專利名稱：數(shù)據(jù)顯示裝置、數(shù)據(jù)顯示方法、程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示多套作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間 序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)顯示裝置等。
背景技術(shù)：
作為包括進(jìn)行針對(duì)被處理基板的規(guī)定過程的多個(gè)制造裝置和與該 多個(gè)制造裝置連接的服務(wù)器裝置的群管理系統(tǒng)中的測量數(shù)據(jù)加工方法， 以前已知自動(dòng)并且正確地加工從測量器發(fā)送來的數(shù)據(jù)的方法(例如，參 照專利文獻(xiàn)1 )。該測量數(shù)據(jù)加工方法，預(yù)先登記加工測量數(shù)據(jù)的計(jì)算式， 在接收到測量數(shù)據(jù)時(shí)，將該測量數(shù)據(jù)保存到測量數(shù)據(jù)接收緩沖中，并且
基于測量數(shù)據(jù)具有的配方(recipe)名稱，從已被登記的計(jì)算式中選擇 適于加工測量數(shù)據(jù)的至少一個(gè)具有相同配方名稱的計(jì)算式，并保存在計(jì) 算式保存緩沖中，將所保存的所述測量數(shù)據(jù)適用于所述已被選擇的計(jì)算 式并進(jìn)行計(jì)算，將計(jì)算結(jié)果存儲(chǔ)到已加工數(shù)據(jù)保存緩沖中。
此外，在以前的包括半導(dǎo)體制造裝置等的群管理系統(tǒng)中，具有顯示 在半導(dǎo)體制造裝置中測量到的時(shí)間序列信息(以下記作圖表(chart)) 的功能。在該圖表中，顯示群管理系統(tǒng)管理的多個(gè)半導(dǎo)體制造裝置的信 息。并且，在以前的群管理系統(tǒng)中，具有使用圖表進(jìn)行異常檢測，隨后 進(jìn)行異常分類的稱為FDC ( fault detection and classification,故障檢測 和分類)的功能。
專利文獻(xiàn)l:日本特開平11 -354395號(hào)公報(bào)(第1頁，圖l等)

發(fā)明內(nèi)容
但是，在以前的群管理系統(tǒng)等中，存在著無法適當(dāng)?shù)仫@示在半導(dǎo)體 過程中所測量到的數(shù)據(jù)等時(shí)間序列數(shù)據(jù)的問題。
例如，在進(jìn)行多個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)的分析等時(shí)，通過并排顯示由曲線 圖等顯示的多個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)，能夠比較各個(gè)數(shù)據(jù)彼此。但是，以前，在以此方式并排顯示多個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)的情況下，在 改變一個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)的成為顯示對(duì)象的期間、或者使成為顯示對(duì)象的 期間移動(dòng)時(shí)，如果不單獨(dú)地也改變其他時(shí)間序列數(shù)據(jù)的作為顯示對(duì)象的 期間，則每個(gè)曲線圖中顯示的期間變得不同，難以比較數(shù)據(jù)彼此。
此外，在放大或者縮小由曲線圖等顯示的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的一部分， 從而改變要顯示的期間的范圍時(shí)，無法瞬間把握當(dāng)前的顯示范圍位于時(shí) 間序列數(shù)據(jù)整體中的哪個(gè)區(qū)域的位置，此外，無法瞬間指定其他的顯示 期間。
特別是近年來，為了精度良好地控制半導(dǎo)體過程，逐漸能夠從半導(dǎo)
體制造裝置等中以lMHz左右的高采樣率取得測量數(shù)據(jù)，取得的數(shù)據(jù)量 在逐漸增加。因此，通過放大顯示測量數(shù)據(jù)的一部分，能夠進(jìn)行更細(xì)微 的部分的分析。但是，在僅放大顯示細(xì)節(jié)部分時(shí)，存在如下的問題無 法把握測量數(shù)據(jù)整體的趨勢，另外，也無法判斷測量數(shù)據(jù)整體中的已放 大部分的位置關(guān)系，從而不能進(jìn)行適當(dāng)?shù)姆治觥?br> 本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置包括存儲(chǔ)部，能夠存儲(chǔ)多套作為與半導(dǎo)體 過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)取得部， 從所述存儲(chǔ)部中取得一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù) 據(jù)取得部所取得的 一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第 一顯 示寬度顯示；范圍指定接受部，接受所述第一顯示部所顯示的所述過程 相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得 部，從所述多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè)中取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù) 該顯示期間是與所述顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示部，將所 述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的所述顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí) 間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其 中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的表示顯示對(duì)象范 圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地 顯示。
利用這樣的構(gòu)成，能夠利用曲線圖顯示與半導(dǎo)體過程有關(guān)的時(shí)間序 列數(shù)據(jù)的細(xì)節(jié)部分，以進(jìn)行更詳細(xì)的分析，并且，能夠在視覺上瞬間地 把握第二顯示部1310放大顯示的數(shù)據(jù)的期間是第一以及第二測量數(shù)據(jù) 的整體中的哪一部分的期間。據(jù)此，能夠適當(dāng)?shù)仫@示與半導(dǎo)體過程有關(guān)的時(shí)間序列的數(shù)據(jù)。
此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置包括存儲(chǔ)部，能夠存儲(chǔ)作為與半導(dǎo)體 過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)取得 部，從所述存儲(chǔ)部中取得所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù) 據(jù)取得部取得的 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第 一顯示寬度顯示； 范圍指定接受部，接受關(guān)于所述第一顯示部所顯示的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的 多個(gè)范圍亦即多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述一套過 程相關(guān)數(shù)據(jù)中取得多個(gè)顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該多個(gè)顯示期間 是與所述多個(gè)顯示對(duì)象范圍分別對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示部，將所述顯
對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，所述第一顯示部還將所述 范圍指定接受部所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示 部顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。
利用這樣的構(gòu)成，能夠以第二顯示寬度顯示從一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的 多個(gè)區(qū)域中取得的數(shù)據(jù)，易于進(jìn)行一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)的比較 等，能夠有效地進(jìn)行異常的檢測等。
此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置是如下數(shù)據(jù)顯示裝置，即，在所述數(shù) 據(jù)顯示裝置中，所述第一顯示部將數(shù)據(jù)取得部所取得的一套過程相關(guān)數(shù) 據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示多個(gè)；所述范圍指定接受部接受 關(guān)于所述第一顯示部進(jìn)行了多個(gè)顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè) 的顯示對(duì)象范圍的指定；所述顯示數(shù)據(jù)取得部從所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù) 中取得與所述范圍指定接受部已接受指定的多個(gè)顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的 多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)；所述第二顯示部將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的多 串過程相關(guān)數(shù)據(jù)分別與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬 的第二顯示寬度顯示；所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受
的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與分別已接受指定的所述第一顯示部 顯示的多個(gè)所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)分別對(duì)應(yīng)地顯示。
利用這樣的構(gòu)成，能夠以第二顯示寬度顯示從一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的 多個(gè)區(qū)域中取得的數(shù)據(jù)，易于進(jìn)行一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)的比較 等，能夠有效地進(jìn)行異常的檢測等。此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置是如下數(shù)據(jù)顯示裝置，即，在所述數(shù)
據(jù)顯示裝置中，還包括分析部，對(duì)所述顯示數(shù)據(jù)取得部取得的多串?dāng)?shù) 據(jù)進(jìn)行規(guī)定的分析；以及第三顯示部，顯示所述分析部的分析結(jié)果。
利用這樣的構(gòu)成，通過將與一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的多個(gè)區(qū)域的數(shù)據(jù) 有關(guān)的分析結(jié)果與 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)或一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的多個(gè)區(qū) 域的數(shù)據(jù)并列顯示，從而，易于進(jìn)行數(shù)據(jù)間的比較，能夠容易地識(shí)別數(shù) 據(jù)的異常等。
此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置是如下數(shù)據(jù)顯示裝置，即，在所述數(shù) 據(jù)顯示裝置中，還包括數(shù)據(jù)處理部，該數(shù)據(jù)處理部對(duì)所述顯示數(shù)據(jù)取得 部所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的一串以上進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算處理；所述第二顯
理部經(jīng)過運(yùn)算處理而得到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯 示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示。
利用這樣的構(gòu)成，通過使數(shù)據(jù)處理部僅處理測量數(shù)據(jù)的顯示對(duì)象范 圍，能夠減少數(shù)據(jù)處理部的數(shù)據(jù)處理量。此外，通過在顯示時(shí)進(jìn)行數(shù)據(jù) 處理，能夠?qū)崟r(shí)顯示數(shù)據(jù)處理后的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。
此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置是如下數(shù)據(jù)顯示裝置，即，在所述數(shù) 據(jù)顯示裝置中，所述范圍指定接受部通過針對(duì)所述第一顯示部顯示的過 程相關(guān)數(shù)據(jù)的使用了指示設(shè)備的操作來接受所述顯示對(duì)象范圍的指定。
利用這樣的構(gòu)成，能夠使用第 一顯示部顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)指定顯 示對(duì)象范圍，能夠進(jìn)行直觀的操作，提高了操作性。
此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置是如下數(shù)據(jù)顯示裝置，即，在所述數(shù) 據(jù)顯示裝置中，所述第一顯示部將表示所述顯示對(duì)象范圍的信息與該第 一顯示部顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)重疊顯示；所述范圍指定接受部根據(jù)針對(duì)
所述第一顯示部顯示的表示顯示對(duì)象范圍的信息的、使用了指示設(shè)備的 移動(dòng)以及寬度改變的操作，來接受所述顯示對(duì)象范圍的指定。
利用這樣的構(gòu)成，能夠通過直觀的操作進(jìn)行顯示對(duì)象范圍的改變， 能夠提高操作性。此外，本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置是如下數(shù)據(jù)顯示裝置，即，在所述數(shù)據(jù)顯示裝置中，還包括檢測部，該檢測部從數(shù)據(jù)取得部所取得的過程相
關(guān)數(shù)據(jù)之一中檢測特別點(diǎn)；所述范圍指定接受部接受表示出現(xiàn)了所述檢測部檢測出的特別點(diǎn)的期間的信息作為指定所述顯示對(duì)象范圍的信息。
利用這樣的構(gòu)成，能夠自動(dòng)取得表示顯示對(duì)象范圍的信息。據(jù)此，能夠減少用于指定顯示對(duì)象范圍的用戶的勞動(dòng)。此外，能夠消除要使用第二顯示寬度顯示的部分的漏檢。
根據(jù)本發(fā)明的數(shù)據(jù)顯示裝置等，能夠適當(dāng)?shù)仫@示與半導(dǎo)體過程有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)。


圖l是表示本發(fā)明的實(shí)施方式l中的群管理系統(tǒng)的概念圖的圖。
圖2是該群管理系統(tǒng)的方框圖。
圖3是表示該制造裝置的例子的圖。
圖4是說明該數(shù)據(jù)顯示裝置的動(dòng)作的流程圖。
圖5是表示該顯示例子的圖。
圖6是表示該顯示例子的圖。
圖7是用于說明針對(duì)該數(shù)據(jù)顯示裝置的操作的圖。
圖8是用于說明針對(duì)該數(shù)據(jù)顯示裝置的操作的圖。
圖9是表示該顯示例子的圖。
圖10是本發(fā)明的實(shí)施方式2中的群管理系統(tǒng)的方框圖。圖11是說明該數(shù)據(jù)顯示裝置的動(dòng)作的流程圖。圖12是本發(fā)明的實(shí)施方式3中的群管理系統(tǒng)的方框圖。圖13是說明該數(shù)據(jù)顯示裝置的動(dòng)作的流程圖。
ii圖14是表示該顯示例子的圖。 圖15是表示該顯示例子的圖。 圖16是表示該顯示例子的圖。
圖17是本發(fā)明的實(shí)施方式4中的群管理系統(tǒng)的方框圖。
圖18是說明該數(shù)據(jù)顯示裝置的動(dòng)作的流程圖。
圖19是表示該數(shù)據(jù)顯示裝置的模式存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的波形模式的一 例的圖。
圖20是表示該數(shù)據(jù)顯示裝置存儲(chǔ)的第三數(shù)據(jù)的一例的圖。 圖21是表示該顯示例子的圖。
圖22是表示該實(shí)施方式中的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的外觀的一例的方框圖。 圖23是表示該實(shí)施例中的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的構(gòu)成的一例的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

數(shù)據(jù)顯示裝置等的實(shí)施方式。另外，在實(shí)施方 式中標(biāo)有相同符號(hào)的構(gòu)成要素執(zhí)行相同的動(dòng)作，因此有時(shí)省略再次說 明。
(實(shí)施例1)
圖l是本實(shí)施方式中的群管理系統(tǒng)的概念圖。群管理系統(tǒng)例如是管 理半導(dǎo)體制造裝置、液晶面板制造裝置等制造裝置的系統(tǒng)。此外，群管
理系統(tǒng)具有一個(gè)以上的制造裝置ll(從制造裝置lla到制造裝置lln(其 中，n表示任意數(shù)))、服務(wù)器裝置12以及數(shù)據(jù)顯示裝置13。
