專利名稱：影響要因特定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及影響要因特定方法和影響要因特定裝置，詳細(xì)而言，涉及特定對(duì)目的 變量的值影響大的說明變量的影響要因特定方法及影響要因特定裝置。這種影響要因特定 方法及影響要因特定裝置，其典型應(yīng)用為在制造工藝中，用于特定對(duì)制品的檢查結(jié)果施加 影響的制造條件。本發(fā)明又涉及用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行這種影響要因特定方法的影響要因特定程序。本發(fā)明也涉及記錄這種影響要因特定程序的計(jì)算機(jī)可讀記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
作為明確目的變量與說明變量的關(guān)系以特定對(duì)目的變量的值影響大的說明變量 (影響要因分析)用的技術(shù)，在質(zhì)量管理、要因分析等領(lǐng)域廣泛利用回歸分析法等統(tǒng)計(jì)解析 法。以回歸分析法為首的許多分析法是將獲得定量測(cè)量的數(shù)據(jù)作為前提來對(duì)這些數(shù)據(jù)作多 元解析的方法。然而，在需要這些分析法的許多領(lǐng)域中得到的數(shù)據(jù)未必限于僅為量變量，不 滿足上述前提的情況不少。例如，以在制造工藝中、用于特定對(duì)制品的檢查結(jié)果產(chǎn)生影響的 制造條件的分析為例，則在記錄制造條件的工藝數(shù)據(jù)中，除用作材料的氣體的流量、溫度、 壓力、長(zhǎng)度等量變量之外，還混有制造裝置的名稱、制造訣竅的名稱、制造日期和時(shí)間等質(zhì) 變量。作為即使在說明變量中混雜有質(zhì)變量和量變量也能進(jìn)行分析的分析方法(多變 量分析法)，已知非專利文獻(xiàn)1 (林知己夫著《數(shù)量化的方法》，東洋經(jīng)濟(jì)新報(bào)社，1974年)或 非專利文獻(xiàn)2(田中豐、脇本和昌著《多變量統(tǒng)計(jì)解析法》，現(xiàn)代數(shù)學(xué)社，1983年)中記載的 林的“I類數(shù)量化法”。在該I類數(shù)量化法中，即使說明變量中混雜有質(zhì)變量和量變量也仍 能進(jìn)行分析，但這限于說明變量中的量變量與目的變量線性相關(guān)的情況。這里，在制造工藝的工藝數(shù)據(jù)那樣的現(xiàn)實(shí)數(shù)據(jù)中，目的變量與說明變量的相關(guān)關(guān) 系不清楚，不能獲得是線性的前提。因此，一直以來，實(shí)施以下方法S卩，將量變量變換成質(zhì)的虛擬變量，對(duì)該變換后的 數(shù)據(jù)應(yīng)用上述I類數(shù)量化法。即，對(duì)在說明變量中混雜有質(zhì)變量和量變量的數(shù)據(jù)，將量變量 根據(jù)其值變換成高、中、低等質(zhì)的虛擬變量，對(duì)變換后的數(shù)據(jù)使用上述I類數(shù)量化法。該方法在例如將圖1所示那樣的數(shù)據(jù)作為分析對(duì)象時(shí)，按照以下的步驟進(jìn)行。此 夕卜，圖1中的“檢查數(shù)據(jù)”欄的數(shù)據(jù)(數(shù)值)是目的變量，“XI”欄、“X2”欄的數(shù)據(jù)是說明變 量?！癤I，，欄的數(shù)據(jù)是A、B、C這樣的質(zhì)變量，“X2”欄的數(shù)據(jù)是數(shù)值，即量變量。首先，如圖2所示，此“X2”欄的數(shù)據(jù)中，將數(shù)值為1 3的數(shù)據(jù)變換成“低”，數(shù)值 為4 7的數(shù)據(jù)變換成“中”，數(shù)值為8 10的數(shù)據(jù)變換成“高”。也就是說，將用數(shù)值表示 的量變量按照其值來虛擬變換成“低”、“中”、“高”這樣的質(zhì)變量(X2’)。其次，為了應(yīng)用I類數(shù)量化法，如圖3所示，對(duì)上述圖2的數(shù)據(jù)制成交叉制表 (cross tabulation)。該交叉制表的累計(jì)數(shù)為I類數(shù)量化法的正規(guī)方程的系數(shù)。正規(guī)方程 的右邊是對(duì)應(yīng)于各項(xiàng)目的類別的目的變量的值之和。因而，如下式那樣求出正規(guī)方程。
IOa11 + Aan + 5a22 +a = 404 5an + a2l + a22 + Sa23 = 280 5 O13 + Or22 + 4^23 = 334 4au +au +Sa21 =245 5 O11 + O12 + 13 +7au = 305
O11 + 3an + 4a13 + Sa23 = 468
在該正規(guī)方程中，取α 21 = O。解該正規(guī)方程，則求出的解如下。
