專利名稱：用來(lái)自動(dòng)產(chǎn)生和處理光掩模定單的綜合前端方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及用來(lái)自動(dòng)產(chǎn)生和處理光掩模定單的綜合前端方法和系統(tǒng)。更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及基于軟件的應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序以規(guī)定格式產(chǎn)生光掩模定單，并且然后把該光掩模定單處理成基本上準(zhǔn)備寫(xiě)的作業(yè)組(jobdeck)文件和基本上準(zhǔn)備寫(xiě)的檢查文件，該檢查文件又傳送到遠(yuǎn)程光掩模制造商的用于光掩模制造的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
光掩模是包含電子電路的顯微圖像的高精度板。光掩模典型地由在其一側(cè)上具有一層鉻的非常平石英或玻璃片制成。在鉻中蝕刻的是電子電路設(shè)計(jì)的一部分。在掩模上的這種電路設(shè)計(jì)也稱作“幾何結(jié)構(gòu)”。
在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中使用的典型光掩模由“空白”或“未開(kāi)發(fā)”光掩模形成。如圖1中所示，典型空白光掩模10包括三個(gè)或四個(gè)層。第一層11是一層石英或其它基本上透明材料，通常稱作基片。下一層典型地是一層不透明材料12，如Cr，該層常常包括第三層抗反射材料13，如CrO?？狗瓷鋵涌梢园ɑ虿话ㄔ谌魏谓o定光掩模中。頂層典型地是一層光敏抗蝕劑材料14。其它類型的光掩模也是已知的和被使用，包括但不限于相移掩模、嵌入衰減相移掩模(“EAPSM”)及交變孔徑相移掩模(“AAPSM”)。這些類型的相移掩模的特征在于，包括不透明區(qū)域和部分透明區(qū)域的設(shè)計(jì)特征，通過(guò)該部分透明區(qū)域，光的相位被移動(dòng)例如近似180°。這樣的掩模的例子在授予Photronics，Inc.的美國(guó)專利No.6,682,861、美國(guó)專利公報(bào)No.2004-0185348 A1、美國(guó)專利公報(bào)No.2005-0026053及美國(guó)專利公報(bào)No.2005-0053847中描述，它們的內(nèi)容通過(guò)參考包括在這里。
制造光掩模的過(guò)程涉及多個(gè)步驟，并且可能是耗時(shí)的。在這方面，為了制造光掩模，將被創(chuàng)建在光掩模10上的不透明材料12的所希望的圖案典型地由加載到曝光系統(tǒng)中的電子數(shù)據(jù)文件定義，該曝光系統(tǒng)典型地在空白光掩模上以光柵或向量樣式掃描電子束(E-束)或激光束。光柵掃描曝光系統(tǒng)的這樣一個(gè)例子在授予Collier的美國(guó)專利No.3,900,737中描述。每個(gè)獨(dú)特曝光系統(tǒng)具有其自己的用來(lái)處理數(shù)據(jù)的軟件和格式，以在曝光空白光掩模時(shí)指示設(shè)備。當(dāng)E-束或激光束在空白光掩模上10掃描時(shí)，曝光系統(tǒng)把E-束或激光束指向到在光掩模上由電子數(shù)據(jù)文件所定義的可尋址位置處。暴露于E-束或激光束的光敏抗蝕劑材料的區(qū)域變得溶解，而未曝光部分保持不溶解。
為了確定在何處E-束或激光束應(yīng)該曝光在空白光掩模10上的光敏抗蝕劑、以及在何處它不應(yīng)該曝光，需要以作業(yè)組形式提供到處理設(shè)備的適當(dāng)指令。為了創(chuàng)建作業(yè)組，把希望圖案的圖像分散(或分解)成較小標(biāo)準(zhǔn)化形狀，例如矩形和梯形。分解過(guò)程可能是非常耗時(shí)的。在分解之后，圖像可能需要進(jìn)一步修改，通過(guò)例如如果需要?jiǎng)t確定尺寸數(shù)據(jù)，如果需要?jiǎng)t旋轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)、添加基準(zhǔn)和內(nèi)部參考標(biāo)記等等。典型地，專用計(jì)算機(jī)系統(tǒng)用來(lái)進(jìn)行分解和/或創(chuàng)建作業(yè)組。作業(yè)組數(shù)據(jù)然后必須傳送到處理工具，以向這樣的工 具提供曝光光掩模的必要指令。
在曝光系統(tǒng)已經(jīng)把所希望的圖像掃描到光敏抗蝕劑材料14上之后，如圖2中所示，溶解光敏抗蝕劑材料由在本技術(shù)中熟知的裝置除去，并且未曝光的、未溶解光敏抗蝕劑材料14′保持粘著到不透明材料13和12上。因而，待形成在光掩模10上的圖案由剩余光敏抗蝕劑材料14′形成。
所述圖案然后從剩余光敏抗蝕劑材料14′經(jīng)已知的蝕刻過(guò)程轉(zhuǎn)印到光掩模10，以除去在未被剩余光敏抗蝕劑14′覆蓋的區(qū)域中的抗反射材料13和不透明材料12。在本技術(shù)中有已知的各種各樣的蝕刻過(guò)程，包括干式蝕刻以及濕式蝕刻，并因而各種各樣的設(shè)備用來(lái)進(jìn)行這種蝕刻。在完成蝕刻之后，剝?nèi)セ虺ナＳ喙饷艨刮g劑材料14′，并且完成光掩模，如圖3中所示。在完成的光掩模中，以前由剩余抗反射材料13′和不透明材料12′所反映的圖案，位于在先前步驟中除去溶解材料之后剩余光敏抗蝕劑14′所剩下的區(qū)域中。
為了確定在具體光掩模中是否有任何不可接收的缺陷，必須檢查光掩模。缺陷是影響幾何結(jié)構(gòu)的任何瑕疵。這包括不希望的鉻區(qū)域(鉻斑點(diǎn)、鉻延伸部、在幾何結(jié)構(gòu)之間的鉻橋接)或不想要的空曠區(qū)域(針孔、空曠延伸部、空曠裂紋)。缺陷可使由光掩模制成的電路不起作用。訂購(gòu)光掩模的實(shí)體將在其缺陷規(guī)格中指示影響其過(guò)程的缺陷尺寸。該尺寸的和更大的所有缺陷必須修理，或者如果它們不能修理，則必須剔除和重寫(xiě)掩模。
典型地，自動(dòng)掩模檢查系統(tǒng)，如由KLA-Tencor或AppliedMaterials制造的那些，用來(lái)探測(cè)缺陷。這樣的自動(dòng)系統(tǒng)把照明束對(duì)準(zhǔn)光掩模，并且探測(cè)透過(guò)光掩模和從其反射回的光束部分的強(qiáng)度。探測(cè)的光強(qiáng)度然后與期望光強(qiáng)度相比較，并且任何偏差記錄為缺陷。系統(tǒng)的細(xì)節(jié)可在授予KLA-Tencor的美國(guó)專利No.5,563,702中找到。
在通過(guò)檢查之后，完成的光掩模被清除污物。其次，薄膜可以涂敷到完成的光掩模上，以保護(hù)其關(guān)鍵圖案區(qū)域免受浮在空中的污染。以后可以進(jìn)行穿過(guò)薄膜缺陷檢查。在某些實(shí)例中，在涂敷薄膜之前或之后，可以切割光掩模。
在完成上述的制造步驟的每一個(gè)之前，半導(dǎo)體制造商(例如客戶)必須首先向光掩模制造商提供與待制造的光掩模有關(guān)的不同類型的數(shù)據(jù)。在這方面，客戶典型地提供光掩模定單，該光掩模定單包括制造和處理光掩模需要的各種類型的信息和數(shù)據(jù)，包括例如與光掩模的設(shè)計(jì)有關(guān)的數(shù)據(jù)、使用的材料、交付日期、記賬信息及處理定單和制造光掩模需要的其它信息。
在光掩模制造中長(zhǎng)期存在的問(wèn)題是從客戶接收到光掩模定單時(shí)起制造光掩模所占用的時(shí)間量。在這方面，處理光掩模定單和制造光掩模占用的整個(gè)時(shí)間可能是漫長(zhǎng)的，并因而光掩模的整個(gè)產(chǎn)量不被最大化。這個(gè)問(wèn)題的部分歸因于，訂購(gòu)光掩模的許多客戶常常把他們的定單置于各種不同格式的事實(shí)，該格式常常與光掩模制造商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和/或制造設(shè)備不兼容。因而，常常要求光掩模制造商重新格式化定單數(shù)據(jù)和條件、把它轉(zhuǎn)換和/或補(bǔ)充到與其計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和/或制造設(shè)備相兼容的不同格式，這可能占用大量時(shí)間，并因而延遲制造光掩模的時(shí)間。
在解決這些問(wèn)題的嘗試中，光掩模工業(yè)已經(jīng)開(kāi)發(fā)了各種標(biāo)準(zhǔn)光掩模定單格式，光掩模定單應(yīng)該置于該定單格式中。例如，SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)是在光掩模制造中使用的一種標(biāo)準(zhǔn)格式。另外，少數(shù)半導(dǎo)體制造商已經(jīng)開(kāi)發(fā)了他們自己的定單要置于其中的專有光掩模定單格式，而不是采納標(biāo)準(zhǔn)格式。這些標(biāo)準(zhǔn)和專有光掩模定單被創(chuàng)建為使得光掩模定單以統(tǒng)一格式從客戶接收，由此減少制造光掩模占用的整個(gè)時(shí)間。
盡管這樣的標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷皆跍p少制造光掩模占用的時(shí)間方面是有用的，但許多半導(dǎo)體制造商由于各種原因不愿意把他們的光掩模定單置于這樣的標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷街?。例如，SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)定單格式十分復(fù)雜，并且要求填寫(xiě)定單的客戶具有與這樣的標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)的要求的完善加工知識(shí)。由于許多半導(dǎo)體制造商不制造光掩模，所以這樣的制造商不可能具有學(xué)習(xí)這樣的標(biāo)準(zhǔn)格式的復(fù)雜性的資源、時(shí)間或能力。因而，半導(dǎo)體制造商常常以未組織和通常不完整方式向光掩模制造商提供光掩模定單數(shù)據(jù)。結(jié)果，要求光掩模制造商徹底分析這種數(shù)據(jù)并且以有用格式(例如，以SEMI P-10格式)組織它。另外，在其中不完整掩模定單數(shù)據(jù)提供給光掩模制造商的這些實(shí)例中，將要求這樣的制造商從客戶請(qǐng)求丟失信息。結(jié)果，大量時(shí)間常常浪費(fèi)在得到完整和準(zhǔn)確光掩模定單的過(guò)程中，并因而制造光掩模所占用的整個(gè)時(shí)間可能大大地延遲。盡管其它人已經(jīng)嘗試通過(guò)自動(dòng)系統(tǒng)的使用解決這些問(wèn)題。然而，這些現(xiàn)有系統(tǒng)具有幾個(gè)缺點(diǎn)。
例如，在過(guò)去，AlignRite Corporation(對(duì)于Photronics，Inc.前身組織)嘗試通過(guò)基于因特網(wǎng)的交付系統(tǒng)的使用加速電子數(shù)據(jù)的交付。然而，AlignRite系統(tǒng)能夠把光掩模數(shù)據(jù)從客戶迅速交付給光掩模制造商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，并且能夠?qū)崟r(shí)地生效這種數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，但這種現(xiàn)有系統(tǒng)不供單一標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷降墓庋谀６▎螖?shù)據(jù)的自動(dòng)產(chǎn)生。在這方面，一旦從客戶接收到數(shù)據(jù)，對(duì)于數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)修改也必須由操作者人工地輸入。每當(dāng)必須輸入人工變化時(shí)，人為錯(cuò)誤的危險(xiǎn)增加，并且作業(yè)的整個(gè)長(zhǎng)度會(huì)延長(zhǎng)。
從那時(shí)以來(lái)，其它人已經(jīng)公開(kāi)了其中制造和記賬數(shù)據(jù)在因特網(wǎng)上下載并且在線自動(dòng)地驗(yàn)證的系統(tǒng)。一種這樣的系統(tǒng)在發(fā)布于2002年1月10日、授予DuPont Photomask的PCT公布02/03141中描述，它也是美國(guó)專利No.6,622,295的主題。更具體地說(shuō)，DuPont PCT公布公開(kāi)了一種其中光掩模定單數(shù)據(jù)由客戶在線輸入并且傳輸?shù)焦庋谀Ｖ圃焐痰南到y(tǒng)以進(jìn)行處理。在這種系統(tǒng)中，提示客戶輸入光掩模定單數(shù)據(jù)。這樣的數(shù)據(jù)傳輸?shù)焦庋谀Ｖ圃焐?，該制造商又進(jìn)行數(shù)據(jù)的診斷估計(jì)。如果任何數(shù)據(jù)不完整或不準(zhǔn)確，則系統(tǒng)把消息發(fā)送到客戶，通知他這樣的錯(cuò)誤。此后，用戶必須校正錯(cuò)誤。在數(shù)據(jù)已經(jīng)由制造商驗(yàn)證(并且在必要時(shí)被校正)之后，制造商處理這種數(shù)據(jù)，并且把它放入標(biāo)準(zhǔn)(或?qū)Ｓ?格式中，如SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)格式中。
盡管可用于診斷目的，但DuPont PCT公布的系統(tǒng)是非常麻煩的，并且在依據(jù)正在輸入其數(shù)據(jù)的客戶列出光掩模定單時(shí)向用戶提供非常少的靈活性。DuPont系統(tǒng)提供成沒(méi)有基于通用信息的輸出來(lái)描繪客戶信息的輪廓。DuPont的系統(tǒng)的另一個(gè)缺點(diǎn)是，每當(dāng)客戶使用系統(tǒng)時(shí)要求客戶重新輸入關(guān)于定單的特定信息并且不能使用在以前定單中輸入的信息。因而，使用DuPont系統(tǒng)產(chǎn)生光掩模定單是耗時(shí)的。
在現(xiàn)有技術(shù)中，一旦光掩模定單從客戶接收到并且放入適當(dāng)格式中，就仍然必須處理該定單，從而光掩?？捎上嚓P(guān)制造設(shè)備寫(xiě)出和由相關(guān)制造設(shè)備檢查。在典型的光掩模生產(chǎn)過(guò)程中，形成完整光掩模的多個(gè)步驟必需被人工地進(jìn)行或由不同的個(gè)人進(jìn)行。結(jié)果，用來(lái)完成這些步驟的現(xiàn)有已知方法和系統(tǒng)低效、耗時(shí)及經(jīng)受大量的人為錯(cuò)誤。
更具體地說(shuō)，一旦制造商接收到客戶的光掩模定單，要求操作者分類接收的信息，并且把該信息人工地轉(zhuǎn)送到適當(dāng)處理站或提供信息的部門(mén)。例如，記賬信息必須轉(zhuǎn)送到記賬部門(mén)，并且進(jìn)行分解必需的圖案數(shù)據(jù)需要提供到分解計(jì)算機(jī)，以及剩余作業(yè)組信息必須轉(zhuǎn)送到適當(dāng)處理站。如果信息以不同于制造商提供的格式來(lái)提供，則這個(gè)事實(shí)也需要人工識(shí)別，并且然后文件轉(zhuǎn)換成適當(dāng)格式。如果光掩模制造商希望在生產(chǎn)中跟蹤光掩模的進(jìn)展，則必需個(gè)別地接觸每個(gè)站和從操作者確認(rèn)狀態(tài)。就半導(dǎo)體制造商需要相同圖案被多個(gè)不同機(jī)器使用而論，要求操作者人工地編程分解計(jì)算機(jī)，以進(jìn)行適當(dāng)修改。類似地，就某些客戶的規(guī)定格式由于所使用的光掩模制造過(guò)程而需要修改而論，輸入到分解計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)的這些類型的修改因此也需要由操作者人工地輸入。現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)絕沒(méi)有提供成自動(dòng)地考慮和處理這些變化。
在光掩模生產(chǎn)工業(yè)中長(zhǎng)期存在的問(wèn)題是，如何減少?gòu)目蛻舳▎蔚慕邮盏教幚砉庋谀５男纬珊徒桓端加玫臅r(shí)間。在過(guò)去使用的加速這個(gè)過(guò)程的某些方法是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的創(chuàng)建，如在過(guò)去幾年已經(jīng)修改和更新的SEMI P10標(biāo)準(zhǔn)，這些標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了其中數(shù)據(jù)應(yīng)該電子地提供到光掩模制造商的格式。盡管這樣的標(biāo)準(zhǔn)是有益的，但它們沒(méi)有自然地實(shí)現(xiàn)在光掩模制造中必需的信息處理的無(wú)縫自動(dòng)化。
在完成上述制造步驟之后，完成的光掩模發(fā)送到客戶，以便用來(lái)制造半導(dǎo)體和其它產(chǎn)品。具體地說(shuō)，光掩模通常用在半導(dǎo)體工業(yè)中，以把定義半導(dǎo)體電路的微小規(guī)模圖像轉(zhuǎn)印到硅或砷化鎵基片或晶片上。用來(lái)把圖像從光掩模轉(zhuǎn)印到硅基片或晶片上的過(guò)程通常稱作平版印刷或顯微平版印刷。典型地，如圖4中所示，半導(dǎo)體制造過(guò)程包括沉積、照相平版法、及蝕刻的步驟。在沉積期間，一層電絕緣或?qū)щ姴牧?像金屬、多晶硅或氧化物)沉積在硅晶片的表面上。這種材料然后涂有光敏抗蝕劑。光掩模然后以與照相底片用來(lái)形成照片的大致相同的方式被使用。照相平版法涉及把在光掩模上的圖像投影到晶片上。如果在光掩模上的圖像分幾次并排地投影到晶片上，則這稱作步進(jìn)，并且光掩模叫做原版(reticle)。