制造裝置11與服務(wù)器裝置12、以及數(shù)據(jù)顯示裝置13與服務(wù)器裝置 12分別能夠經(jīng)由通信線路等進(jìn)行信息的收發(fā)。各裝置例如可以通過因特 網(wǎng)、無線或有線的LAN等網(wǎng)絡(luò)連接，也可以通過藍(lán)牙(Bluetooth,注 冊(cè)商標(biāo))等近距離無線通信連接。此外，也可以利用USB或者IEEE1394 這種總線等連接。其中，各裝置之間的連接方法可以是任意的。此外，信息的收發(fā)裝置可以是通信裝置也可以是廣播裝置等。
圖2是表示本實(shí)施方式中的群管理系統(tǒng)的構(gòu)成的方框圖。另外，此處，為了方便說明，以有一個(gè)制造裝置ll的情況為例進(jìn)行表示。
制造裝置11是進(jìn)行針對(duì)被處理基板，例如半導(dǎo)體晶片或液晶面板基板等的規(guī)定的半導(dǎo)體過程的裝置。制造裝置11進(jìn)行例如成膜處理、蝕刻處理、熱氧化處理等針對(duì)被處理基板的各種處理。制造裝置11例如是半導(dǎo)體晶片制造裝置等半導(dǎo)體制造裝置、液晶面板制造裝置、等離子
體顯示器用面板制造裝置等。
圖3是表示作為制造裝置11的一例的半導(dǎo)體晶片制造裝置的圖。圖3的半導(dǎo)體晶片制造裝置包括以下部件而構(gòu)成對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行各種處理，例如成膜處理、蝕刻處理或熱氧化處理等的多個(gè)例如3個(gè)處理腔室l、 2、 3;收容能夠收納多片例如50片晶片W的盒C1、 C2的盒腔室4、 5;以及在處理腔室l、 2、 3與盒腔室4、 5之間進(jìn)行晶片W的傳送的搬運(yùn)腔室6。各腔室之間以借助于閘閥G自如開關(guān)的方式連接。在搬運(yùn)腔室6內(nèi)，設(shè)置能進(jìn)行屈伸動(dòng)作以及旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的例如多關(guān)節(jié)式的搬運(yùn)臂7，利用該搬運(yùn)臂7進(jìn)行腔室間的晶片W的搬運(yùn)。盒C1、 C2被放入盒腔室4、 5內(nèi)時(shí)進(jìn)行卯度翻轉(zhuǎn)，并且進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以使該盒C1、 C2的晶片插拔口朝向搬運(yùn)腔室6內(nèi)的中心，設(shè)置為能夠由搬運(yùn)臂7進(jìn)行晶片W的搬進(jìn)搬出的姿勢。
制造裝置11例如存儲(chǔ)作為與針對(duì)晶片的規(guī)定過程有關(guān)的信息的配方，使用該配方進(jìn)行制造過程的控制。所謂配方，通常是過程條件值等的集合。
此外，制造裝置11取得一套以上作為與本裝置的狀況有關(guān)的時(shí)間序列的數(shù)據(jù)(以下稱作時(shí)間序列數(shù)據(jù))的狀況數(shù)據(jù)，發(fā)送給服務(wù)器裝置12。這里所述的各時(shí)間序列數(shù)據(jù)例如是由與時(shí)間對(duì)應(yīng)的一套以上的數(shù)據(jù)構(gòu)成的數(shù)據(jù)。所謂與狀況有關(guān)的時(shí)間序列的數(shù)據(jù)，具體而言，是沿著時(shí)間序列取得的與制造裝置的利用狀況有關(guān)的數(shù)據(jù)或與動(dòng)作狀況有關(guān)的數(shù)據(jù)。所謂與利用狀況有關(guān)的數(shù)據(jù)，例如是表示制造裝置11開始或正在執(zhí)行或者以其他階段進(jìn)行什么樣的處理或控制的數(shù)據(jù)，或者表示控制制造裝置時(shí)的控制值的變動(dòng)的數(shù)據(jù)等。所謂與制造裝置的動(dòng)作狀況有關(guān)的數(shù)據(jù)，例如是制造裝置內(nèi)的溫度或壓力、供應(yīng)給制造裝置的電力、材料 氣體的流量等在制造裝置動(dòng)作時(shí)等測量的測量數(shù)據(jù)等。使用一個(gè)以上的 溫度傳感器、 一個(gè)以上的振動(dòng)傳感器或一個(gè)以上的流量傳感器等取得該 測量數(shù)據(jù)。制造裝置11通常在狀況數(shù)據(jù)中，將表示構(gòu)成該狀況數(shù)據(jù)的 時(shí)刻，或者取得構(gòu)成該狀況數(shù)據(jù)的表示測量信息和利用狀況的數(shù)據(jù)的時(shí) 刻等的信息亦即時(shí)刻數(shù)據(jù)，與表示測量數(shù)據(jù)和利用狀況的數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)地
附加并輸出。不過，也可以將與已接收狀況數(shù)據(jù)的服務(wù)器裝置12接收 狀況數(shù)據(jù)的時(shí)間對(duì)應(yīng)的時(shí)刻數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地附加到狀況數(shù)據(jù)中。此外，也可 以在狀況數(shù)據(jù)中附加"溫度"、"壓力"等表示測量數(shù)據(jù)的種類的信息后 輸出。通常， 一個(gè)制造裝置11發(fā)送不同種類的多個(gè)狀況數(shù)據(jù)。不過， 多個(gè)制造裝置11也可以發(fā)送一套以上的狀況數(shù)據(jù)。此外，在存在多個(gè) 制造裝置11的情況下，為了能夠識(shí)別從各制造裝置11輸出的狀況數(shù)據(jù)， 也可以在狀況數(shù)據(jù)中附加用于識(shí)別各制造裝置11的識(shí)別信息后發(fā)送。
另外，制造裝置11執(zhí)行與針對(duì)晶片等被處理基板的規(guī)定半導(dǎo)體過程 有關(guān)的處理的構(gòu)成，和取得狀況數(shù)據(jù)并發(fā)送的構(gòu)成等是>^知技術(shù)，因此 省略詳細(xì)的說明。
服務(wù)器裝置12是構(gòu)成群管理系統(tǒng)的服務(wù)器裝置，接收多個(gè)從一個(gè) 以上的制造裝置11發(fā)送的、時(shí)間序列數(shù)據(jù)亦即狀況數(shù)據(jù)，并儲(chǔ)存到未 圖示的存儲(chǔ)部等中。而且，從存儲(chǔ)部中讀出與從數(shù)據(jù)顯示裝置13發(fā)送 的、作為用于請(qǐng)求發(fā)送狀況數(shù)據(jù)的信息的請(qǐng)求信息相應(yīng)的狀況數(shù)據(jù)，并 發(fā)送給數(shù)據(jù)顯示裝置13。從數(shù)據(jù)顯示裝置13發(fā)送的用于請(qǐng)求發(fā)送狀況 數(shù)據(jù)的信息例如也可以包含用于指定關(guān)于期望的制造裝置的狀況數(shù)據(jù) 的發(fā)送的、期望的制造裝置的裝置識(shí)別信息。此外，也可以包含用于指 定請(qǐng)求發(fā)送的狀況數(shù)據(jù)的范圍換言之即期間的、指定開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí) 刻或者開始時(shí)刻和所需時(shí)間的信息。在此情況下，服務(wù)器裝置12將請(qǐng) 求信息指定的制造裝置的、請(qǐng)求信息指定的期間內(nèi)的狀況信息從存儲(chǔ)部 中讀出，并發(fā)送給成為請(qǐng)求信息的發(fā)送源的數(shù)據(jù)顯示裝置13。不過，服 務(wù)器裝置12也可以與請(qǐng)求信息無關(guān)地在預(yù)先指定的固定或者不固定的 規(guī)定時(shí)機(jī)時(shí)，讀出狀況數(shù)據(jù)并發(fā)送給預(yù)先指定的數(shù)據(jù)顯示裝置13。此外， 服務(wù)器裝置12也可以加工已被存儲(chǔ)的狀況數(shù)據(jù)來構(gòu)成新的狀況數(shù)據(jù)。 另外，半導(dǎo)體制造裝置的群管理系統(tǒng)中的服務(wù)器裝置12接收并存儲(chǔ)狀此省略詳細(xì)的i兌明。
數(shù)據(jù)顯示裝置13包括指示接受部1301、請(qǐng)求信息發(fā)送部1302、 數(shù)據(jù)接收部1303、存儲(chǔ)部1304、數(shù)據(jù)處理部1305、數(shù)據(jù)取得部1306、 第一顯示部1307、范圍指定接受部1308、顯示數(shù)據(jù)取得部1309和第二 顯示部1310。
指示接受部1301接受發(fā)送請(qǐng)求信息的指示，該請(qǐng)求信息是用于請(qǐng) 求發(fā)送服務(wù)器裝置12中存儲(chǔ)的多個(gè)過程相關(guān)數(shù)據(jù)亦即狀況數(shù)據(jù)的信息。 關(guān)于過程相關(guān)數(shù)據(jù)在后面進(jìn)行描述。指示接受部1301接受的指示也可 以包含指定狀況數(shù)據(jù)的種類的信息、用于指定狀況數(shù)據(jù)的范圍換言之即 期間的指定開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻或者開始時(shí)刻和所需時(shí)間的信息。此 外，也可以包含用于請(qǐng)求關(guān)于期望的制造裝置11的狀況數(shù)據(jù)的、識(shí)別 信息等用于指定制造裝置11的信息。這里所述的接受例如是從輸入裝 置的接受、從其他設(shè)備等發(fā)送的輸入信號(hào)的接收等。指示接受部1301 接受的指示的輸入裝置可以是數(shù)字鍵(tenkey)、鍵盤、鼠標(biāo)、利用菜 單畫面的裝置等，可以是任何輸入裝置。能夠通過數(shù)字鍵、鍵盤等輸入 裝置的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器或菜單畫面的控制軟件等來實(shí)現(xiàn)指示接受部1301。
請(qǐng)求信息發(fā)送部1302構(gòu)成與指示接受部1301接受的指示相應(yīng)的請(qǐng) 求信息，并發(fā)送給服務(wù)器裝置12。所謂與指示接受部1301接受的指示 相應(yīng)的請(qǐng)求信息，具體是指，與指定狀況數(shù)據(jù)的種類的信息、指定狀況 數(shù)據(jù)的范圍即期間的信息、指定制造裝置11的信息等對(duì)應(yīng)的用于請(qǐng)求 發(fā)送狀況信息的信息。利用有線或無線的通信裝置等實(shí)現(xiàn)請(qǐng)求信息發(fā)送 部1302。
另外，在與請(qǐng)求信息無關(guān)地從服務(wù)器裝置12發(fā)送狀況數(shù)據(jù)等的情 況下，可以省略指示接受部1301和請(qǐng)求信息發(fā)送部1302等。
數(shù)據(jù)接收部1303接收從服務(wù)器裝置12發(fā)送的過程相關(guān)數(shù)據(jù)亦即狀 況數(shù)據(jù)。利用有線或無線的通信裝置等實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)接收部1303。
存儲(chǔ)部1304中能夠存儲(chǔ)多套作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān) 的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。所謂過程相關(guān)數(shù)據(jù)具體是指，上述數(shù) 據(jù)接收部1303所接收的狀況數(shù)據(jù)，或者后述數(shù)據(jù)處理部1305對(duì)數(shù)據(jù)接收部1303接收的狀況數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的處理后得到的時(shí)間序列數(shù)據(jù)。例 如，存儲(chǔ)以規(guī)定的時(shí)間間隔對(duì)制造裝置11反復(fù)測量的測量數(shù)據(jù)等。在 存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中，通常附加表示取得各數(shù)據(jù)的時(shí) 間的時(shí)間信息。例如，在存儲(chǔ)部1304中儲(chǔ)存由數(shù)據(jù)接收部1303接收的 狀況數(shù)據(jù)、由未圖示的讀出部等從存儲(chǔ)介質(zhì)等中讀出的作為與半導(dǎo)體過 程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的不同的多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)、和由 后述的數(shù)據(jù)處理部1305處理后的過程相關(guān)數(shù)據(jù)等。這里所述的存儲(chǔ)是 也包含暫時(shí)存儲(chǔ)的概念。存儲(chǔ)部1304可以是非易失性的存儲(chǔ)介質(zhì)也可 以是易失性的存儲(chǔ)介質(zhì)。
況數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)k的處理，來構(gòu)成^的過程相關(guān)數(shù)據(jù):并且，將所構(gòu)成的
過程相關(guān)數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部1304。規(guī)定的處理可以是任意處理，例如小 波變換、數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)化/正規(guī)化處理等。此外，關(guān)于進(jìn)行什么處理，可 以預(yù)先確定，也可以根據(jù)從未圖示的接受部等接受的指示來指定。數(shù)據(jù) 處理部1305可以對(duì)數(shù)據(jù)接收部1303接收到的狀況數(shù)據(jù)直接進(jìn)行處理， 也可以讀出被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部1304中的狀況數(shù)據(jù)并進(jìn)行處理。通常能利 用MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)處理部1305。通常用軟件來實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)處 理部1305的處理過程，該軟件存儲(chǔ)在ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。不過，也 可以使用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
另外，在不需要對(duì)狀況數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的處理而構(gòu)成的新的過程相關(guān) 數(shù)據(jù)的情況下，也可以省略數(shù)據(jù)處理部1305。
數(shù)據(jù)取得部1306從存儲(chǔ)部1304中取得一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。 數(shù)據(jù)取得部1306也可以取得存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的全部 期間的數(shù)據(jù)，還可以取得一部分的期間的數(shù)據(jù)。該期間的指定也可以預(yù) 先確定，還可以基于從指示接受部1301或者未圖示的接受部等接受的、 指定開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻或者開始時(shí)刻和所需時(shí)間的信息等來確定。此 外，在沒有期間的指定的情況下，也可以取得存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的過 程相關(guān)數(shù)據(jù)的全部期間的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)取得部1306取得的一套 以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)也可以是存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的多套過程相關(guān)數(shù)據(jù) 的全部，還可以是其中的一部分。成為該取得對(duì)象的一部分的過程相關(guān) 數(shù)據(jù)可以用任意方式進(jìn)行指定。例如，也可以經(jīng)由未圖示的接受部等由用戶使用數(shù)據(jù)的種類、裝置識(shí)別信息等進(jìn)行指定，還可以預(yù)先設(shè)定。另 外，對(duì)于被指定的規(guī)定期間內(nèi)的、不存在過程相關(guān)數(shù)據(jù)的部分，也可以
取得表示無過程相關(guān)數(shù)據(jù)的即為"0"的信息。通常能利用MPU和存儲(chǔ) 器等實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)取得部1306。通常用軟件實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)取得部1306的處理過 程，該軟件存儲(chǔ)在ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。不過，也可以使用硬件(專用 電路)來實(shí)現(xiàn)。
第一顯示部1307以第一顯示寬度將數(shù)據(jù)取得部1306所取得的一套 以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地顯示。所謂與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地顯示具 體是指，使用以時(shí)間軸為橫軸或縱軸的曲線圖顯示各過程相關(guān)數(shù)據(jù)等。 所謂以第一顯示寬度顯示是指，使數(shù)據(jù)取得部1306所取得的一套以上 的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻位于第一顯示寬度的兩端，以此 方式顯示一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。這里所述的寬度是指時(shí)間軸方向的 長度。第一顯示寬度可以固定，也可以能夠根據(jù)未圖示的接受部等接受 的指示等進(jìn)行改變。此外，第一顯示部1307可以根據(jù)第一顯示寬度， 對(duì)進(jìn)行顯示時(shí)實(shí)際上不需要的過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行抽減，或者為了使過程 相關(guān)數(shù)據(jù)能夠平滑顯示而進(jìn)行內(nèi)插。此外，可以以任意方式?jīng)Q定第一顯 示部1307顯示的一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。此外，在顯示多套過程相 關(guān)數(shù)據(jù)的情況下，可以將多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)重疊顯示。
