專利名稱：用于運(yùn)送基板的方法與設(shè)備的制作方法
用于運(yùn)iCgjfeL的方法與i殳備
背景技術(shù)：
目前，例如液晶顯示器(LCD)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器等等 的平板顯示器廣泛用于各種不同的顯示應(yīng)用。通過運(yùn)送玻璃基板至位 于平板顯示器生產(chǎn)線的各自工作站上的處理設(shè)備，而生產(chǎn)平板顯示器。 平板顯示器被處理，之后被運(yùn)送至下一個處理工具。傳統(tǒng)平板顯示器 的^運(yùn)系統(tǒng)包括卡盒、儲料器(stocker)、輸送帶或其它運(yùn)送裝置以 及分度盤(indexer)。在傳統(tǒng)系統(tǒng)中，將裝載多個基板的卡盒儲存在儲 料器中?？赏ㄟ^儲料器將已儲存的卡盒運(yùn)送至處理器設(shè)備的入口。然 后在處理工作站的各自入口使用分度盤，而將卡盒中的基板移進(jìn)及移 出處理設(shè)備。如上所述，在當(dāng)前用于搬運(yùn)平板顯示器的機(jī)構(gòu)中，此顯 示器在整個搬運(yùn)過程中被以水平方向支撐，因?yàn)檫@是基板在處理工具 中被處理的方式。當(dāng)平板顯示器的基板變得更大時，卡盒的接地面積 也大大增加。此外，用于儲存大基板的卡盒十分昂貴。
因此，存在解決現(xiàn)有技術(shù)的問題的需求，以提供用于運(yùn)送平板 顯示器基板的系統(tǒng)及方法，同時使系統(tǒng)的置著區(qū)(footprint)最小化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種用于運(yùn)送例如平板顯示器的相當(dāng)大的基板的 系統(tǒng)。應(yīng)該理解，本發(fā)明能夠以許多方式加以執(zhí)行，包括例如方法、 系統(tǒng)或設(shè)備。以下說明本發(fā)明的若干發(fā)明實(shí)施例。
在本發(fā)明的一個實(shí)施例中，提供用于待處理基板的基板支撐及 運(yùn)送系統(tǒng)。應(yīng)該理解，在此所述的實(shí)施例可應(yīng)用在任何大基板的運(yùn)送、 排列及裝載，此種大基板包括用于支撐太陽能電池或太陽能面板的基 板，此處薄膜面板為太陽能電池。基板支撐系統(tǒng)包括用于支撐基板使 其呈垂直方向或接近垂直方向的輸送機(jī)構(gòu)。此輸送機(jī)構(gòu)包含用于支撐 基板的底部邊緣的可移動基底，以及對基板的 一側(cè)提供支撐的支撐臂。 此可移動基底可以是導(dǎo)軌、皮帶或輪子。在一個實(shí)施例中，此
6支撐臂為非接觸式支撐臂。然而，此支撐臂可接觸基板的表面，例如 在此接觸實(shí)施例中，可使用皮帶或滾輪支撐基板?；逯蜗到y(tǒng)可包 含配置于可移動基底上的殼罩，此殼罩實(shí)質(zhì)上將基板及非接觸式支撐 臂圍住。還包含用于提供潔凈環(huán)境的供氣源。在一個實(shí)施例中，空氣 淋浴或送氣從基板的頂緣朝向基底，然而，各種不同的選擇可用于送 氣方向，而仍然維持潔凈環(huán)境。
0005在另一個實(shí)施例中，提供用于運(yùn)送平板顯示器的基板的系統(tǒng)。 此系統(tǒng)包含用于支撐基板使其呈實(shí)質(zhì)上垂直方向的輸送機(jī)構(gòu)，此輸送 機(jī)構(gòu)包含用于支撐基板的底部邊緣的可移動基底，以及對基板的一側(cè) 提供支撐的非接觸式支撐臂。當(dāng)支撐基板的側(cè)面時，此可移動基底給 予基板橫向的移動。此系統(tǒng)包含可操作地連接至輸送機(jī)構(gòu)的分度單元。 此分度單元用于在垂直方向上儲存多個基板。此系統(tǒng)還包含搬運(yùn)機(jī)構(gòu)， 此搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于將基板從輸送機(jī)構(gòu)的垂直方向升起，并定向?yàn)樗椒?向以置入處理工具。
0006在另一個實(shí)施例中，提供用于制造平板顯示器的基板的方法。
