專利名稱：用于群集工具的安全通用配置軟件的制作方法
專利說明用于群集工具的安全通用配置軟件
背景技術(shù)：
等離子體處理工具長期被用于處理晶片和其他小型器件(如平板、納米機(jī)器等)。群集工具(cluster tool)，代表等離子體處理工具的變體，已經(jīng)被廣泛應(yīng)用。在一個(gè)群集工具中，多個(gè)處理室被聚集在一個(gè)或者多個(gè)傳遞模塊的周圍。對于一個(gè)或多個(gè)特定過程，每個(gè)處理室是可以配置的。通過將半導(dǎo)體襯底從處理室移動(dòng)到群集工具的處理室，制造者可以在相當(dāng)短時(shí)間內(nèi)使襯底經(jīng)受多個(gè)過程以及多個(gè)處理配方。在制造環(huán)境中采用群集工具的好處之一是產(chǎn)量可得到提高。
為了便于論述，圖1示出了群集工具100，它代表典型的群集工具的高級(jí)的、簡化邏輯表示。群集工具100包括前端102和后端104。前端102可被看作群集工具100的一部分，其處于大氣壓下，且襯底通過其放入或移出。后端104包括處理襯底所需的實(shí)際處理模塊。
更具體地，圖1中的前端102包括多個(gè)端口110、112和114，其代表用于將襯底輸入群集工具100或從群集工具100卸出的端口。襯底接著進(jìn)入氣鎖120和122中的一個(gè)，氣鎖維持后端104和前端102之間的壓差。然后襯底從氣鎖120和122被傳送到一個(gè)公共傳遞模塊(TM)130，該模塊在襯底處理模塊(PM)140、142、144和146中移來移去時(shí)作為一個(gè)公共傳遞點(diǎn)。每個(gè)處理模塊被配置為使用特定配方執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)特定的處理。例如可以對處理模塊進(jìn)行配置以用于多晶硅蝕刻，可將另一個(gè)處理模塊配置成用于氮化物沉積，同一群集工具中的另一個(gè)處理模塊可被配置成用于金屬蝕刻。群集工具100可以包括圖1中沒有示出的其他模塊(如大氣處理模塊或者APM)以及其他子系統(tǒng)。由于群集工具中這些以及其他主要的子系統(tǒng)對于本領(lǐng)域技術(shù)人員是熟知的，因此這里就不列出或詳細(xì)論述主要的子系統(tǒng)了。
一個(gè)群集工具可以與其他的群集工具在主要子系統(tǒng)的數(shù)量上(如處理模塊的數(shù)量以及/或者類型)有所區(qū)別。而且，例如，即使兩個(gè)群集工具具有相同類型的相同數(shù)量的處理模塊，這兩個(gè)群集工具也仍然會(huì)由于構(gòu)成這兩個(gè)群集工具的子系統(tǒng)和子模塊不同而存在區(qū)別。例如，兩個(gè)金屬蝕刻處理模塊可以有不同的質(zhì)量流控制器或者真空泵。
為了精心制作，群集工具100的制造商，如加拿大Fremont的Lam研究公司，通常利用來自許多制造群集工具的第三方的子系統(tǒng)和部件。實(shí)際上，由于這允許公司集中他們的精力，而將他們感興趣的領(lǐng)域或?qū)ｉL以外的任務(wù)委托給其他公司，因此這種慣例在半導(dǎo)體處理設(shè)備領(lǐng)域中是標(biāo)準(zhǔn)的。
因此，使用來自不同供貨商的不同部件和子系統(tǒng)來制造群集工具。關(guān)于要將哪些部件或者哪些子系統(tǒng)并入給定的群集工具中的決定，是一個(gè)復(fù)雜的決定過程，要考慮經(jīng)濟(jì)、定價(jià)策略、技術(shù)能力、變化的技術(shù)、客戶要求、競爭定位以及/或者其他因素。而且，通常要每月或者每季度用一個(gè)或多個(gè)新的部件更新群集工具。這種因素，與不同客戶要求結(jié)合，導(dǎo)致基本的相似性，即制造商當(dāng)前發(fā)貨的群集工具在某些方面可能與先前由該制造商所發(fā)貨的所有其他群集工具有差別。然而，存在對所有群集工具的一般要求需要利用合適的配置軟件和/或者配置文件來配置群集工具以供使用。由于大多數(shù)子系統(tǒng)和部件都是電子控制的(所有現(xiàn)代硬件通常就是這樣)，因此需要配置單個(gè)部件/子系統(tǒng)以及需要在組合的群集工具中配置部件/子系統(tǒng)，使之一起工作。
傳統(tǒng)上，每個(gè)群集工具都配備有自己的配置軟件，這種軟件是為構(gòu)成組合的群集工具的特定子系統(tǒng)和部件而定制編碼的。然而，定制編碼既耗時(shí)又昂貴。與定制編碼相關(guān)的延遲和費(fèi)用不僅會(huì)在起初的購買階段，而且會(huì)在以新的子系統(tǒng)和/或部件更新群集工具時(shí)的每個(gè)更新周期影響使用者。隨著時(shí)間的過去，需要維護(hù)群集工具的不同版本的配置軟件程序，這對于群集工具的制造商同樣對于用戶來說都成為負(fù)擔(dān)。對某些制造商，簡直需要支持?jǐn)?shù)百個(gè)不同版本的群集工具配置軟件已經(jīng)成為一個(gè)問題。
此處本發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，如果可以創(chuàng)建一個(gè)通用的配置工具，則群集工具的制造商和/或用戶將能夠以較少的時(shí)間延遲和費(fèi)用來配置和支持群集工具。此外，此處本發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，也可以采用適當(dāng)設(shè)計(jì)的配置工具來防止在給定的群集工具中使用未授權(quán)部件/子系統(tǒng)，可以基于授權(quán)的配置靈活度支持不同定價(jià)結(jié)構(gòu)，可以用來支持群集工具開發(fā)中的努力以及/或者可用于仿真。本申請致力于這樣一種改進(jìn)的群集工具配置工具。


發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了通用配置工具(UCT)，它允許群集工具的制造商和用戶利用相同的軟件配置不同群集工具。該通用配置工具有利地將制造商和用戶從在安裝和/或更新群集工具時(shí)不得不使用不同的/定制編碼配置軟件中解脫出來。
在另一個(gè)實(shí)施例中，這種改進(jìn)的UCT支持不同級(jí)別的靈活性以適應(yīng)不同的客戶，使得制造商可有效設(shè)置提供給客戶的配置靈活性的級(jí)別，甚至基于一個(gè)部件一個(gè)部件的。有利地提供了這種靈活性而沒有損害采用單一軟件程序來通用地配置不同群集工具的能力。
在另一個(gè)實(shí)施例中，這種改進(jìn)的UCT為群集工具的制造商提供了一種防止未授權(quán)部件用于群集工具的方法。未授權(quán)部件的使用可導(dǎo)致不合格部件的使用，這會(huì)降級(jí)處理結(jié)果和/或損害群集工具。而且，這種改進(jìn)的UCT還包括用于防止UCT自身未授權(quán)地用于除了UCT使用被授權(quán)用于的群集工具之外的群集工具上的機(jī)構(gòu)。這防止了用戶許可UCT的單一拷貝并防止在不同的群集工具上執(zhí)行UCT。
在另一個(gè)實(shí)施例中，這種改進(jìn)的UCT包括開發(fā)幫助機(jī)構(gòu)，設(shè)計(jì)為便于新部件和/或性能的開發(fā)。在另一個(gè)實(shí)施例中，UCT給用戶提供了利用不同部件仿真不同群集工具的無限制的能力，以允許用戶在購買前研究(explore)不同的群集工具配置。
本發(fā)明的這些和其他特征將在下面的本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例的詳細(xì)描述中，結(jié)合下面的附圖做更詳細(xì)的描述。