此外，第一顯示部1307將后述的范圍指定接受部1308所接受的表 示顯示對(duì)象范圍的信息與上述的第一顯示部1307以第一顯示寬度顯示 的 一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。所謂對(duì)應(yīng)地顯示是指以使得能 夠唯一地把握顯示對(duì)象范圍是第一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù) 中的哪個(gè)范圍的方式進(jìn)行顯示。即，能夠與其他區(qū)域相區(qū)別地顯示出， 顯示對(duì)象范圍是第一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的哪個(gè)范圍。 具體而言，將表示顯示對(duì)象范圍的表示范圍的圖像與過程相關(guān)數(shù)據(jù)重疊
顯示，或者沿著過程相關(guān)數(shù)據(jù)的時(shí)間軸顯示。該表示顯示對(duì)象范圍的信 息例如是能夠與其他范圍相判別地顯示第一顯示部1307所顯示的一套 以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的、與顯示對(duì)象范圍相當(dāng)?shù)姆秶男畔?，例如可?是目標(biāo)圖像，例如，通過覆蓋等方法著色顯示與顯示對(duì)象范圍相當(dāng)?shù)姆?圍的信息，或者使用虛線或邊界線等包圍或分割與顯示對(duì)象范圍相當(dāng)?shù)?范圍的信息。此外，也可以是使顯示對(duì)象范圍的時(shí)間序列信息的顏色等 進(jìn)行反轉(zhuǎn)顯示的信息。這里所述的范圍具體是指期間。另外，顯示與顯
17示對(duì)象范圍相當(dāng)?shù)姆秶募夹g(shù)，作為顯示由指示設(shè)備等指定的區(qū)域，例 如顯示表示選擇范圍的信息的技術(shù)等，是公知技術(shù)，因此省略詳細(xì)的說 明。這里所述的顯示是包含針對(duì)顯示器等的顯示的概念。也可以認(rèn)為第
一顯示部1307包含或者不包含顯示器等的顯示設(shè)備等。能夠由顯示設(shè) 備的驅(qū)動(dòng)軟件，或者顯示設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件和顯示設(shè)備等來實(shí)現(xiàn)第一顯示 部1307。
范圍指定接受部1308接受第一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù) 中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定。顯示對(duì)象范圍是表示至少 能夠確定沿時(shí)間軸的始點(diǎn)和終點(diǎn)的范圍的信息便可。顯示對(duì)象范圍是第 一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)上的范圍。范圍指定接受部1308， 優(yōu)選，例如通過針對(duì)第一顯示部1307顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的利用了鼠 標(biāo)等指示設(shè)備的操作來接受顯示對(duì)象范圍的指定，能夠直觀地進(jìn)行操 作。具體而言，也可以通過操作指示設(shè)備等來描繪第一顯示部1307所 顯示的一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)上的要作為顯示對(duì)象的范圍，或者通過 單擊按鈕等的同時(shí)進(jìn)行拖動(dòng)來接受范圍的指定。此外，在表示顯示對(duì)象 范圍的信息已經(jīng)顯示在第一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)上或者 過程相關(guān)數(shù)據(jù)的周圍的情況下，可以根據(jù)針對(duì)該正在被顯示的表示顯示 對(duì)象范圍的信息的、利用了指示設(shè)備的移動(dòng)以及改變寬度的操作，接受 顯示對(duì)象范圍的指定。例如，也可以，當(dāng)在第一顯示部1307所顯示的 過程相關(guān)數(shù)據(jù)上重疊地透明顯示表示顯示對(duì)象范圍的矩形的目標(biāo)圖像 的情況下，可以通過使用指示設(shè)備拖動(dòng)該目標(biāo)圖像的中心，來接受顯示 對(duì)象范圍的移動(dòng)。此外，也可以，通過使用指示設(shè)備拖動(dòng)矩形的目標(biāo)圖 像的時(shí)間軸方向的端部，來接受表示顯示對(duì)象范圍的范圍的改變。不過， 范圍指定接受部1308接受顯示對(duì)象范圍的指定的方式可以是任意的。 例如，也可以通過接受表示顯示對(duì)象范圍的始點(diǎn)和終點(diǎn)的時(shí)刻等值，來 接受顯示對(duì)象范圍的指定或改變等。這里所述的接受，例如是從輸入裝 置的接收或者由其他設(shè)備等發(fā)送的輸入信號(hào)的接收等。輸入裝置可以是 數(shù)字鍵、鍵盤、鼠標(biāo)、利用菜單畫面的裝置等，可以是任何輸入裝置。 能通過數(shù)字鍵、鍵盤等輸入裝置的設(shè)備驅(qū)動(dòng)器或菜單畫面的控制軟件等 來實(shí)現(xiàn)范圍指定接受部1308。
顯示數(shù)據(jù)取得部1309從存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的 每個(gè)中，取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該顯示期間是與范圍指定接受部1308所接受的顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間。作為具體例子，顯示數(shù) 據(jù)取得部1309取得與范圍指定接受部1308所接受的顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng) 的顯示期間的開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻，從存儲(chǔ)部1304中讀出并取得該開 始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻之間的期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)。該多串過程相關(guān) 數(shù)據(jù)可以以任意方式確定，也可以經(jīng)由未圖示的接受部等接受指定，還 可以預(yù)先指定。此外，對(duì)于與范圍指定接受部1308所接受的顯示對(duì)象 范圍對(duì)應(yīng)的顯示期間的開始時(shí)刻以及結(jié)束時(shí)刻，例如能夠根據(jù)第一顯示 部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)上的顯示對(duì)象范圍的時(shí)間軸方向的兩端 所表示的位置，和第一顯示部1307以第一顯示寬度顯示的過程相關(guān)數(shù) 據(jù)的兩端的時(shí)刻，使用比率等進(jìn)行計(jì)算。此外，也可以預(yù)先根據(jù)第一顯 示寬度和第一顯示部1307顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的期間，計(jì)算第一顯示 部1307顯示的圖像上的距離與時(shí)間的關(guān)系，使用該關(guān)系，根據(jù)顯示對(duì) 象范圍的兩端的、相對(duì)于第一顯示部1307上所顯示的時(shí)間序列信息的 兩端等的距離，計(jì)算與顯示對(duì)象范圍的兩端對(duì)應(yīng)的時(shí)刻亦即開始時(shí)刻和 結(jié)束時(shí)刻。另外，在顯示對(duì)象范圍內(nèi)的一部分或者全部中不存在過程相 關(guān)數(shù)據(jù)時(shí)，也可以不取得該不存在的期間的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，還可以將預(yù) 先設(shè)定的值例如"0"等作為該期間的值取得。通常能利用MPU和存儲(chǔ) 器等來實(shí)現(xiàn)顯示數(shù)據(jù)取得部1309。顯示數(shù)據(jù)取得部1309的處理過程通 常用軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件存儲(chǔ)在ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。不過，也可以使用 硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
第二顯示部1310將顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的顯示期間內(nèi)的多 串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯 示寬度進(jìn)行顯示。通常，優(yōu)選第二顯示寬度是與第一顯示寬度相同程度 的寬度，但也可以是不同的寬度。在第二顯示寬度比第一顯示寬度窄的 情況下，為了使第二顯示寬度比顯示對(duì)象范圍的寬度寬，也可以預(yù)先將 顯示對(duì)象范圍的最大寬度設(shè)定為比第二顯示寬度窄。此外，第二顯示寬 度也可以固定，還可以是能夠根據(jù)未圖示的接受部等接受的指示等進(jìn)行 改變。此外，也可以是，第二顯示部1310根據(jù)第一顯示寬度對(duì)進(jìn)行顯 示時(shí)實(shí)際上不需要的過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行抽減，或者為了使過程相關(guān)數(shù)據(jù) 能夠平滑顯示而進(jìn)行內(nèi)插。此外，也可以以任意方式?jīng)Q定第二顯示部 1310顯示的一串以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。此外，在顯示多串過程相關(guān)數(shù)據(jù) 的情況下，通常以比顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地分別顯示各個(gè)過程相關(guān)數(shù)據(jù)。不過，也可以重疊顯示多串過程相關(guān) 數(shù)據(jù)中的一部分的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。此外，在未接受顯示對(duì)象范圍的指定
的情況下，第二顯示部1310例如也可以對(duì)多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)整體按過 程相關(guān)數(shù)據(jù)的不同，以第二顯示寬度顯示。這里所述的顯示是包含針對(duì) 顯示器等的顯示的概念?？梢哉J(rèn)為第二顯示部1310包含或者不包含顯 示器等的顯示設(shè)備等。能夠由顯示設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件，或者顯示設(shè)備的驅(qū) 動(dòng)軟件和顯示設(shè)備等來實(shí)現(xiàn)第二顯示部1310。
另外，對(duì)于顯示數(shù)據(jù)取得部1309取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)， 該顯示期間是與范圍指定接受部1308所接受的顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期 間，并且由第二顯示部1310顯示所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的處理，如果 以范圍指定接受部1308接受了顯示對(duì)象范圍為觸發(fā)事件而進(jìn)行，則能 夠才艮據(jù)顯示對(duì)象范圍的指定實(shí)時(shí)地更新第二顯示部1310的顯示，因此 是較為理想的。
接著，使用圖4的流程圖說明數(shù)據(jù)顯示裝置的動(dòng)作。另外，此處， 指示接受部1301接受用于從服務(wù)器裝置12取得期望的期間內(nèi)的一套以 上的狀況數(shù)據(jù)(過程相關(guān)數(shù)據(jù))的、指定期間和狀況數(shù)據(jù)種類的信息。
(步驟S400 )指示接受部1301判斷是否已接受發(fā)送請(qǐng)求信息的指 示。在已接受的情況下，進(jìn)入步驟S401，在未接受的情況下，返回步 驟S400。
(步驟S401 )請(qǐng)求信息發(fā)送部1302構(gòu)成與指示接受部1301接受的 指示相應(yīng)的請(qǐng)求信息，并發(fā)送給服務(wù)器裝置12。在此，作為例子，根據(jù) 指示接受部1301接受的指示，將用于請(qǐng)求發(fā)送期望的期間內(nèi)的、期望 的狀況數(shù)據(jù)即過程相關(guān)數(shù)據(jù)的請(qǐng)求信息發(fā)送給服務(wù)器裝置12。
(步驟S402 )數(shù)據(jù)接收部1303接收從服務(wù)器裝置12發(fā)送的作為過 程相關(guān)數(shù)據(jù)的狀況數(shù)據(jù)。
(步驟S403 )數(shù)據(jù)接收部1303將步驟S402中接收到的過程相關(guān)數(shù) 據(jù)存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部1304中。
(步驟S404 )數(shù)據(jù)處理部1305對(duì)數(shù)據(jù)接收部1303接收到的過程相 關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的處理，構(gòu)成新的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。并且，將所構(gòu)成的過程相關(guān)數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部1304中。數(shù)據(jù)處理部1305也可以對(duì)數(shù)據(jù)接收 部1303接收到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的處理，還可以讀出存儲(chǔ)部 1304中所存儲(chǔ)的在步驟S402中接收到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)并進(jìn)行規(guī)定的處 理。在此，作為例子，設(shè)，預(yù)先指定了數(shù)據(jù)處理部1305作為處理對(duì)象 的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，也預(yù)先決定了對(duì)該過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行的處理。
(步驟S405 )數(shù)據(jù)取得部1306從存儲(chǔ)部1304中取得一套以上的過 程相關(guān)數(shù)據(jù)。在此，設(shè)，數(shù)據(jù)取得部1306例如取得在步驟S402中接收 到的狀況數(shù)據(jù)的全部期間的數(shù)據(jù)。
(步驟S406)第一顯示部1307以第一顯示寬度顯示數(shù)據(jù)取得部 1306取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。
(步驟S407)范圍指定接受部1308判斷是否已接受第一顯示部 1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指 定。在已接受的情況下，進(jìn)入步驟S408，在未接受的情況下，返回步 驟S407。
(步驟S408 )第一顯示部1307將步驟S407中已接受的表示顯示對(duì) 象范圍的信息與步驟S406中顯示的時(shí)間序列信息對(duì)應(yīng)進(jìn)行顯示，例如 重疊顯示。
(步驟S409 )顯示數(shù)據(jù)取得部1309取得表示顯示期間的信息，該 顯示期間是與步驟S407中所接受的顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的實(shí)際期間。具 體而言，根據(jù)第一顯示部1307以第一顯示寬度顯示的時(shí)間序列信息的 開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻，以及第一顯示部1307以第一顯示寬度顯示的時(shí) 間序列信息的時(shí)間軸方向的端部所在的時(shí)間軸方向的坐標(biāo)，和范圍指定 接受部1308所接受的顯示對(duì)象范圍的時(shí)間軸方向的端部所在的時(shí)間軸 方向的坐標(biāo)等，計(jì)算顯示期間的開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻。
(步驟S410 )顯示數(shù)據(jù)取得部1309讀出并取得存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ) 的多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的、在步驟S409中計(jì)算出的顯示期間內(nèi)的過程 相關(guān)數(shù)據(jù)。在此，設(shè)，預(yù)先指定了該多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的種類等。
(步驟S411)第二顯示部1310以第二顯示寬度與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地顯 示步驟S410中所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。設(shè)預(yù)先指定了該第二顯示寬度。(步驟S412)范圍指定接受部1308判斷是否已接受顯示對(duì)象范圍 的改變。在已接受的情況下，進(jìn)入步驟S408，在未接受的情況下，返 回步驟S412。
另外，在圖4的流程圖中，通過電源關(guān)閉或處理結(jié)束的中斷來結(jié)束 處理。
另外，制造裝置11和服務(wù)器裝置12的動(dòng)作是公知的，因此在此省 略說明。
以下，說明包括本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng)的具體 動(dòng)作。群管理系統(tǒng)的概念圖為圖1。
