將請(qǐng)求的歸檔數(shù)據(jù)傳遞至客戶。以傳統(tǒng)方法來取得歸檔數(shù)據(jù)須耗費(fèi)大量人力,并且嚴(yán)重地阻礙效率。有鑒于此,需要一個(gè)半導(dǎo)體數(shù)據(jù)歸檔管理的系統(tǒng)及方法,用以增進(jìn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的為提供一種數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),用以管理數(shù)據(jù)的歸檔,包括一個(gè)儲(chǔ)存裝置用以儲(chǔ)存歸檔數(shù)據(jù)以及至少一個(gè)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。歸檔數(shù)據(jù)包括至少一個(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目,其中,于完成相關(guān)的半導(dǎo)體產(chǎn)品、晶圓或晶圓批次后,將數(shù)據(jù)項(xiàng)目歸檔以產(chǎn)生歸檔數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介相應(yīng)于數(shù)據(jù)項(xiàng)目。一個(gè)處理單元傳遞包括數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的第一網(wǎng)頁至客戶端計(jì)算機(jī),數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目的數(shù)據(jù)識(shí)別碼。數(shù)據(jù)識(shí)別碼相應(yīng)于數(shù)據(jù)項(xiàng)目。從歸檔數(shù)據(jù)中取得數(shù)據(jù)項(xiàng)目以回應(yīng)帶有數(shù)據(jù)識(shí)別碼的數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求,傳遞包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目的第二網(wǎng)頁至客戶端計(jì)算機(jī),并且傳遞數(shù)據(jù)項(xiàng)目至客戶端計(jì)算機(jī)以回應(yīng)帶有數(shù)據(jù)識(shí)別碼的數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求。
處理單元更可產(chǎn)生一個(gè)新歷程記錄,新歷程記錄包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目是否已由一個(gè)使用者賬號(hào)所預(yù)覽或下載的信息,并且儲(chǔ)存新歷程記錄至儲(chǔ)存裝置。處理單元更可傳遞一個(gè)通知至作業(yè)人員,通知中包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目已由一個(gè)使用者賬號(hào)所預(yù)覽或下載的信息。此通知可透過電子郵件(e-mail)或短信傳遞至作業(yè)人員。處理單元更可決定一個(gè)使用者賬號(hào)是否擁有存取數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限,并且據(jù)以傳遞相關(guān)的數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。處理單元更可接收數(shù)據(jù)項(xiàng)目,以及壓縮或封裝數(shù)據(jù)項(xiàng)目至歸檔數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)項(xiàng)目從一個(gè)制造機(jī)臺(tái)、一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system,MES)、一個(gè)管理信息系統(tǒng)(management information system,MIS)或一個(gè)測(cè)試設(shè)備接收而來。
本發(fā)明的另提供一種數(shù)據(jù)歸檔管理方法。此方法傳遞包括數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的第一網(wǎng)頁至客戶端計(jì)算機(jī)。數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目的數(shù)據(jù)識(shí)別碼,并且數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介相應(yīng)于數(shù)據(jù)項(xiàng)目。該方法從歸檔數(shù)據(jù)中取得數(shù)據(jù)項(xiàng)目以回應(yīng)帶有數(shù)據(jù)識(shí)別碼的數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求。歸檔數(shù)據(jù)包括至少一個(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目,其中,于完成相關(guān)的半導(dǎo)體產(chǎn)品、晶圓或晶圓批次后,將數(shù)據(jù)項(xiàng)目歸檔以產(chǎn)生歸檔數(shù)據(jù)。該方法傳遞包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目的第二網(wǎng)頁至客戶端計(jì)算機(jī),并且傳遞數(shù)據(jù)項(xiàng)目至客戶端計(jì)算機(jī)以回應(yīng)帶有數(shù)據(jù)識(shí)別碼的數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求。
在一些情況下,該方法更可產(chǎn)生一個(gè)新歷程記錄,新歷程記錄包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目是否已由一個(gè)使用者賬號(hào)所預(yù)覽或下載的信息,并且儲(chǔ)存新歷程記錄至儲(chǔ)存裝置。該方法更可傳遞一個(gè)通知至作業(yè)人員,通知中包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目已由一個(gè)使用者賬號(hào)所預(yù)覽或下載的信息,并且此通知可透過電子郵件(e-mail)或短信傳遞至作業(yè)人員。該方法更可決定一個(gè)使用者賬號(hào)是否擁有存取數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限,以及當(dāng)偵測(cè)到使用者賬號(hào)擁有存取數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限時(shí),傳遞相應(yīng)于數(shù)據(jù)項(xiàng)目的數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。該方法更可接收數(shù)據(jù)項(xiàng)目,以及壓縮或封裝數(shù)據(jù)項(xiàng)目至歸檔數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)項(xiàng)目可從一個(gè)制造機(jī)臺(tái)、一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system,MES)、一個(gè)管理信息系統(tǒng)(management information system,MIS)或一個(gè)測(cè)試設(shè)備接收而來。