如圖5中所示，為了在半導(dǎo)體晶片20上創(chuàng)建圖像21，光掩模10插入在半導(dǎo)體晶片20與光學(xué)系統(tǒng)22之間，該半導(dǎo)體晶片20包括一層光敏材料。由通常稱作分檔器的能量源23產(chǎn)生的能量，禁止通過(guò)其中不透明材料存在的光掩模10的區(qū)域。來(lái)自分檔器23的能量通過(guò)不透明材料12和抗反射材料13未覆蓋的石英基片11的透明部分。光學(xué)系統(tǒng)22把不透明材料12和13的圖案的成比例圖像24投影到半導(dǎo)體晶片20上，并且引起在半導(dǎo)體晶片上光敏材料中的反應(yīng)。光敏材料的溶解性在曝露于能量的區(qū)域中變化。在正照相平版過(guò)程的情況下，曝光的光敏材料變得溶解，并且可被除去。在負(fù)照相平版過(guò)程的情況下，曝光的光敏材料變得不溶解，并且未曝光的溶解光敏材料被除去。
在溶解光敏材料被除去之后，在未溶解光敏材料中形成的圖像或圖案通過(guò)在本技術(shù)中熟知的通常稱作蝕刻的過(guò)程轉(zhuǎn)印到基片。一旦圖案蝕刻到基片材料上，剩余抗蝕劑就被除去，生成成品。新材料和抗蝕劑層然后沉積在晶片上，并且在下個(gè)光掩模上的圖像投影到它上。再次顯影和蝕刻晶片。重復(fù)這個(gè)過(guò)程，直到完成電路。因?yàn)樵诘湫桶雽?dǎo)體器件中，可以沉積多層，所以對(duì)于即使單個(gè)半導(dǎo)體器件的制造，多個(gè)不同光掩模也是必要的。的確，如果多于一件的設(shè)備由半導(dǎo)體制造商用來(lái)制造半導(dǎo)體器件，則可能的是，即使對(duì)于每個(gè)層也可能需要多于一個(gè)光掩模。此外，因?yàn)椴煌愋偷脑O(shè)備也可以用來(lái)曝光在不同的生產(chǎn)線中的光敏抗蝕劑，所以即使多個(gè)相同的光掩模圖案也可能要求確定尺寸、方位、定比例及其它屬性的另外變化，以考慮半導(dǎo)體制造設(shè)備的差別。類似調(diào)節(jié)也可能是必要的，以考慮光掩模制造商的照相平版法設(shè)備的差別。這些差別在光掩模制造過(guò)程中需要考慮。

發(fā)明內(nèi)容
盡管現(xiàn)有技術(shù)是有價(jià)值的，但現(xiàn)有技術(shù)的已知方法和設(shè)備呈現(xiàn)本發(fā)明尋求克服的幾種限制。
具體地說(shuō)，本發(fā)明的目的是，提供一種用來(lái)產(chǎn)生和處理光掩模定單的綜合前端方法和系統(tǒng)。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種用來(lái)自動(dòng)地把光掩模定單產(chǎn)生成一種或多種標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷降幕谝?guī)則的系統(tǒng)和方法，其中所述規(guī)則可改編或修改，以滿足現(xiàn)在已知或此后開(kāi)發(fā)的任何數(shù)量的不同標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷健?br> 本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種用來(lái)自動(dòng)地把光掩模定單產(chǎn)生成一種或多種標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷降幕谝?guī)則的系統(tǒng)和方法，其中所述系統(tǒng)和方法要求用戶遵守與用于光掩模定單的標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷接嘘P(guān)的一組規(guī)則。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種用來(lái)自動(dòng)地把光掩模定單產(chǎn)生成一種或多種標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷降幕谝?guī)則的系統(tǒng)和方法，其中通過(guò)把包含光掩模數(shù)據(jù)的現(xiàn)有光掩模定單和/或模板合并成一種單個(gè)的新定單而產(chǎn)生定單。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種用來(lái)減少光掩模定單和數(shù)據(jù)輸入時(shí)間的基于規(guī)則的光掩模定單系統(tǒng)和方法。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種用來(lái)增加制造的光掩模的整個(gè)產(chǎn)量的基于規(guī)則的光掩模定單系統(tǒng)和方法。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，提供一種用來(lái)減少與光掩模定單的人工輸入有關(guān)的抄錄錯(cuò)誤的基于規(guī)則的光掩模定單系統(tǒng)和方法。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，消除在用于光掩模制造的光掩模定單數(shù)據(jù)的傳輸和處理過(guò)程中的人工干預(yù)。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，減少?gòu)墓庋谀Ｖ圃焐虖那岸斯庋谀Ｌ幚砥鹘邮盏奖匾幚硇畔r(shí)至把成品光掩模交付給該前端光掩模處理器所占用的引導(dǎo)時(shí)間和總處理時(shí)間。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是，改進(jìn)光掩模數(shù)據(jù)被處理和傳輸以用于制造的精度和效率。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足。
其它目的由前面描述將成為顯然的。
現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明的以上和相關(guān)目的以一種前端方法和系統(tǒng)的形式獲得，該前端方法和系統(tǒng)用來(lái)以基本上準(zhǔn)備寫(xiě)(ready-to-write)格式和基本上準(zhǔn)備檢查(ready-to-inspect)格式自動(dòng)地產(chǎn)生和處理至少一部分光掩模定單。
更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種通過(guò)把在制造具有基本上透明和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的方法。這種方法包括如下步驟使用電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；確定尺寸設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，以助于在光掩模中的基本上透明和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；確認(rèn)被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并由如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種產(chǎn)生的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)被分解數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
類似地，本發(fā)明旨在一種通過(guò)把在制造具有相移和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的方法。這種方法包括步驟使用電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；施加光學(xué)近似性校正，以助于在光掩模中的相移和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；確認(rèn)被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把數(shù)據(jù)集調(diào)整成與掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
另外，本發(fā)明旨在一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有基本上透明和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)，該自動(dòng)系統(tǒng)包括包含指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。這些指令能夠在處理器上執(zhí)行，能夠完成如下步驟使用電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；確定尺寸設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)，以助于在光掩模中的基本上透明和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把數(shù)據(jù)集調(diào)整成與掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
況且，本發(fā)明旨在一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有基本上透明和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)。這種系統(tǒng)包括至少一個(gè)服務(wù)器，其包括存儲(chǔ)器、用來(lái)處理掩模數(shù)據(jù)的第一軟件部分和第二軟件部分，其中與掩模設(shè)計(jì)相關(guān)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中，第一軟件部分包括規(guī)定用戶輸入的要求數(shù)據(jù)以用于處理按照設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模的定單的指令，第二軟件部分包括用來(lái)把掩模圖案數(shù)據(jù)和要求數(shù)據(jù)分析成適于制造的格式的指令，其中第二軟件部分包括用來(lái)執(zhí)行如下任務(wù)的指令(i)確定設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的尺寸，以助于在光掩模中的基本上透明和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；(ii)把設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；(iii)驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；(iv)合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(a)被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(b)確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(c)被分解的數(shù)據(jù)；及(d)被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；(v)把數(shù)據(jù)集調(diào)整成與掩模制造過(guò)程相兼容；和電路，用來(lái)把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
而且，本發(fā)明旨在一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有相移和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)，該自動(dòng)系統(tǒng)包括包含指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。這些指令在處理器上是可執(zhí)行的，能夠完成如下步驟使用電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；施加光學(xué)近似性校正，以助于在光掩模中的相移和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)被分解的數(shù)據(jù)的確認(rèn)；把數(shù)據(jù)集調(diào)整成與掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
本發(fā)明也旨在一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有相移和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)。系統(tǒng)包括至少一個(gè)服務(wù)器，其包括存儲(chǔ)器、用來(lái)處理掩模數(shù)據(jù)的第一軟件部分和第二軟件部分，其中與掩模設(shè)計(jì)相關(guān)的所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中，第一軟件部分包括規(guī)定用戶輸入的要求數(shù)據(jù)以用于處理按照設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模的定單的指令，第二軟件部分包括用來(lái)把掩模圖案數(shù)據(jù)和所述要求數(shù)據(jù)分析成適于制造的格式的指令，其中第二軟件部分包括用來(lái)執(zhí)行如下任務(wù)的指令(i)施加光學(xué)近似性校正，以助于在光掩模中的相移和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；(ii)把設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；(iii)驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；(iv)合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(a)被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(b)確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(c)被分解的數(shù)據(jù)；及(d)被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；(v)把數(shù)據(jù)集調(diào)整成與掩模制造過(guò)程相兼容；和電路，用來(lái)把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。


當(dāng)結(jié)合附圖進(jìn)行時(shí)，通過(guò)參考本發(fā)明的優(yōu)選、盡管是說(shuō)明性的實(shí)施例的如下詳細(xì)描述，將更充分地理解本發(fā)明的以上和相關(guān)目的、特征及優(yōu)點(diǎn)，在附圖中圖1代表現(xiàn)有技術(shù)的空白或未開(kāi)發(fā)光掩模；圖2代表在已經(jīng)部分處理之后的圖1的光掩模；圖3代表在已經(jīng)充分處理之后的圖1和2的光掩模；圖4是流程圖，表示使用處理光掩模制成或處理半導(dǎo)體晶片的方法；圖5表示使用晶片分檔器制成半導(dǎo)體的過(guò)程；圖6表示按照本發(fā)明用來(lái)產(chǎn)生和處理光掩模定單的一般工藝流程；圖7表示根據(jù)本發(fā)明典型實(shí)施例的光掩模定單產(chǎn)生系統(tǒng)；圖8表示與本發(fā)明一起使用以指導(dǎo)用戶輸入規(guī)定數(shù)據(jù)的圖形用戶界面的例子；圖9是方塊圖，表示本發(fā)明的自動(dòng)制造系統(tǒng)的配置；圖10是在本發(fā)明的處理服務(wù)器中實(shí)現(xiàn)的數(shù)據(jù)陣列的屏幕照片；
圖11是超級(jí)鏈接到在本發(fā)明的處理服務(wù)器中實(shí)現(xiàn)的圖10的數(shù)據(jù)陣列的屏幕照片；及圖12是方塊圖，表示在圖9中表示的本發(fā)明的替換的多設(shè)施配置。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明涉及一種用來(lái)自動(dòng)地產(chǎn)生和處理光掩模定單的綜合前端方法和系統(tǒng)。這種方法和系統(tǒng)包括兩個(gè)分離的但相關(guān)的軟件部分。本發(fā)明的第一軟件部分用來(lái)以規(guī)定格式產(chǎn)生光掩模定單。本發(fā)明的第二軟件部分處理所述光掩模定單的至少一部分(該光掩模定單使用第一軟件部分、或基本上準(zhǔn)備寫(xiě)作業(yè)組文件和/或基本上寫(xiě)檢查文件產(chǎn)生，它又被轉(zhuǎn)移到遠(yuǎn)程光掩模制造商的系統(tǒng)以制造光掩模)。這些軟件部分在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上可安裝成分離的程序，或者作為完成多功能的單一軟件包操作。本發(fā)明的系統(tǒng)和方法的一般工藝流程參照?qǐng)D6描述，并且這種系統(tǒng)和方法的細(xì)節(jié)參照?qǐng)D7-12描述。