此方法起始于以實(shí)質(zhì)上垂直的方向放置基板，其中底部邊緣安置在運(yùn) 送機(jī)構(gòu)上。然后基板沿著運(yùn)送機(jī)構(gòu)的表面移動。在移動期間，支撐從 基板的底部邊緣延伸的平面表面。在一個實(shí)施例中，經(jīng)由支撐軌道通 過空氣軸承而支撐基板。將基板從垂直位置轉(zhuǎn)變到水平位置，以導(dǎo)入
處理工具中。
0007根據(jù)以下詳細(xì)說明并結(jié)合以示例方式圖示說明本發(fā)明的原理 的附圖，將使本發(fā)明的其它方面及優(yōu)點(diǎn)更加明顯。


0008根據(jù)以下詳細(xì)說明并結(jié)合以示例方式圖示說明本發(fā)明的原理 的附圖，將使本發(fā)明的各個方面更加明顯。
0009圖1顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的材料運(yùn)送及排列系統(tǒng)的 簡化示意0010圖2顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的受控環(huán)境的橫截面的簡 化示意0011圖3顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的放置在例如輸送帶組裝
7件上的平板顯示器的橫截面的簡化示意0012圖4顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的用于將平板顯示器從垂 直方向轉(zhuǎn)變到水平方向(反之亦然)的升起與旋轉(zhuǎn)裝置的簡化示意圖;
0013圖5顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的用于制造平板顯示器的 基板的方法操作的流程圖。
具體實(shí)施例方式
0014本發(fā)明描述了在多工具處理操作中用于運(yùn)送、排列及裝載大 面積基板的系統(tǒng)及方法。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，在沒有某些 或全部的這些特定細(xì)節(jié)的情況下，也可實(shí)施本發(fā)明。在其它情況下， 為不使本發(fā)明產(chǎn)生不必要的混淆，將不詳述熟知的處理操作。
0015下列實(shí)施例將說明平板顯示器材料的運(yùn)送及排列系統(tǒng)。在一 個實(shí)施例中，通過基于引力的邊緣支撐與非接觸式背側(cè)支撐的組合， 以垂直方向支撐并運(yùn)送平板顯示器，此組合可加上空氣軸承，以達(dá)到 非接觸式的支撐。應(yīng)該理解，非接觸式的支撐可將微粒降至最低?；?于引力的邊緣支撐的組件可用例如皮帶或輸送帶式構(gòu)造加以驅(qū)動，或 者此邊緣支撐可以是滾輪。在一個實(shí)施例中，此系統(tǒng)包含可分度儲存 模塊，以維持基板的垂直方向，并允許處理工具的多基板上游的空間 有效的排列。此可分度儲存模塊是可控制的，以使能移動基板的直線 通行或基板的裝載/儲存。與分度盤結(jié)合的作業(yè)(working)是工具裝載 自動控制裝置，此裝置用于取出來自分度盤的基板，并以與大部份處 理及檢驗(yàn)工具共用的水平裝載面定向這些基板。應(yīng)該注意，可用實(shí)質(zhì) 上垂直方向的基板，提供用于執(zhí)行與垂直裝載兼容的處理的工具。艮P， 將基板水平地定向，此處通過工具來執(zhí)行，并在某些情況下可在實(shí)質(zhì) 上垂直的方向提供工具，因此消除對某些用于將基板水平地定向的工 具裝載自動控制裝置的需要。
0016圖1顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的材料運(yùn)送及排列系統(tǒng)的 簡化示意圖。在圖1中，輸送帶組裝件100包含用于平板顯示器112 的底部邊緣的支撐，而空氣軸承支撐軌道110提供對平板顯示器112
的背側(cè)支撐。當(dāng)然，可使用皮帶或滾輪代替空氣軸承支撐軌道iio，以