本發(fā)明更揭露一種機(jī)器可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)用以儲(chǔ)存一個(gè)計(jì)算機(jī)程序,該計(jì)算機(jī)程序于執(zhí)行時(shí)可實(shí)施上述所揭露的數(shù)據(jù)歸檔管理的方法。
數(shù)據(jù)項(xiàng)目可于半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生。此外,數(shù)據(jù)項(xiàng)目可為一個(gè)半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)的一個(gè)組態(tài)文件、柵極描述區(qū)域(GridDescription Section,GDS)文件、報(bào)價(jià)單、訂單、出貨單、晶圓接受度測(cè)試(Wafer Acceptance test,WAT)數(shù)據(jù)報(bào)告或電性針測(cè)(circuit probing,CP)測(cè)試報(bào)告??蓪w檔數(shù)據(jù)解壓縮或解封裝來取得數(shù)據(jù)項(xiàng)目。數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求以及數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求可與超文本傳輸通訊協(xié)定(hypertext transfer protocol,HTTP)相容。第一網(wǎng)頁及第二網(wǎng)頁可與超文本標(biāo)記語言(hypertext markuplanguage,HTML)相容。
本發(fā)明所述數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)及方法,實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的歸檔,增進(jìn)了制程效率。


圖1是表示應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)圖;圖2是表示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的計(jì)算機(jī)的硬件環(huán)境架構(gòu)圖;
圖3是為依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)歸檔管理方法的方法流程圖;圖4為描述本發(fā)明實(shí)施例的包括數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的網(wǎng)頁的屏幕畫面示意圖;圖5是表示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)歸檔管理的計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)示意圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是表示應(yīng)用于本發(fā)明實(shí)施例的半導(dǎo)體數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)的系統(tǒng)架構(gòu)圖。半導(dǎo)體數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)20包含一部客戶端計(jì)算機(jī)21、一個(gè)歸檔系統(tǒng)22以及一個(gè)制造機(jī)臺(tái)23,一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system,MES)24、一個(gè)管理信息系統(tǒng)(management information system,MIS)25以及一個(gè)測(cè)試機(jī)臺(tái)26??蛻舳擞?jì)算機(jī)21于一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下運(yùn)作(于較佳的情況下為因特網(wǎng)或企業(yè)外部因特網(wǎng))并使用各樣的邏輯連接方式連接于歸檔系統(tǒng)22。歸檔系統(tǒng)22、制造機(jī)臺(tái)23、制造執(zhí)行系統(tǒng)24、管理信息系統(tǒng)25以及測(cè)試機(jī)臺(tái)26使用各樣的邏輯連接方式連接在一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下運(yùn)作(于較佳的情況下為因特網(wǎng)或企業(yè)外部因特網(wǎng))。本領(lǐng)域技術(shù)人員皆知道,客戶端計(jì)算機(jī)21、歸檔系統(tǒng)22、制造機(jī)臺(tái)23、制造執(zhí)行系統(tǒng)24、管理信息系統(tǒng)25以及測(cè)試機(jī)臺(tái)26可在不同的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下彼此連接,并且通過各式各樣的中繼裝置在不同的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下進(jìn)行通訊,像是路由器(routers)、網(wǎng)關(guān)(gateways)、無線接取點(diǎn)(access points)、基地臺(tái)系統(tǒng)(basestation systems)等等。