在附圖中，通過實(shí)例，而不是通過限定示出了本發(fā)明，附圖中相似的參考標(biāo)號(hào)代表相似的元素，其中 圖1示出了群集工具，代表典型的群集工具的高級(jí)的、簡化邏輯表示。
圖2示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的系統(tǒng)范圍的配置文件和一個(gè)部件特定的配置文件。
圖3A示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中可如何生成系統(tǒng)范圍的配置文件和部件特定的配置文件集的邏輯圖。
圖3B示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中用戶界面實(shí)例，群集工具的用戶可采用通過該界面使用一個(gè)或多個(gè)選項(xiàng)或具有隱藏選項(xiàng)的部件。
圖3C示出了用戶界面實(shí)例，允許用戶對處理模塊輸入與用戶輸入、密鑰文件、模塊選項(xiàng)定義文件以及隱藏選項(xiàng)文件相關(guān)的數(shù)據(jù)。
圖4示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中可如何創(chuàng)建密鑰文件。
圖5示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中說明群集工具典型配置流程的流程圖。
圖6示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中生成用于配置群集工具的運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的簡化的流程圖。
圖7示出了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，利用面向?qū)ο蠓椒ㄉ捎糜谂渲萌杭ぞ叩倪\(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的流程圖。
圖8根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例示出了在上述組織之后的選項(xiàng)定義文件數(shù)據(jù)庫的層級(jí)組織的邏輯圖。
附錄A在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中提供了群集工具的實(shí)例sysconfig.txt文件的列表。
附錄B提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的實(shí)例處理模塊的實(shí)例configoptions.txt文件的列表。
附錄C提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的系統(tǒng)范圍的配置文件(sysconfig.txt)的列表，表示與目標(biāo)群集工具有關(guān)的高級(jí)配置細(xì)節(jié)。
附錄D提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的一個(gè)實(shí)例群集工具的傳遞室的部件級(jí)配置文件(configoptions.txt)。
附錄E提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中為實(shí)例群集工具再生的選項(xiàng)定義文件TMCImage.cfg。
附錄F提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中實(shí)例群集工具的上述文件TMCImageTMResD3Port.cfg的列表。
附錄G提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的定義文件TMCImageTMResD2Port.cfg。
附錄H提供了在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的用于處理模塊的選項(xiàng)定義文件pm.cfg。

具體實(shí)施例方式 現(xiàn)在將參照其在附圖中示出的一些實(shí)施例詳細(xì)描述本發(fā)明。在以下描述中，闡述了許多具體細(xì)節(jié)，以提供對本發(fā)明的透徹理解。然而，很明顯，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員，沒有某些或所有這些具體細(xì)節(jié)中也可以實(shí)施本發(fā)明。在其他情況下，沒有詳細(xì)描述眾所周知的工序和/或結(jié)構(gòu)，以避免不必要的使本發(fā)明不清楚。
下面描述了各種實(shí)施例，包括方法和技術(shù)。應(yīng)該記住，本發(fā)明可能還覆蓋了包括計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的制品，該介質(zhì)上存貯有用于執(zhí)行發(fā)明技術(shù)的實(shí)施例的計(jì)算機(jī)可讀指令。例如，計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可包括用于存貯計(jì)算機(jī)可讀代碼的半導(dǎo)體、磁、光磁、光學(xué)或其他形式的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)。而且，本發(fā)明還可覆蓋用來實(shí)施本發(fā)明實(shí)施例的裝置。這些裝置包括專用的和/或可編程電路，以實(shí)現(xiàn)與本發(fā)明實(shí)施例相關(guān)的任務(wù)。這種裝置的實(shí)例包括通用計(jì)算機(jī)和/或適當(dāng)編程的專用計(jì)算裝置，以及可包括計(jì)算機(jī)/計(jì)算裝置和適合于與本發(fā)明實(shí)施例有關(guān)的各種任務(wù)的專用/可編程電路的結(jié)合。
為了易于論述，術(shù)語“部件”指的是群集工具中基本的或多部分組件。這樣，部件可如氣管一樣簡單或可如整個(gè)處理模塊一樣復(fù)雜。多部分部件(例如處理模塊)可由其他多部分部件(例如真空系統(tǒng)、氣體系統(tǒng)、電源系統(tǒng)，等)組成，其又可由其他多部分或原子部件組成。
如所述的，一個(gè)群集工具會(huì)在組成部件的數(shù)量上與另外的群集工具有所區(qū)別。這樣，具有四個(gè)處理模塊的群集工具將需要與具有三個(gè)處理模塊的群集工具不同地進(jìn)行配置。基于許多不同的方面(例如類型、性能、廠商、固件等)，部件自身會(huì)隨著群集工具的不同而不同。例如，一個(gè)真空泵可能與另一個(gè)真空泵不同，這是因?yàn)閺S商(例如泵廠商A對泵廠商B)、類型(例如，低真空泵對渦輪泵)、性能(例如，泵容量的每分鐘的不同立方英尺)、固件(例如，運(yùn)行廠商固件版本2.0對1.7)的不同。因此，具有給定真空泵的群集工具可能需要與具有另一個(gè)真空泵的群集工具不同地進(jìn)行配置。上述實(shí)例僅是示例性的，并不是全面的。本領(lǐng)域技術(shù)人員將很容易地認(rèn)識(shí)到同樣的考慮可類似地應(yīng)用到群集工具的其他部件。
一般來說，每個(gè)群集工具由兩種類型的文本文件進(jìn)行定義，系統(tǒng)范圍的配置文件和一組部件特定配置文件。此處在圖2的實(shí)例中，系統(tǒng)范圍的配置文件命名為“sysconfig.txt”以便于參考，部件特定配置文件命名為“configoptions.txt”。系統(tǒng)范圍配置文件(如sysconfig.txt)，正如其名字所暗示的，定義了整個(gè)群集工具的最高級(jí)別的配置參數(shù)。此處的附錄A提供了一個(gè)實(shí)例群集工具的實(shí)例sysconfig.txt文件的列表。