提供對基板的背側(cè)支撐。如上所述，輸送帶組裝件100的邊緣支撐可以是皮帶驅(qū)動、輪子驅(qū)動或一些其它合適輸送的機(jī)構(gòu)，此邊緣支撐可 使平板顯示器112移動。為了維持在實(shí)質(zhì)上垂直的方向的平板顯示器
以便于運(yùn)送，空氣軸承支撐軌道110會對著平板顯示器112的側(cè)邊噴 射空氣障壁。空氣軸承是通過穿過在空氣軸承支撐軌道110上所界定 的孔llla—llln的氣流產(chǎn)生的。在一個實(shí)施例中，可使用多孔薄膜或 表面而非孔來提供空氣軸承。在另一個實(shí)施例中，可通過從CoreFlow Scientific Solutions Ltd. of Israel所購得的自適應(yīng)氣體動力阻隔機(jī)構(gòu)來 提供空氣軸承。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，孔llla—llln的間距、尺寸 及通過其的氣體流動是支撐平板顯示器的任何適當(dāng)?shù)牧?。在一個實(shí)施 例中，為防止平板顯示器112在運(yùn)送期間傾倒，平板顯示器112的垂 直方向(也被稱為傾斜角度)介于從輸送帶組裝件100的上表面的垂 直軸起約1度與10度之間。在一個實(shí)施例中，傾斜角度小于15度。 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，此面板是相當(dāng)薄的，因此通過在此所述的實(shí) 施例提供垂直方向的穩(wěn)定性。因此，在這些實(shí)施例中，空氣軸承支撐 軌道110允許平板顯示器112以高達(dá)15度角朝向此空氣軸承支撐軌道 傾斜。在一個實(shí)施例中，空氣軸承支撐軌道IIO沿著輸送帶組裝件100 的長度而延伸，并在此空氣軸承支撐軌道的相對邊的中點(diǎn)或中點(diǎn)上方 支撐平板顯示器。除了使用單一支撐軌道之外，在另一個實(shí)施例中， 在輸送帶組裝件上方的改變高度的多支撐軌道可用于支撐。0017當(dāng)通過空氣軸承支撐軌道110支撐平板顯示器時，輸送帶組 裝件100會將平板顯示器112送進(jìn)分度單元114。在一個實(shí)施例中，分 度單元114作為排列裝置。如圖所示，分度單元114具有三個狹縫114a —114c，每一狹縫皆能接收平板顯示器112于其中。應(yīng)該理解，分度單 元114可以如箭頭122所指定的平面移動，此平面垂直于平板顯示器 112的移動方向。分度單元114在進(jìn)行處理的期間可短暫地儲存平板顯 示器。即，在制造操作期間，分度單元114可作為用于儲存平板顯示 器的暫存區(qū)或儲料器，以便能使處理工具118充分地被利用。應(yīng)該注 意，通過分度單元的額外的狹縫，可將任何數(shù)量的基板儲存在分度單 元114內(nèi)。分度單元114將平板顯示器112輸出至可選擇連接升起與 旋轉(zhuǎn)的裝置，在此裝置中，將平板顯示器從垂直位置轉(zhuǎn)變到水平位置。 底部邊緣支撐120先接收來自分度單元114的基板，且升起與旋轉(zhuǎn)裝
9置將平板顯示器112裝入處理工具118。在一個實(shí)施例中，為插入處理 工具118以制備平板顯示器，升起與旋轉(zhuǎn)裝置會固定平板顯示器112 的底部邊緣，且通過可用于支撐平板顯示器112的背側(cè)的真空吸引罩， 升起與旋轉(zhuǎn)裝置可相繼地升起與旋轉(zhuǎn)平板顯示器至水平位置。應(yīng)該理 解，作為替代可使用機(jī)械式自停以支撐平板顯示器112的背側(cè)而取代 真空吸引罩。處理工具118可以是任何適合的裝置，可在平板顯示器 或其它相當(dāng)大的基板的處理上利用此裝置。在處理工具118中的連續(xù) 處理完成之后，從處理工具118移除平板顯示器，并通過升起與旋轉(zhuǎn) 裝置將此平板顯示器送回輸送帶組裝件100。參考圖4以提供對升起與 旋轉(zhuǎn)裝置的更進(jìn)一步的敘述。于是平板顯示器將繼續(xù)在輸送帶組裝件 100上行進(jìn)，并穿過受控環(huán)境，此環(huán)境可包含輸送帶組裝件100的主體 部份。