圖2是表示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的計(jì)算機(jī)的硬件環(huán)境架構(gòu)圖,提供一可讓本發(fā)明據(jù)以實(shí)施的簡(jiǎn)潔且共通的計(jì)算機(jī)硬件以及作業(yè)環(huán)境描述,在此環(huán)境下,計(jì)算機(jī)21、22、24與25接于可實(shí)施本發(fā)明的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)及方法的實(shí)施例。圖2的硬件環(huán)境包含處理單元11、存儲(chǔ)器12、儲(chǔ)存裝置13、輸入裝置14、輸出裝15和通訊裝置16?;诜都~曼架構(gòu)(Von Neumann architecture),處理單元11通過總線17連接存儲(chǔ)器12、儲(chǔ)存裝置13、輸入裝置14、輸出裝置15及通訊裝置16。其或許存在唯一或多個(gè)處理單元11,致使計(jì)算機(jī)的處理器包含一單一中央處理單元(central-processing unit;CPU)、一微處理單位(MPU)或者是關(guān)連于平行運(yùn)算環(huán)境(parallel processing environment)的多個(gè)處理單元。存儲(chǔ)器12于較佳的情況下為動(dòng)態(tài)存取存儲(chǔ)器(RAM),但也可包含只讀存儲(chǔ)器(ROM)或快閃存儲(chǔ)器(flash ROM)。存儲(chǔ)器12于較佳的情況下儲(chǔ)存可由處理單元11執(zhí)行數(shù)據(jù)歸檔管理功能的程序模塊。一般而言,程序模塊包含常序(routines)、程序(program)、對(duì)象(object)、元件(component)等,用以執(zhí)行特定功能或?qū)嵶魈囟ǔ橄髷?shù)據(jù)型態(tài)(abstract data type)。除此之外,本領(lǐng)域技術(shù)人員也可將本發(fā)明實(shí)施于其他計(jì)算機(jī)系統(tǒng)樣態(tài)(configuration)上,例如,手持式設(shè)備(hand-held devices)、多處理器系統(tǒng)、以微處理器為基礎(chǔ)或可程序化的消費(fèi)性電子產(chǎn)品(microprocessor-based or programmable consumerelectronics)、網(wǎng)絡(luò)計(jì)算機(jī)、迷你計(jì)算機(jī)、大型主機(jī)以及類似的設(shè)備。本發(fā)明亦可以實(shí)施于分散式運(yùn)算環(huán)境,其運(yùn)算工作被一連接于通訊網(wǎng)絡(luò)的遠(yuǎn)端處理設(shè)備所執(zhí)行。在分散式環(huán)境中,程序模塊可基于遠(yuǎn)端存取架構(gòu)同時(shí)存在于本地以及遠(yuǎn)端儲(chǔ)存裝置中,而遠(yuǎn)端存取架構(gòu)包含分散式元件對(duì)象模型(DCOM)、通用對(duì)象請(qǐng)求中介架構(gòu)(CORBA)、網(wǎng)頁元件(Web objects)、網(wǎng)絡(luò)服務(wù)(WebServices)或其他類似架構(gòu)。儲(chǔ)存裝置13可為一硬盤裝置、磁性裝置、光盤裝置、可攜式儲(chǔ)存裝置或非易失存儲(chǔ)器裝置(nonvolatile memory drive)。這些裝置以及其相關(guān)的計(jì)算機(jī)可讀取介質(zhì)(computer-readable medium)提供計(jì)算機(jī)可讀取指令、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、程序模塊、數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介及歸檔數(shù)據(jù)的非易失儲(chǔ)存空間(nonvolatile storage)。處理單元11從存儲(chǔ)器12或經(jīng)由一操作人員透過輸入裝置14接收程序模塊,用以執(zhí)行數(shù)據(jù)歸檔管理功能。儲(chǔ)存裝置13可包括數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)、對(duì)象庫(kù)管理系統(tǒng)、文件管理系統(tǒng)等等,用以儲(chǔ)存各式的數(shù)據(jù)。
客戶端計(jì)算機(jī)21可裝備瀏覽器(browser)以便于存取歸檔系統(tǒng)22。網(wǎng)絡(luò)瀏覽器為一客戶端應(yīng)用程序,或者于較佳的情況下,為一個(gè)整合性作業(yè)系統(tǒng)公用程序,用以與歸檔系統(tǒng)22進(jìn)行通訊。網(wǎng)絡(luò)瀏覽器接收從歸檔系統(tǒng)22所傳出的數(shù)據(jù),該數(shù)據(jù)由歸檔系統(tǒng)22利用因特網(wǎng)(Internet)來傳遞,并且該數(shù)據(jù)通常以超文本標(biāo)記語言(Hyper Text Markup Language,HTML)、可擴(kuò)展標(biāo)記語言(Extensible Markup Language,XML)等等封裝于網(wǎng)頁中。網(wǎng)絡(luò)瀏覽器通常亦支援諸如Java Applets、ActiveX Controls以及Plug-Ins的元件致能提供其它功能。
一或多個(gè)晶圓通常被合并成一個(gè)“批次”,用以通過一連串制造機(jī)臺(tái)的制程,最后制作成為集成電路。制造機(jī)臺(tái)23通常會(huì)在一個(gè)指定批次的晶圓上,執(zhí)行單一一道晶圓制造作業(yè)。例如,一個(gè)特定的制造機(jī)臺(tái)可于晶圓上執(zhí)行薄膜(layering)作業(yè)、圖案化(patterning)作業(yè)、摻雜(doping)作業(yè)或熱處理(heattreatment)作業(yè)。每一制造機(jī)臺(tái)根據(jù)已定義的程序(例如,已先行決定的一系列步驟或制程配方)執(zhí)行晶圓制造作業(yè)。制造機(jī)臺(tái)23通常儲(chǔ)存包含不同批次的大量制程配方的組態(tài)文件。該組態(tài)文件可傳遞至歸檔系統(tǒng)22用以歸檔。
制造執(zhí)行系統(tǒng)24可為一個(gè)整合計(jì)算機(jī)系統(tǒng),代表用以完成制造的方法以及機(jī)臺(tái)。例如,制造執(zhí)行系統(tǒng)24的最主要功能包括即時(shí)收集制造數(shù)據(jù)、組織及儲(chǔ)存制造數(shù)據(jù)至集中處理的數(shù)據(jù)庫(kù)、工作排程管理、制造機(jī)臺(tái)管理以及制程管理。由客戶提供的柵極描述區(qū)域(The Grid Description Section,GDS)文件亦可儲(chǔ)存至集中處理的數(shù)據(jù)庫(kù)。范例的制造執(zhí)行系統(tǒng)包括Promis(美國(guó)麻州的Brooks Automation公司所制造)、Workstream(美國(guó)加州的應(yīng)用材料公司所制造)、Poseidon(美國(guó)紐約州的國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司所制造)以及Mirl-MES(中國(guó)臺(tái)灣的機(jī)械產(chǎn)業(yè)研究室所制造)。每一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)可應(yīng)用于不同領(lǐng)域,例如,Mirl-MES的應(yīng)用領(lǐng)域牽涉到封裝、液晶顯示(liquid crystal displays,LCDs)與印刷電路板(printed circuit boards,PCBs),而Promis、Workstream與Poseidon則使用在集成電路制造與薄膜電晶體液晶顯示(thin film transistor LCD,TFT-LCD)等應(yīng)用領(lǐng)域。諸如此類的制造數(shù)據(jù)可傳遞至歸檔系統(tǒng)22用以歸檔。