=45. 57, a12 = 62. 72, a13 = 75. 18, a21 = O, a22 = -8. 68, a23 = -8. 31由此，算出相當(dāng)于檢查數(shù)據(jù)的X1、X2的偏相關(guān)系數(shù)，則Xl的偏相關(guān)系數(shù)為0.635， X2的偏相關(guān)系數(shù)為0.236。根據(jù)該值，能判斷為Xl對(duì)檢查數(shù)據(jù)的影響比X2要大(影響要 因分析結(jié)束)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)1 林知己夫著《數(shù)量化的方法》，東洋經(jīng)濟(jì)新報(bào)社，1974年非專利文獻(xiàn)2 田中豐、脇本和昌著《多變量統(tǒng)計(jì)解析法》，現(xiàn)代數(shù)學(xué)社，1983年

發(fā)明內(nèi)容
在上述方法(即將量變量變換成質(zhì)的虛擬變量，對(duì)該變換后的數(shù)據(jù)應(yīng)用I類數(shù)量 化法)中，不需要目的變量與說明變量的相關(guān)關(guān)系為線性的前提。然而，上述方法存在因?qū)⒘孔兞孔儞Q成質(zhì)變量而產(chǎn)生信息損失的問題。因此，本發(fā)明的課題在于，提供一種影響要因特定方法及影響要因特定裝置，上述 影響要因特定方法即使在說明變量中混有質(zhì)變量和量變量也能進(jìn)行分析，不需要目的變量 與說明變量的相關(guān)關(guān)系為線性的前提，而且不產(chǎn)生信息損失。為了解決上述課題，本發(fā)明的影響要因特定方法，對(duì)分析對(duì)象數(shù)據(jù)特定說明變量中影響目的變量的要因，該分析對(duì)象數(shù)據(jù)根據(jù)這些 變量的變化包含多組數(shù)據(jù)，上述多組數(shù)據(jù)相當(dāng)于含1種以上的質(zhì)變量及該質(zhì)變量所對(duì)應(yīng)的 1種以上的量變量的上述說明變量的數(shù)據(jù)、和相當(dāng)于用上述說明變量說明的上述目的變量 的數(shù)據(jù)，根據(jù)上述說明變量中的上述質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)將上述說明變量中的上述量變量 組成的各數(shù)據(jù)組分別劃分成多個(gè)段，對(duì)每一上述段分別用該段和補(bǔ)足該段的空欄獲得能作 為量變量處理的偽數(shù)據(jù)組，對(duì)由上述虛擬數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和上述目的變量應(yīng)用多變量分析法 來特定影響上述目的變量的影響要因。此處，相當(dāng)于量變量的數(shù)據(jù)是表示數(shù)值的數(shù)據(jù)。此外，相當(dāng)于質(zhì)變量的數(shù)據(jù)是例如 表示裝置編號(hào)的字符數(shù)據(jù)。“數(shù)據(jù)組”是指由因“變量”的變化而獲得的多個(gè)數(shù)據(jù)組成的組。“變量”對(duì)例如每 一制品或每一批制品變化。目的變量中的“影響目的變量的要因”指包括對(duì)目的變量影響最大的要因?！岸嘧兞糠治龇ā庇霉钠胀ǚ椒ň妥銐?。
本發(fā)明的影響要因特定方法中，首先，根據(jù)上述說明變量中的上述質(zhì)變量具有的 水準(zhǔn)將分析對(duì)象數(shù)據(jù)包含的說明變量中的量變量組成的各數(shù)據(jù)組分別劃分成多個(gè)段。由 此，對(duì)每一上述段分別用該段和補(bǔ)足該段的空欄獲得能作為量變量處理的偽數(shù)據(jù)組。然后， 對(duì)由上述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和上述目的變量應(yīng)用多變量分析法特定影響上 述目的變量的影響要因。在進(jìn)行這樣處理的情況下，即使說明變量中混有質(zhì)變量和量變量也能進(jìn)行分析。 另外，不需要目的變量與說明變量的相關(guān)關(guān)系為線性的前提。而且，不產(chǎn)生信息損失。此外，本發(fā)明的較具體的結(jié)構(gòu)中，使上述說明變量中的上述量變量組成的各數(shù)據(jù) 組存儲(chǔ)到第1存儲(chǔ)部。另外，利用計(jì)算機(jī)的中央運(yùn)算處理裝置讀出第1存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的存 儲(chǔ)內(nèi)容，分別根據(jù)上述說明變量中的上述質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)劃分成多個(gè)段，對(duì)每一上述段 分別用該段和補(bǔ)足該段的空欄獲得能作為量變量處理的偽數(shù)據(jù)組。