參照?qǐng)D6，從希望訂購(gòu)光掩模的實(shí)體(例如，從半導(dǎo)體制造商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng))得到光掩模設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和制造過(guò)程要求數(shù)據(jù)。典型半導(dǎo)體制造商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可以是前端處理器的計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)的部分或與其分離。如果它被遠(yuǎn)程地連接，則它可以通過(guò)FTP連接、固定因特網(wǎng)連接、數(shù)據(jù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)(如下面描述的那樣)或其它已知或未來(lái)開(kāi)發(fā)的技術(shù)等等連接。本發(fā)明的軟件的第一部分安裝在光掩模定單處理器的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上，并且用來(lái)以規(guī)定格式(例如，SEMI P-10)輸入和調(diào)整的制造過(guò)程要求數(shù)據(jù)。在優(yōu)選實(shí)施例中，本發(fā)明的軟件的第二部分也與第一軟件部分安裝在相同系統(tǒng)上?？蛇x擇地，第二軟件部分可安裝在不同的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上，該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可通過(guò)例如網(wǎng)絡(luò)連接、數(shù)據(jù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)與作為第一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的第一部分通信，如下面討論的那樣。
本發(fā)明的第二軟件部分接收在系統(tǒng)上作為電子文件已經(jīng)輸入的光掩模設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)。此后，第二軟件部分處理接收的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)和要求數(shù)據(jù)。在這方面，第二軟件部分(i)確定設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的尺寸用于二進(jìn)制光掩模設(shè)計(jì)，或?qū)λ鲈O(shè)計(jì)數(shù)據(jù)進(jìn)行光學(xué)近似性校正以用于相移掩模設(shè)計(jì)；(ii)分解所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)確認(rèn)被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；(iv)合并在所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)要求數(shù)據(jù)的處理期間創(chuàng)建的數(shù)據(jù)集；及(v)把合并的數(shù)據(jù)集調(diào)整成基本上準(zhǔn)備檢查和/或準(zhǔn)備寫(xiě)數(shù)據(jù)文件。一旦完成這些步驟，調(diào)整數(shù)據(jù)就由電子信號(hào)(例如，電子郵件)發(fā)送到光掩模制造商以便處理。在一個(gè)實(shí)施例中，在這些步驟完成之前，電子信號(hào)(例如，電子郵件)發(fā)送到制造商，通知光掩模定單正在輸入，并且從制造商請(qǐng)求與用來(lái)制造光掩模的制造設(shè)施和相關(guān)設(shè)備有關(guān)系的信息。制造商又將電子信號(hào)傳送到提供這種信息的光掩模處理器的系統(tǒng)。這種信息將在最后定下用于制造的數(shù)據(jù)時(shí)考慮。盡管在優(yōu)選實(shí)施例中，按在圖6中表示的順序進(jìn)行以上步驟，但應(yīng)該理解，本發(fā)明和附屬權(quán)利要求書(shū)不限于這些步驟順序，該步驟順序可修改以滿足具體定單和制造過(guò)程的需要。
在描述本發(fā)明的軟件部分和相關(guān)方法之前，首先必須描述創(chuàng)建光掩模定單和按照該定單制造光掩模所需要的信息的類型。更具體地說(shuō)，如這里討論的那樣，典型地需要光掩模來(lái)制造半導(dǎo)體和其它器件。通常是，在制造光掩模之前，需要光掩模的實(shí)體必須首先設(shè)計(jì)待制造的光掩模。為了這樣做，這個(gè)實(shí)體將產(chǎn)生某些數(shù)據(jù)和技術(shù)要求，以提供給光掩模制造商。更明確地說(shuō)，這個(gè)實(shí)體將在其計(jì)算機(jī)上產(chǎn)生(1)圖案數(shù)據(jù)；和(2)與特定作業(yè)相關(guān)的其它特定要求，這些要求常常以諸如SEMI P-10之類的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)格式提供，但可以以其它定制格式提供。
圖案數(shù)據(jù)典型地以圖的形式產(chǎn)生，并且典型地表示將要包括在光掩模上的各種形狀和線條。然而，圖案數(shù)據(jù)不必成比例。換句話說(shuō)，圖案數(shù)據(jù)不必包括與圖案數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的必要技術(shù)要求，包括但不限于諸如圖案的關(guān)鍵尺寸之類的信息、將要在圖案的不同區(qū)域中使用的顏色的深淺、登記信息、掩模的圖案的實(shí)際放置、曝光信息、檢查信息等等。而且，圖案數(shù)據(jù)僅表示待蝕刻在光掩模上的圖案的整體形狀。圖案數(shù)據(jù)能以可分析的任何電子格式提供。
因而，除提供圖案數(shù)據(jù)之外，設(shè)計(jì)光掩模的實(shí)體也把另外的必要信息典型地以SEMI P-10形式提供給制造商，以便完成處理步驟。SEMI P-10是打算助于在軟件系統(tǒng)之間的光掩模定單數(shù)據(jù)的傳輸?shù)臄?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)規(guī)范，以允許由光掩模制造商自動(dòng)地處理這樣的定單。已經(jīng)在過(guò)去幾年修訂的SEMI P-10形式包括這樣的信息，例如客戶信息、關(guān)鍵尺寸信息、色調(diào)信息、登記信息、記賬信息、被分離提供的圖案信息的格式代碼、用于完成光掩模的尺寸和比例系數(shù)、分解比例、基片和薄膜類型等等。SEMI-P10-0301標(biāo)準(zhǔn)以及其前身通過(guò)引用而被包括在這里，作為識(shí)別可包括在從客戶到光掩模制造商的數(shù)據(jù)傳輸中的信息類型的例子。為了便于引用，被電子提供的非圖案信息這里稱作光掩模定單。然而，應(yīng)該注意，本發(fā)明不限于SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)的當(dāng)前版本，并且可容易地修改，以符合在這樣的標(biāo)準(zhǔn)中的任何未來(lái)變化。而且，本發(fā)明不限于甚至標(biāo)準(zhǔn)格式，并且也可應(yīng)用于定制格式，該定制格式為了便于引用而在這里被稱作光掩模定單。根據(jù)本發(fā)明，第一軟件部分和相關(guān)方法用來(lái)指導(dǎo)用戶進(jìn)行定單輸入過(guò)程，從而以特定格式產(chǎn)生定單。
更具體地說(shuō)，根據(jù)本發(fā)明，提供一種用來(lái)自動(dòng)地以規(guī)定格式產(chǎn)生光掩模定單的計(jì)算機(jī)化基于規(guī)則的系統(tǒng)和方法，其中在輸入制造光掩模所要求的定單數(shù)據(jù)的過(guò)程中指導(dǎo)希望制造光掩模的實(shí)體(下文稱作“前端光掩模處理器”)，從而所述數(shù)據(jù)是完整和準(zhǔn)確的，并且滿足規(guī)定定單格式的要求。前端光掩模處理器的例子包括但不限于，光掩模設(shè)計(jì)者、半導(dǎo)體制造商、光掩模制造商的客戶等等。
為了實(shí)現(xiàn)這些功能，系統(tǒng)和方法利用第一軟件部分，該第一軟件部分包括如下五個(gè)子部分的一個(gè)或多個(gè)的組合，以把光掩模定單產(chǎn)生成希望格式(1)模板，其中輸入數(shù)據(jù)；(2)規(guī)則，用來(lái)把在模板中輸入的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)和/專有格式；(3)用來(lái)使用模板以規(guī)定格式創(chuàng)建光掩模定單的方法；(4)用來(lái)相對(duì)于規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)格式生效光掩模定單的分離的規(guī)則集；及(5)技術(shù)要求等級(jí)，其是與光掩模模板或定單有關(guān)的一個(gè)或多個(gè)獨(dú)特屬性對(duì)象并且可以由模板或定單所參考引用。
軟件在本發(fā)明的系統(tǒng)中實(shí)施，以把特定模板與特定規(guī)則相關(guān)聯(lián)而保證前端光掩模處理器輸入完整和準(zhǔn)確的光掩模定單信息。同樣，軟件在本發(fā)明的系統(tǒng)中實(shí)施，以把特定光掩模定單與特定規(guī)則相關(guān)聯(lián)而保證前端光掩模處理器輸入完整和準(zhǔn)確的光掩模定單信息。所述技術(shù)要求等級(jí)可處理為參考數(shù)據(jù)，并且可應(yīng)用于模板、定單、或創(chuàng)建定單使用的模板。通過(guò)使模板和定單包括技術(shù)要求等級(jí)作為參考數(shù)據(jù)，人們僅通過(guò)修訂少數(shù)的技術(shù)要求等級(jí)可以容易地更新大量模板和/或定單。
在描述這種軟件之前，首先必須描述模板、定單及規(guī)則被存儲(chǔ)和組織的方式。更具體地說(shuō)，系統(tǒng)包括服務(wù)器，包括至少一個(gè)處理器；和外部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)在所述服務(wù)器上。用來(lái)助于光掩模定單數(shù)據(jù)的輸入和用來(lái)產(chǎn)生定單的規(guī)則和模板存儲(chǔ)在所述外部存儲(chǔ)介質(zhì)中。外部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)可以是不同類型的存儲(chǔ)介質(zhì)，包括但不限于關(guān)系數(shù)據(jù)庫(kù)、面向?qū)ο箢悇e、XML文件及現(xiàn)在已知或以后開(kāi)發(fā)的其它類似存儲(chǔ)介質(zhì)。通過(guò)把存儲(chǔ)介質(zhì)保持在系統(tǒng)外部和通過(guò)提供與本發(fā)明的系統(tǒng)和方法一起使用的存儲(chǔ)介質(zhì)類型的靈活性，各種不同的用戶和自動(dòng)系統(tǒng)可以動(dòng)態(tài)地跨過(guò)各種不同平臺(tái)而操作所述系統(tǒng)。
在優(yōu)選實(shí)施例中，基于具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷降囊?，?chuàng)建一組模板和定單。在這方面，模板和定單組織為部分和子部分的層級(jí)，其中每個(gè)部分和子部分由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷降囊蠖x。例如，具體光掩模定單格式可能要求，掩模數(shù)據(jù)部分包括某些子部分，如標(biāo)題、條碼及圖案數(shù)據(jù)，等等。這些子部分可以具有更詳細(xì)的子部分(“子級(jí)部分”)。例如，是掩模數(shù)據(jù)部分的子部分的圖案數(shù)據(jù)部分可以具有與其相關(guān)的一組子級(jí)部分。依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷降囊?，這些子級(jí)部分也可以具有另外的子部分，該子部分又可具有它們自己的子部分，并且依此類推等等。
部分的每一個(gè)和其有關(guān)子部分由一組屬性(例如，二進(jìn)制、串、整數(shù)、實(shí)數(shù)、日期、Boolean、清單等等)定義。由于模板用來(lái)創(chuàng)建光掩模定單，所以與任何給定模板有關(guān)的規(guī)則(下面更詳細(xì)地討論)是與從模板創(chuàng)建的光掩模定單相關(guān)的規(guī)則的子集。在本發(fā)明下，模板、定單、部分、子部分等等每個(gè)可以分離地存儲(chǔ)。這將允許用戶留下某些部分或子部分在模板之外，并且使這些分離存儲(chǔ)的部分或子部分被模板參考作為技術(shù)要求等級(jí)。在由給定模板創(chuàng)建的新定單要求這些部分或子部分變化的情況下，人們只需要對(duì)于分離存儲(chǔ)的技術(shù)要求等級(jí)進(jìn)行變化，而不必對(duì)模板進(jìn)行任何變化。
表1表明模板和定單的部分和子部分可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷饺绾谓M織的例子表1


在表1中，在第一(最左)列中的條目是在第二列中的條目(子級(jí))的父級(jí)，并且在第二列中的條目是在第三列中的條目的父級(jí)，以此類推。可替換地，在表1中的任何兩個(gè)相鄰列可以定義部分(左列)和子部分(右列)。如在表1中表明的那樣，相同部分可以作為對(duì)于其它部分的子部分出現(xiàn)。例如，關(guān)鍵尺寸數(shù)據(jù)作為對(duì)于在表1的列4和列5中的圖案數(shù)據(jù)的子部分。由于每個(gè)部分和其有關(guān)子部分可以彼此以及與定單或模板分離地存儲(chǔ)，所以它們的任一個(gè)也可以從定單的一部分拷貝到同一定單或不同定單、模板、部分、子部分等等的另一部分。拷貝和粘貼部分和子部分的這種靈活性允許用戶迅速地創(chuàng)建多個(gè)光掩模定單，而不必重新輸入相同的定單信息。
模板和定單可以使用圖形用戶界面人工地創(chuàng)建。模板和定單也可以使用來(lái)自其它、外部介質(zhì)的信息自動(dòng)地創(chuàng)建或修改，該外部介質(zhì)包括但不限于非格式化文本文件、XML文件、或某種類型的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件或機(jī)構(gòu)。例如，前端光掩模處理器的計(jì)算機(jī)可以包括這樣的文件、數(shù)據(jù)庫(kù)或其它電子信息，在創(chuàng)建新模板或定單或提供用于現(xiàn)有模板或定單的丟失信息時(shí)有用。數(shù)據(jù)處理機(jī)構(gòu)可以用來(lái)把必要信息從這些外部介質(zhì)輸入到新的或現(xiàn)有的模板或定單。例如，轉(zhuǎn)換或映像軟件可用來(lái)把前端光掩模處理器的文件或數(shù)據(jù)庫(kù)轉(zhuǎn)換成應(yīng)用程序所需要的格式。這樣的軟件的可購(gòu)買(mǎi)到的例子是Data Junction，一種用來(lái)在幾百個(gè)應(yīng)用程序和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)格式之間迅速集成和轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)的可視設(shè)計(jì)工具。然而，任何適當(dāng)?shù)纳虡I(yè)或?qū)Ｓ修D(zhuǎn)換或映像軟件可用來(lái)完成這個(gè)任務(wù)。外部信息可以局部地通過(guò)定單處理系統(tǒng)、或經(jīng)像廣域網(wǎng)或局域網(wǎng)或因特網(wǎng)等等之類的現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)連接而輸入到模板或定單。它們也可以由諸如FTP協(xié)議、電子郵件、http、專有協(xié)議、或可能適于傳輸信息的任何其它已知協(xié)議之類的其它已知技術(shù)接受。當(dāng)使用GUI時(shí)，用戶可以由GUI提示以用戶輸入具體列出的數(shù)據(jù)。圖8是可由光掩模定單產(chǎn)生系統(tǒng)使用的典型GUI。在這個(gè)例子中，在圖8中表示的GUI提示用戶與待訂購(gòu)的掩模相關(guān)的描述性信息。在這個(gè)例子中，輸入包括掩模名稱、狀態(tài)、產(chǎn)品類型等等的信息。在例如具有掩模名稱的某些實(shí)例中，直接輸入所述信息。在其它實(shí)例中，可以從下拉菜單選擇信息，如關(guān)于產(chǎn)品類型種類的情形。
模板和定單也可以使用來(lái)自其它、外部介質(zhì)的信息自動(dòng)地創(chuàng)建或修改，該外部介質(zhì)包括但不限于非格式化文本文件、XML文件、或某種類型的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件或機(jī)構(gòu)。例如，前端光掩模處理器的計(jì)算機(jī)可以包括這樣的文件、數(shù)據(jù)庫(kù)或在創(chuàng)建新模板或定單或提供用于現(xiàn)有模板或定單的丟失信息時(shí)有用的其它電子信息。類似地，定單模板、部分、子部分等等可以由例如掃描儀、或其它文件轉(zhuǎn)換技術(shù)電子地輸入，從而預(yù)先存在的定單、模板、部分或子部分可以轉(zhuǎn)換和重新格式化，以便由光掩模定單產(chǎn)生系統(tǒng)使用。例如，轉(zhuǎn)換或映像軟件可用來(lái)把前端光掩模處理器的文件或數(shù)據(jù)庫(kù)轉(zhuǎn)換成應(yīng)用程序所需要的格式。這樣的軟件的可購(gòu)買(mǎi)到的例子是Data Junction，一種用來(lái)在幾百個(gè)應(yīng)用程序和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)格式之間迅速集成和轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)的可視設(shè)計(jì)工具。然而，任何適當(dāng)?shù)纳虡I(yè)或?qū)Ｓ修D(zhuǎn)換或映像軟件可用來(lái)完成這個(gè)任務(wù)。外部信息可以局部地通過(guò)定單處理系統(tǒng)、或經(jīng)像廣域網(wǎng)或局域網(wǎng)或因特網(wǎng)等等之類的現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)連接，由諸如FTP協(xié)議、電子郵件、http、專有協(xié)議、或任何其它已知協(xié)議之類的各種數(shù)據(jù)傳輸技術(shù)，而輸入到模板或定單。