管理信息系統(tǒng)25提供各式的后勤管理功能,諸如半導(dǎo)體制造的訂單管理、報(bào)價(jià)單管理、生產(chǎn)數(shù)據(jù)管理、生產(chǎn)計(jì)劃與排程等等。管理信息系統(tǒng)25組織及儲(chǔ)存該后勤數(shù)據(jù)至中央處理的數(shù)據(jù)庫(kù),而后勤數(shù)據(jù)可為訂單、報(bào)價(jià)單、半導(dǎo)體產(chǎn)品規(guī)格等等。產(chǎn)品數(shù)據(jù)應(yīng)可包括產(chǎn)品類別(例如產(chǎn)品編號(hào)及相關(guān)的信息),亦可包括關(guān)聯(lián)于產(chǎn)品類別的一系列生產(chǎn)步驟。諸如此類的后勤數(shù)據(jù)可傳遞至歸檔系統(tǒng)22用以進(jìn)行歸檔。
測(cè)試機(jī)臺(tái)26可為晶圓接受度測(cè)試(Wafer Acceptance Test,WAT)的測(cè)試設(shè)備或電性針測(cè)(circuit probing,CP)測(cè)試設(shè)備,用以執(zhí)行各式各樣測(cè)試作業(yè)。在集成電路制造期間,許多測(cè)試結(jié)構(gòu)會(huì)被制造于晶圓上,有利于取得制程以及設(shè)備效能的信息并進(jìn)行錯(cuò)誤分析。在整個(gè)制造程序完成后,會(huì)進(jìn)行這些測(cè)試結(jié)構(gòu)的電性量測(cè),用以產(chǎn)生晶圓接受度測(cè)試數(shù)據(jù)。在每一個(gè)晶圓上,這些測(cè)試結(jié)構(gòu)會(huì)設(shè)置在固定位置上,而超過100個(gè)WAT參數(shù)會(huì)被測(cè)試機(jī)臺(tái)26所量測(cè)。依據(jù)終點(diǎn)的WAT數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析與流程診斷方法,可提供整體制程效能以及產(chǎn)品良率的評(píng)估。諸如此類的WAT數(shù)據(jù)及統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)可傳遞至歸檔系統(tǒng)22用以進(jìn)行歸檔。在半導(dǎo)體制造過程中亦會(huì)使用電性針測(cè)測(cè)試方法來取得良率數(shù)據(jù)。針對(duì)特定的半導(dǎo)體產(chǎn)品,使用者或操作人員會(huì)提供一個(gè)CP測(cè)試程序。測(cè)試程序中描述一個(gè)測(cè)試流程,此測(cè)試流程中可包括多個(gè)測(cè)試項(xiàng)目,而這些測(cè)試項(xiàng)目通常會(huì)以最佳化的方式排列,用以降低CP測(cè)試時(shí)間。測(cè)試機(jī)臺(tái)26會(huì)依循事先定義的測(cè)試流程循序地探索一個(gè)晶圓上的所有晶粒(dies),決定每一個(gè)晶粒的良莠。在完成了一整個(gè)CP測(cè)試后,可得到晶圓、晶圓批次或半導(dǎo)體產(chǎn)品的良率。CP測(cè)試結(jié)果可載入到多個(gè)閘道法則中,用以產(chǎn)生建議報(bào)告。每一閘道法則定義當(dāng)CP測(cè)試屬性諸如良率、好晶粒數(shù)量、可修復(fù)晶粒數(shù)量等等滿足一個(gè)特定條件,或CP測(cè)試屬性的數(shù)學(xué)運(yùn)算結(jié)果滿足一個(gè)特定條件時(shí),決定出半導(dǎo)體元件、晶粒、晶圓、晶圓批次或半導(dǎo)體產(chǎn)品的一個(gè)最終建議,例如接受(accept)、報(bào)廢(scrap)、扣留以待分析(hold for analysis)等等。諸如此類的WAT數(shù)據(jù)、CP測(cè)試結(jié)果或建議報(bào)告可傳遞至歸檔系統(tǒng)22用以進(jìn)行歸檔。
本發(fā)明實(shí)施例的歸檔系統(tǒng)22從制造機(jī)臺(tái)23、制造執(zhí)行系統(tǒng)24、管理信息系統(tǒng)25或測(cè)試機(jī)臺(tái)26中接收數(shù)據(jù)項(xiàng)目,諸如GDS文件、組態(tài)文件、制造數(shù)據(jù)、后勤數(shù)據(jù)、WAT數(shù)據(jù)、CP測(cè)試結(jié)果等等。于一些情況下,接收到的數(shù)據(jù)項(xiàng)目更可使用各樣的壓縮演算法進(jìn)行壓縮用以減少數(shù)據(jù)大小,并且將壓縮后的數(shù)據(jù)項(xiàng)目?jī)?chǔ)存為歸檔數(shù)據(jù)并儲(chǔ)存在儲(chǔ)存裝置13中。于一些情況下,接收到的數(shù)據(jù)項(xiàng)目可透過打包應(yīng)用程序?qū)⒍鄠€(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目打包在一起,并且將打包后的結(jié)果儲(chǔ)存為歸檔數(shù)據(jù)并儲(chǔ)存在儲(chǔ)存裝置13中。于一些情況下,歸檔系統(tǒng)22可根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)項(xiàng)目產(chǎn)生匯總報(bào)告,諸如周報(bào)告、月報(bào)告、產(chǎn)品良率報(bào)告等,并且該匯總報(bào)告可儲(chǔ)存為歸檔數(shù)據(jù)并儲(chǔ)存在儲(chǔ)存裝置13中。數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介則包括歸檔日期、產(chǎn)品完成日期、數(shù)據(jù)型態(tài)、簡(jiǎn)要描述、文件大小及其它信息,每一項(xiàng)的數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介都關(guān)聯(lián)于一個(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目并且儲(chǔ)存在儲(chǔ)存裝置13中。