通常每個(gè)群集工具都有一個(gè)sysconfig.txt文件，且系統(tǒng)范圍配置文件定義了處理模塊的數(shù)量和類型、傳送模塊的類型、群集工具控制軟件等。提供了一個(gè)防篡改機(jī)構(gòu)來防止對sysconfig.txt文件的未授權(quán)篡改。在一個(gè)實(shí)施例中，對sysconfig.txt文件計(jì)算檢查和，以幫助檢測隨后的篡改，盡管也可以采用其他防篡改配置。
在一個(gè)實(shí)施例中，系統(tǒng)范圍配置文件包含控制待配置的群集工具的主機(jī)的介質(zhì)訪問控制器(MAC)地址。sysconfig.txt文件中MAC地址的存在，使得當(dāng)在不同的主機(jī)(其可能與不同于預(yù)期的群集工具的群集工具相關(guān))上執(zhí)行UCT時(shí)能夠進(jìn)行檢測。這種特征可以防止用戶將錯(cuò)誤的配置文件應(yīng)用到錯(cuò)誤的群集工具上，并可以保護(hù)UCT制造商免受盜版。可選地或附加地，還可采用硬盤ID或者數(shù)字證書。而且，系統(tǒng)范圍配置文件包含了配置文件的預(yù)期有效期，即，日期，超過該日期使用群集工具和/或目前系統(tǒng)范圍配置文件不再被授權(quán)。MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)以及有效期構(gòu)成保護(hù)配置的一部分，該保護(hù)配置被設(shè)計(jì)為用于強(qiáng)制遵守群集工具和/或UCT的許可條款。
對于每個(gè)模塊，高級(jí)信息，例如模塊類型(例如，多晶硅蝕刻或者金屬蝕刻)、通信端口(例如，IP地址)、模塊是否運(yùn)行于開發(fā)模式、模塊是否運(yùn)行于仿真模式、模塊是自動(dòng)啟動(dòng)還是手動(dòng)啟動(dòng)等。并提供了包含更多模塊詳細(xì)配置信息的文件的文件名。
部件特定配置文件(如configoptions.txt)包含部件(如處理模塊(PM)，傳遞模塊(TM)，或者群集工具控制軟件)的更多詳細(xì)的配置信息。此處附錄B提供了一個(gè)實(shí)例處理模塊的實(shí)例configoptions.txt文件的列表。
通常每個(gè)模塊有一個(gè)configoptions.txt文件。與系統(tǒng)范圍配置文件類似，部件特定配置文件也可配備有其自己的防篡改配置(arrangement)，例如檢查和(check-sum)。處理模塊的部件特定配置文件中的更詳細(xì)的配置信息可定義諸如其中主要部件(例如，真空泵系統(tǒng)、氣體系統(tǒng)、RF電源系統(tǒng)、卡盤系統(tǒng)，等)的標(biāo)識(shí)的信息。例如，對于真空泵系統(tǒng)，處理模塊的configoptions.txt可標(biāo)識(shí)廠商(例如，Alcatel)和類型(例如，低真空泵)。例如，對于氣體系統(tǒng)，處理模塊的configoptions.txt文件可標(biāo)識(shí)類型(例如，增強(qiáng)的八條管線)、是否安裝了分離的氣體注射器、是否安裝了數(shù)字質(zhì)量流控制器，等。
圖3A是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例示出了可如何生成系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)302和部件特定配置文件集(configoptions.txt)304的邏輯圖。這些配置文件302和304生成自四個(gè)主要輸入源用戶輸入306、密鑰文件308、模塊選項(xiàng)定義文件310、和隱藏的選項(xiàng)文件312。
用戶輸入文件306表示由用戶(例如，負(fù)責(zé)安裝和/或更新群集工具的客戶服務(wù)工程師)提供的關(guān)于群集工具的適當(dāng)配置的輸入集，其包括任何和所有規(guī)范、選項(xiàng)、等。這些是為群集工具選擇的選項(xiàng)，在群集工具變?yōu)榭刹僮髦?，該選項(xiàng)需要配置。
密鑰文件308(或在本實(shí)例中“.tcf”文件)編碼對該配置的限制。換言之，密鑰文件308有助于配置的安全實(shí)施。由于UCT具有用于配置群集工具的所有可能的置換(permutation)的配置數(shù)據(jù)(該配置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在UCT可存取的部件的數(shù)據(jù)庫中)，密鑰文件308定義供目標(biāo)工具使用的可配置的選項(xiàng)的范圍。
一般地說，部件或?qū)傩钥梢允俏幢Ｗo(hù)的、保護(hù)的或隱藏的。例如，未保護(hù)的部件可由用戶無限制地配置。例如，如果部件數(shù)據(jù)庫包括六個(gè)不同渦輪泵并且在密鑰文件中渦輪泵被定義為未保護(hù)的部件，則工具用戶可采用UCT來配置六個(gè)渦輪泵中的任一個(gè)。另一方面，保護(hù)的部件帶有關(guān)于配置的限制。使用在前的渦輪泵實(shí)例，如果群集工具和/或UCT的許可條款只允許工具用戶配置具有兩個(gè)特殊標(biāo)識(shí)的渦輪泵的群集工具，則密鑰文件308將包含把得到許可的配置限制到唯一的兩個(gè)指定的渦輪泵的數(shù)據(jù)。當(dāng)然，如果希望的話，也可以將配置限制到單個(gè)特定泵。部件或用于對其進(jìn)行配置的選項(xiàng)可具有“隱藏”屬性。實(shí)施隱藏屬性以使得開發(fā)更容易，由于其允許授權(quán)用戶以否則用戶庫的其他用戶看不見的部件或配置選項(xiàng)來配置群集工具。在一個(gè)實(shí)例方案中，授權(quán)用戶(例如，支持工程師或授權(quán)的客戶)被提供具有隱藏屬性的配置選項(xiàng)的標(biāo)識(shí)。未這樣授權(quán)的用戶不知道該選項(xiàng)甚至存在，這是由于在一個(gè)實(shí)施例中具有隱藏屬性的選項(xiàng)甚至不顯示為配置可用的選擇。通過提供能夠使得制造商選擇性地僅對特定客戶揭示特定隱藏選項(xiàng)的存在(例如，為了開發(fā)的目的)，隱藏的選項(xiàng)對于控制訪問群集工具的軟件和/或硬件中的“成熟中的”特征是有用的。
授權(quán)用戶可通過提供部件標(biāo)識(shí)而指定具有用于在用戶輸入306中進(jìn)行配置的隱藏屬性的一個(gè)或多個(gè)這些選項(xiàng)。隱藏選項(xiàng)由此參與開發(fā)，這是因?yàn)樗鼈兪沟盟x擇的用戶能夠以用戶庫的其他用戶不能用的新的或未測試的配置選項(xiàng)來測試群集工具。隱藏選項(xiàng)312表示具有特定用戶被授權(quán)調(diào)用以進(jìn)行配置的隱藏屬性的選項(xiàng)的列表。
圖3B是用戶界面的實(shí)例，群集工具的用戶可采用通過該界面使用具有隱藏屬性的一個(gè)或多個(gè)選項(xiàng)或部件。在圖3B的實(shí)例中，示出了當(dāng)前用戶被授權(quán)用其進(jìn)行配置的具有隱藏屬性的選項(xiàng)的列表。如果制造商想要準(zhǔn)許用戶訪問具有隱藏屬性的另一個(gè)選項(xiàng)，使得可采用另外的配置選項(xiàng)來配置該群集工具，則制造商可以傳達(dá)(communicate)具有隱藏屬性的選項(xiàng)的標(biāo)識(shí)，并且用戶可以將具有隱藏屬性的選項(xiàng)的名稱輸入(例如，通過打字)到緊鄰按鈕“添加”的對話框中。如果輸入的標(biāo)識(shí)與具有隱藏屬性的選項(xiàng)之一匹配，則用戶可以用那個(gè)部件配置群集工具。