在一個實(shí)施例中，在殼罩116中所提供的環(huán)境為l級(Class 1) 環(huán)境。作為替代，可維持此環(huán)境以符合100級標(biāo)準(zhǔn)。應(yīng)該理解，可依 據(jù)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E(Federal standard 209E)或國際標(biāo)準(zhǔn)化組織的標(biāo)準(zhǔn)(ISO standards)標(biāo)出等級水平。殼罩116可在任何垂直運(yùn)送區(qū)域延伸，在此 區(qū)域中可使平板顯示器112通過。此外，受控環(huán)境可與分度單元114 結(jié)合。參考圖2以提供對殼罩116以及在其中的受控環(huán)境的更進(jìn)一步 的敘述。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，在此所述的實(shí)施例可應(yīng)用于具有多 個處理工具的處理方案中，而為了易于圖示在圖1中描述了單一的處 理工具。
0018依然參考圖1，在一個實(shí)施例中，輸送帶100、分度單元114 以及運(yùn)送機(jī)構(gòu)的其它組件可配備在地板表面之下。在此實(shí)施例中，通 過升起與旋轉(zhuǎn)裝置，從地下輸送帶設(shè)備將平板顯示器升起，并送進(jìn)處 理工具118中。在該處理完成之后，將平板顯示器以垂直方向送回地 板表面之下，以運(yùn)送至下一個目的地。當(dāng)然，也可沿著支撐于天花板 上的輸送機(jī)構(gòu)運(yùn)送基板。在此，將基板向下移至處理工具，且之后向 上送回輸送機(jī)構(gòu)。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，當(dāng)?shù)匕蹇臻g需求很高時， 地下及天花板的實(shí)施例可節(jié)省地板空間。
0019圖2顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的受控環(huán)境的橫截面的簡 化示意圖。在殼罩116中提供此受控環(huán)境。將平板顯示器112置入由 殼罩116所界定的空腔之中。如圖所示，平板顯示器112與基底131
10的垂直軸中間存在一定角度。在受控環(huán)境中，空氣軸承支撐軌道110 對平板顯示器112提供背側(cè)的支撐。應(yīng)該理解，在一個實(shí)施例中，空 氣軸承支撐軌道110并不接觸平板顯示器112的表面。g卩，空氣軸承 支撐軌道110是非接觸式的支撐。在一個實(shí)施例中，將空氣軸承支撐
軌道110固定在臂桿130上，此臂桿從基底131以高度作為延伸，此 高度至少與所支撐的基板的側(cè)邊高度的中點(diǎn)一樣高?；?31可對邊 緣支撐組件提供支撐，此邊緣支撐組件可給予放置于其上的基板邊緣 橫向的移動。殼罩116包含頂設(shè)(top-mounted)過濾系統(tǒng)，此過濾系 統(tǒng)可維持殼罩116中的受控環(huán)境。應(yīng)該注意，殼罩116是可選擇的， 且依據(jù)所處理的基板的性質(zhì)，殼罩116可以或可以不與在此所述的實(shí) 施例合并。此頂設(shè)過濾系統(tǒng)包含風(fēng)扇132及過濾器134。過濾器134 可以是任何合適的一般使用的高效率粒子空氣(HEPA)過濾器，以提 供1級環(huán)境。風(fēng)扇132提供空氣流動通過過濾器，以便能使平板顯示 器112處于潔凈空氣的供氣之中。在一個實(shí)施例中，在殼罩116中所 界定的空腔中的壓力大于殼罩116的外界壓力，以防止粒子進(jìn)入空腔 中。為了支撐，殼罩116可固定于基底131上。在另一個實(shí)施例中， 此支撐結(jié)構(gòu)可包含一些穿孔，例如在支撐之間的篩，此篩可使氣流能 夠如箭頭133所示流出，以提供控制潔凈空氣的流動的能力。雖然圖2 的實(shí)施例顯示出頂設(shè)過濾系統(tǒng)，但這并不意味著進(jìn)行限制，例如氣流 可從底部向上、側(cè)邊至側(cè)邊、側(cè)邊至底部或側(cè)邊至頂部的構(gòu)造提供， 以提供潔凈的環(huán)境。
