專利名稱：半導(dǎo)體制造過程的派工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體制造過程的派工方法。
背景技術(shù)：
對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，光刻設(shè)備通常是晶圓代工廠內(nèi)最昂貴的設(shè)備，并且也是利 用率最高的設(shè)備。因此，如何針對光刻設(shè)備擬定最佳的派工原則，以形成高效率的生產(chǎn)線， 成為半導(dǎo)體制造中極為重要的課題。一般來說，光刻設(shè)備通常包括底部抗反射層熱板、顯影前軟烘烤熱板、顯影后烘烤 熱板以及顯影后高溫烘烤熱板。由于晶圓代工廠的資源是有限的，因此每一臺光刻設(shè)備需 要生產(chǎn)種類繁多數(shù)量不同的產(chǎn)品，但通常每一臺光刻設(shè)備以生產(chǎn)一種產(chǎn)品為主，這種產(chǎn)品 也稱為主要產(chǎn)品，光刻設(shè)備的大部分時間均是用于生產(chǎn)所述主要產(chǎn)品，而光刻設(shè)備的小部 分時間則用于生產(chǎn)其它少量的次要產(chǎn)品。由于各種類型的產(chǎn)品的工藝條件不同，因此，在運 行不同的產(chǎn)品時，光刻設(shè)備內(nèi)各種熱板的溫度也需要相應(yīng)轉(zhuǎn)換，并且在熱板轉(zhuǎn)換溫度的過 程中，光刻設(shè)備不會進(jìn)行烘焙工藝。在這種復(fù)雜的條件下，如何充分利用光刻設(shè)備的產(chǎn)能，是晶圓代工廠能否在激烈 競爭中生存及發(fā)展的關(guān)鍵所在。目前，晶圓代工廠內(nèi)通常采用兩種派工方法，一種是在工 廠產(chǎn)量達(dá)成率(On-Time Delivery for Volume, OTDV)優(yōu)先的派工方法指導(dǎo)下對在制品 (work-in-process, WIP)進(jìn)行派工，這種派工方法也就是優(yōu)先對與光刻設(shè)備當(dāng)前運行的菜 單相同的在制品派工，而其它產(chǎn)品則延遲派工，然而這種派工方法無法根據(jù)設(shè)備的運行狀 況、在制品的最大允許等待時間(Remaining Q-Tine)、等待時間(waiting time)、優(yōu)先級 (priority)、片數(shù)以及過貨時間等因素靈活地實現(xiàn)派工控制，導(dǎo)致某些在制品的過貨時間 超出限制，無法保證在制品的品質(zhì)。目前，晶圓代工廠也經(jīng)常采用另一種派工方法來實現(xiàn)派工控制，即在工廠準(zhǔn)時交 貨率(On-Time Delivery for Order, 0TD0)優(yōu)先的派工方法指導(dǎo)下進(jìn)行派工，然而這種派 工方法雖然保證了在制品的品質(zhì)，卻會影響光刻設(shè)備的產(chǎn)能。如何在保證在制品的品質(zhì)的前提下，充分利用昂貴的光刻設(shè)備的產(chǎn)能，成為本領(lǐng) 域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造過程的派工方法，其可根據(jù)設(shè)備的運行狀況、在制品 的最大允許等待時間、等待時間、優(yōu)先級、片數(shù)以及過貨時間等因素靈活地實現(xiàn)派工控制， 既保證了在制品的品質(zhì)，又充分利用了光刻設(shè)備的產(chǎn)能。本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體制造過程的派工方法，該派工方法用于決定多個在制品 在制造系統(tǒng)上的派工順序，該在制品包括主要產(chǎn)品和次要產(chǎn)品，該派工方法包括判斷該在 制品中是否包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品；若該在制品中包括最大允許等待 時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，之后派工最大允許等待時間不小于設(shè) 定值的次要產(chǎn)品，最后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品；若該在制品中包 括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行主要產(chǎn)品且該在制品中 不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，之后派工最大允許 等待時間不小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品；若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的 在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工次要產(chǎn) 品，之后派工主要產(chǎn)品；若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該 制造系統(tǒng)正在運行主要產(chǎn)品且所述在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則僅派工主要產(chǎn)品。可選的，所述觸發(fā)產(chǎn)品是優(yōu)先級和等待時間符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品?？蛇x的，若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系 統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制 品中最大允許等待時間越短者越優(yōu)先派工；所述派工方法還包括判斷最大允許等待時間不 小于設(shè)定值的次要產(chǎn)品是否為必須執(zhí)行制程的在制品，若是必須執(zhí)行制程的在制品則進(jìn)行 派工，若不是必須執(zhí)行制程的在制品則不進(jìn)行派工；所述必須執(zhí)行制程的在制品是優(yōu)先級 和等待時間符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品，所述必須執(zhí)行制程的在制品還包括運行該在制品菜單的 在制品總片數(shù)大于規(guī)定值的在制品；所述派工方法還包括對所述最大允許等待時間不小于 設(shè)定值的次要產(chǎn)品按溫度等級排序；所述派工方法還包括對溫度等級相同的在制品按優(yōu)先 級排序，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工；所述派工方法還包括對優(yōu)先級相同的在制 品按等待時間排序，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工?？