這些數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介可儲(chǔ)存在數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)(database management system,DBMS)中之一或多個(gè)相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)表、相容于統(tǒng)一建模語言(Unified Modeling Language,UML)的對(duì)象庫(kù)管理系統(tǒng)中之一或多個(gè)數(shù)據(jù)對(duì)象、或一或多個(gè)文字文件。歸檔系統(tǒng)22可提供一圖形化使用者界面(graphical user interface,GUI)用以促進(jìn)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的產(chǎn)生,諸如新增一個(gè)新數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介、刪除一個(gè)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介、修改數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的內(nèi)容。
本發(fā)明實(shí)施例的歸檔系統(tǒng)于較佳的情況下包括一個(gè)由處理單元11所執(zhí)行的網(wǎng)站服務(wù)器。網(wǎng)站服務(wù)器包括各式各樣網(wǎng)頁,用以回應(yīng)由客戶端計(jì)算機(jī)21所傳出的歸檔數(shù)據(jù)的取得請(qǐng)求。一般而言,網(wǎng)站服務(wù)器所提供的信息是以網(wǎng)頁呈現(xiàn),其格式一般來說可為超文本標(biāo)記語言(HyperText mark-up language,HTML)格式,此為一種以文字為基礎(chǔ)的格式,用以指示計(jì)算機(jī)如何顯示個(gè)別網(wǎng)頁,網(wǎng)頁中通常提供ASCII格式的文字內(nèi)容與壓縮后的圖形信息,諸如“GIF”或“JPEG”圖形等。該超文本標(biāo)記語言中可包括多個(gè)腳本指令(例如JavaScript,Visual Basic Scripts,ActiveServer Page Scripts等等)以執(zhí)行數(shù)據(jù)歸檔管理功能。
數(shù)據(jù)歸檔管理方法的實(shí)施例由一個(gè)網(wǎng)站服務(wù)器所執(zhí)行,于較佳的情況下實(shí)施于一或多個(gè)網(wǎng)頁、商業(yè)對(duì)象(business object)或數(shù)據(jù)對(duì)象(data object)。圖3是為依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)歸檔管理方法的方法流程圖。如步驟S311,接收一個(gè)包括使用者賬號(hào)及密碼的登入請(qǐng)求,該登入請(qǐng)求于較佳的情況下使用HTTP請(qǐng)求來實(shí)施。如步驟S312,透過偵測(cè)使用者賬號(hào)是否存在以及相應(yīng)于使用者賬號(hào)的密碼是否正確,決定登入請(qǐng)求是否擁有權(quán)限,若是,則流程進(jìn)行至步驟S321,若否,則流程進(jìn)行至步驟S311。如步驟S321,接收包括相關(guān)參數(shù)的數(shù)據(jù)取得請(qǐng)求,該數(shù)據(jù)取得請(qǐng)求于較佳的情況下使用HTTP請(qǐng)求來實(shí)施。如步驟S322,決定數(shù)據(jù)取得的請(qǐng)求型態(tài)。若請(qǐng)求型態(tài)為數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求(data query request),則流程進(jìn)行至步驟S331,若請(qǐng)求型態(tài)為數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求(datapreview request),則流程進(jìn)行至步驟S341,另外,若請(qǐng)求型態(tài)為數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求(data download request),則流程進(jìn)行至步驟S351。
如步驟S331,取得相應(yīng)于數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求的至少一個(gè)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求中可提供查詢信息,查詢信息一般而言可存在于HTTP查詢字符串(HTTP query string)中、HTML頁面對(duì)象(HTML form object)中或其他數(shù)據(jù)格式中,查詢信息包含特定查詢條件。例如,特定查詢條件可包括半導(dǎo)體產(chǎn)品編碼、晶圓批次編碼、一段期間、訂單編碼、報(bào)價(jià)單編碼或以上的組合。相應(yīng)于查詢信息的數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介取得可透過執(zhí)行至少一個(gè)ANSI SQL查詢、對(duì)象方法、文件操作指令或以上方法的組合。此步驟可更檢驗(yàn)使用者存取相應(yīng)于取得數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的數(shù)據(jù)項(xiàng)目權(quán)限,并且當(dāng)使用者賬號(hào)無法存取相應(yīng)的數(shù)據(jù)項(xiàng)目時(shí),此數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介將被移除。如步驟S332,包括數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的網(wǎng)頁,一般而言為HTML格式,傳遞至客戶端計(jì)算機(jī)21。致使客戶端計(jì)算機(jī)21可透過瀏覽器顯示此網(wǎng)頁。如步驟S333,產(chǎn)生相應(yīng)于數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求的新歷程記錄(log)并且儲(chǔ)存至一個(gè)歷程記錄文件、歷程記錄數(shù)據(jù)庫(kù)或歷程記錄對(duì)象中。該新歷程記錄亦可包括其他信息,諸如使用者賬號(hào)、查詢?nèi)掌凇⒉樵儠r(shí)間等等。如步驟S334,透過電子郵件、短信等等,傳遞一個(gè)通知至操作人員,例如聯(lián)絡(luò)窗口作業(yè)人員(contact window)或數(shù)據(jù)管理人員,此通知的內(nèi)容包括一使用者賬號(hào)已取得特定數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的信息。