0020圖3顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的放置在例如輸送帶組裝 件上的平板顯示器的橫截面的簡化示意圖。用于輸送帶組裝件100的 運(yùn)送系統(tǒng)包含安裝在支撐上的驅(qū)動皮帶140及驅(qū)動組裝件142。為使平 板顯示器112在輪子144轉(zhuǎn)動的方向移動，將使用驅(qū)動皮帶140驅(qū)動 輪子144。作為替代，驅(qū)動皮帶140可驅(qū)動用于驅(qū)動支撐平板顯示器的 皮帶的輪子。再者，為提供支撐，顯示平板顯示器朝一側(cè)傾斜。在一 個實(shí)施例中，如上所述在軸145與平板顯示器112的表面之間的角度 小于15度。在另一個實(shí)施例中，使用受推崇的空氣軸承支撐軌道以實(shí) 質(zhì)上垂直的方向操縱平板顯示器112。 g卩，可將平板顯示器112配置于 相對的空氣軸承支撐之間，此相對的空氣軸承支撐將使能平板顯示器
ii的實(shí)質(zhì)上垂直的運(yùn)送。輪子144用于接收平板顯示器112的邊緣進(jìn)入 此輪子周圍所界定的凹部中。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，許多其它基于 引力的構(gòu)造是可行的，例如具有凹狀表面、導(dǎo)向表面(例如凸條表面、 滾輪等等)的輸送皮帶。
0021圖4顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的用于將平板顯示器從垂 直方向轉(zhuǎn)變到水平方向(反之亦然)的升起與旋轉(zhuǎn)裝置的簡化示意圖。 此升起與旋轉(zhuǎn)裝置包含支撐臂150，此支撐臂可繞著支點(diǎn)152而旋轉(zhuǎn)。 支撐臂150用于支撐平板顯示器112，并將平板顯示器從底部邊緣支撐 120升起。參考圖l，分度單元114可運(yùn)送平板顯示器112進(jìn)入底部邊 緣支撐120中以便由升起與旋轉(zhuǎn)裝置升起。在一個實(shí)施例中，為支撐 平板顯示器以轉(zhuǎn)變到水平方向，支撐臂150可包含用于支撐平板顯示 器112的裝置，例如通過每個指爪(fmger)接觸平板顯示器112的表 面的真空吸引。應(yīng)該理解，其它抓取機(jī)構(gòu)是可行的，且本發(fā)明并不限 于真空吸引。當(dāng)然，也可使用升起與旋轉(zhuǎn)裝置從處理工具移除平板顯 示器112，并通過將平板顯示器送回底部邊緣支撐120，而使平板顯示 器返回輸送機(jī)構(gòu)。在一個實(shí)施例中，支撐臂150還包含用于協(xié)助運(yùn)送 平板顯示器進(jìn)入處理工具的裝置。舉例而言，類似于空氣軸承支撐軌 道的構(gòu)造的空氣入口可提供氣墊，以便能使平板顯示器可滑入處理工 具的輸入口中。在運(yùn)送進(jìn)行輸入口的時候關(guān)閉真空。雖然沒有顯示供 氣源及真空源，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，需要使用這些設(shè)備的組件 與這些源進(jìn)行流體交換。應(yīng)該注意，如參考圖4所述，可提供許多結(jié) 構(gòu)以旋轉(zhuǎn)式移動平板顯示器。
0022圖5顯示依據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例的用于制造平板顯示器的 基板的方法操作的流程圖。此方法起始于操作160，此處將基板以實(shí)質(zhì) 上垂直的方向放置，其中底部邊緣安置在運(yùn)送機(jī)構(gòu)上。如上所述，將 平板顯示器放置成垂直方向，例如參考圖1所述的基于引力的底部邊 緣支撐。然后方法前進(jìn)至操作162，此處將基板沿著運(yùn)送機(jī)構(gòu)的表面移 動。在一個實(shí)施例中，通過具有動力的輪子或輸送皮帶的使用而使基 板移動，其中將基板的底部邊緣放置在輪子或輸送皮帶的凹部中。在 另一個實(shí)施例中，提供基于引力的系統(tǒng)，此處的輪子為滾輪。之后方 法前進(jìn)至操作164，此處在移動期間從基板的底部邊緣延伸的平面表面