也可以至少部分地以自動(dòng)方式進(jìn)行由個(gè)人經(jīng)圖形用戶界面進(jìn)行所有操作，而不用直接人工干預(yù)。在本發(fā)明下，這可基于純文本指令集或命令行由腳本技術(shù)實(shí)現(xiàn)。純文本指令集是可解釋成應(yīng)用程序編程界面以指示應(yīng)用程序進(jìn)行一系列操作的高級(jí)編程語(yǔ)言。例如，開(kāi)始“用器件名稱‘器件B’替換器件名稱‘器件A’”的命令行可由用戶在前端光掩模處理器的網(wǎng)絡(luò)處、或自動(dòng)地發(fā)送到系統(tǒng)，如這里細(xì)化的那樣。當(dāng)系統(tǒng)接收到這個(gè)命令行時(shí)，它用新器件名稱替換在特定模板或定單中的器件名稱。當(dāng)然，這只是可如何使用指令集的一個(gè)例子，并且不意味著在本發(fā)明范圍內(nèi)的限制。定制模塊為了用在前端光掩模處理器的系統(tǒng)上可以被創(chuàng)建，以使用能夠產(chǎn)生ASCII或二進(jìn)制文件和執(zhí)行操作系統(tǒng)命令的任何編程語(yǔ)言訪問(wèn)這個(gè)指令。自動(dòng)實(shí)施將允許由授權(quán)用戶經(jīng)現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)連接對(duì)任何授權(quán)系統(tǒng)進(jìn)行訪問(wèn)。諸如防火墻、注冊(cè)、口令等等之類的典型安全性措施可用來(lái)保護(hù)數(shù)據(jù)庫(kù)和掩模訂購(gòu)系統(tǒng)的機(jī)密性和數(shù)據(jù)安全性。
因而，定單、模板、部分、子部分等等可以通過(guò)使用腳本技術(shù)經(jīng)命令行或某種其它開(kāi)發(fā)環(huán)境產(chǎn)生和/或修改。優(yōu)選地，腳本技術(shù)涉及命令行程序，該命令行程序把由用戶輸入的腳本的名稱當(dāng)作變?cè)?，該變?cè)鄺l命令以便以某種規(guī)定方式操縱定單、模板、部分和/或子部分等等。優(yōu)選地，經(jīng)圖形用戶界面適用于用戶的某些或所有編輯功能性也可經(jīng)腳本命令使得在腳本技術(shù)中適用。
在優(yōu)選實(shí)施例中，腳本命令可以用于這樣的編輯功能，如創(chuàng)建新定單；編輯現(xiàn)有定單；由模板創(chuàng)建定單；把新部分或子部分添加到定單、模板、部分、或子部分；修改部分或子部分；保存定單；以其它可比較格式或標(biāo)準(zhǔn)由定單創(chuàng)建SEMI P-10文件；等等。另外，可使得腳本技術(shù)能夠同時(shí)對(duì)多個(gè)定單和模板查詢數(shù)據(jù)和進(jìn)行批編輯。
在腳本技術(shù)中使用的腳本文件可以處于包含一條或多條腳本命令的純文本文件的形式。腳本命令可以包括這樣的功能，如變量說(shuō)明、賦值、函數(shù)調(diào)用、if(如果)-語(yǔ)句、for(循環(huán))或foreach(循環(huán)每一個(gè))語(yǔ)句、while(當(dāng))-語(yǔ)句及包含等等。變量說(shuō)明命令用來(lái)在其使用之前說(shuō)明用來(lái)存儲(chǔ)以后使用的數(shù)據(jù)值的變量。變量說(shuō)明命令可以包括待使用的變量的數(shù)據(jù)類型的說(shuō)明。變量的數(shù)據(jù)類型可以是如下一種串、數(shù)字、Boolean、日期、清單、樹(shù)項(xiàng)。串可以代表零或多個(gè)字符的序列。數(shù)字可以代表可以是正、零、或負(fù)的任何實(shí)際大小的整數(shù)或分?jǐn)?shù)。Boolean可以代表真或偽。日期可以代表具體哪天，并且也可以包括當(dāng)天的時(shí)間。清單可以代表相同數(shù)據(jù)類型的值的清單。樹(shù)項(xiàng)可以代表來(lái)自光掩模訂購(gòu)系統(tǒng)的樹(shù)層級(jí)的對(duì)象，如定單、光掩模、模板、或圖案等等。
借助于函數(shù)調(diào)用命令，可對(duì)系統(tǒng)庫(kù)中的函數(shù)進(jìn)行調(diào)用?？蓮南到y(tǒng)庫(kù)調(diào)用的函數(shù)可以包括用于定單、模板、部分、及子部分的一般管理的函數(shù)，用來(lái)處理個(gè)別樹(shù)項(xiàng)的函數(shù)，用來(lái)處理具體樹(shù)項(xiàng)的字段的函數(shù)；用來(lái)處理日期值的函數(shù)，用來(lái)操縱值的清單的函數(shù)，及任何其它一般或特定目的函數(shù)。
用于定單、模板、部分、及子部分的一般管理的函數(shù)調(diào)用的例子可以包括但不限于創(chuàng)建定單(以創(chuàng)建新的空定單)、由模板創(chuàng)建定單(以由給定模板創(chuàng)建新定單)、打開(kāi)定單(以打開(kāi)現(xiàn)有定單)、創(chuàng)建模板(以創(chuàng)建新模板)、打開(kāi)模板(以打開(kāi)用于編輯的現(xiàn)有模板)、應(yīng)用日程表(以從規(guī)定日期開(kāi)始把給定預(yù)先存在的日程表應(yīng)用于定單或模板)、保存(以把對(duì)于定單模板的變化保存到數(shù)據(jù)庫(kù))、創(chuàng)建SEMIP-10文件(以由給定定單創(chuàng)建“SEMI P-10”文件)、創(chuàng)建和發(fā)送SEMIP-10文件(以由給定定單創(chuàng)建SEMI P-10文件，并且把它經(jīng)規(guī)定傳輸方法，例如在因特網(wǎng)上的FTP，發(fā)送到規(guī)定位置)、刪除定單(以從數(shù)據(jù)庫(kù)刪除規(guī)定定單)、刪除模板(以從數(shù)據(jù)庫(kù)刪除規(guī)定模板)等等。
用來(lái)處理個(gè)別樹(shù)項(xiàng)的函數(shù)調(diào)用的例子可以包括但不限于創(chuàng)建樹(shù)項(xiàng)(以創(chuàng)建特定類型的新的、空白樹(shù)項(xiàng))、拷貝樹(shù)項(xiàng)(以創(chuàng)建樹(shù)項(xiàng)的準(zhǔn)確拷貝，包括其有關(guān)子級(jí)樹(shù)項(xiàng))、查找樹(shù)項(xiàng)(以在滿足一定給定標(biāo)準(zhǔn)的另一個(gè)樹(shù)項(xiàng)下的任何地方定位給定類型的樹(shù)項(xiàng))、查找多個(gè)樹(shù)項(xiàng)(以查找滿足一定給定標(biāo)準(zhǔn)的所有樹(shù)項(xiàng))、獲得父級(jí)(以得到給定樹(shù)項(xiàng)的父級(jí)樹(shù)項(xiàng))、在樹(shù)中替換(以替換在從特定對(duì)象開(kāi)始的特定類型的樹(shù)項(xiàng)內(nèi)的所有文本字段中的給定文本件)等等。
用來(lái)處理樹(shù)項(xiàng)的字段的函數(shù)調(diào)用的例子可以包括但不限于獲得字段(以得到樹(shù)項(xiàng)字段的值)、設(shè)置字段(以設(shè)置樹(shù)項(xiàng)字段的值)、添加字段項(xiàng)(以把新值添加到具有類型清單的樹(shù)項(xiàng)字段)、除去字段項(xiàng)(以從類型清單的樹(shù)頂字段除去項(xiàng))等等。
用來(lái)處理日期值的函數(shù)調(diào)用的例子可以包括但不限于創(chuàng)建日期(以創(chuàng)建具有規(guī)定值的新日期)、日期添加(以把規(guī)定時(shí)間段添加到日期)、日期減去(以把規(guī)定時(shí)間段從日期減去)等等。
用來(lái)操縱值的清單的函數(shù)調(diào)用的例子可以包括但不限于添加清單項(xiàng)(以把新項(xiàng)添加到清單，其中新項(xiàng)具有與在清單中的其它項(xiàng)相同的數(shù)據(jù)類型)、除去清單項(xiàng)(以從清單除去項(xiàng))、清單包含(以確定特定值是否包含在清單中)、清單尺寸(以確定在清單中的項(xiàng)數(shù))等等。
一般或特定目的函數(shù)的例子可以包括但不限于是零(以確定值是否是零值)、打印(以把消息打印到屏幕)等等。用戶可能希望的任何類型或形式的功能可潛在地被包括作為在系統(tǒng)庫(kù)中的函數(shù)。在系統(tǒng)庫(kù)中的函數(shù)調(diào)用的清單可以在任何時(shí)間更新或修訂。
賦值命令把變量賦予新值。If(如果)-語(yǔ)句命令允許腳本基于某些標(biāo)準(zhǔn)做出決定。For(循環(huán))或foreach(循環(huán)每一個(gè))語(yǔ)句允許在某種規(guī)定清單上的迭代。While(當(dāng))命令是通常環(huán)路建造。Include(包含)命令規(guī)定另一個(gè)腳本應(yīng)該在該點(diǎn)運(yùn)行。
潛在地，命令行可以出現(xiàn)在任何定單中。然而，一般要求定單符合邏輯，因?yàn)槊畹湫偷匕错樞驁?zhí)行。命令行依據(jù)系統(tǒng)設(shè)計(jì)者的偏好可以是情形敏感的或不敏感的。
命令行可以作為文本包括在腳本文件中，從而通過(guò)以用戶的母語(yǔ)(例如，英語(yǔ)、俄語(yǔ)等等)解釋什么正在進(jìn)行而改善腳本文件的可讀性。典型地，當(dāng)命令行包括在腳本文件中時(shí)，在執(zhí)行腳本文件時(shí)將拒絕該信息。而且，腳本文件可以格式化，以允許用戶包括空白區(qū)域或空白回車，以提高文件的可讀性而不影響腳本文件的執(zhí)行。
在公開(kāi)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例中，一旦被整體或部分地產(chǎn)生，定單、模板、部分和/或子部分就可以傳輸?shù)奖景l(fā)明的系統(tǒng)的不同用戶、或本發(fā)明的不同系統(tǒng)，或由他們?cè)L問(wèn)。例如，在前端光掩模處理器處的用戶可以發(fā)電子郵件，或者否則把模板或定單傳送到在該前端光掩模處理器處或在不同前端光掩模處理器處的用戶，從而傳送的模板或定單可用來(lái)形成新的或修改的模板或定單。當(dāng)然，這樣的傳送可以由其它傳送方法進(jìn)行，如FTP協(xié)議、或盤(pán)或其它存儲(chǔ)介質(zhì)上的運(yùn)送等等。作為安全措施，訪問(wèn)代碼或其它訪問(wèn)限制技術(shù)可以應(yīng)用于定單、模板、部分和/或子部分等等，以防止越權(quán)訪問(wèn)和/或修改。
當(dāng)形成光掩模定單時(shí)，前端光掩模處理器可能不能獲取或知道完成定單的所有要求信息。在過(guò)去，這樣的信息的缺少會(huì)延遲定單完成過(guò)程，并且要求從適當(dāng)源人工地收集這樣的信息。
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例下，這樣的信息至少部分地從其它源自動(dòng)地檢索，所述其它源具有所要求的信息，并且要求在前端光掩模處理器的部分上的很少輸入、或沒(méi)有輸入。例如，在要求輸入到由第一組規(guī)則支配的定單中的信息對(duì)于前端光掩模處理器不可得到的情況下，本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理機(jī)構(gòu)可訪問(wèn)數(shù)據(jù)服務(wù)，該數(shù)據(jù)服務(wù)將提供搜索這種所要求的信息的能力。這樣的數(shù)據(jù)服務(wù)的例子包括ServiceObjects，這使用戶能夠同時(shí)訪問(wèn)因特網(wǎng)站點(diǎn)、數(shù)據(jù)庫(kù)、內(nèi)網(wǎng)及其它內(nèi)部和外部資源，就像所述內(nèi)容在單個(gè)位置中存在那樣，并且以其它程序可訪問(wèn)的格式打包信息，如運(yùn)送信息。在這個(gè)例子中，應(yīng)用程序把數(shù)據(jù)查詢發(fā)送到尋找特定運(yùn)送選項(xiàng)的數(shù)據(jù)服務(wù)，對(duì)于訂購(gòu)的光掩?？梢缘玫皆撨x項(xiàng)。數(shù)據(jù)服務(wù)又把被請(qǐng)求的信息發(fā)送回應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序然后把這樣的信息提供給使用應(yīng)用程序的前端光掩模處理器。其它類型的數(shù)據(jù)服務(wù)也可應(yīng)用于這樣的信息，如物流、目錄、供給特性、設(shè)備適用性、運(yùn)行時(shí)間、裝備時(shí)間、水平加載、容量信息、或?yàn)榱藴?zhǔn)備特定光掩模定單前端光掩模處理器希望的任何其它這樣的信息。腳本命令也可以創(chuàng)建以通過(guò)數(shù)據(jù)服務(wù)或其它訪問(wèn)數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)服務(wù)可以本地位于在前端光掩模處理器的計(jì)算機(jī)或網(wǎng)絡(luò)上，或者遠(yuǎn)離前端光掩模處理器的定單處理系統(tǒng)，并且本身可以通過(guò)對(duì)于應(yīng)用程序軟件和數(shù)據(jù)服務(wù)都已知的界面訪問(wèn)來(lái)自任何數(shù)量或類型的遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(例如，物流零售商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、零件供應(yīng)商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、設(shè)備供應(yīng)商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)、光掩模制造商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)等等)，及可使用任何數(shù)量的可接受協(xié)議，包括例如SOAP、XML、XML-RPC、ebXML、HTML等等。數(shù)據(jù)服務(wù)可以從這些遠(yuǎn)程系統(tǒng)搜索(例如，通過(guò)查詢)對(duì)于前端光掩模處理器不可得到的信息，并且如果可得到，則取得這樣的數(shù)據(jù)?？蛇x擇地，數(shù)據(jù)服務(wù)可配置成驗(yàn)證數(shù)據(jù)，如果需要的話。數(shù)據(jù)服務(wù)的搜索機(jī)構(gòu)可以基于用戶的希望信息(例如、物流、供給、處理時(shí)間等等是可配置的，該信息基于由用戶的系統(tǒng)提供的任何數(shù)量的可能參數(shù)(例如，成本、時(shí)間、前端光掩模處理器名稱、掩模尺寸、待使用的分檔器設(shè)備等等)。
由個(gè)人經(jīng)圖形用戶界面進(jìn)行的所有操作也可以至少部分地以自動(dòng)方式完成；就是說(shuō)，沒(méi)有人工干預(yù)。本發(fā)明可以經(jīng)純文本指令集或命令行提供對(duì)于這種功能性的訪問(wèn)。純文本指令集是可解釋成應(yīng)用程序編程界面以指示應(yīng)用程序進(jìn)行一系列操作的高級(jí)編程語(yǔ)言。例如，開(kāi)始“用器件名稱‘器件B’替換器件名稱‘器件A’”的命令行可由用戶在前端光掩模處理器的網(wǎng)絡(luò)處、或自動(dòng)地發(fā)送到系統(tǒng)，如這里細(xì)化的那樣。當(dāng)系統(tǒng)接收到這個(gè)命令行時(shí)，它用新器件名稱替換在特定模板或定單中的器件名稱。當(dāng)然，這只是可如何使用指令集的一個(gè)例子，并且不意味著在本發(fā)明范圍內(nèi)的限制。定制模塊為了用在前端光掩模處理器的系統(tǒng)上可以被創(chuàng)建，以使用能夠產(chǎn)生ASCII或二進(jìn)制文件和執(zhí)行操作系統(tǒng)命令的任何編程語(yǔ)言訪問(wèn)這個(gè)指令。自動(dòng)實(shí)施將允許由授權(quán)用戶經(jīng)現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)連接對(duì)任何授權(quán)系統(tǒng)進(jìn)行訪問(wèn)。諸如防火墻、注冊(cè)、口令等等之類的典型安全性措施可用來(lái)保護(hù)數(shù)據(jù)庫(kù)和掩模訂購(gòu)系統(tǒng)的機(jī)密性。
圖7表明本發(fā)明的自動(dòng)特征的各種可能實(shí)施例的例子。如圖7中所示，前端光掩模處理器110已經(jīng)在其計(jì)算機(jī)系統(tǒng)或網(wǎng)絡(luò)上安裝與本發(fā)明一致的定單處理系統(tǒng)100。這個(gè)系統(tǒng)的用戶可以以上述方式輸入部分或完整定單或模板。位于前端光掩模處理器的網(wǎng)絡(luò)上的文件130用來(lái)創(chuàng)建或修改模板或定單。就完成定單所必需的任何信息不由前端光掩模處理器直接輸入而論，這樣的信息可以由定單處理系統(tǒng)100自動(dòng)地從在前端光掩模處理器系統(tǒng)上可得到的文件、數(shù)據(jù)庫(kù)、或其它電子信息中；從在可遠(yuǎn)程訪問(wèn)的前端光掩模處理器的外部的系統(tǒng)中；直接地從前端光掩模處理器的一個(gè)或多個(gè)供應(yīng)商或零售商；及/或通過(guò)數(shù)據(jù)服務(wù)系統(tǒng)，自動(dòng)地取得。前端光掩模處理器可以直接輸入完成定單必需的所有信息，或完成定單必需的一部分信息并且剩余部分來(lái)自這些其它源，或者通過(guò)外部程序啟動(dòng)將自動(dòng)產(chǎn)生完整定單的過(guò)程而不必訪問(wèn)定單處理系統(tǒng)的圖形用戶界面。在圖7中表示的實(shí)施例中，完成定單必需的信息從數(shù)據(jù)服務(wù)系統(tǒng)120取得。數(shù)據(jù)服務(wù)系統(tǒng)120查詢配置資源，如能是例如前端光掩模處理器的供應(yīng)商或零售商的數(shù)據(jù)供應(yīng)商A和B。數(shù)據(jù)服務(wù)系統(tǒng)120也可以從前端光掩模處理器本身收集信息。如圖6中所示，與用來(lái)制造光掩模的制造設(shè)備相關(guān)的信息可經(jīng)數(shù)據(jù)服務(wù)系統(tǒng)120從制造商得到。一旦所有必要的信息被檢索并且輸入到適當(dāng)模板中，就產(chǎn)生定單文檔140，其被發(fā)送到光掩模供應(yīng)商150。
