專利名稱:檢驗版圖的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及電子自動化設(shè)計領(lǐng)域,特別涉及在電子自動化設(shè)計軟件中檢驗 版圖的方法。
背景技術(shù):
在集成電路版圖設(shè)計過程中,版圖的同一性及對稱性十分重要。例如, 在芯片里面一些晶體管或電容、電阻需要保持一致、匹配,但由于這些晶體 管或電容、電阻本身在形狀上存在差異,或者是例如附近布線等周圍環(huán)境存 在差異,就會對晶體管的參數(shù)或?qū)﹄娙莸碾娙葜?、電阻的電阻值造成影響?甚至造成芯片失效。
而電子設(shè)計自動化軟件,包括版圖編輯器及設(shè)計規(guī)則驗證工具,都沒有 專門檢測版圖的同 一性及對稱性的工具,只能通過設(shè)計人員的個人經(jīng)驗來滿 足設(shè)計中對同 一性及對稱性的要求,而這樣做的風(fēng)險性比較大。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是,現(xiàn)有技術(shù)電子設(shè)計自動化軟件沒有專門檢測版 圖的同 一性及對稱性的工具的問題。
為解決上述問題,本發(fā)明提供一種在版圖編輯器中檢驗版圖的方法,包
括
設(shè)置需比較的圖層為可選圖層,不需比較的圖層為不可選圖層; 提取第 一 比較區(qū)域內(nèi)可選圖層數(shù)據(jù),形成第 一 比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù); 對所述第 一 比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的第 一 比較圖形進(jìn)行第 一操作; 將所述第一比較圖形移動至第二比較區(qū)域;
在第二比較區(qū)域內(nèi),提取與第一比較圖形對應(yīng)的第二比較圖形的圖形數(shù)據(jù);
對第一比較圖形和第二比較圖形進(jìn)行異或運算,獲得第一比較圖形和第 二比較圖形的差異。
與現(xiàn)有4支術(shù)相比,上述方案具有以下優(yōu)點通過設(shè)置需進(jìn)行比較的圖層 和不需進(jìn)行比較的圖層,提取需要進(jìn)行比較的第一比較區(qū)域內(nèi)需進(jìn)行比較的 圖層對應(yīng)的圖形數(shù)據(jù),并通過相關(guān)操作將第 一比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一 比較圖形移動至第二比較區(qū)域,在第二比較區(qū)域內(nèi),提取與第一比較圖形對 應(yīng)的第二比較圖形的圖形數(shù)據(jù),從而通過第一比較圖形和第二比較圖形數(shù)據(jù) 的異或運算,來獲得該兩個圖形的差異,實現(xiàn)在版圖編輯器中檢驗版圖的目 的。
圖1是本發(fā)明檢驗版圖的方法的一種實施方式圖2是本發(fā)明檢驗版圖的方法的一種實例中版圖的局部圖形示意圖3是圖2所示實例中第一比較區(qū)域的十字圖形平移操作示意圖4是本發(fā)明檢驗版圖的方法的另一種實例中第一比較區(qū)域的十字圖形 平移操作示意圖。
具體實施例方式
參照圖l所示,本發(fā)明在版圖編輯器中^r驗版圖的方法的一種實施方式, 可以包括下列步驟
步驟sl,設(shè)置需比較的圖層為可選圖層,不需比較的圖層為不可選圖層; 步驟s2,提取第一比較區(qū)域內(nèi)可選圖層數(shù)據(jù),形成第一比較區(qū)域圖形數(shù)
據(jù);
步驟s3,對所述第一比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一比較圖形進(jìn)行第一操
作;步驟s4,將所述第一比較圖形移動至第二比較區(qū)域; 步驟s5,在第二比較區(qū)域內(nèi),提取與第一比較圖形對應(yīng)的第二比較圖形 的圖形凝:據(jù);
步驟s6,對第一比較圖形和第二比較圖形進(jìn)行異或運算,獲得第一比較 圖形和第二比較圖形的差異。
由于版圖是基于電子線路圖形,而由多個圖層的相應(yīng)圖形構(gòu)成的。因而, 上述實施方式中,在進(jìn)行兩個比較區(qū)域的版圖比較以檢驗版圖之前,首先需 要對本次檢驗所需要比較的圖層進(jìn)行設(shè)置,通過將需比較的圖層設(shè)置為可選, 不需比較的圖層設(shè)置為不可選,使得之后基于該設(shè)置提取的兩個比較區(qū)域的 圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的圖形就是需進(jìn)行比較的那些圖層圖形。