12是被支撐的。在此，平板顯示器或基板的背面可通過關(guān)于上述圖1所 述的空氣軸承支撐軌道加以支撐。在另一個實(shí)施例中，空氣軸承支撐 軌道或多重空氣軸承支撐軌道可存在于垂直定向的基板的兩側(cè)上，在 實(shí)質(zhì)上產(chǎn)生空氣軸承隧道，通過此隧道可使基板通過。此處使用單一 空氣軸承軌道以支撐基板的平面，并將提供約小于15度的傾斜角度。 應(yīng)該理解，當(dāng)基板沿著輸送機(jī)構(gòu)移動時，可使用例如潔凈空氣、惰性 氣體或其它兼容流體等流體來為平面表面提供空氣軸承。接著方法前 進(jìn)至操作166，此處將基板轉(zhuǎn)變到水平位置以便導(dǎo)入處理工具中。如同 參考圖4所述，升起與旋轉(zhuǎn)裝置可抓住垂直定向的基板，并將此基板 轉(zhuǎn)變到水平位置，以便能使此基板導(dǎo)入處理工具中。應(yīng)該注意， 一旦 通過處理工具完成基板的處理之后，基板將通過升起與旋轉(zhuǎn)裝置從處 理工具取出，并從水平位置回到垂直位置。
0023總而言之，在此所述的實(shí)施例可提供對于相當(dāng)大的基板例如 平板顯示器的運(yùn)送，此實(shí)施例可用于大平面屏幕電視等等。本領(lǐng)域技 術(shù)人員應(yīng)明白，這些大基板通常是薄且脆弱的，即缺乏堅固性。因此， 通過空氣軸承所提供的垂直方向的支撐可補(bǔ)償堅固性的缺乏，以便能 使基板能夠被運(yùn)送。通過將基板垂直定向，可節(jié)省有價值的地板空間， 并可節(jié)省目前在平板顯示器的運(yùn)送上所使用的卡盒所需的成本。此外， 應(yīng)該注意，本發(fā)明并不限制于提供如同示例結(jié)構(gòu)的支撐及升起機(jī)構(gòu)的 實(shí)際結(jié)構(gòu)。即，可達(dá)到在此所述的功能的任何結(jié)構(gòu)可以與上述實(shí)施例
^口 口 o
0024本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白，上述各種不同的替代實(shí)施例是有效 的。舉例而言，小型環(huán)境隧道116可位于設(shè)備的地板區(qū)域內(nèi)，以及將 平板顯示器升起至對應(yīng)的處理工具?；蛘?，在此實(shí)施例中，可將由殼 罩116所提供的受控環(huán)境配置于設(shè)備的天花板內(nèi)，以及將平板顯示器 舉離輸送帶組裝件，并下降至處理工具。現(xiàn)在，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明 白，在不偏離本發(fā)明的范圍內(nèi)，可對于本發(fā)明的基板運(yùn)送系統(tǒng)的材料、 設(shè)備、構(gòu)造以及方法做出許多修改、替代以及變化。有鑒于此，本發(fā) 明的范圍應(yīng)不被限制于在此所述及所示的特定實(shí)施例，因?yàn)槠浔举|(zhì)上 只是示例性的，而應(yīng)完全以隨附的權(quán)利要求及其功能性等價物的范圍 進(jìn)行限定。
10025雖然為了清楚理解的目的在某些細(xì)節(jié)上描述了上述發(fā)明，很 明顯在隨附權(quán)利要求范圍內(nèi)可以進(jìn)行某些變化和修改。因此，本發(fā)明 的實(shí)施例應(yīng)被視為是示例性的而非限制性的，且本發(fā)明并不局限于本 文所給出的細(xì)節(jié)，而是可以在隨附權(quán)利要求及其等價物的范圍內(nèi)進(jìn)行 修改。在權(quán)利要求中，除非明確聲明，元件和/或步驟并不暗示任何特 定的操作順序。應(yīng)該明白所提供的僅是示例性的權(quán)利要求，這些權(quán)利 要求并不意味著對要求本申請的優(yōu)先權(quán)的未來申請進(jìn)行限制。示例性 的權(quán)利要求應(yīng)視為是說明性的而非限制性的。
1權(quán)利要求