自動(dòng)方式的任何任務(wù)的執(zhí)行可以包括基于任何規(guī)則集的任何系統(tǒng)失效或過(guò)程生效的警報(bào)通知。通知是可通過(guò)終端用戶配置的，并且可以處于電子郵件、報(bào)文傳送、日志文件或數(shù)據(jù)庫(kù)條目的形式。在一個(gè)實(shí)施例中，所述通知特征自動(dòng)地產(chǎn)生發(fā)送到在光掩模的訂購(gòu)時(shí)將涉及的人們的姓名的分配清單的消息。這個(gè)分配清單可由任何預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)建立。一旦產(chǎn)生消息，可以把已經(jīng)產(chǎn)生用于光掩模的定單自動(dòng)地通知給在分配清單上的每個(gè)人。這樣的通知可以包括電子郵件、峰鳴器、瞬時(shí)報(bào)文傳送、移動(dòng)電話等等。這種自動(dòng)通知過(guò)程可建立在前端光掩模處理器的網(wǎng)絡(luò)或甚至制造商的網(wǎng)絡(luò)中的任何地方，并且可由前端光掩模處理器希望的任何步驟觸發(fā)。這個(gè)例子不應(yīng)該看作是對(duì)于本發(fā)明的限制，并且僅說(shuō)明可與本發(fā)明混合的通知系統(tǒng)的類型。
在新或修改光掩模定單的準(zhǔn)備的通知時(shí)，如果沒(méi)有錯(cuò)誤存在，則本發(fā)明可自動(dòng)地把定單轉(zhuǎn)送到光掩模制造商，或者可以等待來(lái)自前端光掩模處理器系統(tǒng)的認(rèn)證。如果識(shí)別到錯(cuò)誤，則前端光掩模處理器然后可以人工地編輯定單以修改這樣的錯(cuò)誤，并且以通常方式繼續(xù)處理定單?？蛇x擇地，數(shù)據(jù)可自動(dòng)地調(diào)整以校正錯(cuò)誤。
在另一個(gè)實(shí)施例中，可以產(chǎn)生不完整光掩模定單，該不完整光掩模定單包括一種格式的設(shè)計(jì)信息，該設(shè)計(jì)信息可傳送到光掩模制造商的處理系統(tǒng)，以允許光掩模制造商確認(rèn)設(shè)計(jì)的有效性、可行性及/或需要性。例如，前端光掩模處理器可以傳送包括分解指令的部分光掩模定單，該分解指令然后可傳輸?shù)焦庋谀Ｖ圃焐蹋詫?duì)提出設(shè)計(jì)的有效性、可行性及/或需要性進(jìn)行分析。這可如上述那樣自動(dòng)地進(jìn)行，或人工地進(jìn)行。如果自動(dòng)地進(jìn)行，則在接收到關(guān)于提出部分光掩模定單的信息時(shí)，系統(tǒng)可產(chǎn)生把分解指令提交給光掩模供應(yīng)商以便進(jìn)一步分析和估計(jì)所必需的信息。在信息提交時(shí)，光掩模制造商然后也可以提出從制造商的觀點(diǎn)或其它出發(fā)可能更可行或希望的替換設(shè)計(jì)。光掩模制造商的分析的結(jié)果然后可以傳輸?shù)角岸斯庋谀Ｌ幚砥饔?jì)算機(jī)系統(tǒng)，以便由前端光掩模處理器進(jìn)一步考慮是按照定單繼續(xù)還是修改提出的定單。
優(yōu)選地，模板、定單、部分、及子部分等等的每一個(gè)存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中，但也可以存儲(chǔ)在其它位置中。可以提供搜索引擎，在該搜索引擎上，用戶可搜索在數(shù)據(jù)庫(kù)或其它位置中存儲(chǔ)的具體模板、定單、部分、或子部分等等。使用搜索引擎，用戶可定位以具體定單格式產(chǎn)生光掩模所需要的適當(dāng)模板、部分、或子部分等等。一旦這樣的模板、部分、子部分等等被定位，就由用戶輸入與光掩模定單有關(guān)的數(shù)據(jù)(典型地，希望放置用于光掩模的定單的前端光掩模處理器)。為了完成或助于數(shù)據(jù)輸入或修改它們的內(nèi)容的目的，用戶也可使用搜索引擎定位現(xiàn)有光掩模定單，如下面描述的那樣。
如以上提到的那樣，前端光掩模處理器可能不具有具體光掩模定單格式的要求的足夠知識(shí)，并因而不能輸入由這樣的標(biāo)準(zhǔn)所要求的所有必要信息以完成定單。另外，前端光掩模處理器易于產(chǎn)生數(shù)據(jù)輸入錯(cuò)誤，并因而可能提供不準(zhǔn)確信息。因而，在系統(tǒng)上建立和存儲(chǔ)第一和第二組規(guī)則，以保證前端光掩模處理器把完整和準(zhǔn)確數(shù)據(jù)輸入到模板和定單中，如由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷揭蟮哪菢印?br> 在優(yōu)選實(shí)施例中，建立第一組規(guī)則以保證用戶為輸出完整光掩模定單而輸入所有必要數(shù)據(jù)，如由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷揭?guī)定的那樣。優(yōu)選地，基于選擇光掩模定單格式的要求建立第一組規(guī)則。在這方面，第一組規(guī)則指示數(shù)據(jù)“必須”輸入、“能夠”輸入及/或“不能”輸入到模板或定單的每個(gè)部分和子部分中，如由規(guī)定光掩模定單格式指示的那樣。另外，第一組規(guī)則應(yīng)該配置成，它們要求用戶把信息輸入到完成光掩模定單所要求的任何其它部分中(如以具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷綌⑹龅哪菢?。
因而，例如，參照表1，具體標(biāo)準(zhǔn)定單格式對(duì)于“圖案”模板可能要求，對(duì)于所有EAPSM定單必須提供放置數(shù)據(jù)和關(guān)鍵尺寸數(shù)據(jù)；可以提供模具對(duì)模具檢查數(shù)據(jù)；以及不能提供模具對(duì)數(shù)據(jù)。因而，規(guī)則被建立，并且與適當(dāng)模板(和部分和子部分)有關(guān)，該適當(dāng)模板要求(1)用戶“必須”包括放置數(shù)據(jù)和關(guān)鍵尺寸數(shù)據(jù)；(2)用戶“能夠”包括模具對(duì)模具檢查數(shù)據(jù)；及(3)用戶“不能”包括模具對(duì)數(shù)據(jù)檢查數(shù)據(jù)。因而，在這個(gè)例子中，當(dāng)用戶使用本發(fā)明的系統(tǒng)和方法尋求創(chuàng)建用于EAPSM的定單時(shí)，規(guī)則將(1)要求用戶輸入放置數(shù)據(jù)和關(guān)鍵尺寸數(shù)據(jù)；(2)允許(但不要求)用戶輸入模具對(duì)模具檢查數(shù)據(jù)；及(3)使用戶不能輸入模具對(duì)數(shù)據(jù)檢查。另外，選擇的定單格式可能要求，除圖案數(shù)據(jù)之外，陣列登記數(shù)據(jù)也必須輸入以完成光掩模定單。因而，第一組規(guī)則也配置成，一旦用戶已經(jīng)完成輸入所有圖案數(shù)據(jù)，用戶就將被引導(dǎo)到“陣列登記”模板，并且也被提示以把所有要求數(shù)據(jù)輸入到模板(和與該模板的子部分相對(duì)應(yīng)的任何其它模板)中。類似地，如果標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷揭髷?shù)據(jù)輸入到任何其它模板中以完成光掩模定單，則在用戶已經(jīng)把所有數(shù)據(jù)輸入到陣列登記模板中之后，第一組規(guī)則將指導(dǎo)用戶到這樣的其它模板，并且提示用戶把所有要求數(shù)據(jù)輸入到這樣的模板。一旦用戶已經(jīng)把數(shù)據(jù)輸入在所有要求模板中，則就將允許用戶最后完成模板(根據(jù)下面所討論的第二組規(guī)則經(jīng)受輸入數(shù)據(jù))。
因而，如應(yīng)該是顯然的那樣，本發(fā)明的第一組規(guī)則保證，用戶如由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ懈袷揭蟮哪菢?，把必要信息輸入到適當(dāng)模板中以產(chǎn)生光掩模定單。以另一種方式表達(dá)，所述規(guī)則在輸入光掩模定單數(shù)據(jù)的過(guò)程中指導(dǎo)用戶，以保證所有必要定單信息輸入到所述模板中。
另外，系統(tǒng)和方法也提供第二組規(guī)則，該組規(guī)則保證用戶以準(zhǔn)確和適當(dāng)格式輸入數(shù)據(jù)，如由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷揭?guī)定的那樣。如以上提到的那樣，模板的每個(gè)部分和子部分由屬性集(例如，二進(jìn)制、串、整數(shù)、實(shí)數(shù)、日期、Boolean、清單等等)定義。因而，在優(yōu)選實(shí)施例中，第二組規(guī)則為每個(gè)模板和定單而建立，該每個(gè)模板和定單向用戶指示輸入到具體模板或定單中的數(shù)據(jù)是否“必須”、“能夠”及/或“不能”具有具體屬性，如由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷揭蟮哪菢印?br> 例如，參照表1，具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷娇赡芤?1)輸入到放置模板中的數(shù)據(jù)“必須”是整數(shù)；(2)輸入到標(biāo)題模板中的數(shù)據(jù)“能夠”是串；及(3)輸入到關(guān)鍵尺寸模板中的數(shù)據(jù)“不能”是串。因而，對(duì)于放置模板建立規(guī)則，該規(guī)則(1)要求用戶在放置模板中輸入整數(shù)；(2)允許用戶把串輸入到標(biāo)題模板中；及(3)阻止用戶把串輸入到關(guān)鍵尺寸模板中。因而，如應(yīng)該是顯然的那樣，本發(fā)明的規(guī)則保證，用戶如由具體標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷揭蟮哪菢?，把適當(dāng)?shù)男畔㈩愋秃蛿?shù)據(jù)類型輸入到每個(gè)模板中，以產(chǎn)生光掩模定單。換句話說(shuō)，第二組規(guī)則只允許用戶把一定類型的數(shù)據(jù)輸入到模板中，并因而減少在放置光掩模定單的過(guò)程中具有設(shè)計(jì)錯(cuò)誤和/或數(shù)據(jù)輸入錯(cuò)誤的可能性。
在優(yōu)選實(shí)施例中，這里描述的第一和第二組規(guī)則被分離地創(chuàng)建和存儲(chǔ)。如以上提到的那樣，所述規(guī)則可以以任何不同數(shù)量的動(dòng)態(tài)格式(例如，作為數(shù)據(jù)庫(kù)、面向?qū)ο箢悇e、XML文件等等)存儲(chǔ)在系統(tǒng)內(nèi)部或系統(tǒng)外部，從而系統(tǒng)依據(jù)偏好或用戶和/或自動(dòng)系統(tǒng)，可以適于在任何數(shù)量的平臺(tái)上運(yùn)行。然而，應(yīng)該注意，可創(chuàng)建和存儲(chǔ)單組規(guī)則，條件是，這樣的單組規(guī)則保證用戶既完成光掩模定單信息(如參照第一組規(guī)則描述的那樣)，又完成準(zhǔn)確的光掩模定單信息(如參照第二組規(guī)則描述的那樣)。而且第一和第二組規(guī)則可以以類似方式組合成單組規(guī)則。
如以上提到的那樣，本發(fā)明包括把特定的第一和第二組規(guī)則與特定模板相關(guān)聯(lián)的功能，以保證以完整和準(zhǔn)確方式產(chǎn)生光掩模定單。在優(yōu)選實(shí)施例中，這種功能以基于軟件的應(yīng)用程序的形式提供，該應(yīng)用程序安裝在希望放置用于光掩模的定單的實(shí)體(如半導(dǎo)體制造商)的計(jì)算機(jī)上。不像現(xiàn)有技術(shù)，這種軟件不依賴于給定光掩模制造商的制造過(guò)程。而是本發(fā)明的軟件可用作獨(dú)立可靠的應(yīng)用程序、網(wǎng)絡(luò)分布的應(yīng)用程序、或基于web的“細(xì)-客戶機(jī)(thin-client)”應(yīng)用程序。優(yōu)選地，軟件應(yīng)用在客戶機(jī)-服務(wù)器系統(tǒng)中，其中圖形用戶界面(例如，客戶機(jī))連接到在服務(wù)器上的數(shù)據(jù)庫(kù)上并且從其檢索數(shù)據(jù)。在所有情況下，運(yùn)行本發(fā)明的軟件的前端光掩模處理器不要求訪問(wèn)和/或登錄光掩模制造商的任何外部局域網(wǎng)而發(fā)出定單。
現(xiàn)在描述本發(fā)明的軟件把特定規(guī)則與特定模板相關(guān)聯(lián)的方式。具體地說(shuō)，由于模板是分層的數(shù)據(jù)收集，所以模板的每個(gè)元素由有關(guān)軟件對(duì)象解釋。在優(yōu)選實(shí)施例中，規(guī)則嵌在所述軟件對(duì)象內(nèi)，并且負(fù)責(zé)在模板中輸入的數(shù)據(jù)的組裝。這些規(guī)則是約束條件或指令，如算法，并且典型地與軟件對(duì)象的一個(gè)或多個(gè)屬性相關(guān)。因而，借助于這種布置，當(dāng)規(guī)則和模板適當(dāng)?shù)乇舜擞嘘P(guān)時(shí)，有可能輸入完整和準(zhǔn)確的光掩模定單。
另外，系統(tǒng)優(yōu)選地配置成，如果需要的話，則允許分離地更新規(guī)則和模板。在這方面，當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)光掩模定單格式稱作SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)格式。然而，預(yù)期隨著產(chǎn)生技術(shù)進(jìn)步，可能開(kāi)發(fā)新的標(biāo)準(zhǔn)格式，以覆蓋這些進(jìn)步，并因而替換當(dāng)前SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)格式。另外，當(dāng)前有由海外光掩模制造商使用的多種其它國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)定單格式。就SEMI P-10格式而論，期望這些國(guó)際格式將相對(duì)于時(shí)間而變化或替換。因而，本發(fā)明的系統(tǒng)提供更新規(guī)則和模板以滿足這些變化的能力。更具體地說(shuō)，第一和第二組規(guī)則優(yōu)選地與模板的每一個(gè)彼此分離地存儲(chǔ)，該模板同樣也每個(gè)存儲(chǔ)為分離文件。通過(guò)保持所述規(guī)則和模板相分離，對(duì)于一個(gè)的任何修改將對(duì)其它沒(méi)有影響。在這方面，當(dāng)規(guī)則或模板被修改時(shí)，不需要對(duì)于對(duì)應(yīng)元素的相關(guān)代碼變化，其中都不由近似特征修改所指示。另外，通過(guò)分離地存儲(chǔ)規(guī)則和模板，可以避免系統(tǒng)失靈(例如，其中對(duì)于嵌入或內(nèi)部嵌套元素的意外變化可能引起意外失效)發(fā)生的可能性。在這方面，如果規(guī)則和模板不分離地存儲(chǔ)，則獨(dú)立修改是不可能的?，F(xiàn)有模板的每一個(gè)(可能有幾千個(gè)，如果不是更多)那么不得不個(gè)別地修改，以包括新規(guī)則。因而，顯而易見(jiàn)，本發(fā)明的系統(tǒng)和方法不限于任何一種具體標(biāo)準(zhǔn)格式，而是可容易地適應(yīng)以符合任何當(dāng)前或新開(kāi)發(fā)標(biāo)準(zhǔn)光掩模定單格式的要求。類似地，前端光掩模處理器可以改變其專有定單格式，以滿足與新開(kāi)發(fā)或改進(jìn)技術(shù)有關(guān)的任何變化。
為了修改所述規(guī)則，建立軟件對(duì)象，從而其中包含的規(guī)則可能影響包含在其內(nèi)的它們的屬性、它們的子級(jí)或其它規(guī)則的一個(gè)或多個(gè)。在這方面，建立所述規(guī)則，從而只有一些規(guī)定屬性受規(guī)則影響。因而，由于軟件對(duì)象，像模板，本質(zhì)上是分層的，所以它們既知道它們的父級(jí)又知道它們的子級(jí)。因而，在修改子級(jí)對(duì)象的任何時(shí)候，通知其受變化影響的區(qū)域、規(guī)則、或?qū)傩缘母讣?jí)。結(jié)果，在層級(jí)內(nèi)任何地方進(jìn)行的任何變化傳播通過(guò)整個(gè)家族。因而，所述規(guī)則具有增強(qiáng)父級(jí)的任何子級(jí)元素的添加、或除去的能力。因而，在應(yīng)用程序內(nèi)，每個(gè)對(duì)象通過(guò)軟件的后續(xù)發(fā)布是單獨(dú)可更新的或可升級(jí)的。另外，對(duì)象父級(jí)保持對(duì)于每種類型的子級(jí)元素的標(biāo)準(zhǔn)收集，在正在建造模板的同時(shí)，可添加或除去該子級(jí)元素。
響應(yīng)于標(biāo)準(zhǔn)和/或?qū)Ｓ泄庋谀６▎胃袷降男薷?其要求新屬性和/或子部分對(duì)于定單和模板的層級(jí)的添加)，也可修改模板。在這樣的情況下，對(duì)于受影響部分和/或子部分定義新關(guān)系，并且把新規(guī)則動(dòng)態(tài)地添加到現(xiàn)有規(guī)則方案。
為了表明本發(fā)明的這些特征，現(xiàn)在描述如下例子。當(dāng)前SEMIP-10標(biāo)準(zhǔn)要求光掩模定單尤其包括掩模定單[]、掩模集[]、掩模定義[]、及圖案定義[]。因而，根據(jù)這種要求，建立如下模板半定單模板、半掩模集模板、半掩模模板及半圖案模板。另外，建立用于這些模板的每一個(gè)的第一和第二組規(guī)則，這些規(guī)則指示是否數(shù)據(jù)必須輸入到模板的每一個(gè)中和可輸入到這樣的模板中的數(shù)據(jù)類型。然而，在以后時(shí)刻，SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)可以由要求CD部分的新標(biāo)準(zhǔn)替換。因而，現(xiàn)有模板(例如，半圖案)可修改成包括例如關(guān)鍵尺寸(CD)部分，以符合SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)量學(xué)方面的修改。另外，新模板可創(chuàng)建，以符合新SEMI標(biāo)準(zhǔn)的任何新添加方面(例如，登記)。類似地，已經(jīng)存在的第一和第二組規(guī)則可適于滿足與當(dāng)前SEMI P-10標(biāo)準(zhǔn)的修改CD部分方面有關(guān)的變化。另外，可創(chuàng)建新的第一和第二組規(guī)則組，以符合新SEMI標(biāo)準(zhǔn)的新登記特征。