上述實施方式中,在提取出第一比較區(qū)域的圖形數(shù)據(jù)后,為了將第一比 較區(qū)域的圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的第 一 比較圖形移動至第二比較區(qū)域內(nèi)預(yù)定的比較位 置上,根據(jù)本次檢驗的目的可對所述第一比較圖形進(jìn)行相應(yīng)的操作。
若要驗證兩個比較區(qū)域是否符合同一性的要求,可通過例如移動、旋轉(zhuǎn) 等操作將第 一比較圖形移動至第二比較區(qū)域中要求的比較位置后,進(jìn)行步驟 s4、 s5、 s6的后續(xù)檢驗步驟。
例如鏡像或鏡像后移動的操作將第 一 比較圖形移動至第二比較區(qū)域中預(yù)定的 比專交位置后,進(jìn)行步驟s4、 s5、 s6的后續(xù)檢^r步驟。
而若要驗證兩個比較區(qū)域是否符合中心對稱的要求,可通過例如沿所述 中心點進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的操作將第 一 比較圖形移動至第二比較區(qū)域中預(yù)定的比較位 置后,進(jìn)行步驟s4、 s5、 s6的后續(xù)^r驗步驟。
下面通過一些具體的檢驗版圖的例子,來對于上述在版圖編輯器中檢驗 版圖的方法作進(jìn)一步說明。實例一
圖2所示為某一版圖的局部圖形示意圖。參照圖2所示,假設(shè)對于第一
比較區(qū)域的虛線框范圍內(nèi)的十字圖形和第二比較區(qū)域的虛線框范圍內(nèi)的十字
圖形的版圖要求是具有同一性,即圖形一致。則若要對圖2所示的版圖進(jìn)行 檢驗,結(jié)合圖1所示的方法步驟可進(jìn)行如下操作
由于本次檢驗版圖的目的是比較第 一 比較區(qū)域內(nèi)和第二比較區(qū)域內(nèi)的十 字圖形是否完全一致,因而首先,將圖2中的圖形10、圖形ll對應(yīng)的圖層設(shè) 置為不可選圖層,而將第一比較區(qū)域內(nèi)十字圖形所在的圖形20、圖形30對應(yīng) 的圖層設(shè)置為可選圖層,將第二比較區(qū)域內(nèi)十字圖形所在的圖形21、圖形31 對應(yīng)的圖層設(shè)置為可選圖層。
接著,可以通過鼠標(biāo)畫框或輸入坐標(biāo)來選取第 一 比較區(qū)域內(nèi)十字圖形所 在的圖形20、圖形30。由于已將圖形IO對應(yīng)圖層設(shè)置為不可選圖層,將圖 形20、圖形30對應(yīng)圖層設(shè)置為可選圖層,因而通過鼠標(biāo)畫框或輸入坐標(biāo)選取 獲得的也就是圖形20、圖形30組成的十字圖形。
接下來,對所選取的由圖形20、圖形30組成的十字圖形提取圖形數(shù)據(jù), 以形成第一比較區(qū)域的圖形數(shù)據(jù)。此處由于所選取的圖形較簡單,因而可直 接對所選取的圖形提取圖形數(shù)據(jù)。而當(dāng)所選取的圖形具有分層結(jié)構(gòu) (hierarchical)時,為了與第二比較區(qū)域的相應(yīng)圖形比較的方便,還可以對所 選取的圖形先進(jìn)行打平(flatten)處理,即將具有分層結(jié)構(gòu)的圖形處理為同一 層次的圖形,再提取圖形數(shù)據(jù)。
此處需要進(jìn)行說明的是,由于在版圖檢驗過程,實際進(jìn)行比較的是,通 過選取以及提取而獲得的兩個比較區(qū)域內(nèi)相應(yīng)圖形的圖形數(shù)據(jù),因而檢驗過 程并不涉及到對直接選取的圖形的任何操:作,從而可以防止由于誤操作而導(dǎo) 致已有版圖被破壞或產(chǎn)生不需要的多余圖形。由于本次版圖4全驗的目的是比較第一比較區(qū)域和第二比較區(qū)域內(nèi)相應(yīng)十 字圖形是否一致,而考慮到第二比較區(qū)域內(nèi)的十字圖形相對于第一比較區(qū)域 的十字圖形的位置,在提取了第一比較區(qū)域的圖形數(shù)據(jù)后,只需要對第一比 較區(qū)域的圖形數(shù)據(jù)所對應(yīng)的第一比較圖形(十字圖形)執(zhí)行平移操作即可。 此處所述的平移操作可以是對第一比較區(qū)域的圖形數(shù)據(jù)中涉及圖形范圍的坐 標(biāo)的相應(yīng)更改操作。