返回圖3A，密鑰文件308還可包含關(guān)于與待配置的群集工具相關(guān)的主機(jī)的標(biāo)識(shí)(例如，MAC地址和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)的信息。主機(jī)的標(biāo)識(shí)被嵌入到所生成的系統(tǒng)范圍配置文件中，并且用來確保配置被應(yīng)用到正確的群集工具。應(yīng)該注意主機(jī)的MAC地址只表示可如何確定群集工具的標(biāo)識(shí)的實(shí)例。除了上述硬盤ID和/或數(shù)字證書，也可以采用其他技術(shù)來標(biāo)識(shí)特定群集工具(例如，使用從群集工具讀取或檢測的唯一識(shí)別數(shù)據(jù))。
另外，密鑰文件308還可包含上述有效期。有效期被嵌入到所生成的系統(tǒng)范圍配置文件中以提供關(guān)于配置文件的預(yù)期的有效期的數(shù)據(jù)，即，日期，超出該日期使用群集工具和/或目前系統(tǒng)范圍配置文件不再被授權(quán)。注意有效期通常應(yīng)用于許可的選項(xiàng)；可能存在未受有效期影響的未授權(quán)選項(xiàng)。此外，可為不同的許可選項(xiàng)設(shè)置不同的有效期。由于密鑰文件308封裝了重要的限制信息，所以密鑰文件308通常是加密的二進(jìn)制文件，以防止獲許可的人/工具用戶進(jìn)行可能的篡改。
模塊選項(xiàng)定義文件310封裝了可用于配置模塊(例如處理模塊、傳遞模塊、大氣處理模塊、或用戶界面)的不同配置選項(xiàng)。換言之，模塊選項(xiàng)定義文件310表示可用于配置每個(gè)模塊的選項(xiàng)的數(shù)據(jù)庫，包括可用于配置每個(gè)模塊中的組成部件的選項(xiàng)。響應(yīng)于由用戶在306中輸入的配置選項(xiàng)、由密鑰文件308在配置上設(shè)置的限制、以及隱藏選項(xiàng)312，這些定義的子集被并入到configoptions.txt。與密鑰文件308類似，模塊選項(xiàng)定義文件310通常被加密以防止獲許可的人/工具用戶進(jìn)行可能的篡改。
配置應(yīng)用程序根據(jù)上述四個(gè)輸入源(例如，用戶輸入306、密鑰文件308、模塊選項(xiàng)定義文件310、以及隱藏選項(xiàng)文件312)創(chuàng)建了系統(tǒng)范圍配置文件302和部件級(jí)配置文件集304。在一個(gè)實(shí)施例中，配置應(yīng)用程序320位于群集工具上以使得能夠使用所生成的數(shù)據(jù)文件來配置群集工具。圖3C示出了一個(gè)實(shí)例用戶界面，其用于允許用戶輸入(對于處理模塊)與用戶輸入306、密鑰文件308、模塊選項(xiàng)定義文件310、以及隱藏選項(xiàng)文件312相關(guān)的數(shù)據(jù)。
圖4根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例示出了圖3的密鑰文件308可如何被創(chuàng)建。如所述的，密鑰文件308實(shí)施對配置選項(xiàng)的限制，以及防止配置軟件的未授權(quán)的執(zhí)行/盜版。密鑰文件308生成自三個(gè)分離的數(shù)據(jù)源一組模塊選項(xiàng)定義文件402、工具特定選項(xiàng)規(guī)范404、以及工具特定保護(hù)信息406。
模塊選項(xiàng)定義文件402表示所有模塊(例如，處理模塊、傳遞模塊、群集工具控制軟件，等)的配置定義文件。因此，示出了處理模塊選項(xiàng)定義文件402a、傳遞模塊選項(xiàng)定義文件402b、以及群集工具控制軟件選項(xiàng)定義文件402c。對于密鑰文件308的創(chuàng)建特別感興趣的是在模塊選項(xiàng)定義文件402內(nèi)受保護(hù)的選項(xiàng)，這是因?yàn)椋鶕?jù)定義，未受保護(hù)的選項(xiàng)不受限制。對于特定的群集工具，受保護(hù)的選項(xiàng)具有由密鑰文件308定義的保護(hù)范圍。存在一組模塊選項(xiàng)定義文件402，其可用于配置所有群集工具。在添加新的配置選項(xiàng)以及去除舊的配置選項(xiàng)時(shí)，該組模塊選項(xiàng)定義文件402被連續(xù)更新。
工具特定選項(xiàng)規(guī)范404可來自客戶訂單數(shù)據(jù)庫404a或來自工廠指定輸入404b。工具特定選項(xiàng)規(guī)范404指定所允許的用于特定工具的部件的配置選項(xiàng)或多個(gè)配置選項(xiàng)。例如，客戶可購買選項(xiàng)以安裝多達(dá)三個(gè)不同的渦輪泵模型。由客戶購買的用于群集工具的工具特定選項(xiàng)規(guī)范則包括用于所有三個(gè)渦輪泵的配置選項(xiàng)。
在一個(gè)實(shí)施例中，采用SAP的客戶訂單軟件以接受客戶訂單，客戶訂單指定客戶有興趣購買的群集工具的部件的選項(xiàng)。關(guān)于客戶所期望的選項(xiàng)的信息可從客戶訂單軟件獲得，并且可被用作用于指定將被提供群集工具的部件的選項(xiàng)的輸入?？蛇x地或附加地，用于群集工具的選項(xiàng)規(guī)范可來自群集工具的制造商。在這種情況下，例如，可通過與群集工具的潛在購買者進(jìn)行討論而獲得規(guī)范。又例如，可由設(shè)法更新客戶的群集工具以解決特定問題的現(xiàn)場工程師輸入該規(guī)范。
工具特定保護(hù)信息406提供用于實(shí)現(xiàn)防止所得到的配置軟件的未授權(quán)的執(zhí)行/盜版的信息。可見，工具特定保護(hù)信息406包括控制待配置的群集工具的主機(jī)的MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)。例如，可預(yù)先從客戶獲得該MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)。一旦該MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)包括在密鑰文件308中，密鑰文件308不能被用于對具有不同MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)的主機(jī)進(jìn)行配置。同樣地，缺少匹配MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)的密鑰文件(其為配置所需要的文件)將不能用于配置給定的群集工具。
工具特定保護(hù)信息406進(jìn)一步包括用于指定所得到的配置軟件是否處于仿真模式的選項(xiàng)，在該模式中所有選項(xiàng)可用，但是僅用于仿真。也設(shè)置了用于去除或啟用對所有受保護(hù)的選項(xiàng)的保護(hù)的標(biāo)志。該“保護(hù)”標(biāo)志提供了用于全局指定是否遵守保護(hù)(例如，在生產(chǎn)配置軟件的情況下)或是否忽略保護(hù)(例如，當(dāng)所得到的配置文件是為了群集工具制造商的內(nèi)部使用而生產(chǎn)的且不需要保護(hù)時(shí))的一種方法。所得到的配置軟件的有效期和主機(jī)IP地址也可以設(shè)置在工具特定保護(hù)信息406中。在執(zhí)行期間，針對當(dāng)前的日期和所獲得的主機(jī)IP地址檢查這些字段以確保遵守許可條款。主機(jī)IP地址和/或MAC地址(和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書)也有助于確保對預(yù)定的群集工具進(jìn)行配置而不對任何其他群集工具進(jìn)行配置。