圖4為描述本發(fā)明實(shí)施例的包括數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的網(wǎng)頁的屏幕畫面示意圖。如客戶端計(jì)算機(jī)21的瀏覽器所示的網(wǎng)頁40,包括五筆數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介以及一個(gè)按鈕B1,并且每一筆數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介包括數(shù)據(jù)型態(tài)、數(shù)據(jù)識(shí)別碼以及建立日期。網(wǎng)頁畫面中提供關(guān)連于數(shù)據(jù)識(shí)別碼的超鏈接對(duì)象H1到H5。網(wǎng)頁畫面中的數(shù)據(jù)識(shí)別碼亦提供勾選盒對(duì)象C1到C5。當(dāng)點(diǎn)擊一個(gè)超鏈接時(shí),帶有相應(yīng)的數(shù)據(jù)識(shí)別碼的數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求(一般而言為HTTP格式)將傳遞至歸檔系統(tǒng)22中的網(wǎng)站服務(wù)器。當(dāng)選擇至少一個(gè)勾選盒并且點(diǎn)擊按鈕B1,帶有被選擇的數(shù)據(jù)識(shí)別碼的數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求(一般而言為HTTP格式)將傳遞至歸檔系統(tǒng)22中的網(wǎng)站服務(wù)器。
參考圖3,如步驟S341,取得相應(yīng)于數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求中可提供預(yù)覽信息,預(yù)覽信息中包含欲預(yù)覽的數(shù)據(jù)項(xiàng)目,一般而言此信息可存在于HTTP查詢字符串或HTML頁面對(duì)象中。例如,預(yù)覽信息描述相應(yīng)于特定訂單、報(bào)價(jià)單、WAT數(shù)據(jù)報(bào)告、CP測(cè)試報(bào)告、組態(tài)文件等等的數(shù)據(jù)識(shí)別碼。于傳遞預(yù)覽數(shù)據(jù)前,若預(yù)覽數(shù)據(jù)已打包或壓縮于歸檔數(shù)據(jù)中,可進(jìn)行解壓縮或解封裝(unpack)。相應(yīng)于預(yù)覽信息的數(shù)據(jù)取得可透過執(zhí)行至少一個(gè)相關(guān)的ANSI SQL查詢、對(duì)象方法、文件操作指令或以上的組合。如步驟S342,包含預(yù)覽數(shù)據(jù)的網(wǎng)頁(一般而言為HTML格式)傳遞至客戶端計(jì)算機(jī)21,并且透過內(nèi)建的瀏覽器顯示于客戶端計(jì)算機(jī)21。如步驟S343,產(chǎn)生相應(yīng)于數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求的新歷程記錄并且儲(chǔ)存至一個(gè)歷程記錄文件、歷程記錄數(shù)據(jù)庫(kù)或歷程記錄對(duì)象中。該新歷程記錄亦可包括其他信息,諸如使用者賬號(hào)、預(yù)覽日期、時(shí)間等等。如步驟S344,透過電子郵件、短信等等,傳遞一個(gè)通知至操作人員,例如聯(lián)絡(luò)窗口作業(yè)人員(contact window)或數(shù)據(jù)管理人員,此通知的內(nèi)容包含一使用者賬號(hào)已取得特定預(yù)覽數(shù)據(jù)的信息。
如步驟S351,取得相應(yīng)于數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求中可提供下載信息,下載數(shù)據(jù)中包含欲下載的數(shù)據(jù)項(xiàng)目,一般而言此信息可存在于HTTP查詢字符串或HTML頁面對(duì)象中。例如,下載信息描述相應(yīng)于訂單、報(bào)價(jià)單、WAT數(shù)據(jù)報(bào)告、CP測(cè)試報(bào)告、組態(tài)文件等等的數(shù)據(jù)識(shí)別碼。于傳遞下載數(shù)據(jù)前,若下載數(shù)據(jù)已封裝或壓縮于歸檔數(shù)據(jù)中,可進(jìn)行解壓縮或解封裝。相應(yīng)于下載信息的數(shù)據(jù)取得可透過執(zhí)行至少一個(gè)相關(guān)的ANSI SQL查詢、對(duì)象方法、文件操作指令或以上的組合。原始的下載數(shù)據(jù)更可輸出為各種型態(tài)的文件以便于下載,諸如“.gif”、“.jpg”、“.rpt”、“.txt”、“.exp”、“.gds”等等。如步驟S352,傳遞相應(yīng)于數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求的至少一個(gè)文件至客戶端計(jì)算機(jī)21。如步驟S353,產(chǎn)生相應(yīng)于數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求的新歷程記錄并且儲(chǔ)存至一個(gè)歷程記錄文件、歷程記錄數(shù)據(jù)庫(kù)或歷程記錄對(duì)象中。該新歷程記錄亦可包括其他信息,諸如使用者賬號(hào)、下載日期、時(shí)間等等。如步驟S354,透過電子郵件、短信等等,傳遞一個(gè)通知至操作人員,例如聯(lián)絡(luò)窗口作業(yè)人員(contact window)或數(shù)據(jù)管理人員,此通知內(nèi)容包含一使用者賬號(hào)已下載特定數(shù)據(jù)的信息。
本發(fā)明實(shí)施例另揭露一用以儲(chǔ)存計(jì)算機(jī)程序520的儲(chǔ)存介質(zhì)。圖5是表示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)歸檔管理的計(jì)算機(jī)可讀取儲(chǔ)存介質(zhì)示意圖。此計(jì)算機(jī)程序520可被載入并執(zhí)行數(shù)據(jù)歸檔管理方法。此計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品包括一個(gè)可使用于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中并含有計(jì)算機(jī)可讀取程序邏輯的儲(chǔ)存介質(zhì)50。計(jì)算機(jī)可讀取程序邏輯包含接收登入請(qǐng)求或數(shù)據(jù)取得請(qǐng)求邏輯521、決定登入請(qǐng)求是否擁有權(quán)限邏輯522、決定數(shù)據(jù)取得型態(tài)邏輯523、取得欲預(yù)覽或下載的數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介或數(shù)據(jù)項(xiàng)目邏輯524、傳遞數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介或數(shù)據(jù)項(xiàng)目邏輯525、新增歷程記錄邏輯526以及傳遞通知至操作人員邏輯527。