在此，首先，設(shè)，例如以lMHz的釆樣率反復(fù)測量關(guān)于制造裝置11 動(dòng)作時(shí)的溫度、振動(dòng)和氣體流量等的測量數(shù)據(jù)(狀況數(shù)據(jù))，與以測量 開始時(shí)刻為0的時(shí)刻數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地從制造裝置11發(fā)送給服務(wù)器裝置12。
而且，設(shè)，所發(fā)送的測量數(shù)據(jù)在服務(wù)器裝置12內(nèi)與時(shí)刻數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng) 地被儲(chǔ)存。
接著，設(shè)，數(shù)據(jù)顯示裝置13的指示接受部1301經(jīng)由鍵盤等輸入裝 置等從用戶接受取得如下數(shù)據(jù)的指示服務(wù)器裝置12中存儲(chǔ)的測量數(shù) 據(jù)中的第一測量數(shù)據(jù)以及第二測量數(shù)據(jù)的從3000xl(T6秒到7000xl(T6秒 的期間的數(shù)據(jù)。第一以及第二測量數(shù)據(jù)也可以是任意的測量數(shù)據(jù)。另夕卜， 在此為了方便說明，設(shè)第一以及第二測量數(shù)據(jù)的測量值的單位是相同的 單位。
請(qǐng)求信息發(fā)送部1302根據(jù)指示接受部1301所接受的指示，向服務(wù) 器裝置12發(fā)送用于請(qǐng)求發(fā)送第一以及第二測量數(shù)據(jù)中的從3000xl(^秒 到7000xl0"秒的期間的數(shù)據(jù)的請(qǐng)求信號(hào)。
服務(wù)器裝置12讀出與從數(shù)據(jù)顯示裝置13發(fā)送的請(qǐng)求信號(hào)對(duì)應(yīng)的第 一以及第二測量數(shù)據(jù)的從3000xl0"秒到7000xl(^秒的期間的數(shù)據(jù)，并 發(fā)送給數(shù)據(jù)顯示裝置13。
數(shù)據(jù)顯示裝置13的數(shù)據(jù)接收部1303接收從服務(wù)器裝置12發(fā)送的 第一以及第二測量數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部1304中。
22在此，設(shè)，預(yù)先指定與第一以及第二測量數(shù)據(jù)一起顯示將第一以及
第二測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小波變換后得到的數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)處理部1305分別讀出 存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的第一測量數(shù)據(jù)和第二測量數(shù)據(jù)，并進(jìn)行小波變換。 而且，將經(jīng)過小波變換而得到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部1304。另外， 關(guān)于小波變換的處理是公知技術(shù)，因此省略說明。
接著，數(shù)據(jù)取得部1306從存儲(chǔ)部1304中取得用于由第一顯示部 1307進(jìn)行顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。在此，設(shè)，指定由第一顯示部1307顯 示數(shù)據(jù)接收部1303接收到的測量數(shù)據(jù)的整體，數(shù)據(jù)取得部1306讀出數(shù) 據(jù)接收部1303接收到的第 一以及第二測量數(shù)據(jù)的全部期間的數(shù)據(jù)。
笫一顯示部1307構(gòu)成將數(shù)據(jù)取得部1306讀出的第一測量數(shù)據(jù)與第 二測量數(shù)據(jù)沿時(shí)間軸重疊后的第一顯示寬度的曲線圖，使用未圖示的顯 示器等進(jìn)行顯示。在此，第一顯示寬度是預(yù)先設(shè)定的，例如為400像素。 此外，曲線圖的高度為160像素。另外，在此，橫軸的單位為10_6秒。 此外，在此，第一以及第二測量數(shù)據(jù)相對(duì)于第一顯示寬度，是非常多， 無法用曲線圖內(nèi)的有限的像素?cái)?shù)顯示全部數(shù)據(jù)，因此也可以使用抽減各 個(gè)測量數(shù)據(jù)后的數(shù)據(jù)來構(gòu)成曲線圖。
圖5是第一顯示部1307構(gòu)成的曲線圖的顯示例。在此，將第一以 及第二測量值的曲線圖重疊顯示。另外，僅曲線圖51是第一顯示部1307 顯示的曲線圖。在此，x軸為時(shí)間，y軸為測量數(shù)據(jù)的值。曲線圖52~ 曲線圖55是第二顯示部1310顯示的曲線圖，但是，在此，在初始狀態(tài) 下未顯示曲線圖。另外，在此，第一顯示部1307與第二顯示部1310在 相同的顯示器中顯示圖像。
接著，若用戶操作鼠標(biāo)等移動(dòng)顯示器上顯示的指針等，選擇了第一 顯示部1307所顯示的曲線圖51上的一部分的范圍，則范圍指定接受部 1308接受第一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦 即顯示對(duì)象范圍的指定。具體而言，范圍指定接受部1308接受通過該 鼠標(biāo)操作等選擇的范圍的x坐標(biāo)的值。在此，為了簡化說明，設(shè)，第一 顯示部1307顯示的曲線圖的左側(cè)的x坐標(biāo)為"0"，右側(cè)的x坐標(biāo)為"400"， 范圍指定接受部1308接受的顯示對(duì)象范圍的左側(cè)的x坐標(biāo)為"160"， 右側(cè)的x坐標(biāo)為"280"，則范圍指定接受部1308接受作為指定顯示對(duì) 象范圍的信息的"x=160"以及"x=280"的值。第一顯示部1307取得范圍指定接受部1308接受的作為指定顯示對(duì) 象范圍的坐標(biāo)信息的"x=160"以及"x=280"的值，將圖5所示那樣的 曲線圖51的、在該坐標(biāo)之間夾著的范圍內(nèi)的背景色改變?yōu)榕c其他區(qū)域 不同的顏色并重新顯示。
顯示數(shù)據(jù)取得部1309根據(jù)范圍指定接受部1308接受的作為指定顯 示對(duì)象范圍的信息的"x=160"以及"x=280"的值，取得與顯示對(duì)象范 圍對(duì)應(yīng)的期間的信息。具體而言，第一顯示部1307顯示的曲線圖的時(shí) 間軸的范圍是從3000xl0"秒到7000xl0"秒的期間，以400像素的第一 顯示寬度顯示該期間，因此，顯示數(shù)據(jù)取得部1309運(yùn)算(7000-3000) xl(T6 秒+ 400像素，來計(jì)算出曲線圖51上的一個(gè)像素是10xl(^秒。而且， 顯示數(shù)據(jù)取得部1309使用與該一個(gè)像素對(duì)應(yīng)的時(shí)間，計(jì)算顯示對(duì)象范 圍的左端的時(shí)刻與右端的時(shí)刻。顯示數(shù)據(jù)取得部1309計(jì)算出的顯示對(duì) 象范圍的左端的時(shí)刻是(3000+160x10) xl(T6秒，右端的時(shí)刻是 (3000+280x10) xlO"秒。于是，與顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間是從 4600xl0^秒到5800xl0^秒的期間，顯示數(shù)據(jù)取得部1309從存儲(chǔ)部1304 中讀出該期間內(nèi)的第 一以及第二測量數(shù)據(jù)和將這些數(shù)據(jù)進(jìn)行了小波變 換后的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。而且，分別使用讀出的數(shù)據(jù)，與第一顯示部1307 相同地沿著時(shí)間軸構(gòu)成預(yù)先設(shè)定的第二顯示寬度的曲線圖。在此，設(shè)， 第二顯示寬度，被預(yù)先設(shè)定，是與第一顯示寬度大致相同的大小，例如 為410像素。而且，在顯示器等上顯示所構(gòu)成的曲線圖。另外，顯示數(shù) 據(jù)取得部1309也可以使用對(duì)第一以及第二測量數(shù)據(jù)和利用小波變換等 得到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行了適當(dāng)抽減的數(shù)據(jù)來構(gòu)成曲線圖。
圖6是表示第一顯示部1307和第二顯示部1310構(gòu)成的曲線圖的顯 示例的圖。與圖5相同，曲線圖51是第一顯示部1307顯示的曲線圖， 曲線圖52~曲線圖55是第二顯示部1310顯示的曲線圖。曲線圖52是 第一測量數(shù)據(jù)的曲線圖，曲線圖53是對(duì)第一測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小波變換而 得到的數(shù)據(jù)的曲線圖，曲線圖54是第二測量數(shù)據(jù)的曲線圖，曲線圖55 是對(duì)第二測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小波變換而得到的數(shù)據(jù)的曲線圖。
如圖6所示，在第一顯示部1307所顯示的曲線圖中，顯示存儲(chǔ)部 1304中存儲(chǔ)的第一以及第二測量數(shù)據(jù)中的全部期間的數(shù)據(jù)，并且，設(shè)為 背景色與其他區(qū)域不同的區(qū)域61來顯示范圍指定接受部1308所接受的
24范圍。此外，在第二顯示部1310所顯示的曲線圖中，以比區(qū)域61的寬 度寬的第二顯示寬度，在此是與第一顯示寬度相同程度的寬度顯示與第 一顯示部1307所顯示的曲線圖中的區(qū)域61對(duì)應(yīng)的期間內(nèi)的數(shù)據(jù)。
通過以這種方式進(jìn)行顯示，能夠放大顯示第一顯示部1307在顯示 器等上所顯示的曲線圖上與用戶指定的范圍對(duì)應(yīng)的期間的測量數(shù)據(jù)和 該期間的小波變換后的信息。據(jù)此，能夠用曲線圖顯示數(shù)據(jù)的細(xì)節(jié)部分， 從而可以進(jìn)行更為詳細(xì)的分析。此外，在保持由第一顯示部1307顯示 第一以及第二測量數(shù)據(jù)的整體的同時(shí)，第一顯示部1307將利用第二顯 示部1310放大顯示的范圍與第一以及第二測量數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)顯示，因此能 夠在視覺上瞬間地把握第二顯示部1310放大顯示的數(shù)據(jù)的期間是第一 以及第二測量數(shù)據(jù)的整體中的哪一部分的期間。特別是近年來，能夠以 更高的頻率取得與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的值，因此能夠放大顯 示測量數(shù)據(jù)等的細(xì)節(jié)部分。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，在使用第一顯示部 1307顯示測量數(shù)據(jù)等的整體的同時(shí)，能夠有效并且直觀地指定并放大顯 示測量數(shù)據(jù)等的要查看細(xì)節(jié)部分的部分。據(jù)此能夠有效顯示測量數(shù)據(jù)等 的整體和細(xì)節(jié)部分。
此外，利用第二顯示部1310顯示與范圍指定接受部1308所接受的 顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間的多串測量數(shù)據(jù)等的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，因此能夠 對(duì)齊第二顯示部1310顯示的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)的作為顯示對(duì)象的期間， 多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的比較變得容易。
此外，能夠在第一顯示部1307的曲線圖上指定顯示對(duì)象范圍，因 此易于判斷要放大的部分等，操作性較好。
接著，如圖7所示，若利用畫面上顯示的鼠標(biāo)等進(jìn)行拖動(dòng)第一顯示 部1307中所顯示的表示顯示對(duì)象范圍的區(qū)域51的時(shí)間軸方向的端部的 操作，從而移動(dòng)了指針71，則范圍指定接受部1308接受寬度被改變了 的顯示對(duì)象范圍的信息。與之相伴，第一顯示部1307中所顯示的表示 顯示對(duì)象范圍的區(qū)域51的寬度被改變，并且顯示數(shù)據(jù)取得部1309取得 的測量數(shù)據(jù)等的期間也被改變，第二顯示部1310顯示與通過拖動(dòng)等改 變了寬度的區(qū)域51對(duì)應(yīng)的測量數(shù)據(jù)等。
此外，如圖8所示，若利用鼠標(biāo)等進(jìn)行拖動(dòng)圖6中第一顯示部1307中所顯示的表示顯示對(duì)象范圍的區(qū)域51的中央部的操作，從而移動(dòng)了 指針71，則范圍指定接受部1308接受在時(shí)間軸方向上位置被改變了的 顯示對(duì)象范圍的信息。與之相伴，第一顯示部1307中所顯示的表示顯 示對(duì)象范圍的區(qū)域51的時(shí)間軸方向的位置被改變，并且顯示數(shù)據(jù)取得 部1309取得的測量數(shù)據(jù)等的期間也被改變，第二顯示部1310顯示與通 過拖動(dòng)等改變了時(shí)間軸方向的位置的區(qū)域51對(duì)應(yīng)的測量數(shù)據(jù)等。
這樣，通過用鼠標(biāo)等操作第一顯示部1307上所顯示的表示顯示對(duì) 象范圍的區(qū)域的寬度或位置，能夠改變第二顯示部1310以第二顯示寬 度顯示的測量數(shù)據(jù)等的期間，因此能夠進(jìn)行直觀的操作，提高了操作性。
綜上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，使用第一顯示部1307顯示與制造裝
置ll有關(guān)的一套以上的時(shí)間序列數(shù)據(jù)，并且由第二顯示部1310放大顯 示其一部分期間的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，據(jù)此，能夠用曲線圖顯示與半導(dǎo)
體過程有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的細(xì)節(jié)部分，從而可以進(jìn)行更加詳細(xì)的分 析。此外，第一顯示部1307將利用第二顯示部1310放大顯示的范圍與 第一以及第二測量數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)顯示，據(jù)此，能夠在視覺上瞬間把握第二顯 示部1310放大顯示的數(shù)據(jù)的期間是第一以及第二測量數(shù)據(jù)的整體中的 哪一部分的期間。據(jù)此，能夠適當(dāng)?shù)仫@示與半導(dǎo)體過程有關(guān)的時(shí)間序列
的數(shù)據(jù)。
此外，利用第二顯示部1310顯示與范圍指定接受部1308所接受的 顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，據(jù)此，能夠?qū)R作為顯 示對(duì)象的期間來顯示多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的比較變得 容易。
另外，在上述實(shí)施方式中，數(shù)據(jù)處理部1305處理狀況數(shù)據(jù)等過程 相關(guān)數(shù)據(jù)以構(gòu)成新的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的時(shí)機(jī)或觸發(fā)條件等可以是任意的。 例如，也可以構(gòu)成為，在范圍指定接受部1308接受了顯示對(duì)象范圍的 指定的情況下，對(duì)存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的與該顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的顯示 期間內(nèi)的一套以上的狀況數(shù)據(jù)等的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，進(jìn)行小波變換等規(guī)定 的處理，構(gòu)成新的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并將所構(gòu)成的過程相關(guān)數(shù)據(jù)輸出到顯 示數(shù)據(jù)取得部1309等中。
此外，在上述實(shí)施方式中，也可以構(gòu)成為，在服務(wù)器裝置12中設(shè)置與數(shù)據(jù)處理部1305相同的數(shù)據(jù)處理部等，服務(wù)器裝置12內(nèi)的數(shù)據(jù)處 理部等對(duì)服務(wù)器裝置12存儲(chǔ)的狀況數(shù)據(jù)，進(jìn)行規(guī)定的處理，構(gòu)成新的 過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并與狀況數(shù)據(jù)等一起儲(chǔ)存到服務(wù)器裝置12內(nèi)的未圖示 的存儲(chǔ)部中，讀出該儲(chǔ)存的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并發(fā)送到數(shù)據(jù)顯示裝置13。
另外，在上述實(shí)施方式中，顯示對(duì)象范圍的顯示方式等可以是任意 的。例如，如圖9所示，可以通過在第一顯示部1307所顯示的曲線圖 51的與顯示對(duì)象范圍61的開始時(shí)刻和結(jié)束時(shí)刻分別對(duì)應(yīng)的時(shí)間軸的位 置處顯示標(biāo)記91以及標(biāo)記92，來由第一顯示部1307進(jìn)行顯示對(duì)象范圍 的顯示。
(實(shí)施方式2)
在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為，在上述實(shí)施方式所示的數(shù)據(jù)顯示裝置中，
顯示通過該處理得到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。
圖10是表示包括本實(shí)施方式涉及的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng)的 構(gòu)成的方框圖。在圖中，與圖2相同的符號(hào)表示相同或者相應(yīng)的部分。
數(shù)據(jù)顯示裝置23包括指示接受部1301、請(qǐng)求信息發(fā)送部1302、 數(shù)據(jù)接收部1303、存儲(chǔ)部1304、數(shù)據(jù)處理部2305、數(shù)據(jù)取得部1306、 第一顯示部1307、范圍指定接受部1308、顯示數(shù)據(jù)取得部1309和第二 顯示部2310。
數(shù)據(jù)顯示裝置23的數(shù)據(jù)處理部2305以及第二顯示部2310之外的 構(gòu)成與上述實(shí)施方式的數(shù)據(jù)顯示裝置相同，因此省略詳細(xì)的說明。