在一個(gè)實(shí)施例中，采用安全應(yīng)用程序420來處理該組模塊選項(xiàng)定義文件402、特定工具選項(xiàng)規(guī)范404和工具特定保護(hù)信息406，以生成密鑰文件308。在一個(gè)實(shí)施例中，盡管并不總需要安全應(yīng)用程序的網(wǎng)絡(luò)特征，但是安全應(yīng)用程序420是基于網(wǎng)絡(luò)的，以提供全球訪問能力。
圖5是示出了群集工具的典型配置流程的流程圖。在步驟502中，從客戶取得工具訂單。然后在步驟504中可采用所購買的配置選項(xiàng)來生成密鑰文件。密鑰文件的生成已經(jīng)在前面根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中結(jié)合圖4進(jìn)行了論述。
一旦生成了密鑰文件，就可將密鑰文件安裝在群集工具上(步驟506)并且與隱藏選項(xiàng)(507)一起用于配置群集工具(步驟508)。使用該密鑰文件、模塊選項(xiàng)定義文件、隱藏選項(xiàng)和用戶輸入配置選項(xiàng)來執(zhí)行配置應(yīng)用程序，導(dǎo)致系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件特定配置文件的創(chuàng)建。一般地說，每個(gè)群集工具由兩種類型的文本文件定義，系統(tǒng)范圍配置文件和一組部件特定配置文件。這些系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件特定配置文件的生成已經(jīng)在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中結(jié)合圖3進(jìn)行了論述。
如果客戶希望在所購買的配置選項(xiàng)的范圍內(nèi)改變一個(gè)或多個(gè)配置選項(xiàng)，則客戶可以采用相同的密鑰文件來重新配置修改的群集工具。該更新路徑由箭頭510示出。然而，如果客戶希望通過選項(xiàng)或利用不同于已經(jīng)購買的隱藏選項(xiàng)來修改群集工具，則路徑512使得新密鑰文件被生成以使客戶能夠重新配置修改的群集工具。在典型的情況下，新密鑰文件的生成使得客戶的重新配置能夠在啟動(dòng)期間未實(shí)施保護(hù)時(shí)發(fā)生。
從上述中可以理解，本發(fā)明使得能夠采用單組應(yīng)用程序和一組模塊選項(xiàng)定義文件來配置寬范圍的群集工具，每個(gè)群集工具具有特定的配置選項(xiàng)。由此免去了定制編碼和維護(hù)大量配置軟件應(yīng)用程序的需要。以上述方式使用密鑰文件提供了靈活性和對于群集工具的高度控制和保護(hù)。提供了靈活性，因?yàn)槿杭ぞ呖蛻裟軌蜃杂芍匦聢?zhí)行配置應(yīng)用程序以在已經(jīng)購買的配置選項(xiàng)范圍內(nèi)采用不同的配置選項(xiàng)。通過使用仿真模式進(jìn)一步提供了靈活性，該仿真模式的標(biāo)志取消了設(shè)置于可配置性上的所有限制(由于定價(jià)結(jié)構(gòu)或許可原因而施加該限制)以允許客戶和/或用戶以“虛擬”群集工具仿真配置和/或操作。使用開發(fā)模式獲得類似的靈活性，開發(fā)模式可由全局標(biāo)志或多個(gè)標(biāo)志設(shè)定。
提供了高度控制，這是因?yàn)橹挥性诩用艿亩M(jìn)制文件中指定的選項(xiàng)可用于給定的群集工具客戶進(jìn)行配置。提供了保護(hù)，這是因?yàn)樗玫降呐渲梦募荒茉诰哂蓄A(yù)期的MAC地址和/或硬盤ID和/或數(shù)字證書和/或主機(jī)IP地址的群集工具上執(zhí)行。
隱藏選項(xiàng)和選項(xiàng)的受保護(hù)的/未保護(hù)的標(biāo)志的使用，還支持開發(fā)和仿真需要。密鑰文件中的其他信息，例如有效期和/或其他支持許可實(shí)施的數(shù)據(jù)，也可以被提供。在一個(gè)實(shí)施例中，可通過使用隱藏選項(xiàng)將專有算法、部件、和其他資源保持機(jī)密，而不損害以下原則即，能夠配置所有的群集工具而不必采用或維護(hù)配置可執(zhí)行應(yīng)用程序的多個(gè)版本。例如，如果打算將資源對于特定客戶保持機(jī)密，則與該資源相關(guān)的選項(xiàng)被標(biāo)記為隱藏標(biāo)志，并且如果知道準(zhǔn)確的名稱，則客戶只能激活該資源。在一個(gè)實(shí)施例中，可使用口令程序保護(hù)隱藏的資源或打算保持機(jī)密的資源的激活/配置，該口令僅由群集工具的制造商提供給授權(quán)客戶。
應(yīng)該記住，雖然靈活性成為用于生成系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)和該組部件特定配置文件(sysconfig.txt)的算法的組成部分，但不是所有客戶都需要高度靈活性可用。在一個(gè)實(shí)施例中，密鑰文件(.tcf)自動(dòng)生成自客戶規(guī)范數(shù)據(jù)(其指定在所得到的群集工具中所需要的選項(xiàng))?？蛻粢?guī)范數(shù)據(jù)甚至可自動(dòng)提取自銷售或客戶訂單數(shù)據(jù)庫，例如由諸如SAP(SAP.com)公司提供的數(shù)據(jù)庫。在一個(gè)實(shí)施例中，客戶規(guī)范可直接由客戶指定為一個(gè)文件，以被用于生成密鑰文件。
一旦獲得了密鑰文件(.tcf)，則密鑰文件就被安裝在群集工具硬件上，這在系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)和該組部件特定配置文件(configoptions.txt)的生成過程中限制該配置應(yīng)用程序。如所述的，系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)和該組部件特定配置文件(configoptions.txt)指定可配置在目標(biāo)群集機(jī)器上的選項(xiàng)。在一個(gè)實(shí)施例中，如果隱藏的選項(xiàng)也與密鑰文件一起設(shè)置到配置應(yīng)用程序中，則這些授權(quán)的選項(xiàng)可包括前面所述的隱藏選項(xiàng)。
然后相對于選項(xiàng)定義文件(在一個(gè)實(shí)施方式中為.cfg文件)處理系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)和該組部件特定配置文件(configoptions.txt)，以生成運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的例化(instantiation)。選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫表示可用于所有群集工具類型和部件的所有選項(xiàng)的儲(chǔ)存庫。通過相對于選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫來處理系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)和該組部件特定配置文件(configoptions.txt)，只有已經(jīng)被授權(quán)的選項(xiàng)產(chǎn)生用于配置群集工具部件硬件的運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象。