蛇x的，若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系 統(tǒng)正在運行主要產(chǎn)品且該在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則最大允許等待時間小于設(shè)定值的在 制品中最大允許等待時間越短者越優(yōu)先派工；所述派工方法還包括對所述主要產(chǎn)品按優(yōu)先 級排序，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工；所述派工方法還包括對優(yōu)先級相同的在制 品按等待時間排序，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工?？蛇x的，若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造 系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則進(jìn)一步判斷次要產(chǎn)品是否為必須執(zhí) 行制程的在制品，若是必須執(zhí)行制程的在制品則進(jìn)行派工，若不是必須執(zhí)行制程的在制品 則不進(jìn)行派工；所述必須執(zhí)行制程的在制品是優(yōu)先級和等待時間符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品，所 述必須執(zhí)行制程的在制品還包括運行該在制品菜單的在制品總片數(shù)大于規(guī)定值的在制品； 所述派工方法還包括對所述次要產(chǎn)品按溫度等級排序；所述派工方法還包括對所述溫度等 級相同的在制品按優(yōu)先級排序，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工；所述派工方法還包 括對優(yōu)先級相同的在制品按等待時間排序，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工?？蛇x的，若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造 系統(tǒng)正在運行主要產(chǎn)品且所述在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則進(jìn)一步對所述主要產(chǎn)品按優(yōu)先 級排序，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工；所述派工方法還包括對優(yōu)先級相同的在制 品按等待時間排序，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工?？蛇x的，所述制造系統(tǒng)是光刻設(shè)備?？蛇x的，所述光刻設(shè)備包括底部抗反射層熱板、顯影前軟烘烤熱板、顯影后烘烤熱 板以及顯影后高溫烘烤熱板。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的半導(dǎo)體制造過程的派工方法具有以下優(yōu)點；1、本發(fā)明根據(jù)設(shè)備的運行狀況、在制品的最大允許等待時間、等待時間、優(yōu)先級、 片數(shù)以及過貨時間等因素的任意組合靈活地實現(xiàn)派工控制，既保證了在制品的品質(zhì)，又充 分利用了光刻設(shè)備的產(chǎn)能。2、本發(fā)明還判斷次要產(chǎn)品是否為必須執(zhí)行制程的在制品，若是必須執(zhí)行制程的在 制品則進(jìn)行派工，若不是必須執(zhí)行制程的在制品則不進(jìn)行派工，即確保了優(yōu)先級和等待時 間符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品優(yōu)先派工，而對于影響光刻設(shè)備效率的少量的在制品延時處理，大 大提高了光刻設(shè)備的效率。3、本發(fā)明根據(jù)設(shè)備的運行狀況以及在制品的基本信息，對在制品按溫度等級排 序，減少了光刻設(shè)備的各個熱板的溫度轉(zhuǎn)換時間，進(jìn)一步提高了光刻設(shè)備的利用率。


圖1為本發(fā)明實施例所提供的半導(dǎo)體制造過程的派工方法的流程示意圖。
具體實施例方式在背景技術(shù)中已經(jīng)提及，現(xiàn)有的派工方法無法根據(jù)設(shè)備的運行狀況、在制品的最 大允許等待時間、等待時間、優(yōu)先級、片數(shù)以及過貨時間等因素靈活地實現(xiàn)派工控制，也就 是說，無法在保證在制品的品質(zhì)的前提下，充分利用昂貴的光刻設(shè)備的產(chǎn)能，難以確保按照 客戶的要求按時按量的生產(chǎn)出質(zhì)量優(yōu)良的產(chǎn)品，這對于晶圓代工廠而言，是非常不利的。本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造過程的派工方法，可根據(jù)在制品的最大允許等待時 間、等待時間、優(yōu)先級、片數(shù)以及過貨時間等因素的任意組合靈活地實現(xiàn)派工控制，既保證 了在制品的品質(zhì)，又提高了光刻設(shè)備的利用率。請參考圖1，其為本發(fā)明實施例所提供的半導(dǎo)體制造過程的派工方法的流程示意 圖，該派工方法是用于決定多個在制品在制造系統(tǒng)上的派工順序，該在制品包括主要產(chǎn)品 和次要產(chǎn)品。該制造系統(tǒng)是光刻設(shè)備，該光刻設(shè)備包括底部抗反射層熱板、顯影前軟烘烤熱 板、顯影后烘烤熱板以及顯影后高溫烘烤熱板。