數(shù)據(jù)處理部2305對(duì)顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的 一串以上進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算處理。而且，將通過運(yùn)算處理取得的過程相關(guān) 數(shù)據(jù)輸出給第二顯示部1310。規(guī)定的處理可以是任意的處理，例如小波 變換、數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)化處理等。所謂數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)化是用于減少數(shù)據(jù)的單位 和種類的不同帶來的影響的處理。此外，關(guān)于進(jìn)行什么處理，可以預(yù)先 確定，也可以根據(jù)從未圖示的接受部等接受的指示來指定。此外，處理 顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的哪個(gè)過程相關(guān)數(shù)據(jù)可 以是任意的。可以以任意方式指定成為處理對(duì)象的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，例如也可以經(jīng)由未圖示的接受部等從用戶等處接受指定。此外也可以以默認(rèn)
方式進(jìn)行設(shè)定。此外，也可以處理顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的全部 的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。通常能由MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)處理部2305。 數(shù)據(jù)處理部1305的處理過程通常用軟件來實(shí)現(xiàn)，該軟件存儲(chǔ)在ROM 等存儲(chǔ)介質(zhì)中。不過，也可以使用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
第二顯示部2310將顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)以 及通過數(shù)據(jù)處理部2305進(jìn)行運(yùn)算處理而得到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸 對(duì)應(yīng)地以比顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示。第二顯示部 2310也可以將顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)以及通過數(shù) 據(jù)處理部2305進(jìn)行運(yùn)算處理得到的過程相關(guān)數(shù)據(jù)作為不同的曲線圖在 各自不同的區(qū)域、例如窗口等中顯示，還可以將它們重疊顯示。另外， 關(guān)于過程相關(guān)數(shù)據(jù)的按照第二顯示寬度的顯示方法等的其他構(gòu)成，與上 述實(shí)施方式的第二顯示部相同，因此省略說明。
接著，使用圖11的流程圖說明數(shù)據(jù)顯示裝置23的動(dòng)作。另外， 在圖11的流程圖中，與圖4相同的符號(hào)表示相同或者相應(yīng)的處理步驟， 在此省略說明。
(步驟S1101)數(shù)據(jù)處理部2305對(duì)步驟S410中取得的過程相關(guān) 數(shù)據(jù)中的一串以上進(jìn)行規(guī)定的處理。
(步驟S1102 )第二顯示部2310將步驟S410中所取得的過程相
間軸對(duì)應(yīng)地以第二顯示寬度進(jìn)行顯示。
以下，說明包括本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng)的具 體動(dòng)作。群管理系統(tǒng)的概念圖與圖l相同。
在此，設(shè)為，與上述實(shí)施方式1中說明的具體例子相同，數(shù)據(jù)接 收部1303接收第一以及第二數(shù)據(jù)作為過程相關(guān)數(shù)據(jù)，第一顯示部1307 構(gòu)成將第 一測量數(shù)據(jù)和第二測量數(shù)據(jù)沿著時(shí)間軸重疊后的第 一顯示寬 度的曲線圖51，以圖5所示的方式顯示。
若用戶操作鼠標(biāo)等移動(dòng)顯示器上顯示的指針等，選擇了第一顯示 部1307所顯示的曲線圖51上的一部分的范圍，則范圍指定接受部1308接受第一顯示部1307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯 示對(duì)象范圍的指定。
顯示數(shù)據(jù)取得部1309取得與范圍指定接受部1308所接受的顯示 對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的顯示期間的信息，讀出該顯示期間的第一測量數(shù)據(jù)以及 第二測量數(shù)據(jù)。
在此，數(shù)據(jù)處理部2305對(duì)顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的第一測 量數(shù)據(jù)以及第二測量數(shù)據(jù)分別進(jìn)行作為規(guī)定的處理的小波變換。
接著，第二顯示部2310在此將通過數(shù)據(jù)處理部2305進(jìn)行小波變 換得到的數(shù)據(jù)與顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的第一測量數(shù)據(jù)以及第二 測量數(shù)據(jù)分別作成不同的曲線圖，以與第一顯示寬度相同的大小進(jìn)行顯 示。以此方式顯示的曲線圖，結(jié)果成為與圖6所示的實(shí)施方式1的具體 例子相同的圖。例如，顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的第一測量數(shù)據(jù)以 及第二測量數(shù)據(jù)成為曲線圖52以及曲線圖54，對(duì)第一測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小 波變換后的曲線圖成為曲線圖53，對(duì)第二測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小波變換后的曲 線圖成為曲線圖55。
此外，與顯示對(duì)象范圍的改變同步地改變顯示的處理等，與上述 實(shí)施方式1的具體例子相同，因此省略說明。
綜上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，取得與上述實(shí)施方式l相同的效果， 并且，數(shù)據(jù)處理部僅處理測量數(shù)據(jù)的顯示對(duì)象范圍便可，因此能夠減少 數(shù)據(jù)處理部的數(shù)據(jù)處理量。此外，通過在顯示時(shí)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，能夠?qū)?時(shí)顯示經(jīng)過處理后的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。
(實(shí)施方式3)
本實(shí)施方式涉及的數(shù)據(jù)顯示裝置構(gòu)成為，能夠?qū)σ惶走^程相關(guān)數(shù)據(jù) 指定多個(gè)顯示對(duì)象范圍，將與一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的各個(gè)顯示對(duì)象范圍 對(duì)應(yīng)的顯示期間內(nèi)的數(shù)據(jù)分別以第二顯示寬度進(jìn)行顯示。
圖12是表示包括本實(shí)施方式涉及的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng) 的構(gòu)成的方框圖。圖中，與圖2相同的符號(hào)表示相同或者相應(yīng)的部分。
數(shù)據(jù)顯示裝置33包括指示接受部1301、請(qǐng)求信息發(fā)送部1302、數(shù)據(jù)接收部1303、存儲(chǔ)部3304、數(shù)據(jù)處理部1305、數(shù)據(jù)取得部3306、 第一顯示部1307、范圍指定接受部3308、顯示數(shù)據(jù)取得部3309、第二 顯示部3310、分析部3311和第三顯示部3312。
數(shù)據(jù)顯示裝置33的指示接受部1301、請(qǐng)求信息發(fā)送部1302、數(shù) 據(jù)接收部1303、數(shù)據(jù)處理部1305的構(gòu)成與上述實(shí)施方式1的數(shù)據(jù)顯示 裝置相同，因此省略詳細(xì)的"i兌明。
能夠在存儲(chǔ)部3304中存儲(chǔ)作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān) 的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)。另外，除了能夠存儲(chǔ)一套過程相 關(guān)數(shù)據(jù)這一點(diǎn)之外，存儲(chǔ)部3304的構(gòu)成與上述實(shí)施方式1的存儲(chǔ)部的 構(gòu)成相同，因此省略說明。
數(shù)據(jù)取得部3306從存儲(chǔ)部3304中取得一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)。另外， 除了取得一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)這一點(diǎn)之外，數(shù)據(jù)取得部3306的構(gòu)成與上 述實(shí)施方式1的數(shù)據(jù)取得部相同，因此省略說明。
第一顯示部3307將數(shù)據(jù)取得部3306所取得的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù) 與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示。此外，第一顯示部3307還將后 述的范圍指定接受部3308所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與該 第一顯示部3307顯示的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。表示顯示對(duì)象 范圍的信息和用于該顯示的構(gòu)成等與上述實(shí)施方式1的第一顯示部相 同，因此在此省略說明。
在此，在本實(shí)施方式中，特別地，說明第一顯示部3307以第一顯 示寬度將一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)顯示多個(gè)的情況，例如用多個(gè)曲線圖或者多 個(gè)窗口顯示的情況。所謂顯示多個(gè)，例如是指在多個(gè)曲線圖或多個(gè)窗口 中分別顯示。例如，將表示一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的相同的曲線圖顯示多個(gè)。 不過，多個(gè)曲線圖的寬度等不必一定均為相同的寬度。例如，第一顯示 部3307使用對(duì)齊顯示的時(shí)間而排列的n ( n為2以上的整數(shù))個(gè)曲線圖 顯示一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)。此時(shí)，第一顯示部3307也可以將范圍指定接 受部3308所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與各個(gè)已接受指定的 第一顯示部3307顯示的多個(gè)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)分別對(duì)應(yīng)地顯示。具 體而言，在范圍指定接受部3308接受了對(duì)第一顯示部3307進(jìn)行多個(gè)顯 示的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的第k(lSk^n)個(gè)被顯示的曲線圖的顯示
30對(duì)象范圍的指定的情況下，第一顯示部3307將該表示顯示對(duì)象范圍的 信息與第k個(gè)曲線圖對(duì)應(yīng)地進(jìn)行顯示。
其中，第一顯示部3307也可以僅用一個(gè)曲線圖或窗口顯示一套過 程相關(guān)數(shù)據(jù)。在此情況下，第一顯示部3307可以是能將多個(gè)表示顯示 對(duì)象范圍的信息在一個(gè)曲線圖或窗口中顯示的裝置。另外，上述之外的 第一顯示部3307的構(gòu)成等與實(shí)施方式1的第一顯示部的構(gòu)成等相同， 因此省略說明。
范圍指定接受部3308接受關(guān)于第一顯示部3307所顯示的一套過 程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)范圍亦即多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定。具體而言，在第 一顯示部3307利用多個(gè)曲線圖等將一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)顯示了多個(gè)的情 況下，范圍指定接受部3308接受關(guān)于第一顯示部3307進(jìn)行多個(gè)顯示的 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的每個(gè)的顯示對(duì)象范圍的指定。例如，在使用n個(gè) 曲線圖分別顯示一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的情況下，針對(duì)各個(gè)曲線圖，接受顯 示對(duì)象范圍的指定。另外，接受指定的多個(gè)顯示對(duì)象范圍最好不是相同 的范圍。此外，在第一顯示部3307利用一個(gè)曲線圖等將一套過程相關(guān) 數(shù)據(jù)僅顯示一個(gè)的情況下，范圍指定接受部3308也可以對(duì)第一顯示部 3307僅顯示了 一個(gè)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)接受不同的多個(gè)顯示對(duì)象范圍 的指定。上述那樣的范圍指定的結(jié)果是，針對(duì)一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)，接受 多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定。另外，上述之外的構(gòu)成等與上述實(shí)施方式l 的范圍指定接受部1308相同，因此省略^L明。
顯示數(shù)據(jù)取得部3309從存儲(chǔ)部3304中存儲(chǔ)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù) 中，分別取得多個(gè)顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該多個(gè)顯示期間是 與范圍指定接受部3308所接受的多個(gè)顯示對(duì)象范圍分別對(duì)應(yīng)的期間。 所謂一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)是第一顯示部3307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)。除 了取得多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)的構(gòu)成以外，顯示數(shù)據(jù)取得部3309與上述實(shí) 施方式1的顯示數(shù)據(jù)取得部1309相同，因此省略說明。
第二顯示部3310將顯示數(shù)據(jù)取得部3309所取得的多串過程相關(guān) 數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度進(jìn)行
顯示。例如，第二顯示部3310利用多個(gè)曲線圖或窗口等分別單獨(dú)地顯 示多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)?；蛘咭部梢詫⑸鲜龆啻^程相關(guān)數(shù)據(jù)重疊顯示。 另外，除了顯示多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)這一點(diǎn)以外，第二顯示部3310與上述實(shí)施方式1的第二顯示部1310相同，因此省略說明。
分析部3311對(duì)顯示數(shù)據(jù)取得部3309所取得的多串?dāng)?shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定 的分析。所謂規(guī)定的處理，可以是任意處理，也可以是Wayland測試 等混沌時(shí)間序列分析等，還可以是多變量分析等其他分析處理。關(guān)于 Wayland測試，是文獻(xiàn)"理查德.韋蘭(Richard Wayland )等，"關(guān)于 時(shí)間序列的決定論的定量4匕(Recognizing Determinism in a Time Series)",物理評(píng)論快報(bào)(PHYSICAL REVIEW LETTERS ), 1993年2 月1日，VOLUME 70， NUMBER 5, p. 580-582"中記載的公知技術(shù)， 因此省略說明。分析部3311可以預(yù)先確定進(jìn)行什么處理，也可以根據(jù) 從未圖示的接受部等接受的指示進(jìn)行指定。通過分析得到的數(shù)據(jù)等例如 暫時(shí)被存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)介質(zhì)等中。通常能由MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí) 現(xiàn)分析部3311。分析部3311的處理過程通常用軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件存儲(chǔ) 在ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。不過，也可以使用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