以此方式，群集工具的制造商可采用相同的應(yīng)用程序集(例如，被用于生成密鑰文件、系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件特定配置文件、運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的例化等的那些)來配置具有任何部件選項(xiàng)規(guī)范的任何群集工具。此外，制造商不得不維護(hù)選項(xiàng)定義文件(.cfg文件)的唯一的單個(gè)數(shù)據(jù)庫，該選項(xiàng)定義文件可被用作通用的、所有的(sysconfig.txt)以及為每個(gè)群集工具唯一生成的該組部件特定配置文件。
圖6示出了在一個(gè)實(shí)施例中的用于生成用于配置群集工具的運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的簡化的流程圖。在步驟602中，部件選項(xiàng)規(guī)范(例如可從客戶群集工具的購買訂單獲得)被采用以生成密鑰文件(604)。生成的密鑰文件然后被安裝在目標(biāo)群集工具上(606)。目標(biāo)群集工具上的配置應(yīng)用程序然后利用密鑰文件以及可選地使用設(shè)置的隱藏選項(xiàng)(610)生成(608)系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件特定配置文件。
然后相對于選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫(612)處理系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件特定配置文件，以生成運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的例化來配置群集工具。
在一個(gè)實(shí)施例中，使用適當(dāng)?shù)拿嫦驅(qū)ο蟮姆椒ú⑶也捎眠m當(dāng)?shù)目删幊汰h(huán)境(例如Smalltalk(www.smalltalk.org))來實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的生成。圖7根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例示出了用于使用面向?qū)ο蟮姆椒ㄉ蛇\(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象以配置群集工具的流程圖。在步驟702中，創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)內(nèi)部數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)以內(nèi)部地表示來自系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件特定配置文件(704)的選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)。在步驟706中，創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)內(nèi)部數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)以內(nèi)部地表示來自選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫(708)的所有可能資源/部件/對象的選項(xiàng)信息。在步驟710中，將相對于表示所選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)的該組數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)來處理表示所有可能的資源/部件/對象的選項(xiàng)信息的該組數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。步驟710表示從所得到的該組數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中去除與未選擇/授權(quán)的資源/部件/對象有關(guān)的選項(xiàng)信息。在步驟712中，從剩余的選項(xiàng)定義中例化運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象。
附錄C(其包括頁C1、C2、和C3)根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例示出了系統(tǒng)范圍配置文件(sysconfig.txt)的列表，表示關(guān)于目標(biāo)群集工具的高級(jí)配置細(xì)節(jié)。部分1002表示元數(shù)據(jù)部分，其具有諸如控制群集工具的主機(jī)的以太網(wǎng)地址的數(shù)據(jù)、配置文件的有效期、保護(hù)標(biāo)志、仿真標(biāo)志、期滿警告、等…前面已經(jīng)論述了這些元數(shù)據(jù)。部分1002還指明群集工具平臺(tái)是“#Domino3Ports”。在此文中后面論述該平臺(tái)標(biāo)識(shí)。
還示出了多個(gè)圖像部分。與這些部分相關(guān)的可執(zhí)行圖像附屬于主機(jī)的圖像(主機(jī)圖像)、四個(gè)處理模塊的圖像(PM1圖像、PM2圖像、PM3圖像、PM4圖像)，以及傳遞模塊圖像(TMC圖像)。
這些圖像中的每一個(gè)都包括各種數(shù)據(jù)字段，例如IP地址、與圖像相關(guān)的硬件是否存在、文件名(如果可應(yīng)用的話，在此可找到群集工具控制軟件)、通信端口、圖像的標(biāo)記、圖像的定義文件(.cfg)、圖像文件名、自啟動(dòng)標(biāo)志(其在加電時(shí)自動(dòng)重新配置)、用于執(zhí)行圖像的腳本(如果有的話)、仿真標(biāo)志、開發(fā)標(biāo)志、顯示方案(其包括定位、顏色、圖標(biāo)、等)。
為了論述的目的，選擇與傳遞模塊相關(guān)的圖像進(jìn)行進(jìn)一步論述。附錄D(其包括兩頁D1、D2)示出了用于一個(gè)實(shí)例群集工具的傳遞室的部件級(jí)配置文件(configoptions.txt)。部分1102示出了用于傳遞室的元數(shù)據(jù)，包括IP地址(其與附錄C的元數(shù)據(jù)部分1002中的IP地址相匹配)、有效期(其與附錄C的元數(shù)據(jù)部分1002中示出的有效期相匹配)、模塊標(biāo)記“傳遞室”(其匹配于與附錄C的圖像TMC圖像相關(guān)的標(biāo)記)、以及平臺(tái)“#Domino3Ports”(其與附錄C的元數(shù)據(jù)部分1002中示出的平臺(tái)相匹配)。
在附錄D中，左欄示出了選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)、右欄示出了所有可用的選項(xiàng)(其中的一些可能未被授權(quán)/選擇用于特定目標(biāo)群集工具)。例如，用于端口PDO1的可用選擇是如右手欄所示的#BrooksV4、#BrooksV3、#BrooksV2、#ErgoPD0、#ErgoPD0V 1、#Ergo200。左手欄顯示可用的/選擇的選項(xiàng)是#BrooksV4。其他選擇的選項(xiàng)是自解釋的(self-explanatory)。