例如,參照圖3所示,第一比較區(qū)域內(nèi)的十字圖形所在的圖形20的四端 點的坐標(biāo)分別為(xl,yl)、 (x2,y2)、 (x3,y3)、 (x4,y4),圖形30的四端點的 坐標(biāo)分別為(x5,y5)、 (x6,y6)、 (x7,y7)、 ( x8,y8 )。假設(shè)將第一比較區(qū)域內(nèi)的 所述十字圖形移動到第二比較區(qū)域內(nèi)的相應(yīng)十字圖形處需要向右平移6個格 點或坐標(biāo)單元,則只需將所述坐標(biāo)的橫坐標(biāo)值加6即可。即更改圖形20四端 點的相應(yīng)坐標(biāo)為(xl+6,yl)、 (x2+6,y2)、 (x3+6,y3)、 (x4+6,y4),更改圖形30四 端點的相應(yīng)坐標(biāo)為(x5+6,y5)、 (x6+6,y6)、 (x7+6,y7)、 (x8+6,y8)。
在對所述第 一比較區(qū)域內(nèi)的十字圖形進(jìn)行平移操作后,提取第二比較區(qū) 域相應(yīng)十字圖形數(shù)據(jù)。其過程如下
首先獲得第 一比較區(qū)域內(nèi)的十字圖形平移操作后的坐標(biāo)。
在獲得第一比較區(qū)域內(nèi)十字圖形平移操作后的坐標(biāo)后,在所述坐標(biāo)范圍 內(nèi),選取可選圖層對應(yīng)的圖形。此處其實對第二比較區(qū)域,在所獲得的坐標(biāo) 范圍內(nèi)所選取的圖形就是由圖形21、圖形31構(gòu)成的十字圖形。
此處對所選取的圖形提取圖形數(shù)據(jù)的處理與第 一 比較區(qū)域內(nèi)相應(yīng)處理相 同,可直接對所選取的圖形提取圖形數(shù)據(jù)。而當(dāng)所選取的圖形具有分層結(jié)構(gòu) (hierarchical)時,也可以對所選取的圖形先進(jìn)行打平(flatten)處理,即將 具有分層結(jié)構(gòu)的圖形處理為同 一層次的圖形,再提取圖形數(shù)據(jù)。
至此,已分別獲得了第一比較區(qū)域內(nèi)由圖形20、圖形30構(gòu)成的十字圖形的圖形數(shù)據(jù)以及第二比較區(qū)域內(nèi)由圖形21、圖形31構(gòu)成的十字圖形的圖形數(shù) 據(jù),接下來需要對該兩個圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行比較,以獲得該兩個十字圖形的差異。
此處可以采用對所述兩個圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的十字圖形進(jìn)行異或運算的方法 來獲得該兩個十字圖形的差異。即,兩圖形相應(yīng)部分一致就是"0",相應(yīng)部 分不一致就是"1"。
在獲得了兩個十字圖形的差異后,可以通過高亮或閃爍的方式顯示差異
部分,即顯示通過異或運算后,結(jié)果為"r的部分對應(yīng)的圖形。 實例二
本實例中檢驗版圖的過程與實例一中所說明類似,其區(qū)別之處在于,對
于第一比較區(qū)域內(nèi)的十字圖形的平移操作可以下述方式進(jìn)行
首先,根據(jù)已提取的第 一 比較區(qū)域內(nèi)十字圖形的圖形數(shù)據(jù)形成對應(yīng)的虛 線框圖,即根據(jù)圖形20對應(yīng)的圖形數(shù)據(jù)形成虛線框圖22,根據(jù)圖形30對應(yīng) 的圖形數(shù)據(jù)形成虛線框圖32。
然后,對所形成虛線框圖,可以通過鼠標(biāo)框選并拖曳的方式,也可通過 輸入近似坐標(biāo)的方式,對虛線框圖進(jìn)行平移操作。
在平移操作后,對虛線框圖執(zhí)行自動匹配。所述自動匹配過程如下
計算移動后的第一比較區(qū)域內(nèi)十字圖形與其所覆蓋第二比較區(qū)域內(nèi)的圖 形的相似度;
獲得該兩個圖形相似度最大時,所述第一比較區(qū)域內(nèi)十字圖形對應(yīng)的坐
標(biāo);
以所獲得坐標(biāo)對當(dāng)前第 一 比較區(qū)域內(nèi)十字圖形的坐標(biāo)進(jìn)行修正。
其中,所述計算移動后的第 一 比較圖形與其所覆蓋第二比較區(qū)域內(nèi)的圖 形的相似度包括對移動后的第 一比較圖形與其所覆蓋的圖形進(jìn)行異或運算。通過所述的異或運算,可以得到當(dāng)異或運算的結(jié)果中"1"最少的情況下, 所述第一比較區(qū)域內(nèi)十字圖形對應(yīng)的坐標(biāo)。也即相似度最大對應(yīng)的坐標(biāo)。
最后,以所獲得坐標(biāo)對第 一 比較區(qū)域內(nèi)的所述十字圖形的各端點坐標(biāo)進(jìn) 行修正,以使得所述第 一 比較區(qū)域內(nèi)的十字圖形達(dá)到與第二比較區(qū)域內(nèi)的相 應(yīng)圖形的預(yù)定比較位置。