具體的說，該底部抗反射層熱板是用以進(jìn)行 底部抗反射層的烘烤；該顯影前軟烘烤熱板是用以進(jìn)行顯影前軟烘工藝，以去除光阻中大 部分溶劑并使光阻的曝光特性固定；該顯影后烘烤熱板是用以進(jìn)行顯影后烘烤工藝，以減 少駐波效應(yīng)；該顯影后高溫烘烤熱板是用以進(jìn)行顯影后高溫烘烤，所述顯影后高溫烘烤也 叫做硬烘，其是用以完全蒸發(fā)掉光阻內(nèi)的溶劑，進(jìn)一步增強光阻與晶圓表面之間的黏附性。如圖1所示，該派工方法包括如下步驟首先，判斷該在制品中是否包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，并繼續(xù) 判斷該制造系統(tǒng)是否正在運行次要產(chǎn)品或在制品中是否包括觸發(fā)產(chǎn)品；若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運 行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制 品，之后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的次要產(chǎn)品，最后派工最大允許等待時間不 小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品；若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運 行主要產(chǎn)品且該在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，之后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品；若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在 運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工次要產(chǎn)品，之后派工主要產(chǎn)品；若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在 運行主要產(chǎn)品且所述在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則僅派工主要產(chǎn)品。下面將參照附圖對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例， 應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因 此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例的開 發(fā)中，必須作出大量實施細(xì)節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的 限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費 時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本發(fā)明的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
作 進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方 便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。本發(fā)明實施例所提供的派工方法可利用一派工管理系統(tǒng)來實現(xiàn)，可將光刻設(shè)備和 在制品的基本信息存儲至所述派工管理系統(tǒng)，其中，所述在制品的基本信息可由制造執(zhí)行 系統(tǒng)(MES)中導(dǎo)出的數(shù)據(jù)庫中獲得。所述在制品的基本信息包括但不限于在制品的菜單、 最大允許等待時間、等待時間、優(yōu)先級、片數(shù)以及過貨時間，所述光刻設(shè)備的基本信息包括 但不限于設(shè)備的加工能力、負(fù)載狀況以及設(shè)備當(dāng)前正在運行的工藝菜單。其中，所述最大允 許等待時間是指一工藝步驟完成后等待執(zhí)行另一步驟的時間，如果產(chǎn)品的最大允許等待時 間超出設(shè)定值時，則會嚴(yán)重影響該批次產(chǎn)品的品質(zhì)，因此，最大允許等待時間必須被控制。在本發(fā)明實施例中，所述設(shè)定值可以為3小時，當(dāng)然，在本發(fā)明其它實施例中，也 可根據(jù)具體的工藝情況，將所述設(shè)定值定義為其它數(shù)值。本發(fā)明實施例所提供的半導(dǎo)體制造過程的派工方法具體包括如下步驟首先，利用所述派工管理系統(tǒng)判斷該在制品中是否包括最大允許等待時間小于設(shè) 定值的在制品，并繼續(xù)判斷該制造系統(tǒng)當(dāng)前正在運行的產(chǎn)品是否為次要產(chǎn)品或該在制品中 是否包括觸發(fā)產(chǎn)品。如果該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且滿足該制造系統(tǒng) 當(dāng)前正在運行的產(chǎn)品是次要產(chǎn)品和該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品這兩個條件之一，則首先派工 最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，之后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的次要 產(chǎn)品，最后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品。其中，所述觸發(fā)產(chǎn)品是指優(yōu)先級和等待時間同時符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品。在本發(fā)明 實施例中，優(yōu)先級為1級且等待時間大于等于5小時的次要產(chǎn)品即被定義為觸發(fā)產(chǎn)品。