注意，與附錄C中的傳遞模塊相關(guān)的圖像表明傳遞室的選項(xiàng)定義文件名是“TMCImage.cfg”。為實(shí)例群集工具再生該選項(xiàng)定義文件TMCImage.cfg作為附錄E(其包括三頁，E1、E2、和E3)。該選項(xiàng)定義文件包含可能用于傳遞模塊的所有選項(xiàng)的配置信息。為了易于維護(hù)和更新，配置信息細(xì)節(jié)可被進(jìn)一步封裝在其他模塊化選項(xiàng)定義文件中。例如，由于實(shí)例群集工具的平臺(tái)是#Domino3Ports(見附錄C的元數(shù)據(jù)部分1002和附錄D的1102)，附錄E的頁E3表明可在具有名稱“TMCImageTMResD3Port.cfg”的定義文件中獲得額外的配置細(xì)節(jié)。
附錄F根據(jù)一個(gè)實(shí)施例示出了實(shí)例群集工具的上述文件TMCImageTMResD3Port.cfg的列表。為了比較，也包括了定義文件TMCImageTMResD2Port.cfg(附錄G)，如果平臺(tái)已經(jīng)被選為#Domino(根據(jù)附錄E的頁E3)，則將采用和/或參考該定義文件。同樣為了比較的目的，也包括了處理模塊的選項(xiàng)定義文件(pm.cfg)(附錄H)作為實(shí)例，將采用和/或參考該選項(xiàng)定義文件以確定目標(biāo)群集工具的處理模塊的配置細(xì)節(jié)(基于如系統(tǒng)范圍配置文件sysconfig.txt和處理模塊(例如PM1、PM2、PM3、或PM4)的部件級(jí)配置文件configoptions.txt中顯示的所選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)。
如所述的，選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫包括所有可能部件的配置信息。為了易于參考，此處將采用術(shù)語“資源”來指可被配置在群集工具中的任何軟件或硬件和/或與處理相關(guān)的特征。例如，單個(gè)硬件部件可具有能夠被配置的不同參數(shù)。這些可配置的參數(shù)中的每一個(gè)都表示一種資源。
創(chuàng)建通用配置結(jié)構(gòu)的挑戰(zhàn)之一涉及需要存儲(chǔ)用于所有可能的資源的配置數(shù)據(jù)以滿足任何所選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)，同時(shí)使得使用所選擇的選項(xiàng)文件(例如，系統(tǒng)范圍配置文件和該組部件級(jí)配置文件)過濾數(shù)據(jù)庫的過程(該過濾過程是為所選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)創(chuàng)建運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象的過程的一部分)變得高效。由于軟件/硬件資源始終在變化，并且對軟件/硬件部件的更新導(dǎo)致新的定義被并入數(shù)據(jù)庫并且老的定義被從中刪除，所以使挑戰(zhàn)變得更加復(fù)雜。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，以分級(jí)的格式組織數(shù)據(jù)庫中的資源定義以充分反映具有所有可能的授權(quán)的/選擇的選項(xiàng)的一般群集工具的組織。例如，一個(gè)給定匹配系統(tǒng)的所有傳感器的可應(yīng)用的資源定義被認(rèn)為由(在所有權(quán)意義上)該匹配系統(tǒng)所擁有。在該層級(jí)中的同一級(jí)，所有匹配系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)器的可應(yīng)用的資源被認(rèn)為由匹配系統(tǒng)擁有。在下一個(gè)更高級(jí)別，所有匹配系統(tǒng)被認(rèn)為由RF(射頻)系統(tǒng)擁有。在該層級(jí)中的同一級(jí)，所有RF電極被認(rèn)為由RF系統(tǒng)擁有。在下一個(gè)更高級(jí)，所有射頻系統(tǒng)被認(rèn)為由處理模塊擁有。在該層級(jí)中的同一級(jí)，所有卡盤系統(tǒng)被認(rèn)為由處理模塊擁有。在下一個(gè)更高級(jí)別，所有處理模塊被認(rèn)為由群集工具擁有。在該層級(jí)中的同一級(jí)別，傳遞模塊也被認(rèn)為由群集工具所擁有。
注意，該資源中的某些可適當(dāng)?shù)嘏c更高級(jí)別的資源相關(guān)聯(lián)或由更高級(jí)別的資源所擁有，但也可以不與更高級(jí)別的資源相關(guān)聯(lián)或由更高級(jí)別的資源所擁有。例如，RF系統(tǒng)可以由感應(yīng)耦合的處理模塊擁有，但可以不被微波處理模塊所適當(dāng)?shù)負(fù)碛谢蚺c微波處理模塊相關(guān)聯(lián)。當(dāng)在更高級(jí)別資源和層級(jí)中較低級(jí)別資源之間的數(shù)據(jù)庫中創(chuàng)建鏈接時(shí)，應(yīng)該考慮關(guān)于資源的該特性。
圖8在上述的組織之后根據(jù)一個(gè)實(shí)施例示出了選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫的層級(jí)組織的邏輯圖。
在一個(gè)實(shí)施例中，通過引用在所有者的文本中包含“ownee”的配置定義的文件名，形成了所有權(quán)鏈接。在前面的附錄中已經(jīng)見過了該鏈接的實(shí)例，由此，傳遞室的選項(xiàng)定義文件名，TMCImage.cfg，將在附錄C的系統(tǒng)范圍配置文件sysconfig.txt的文本中見到。當(dāng)需要更新關(guān)于“ownee”的細(xì)節(jié)時(shí)，與“ownee”資源相關(guān)的文件可由包含更新過的配置信息的相同命名的文件取代。當(dāng)為群集工具提供新選項(xiàng)以用于選擇時(shí)，關(guān)于新選項(xiàng)的配置細(xì)節(jié)可保存在數(shù)據(jù)庫中的文件中，并且新選項(xiàng)文件的名稱可設(shè)置在所有者的主體中作為用于可能的選擇的另一個(gè)選項(xiàng)。當(dāng)選項(xiàng)過時(shí)且被去除時(shí)，與選項(xiàng)相關(guān)的文件可被從數(shù)據(jù)庫中去除，并且到它的任何鏈接可被從其所有者的主體中刪除。
以此方式，鑒于變化的資源定義，數(shù)據(jù)庫可被有效地維護(hù)。此外，層級(jí)組織使其變得高效以相對于選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫來處理所選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)(如系統(tǒng)范圍配置文件sysconfig.tx和部件級(jí)配置文件configoptions.txt中所示的)。在一個(gè)實(shí)施例中，該處理遵循樹遍歷算法，該算法從較高級(jí)別到層級(jí)中的最低級(jí)別鉆取(drilldown)直到所有配置定義被解析。
例如，如果群集工具只有一個(gè)金屬蝕刻處理模塊而沒有其他模塊，則該金屬蝕刻處理模塊的配置定義被向下鉆取，從系統(tǒng)范圍配置文件sysconfig.tx和該金屬蝕刻處理模塊的部件級(jí)配置文件configoptions.txt開始直到所有配置定義被解析(即，向下鉆取路徑中的文件名引用都被解析)。一旦它們被解析了，該算法繼續(xù)通過從系統(tǒng)范圍配置文件sysconfig.tx和該傳遞模塊的部件級(jí)配置文件configoptions.txt開始解析傳遞模塊的配置定義。