雖然本發(fā)明已通過較佳實(shí)施例說明如上,但該較佳實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),應(yīng)有能力對(duì)該較佳實(shí)施例做出各種更改和補(bǔ)充,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號(hào)的簡(jiǎn)單說明如下11處理單元12存儲(chǔ)器13儲(chǔ)存裝置14輸入裝置15顯示裝置16通訊裝置17總線20半導(dǎo)體數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)21客戶端計(jì)算機(jī)22歸檔系統(tǒng)23制造機(jī)臺(tái)24制造執(zhí)行系統(tǒng)25管理信息系統(tǒng)26測(cè)試機(jī)臺(tái)S311、S312、...、S353、S354方法流程步驟40網(wǎng)頁B1按鈕C1、...、C5勾選盒對(duì)象H1、...、H5超鏈接對(duì)象50儲(chǔ)存介質(zhì)520數(shù)據(jù)歸檔管理計(jì)算機(jī)程序521接收登入請(qǐng)求或數(shù)據(jù)取得請(qǐng)求邏輯522決定登入請(qǐng)求是否擁有權(quán)限邏輯523決定數(shù)據(jù)取得型態(tài)邏輯
524取得欲預(yù)覽或下載的數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介或數(shù)據(jù)項(xiàng)目邏輯525傳遞數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介或數(shù)據(jù)項(xiàng)目邏輯526新增歷程記錄邏輯527傳遞通知至操作人員邏輯
權(quán)利要求
1.一種數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),所述數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)包括一個(gè)儲(chǔ)存裝置,用以儲(chǔ)存歸檔數(shù)據(jù)以及至少一個(gè)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介,上述歸檔數(shù)據(jù)包括至少一個(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目,并且上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介相應(yīng)于上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目,其中,于完成一個(gè)相關(guān)的半導(dǎo)體產(chǎn)品、晶圓或晶圓批次后,將上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目歸檔以產(chǎn)生上述歸檔數(shù)據(jù);以及一個(gè)處理單元,傳遞包括上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的一個(gè)第一網(wǎng)頁至一個(gè)客戶端計(jì)算機(jī),上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介包括上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的一個(gè)數(shù)據(jù)識(shí)別碼,從上述歸檔數(shù)據(jù)中取得上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目以回應(yīng)帶有上述數(shù)據(jù)識(shí)別碼的一個(gè)數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求,傳遞包括上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的一個(gè)第二網(wǎng)頁至上述客戶端計(jì)算機(jī),以及傳遞上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目至上述客戶端計(jì)算機(jī)以回應(yīng)帶有上述數(shù)據(jù)識(shí)別碼的一個(gè)數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目于半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目為一個(gè)半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)的一個(gè)組態(tài)文件、柵極描述區(qū)域文件、報(bào)價(jià)單、訂單、出貨單、晶圓接受度測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告或電性針測(cè)測(cè)試報(bào)告。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,于取得數(shù)據(jù)項(xiàng)目時(shí),將上述歸檔數(shù)據(jù)解壓縮或解封裝。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,上述處理單元更決定一個(gè)使用者賬號(hào)是否擁有存取上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限,以及當(dāng)偵測(cè)到上述使用者賬戶擁有存取上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限時(shí),傳遞相應(yīng)于上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,上述處理單元接收上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目,壓縮或封裝上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目至上述歸檔數(shù)據(jù),其中上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目從一個(gè)制造機(jī)臺(tái)、一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)、一個(gè)管理信息系統(tǒng)或一個(gè)測(cè)試設(shè)備接收而來。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,上述數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求以及上述數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求與超文本傳輸通訊協(xié)定相容。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng),其特征在于,上述第一網(wǎng)頁及上述第二網(wǎng)頁與超文本標(biāo)記語言相容。