技術(shù)要求等級(jí)也可以用作容易地更新在大量模板、定單、部分、子部分等等中包括的特定數(shù)據(jù)條目的機(jī)制。具體地說(shuō)，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，技術(shù)要求等級(jí)文件可以包括對(duì)于在多個(gè)定單、模板、部分、子部分等等中的未來(lái)更新所希望的特定數(shù)據(jù)或?qū)ο?。各種定單、模板、部分、子部分等等然后包括對(duì)于用于其中的特定數(shù)據(jù)的技術(shù)要求等級(jí)文件的參考引用，而不是存儲(chǔ)特定數(shù)據(jù)。以這種方式，這些被參考引用的特定數(shù)據(jù)或?qū)ο罂稍诖罅慷▎?、模板、部分、子部分等等中通過(guò)僅更新技術(shù)要求等級(jí)文件而更新，而不是更新引用這些特定數(shù)據(jù)或?qū)ο蟮乃卸▎?、模板、部分、子部分等等?br> 例如，技術(shù)要求等級(jí)可以包括標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵尺寸(CD)行寬度，該標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵尺寸行寬度在給定時(shí)間對(duì)于具體光掩模前端光掩模處理器被認(rèn)為可以接受。隨著光掩模技術(shù)繼續(xù)發(fā)展，可接收CD行寬度將可能經(jīng)受變化。代之以必須個(gè)別地更新規(guī)定具體CD的每個(gè)定單、模板、部分、子部分等等，技術(shù)要求等級(jí)的使用允許人們僅更新一個(gè)技術(shù)要求等級(jí)文件，并且然后參考該技術(shù)要求等級(jí)文件的所有文件都將自動(dòng)地更新。在光掩模定單的上下文中提供為技術(shù)要求等級(jí)的適當(dāng)變量的其它例子包括與掩模屬性有關(guān)的測(cè)量公差，該測(cè)量公差由光掩模制造商要求滿足，以保證掩模滿足前端光掩模處理器技術(shù)要求；與掩模屬性有關(guān)的可接收缺陷率，該缺陷率由光掩模制造商要求滿足，以保證掩模滿足前端光掩模處理器技術(shù)要求；與光掩模的制造有關(guān)的材料(基片、薄膜)，該材料必須滿足由前端光掩模處理器支付和期望的質(zhì)量水平；會(huì)計(jì)信息，包括定價(jià)和記賬/裝運(yùn)信息；前端光掩模處理器服務(wù)信息，如聯(lián)系姓名和電話號(hào)碼、滿足在光掩模生產(chǎn)中需要的內(nèi)部的或前端光掩模處理器要求所要求的機(jī)器類別或特定機(jī)器；平版印刷術(shù)圖案放置信息，包括但不限于數(shù)據(jù)色調(diào)、束曝光、X/Y放置信息；數(shù)據(jù)傳輸信息，包括但不限于電子郵件地址、FTP地址、協(xié)議、登錄ID和口令、目錄結(jié)構(gòu)；及與在光掩模制造中使用的原料有關(guān)的零售商特定信息，包括但不限于基片、薄膜、接觸物、抗蝕劑、及在制造中使用獨(dú)特設(shè)備，如“Applied Materials Alta 3500”或“KLA Starlight”等等。
如以上討論的那樣，模板或定單包括一個(gè)或多個(gè)有關(guān)對(duì)象，如部分、子部分、數(shù)據(jù)等等。例如，光掩?？梢跃哂幸粋€(gè)或多個(gè)有關(guān)屬性對(duì)象，如登記、標(biāo)題、條碼等等。在使用技術(shù)要求等級(jí)的本發(fā)明的實(shí)施例中，可以提供實(shí)用程序，以允許端用戶創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)獨(dú)特?cái)?shù)據(jù)或?qū)ο螅摂?shù)據(jù)或?qū)ο罂梢耘c模板或定單相關(guān)聯(lián)。這些對(duì)象將與有關(guān)定單和模板分離地存儲(chǔ)。此外，這些分離存儲(chǔ)對(duì)象可以具有它們自己的規(guī)則組。當(dāng)創(chuàng)建模板或定單時(shí)，可以允許端用戶把模板或定單與在實(shí)用程序中定義的某些或所有對(duì)象相關(guān)聯(lián)。在創(chuàng)建模板、定單、或從存儲(chǔ)模板產(chǎn)生的定單時(shí)，在實(shí)用程序中存儲(chǔ)的已經(jīng)與模板、定單、或用來(lái)創(chuàng)建定單的模板有關(guān)的所有對(duì)象信息可以當(dāng)作參考數(shù)據(jù)，并且施加到模板、定單、或用來(lái)創(chuàng)建定單的模板上?；谫x予在應(yīng)用程序的安全性模塊中的端用戶的“角色和職責(zé)”，可以更新或除去參考對(duì)象信息。例如，較少經(jīng)驗(yàn)的端用戶可能禁止改寫(xiě)在實(shí)用中存儲(chǔ)的參考數(shù)據(jù)。另一方面，可能允許有經(jīng)驗(yàn)用戶修改參考數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的另一個(gè)方面是，它通過(guò)如下提供生產(chǎn)新光掩模定單的能力(1)從其中包含數(shù)據(jù)的已經(jīng)存在的模板，把數(shù)據(jù)合并成新定單；(2)從其中包含數(shù)據(jù)的已經(jīng)存在的定單，把數(shù)據(jù)合并成新定單；(3)從已經(jīng)存在的模板和定單，把數(shù)據(jù)合并成新定單；或(4)從已經(jīng)存在定單、模板、部分及/或子部分，把數(shù)據(jù)合并成新定單。在這方面，每當(dāng)用戶把數(shù)據(jù)輸入到模板中或創(chuàng)建定單時(shí)，這樣的模板和/或定單保存在本發(fā)明的系統(tǒng)上。而且，如以前討論的那樣，部分和子部分在本發(fā)明的系統(tǒng)上與定單或模板相分離地存儲(chǔ)。此后，用戶能夠訪問(wèn)已經(jīng)存在的模板、定單、部分及/或子部分，并且使用保存在其中的數(shù)據(jù)以產(chǎn)生新定單。通過(guò)向本發(fā)明的系統(tǒng)的用戶提供從已經(jīng)存在的定單、模板、部分及/或子部分合并數(shù)據(jù)的能力，大大地減少用來(lái)輸入光掩模定單數(shù)據(jù)的過(guò)程，由此減少產(chǎn)生光掩模定單占用的整個(gè)時(shí)間。下面描述用來(lái)把數(shù)據(jù)合并成定單的四種方法的每一種。
在一個(gè)實(shí)施例中，為了從存在的模板創(chuàng)建新定單，提示用戶創(chuàng)建新的、空白定單。其次，向用戶提供選擇由以前光掩模定單創(chuàng)建或保存的模板和/或定單的選項(xiàng)。依據(jù)將要由新定單制造的光掩模的類型，用戶選擇和加載在關(guān)系數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)的最相關(guān)模板。選定的模板向用戶顯示以前輸入的數(shù)據(jù)。對(duì)于在模板內(nèi)的每個(gè)非零對(duì)象(例如，對(duì)象包括數(shù)據(jù))，用戶可以或者把以前輸入數(shù)據(jù)選擇成新定單，或者用新數(shù)據(jù)改寫(xiě)這種數(shù)據(jù)。另外，就在模板內(nèi)的具體對(duì)象是零(例如，它已經(jīng)是空的)而論，用戶可以把適當(dāng)數(shù)據(jù)輸入在該對(duì)象內(nèi)。其次，為這個(gè)定單建立的規(guī)則如上述那樣操作，以保證準(zhǔn)確和完整地輸入數(shù)據(jù)。此后，所述軟件處理這種信息，并且基于這種信息產(chǎn)生新定單。
用來(lái)從已經(jīng)存在的定單創(chuàng)建新定單的過(guò)程與從已經(jīng)存在的模板創(chuàng)建新定單的過(guò)程類似。在這個(gè)實(shí)施例中，為了從存在的定單創(chuàng)建新定單，提示用戶創(chuàng)建新的、空白定單。其次，向用戶提供選擇由以前光掩模定單創(chuàng)建或保存的模板和/或定單的選項(xiàng)。依據(jù)待由新定單制造的光掩模的類型，用戶選擇和加載在關(guān)系數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)的相關(guān)定單。選定的定單向用戶顯示以前輸入的數(shù)據(jù)。對(duì)于在定單內(nèi)的每個(gè)非零對(duì)象，用戶可以或者把以前輸入數(shù)據(jù)選擇成新定單，或者用新數(shù)據(jù)改寫(xiě)這種數(shù)據(jù)。另外，就在定單內(nèi)的具體對(duì)象是零而論，用戶可以把適當(dāng)數(shù)據(jù)輸入在該對(duì)象內(nèi)。其次，為這個(gè)定單建立的規(guī)則如上述那樣操作，以保證準(zhǔn)確和完整地輸入數(shù)據(jù)。此后，所述軟件處理這種信息，并且基于這種信息產(chǎn)生新定單。
在又一個(gè)實(shí)施例中，為了從存在的模板和定單創(chuàng)建新定單，提示用戶創(chuàng)建新的、空白定單。其次，向用戶提供選擇由以前光掩模定單創(chuàng)建或保存的模板和/或定單的選項(xiàng)。依據(jù)將要由新定單制造的光掩模的類型，用戶選擇和加載在關(guān)系數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)的相關(guān)模板。選定的模板向用戶顯示以前輸入的數(shù)據(jù)。對(duì)于在模板內(nèi)的每個(gè)非零對(duì)象，用戶可以或者把以前輸入數(shù)據(jù)選擇成新定單，或者用新數(shù)據(jù)改寫(xiě)這種數(shù)據(jù)。另外，就在模板內(nèi)的具體對(duì)象是零而論，用戶可以把適當(dāng)數(shù)據(jù)輸入在該對(duì)象內(nèi)。其次，為這個(gè)定單建立的規(guī)則如上述那樣操作，以保證準(zhǔn)確和完整地輸入數(shù)據(jù)。另外，以前保存的定單也可以合并成同一定單。在這方面，用戶可選擇和加載在關(guān)系數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)的先前發(fā)出的定單。選定的定單向用戶顯示以前輸入的數(shù)據(jù)。對(duì)于在定單內(nèi)的每個(gè)非零對(duì)象(例如，對(duì)象包括數(shù)據(jù))，用戶可以或者把以前輸入數(shù)據(jù)選擇成新定單，或者用新數(shù)據(jù)改寫(xiě)這種數(shù)據(jù)。另外，就在定單內(nèi)的具體對(duì)象已經(jīng)是空的而論，用戶可以把適當(dāng)數(shù)據(jù)輸入在該對(duì)象內(nèi)。其次，為這個(gè)定單建立的規(guī)則如上述那樣操作，以保證準(zhǔn)確和完整地輸入數(shù)據(jù)。一旦所有適當(dāng)模板和定單已經(jīng)合并成新定單，所述軟件就處理這種信息，并且基于這種信息產(chǎn)生新定單。
而且，以前定單或模板的存在部分和/或子部分可以輸入到新光掩模定單或模板中。例如，與記賬和/或裝運(yùn)地址有關(guān)的存在部分和/或子部分可以應(yīng)用于定單或模板。另外，在應(yīng)用程序內(nèi)定義的一個(gè)或多個(gè)獨(dú)特技術(shù)要求等級(jí)可以合并成新定單或模板。
一旦前端光掩模處理器使用本發(fā)明的第一方面的軟件已經(jīng)輸入定單數(shù)據(jù)，并且已經(jīng)產(chǎn)生光掩模圖案數(shù)據(jù)，本發(fā)明的第二軟件應(yīng)用程序就把這種信息的至少一部分自動(dòng)地處理成準(zhǔn)備寫(xiě)格式和準(zhǔn)備檢查格式。在一個(gè)實(shí)施例中，用來(lái)完成這種功能的軟件加載在前端光掩模處理器的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上。此后，被處理的信息以數(shù)據(jù)文件發(fā)送到用于制造的外部、遠(yuǎn)程制造商的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。
更具體地說(shuō)，在一個(gè)實(shí)施例中，前端光掩模處理器的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)包括服務(wù)器，第一和第二軟件部分都安裝在該服務(wù)器上。由前端光掩模處理器產(chǎn)生的定單數(shù)據(jù)和由前端光掩模處理器產(chǎn)生的圖案數(shù)據(jù)傳送到服務(wù)器。在優(yōu)選實(shí)施例中，分析軟件包括在前端光掩模處理器的服務(wù)器中以實(shí)現(xiàn)后作業(yè)過(guò)程，并且做兩件基本事情。第一，分析軟件檢查剛傳送到服務(wù)器的文件，并且把它們適當(dāng)?shù)?如果配置成這樣做)拷貝到預(yù)定工作數(shù)據(jù)目錄。第二，分析軟件記錄它所做的任何事情到監(jiān)聽(tīng)跟蹤?quán)]件消息，該郵件消息然后送出到任何數(shù)量的預(yù)配置郵件地址。這些郵件地址可編程為依據(jù)前端光掩模處理器、或其中發(fā)生所述處理的設(shè)施而變化。這種郵件消息既是前端光掩模處理器應(yīng)答、又是數(shù)據(jù)傳送已經(jīng)發(fā)生的內(nèi)部通知。
在優(yōu)選實(shí)施例中，圖案數(shù)據(jù)由分析軟件路由到連接到FTP服務(wù)器上的內(nèi)存池，并且存儲(chǔ)在其中以便以后處理?？蛇x擇地，圖案數(shù)據(jù)可通過(guò)其它通道傳送，或者可以存儲(chǔ)在FTP服務(wù)器中。
類似地，在優(yōu)選實(shí)施例中，定單由分析軟件路由到在前端光掩模處理器中用于處理的另一個(gè)計(jì)算機(jī)服務(wù)器(“處理服務(wù)器”)，該服務(wù)器或者直接或者通過(guò)網(wǎng)絡(luò)連接與FTP服務(wù)器相連接?？蛇x擇地，F(xiàn)TP服務(wù)器和處理服務(wù)器能是同一計(jì)算機(jī)。處理服務(wù)器包括用來(lái)處理定單的軟件(“SEMI軟件”)，該軟件從待處理和/或格式化的定單自動(dòng)地抽取或分析數(shù)據(jù)以便用于制造設(shè)備。這樣的處理和/或格式化可以出現(xiàn)在與處理服務(wù)器相同的計(jì)算機(jī)上，或在前端光掩模處理器的網(wǎng)絡(luò)的其它計(jì)算機(jī)服務(wù)器上。
在另一個(gè)實(shí)施例中，如圖12中所示，遠(yuǎn)程前端光掩模處理器設(shè)施也可裝有另外的處理服務(wù)器，該處理服務(wù)器具有安裝在其上的相同或類似SEMI軟件。因而，有可能使在其它位置的多個(gè)遠(yuǎn)程前端光掩模處理器設(shè)施經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接與FTP服務(wù)器相接合。結(jié)果，按照本發(fā)明，由FTP服務(wù)器接收的定單和圖案數(shù)據(jù)為了處理可路由到各種遠(yuǎn)程前端光掩模處理器設(shè)施。
在優(yōu)選實(shí)施例中，在處理這種數(shù)據(jù)的開(kāi)始時(shí)，SEMI軟件把已經(jīng)輸入用于光掩模的定單通知給在光掩模制造中將涉及的那些人員。當(dāng)接收到SEMI技術(shù)要求時(shí)，可自動(dòng)地觸發(fā)這種通知特征。更具體地說(shuō)，當(dāng)被啟動(dòng)時(shí)，通知特征可以自動(dòng)地產(chǎn)生發(fā)送到人們的姓名的分配清單的消息，其中在與SEMI技術(shù)要求相對(duì)應(yīng)的光掩模的制造中將涉及這些人。這種分配清單可由任何預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)建立。在一個(gè)實(shí)施例中，分配清單由處理服務(wù)器的位置建立，其中SEMI軟件安裝在該處理服務(wù)器上。因而，例如在SEMI軟件安裝在位于新加坡的設(shè)施中的處理服務(wù)器上的場(chǎng)合，分配清單將包括僅位于該設(shè)施中的那些人員的姓名。通過(guò)相反的例子，如果SEMI軟件安裝在位于德國(guó)的設(shè)施中的處理服務(wù)器上，則分配清單將包括僅位于該設(shè)施中的那些人員的姓名。一旦產(chǎn)生消息，就可以把已經(jīng)接收到用于光掩模的定單通知給在分配清單上的每個(gè)人。這樣的通知可以包括電子郵件、尋呼機(jī)、移動(dòng)電話等等。這個(gè)自動(dòng)通知過(guò)程可建立在前端光掩模處理器的網(wǎng)絡(luò)中的任何地方，并且由前端光掩模處理器希望的任何處理步驟觸發(fā)。這個(gè)例子不應(yīng)該當(dāng)作對(duì)于本發(fā)明的限制，并且僅說(shuō)明可被包含在本發(fā)明中的通知系統(tǒng)的類型。
其次，處理所述SEMI技術(shù)要求。在這方面，SEMI軟件可以包括從SEMI技術(shù)要求自動(dòng)抽取數(shù)據(jù)的特征，根據(jù)將要進(jìn)行的制造任務(wù)排列抽取的數(shù)據(jù)，及產(chǎn)生其中存儲(chǔ)排列數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)陣列。在優(yōu)選實(shí)施例中和如圖10中所示，數(shù)據(jù)陣列包括識(shí)別前端光掩模處理器(“企業(yè)”)的信息、前端光掩模處理器晶片fab(“FAB”)、實(shí)施的技術(shù)(“技術(shù)”)、作業(yè)號(hào)碼、用于光掩模的前端光掩模處理器設(shè)計(jì)信息(“器件”)、關(guān)于光掩模的制造的狀態(tài)報(bào)告(“狀態(tài)”)、及定單(“定單Rcvd”)和/或定單被接收的日期(“接收的P-10”)。