1.一種用于待處理基板的基板支撐及運(yùn)送系統(tǒng)，包含輸送機(jī)構(gòu)，用于在實(shí)質(zhì)上垂直的方向支撐所述基板，所述輸送機(jī)構(gòu)包含可移動基底及支撐臂，當(dāng)所述基板移動時，所述可移動基底用于支撐所述基板的底部邊緣，所述支撐臂對所述基板的一側(cè)提供支撐；殼罩，其配置于所述可移動基底上，且實(shí)質(zhì)上上將所述基板及所述支撐臂圍?。灰约肮庠?，其在所述殼罩所界定的區(qū)域內(nèi)提供潔凈的環(huán)境。
2. 如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中將所述供氣源固定于所述殼罩 的頂部上，且其中所述殼罩用于界定所述殼罩的底部與所述可移動基 底之間的排氣口。
3. 如權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中所述供氣源包含進(jìn)氣風(fēng)扇，以 及在所述進(jìn)氣風(fēng)扇下游的過濾器。
4. 如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中所述過濾器提供符合至少100 級標(biāo)準(zhǔn)的空氣進(jìn)入所述殼罩所界定的區(qū)域內(nèi)。
5. 如權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中將所述支撐臂設(shè)置成沿著所述 系統(tǒng)的所述可移動基底的長度延伸的軌道。
6. 如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述支撐臂為非接觸式支撐臂， 并且設(shè)置成以從所述可移動基底的頂面的垂直軸起小于10度的角度支 撐所述基板。
7. 如權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中所述可移動基底為皮帶。
8. 如權(quán)利要求l所述的系統(tǒng)，其中所述可移動基底為多個滾輪或 多個驅(qū)動輪其中之一。
9. 一種用于運(yùn)送平板顯示器的基板的系統(tǒng)，包含輸送機(jī)構(gòu)，其用于在實(shí)質(zhì)上垂直的方向支撐所述基板，所述輸送 機(jī)構(gòu)包含可移動基底和支撐臂，所述可移動基底用于支撐所述基板的 底部邊緣，所述支撐臂對所述基板的一側(cè)提供支撐，所述可移動基底給予所述基板橫向的移動；分度單元，其可操作地連接至所述輸送機(jī)構(gòu)，所述分度單元設(shè)置成以所述實(shí)質(zhì)上垂直的方向儲存多個基板；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其用于從所述輸送機(jī)構(gòu)的所述實(shí)質(zhì)上垂直的方向，將 所述基板升起并定向成水平方向以置入處理工具。
10. 如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述支撐臂包含沿著所述可 移動基底的長度延伸的軌道，且所述軌道設(shè)置成以從所述可移動基底 的頂面的垂直軸起約1度至IO度范圍的角度支撐所述基板。
11. 如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中與所述基板相對的所述軌道 的表面包含具有氣流通過的多個孔或多孔薄膜兩者之一，以提供空氣 軸承。
12. 如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述分度單元包含多個通道， 且所述分度單元可以沿垂直于所述基板的橫向移動的方向移動。
13. 如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述可移動基底為皮帶或多 個輪子其中之一，所述皮帶具有用于容納所述基板的所述底部邊緣的 凹部或?qū)蛱卣鞑科渲兄唬龆鄠€輪子具有用于容納所述基板的 底部邊緣的有開槽的周緣表面。