9.一種數(shù)據(jù)歸檔管理方法,上述方法包括使用一部計(jì)算機(jī),其步驟包括傳遞包括一個(gè)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的一個(gè)第一網(wǎng)頁至一個(gè)客戶端計(jì)算機(jī),上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介包括一個(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目的一個(gè)數(shù)據(jù)識(shí)別碼,并且上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介相應(yīng)于上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目;從上述歸檔數(shù)據(jù)中取得上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目以回應(yīng)帶有上述數(shù)據(jù)識(shí)別碼的一個(gè)數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求,上述歸檔數(shù)據(jù)包括至少上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目,并于完成一個(gè)相關(guān)的半導(dǎo)體產(chǎn)品、晶圓或晶圓批次后,將上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目歸檔以產(chǎn)生上述歸檔數(shù)據(jù);傳遞包括上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的一個(gè)第二網(wǎng)頁至上述客戶端計(jì)算機(jī);以及傳遞上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目至上述客戶端計(jì)算機(jī)以回應(yīng)帶有上述數(shù)據(jù)識(shí)別碼的一個(gè)數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的數(shù)據(jù)歸檔管理方法,其特征在于,更包括下列步驟產(chǎn)生一個(gè)新歷程記錄,上述新歷程記錄包括上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目是否已由一個(gè)使用者賬號(hào)所預(yù)覽或下載的信息;以及儲(chǔ)存上述新歷程記錄至一個(gè)儲(chǔ)存裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的數(shù)據(jù)歸檔管理方法,其特征在于,更包括一個(gè)步驟為傳遞一個(gè)通知至一個(gè)作業(yè)人員,上述通知包括上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目已由一個(gè)使用者賬號(hào)所預(yù)覽或下載的信息。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的數(shù)據(jù)歸檔管理方法,其特征在于,上述通知透過電子郵件或短信傳遞至上述作業(yè)人員。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的數(shù)據(jù)歸檔管理方法,其特征在于,更包括下列步驟決定一個(gè)使用者賬號(hào)是否擁有存取上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限;以及當(dāng)上述使用者賬戶擁有存取上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的權(quán)限時(shí),傳遞相應(yīng)于上述數(shù)據(jù)項(xiàng)目的上述數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。
全文摘要
本發(fā)明提供一種數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)及方法。一個(gè)儲(chǔ)存裝置用以儲(chǔ)存歸檔數(shù)據(jù)以及至少一個(gè)數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介。歸檔數(shù)據(jù)中包括相應(yīng)于數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的至少一個(gè)數(shù)據(jù)項(xiàng)目。一個(gè)處理單元傳遞包括數(shù)據(jù)簡(jiǎn)介的一個(gè)第一網(wǎng)頁至一個(gè)客戶端計(jì)算機(jī),從歸檔數(shù)據(jù)中取得數(shù)據(jù)項(xiàng)目以回應(yīng)數(shù)據(jù)預(yù)覽請(qǐng)求,傳遞包括數(shù)據(jù)項(xiàng)目的一個(gè)第二網(wǎng)頁至客戶端計(jì)算機(jī),傳遞數(shù)據(jù)項(xiàng)目至客戶端計(jì)算機(jī)以回應(yīng)數(shù)據(jù)下載請(qǐng)求。本發(fā)明所述數(shù)據(jù)歸檔管理系統(tǒng)及方法,實(shí)現(xiàn)快速、準(zhǔn)確的歸檔,增進(jìn)了制程效率。
文檔編號(hào)G06F17/30GK1797451SQ200510135410
公開日2006年7月5日 申請(qǐng)日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月28日
發(fā)明者賈東龍 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
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