也就是說，若該在制品中包括最大允許等待時間小于3小時的在制品，且該制造 系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或者該在制品中包括優(yōu)先級為1級且等待時間大于等于5小時的次 要產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于3小時的在制品，之后派工最大允許等待時間 大于或等于3小時的次要產(chǎn)品，最后派工最大允許等待時間大于或等于3小時的主要產(chǎn)品，且所述最大允許等待時間小于3小時的在制品中，最大允許等待時間越短者越優(yōu)先派工， 以保證產(chǎn)品的品質(zhì)。所述派工方法還包括進(jìn)一步判斷最大允許等待時間大于等于設(shè)定值的次要產(chǎn)品 是否為必須執(zhí)行制程的在制品，若是必須執(zhí)行制程的在制品則進(jìn)行派工，若不是必須執(zhí)行 制程的在制品則不進(jìn)行派工。其中，必須執(zhí)行制程的在制品是指優(yōu)先級和等待時間同時符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品， 或者是運行該在制品菜單的在制品總片數(shù)大于規(guī)定值的在制品。其中，所述規(guī)定值通常為 20片。也就是說，如果最大允許等待時間大于等于設(shè)定值的次要產(chǎn)品既不是觸發(fā)產(chǎn)品，并且 與該次要產(chǎn)品的工藝參數(shù)相同的在制品的總片數(shù)也不足20片的情況下，該次要產(chǎn)品將被 過濾掉，不會與其它次要產(chǎn)品一起執(zhí)行制程。即對于這種影響光刻設(shè)備效率的少量的在制 品不進(jìn)行派工，以提高了光刻設(shè)備的效率。進(jìn)一步的，所述派工方法還包括對所述最大允許等待時間不小于設(shè)定值的次要產(chǎn) 品按溫度等級排序。所述溫度等級是指每一個產(chǎn)品的菜單所對應(yīng)的級別數(shù)。詳細(xì)的，所述溫度等級的確定過程包括如下步驟首先，使用派工管理系統(tǒng)查詢所 有在制品的工藝菜單，并按照光刻設(shè)備內(nèi)四種熱板的溫度做分組；接著，以光刻設(shè)備當(dāng)前正 在運行的菜單的溫度為基準(zhǔn)，以影響設(shè)備效率關(guān)鍵性對所有菜單進(jìn)行排序，也就是說，按溫 度逐漸升高或者逐漸降低的原則對所有在制品的菜單進(jìn)行排序，給每一種菜單賦予一個溫 度的等級值。例如，所述光刻設(shè)備當(dāng)前正在運行的菜單的具體參數(shù)為底部抗反射層熱板溫度 為60°C、顯影前軟烘烤熱板溫度為70°C、顯影后烘烤熱板的溫度80°C、顯影后高溫烘烤熱 板的溫度90°C，而待設(shè)定溫度等值的五個菜單的參數(shù)如表1所示
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體制造過程的派工方法，用于決定多個在制品在制造系統(tǒng)上的派工順序， 該在制品包括主要產(chǎn)品和次要產(chǎn)品，該派工方法包括判斷該在制品中是否包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品；若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行次 要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品， 之后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的次要產(chǎn)品，最后派工最大允許等待時間不小于 設(shè)定值的主要產(chǎn)品；若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行 主要產(chǎn)品且該在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制 品，之后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品；若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行 次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工次要產(chǎn)品，之后派工主要產(chǎn)品；若該在制品中不包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行 主要產(chǎn)品且所述在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則僅派工主要產(chǎn)品。
2.如權(quán)利要求1所述的派工方法，其特征在于，所述觸發(fā)產(chǎn)品是優(yōu)先級和等待時間符 合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品。
3.如權(quán)利要求2所述的派工方法，其特征在于，若該在制品中包括最大允許等待時間 小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則最 大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品中最大允許等待時間越短者越優(yōu)先派工。
4.如權(quán)利要求3所述的派工方法，其特征在于，還包括判斷最大允許等待時間不小于 設(shè)定值的次要產(chǎn)品是否為必須執(zhí)行制程的在制品，若是必須執(zhí)行制程的在制品則進(jìn)行派 工，若不是必須執(zhí)行制程的在制品則不進(jìn)行派工。
5.如權(quán)利要求4所述的派工方法，其特征在于，所述必須執(zhí)行制程的在制品是優(yōu)先級 和等待時間符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品。
6.如權(quán)利要求5所述的派工方法，其特征在于，所述必須執(zhí)行制程的在制品還包括運 行該在制品菜單的在制品總片數(shù)大于規(guī)定值的在制品。