然而，應(yīng)該注意，如果需要，則優(yōu)選數(shù)據(jù)陣列應(yīng)該容易地修改，以便當(dāng)需要或表示較小分類時(shí)添加輔助描述性分類。而且，數(shù)據(jù)陣列也可包括更詳細(xì)的子數(shù)據(jù)陣列，該子數(shù)據(jù)陣列鏈接到以上列出的光掩模信息分類的任一種上。
例如，子數(shù)據(jù)陣列可超級(jí)鏈接到具體JOB No上。這個(gè)子數(shù)據(jù)陣列可包括證明在光掩模制造中進(jìn)行的每個(gè)步驟的時(shí)間和日期戳信息。
另外，子數(shù)據(jù)陣列可超級(jí)鏈接到器件類別上。在優(yōu)選實(shí)施例中，這個(gè)子數(shù)據(jù)陣列包括已經(jīng)從定單中抽取并且設(shè)置成用于關(guān)聯(lián)各種制造任務(wù)的數(shù)據(jù)，該制造任務(wù)可能需要在制造光掩模時(shí)進(jìn)行。這些制造任務(wù)例如包括但不必限于作業(yè)組處理(“Jobdeck”)、電子關(guān)鍵尺寸繪圖(“E-CD Plots”)、SEMI技術(shù)要求調(diào)整(“SEMI”)、條編碼(“BarCode”)、登記測(cè)量文件創(chuàng)建(“REG MF2”)、數(shù)據(jù)尺寸(“Data S/R”)、雙重檢查(“Double Chk”)。盡管未表示，這個(gè)子數(shù)據(jù)陣列也可以包括其它制造任務(wù)，像例如分解、柵格上檢查、光學(xué)近似性校正及標(biāo)識(shí)。
參照?qǐng)D9，SEMI處理軟件根據(jù)將要進(jìn)行的這些制造任務(wù)設(shè)置和處理抽取的數(shù)據(jù)。另外，這個(gè)子數(shù)據(jù)陣列可以包括其它信息，包括但不限于用于待形成在光掩模上的圖案的代碼名稱(“Layer”)、制造商的存貨控制號(hào)(“Plate No”)、其中根據(jù)前端光掩模處理器的偏好應(yīng)該處理每個(gè)光掩模的順序(“Pri”)、關(guān)于用于光掩模的制造過(guò)程的狀態(tài)報(bào)告(“Layer Status”)、及由SEMI處理軟件接收到數(shù)據(jù)的日期(“Data Rcd”)。
現(xiàn)在描述在這個(gè)子數(shù)據(jù)陣列中組織數(shù)據(jù)的方式。作業(yè)組處理是指指令傳送到平版印刷工具(例如，E束和激光束)和檢查設(shè)備(例如，KLA或Orbot)和由它們處理的方法。在平版印刷作業(yè)組處理的情況下，把圖案寫(xiě)在光掩模毛坯上需要的某些指令從定單抽取，并且存儲(chǔ)在圖10中表示的子數(shù)據(jù)陣列的作業(yè)組中。這些抽取的作業(yè)組指令然后由供平版印刷工具使用的SEMI處理軟件處理。這些指令指示各種圖案要放置在其上的光掩模上的位置、以及由具體工具完成的其它功能，該其它功能包括但不必限于控制曝光、圖案的定比例、及色調(diào)?？蛇x擇地，抽取的作業(yè)指令可以修改以考慮關(guān)于具體前端光掩模處理器、其劃分區(qū)或內(nèi)部制造場(chǎng)合等等的其它信息，以產(chǎn)生用于平版印刷工具或其它處理設(shè)備的適當(dāng)指令。例如，作業(yè)組指令對(duì)于前端光掩模處理器的具體制造中心可能需要例行地修改，以考慮由這樣的前端光掩模處理器提供的指令要求所述圖案被平版印刷工具顛倒這一事實(shí)，這與在分解所述圖案數(shù)據(jù)時(shí)顛倒圖案相比可能是一種耗時(shí)過(guò)程。
就檢查作業(yè)組處理而論，所述相關(guān)技術(shù)要求從定單中抽取，并且設(shè)置為被檢查設(shè)備使用。這些指令也存儲(chǔ)在作業(yè)組中。用于檢查設(shè)備的抽取技術(shù)要求應(yīng)該被排列和格式化，從而檢查設(shè)備可檢查出處理光掩模的缺陷(例如，模具對(duì)數(shù)據(jù)比較)和污染(即，清潔度)。
SEMI調(diào)整是指一種過(guò)程，借助于該過(guò)程，由前端光掩模處理器提供的定單自動(dòng)地修改，以包括另外的細(xì)節(jié)、被重新格式化或否則排列和/或除去外部細(xì)節(jié)。在這方面，SEMI處理軟件包括諸個(gè)功能，借助于這些功能它可把各種信息添加到定單。例如，前端光掩模處理器的業(yè)務(wù)要求，如優(yōu)選發(fā)送地址，可自動(dòng)地添加到定單上并且存儲(chǔ)在SEMI中，如圖11中所示。同樣，制造信息也可添加到定單，并且存儲(chǔ)在子數(shù)據(jù)陣列中。在這方面，編程SEMI軟件，以基于在制造過(guò)程中可能產(chǎn)生的各種情況(例如，基于制造商的設(shè)備的特征或特定前端光掩模處理器要求)，調(diào)節(jié)某些數(shù)據(jù)(例如，關(guān)鍵尺寸、偏置信息、薄膜類型)，該各種情況未被前端光掩模處理器所考慮、或者在前端光掩模處理器的定單中。
另外，SEMI軟件自動(dòng)地產(chǎn)生用于分解引擎的指令，以分解圖案數(shù)據(jù)。分解是熟知的過(guò)程，借此圖案數(shù)據(jù)劃分(即，分解)成平版印刷工具可理解的形狀和段。在優(yōu)選實(shí)施例中，以“cinc”文件的形式產(chǎn)生分解指令。在一個(gè)實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)輔助轉(zhuǎn)換軟件(“CATS”)用來(lái)分解圖案數(shù)據(jù)，并且觀看該圖案數(shù)據(jù)。CATS是商業(yè)可得到軟件，為了在制造過(guò)程以前觀看數(shù)據(jù)的目的，該軟件模擬作業(yè)組計(jì)劃表(例如，掩模布局)。然而，應(yīng)該注意，使用其它格式的其它軟件也可以產(chǎn)生分解指令。分解指令可以存儲(chǔ)在處理服務(wù)器上，或在獨(dú)立分離的盤(pán)內(nèi)存池上。分解引擎服務(wù)器與處理服務(wù)器或盤(pán)內(nèi)存池相接合，以讀取分解指令并且分解所述圖案數(shù)據(jù)。
一旦圖案數(shù)據(jù)已經(jīng)分解，就應(yīng)該驗(yàn)證分解數(shù)據(jù)的完整性。驗(yàn)證過(guò)程涉及在光掩模處理中使用的已知或此后開(kāi)發(fā)技術(shù)的任一種。
而且，條編碼是指借助于其把條碼施加到光掩模上的過(guò)程。更明確地說(shuō)，某些前端光掩模處理器為了庫(kù)存跟蹤目的可能希望把條碼包括在其光掩模上。因而，在前端光掩模處理器已經(jīng)在定單中包括用于這樣的條碼的信息的場(chǎng)合，SEMI處理軟件抽取這種數(shù)據(jù)，格式化它，及以由平版印刷工具可用的形式創(chuàng)建圖案數(shù)據(jù)。平版印刷工具由LithoJobdeck Instructions指向條碼圖案數(shù)據(jù)，以使用它把條碼寫(xiě)在光掩模上。
創(chuàng)建登記測(cè)量文件的過(guò)程是指一種方法，借助于這種方法，創(chuàng)建包含坐標(biāo)的文件，檢查工具將使用該坐標(biāo)對(duì)準(zhǔn)光掩模。這些坐標(biāo)可一起用來(lái)曝光在半導(dǎo)體上的圖像。登記信息也可以用在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，以把光掩模與半導(dǎo)體晶片、或其它光掩模層對(duì)準(zhǔn)。SEMI軟件從定單中抽取用于登記測(cè)量文件的創(chuàng)建的適當(dāng)數(shù)據(jù)，并且對(duì)于進(jìn)行登記檢查過(guò)程的設(shè)備格式化這樣的數(shù)據(jù)。在這方面，登記文件可處于各種格式，包括但不限于.MF2文件、.MF3文件、關(guān)鍵尺寸文件等等。數(shù)據(jù)定尺寸和顛倒的過(guò)程是指一種方法，借助于這種方法，修改圖案數(shù)據(jù)的尺寸和色調(diào)，以便于在制造過(guò)程中光掩模的處理。SEMI軟件從定單中抽取適當(dāng)指令，并且創(chuàng)建用于數(shù)據(jù)定尺寸操作的分解指令。這些指令典型地存儲(chǔ)在cinc文件中。這種過(guò)程進(jìn)行的狀態(tài)在圖9中的Data S/R中跟蹤。
在二進(jìn)制光掩模設(shè)計(jì)的情況下，SEMI軟件自動(dòng)地把數(shù)據(jù)偏置施加到圖案數(shù)據(jù)上，以提供緯度來(lái)說(shuō)明在光掩模制造期間基片的運(yùn)動(dòng)。因而，將說(shuō)明光掩模的基本上透明和基本上不透明特征的任何運(yùn)動(dòng)，從而仍然按照設(shè)計(jì)技術(shù)要求制造光掩模?？紤]施加數(shù)據(jù)偏置的因素包括但不限于生產(chǎn)控制標(biāo)識(shí)、在其制造光掩模的設(shè)施(例如，光掩模制造設(shè)施、前端光掩模處理器的設(shè)施)及在這些設(shè)施的條件，這些條件對(duì)于光掩模的制造可能有影響(例如，定尺寸、移動(dòng)、特別說(shuō)明、圖案命名更新、建造作業(yè)組、及圖案名稱到SEMI文件或MES文件的上載)。
在相移光掩模(“PSM”)設(shè)計(jì)的情況下，SEMI軟件自動(dòng)地把光學(xué)近似性校正(“OPC”)施加到圖案數(shù)據(jù)上，以校正典型地出現(xiàn)在PSM(例如，aaPSM、EAPSM)的關(guān)鍵尺寸和分辨率變化及類似子分辨率結(jié)構(gòu)。在這方面，本發(fā)明的軟件施加修改掩模設(shè)計(jì)的布局幾何形狀的OPC，以解決在構(gòu)造期間引入的系統(tǒng)性失真。
另外，生產(chǎn)控制標(biāo)識(shí)的過(guò)程是指確定適當(dāng)制造設(shè)施的特征，在該設(shè)施中將處理具體前端光掩模處理器定單。例如，在光掩模制造商包括在德國(guó)和新加坡的制造設(shè)施的場(chǎng)合，SEMI軟件分析前端光掩模處理器的定單，并且確定是否將在德國(guó)或新加坡、或其某種組合制造光掩模。生產(chǎn)控制標(biāo)識(shí)特征可設(shè)置成基于任何各種標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行這種確定，該標(biāo)準(zhǔn)包括但不限于在每個(gè)制造場(chǎng)合使用的平版印刷工具、前端光掩模處理器的偏好、及在每個(gè)設(shè)施處的工作負(fù)載。
雙重檢查特征是指一種過(guò)程，該過(guò)程為了已經(jīng)定尺寸的圖案數(shù)據(jù)的精度比較由前端光掩模處理器提供的技術(shù)要求。SEMI軟件從定單中抽取數(shù)據(jù)，并且把它排列成由進(jìn)行這種雙重檢查特征的設(shè)備讀取。
柵格上(on-grid)檢查是指把在作業(yè)組中的圖案數(shù)據(jù)的放置與平版印刷工具的內(nèi)部放置“柵格”相比較的過(guò)程。如果限定的位置坐標(biāo)點(diǎn)落在Litho工具內(nèi)部柵格的點(diǎn)之間，則認(rèn)為圖案偏離柵格。
本發(fā)明的另一個(gè)特征是自動(dòng)報(bào)文傳送特征，該報(bào)文傳送特征編程為識(shí)別錯(cuò)誤和其它事件發(fā)生(即，過(guò)程已經(jīng)開(kāi)始或結(jié)束)并把它們報(bào)告給這里討論的分配清單的成員。這種特征可如以上描述的那樣相對(duì)于FTP服務(wù)器和處理服務(wù)器被使用。
另外，電子關(guān)鍵尺寸繪圖(“E-CD Plots”)是指這樣的過(guò)程，借助于該過(guò)程，已經(jīng)處理的關(guān)于光掩模的圖案數(shù)據(jù)的電子畫(huà)面為了質(zhì)量控制目的標(biāo)記有內(nèi)部參考標(biāo)記。作為這里相關(guān)的，SEMI處理軟件從定單抽取用于E-CD Plotting的必要指令，并且典型地創(chuàng)建用于分解引擎的cinq文件以在創(chuàng)建繪圖文件時(shí)使用并把它們存儲(chǔ)在盤(pán)內(nèi)存池中。
依據(jù)提供定單的格式，可能需要或不需要進(jìn)行某些或全部制造任務(wù)。因而，可以使在數(shù)據(jù)陣列中列出的制造任務(wù)的任意一個(gè)可選擇地被禁用。為這些處理功能的每一種排列數(shù)據(jù)的方式將根據(jù)由前端光掩模處理器提供的技術(shù)要求而變化。盡管如此，數(shù)據(jù)應(yīng)該排列成可完成所述功能中的每一個(gè)。
這種系統(tǒng)也包括自動(dòng)和交互監(jiān)視系統(tǒng)，該監(jiān)視系統(tǒng)提供任何制造任務(wù)的狀態(tài)以及在進(jìn)行這樣的任務(wù)時(shí)遇到錯(cuò)誤的提示識(shí)別和通知。參照?qǐng)D9和10，在優(yōu)選實(shí)施例中，這個(gè)交互監(jiān)視系統(tǒng)以在因特網(wǎng)上的網(wǎng)站的形式提供，該網(wǎng)站可經(jīng)安全授權(quán)而訪問(wèn)，該安全授權(quán)包括但不限于口令。可選擇地，這個(gè)網(wǎng)站也可在萬(wàn)維網(wǎng)、和/或任何其它web上或者通過(guò)授權(quán)或者不通過(guò)授權(quán)而訪問(wèn)。一旦進(jìn)入這個(gè)網(wǎng)站，技術(shù)員就可觀看每項(xiàng)制造任務(wù)的狀態(tài)。如果任何錯(cuò)誤已經(jīng)發(fā)生，技術(shù)員就可停止該具體制造任務(wù)，校正錯(cuò)誤，及重新啟動(dòng)過(guò)程。
另外，制造執(zhí)行系統(tǒng)(“MES”)可安裝在客戶計(jì)算機(jī)上，該客戶計(jì)算機(jī)也可以由處理服務(wù)器接口。MES系統(tǒng)在本技術(shù)中是熟知的，并且向系統(tǒng)用戶提供跟蹤制造過(guò)程、產(chǎn)生記賬信息、及下載這里討論的各種制造任務(wù)的結(jié)果的能力。
本發(fā)明也可以用來(lái)把調(diào)整數(shù)據(jù)接口以及自動(dòng)地傳遞到任何MES系統(tǒng)，該MES系統(tǒng)實(shí)施標(biāo)準(zhǔn)或定制協(xié)議，該標(biāo)準(zhǔn)或定制協(xié)議包括但不限于XML、SOAP、ebXml、Rosetta Net及其它類似協(xié)議。
可包括其它任務(wù)，盡管在圖9中未表示，例如過(guò)程確定，這是自動(dòng)工具選擇過(guò)程。具體地說(shuō)，在過(guò)程確定時(shí)，在光掩模制造時(shí)利用的處理設(shè)備的具體單元或類型(例如特定平版(litho)或檢查工具)被規(guī)定。這種信息可以或者由前端光掩模處理器規(guī)定，或者作為所選擇的執(zhí)行具體任務(wù)地點(diǎn)的結(jié)果。
一旦相關(guān)數(shù)據(jù)文件由本發(fā)明的第二軟件部分的相關(guān)特征產(chǎn)生，在優(yōu)選實(shí)施例中，這些數(shù)據(jù)文件就合并成單個(gè)文件。如果希望，這些文件可保持為分離的文件，或者合并成多組文件。所述數(shù)據(jù)文件應(yīng)該包括處于基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式和/或準(zhǔn)備檢查格式的定單數(shù)據(jù)和圖案數(shù)據(jù)的至少一部分。換句話說(shuō)，數(shù)據(jù)文件應(yīng)該處于一種當(dāng)由制造商接收時(shí)可輸入到適當(dāng)制造設(shè)備中的格式，以按照前端光掩模處理器的技術(shù)要求基本上寫(xiě)和檢查光掩模。當(dāng)然，可能必須具有關(guān)于由制造商使用的設(shè)備類型的一些知識(shí)，以保證數(shù)據(jù)文件處于用于該設(shè)備的適當(dāng)格式。因而，在適當(dāng)和必要的場(chǎng)合，前端光掩模處理器應(yīng)該從制造商得到制造設(shè)備(例如，平版印刷工具、檢查設(shè)備等等)要求，并且把該信息包括在數(shù)據(jù)文件中。在一個(gè)實(shí)施例中，這可通過(guò)前端光掩模處理器把電子信號(hào)(例如，電子郵件)發(fā)送到制造商而建議他們輸入定單并且要求與制造光掩模使用的制造設(shè)施和相關(guān)設(shè)備有關(guān)的信息而完成。制造商又把電子信號(hào)傳送到提供這種信息的前端光掩模處理器。這些信號(hào)應(yīng)該在光掩模定單的輸入完成之前發(fā)送。在一個(gè)實(shí)施例中，使用所述數(shù)據(jù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和本發(fā)明的方法完成這些步驟。
一旦數(shù)據(jù)文件被編譯，前端光掩模處理器就經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接把這個(gè)文件發(fā)送到用于制造的外部的遠(yuǎn)程制造商的系統(tǒng)。在一個(gè)實(shí)施例中，前端光掩模處理器把這種信息經(jīng)基于TCP/IP的網(wǎng)絡(luò)(例如，因特網(wǎng))使用文件傳輸協(xié)議(“FTP”)電子地傳送到制造商。本發(fā)明也可使用其它協(xié)議，如分析電子郵件的附件或通過(guò)從其它介質(zhì)下載文件。一旦制造商的系統(tǒng)接收到文件，制造商就將按照在其中提供的指令和技術(shù)要求制造光掩模。在某些實(shí)例中，制造商可能必須進(jìn)行曾經(jīng)接收的這種文件的某種另外調(diào)整。此后，光掩?？捎脕?lái)通過(guò)這里討論的已知技術(shù)制造半導(dǎo)體。
因?yàn)橐呀?jīng)詳細(xì)地表示和描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所以對(duì)其的各種修改和改進(jìn)對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員將成為顯而易見(jiàn)的。例如，在優(yōu)選實(shí)施例中，由前端光掩模處理器使用的第一和第二軟件部分輸入光掩模定單，并且把該定單的至少一部分處理成基本上準(zhǔn)備寫(xiě)文件和/或基本上準(zhǔn)備檢查文件，該文件又發(fā)送到遠(yuǎn)程制造設(shè)施。然而，應(yīng)該理解，本發(fā)明可修改，從而第一軟件部分由前端光掩模處理器的前端光掩模處理器使用，其中前端光掩模處理器把光掩模定單發(fā)送到光掩模處理器，該光掩模處理器又使用本發(fā)明的第二軟件部分處理定單。因而，本發(fā)明的精神和范圍要廣義地理解，并且僅由附屬權(quán)利要求書(shū)而不是由以前說(shuō)明書(shū)限制。