14. 如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)用于旋轉(zhuǎn)式移 動所述基板。
15. 如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述支撐臂具有多個孔洞， 在進(jìn)行升起及定向的時候，通過所述多個孔洞來施加真空，以支撐所 述基板。
16. —種用于運(yùn)送大面積的基板的方法，包含在實(shí)質(zhì)上垂直的方向放置所述基板，其中底部邊緣安置于運(yùn)送機(jī) 構(gòu)上；沿著所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)的表面移動所述基板；在該移動期間，支撐從所述基板的所述底部邊緣延伸的平面表面；以及將所述基板轉(zhuǎn)變到水平位置，以導(dǎo)入處理工具中。
17. 如權(quán)利要求16所述的方法，其中在所述實(shí)質(zhì)上垂直的方向放 置所述基板的步驟包含使所述平板顯示器在從所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)的垂直軸 起約1至約IO度之間傾斜。
18. 如權(quán)利要求16所述的方法，其中支撐所述平面表面的步驟包 含通過與所述平面表面相對的一軌道構(gòu)件使一流體流動。
19. 如權(quán)利要求16所述的方法，其進(jìn)一步包含 包圍所述基板的運(yùn)送路徑；以及當(dāng)所述基板移動時，使已過濾的流體從所述基板的頂緣流至所述 基板的所述底部邊緣。
20. 如權(quán)利要求16所述的方法，其進(jìn)一步包含 將多個基板儲存在位于所述處理工具之前的分度單元內(nèi)。
21. —種用于運(yùn)送、排列及裝載平板顯示器的方法，包含 在實(shí)質(zhì)上垂直的方向放置所述平板顯示器，其中底部邊緣安置于 運(yùn)送機(jī)構(gòu)上；沿著所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)的表面移動所述平板顯示器；在該移動期間，支撐從所述平板顯示器的底部邊緣延伸的平面表 面；及將所述平板顯示器轉(zhuǎn)變到水平位置，以導(dǎo)入處理工具中。
22.如權(quán)利要求21所述的方法，其中在所述實(shí)質(zhì)上垂直的方向放 置所述平板顯示器的步驟包含使所述平板顯示器在從所述運(yùn)送機(jī)構(gòu)的 一垂直軸起約1至約IO度之間傾斜。
23. 如權(quán)利要求21所述的方法，其中支撐所述平面表面的步驟包 含通過與所述平面表面相對的一軌道構(gòu)件使一流體流動。
24. 如權(quán)利要求21所述的方法，其進(jìn)一步包含 包圍所述平板顯示器的運(yùn)送路徑；以及當(dāng)所述平板顯示器移動時，使己過濾的流體從所述平板顯示器的 頂緣流至所述平板顯示器的所述底部邊緣。
25. 如權(quán)利要求21所述的方法，其進(jìn)一步包含 將多個平板顯示器儲存在位于所述處理工具之前的分度單元內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于待處理基板的基板支撐及運(yùn)送系統(tǒng)。該基板支撐系統(tǒng)包含用于在垂直方向支撐該基板的輸送機(jī)構(gòu)。該輸送機(jī)構(gòu)包含可移動基底及非接觸式支撐臂，該可移動基底用于支撐該基板的底部邊緣，該支撐臂對于該基板的一側(cè)提供支撐。該基板支撐系統(tǒng)包含配置于該可移動基底上的殼罩，且該殼罩實(shí)質(zhì)上可圍住該基板及該非接觸式支撐臂。該基板支撐及運(yùn)送系統(tǒng)包含供氣源，該供氣源從該基板的頂緣朝向該基底提供送氣。本發(fā)明還涉及一種運(yùn)送基板的方法。
文檔編號G06F19/00GK101689218SQ200780023281
公開日2010年3月31日 申請日期2007年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月22日
發(fā)明者A·C·博納拉 申請人:村田自動化機(jī)械有限公司