第三顯示部3312顯示分析部3311的分析結(jié)果。所謂分析結(jié)果， 是表示通過分析得到的結(jié)果的數(shù)據(jù)或判定結(jié)果等。第三顯示部3312也 可以使用分析部3311的分析結(jié)果，構(gòu)成用于顯示分析結(jié)果的數(shù)據(jù)例如 曲線閨等，并顯示該用于顯示分析結(jié)果的數(shù)據(jù)。這里所述的顯示是包含 針對(duì)顯示器等的顯示的概念?？梢哉J(rèn)為第一顯示部1307包含或者不包 含顯示器等的顯示設(shè)備等。能夠由顯示設(shè)備的驅(qū)動(dòng)軟件，或者顯示設(shè)備 的驅(qū)動(dòng)軟件和顯示設(shè)備等來實(shí)現(xiàn)第一顯示部1307。
接著，使用圖13的流程圖說明數(shù)據(jù)顯示裝置23的動(dòng)作。另外， 在圖13的流程圖中，與圖4相同的符號(hào)表示相同或者相應(yīng)的處理步驟， 在此省略說明。另外，此處，說明在接受了一個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定的 情況下，將與該顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的顯示期間的過程相關(guān)數(shù)據(jù)以第二顯 示寬度進(jìn)行顯示的情況。
(步驟S1301)數(shù)據(jù)取得部3306從存儲(chǔ)部3304中取得一套過程 相關(guān)數(shù)據(jù)。
(步驟S1302 )第一顯示部3307將數(shù)據(jù)取得部3306所取得的過 程相關(guān)數(shù)據(jù)以第一顯示寬度顯示多個(gè)。
32(步驟S1303 )范圍指定接受部3308判斷是否接受了關(guān)于第一顯 示部3307進(jìn)行了多個(gè)顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一個(gè)的一部分的范圍亦 即顯示對(duì)象范圍的指定。在已接受的情況下，進(jìn)入步驟S1304，在未接 受的情況下，返回步驟S1303。
(步驟S1304 )第一顯示部3307將在步驟S1303中接受的表示顯 示對(duì)象范圍的信息與在步驟S1303中進(jìn)行了多個(gè)顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù) 中的與在步驟S1303中已接受顯示對(duì)象范圍的指定的過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì) 應(yīng)進(jìn)行顯示，例如重疊顯示。
(步驟S1305 )顯示數(shù)據(jù)取得部3309取得表示顯示期間的信息， 該顯示期間是與在步驟S1304中所接受的顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的實(shí)際期 間。
(步驟S1306)顯示數(shù)據(jù)取得部3309從存儲(chǔ)部3304中存儲(chǔ)的一 套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中讀出并取得在步驟S1305中計(jì)算出的顯示期間內(nèi)的 過程相關(guān)數(shù)據(jù)。所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)例如與已接受顯示對(duì)象范圍的指 定的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的 一個(gè)顯示對(duì)應(yīng)地被儲(chǔ)存在未圖示的存儲(chǔ)介質(zhì)等中。
(步驟S1307 )第二顯示部3310將在步驟S1306中所取得的過程 相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第二顯示寬度進(jìn)行顯示。
(步驟S1308 )分析部3311判斷范圍指定接受部3308是否已接 受關(guān)于一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定。在已接受的情況 下，能夠進(jìn)行分析，因此進(jìn)入步驟S1309，在未接受的情況下，進(jìn)入步 驟S1312。
(步驟S1309 )分析部3311判斷是否進(jìn)行規(guī)定的分析。分析部3311 可以以任意方式判斷是否進(jìn)行規(guī)定的分析，例如，也可以在未圖示的接 受部等接受了進(jìn)行分析的指示的情況下判斷為進(jìn)行分析。此外，也可以 在步驟S1308中接受了多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定的情況下判斷為進(jìn)行 分析。在判斷為進(jìn)行分析的情況下，進(jìn)入步驟S1310，在判斷為不進(jìn)行 分析的情況下，進(jìn)入步驟S1312。
(步驟S1310 )分析部3311對(duì)顯示數(shù)據(jù)取得部3309從一套過程 相關(guān)數(shù)據(jù)中取得的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的分析。(步驟S1311)第三顯示部3312顯示步驟S1310的分析結(jié)果。
(步驟S1312 )范圍指定接受部3308判斷是否已接受顯示對(duì)象范 圍的改變或追加。在已接受的情況下，返回步驟S1304，在未接受的情 況下，返回步驟S1309。
以下，說明包括本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng)的具 體動(dòng)作。群管理系統(tǒng)的概念圖與圖l相同。另外，此處，為了簡化說明， 以不進(jìn)行數(shù)據(jù)處理部1305的處理的情況為例進(jìn)行說明。
此處，與上述實(shí)施方式l的具體例子相同，數(shù)據(jù)接收部1303接收 過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部3304中。在此，僅接收并儲(chǔ)存作為一 套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的第 一 測量數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)取得部3306讀出存儲(chǔ)部3304中儲(chǔ)存的作為一套過程相關(guān)數(shù) 據(jù)的第一測量數(shù)據(jù)。
第一顯示部3307構(gòu)成多個(gè)例如這里是5個(gè)表示第一測量數(shù)據(jù)的、 以時(shí)間軸為橫軸的第一顯示寬度的曲線圖，并如圖14所示那樣顯示在 監(jiān)視器畫面上。在圖14中，曲線圖331~335是第一測量數(shù)據(jù)的5個(gè)曲 線圖。5個(gè)曲線圖331~335是相同的曲線圖。
接著，若用戶操作鼠標(biāo)等移動(dòng)在顯示器上顯示的指針等，選擇了 第一顯示部3307所顯示的曲線圖331上的一部分的范圍，則范圍指定 接受部3308接受第一顯示部3307所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的 范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定。若接受了對(duì)曲線圖331的顯示對(duì)象范圍 的指定，則第一顯示部3307將范圍指定接受部3308已接受了顯示對(duì)象 范圍的曲線圖331上的與該顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間的區(qū)域331a的背 景色改變?yōu)榕c其他區(qū)域不同的顏色并重新顯示。而且，顯示數(shù)據(jù)取得部 3309讀出并暫時(shí)存儲(chǔ)與該顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的顯示期間內(nèi)的第一測量 數(shù)據(jù)。第二顯示部3310使用第二顯示寬度的曲線圖顯示由顯示數(shù)據(jù)取 得部3309讀出的笫一測量數(shù)據(jù)。另外，在此，利用從顯示對(duì)象信息中 讀出的數(shù)據(jù)顯示的曲線圖最好以能夠看出與接受了顯示對(duì)象范圍的指 定的曲線圖之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的方式顯示、例如與其相鄰地顯示。另外， 接受顯示對(duì)象范圍的處理和顯示第二顯示寬度的曲線圖的處理等與上述具體例子相同。
設(shè)，反復(fù)進(jìn)行上述那樣的處理，針對(duì)第一顯示部3307顯示的全部 的曲線圖331~335，范圍指定接受部3308分別接受顯示對(duì)象范圍的指 定，顯示數(shù)據(jù)取得部3309分別取得對(duì)各個(gè)曲線圖331~335指定的顯示 對(duì)象范圍內(nèi)的數(shù)據(jù)，第二顯示部3310顯示了第二顯示寬度的曲線圖 331b~335b。在圖15中表示此情況下的顯示例。區(qū)域331a ~ 335a是表 示在各曲線圖331~335中分別被指定的顯示對(duì)象范圍的區(qū)域。曲線圖 331b ~曲線圖335b分別是曲線圖331 ~ 335內(nèi)的區(qū)域331a ~ 335a表示 的范圍內(nèi)的數(shù)據(jù)的曲線圖。
通過能夠以此方式進(jìn)行顯示，易于對(duì)作為單一的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的不同區(qū)域的數(shù)據(jù)一起進(jìn)行評(píng)價(jià)或比較。據(jù)此，能 夠容易地識(shí)別單一的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的異常部分。
另外，在此時(shí)間點(diǎn)，顯示數(shù)據(jù)取得部3309從對(duì)第一測量數(shù)據(jù)指定 的多個(gè)顯示對(duì)象范圍取得多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并暫時(shí)存儲(chǔ)在未圖示的存 儲(chǔ)介質(zhì)等中。
接著，設(shè)，用戶操作未圖示的菜單畫面等給出對(duì)從對(duì)第一測量數(shù) 據(jù)指定的多個(gè)顯示對(duì)象范圍取得的多串?dāng)?shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的分析的指示。在 此，設(shè)，規(guī)定的分析是Wayland測試。分析部3311從未圖示的存儲(chǔ)部 等中讀出顯示數(shù)據(jù)取得部3309根據(jù)多個(gè)顯示指定范圍從第一測量數(shù)據(jù) 中取得并儲(chǔ)存的多串第一測量數(shù)據(jù)，并執(zhí)行Wayland測試。并且，第 三顯示部3312將Wayland測試的結(jié)果作成曲線圖來顯示。
圖16是表示W(wǎng)ayland測試的結(jié)果的圖。該圖16是對(duì)圖15所示 的顯示例子追加顯示表示W(wǎng)ayland測試結(jié)果的曲線圖16的顯示例。
這樣，通過對(duì)從一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)內(nèi)的多個(gè)顯示指定范圍中取得 的多串?dāng)?shù)據(jù)進(jìn)行Wayland測試，能夠取得表示嵌入維數(shù)與平移誤差估 計(jì)值之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)。此外，在改變了顯示指定范圍的情況下，使用 從被改變的顯示指定范圍取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)再次進(jìn)行分析，并隨時(shí)更 新分析結(jié)果，由此能夠?qū)崟r(shí)地顯示表示嵌入維數(shù)與平移誤差估計(jì)值之間 的關(guān)系的數(shù)據(jù)。此外，通過將與一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)區(qū)域的數(shù)據(jù)有關(guān)的分析 結(jié)果與 一 套過程相關(guān)數(shù)據(jù)、或一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的多個(gè)區(qū)域的數(shù)據(jù)并 列顯示，從而，易于進(jìn)行數(shù)據(jù)間的比較，能夠容易地識(shí)別數(shù)據(jù)的異常等。
另外，關(guān)于與顯示對(duì)象范圍的改變同步地改變顯示的處理等，與 上述實(shí)施方式1的具體例子相同，因此省略說明。
綜上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，取得與上述實(shí)施方式l相同的效果， 并且能夠以第二顯示寬度顯示從一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)區(qū)域中取得 的數(shù)據(jù)，從而易于進(jìn)行一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的數(shù)據(jù)的比較等，能夠有效 地進(jìn)行異常的檢測等。
此外，通過構(gòu)成為能夠顯示關(guān)于從一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)區(qū)域 中取得的數(shù)據(jù)的分析結(jié)果，從而，能夠根據(jù)分析結(jié)果與時(shí)間序列數(shù)據(jù)的 組合來檢測異常。
另外，本實(shí)施方式的構(gòu)成，也可以適用于上述實(shí)施方式2的構(gòu)成， 在這種情況下也能取得與上述相同的效果。
(實(shí)施方式4)
本實(shí)施方式涉及的數(shù)據(jù)顯示裝置構(gòu)成為，從過程相關(guān)數(shù)據(jù)之一中檢 測特別點(diǎn)，接受表示檢測出該特別點(diǎn)的期間的信息，作為表示顯示對(duì)象 范圍的信息。
圖17是表示包括本實(shí)施方式涉及的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng) 的構(gòu)成的方框圖。圖中，與圖2相同的符號(hào)表示相同或者相應(yīng)的部分。
數(shù)據(jù)顯示裝置43包括指示接受部1301、請(qǐng)求信息發(fā)送部1302、 數(shù)據(jù)接收部1303、存儲(chǔ)部1304、數(shù)據(jù)處理部1305、數(shù)據(jù)取得部1306、 第一顯示部1307、范圍指定接受部4308、顯示數(shù)據(jù)取得部1309、第二 顯示部1310、檢測部4311和模式存儲(chǔ)部4312。
數(shù)據(jù)顯示裝置43的范圍指定接受部4308、檢測部4311以及模式 存儲(chǔ)部4312之外的構(gòu)成與上述實(shí)施方式1的數(shù)據(jù)顯示裝置相同，因此 省略詳細(xì)的說明。檢測部4311從數(shù)據(jù)取得部1306所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)之一中檢 測特別點(diǎn)。所謂過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的特別點(diǎn)是表現(xiàn)出與其他點(diǎn)不同的特性 的點(diǎn)。特別點(diǎn)例如是發(fā)生了異常的部分。成為特別點(diǎn)的檢測對(duì)象的過程 相關(guān)數(shù)據(jù)通常是預(yù)先指定的數(shù)據(jù)，最好是容易檢測出特別點(diǎn)的數(shù)據(jù)。檢 測部4311可以以任意方式從一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中檢測特別點(diǎn)。作為從 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中檢測特別點(diǎn)的算法，例如有如下的算法預(yù)先登記 用戶通過手工搜索到的異常波形等，取得該登記的波形與過程相關(guān)數(shù)據(jù) 之間的相關(guān)性，將相關(guān)性高的部分判斷為特別點(diǎn)。例如可以通過使用互 相關(guān)函數(shù)來檢測出這種相關(guān)性高的部分?；ハ嚓P(guān)函數(shù)是公知技術(shù)，因此 省略說明。另外，在過程相關(guān)數(shù)據(jù)是其值如果集中在一定范圍內(nèi)則可以 判斷為正常那樣的數(shù)據(jù)等情況下，也可以將過程相關(guān)數(shù)據(jù)的值與閾值進(jìn) 行比較，在檢測出閾值指定的范圍之外的值時(shí)，判斷為特別點(diǎn)。檢測部 4311也可以從存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中檢測特別點(diǎn)， 還可以從數(shù)據(jù)取得部1306所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)之一中檢測特別點(diǎn)。 而且，檢測部4311取得表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間的信息并輸出給范圍 指定接受部4308。出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間也可以是檢測出特別點(diǎn)的期間， 還可以是還包含檢測出特別點(diǎn)的時(shí)刻和期間的前后時(shí)期的規(guī)定的期間。 例如，在如上所述那樣利用與波形模式之間的相關(guān)性檢測特別點(diǎn)的情況 下，在過程相關(guān)數(shù)據(jù)內(nèi)檢測出具有與波形模式之間的相關(guān)性的部分時(shí)， 也可以接受表示檢測出該特別點(diǎn)的期間的信息，作為表示出現(xiàn)了特別點(diǎn) 的期間的信息。此外，在檢測出出現(xiàn)了特別點(diǎn)的時(shí)刻的情況下，還可以 接受表示在該被檢測出的時(shí)刻(例如時(shí)間戳)的前后附加了固定或不固 定的規(guī)定的期間后的期間的信息，作為表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間的信 息。所謂表示期間的信息，只要能夠表示期間，可以是表示期間的始點(diǎn) 和終點(diǎn)的時(shí)刻的信息，也可以是期間的始點(diǎn)或中間點(diǎn)的時(shí)刻與指定期間 長度的信息的組合。另外，在此，作為例子說明利用與預(yù)先登記的波形 之間的相關(guān)性來檢測特別點(diǎn)的情況。另外，設(shè)，預(yù)先被登記的波形是后 述的模式存儲(chǔ)部4312中存儲(chǔ)的波形。通常能由MPU和存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn) 檢測部4311。檢測部4311的處理過程通常用軟件實(shí)現(xiàn)，該軟件存儲(chǔ)在 ROM等存儲(chǔ)介質(zhì)中。不過，也可以使用硬件(專用電路)來實(shí)現(xiàn)。
