專利名稱：將cif格式圓形切割成pg3600格式矩形的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微光刻圖形數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種將CIF 格式圓形切割成PG3600格式矩形的方法。
背景技術(shù)：
由于不同的曝光設(shè)備一般都是使用自己專用的圖形數(shù)據(jù)格式，所以必 須進(jìn)行數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換處理。目前保留下來(lái)比較多的光學(xué)曝光系統(tǒng)仍然是 GCA3600F圖形發(fā)生器(GCA3600F Pattern Generator)和GCA3696分步 重復(fù)精縮機(jī)(GCA 3696 Photo-Repeater),其使用的PG3600圖形數(shù)據(jù)格式 (PG3600 format)是以不同角度的矩形為基本單元來(lái)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的。加利福尼亞州理工學(xué)院中介格式(Caltech Intermediate Form, CIF)是 世界上光掩模制造業(yè)常用的數(shù)據(jù)交換格式之一，其以圓、圓形、矩形和有 寬度的線段等四種圖形為基本圖形單元存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。由于它是以文本形式書 寫，便于修改和編輯，所以在圖形數(shù)據(jù)處理和格式轉(zhuǎn)換過(guò)程中，常用它作 為中間格式。傳統(tǒng)的CIF格式圓形切割成PG3600格式矩形的方法是以某種角度對(duì) 應(yīng)的弦和圓的半徑為矩形的邊長(zhǎng)，按照該角度旋轉(zhuǎn)曝光，圓形中心是大量 重疊曝光，嚴(yán)重影響掩模版的質(zhì)量。也有人采用其他切割方法取代傳統(tǒng)旋 轉(zhuǎn)切割方式，如條形切割法等，但割切出的矩形數(shù)量太多而且邊緣不整齊。為此，我們也采用從CIF到PG3600格式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方式。首先，在 允許圖形少量重疊的情況下，將CIF格式中的各種圖形切割成PG3600所 需要的各種角度的矩形，然后再根據(jù)光學(xué)圖形發(fā)生器3600F計(jì)算機(jī)曝光控 制語(yǔ)言要求進(jìn)行代碼轉(zhuǎn)換。本發(fā)明的主要特征是把CIF格式中的圓形在誤差允許的條件下切割成 PG3600格式的矩形，使其切割出的矩形重疊部分比其他切割方法小了很 多，而且切割出的矩形數(shù)據(jù)量也少。發(fā)明內(nèi)容(一) 要解決的技術(shù)問(wèn)題有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種將CIF格式圓形切割成 PG3600格式矩形的方法，以解決傳統(tǒng)切割重疊曝光部分太多的問(wèn)題，達(dá) 到提高圖形發(fā)生器曝光速度和曝光質(zhì)量的目的。(二) 技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種將CIF格式圓形切割成PG3600 格式矩形的方法，該方法包括將圓形近似作為一個(gè)正n邊形，計(jì)算n的值，n為自然數(shù)； 將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合； 將切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩形；將合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形 條，將合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形 條；對(duì)于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜邊為矩形的一邊作矩形 包圍該直角三角形。上述方案中，所述將圓形近似作為一個(gè)正n邊形并計(jì)算n的值的步驟 包括作該圓形的一條弦，使該弦與所夾的圓弧所形成的弓形的高小于或 等于允許的誤差范圍2pm，然后計(jì)算出該弦所對(duì)應(yīng)的圓心角，并計(jì)算2兀 與該圓心角的比值k，則n取大于k且為4的倍數(shù)的整數(shù)。上述方案中，所述將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合的 步驟，是通過(guò)連接正n邊形上的n個(gè)上下和左右對(duì)稱的頂點(diǎn)實(shí)現(xiàn)的。(三) 有益效果 從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下有益效果1、 利用本發(fā)明，由于采用混合拼接方法，所以切割方法很簡(jiǎn)單，容 易編程實(shí)現(xiàn)。2、 利用本發(fā)明，由于采用根據(jù)精度要求計(jì)算多邊形的邊數(shù)，所以切割后的圖形與原圖形的誤差可以做到很小。3、利用本發(fā)明，由于采用矩形合并技術(shù)，所以切割出的矩形數(shù)據(jù)量 很小。


圖1為本發(fā)明提供的將CIF格式圓形切割成PG3600格式矩形的方法 流程圖；圖2為本發(fā)明提供的計(jì)算n值的示意圖；圖3為依照本發(fā)明實(shí)施例將正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合 的示意圖；圖4為依照本發(fā)明實(shí)施例將切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩 形的示意圖；圖5為依照本發(fā)明實(shí)施例以直角三角形斜邊為矩形的一邊作矩形包圍 該直角三角形的示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí) 施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖1所示，圖1為本發(fā)明提供的將CIF格式圓形切割成PG3600格 式矩形的方法流程圖，該方法包括以下步驟步驟101:將圓形近似作為一個(gè)正n邊形，計(jì)算n的值，使所述正n 邊形的n個(gè)頂點(diǎn)在所述圓形上上下和左右對(duì)稱，n為自然數(shù)；步驟102:將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合；步驟103:將切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩形，使合并后的矩形的水平邊長(zhǎng)度大于或等于垂直邊長(zhǎng)度；步驟104:將合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形條，將合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形條；步驟105:對(duì)于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜邊為矩形的 一邊作矩形包圍該直角三角形。