權(quán)利要求
1.一種通過(guò)把在制造具有基本上透明和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的方法，包括步驟使用所述電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；確定所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的尺寸，使得便于在所述光掩模中的基本上透明和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與所述特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；驗(yàn)證所述被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并由如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種產(chǎn)生的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)所述確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)所述被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)所述被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與所述掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與所述特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與所述特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備檢查格式的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述光掩模制造處理包括檢查作業(yè)組。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述光掩模制造處理包括平版印刷作業(yè)組。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述確定尺寸步驟還包括生產(chǎn)控制標(biāo)志的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述確定尺寸步驟還包括確定制造設(shè)施的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述確定尺寸步驟還包括基于制造設(shè)施確定偏置的步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述確定尺寸步驟還包括確定光掩模制造設(shè)施的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述確定尺寸步驟還包括基于光掩模和客戶設(shè)施調(diào)整數(shù)據(jù)的步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述調(diào)整步驟包括如下步驟的一個(gè)或多個(gè)(i)確定所述數(shù)據(jù)的尺寸；(ii)移動(dòng)所述數(shù)據(jù)；(iii)提供與所述數(shù)據(jù)相關(guān)的特殊說(shuō)明；(iv)更新圖案的名稱；(v)建造作業(yè)組，把圖案名稱上載到SEMI文件中；以及(vi)把圖案名稱上載到MES文件中。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括處理至少一個(gè)作業(yè)組的步驟。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括從包括如下項(xiàng)的組中選擇的步驟畫(huà)出電子關(guān)鍵尺寸；調(diào)整SEMI技術(shù)要求；產(chǎn)生條碼以識(shí)別待制造的光掩模；創(chuàng)建登記測(cè)量文件；雙重檢查所述數(shù)據(jù)；及借助于制造設(shè)施的標(biāo)識(shí)而標(biāo)志所述數(shù)據(jù)，其中在所述制造設(shè)施處制造所述光掩模。
13.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述標(biāo)志步驟基于如下標(biāo)準(zhǔn)的一個(gè)或多個(gè)在所述制造地點(diǎn)處使用的平版印刷工具類型；前端光掩模處理器的偏好；及在每個(gè)設(shè)施處的工作負(fù)載。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述要求是光掩模工業(yè)格式。
15.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述工業(yè)格式是SEMI-P10標(biāo)準(zhǔn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述要求是專有格式。
17.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中所述專有格式基于前端光掩模處理器的設(shè)計(jì)系統(tǒng)。
18.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中所述專有格式基于前端光掩模制造商的處理系統(tǒng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述輸入要求的步驟由第一軟件部分支配，該第一軟件部分包括從包括如下的組選擇的至少一個(gè)子部分(1)模板，在其中輸入數(shù)據(jù)；(2)規(guī)則，用來(lái)把在模板中輸入的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成規(guī)定格式；(3)指令，用來(lái)使用模板以規(guī)定格式創(chuàng)建光掩模定單；(4)分離的規(guī)則組，用來(lái)相對(duì)于規(guī)定格式驗(yàn)證光掩模定單；及(5)與光掩模模板或定單相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)獨(dú)特屬性對(duì)象。
20.一種通過(guò)把在制造具有相移和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的方法，包括步驟使用所述電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；施加光學(xué)近似性校正，以助于在所述光掩模中的所述相移和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與所述特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；驗(yàn)證所述被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)所述確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)所述被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)所述被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與所述掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與所述特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
21.一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有基本上透明和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)，包括包含指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述指令在處理器上是可執(zhí)行的，能夠完成如下步驟使用所述電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；確定所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的尺寸，使得有助于在光掩模中的基本上透明和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)所述確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)所述被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)所述被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與所述掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與所述特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
22.一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有基本上透明和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)，包括至少一個(gè)服務(wù)器，包括存儲(chǔ)器、用來(lái)處理掩模數(shù)據(jù)的第一軟件部分和第二軟件部分，其中，與所述掩模設(shè)計(jì)相關(guān)的所述數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中，第一軟件部分包括規(guī)定用戶輸入的要求數(shù)據(jù)以用于處理按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模的定單的指令，第二軟件部分包括用來(lái)把掩模圖案數(shù)據(jù)和所述要求數(shù)據(jù)分析成適于制造的格式的指令，其中所述第二軟件部分包括用來(lái)執(zhí)行如下任務(wù)的指令(i)確定所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的尺寸，使得有助于在所述光掩模中的基本上透明和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；(ii)把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與所述特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；(iii)驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；(iv)合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(a)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(b)所述確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(c)所述被分解的數(shù)據(jù)；及(d)所述被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；(v)把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與所述掩模制造過(guò)程相兼容；和電路，用來(lái)把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與所述特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
23.一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有相移和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)，包括包含指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，所述指令在處理器上是可執(zhí)行的，能夠完成如下步驟使用所述電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的特定形式輸入所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；對(duì)于按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模，輸入用來(lái)處理定單的要求；施加光學(xué)近似性校正，以助于在所述光掩模中的所述相移和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與所述特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(i)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(ii)所述確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(iii)所述被分解的數(shù)據(jù)；及(iv)所述被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與所述掩模制造過(guò)程相兼容；及把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與所述特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
24.一種用來(lái)通過(guò)把在制造具有相移和基本上不透明特征的光掩模時(shí)使用的電子電路設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)文件形式的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成適于特定光掩模制造處理的數(shù)據(jù)格式而處理掩模數(shù)據(jù)的自動(dòng)系統(tǒng)，包括至少一個(gè)服務(wù)器，包括存儲(chǔ)器、用來(lái)處理掩模數(shù)據(jù)的第一軟件部分和第二軟件部分，其中與所述掩模設(shè)計(jì)相關(guān)的所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)器中，第一軟件部分包括規(guī)定用戶輸入的要求數(shù)據(jù)以用來(lái)處理按照所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制成的光掩模的定單的指令，第二軟件部分包括用來(lái)把掩模圖案數(shù)據(jù)和所述要求數(shù)據(jù)分析成適于制造的格式的指令，其中所述第二軟件部分包括用來(lái)執(zhí)行如下任務(wù)的指令(i)施加光學(xué)近似性校正，以助于在所述光掩模中的所述相移和基本上不透明特征的處理移動(dòng)；(ii)把所述設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的至少一部分分解成與所述特定光掩模制造處理相兼容的基本上準(zhǔn)備寫(xiě)格式；(iii)驗(yàn)證被分解的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的完整性；(iv)合并來(lái)自如下數(shù)據(jù)類型的一種或多種的兩個(gè)或更多的數(shù)據(jù)集(a)所述被輸入的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(b)所述確定尺寸的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)；(c)所述被分解的數(shù)據(jù)；及(d)所述被分解的數(shù)據(jù)的驗(yàn)證；(v)把所述數(shù)據(jù)集調(diào)整成與所述掩模制造過(guò)程相兼容；和電路，用來(lái)把與被調(diào)整的數(shù)據(jù)集相對(duì)應(yīng)的電子信號(hào)發(fā)送到與所述特定光掩模制造處理有關(guān)的遠(yuǎn)程制造系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用來(lái)自動(dòng)地產(chǎn)生和處理光掩模定單的綜合前端方法和系統(tǒng)。這種方法和系統(tǒng)包括兩個(gè)分離的但相關(guān)聯(lián)的軟件部分。本發(fā)明的第一軟件部分用來(lái)以規(guī)定格式產(chǎn)生光掩模定單。本發(fā)明的第二軟件部分把光掩模定單(它使用第一軟件部分而產(chǎn)生)的至少一部分處理成基本上準(zhǔn)備寫(xiě)作業(yè)組文件和/或基本上準(zhǔn)備寫(xiě)檢查文件，該文件又傳送到遠(yuǎn)程光掩模制造商的系統(tǒng)，以制造光掩模。這些軟件部分可安裝成在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)上的分離的程序，或者作為完成多種功能的單個(gè)軟件包而操作。
文檔編號(hào)G06F19/00GK101023397SQ200580026719
公開(kāi)日2007年8月22日 申請(qǐng)日期2005年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月25日
發(fā)明者愛(ài)德華·J.·蘇蒂勒, 克里斯托弗·J.·普洛格勒 申請(qǐng)人:美商福昌公司