在模式存儲(chǔ)部4312中，存儲(chǔ)有檢測部4311檢測特別點(diǎn)時(shí)讀出的 表示特別點(diǎn)的波形模式。波形模式也可以是多個(gè)。模式存儲(chǔ)部4312可以是非易失性存儲(chǔ)介質(zhì)，也可以是易失性存儲(chǔ)介質(zhì)。
范圍指定接受部4308接受檢測部4311檢測出的表示出現(xiàn)了特別 點(diǎn)的期間的信息，作為指定顯示對(duì)象范圍的信息。另外，除了接受檢測 部4311輸出的表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間的信息作為指定顯示對(duì)象范圍 的信息這一點(diǎn)之外，范圍指定接受部4308與實(shí)施方式1的范圍指定接 受部4308相同，因此省略說明。
接著，使用圖18的流程圖說明數(shù)據(jù)顯示裝置43的動(dòng)作。另外， 在圖11的流程圖中，與圖4相同的符號(hào)表示相同或者相應(yīng)的處理步驟， 在此省略i兌明。
(步驟S1801)檢測部4311讀出模式存儲(chǔ)部4312中存儲(chǔ)的波形 模式的數(shù)據(jù)。
(步驟S1802 )檢測部4311取得存儲(chǔ)部3304中存儲(chǔ)的過程相關(guān) 數(shù)據(jù)中的預(yù)先指定的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)。
(步驟S1803 )檢測部4311求出步驟S1802中所取得的過程相關(guān) 數(shù)據(jù)與步驟S1801中所取得的波形數(shù)據(jù)之間的相關(guān)性。例如，能夠使用 互相關(guān)函數(shù)等計(jì)算相關(guān)性。
(步驟S1804 )檢測部4311判斷在步驟S1803中是否檢測出與波 形數(shù)據(jù)相關(guān)性高的數(shù)據(jù)。例如，判斷步驟S1803中計(jì)算出的表示相關(guān)性 的值是否在閾值以上，如果在閾值以上則判斷為相關(guān)性高。在檢測出相 關(guān)性高的數(shù)據(jù)的情況下，進(jìn)入步驟S1805，在未檢測出的情況下，結(jié)束 處理。在檢測出相關(guān)性高的數(shù)據(jù)的情況下，該被檢測出的部分為特別點(diǎn)。
(步驟S1805 )檢測部4311取得并輸出表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間 的信息。所謂表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間的信息，只要是表示包含特別點(diǎn) 的期間的信息便可，可以是表示檢測出特別點(diǎn)的時(shí)刻和期間的信息，也 可以是包含該時(shí)刻和期間的前后時(shí)期的期間。例如，可以是表示在步驟 S1804中進(jìn)行了與波形數(shù)據(jù)之間的比較的期間的信息，也可以是在進(jìn)行 該比較的期間之前或之后附加了規(guī)定的期間后的期間。檢測部4311例 如取得表示過程相關(guān)數(shù)據(jù)中以被判斷為與波形模式具有相關(guān)性的范圍 為中心的預(yù)先指定的長度的期間的信息，作為表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間
38的信息。此外，也可以取得過程相關(guān)數(shù)據(jù)中被判斷為與波形模式具有相 關(guān)性的范圍的中心時(shí)刻，作為出現(xiàn)了特別點(diǎn)的時(shí)刻，并接受表示以該時(shí) 刻為中心的預(yù)先指定的長度的期間的信息，作為指定顯示對(duì)象范圍的信 息。
(步驟S1806)范圍指定接受部4308接受檢測部4311檢測出的 表示出現(xiàn)了特別點(diǎn)的期間的信息，作為指定顯示對(duì)象范圍的信息。并且 進(jìn)入步驟S405。
(步驟S1807 )第一顯示部4307將步驟S1806中接受的表示顯示 對(duì)象范圍的信息與步驟S406中所顯示的時(shí)間序列信息對(duì)應(yīng)地進(jìn)行顯 示，例如重疊顯示。并且進(jìn)入步驟S409。
另外，在該流程圖中，在步驟S411的處理之后，動(dòng)作結(jié)束，但也 可以在步驟S411的處理之后，根據(jù)用戶等的指示，對(duì)檢測出特別點(diǎn)之 后的數(shù)據(jù)也進(jìn)行步驟S1803以后的處理。據(jù)此，例如還能夠檢測在此之 后發(fā)生的異常。
以下，說明包括本實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)顯示裝置的群管理系統(tǒng)的具 體動(dòng)作。群管理系統(tǒng)的概念圖與圖l相同。
在此，設(shè)，數(shù)據(jù)接收部1303與上述實(shí)施方式1相同地接收第一以 及第二測量數(shù)據(jù)作為過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并將接收到的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部 1304中。除此之外，數(shù)據(jù)接收部1303接收作為過程相關(guān)數(shù)據(jù)之一的第 三測量數(shù)據(jù)，并將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部1304中。另外，設(shè)，第三測量數(shù)據(jù) 是與第 一 以及第二測量數(shù)據(jù)同時(shí)被測量的、其他系統(tǒng)的數(shù)據(jù)。
此外，設(shè)，數(shù)據(jù)處理部1305分別讀出存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的第一 測量數(shù)據(jù)與第二測量數(shù)據(jù)，并進(jìn)行小波變換，將小波變換得到的過程相 關(guān)數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部1304中。
圖19是表示模式存儲(chǔ)部4312中存儲(chǔ)的用于檢測特別點(diǎn)的波形模 式的 一個(gè)例子的圖。該波形模式是取得過去測量到的與上述第三測量數(shù) 據(jù)相同的測量數(shù)據(jù)中的檢測出半導(dǎo)體制造過程等中的異常的時(shí)間點(diǎn)的 前后的規(guī)定期間、在此作為例子為5毫秒期間的數(shù)據(jù)，并用波形表示該 數(shù)據(jù)而得到的。此處，說明檢測部4311進(jìn)行如下處理的例子使用該波形模式，檢測第三測量數(shù)據(jù)中被認(rèn)為出現(xiàn)了異常的位置，作為特別點(diǎn)。
首先，檢測部4311讀出模式存儲(chǔ)部4312中存儲(chǔ)的波形模式。
接著，檢測部4311從存儲(chǔ)部1304中讀出第三測量數(shù)據(jù)，并暫時(shí) 存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器或緩沖器等中。
檢測部4311取得存儲(chǔ)器等中暫時(shí)存儲(chǔ)的第三測量數(shù)據(jù)與從模式 存儲(chǔ)部4312中讀出的波形模式之間的相關(guān)性。相關(guān)性的計(jì)算方法是公 知技術(shù)，因此這里省略說明。
圖20是表示第三測量數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的曲線圖。設(shè)，根據(jù)與從模 式存儲(chǔ)部4312中讀出的圖19所示那樣的波形模式之間的比較，由檢測 部4311判斷出區(qū)域20的位置的相關(guān)性較高。
當(dāng)在第三測量數(shù)據(jù)內(nèi)檢測出與從模式存儲(chǔ)部4312中讀出的波形 模式之間的相關(guān)性高的部分時(shí)，根據(jù)第三測量數(shù)據(jù)的時(shí)間戳等取得表示 第三測量數(shù)據(jù)內(nèi)存在被判斷為相關(guān)性高的波形的期間的信息。并且，使 用所取得的表示期間的信息，取得以該期間為中心的規(guī)定的期間，在此 為60ms的期間的開始時(shí)刻與結(jié)束時(shí)刻的信息。并且，將取得的表示期 間的信息發(fā)送給范圍指定接受部4308。例如，設(shè)，檢測部4311取得的 開始時(shí)刻為"1秒270毫秒"，結(jié)束時(shí)刻為"1秒330亳秒"。
范圍指定接受部4308接受檢測部4311所取得的作為開始時(shí)刻的 信息的"1秒270毫秒"以及作為結(jié)束時(shí)刻的信息"1秒330毫秒"，作 為指定顯示對(duì)象范圍的信息。
接著，數(shù)據(jù)取得部1306與上述實(shí)施方式1的具體例子相同地從存 儲(chǔ)部1304中讀出第一測量數(shù)據(jù)與第二測量數(shù)據(jù)。并且，第一顯示部1307 構(gòu)成使數(shù)據(jù)取得部1306讀出的第一測量數(shù)據(jù)與第二測量數(shù)據(jù)沿著時(shí)間 軸重疊的第一顯示寬度的曲線圖并進(jìn)行輸出。此時(shí)，在該曲線圖中，利 用與其他區(qū)域不同的顏色顯示顯示數(shù)據(jù)取得部4308所取得的表示顯示 對(duì)象范圍的期間的背景色。
此外，顯示數(shù)據(jù)取得部1309從存儲(chǔ)部1304中存儲(chǔ)的第一測量數(shù) 據(jù)、第二測量數(shù)據(jù)以及對(duì)這些進(jìn)行小波變換而得到的數(shù)據(jù)的每個(gè)中，取得范圍指定接受部4308所接受的表示顯示對(duì)象范圍的期間的信息所表 示的期間內(nèi)的信息。即，從每個(gè)數(shù)據(jù)中，取得開始時(shí)刻為"1秒270毫 秒"，結(jié)束時(shí)刻為"1秒330亳秒"的期間的信息。并且，第二顯示部 1310將顯示數(shù)據(jù)取得部1309所取得的各數(shù)據(jù)作成單獨(dú)的曲線圖進(jìn)行顯 示。
圖21是表示第一顯示部1307以及第二顯示部1310在監(jiān)視器等上 顯示的曲線圖的顯示例的圖。曲線圖21a是第一顯示部1307顯示的重 疊了第一測量數(shù)據(jù)與第二測量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)，區(qū)域211表示與顯示對(duì)象范 圍對(duì)應(yīng)的期間。此外，曲線圖21b 21e是第二顯示部1310顯示的數(shù)據(jù)。 曲線圖21b是第一測量數(shù)據(jù)的與顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間內(nèi)的曲線圖。 曲線圖21c是對(duì)第一測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小波變換后的數(shù)據(jù)的與顯示對(duì)象范圍 對(duì)應(yīng)的期間內(nèi)的曲線圖。曲線圖21d是第二測量數(shù)據(jù)的與顯示對(duì)象范圍 對(duì)應(yīng)的期間內(nèi)的曲線圖。曲線圖21e是對(duì)第二測量數(shù)據(jù)進(jìn)行小波變換后 的數(shù)據(jù)的與顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間內(nèi)的曲線圖。
以上述方式，在該具體例子中，能夠從第三數(shù)據(jù)中自動(dòng)檢測出出 現(xiàn)了作為特別點(diǎn)的異常的期間，放大顯示該檢測出的期間內(nèi)的第 一 以及 第二測量數(shù)據(jù)等。這樣，用戶不必查找出現(xiàn)了異常的位置并將該位置指 定為顯示對(duì)象范圍。因此，能夠減輕用戶的作業(yè)。此外，能夠消除查找 出現(xiàn)了異常的位置時(shí)的用戶疏忽造成的遺漏，能夠提高分析數(shù)據(jù)時(shí)的可 靠性。
綜上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠取得與上述實(shí)施方式l相同的 效果，并且能夠從過程相關(guān)數(shù)據(jù)之一中檢測特別點(diǎn)，將表示出現(xiàn)了該特 別點(diǎn)的期間的信息作為顯示對(duì)象范圍使用，從而，自動(dòng)取得表示顯示對(duì) 象范圍的信息。據(jù)此，用戶無須進(jìn)行指定顯示對(duì)象范圍的作業(yè)，能夠減 少用戶的勞動(dòng)。此外，通過能夠自動(dòng)檢測出認(rèn)為適于以第二顯示寬度顯 示的特別點(diǎn)，能夠消除人工檢測特別點(diǎn)時(shí)的檢測遺漏，能夠提高分析數(shù) 據(jù)時(shí)的可靠性。
另外，本實(shí)施方式的構(gòu)成也能適用上述實(shí)施方式2以及實(shí)施方式 3的構(gòu)成，在這種情況下也能取得與上述相同的效果。
另外，在上述各實(shí)施方式中，各處理(各功能)可以由單一裝置
41(系統(tǒng))集中處理來實(shí)現(xiàn)，也可以由多個(gè)裝置分散處理來實(shí)現(xiàn)。
此外，在上述各實(shí)施方式中，可以用專用的硬件構(gòu)成各構(gòu)成要素，也可以是可由軟件實(shí)現(xiàn)的構(gòu)成要素通過執(zhí)行程序來實(shí)現(xiàn)。例如，通過由
CPU等程序執(zhí)行部讀出硬盤或半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)中存儲(chǔ)的軟件/
程序并執(zhí)行，能夠?qū)崿F(xiàn)各構(gòu)成要素。
另夕卜，實(shí)現(xiàn)上述各實(shí)施方式中的數(shù)據(jù)顯示裝置的軟件是如下程序。
即，該程序是使計(jì)算機(jī)作為以下部件起作用的程序數(shù)據(jù)取得部，從能夠存儲(chǔ)多套作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部中取得一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù)據(jù)取得部取得的 一 套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部，接受所述第一顯示部所顯示的所述過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè)中取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該顯示期間是與所述顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示部，
與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度進(jìn)行顯示；其中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地進(jìn)行顯示。
此外，該程序是使計(jì)算機(jī)作為以下部件起作用的程序數(shù)據(jù)取得部，從能夠存儲(chǔ)作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部中取得所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù)據(jù)取得部所取得的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部，接受關(guān)于所述第一顯示部所顯示的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)范圍亦即多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中取得多個(gè)顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該多個(gè)顯示期間是與所述多個(gè)顯示對(duì)象范圍分別對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示部，將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度進(jìn)行顯示；其中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地進(jìn)行顯示。
另外，在上述程序中，上述程序?qū)崿F(xiàn)的功能中不包含只能用硬件實(shí)現(xiàn)的功能。例如，取得信息的取得部、輸出信息的輸出部等中的調(diào)制解調(diào)器、接口卡等只能用硬件實(shí)現(xiàn)的功能不包含在上述程序?qū)崿F(xiàn)的功能中。
此外，該程序可以通過從服務(wù)器等下載來執(zhí)行，也可以通過讀出
規(guī)定的存儲(chǔ)介質(zhì)(例如，CD-ROM等光盤或磁盤、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等)中存儲(chǔ)的程序來執(zhí)行。
此外，執(zhí)行該程序的計(jì)算機(jī)可以是單個(gè)或多個(gè)。即，可以進(jìn)行集中處理，也可以進(jìn)行分散處理。
圖22是表示執(zhí)行上述程序，實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施方式的數(shù)據(jù)顯示裝置的
計(jì)算機(jī)的外觀的一個(gè)例子的示意圖。通過計(jì)算機(jī)硬件和其上執(zhí)行的計(jì)算機(jī)程序來實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施方式。
在圖22中，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)100包括包含CD-ROM( Compact DiskRead Only Memory,緊湊只讀磁盤存儲(chǔ)器)驅(qū)動(dòng)器105和FD ( FlexibleDisk,軟盤)驅(qū)動(dòng)器106的計(jì)算機(jī)101、鍵盤102、鼠標(biāo)103和監(jiān)視器104。
圖23是表示計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的圖。在圖23中，除了 CD-ROM驅(qū)動(dòng)器105和FD驅(qū)動(dòng)器106之外，計(jì)算機(jī)101還包括CPU (CentralProcessing Unit,中央處理單元)111、用于存儲(chǔ)啟動(dòng)程序等程序的ROM(Read Only Memory,只讀存儲(chǔ)器)112、與CPU111連接的暫時(shí)存儲(chǔ)應(yīng)用程序命令并提供暫時(shí)存儲(chǔ)空間的RAM ( Random Access Memory)113、存儲(chǔ)應(yīng)用程序、系統(tǒng)程序以及數(shù)據(jù)的硬盤114、和使CPUlll、ROM112等相互連接的總線115。另外，計(jì)算機(jī)101也可以包含提供與LAN的連接的未圖示的網(wǎng)卡。