7.如權(quán)利要求6所述的派工方法，其特征在于，還包括對所述最大允許等待時間不小 于設(shè)定值的次要產(chǎn)品按溫度等級排序。
8.如權(quán)利要求7所述的派工方法，其特征在于，還包括對溫度等級相同的在制品按優(yōu) 先級排序。
9.如權(quán)利要求8所述的派工方法，其特征在于，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工。
10.如權(quán)利要求9所述的派工方法，其特征在于，還包括對優(yōu)先級相同的在制品按等待 時間排序。
11.如權(quán)利要求10所述的派工方法，其特征在于，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工。
12.如權(quán)利要求2所述的派工方法，其特征在于，若該在制品中包括最大允許等待時間 小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行主要產(chǎn)品且該在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn)品，則 最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品中最大允許等待時間越短者越優(yōu)先派工。
13.如權(quán)利要求12所述的派工方法，其特征在于，還包括對所述主要產(chǎn)品按優(yōu)先級排序。
14.如權(quán)利要求13所述的派工方法，其特征在于，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工。
15.如權(quán)利要求14所述的派工方法，其特征在于，還包括對優(yōu)先級相同的在制品按等 待時間排序。
16.如權(quán)利要求15所述的派工方法，其特征在于，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工。
17.如權(quán)利要求2所述的派工方法，其特征在于，若該在制品中不包括最大允許等待時 間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或該在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則 進(jìn)一步判斷次要產(chǎn)品是否為必須執(zhí)行制程的在制品，若是必須執(zhí)行制程的在制品則進(jìn)行派 工，若不是必須執(zhí)行制程的在制品則不進(jìn)行派工。
18.如權(quán)利要求17所述的派工方法，其特征在于，所述必須執(zhí)行制程的在制品是優(yōu)先 級和等待時間符合標(biāo)準(zhǔn)值的在制品。
19.如權(quán)利要求18所述的派工方法，其特征在于，所述必須執(zhí)行制程的在制品還包括 運行該在制品菜單的在制品總片數(shù)大于規(guī)定值的在制品。
20.如權(quán)利要求19所述的派工方法，其特征在于，還包括對所述次要產(chǎn)品按溫度等級 排序。
21.如權(quán)利要求20所述的派工方法，其特征在于，還包括對所述溫度等級相同的在制 品按優(yōu)先級排序。
22.如權(quán)利要求21所述的派工方法，其特征在于，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工。
23.如權(quán)利要求22所述的派工方法，其特征在于，還包括對優(yōu)先級相同的在制品按等 待時間排序。
24.如權(quán)利要求23所述的派工方法，其特征在于，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工。
25.如權(quán)利要求2所述的派工方法，其特征在于，若該在制品中不包括最大允許等待 時間小于設(shè)定值的在制品，且該制造系統(tǒng)正在運行主要產(chǎn)品且所述在制品中不包括觸發(fā)產(chǎn) 品，則進(jìn)一步對所述主要產(chǎn)品按優(yōu)先級排序。
26.如權(quán)利要求25所述的派工方法，其特征在于，所述優(yōu)先級越高的在制品越優(yōu)先派工。
27.如權(quán)利要求26所述的派工方法，其特征在于，還包括對優(yōu)先級相同的在制品按等 待時間排序。
28.如權(quán)利要求27所述的派工方法，其特征在于，所述等待時間越長的在制品越優(yōu)先派工。
29.如權(quán)利要求1至28中任意一項所述的派工方法，其特征在于，所述制造系統(tǒng)是光刻 設(shè)備。
30.如權(quán)利要求29所述的派工方法，其特征在于，所述光刻設(shè)備包括底部抗反射層熱 板、顯影前軟烘烤熱板、顯影后烘烤熱板以及顯影后高溫烘烤熱板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造過程的派工方法，包括判斷在制品中是否包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品；若該在制品中包括最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，且制造系統(tǒng)正在運行次要產(chǎn)品或所述在制品中包括觸發(fā)產(chǎn)品，則首先派工最大允許等待時間小于設(shè)定值的在制品，之后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的次要產(chǎn)品，最后派工最大允許等待時間不小于設(shè)定值的主要產(chǎn)品。本發(fā)明根據(jù)設(shè)備的運行狀況、在制品的最大允許等待時間、等待時間、優(yōu)先級、片數(shù)以及過貨時間等因素靈活地實現(xiàn)派工控制，既保證了在制品的品質(zhì)，又充分利用了光刻設(shè)備的產(chǎn)能。
文檔編號G06Q10/00GK101996359SQ20091019461
公開日2011年3月30日 申請日期2009年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月26日
發(fā)明者葉俊, 許磊, 魏騁 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司