此處需要說明的是,若平移操作比較精準(zhǔn),第一比較區(qū)域內(nèi)的所述十字 圖形已達(dá)到預(yù)定比較位置或非常接近預(yù)定比較位置,通過自動匹配后,其實
已經(jīng)能夠獲得該兩個比較圖形的差異;而若平移操作誤差較大,第一比較區(qū) 域內(nèi)的所述十字圖形離預(yù)定比較位置還較遠(yuǎn),則通過自動匹配后,需再次進(jìn) 行所述的異或運算,獲得該兩個比較圖形的差異。
此外,為了進(jìn)一步避免誤操作引起的版圖破壞,在拖曳虛線框圖之前, 還可對虛線框圖中各圖層的數(shù)據(jù)類型進(jìn)行更改。例如,虛線框圖22的圖層編 號為61,其在數(shù)據(jù)類型為0時表示可用于制作光罩的圖形,而在數(shù)據(jù)類型為 3時表示制作光罩時可忽略該圖形。則在移動虛線框圖22之前,只需將其數(shù) 據(jù)類型更改為3,即可避免誤操作對版圖的破壞。
雖然本發(fā)明己以較佳實施例披露如上,但本發(fā)明并非限定于此。任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動與修改, 因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種檢驗版圖的方法,其特征在于,包括設(shè)置需比較的圖層為可選圖層,不需比較的圖層為不可選圖層;提取第一比較區(qū)域內(nèi)可選圖層數(shù)據(jù),形成第一比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù);對所述第一比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一比較圖形進(jìn)行第一操作;將所述第一比較圖形移動至第二比較區(qū)域;在第二比較區(qū)域內(nèi),提取與第一比較圖形對應(yīng)的第二比較圖形的圖形數(shù)據(jù);對第一比較圖形和第二比較圖形進(jìn)行異或運算,獲得第一比較圖形和第二比較圖形的差異。
2. 如權(quán)利要求1所述的檢驗版圖的方法,其特征在于,所述第一操作包括移 動操作、旋轉(zhuǎn)操作、鏡像操作中的任意一種或組合。
3. 如權(quán)利要求1所述的才企驗版圖的方法,其特征在于,將所述第一比較圖形 移動至第二比較區(qū)域包括直接輸入第一比較圖形的移動終點坐標(biāo)。
4. 如權(quán)利要求1所述的檢驗版圖的方法,其特征在于,將所述第一比較圖形 移動至第二比較區(qū)域包括將第一比較圖形拖曳至第二比較區(qū)域或輸入移動 終點的近似坐標(biāo)。
5. 如權(quán)利要求4所述的檢驗版圖的方法,其特征在于,還包括在移動后進(jìn)行 圖形匹配,所述圖形匹配包4舌計算移動后的第 一 比較圖形與其所覆蓋圖形的相似度;獲得該兩個圖形相似度最大時,所述第一比較圖形對應(yīng)的坐標(biāo);以所獲得坐標(biāo)對當(dāng)前第 一 比較圖形的坐標(biāo)進(jìn)行修正。
6. 如權(quán)利要求5所述的檢驗版圖的方法,其特征在于,所述計算移動后的第 一比較圖形與其所覆蓋圖形的相似度包括對移動后的第一比較圖形與其所覆蓋的圖形進(jìn)行異或運算。
7.如權(quán)利要求4所述的檢驗版圖的方法,其特征在于,還包括在拖曳或輸入移動終點的近似坐標(biāo)之前,改變所述第一比較圖形各圖層的數(shù)據(jù)類型。
全文摘要
一種檢驗版圖的方法,包括設(shè)置需比較的圖層為可選圖層,不需比較的圖層為不可選圖層;提取第一比較區(qū)域內(nèi)可選圖層數(shù)據(jù),形成第一比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù);對所述第一比較區(qū)域圖形數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一比較圖形進(jìn)行第一操作;將所述第一比較圖形移動至第二比較區(qū)域;在第二比較區(qū)域內(nèi),提取與第一比較圖形對應(yīng)的第二比較圖形的圖形數(shù)據(jù);對第一比較圖形和第二比較圖形進(jìn)行異或運算,獲得第一比較圖形和第二比較圖形的差異。所述檢驗版圖的方法實現(xiàn)了在版圖編輯器中對版圖同一性或?qū)ΨQ性的檢驗。
文檔編號G06F17/50GK101533422SQ200810172779
公開日2009年9月16日 申請日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月12日
發(fā)明者萬濤濤, 羅文哲 申請人:昆山銳芯微電子有限公司