在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)100中，可以將執(zhí)行上述實(shí)施方式的數(shù)據(jù)顯示裝置的功能的程序存儲(chǔ)在CD-ROM121或FD122中，插入CD-ROM驅(qū)動(dòng)器105或FD驅(qū)動(dòng)器106中，傳輸?shù)接脖P114。也可以代替上述方式，將該程序經(jīng)由未圖示的網(wǎng)絡(luò)發(fā)送給計(jì)算機(jī)101，存儲(chǔ)到硬盤114。在執(zhí)行時(shí)程序被載入RAM113中。另外，也可以從CD-ROM121、 FD122或者網(wǎng)絡(luò)直接加載程序。
程序不一定包含使計(jì)算機(jī)101執(zhí)行上述實(shí)施方式的數(shù)據(jù)顯示裝置的功能的操作系統(tǒng)(OS)或者第三方程序等。程序也可以只包含以受
控的方式調(diào)出適當(dāng)功能(模塊)并得到期望結(jié)果的命令部分。計(jì)算機(jī)系
統(tǒng)100的工作方式是〃>知的，省略詳細(xì)的"^兌明。
此外，在上述各實(shí)施方式中，不用說， 一個(gè)裝置中存在的兩個(gè)以上通信單元(請(qǐng)求信息發(fā)送部、數(shù)據(jù)接收部等)在物理上可以通過一個(gè)介質(zhì)實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明并不限定于以上實(shí)施方式，可進(jìn)行各種變形，不用說，這些變形也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
如上所述，本發(fā)明涉及的數(shù)據(jù)顯示裝置等適于作為顯示多套與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列亦即過程相關(guān)數(shù)據(jù)的裝置等，作為使用曲線圖等并列顯示多個(gè)過程相關(guān)數(shù)據(jù)的裝置等是有效的。
權(quán)利要求
1.一種數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，包括存儲(chǔ)部，能夠存儲(chǔ)多套作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)取得部，從所述存儲(chǔ)部中取得一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù)據(jù)取得部所取得的一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部，接受所述第一顯示部所顯示的所述過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè)中取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該顯示期間是與所述顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示部，將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的所述顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。
2. —種數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，包括存儲(chǔ)部，能夠存儲(chǔ)作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù) 據(jù)的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)取得部，從所述存儲(chǔ)部中取得所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù)據(jù)取得部所取得的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸 對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部，接受關(guān)于所述第一顯示部所顯示的一套過程相關(guān)數(shù) 據(jù)的多個(gè)范圍亦即多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中取得多個(gè)顯示期間內(nèi)的 多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該多個(gè)顯示期間是與所述多個(gè)顯示對(duì)象范圍分別對(duì)應(yīng) 的期間；以及第二顯示部，將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí) 間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，所述第一顯示部將數(shù)據(jù)取得部所取得的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示多個(gè)；所述范圍指定接受部接受關(guān)于所述第一顯示部進(jìn)行了多個(gè)顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè)的顯示對(duì)象范圍的指定；所述顯示數(shù)據(jù)取得部從所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中取得與所述范圍指定接受部已接受指定的多個(gè)顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)；所述第二顯示部將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)分別與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與分別已接受指定的所述第一顯示部顯示的多個(gè)所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)分別對(duì)應(yīng)地顯示。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，還包括分析部，對(duì)所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的多串?dāng)?shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的分析；以及第三顯示部，顯示所述分析部的分析結(jié)果。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，還包括數(shù)據(jù)處理部，該數(shù)據(jù)處理部對(duì)所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的一串以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算處理；所述第二顯示部將所，顯示數(shù)據(jù)取得部所取得，過程相關(guān)，據(jù)以應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，所述范圍指定接受部通過針對(duì)所述第 一顯示部顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的使用了指示設(shè)備的操作來接受所述顯示對(duì)象范圍的指定。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的數(shù)據(jù)顯示裝置，其中》所述第一顯示部將表示所述顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)重疊顯示；所述范圍指定接受部根據(jù)針對(duì)所述第一顯示部顯示的表示顯示對(duì) 象范圍的信息的、使用了指示設(shè)備的移動(dòng)以及寬度改變的操作，來接受 所述顯示對(duì)象范圍的指定。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的數(shù)據(jù)顯示裝置，其中，還包括檢測部，該檢測部從數(shù)據(jù)取得部所取得的過程相關(guān)數(shù)據(jù)之一 中檢測特別點(diǎn)；所述范圍指定接受部接受表示出現(xiàn)了所述檢測部檢測出的特別點(diǎn) 的期間的信息作為指定所述顯示對(duì)象范圍的信息。
9. 一種數(shù)據(jù)顯示方法，利用能夠存儲(chǔ)多套作為與半導(dǎo)體過程的處 理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部、數(shù)據(jù)取得部、 第一顯示部、范圍指定接受部、顯示數(shù)據(jù)取得部和第二顯示部進(jìn)行處理，其中，包括數(shù)據(jù)取得步驟，所述數(shù)據(jù)取得部從所述存儲(chǔ)部中取得一套以上的過 程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示步驟，第一顯示部將所述數(shù)據(jù)取得步驟中所取得的一套以 上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第 一顯示寬度顯示；范圍指定接受步驟，范圍指定接受部接受所述第一顯示步驟中所顯 示的所述過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得步驟，所述顯示數(shù)據(jù)取得部從所述多套過程相關(guān)數(shù)據(jù) 的每個(gè)中取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該顯示期間是與所述顯示對(duì) 象范圍對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示步驟，所述第二顯示部將所述顯示數(shù)據(jù)取得步驟中所取得 的所述顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示 對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，還包括以下步驟所述第一顯示部將所述范圍指定接受步驟中所接 受的表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套以上的 過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)對(duì)應(yīng)地顯示。
10. —種數(shù)據(jù)顯示方法，利用能夠存儲(chǔ)作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí) 狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部、數(shù)據(jù)取得部、 第一顯示部、范圍指定接受部、顯示數(shù)據(jù)取得部和第二顯示部進(jìn)行處理， 其中，包括數(shù)據(jù)取得步驟，所述數(shù)據(jù)取得部從所述存儲(chǔ)部中取得所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示步驟，第一顯示部將所述數(shù)據(jù)取得步驟中所取得的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受步驟，所述范圍指定接受部接受關(guān)于所述第一顯示步驟中所顯示的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的多個(gè)范圍亦即多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得步驟，所述顯示數(shù)據(jù)取得部從所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中取得多個(gè)顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該多個(gè)顯示期間是與所述多個(gè)顯示對(duì)象范圍分別對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示步驟，所述第二顯示部將所述顯示數(shù)據(jù)取得步驟中所取得的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，還包括以下步驟所述第一顯示部將所述范圍指定接受步驟中所接受的多個(gè)表示顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。
11. 一種程序，用于使計(jì)算機(jī)作為以下部件起作用數(shù)據(jù)取得部，從能夠存儲(chǔ)多套作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部中取得一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù)據(jù)取得部所取得的一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部，接受所述第一顯示部所顯示的所述過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍亦即顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述多套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè)中取得顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該顯示期間是與所述顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間；以及第二顯示部，將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的所述顯示期間內(nèi)的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的表示顯示對(duì)象范圍的信息 該第一顯示部顯示的所述一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)對(duì)應(yīng)地顯示。
12. —種程序，用于使計(jì)算機(jī)作為以下部件起作用數(shù)據(jù)取得部，從能夠存儲(chǔ)作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí) 間序列數(shù)據(jù)的 一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部中取得所述一套過程相關(guān)數(shù) 據(jù)；第一顯示部，將所述數(shù)據(jù)取得部所取得的一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸 對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部，接受關(guān)于所述第一顯示部所顯示的一套過程相關(guān)數(shù) 據(jù)的多個(gè)范風(fēng)亦即多個(gè)顯示對(duì)象范圍的指定；顯示數(shù)據(jù)取得部，從所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)中取得多個(gè)顯示期間內(nèi)的 多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)，該多個(gè)顯示期間是與所述多個(gè)顯示對(duì)象范圍分別對(duì)應(yīng) 的期間；以及第二顯示部，將所述顯示數(shù)據(jù)取得部所取得的多串過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí) 間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；其中，所述第一顯示部還將所述范圍指定接受部所接受的多個(gè)表示 顯示對(duì)象范圍的信息與該第一顯示部顯示的所述一套過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì) 應(yīng)地顯示。
全文摘要
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是在以前的數(shù)據(jù)顯示裝置中無法適當(dāng)?shù)仫@示半導(dǎo)體過程中測量的數(shù)據(jù)等時(shí)間序列數(shù)據(jù)。包括第一顯示部(1307)，將作為與半導(dǎo)體過程的處理時(shí)狀態(tài)有關(guān)的時(shí)間序列數(shù)據(jù)的多個(gè)過程相關(guān)數(shù)據(jù)與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以第一顯示寬度顯示；范圍指定接受部(1308)，接受所述第一顯示部(1307)所顯示的過程相關(guān)數(shù)據(jù)中的一部分的范圍即顯示對(duì)象范圍的指定；以及第二顯示部(1310)，從多個(gè)過程相關(guān)數(shù)據(jù)的每個(gè)中取得作為與顯示對(duì)象范圍對(duì)應(yīng)的期間的顯示期間內(nèi)的過程相關(guān)數(shù)據(jù)，并與時(shí)間軸對(duì)應(yīng)地以比所述顯示對(duì)象范圍的寬度寬的第二顯示寬度顯示；第一顯示部(1307)將表示顯示對(duì)象范圍的信息與第一顯示部(1307)顯示的一套以上的過程相關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)地顯示。
文檔編號(hào)G06F3/048GK101681806SQ20088001701
公開日2010年3月24日 申請(qǐng)日期2008年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月29日
發(fā)明者川村和廣 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社