上述步驟101中所述將圓形近似作為一個(gè)正n邊形并計(jì)算n的值的步 驟包括作該圓形的一條弦，使該弦與所夾的圓弧所形成的弓形的高小于 或等于允許的誤差范圍2iiim，然后計(jì)算出該弦所對(duì)應(yīng)的圓心角，并計(jì)算2兀 與該圓心角的比值k，則n取大于k且為4的倍數(shù)的整數(shù)。計(jì)算n值的方法如圖2所示，圖2為本發(fā)明提供的計(jì)算n值的示意圖。 由圖2可知，圖2中的幾何關(guān)系如下<formula>formula see original document page 6</formula>上述步驟102中所述將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合 的步驟，是通過(guò)連接正n邊形上的n個(gè)上下和左右對(duì)稱的頂點(diǎn)實(shí)現(xiàn)的。連 接這些上下、左右對(duì)稱的點(diǎn)，就可以將正n邊形切割成了很多小矩形和一 些直角三角形。步驟103中所述將切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩形，即合 并那些小矩形為一個(gè)大的矩形，使其矩形的水平邊長(zhǎng)度大于或等于垂直邊 長(zhǎng)度。下面以實(shí)際的圓形為例說(shuō)明本發(fā)明的詳細(xì)切割方法。步驟l、求出合適的n值，使其在圓上的頂點(diǎn)上下、左右對(duì)稱且圓的 最上下左右的點(diǎn)也是多邊形的頂點(diǎn)。假設(shè)我們計(jì)算出的n為12。步驟2、連接這些上下、左右對(duì)稱的點(diǎn)，將正n邊形切割成了很多小 矩形和一些直角三角形。如圖3所示，圖3為依照本發(fā)明實(shí)施例將正n邊 形切割成矩形和直角三角形的組合的示意圖。步驟3、合并那些小矩形為一個(gè)大的矩形，使其矩形的水平邊大于或 等于垂直邊(如圖4中的矩形ABCD)。對(duì)于大矩形以外左右的部分的小矩形垂直方向合并成矩形條對(duì)于大矩形以外上下的部分的小矩形水平方向合并成矩形條(如圖4中的矩形EFMN)。圖4為依照本發(fā)明實(shí)施例將 切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩形的示意圖。步驟4、對(duì)于那些直角三角形，以其斜邊為矩形的一邊作矩形包圍此 直角三角形。如圖5所示的直角三角形ABC，圖5為依照本發(fā)明實(shí)施例以 直角三角形斜邊為矩形的一邊作矩形包圍該直角三角形的示意圖。以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行 了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而 已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修 改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種將CIF格式圓形切割成PG3600格式矩形的方法，其特征在于，該方法包括將圓形近似作為一個(gè)正n邊形，計(jì)算n的值，n為自然數(shù)；將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合；將切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩形；將合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形條，將合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形條；對(duì)于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜邊為矩形的一邊作矩形包圍該直角三角形。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的將CIF格式圓形切割成PG3600格式矩形的 方法，其特征在于，所述將圓形近似作為一個(gè)正n邊形并計(jì)算n的值的步 驟包括作該圓形的一條弦，使該弦與所夾的圓弧所形成的弓形的高小于或等 于允許的誤差范圍2^im，然后計(jì)算出該弦所對(duì)應(yīng)的圓心角，并計(jì)算2兀與 該圓心角的比值k，則n取大于k且為4的倍數(shù)的整數(shù)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的將CIF格式圓形切割成PG3600格式矩形的 方法，其特征在于，所述將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合 的步驟，是通過(guò)連接正n邊形上的n個(gè)上下和左右對(duì)稱的頂點(diǎn)實(shí)現(xiàn)的。
全文摘要
本發(fā)明涉及微光刻圖形數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種將CIF格式圓形切割成PG3600格式矩形的方法，該方法包括將圓形近似作為一個(gè)正n邊形，計(jì)算n的值，n為自然數(shù)；將所述正n邊形切割成矩形和直角三角形的組合；將切割得到的矩形最大限度的合并成一個(gè)矩形；將合并后得到的矩形外部左右部分的矩形在垂直方向上合并成矩形條，將合并后得到的矩形外部上下部分的矩形在水平方向上合并成矩形條；對(duì)于切割得到的直角三角形，以直角三角形斜邊為矩形的一邊作矩形包圍該直角三角形。利用本發(fā)明，切割方法很簡(jiǎn)單，容易編程實(shí)現(xiàn)，切割后的圖形與原圖形的誤差很小，切割出的矩形數(shù)據(jù)量少。
文檔編號(hào)G06F19/00GK101334812SQ20071011800
公開(kāi)日2008年12月31日 申請(qǐng)日期2007年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月27日
發(fā)明者明 劉, 李金儒, 琴 王, 珉 趙, 陳寶欽 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所