注意，該樹遍歷算法將避免對不存在的多晶硅蝕刻處理模塊的細(xì)節(jié)進(jìn)行向下鉆取。此外，當(dāng)已經(jīng)解析了所有文件引用時(shí)，樹遍歷算法將停止。當(dāng)向下鉆取給定的路徑時(shí)，與樹的分支相關(guān)的配置細(xì)節(jié)被旁路，其中樹的分支與未選擇的或未授權(quán)的選項(xiàng)相關(guān)。以此方式，可通過相對于在系統(tǒng)范圍配置文件sysconfig.tx和部件級(jí)配置文件configoptions.txt中所顯示的選擇的/授權(quán)的選項(xiàng)來處理選項(xiàng)定義文件的層級(jí)數(shù)據(jù)庫來快速獲得配置文件。然后，采用這些配置細(xì)節(jié)以創(chuàng)建用于配置目標(biāo)群集工具的運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象。
雖然根據(jù)幾個(gè)實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是存在落入本發(fā)明范圍內(nèi)的改變、置換、和等同替換。還應(yīng)該注意存在許多實(shí)施本發(fā)明的方法和裝置的可選方法。因此，所附的權(quán)利要求應(yīng)該被理解為包括所有這些落入本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神和范圍內(nèi)的改變、置換、和等同替換。

附錄A
A2
A3
附錄B
B2
附錄C
C2
C3


附錄E
E2
E3
附錄F
F2
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F4
F5
F6
F7
F8
F9
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F11
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F13
F14

附錄G
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G14
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附錄H
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H27
H28 提供了一種配置等離子體群集工具的方法。該方法包括由選項(xiàng)規(guī)范生成密鑰文件，該密鑰文件封裝了特別施加于等離子體群集工具的配置限制。該方法還包括利用密鑰文件生成至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件以及至少一個(gè)模塊級(jí)的配置文件。該方法還包括由選項(xiàng)定義文件數(shù)據(jù)庫，以及至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件和至少一個(gè)部件級(jí)的配置文件，生成運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象。此外，該方法包括利用該運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象來配置等離子體群集工具。
權(quán)利要求
1. 一種用于配置等離子體群集工具的方法，包括
由選項(xiàng)規(guī)范生成密鑰文件；
利用所述密鑰文件生成至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件以及至少一個(gè)部件級(jí)配置文件，所述密鑰文件封裝了特別施加于所述等離子體群集工具的配置限制；
由選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫、所述至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件以及所述至少一個(gè)部件級(jí)配置文件生成運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象；以及
利用所述運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象來配置所述等離子體群集工具。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫包括能夠針對所述等離子體群集工具配置的所有可能資源的配置信息。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述密鑰文件封裝了限制所述等離子體群集工具的可配置性程度的數(shù)據(jù)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述密鑰文件包括與所述群集工具相關(guān)的第一介質(zhì)訪問控制器(MAC)地址，如果所述至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件和所述至少一個(gè)部件級(jí)配置文件被安裝在不具有與所述第一MAC地址匹配的MAC地址的等離子體群集工具上，則禁止所述生成所述運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，可以被配置在所述選項(xiàng)定義文件的數(shù)據(jù)庫中的資源的至少一個(gè)子集與保護(hù)的標(biāo)志相關(guān)聯(lián)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述密鑰文件被加密。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法進(jìn)一步包括
提供隱藏選項(xiàng)文件，所述隱藏選項(xiàng)文件包括一組隱藏的配置選項(xiàng)，所述一組隱藏的配置選項(xiàng)通常是未被特別通知所述配置選項(xiàng)的用戶所看不見的；以及
利用所述隱藏選項(xiàng)文件生成至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件以及所述至少一個(gè)部件級(jí)配置文件。
全文摘要
提供了一種配置等離子體群集工具的方法。該方法包括由選項(xiàng)規(guī)范生成密鑰文件，該密鑰文件封裝了特別施加于等離子體群集工具的配置限制。該方法還包括利用密鑰文件生成至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件以及至少一個(gè)模塊級(jí)的配置文件。該方法還包括由選項(xiàng)定義文件數(shù)據(jù)庫，以及至少一個(gè)系統(tǒng)范圍的配置文件和至少一個(gè)部件級(jí)的配置文件，生成運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象。此外，該方法包括利用該運(yùn)行時(shí)可執(zhí)行對象來配置等離子體群集工具。
文檔編號(hào)G06F15/177GK101283360SQ200680006070
公開日2008年10月8日 申請日期2006年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月25日
發(fā)明者黃忠河, 范石全, 張震川 申請人:朗姆研究公司