使得到的上述偽數(shù)據(jù)組 的集合作為新的分析對(duì)象數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到第2存儲(chǔ)部。然后，利用計(jì)算機(jī)的中央運(yùn)算處理裝置 讀出上述第2存儲(chǔ)部的存儲(chǔ)內(nèi)容，對(duì)由上述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和上述目的變 量應(yīng)用多變量分析法特定影響上述目的變量的影響要因。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在將上述說明變量中的上述量變量組成的各數(shù)據(jù)組劃分成多個(gè)段前，選擇上述說明變量中的某質(zhì)變量具有的某水準(zhǔn)，根據(jù)該水準(zhǔn)將上述說明變量中包含的全部數(shù)據(jù)組劃分成多個(gè)數(shù)據(jù)群，在上述分群后的多個(gè)數(shù)據(jù)群之間，判斷這些數(shù)據(jù)群對(duì)應(yīng)的上述目的變量的值之間 是否存在顯著差，僅在存在上述顯著差時(shí)采用該水準(zhǔn)。在上述這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，在上述說明變量中的1種以上的質(zhì) 變量具有的水準(zhǔn)中，僅采用上述分群后的多個(gè)數(shù)據(jù)群間在這些數(shù)據(jù)群對(duì)應(yīng)的上述目的變量 的值之間存在顯著差的。因而，抑制上述偽數(shù)據(jù)組的數(shù)量不必要地增多。其結(jié)果在于，能期 待數(shù)據(jù)處理時(shí)間縮短及分析結(jié)果的精度提高。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，判斷上述目的變量的值之間是 否存在顯著差時(shí)，使用F檢驗(yàn)、決策樹分析或相關(guān)法則。在上述這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，能判斷上述目的變量的值之間是否 存在顯著差。尤其在使用F檢驗(yàn)的情況下，能定量地明確判斷是否進(jìn)行數(shù)據(jù)變換。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)是涉及包含1個(gè)以上制造工序的制造工藝的數(shù)據(jù)，上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)中包含的上述說明變量由記錄上述各制造工序的制造條件的 工藝數(shù)據(jù)組成，上述目的變量由將上述制造工藝的制品的檢查結(jié)果作為質(zhì)變量或量變量記錄的 測(cè)試數(shù)據(jù)組成，上述各變量的變化相當(dāng)于上述工藝數(shù)據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)在每一制品的變化。此處，各裝置工序的“制造條件”廣泛包含作為質(zhì)變量的裝置編號(hào)或制造訣竅、負(fù) 責(zé)人等類別以及作為量變量的裝置的調(diào)整值、溫度、壓力、氣體流量等運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。在上述這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，將涉及制造工藝的工藝數(shù)據(jù)和測(cè)試 數(shù)據(jù)作為分析對(duì)象數(shù)據(jù)，進(jìn)行影響要因的特定。由此，在制造工藝中，將表示對(duì)制品的檢查結(jié)果的測(cè)試數(shù)據(jù)作為目的變量，將表示制造條件的工藝數(shù)據(jù)作為說明變量，則能對(duì)產(chǎn)生不 合格的要因的特定或制造合格品用的制造條件進(jìn)行分析。例如，使表示各工序的制造條件 的數(shù)據(jù)分別對(duì)應(yīng)于1個(gè)數(shù)據(jù)組，則能對(duì)某工序方便地特定哪個(gè)類別(裝置編號(hào)或制造訣竅、 負(fù)責(zé)人等)時(shí)的哪個(gè)變量(裝置的調(diào)整值、溫度、壓力、氣體流量等)是產(chǎn)生不合格的要因。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，對(duì)由上述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和上述目的變量應(yīng)用多變量分析法時(shí)，對(duì)于每一上述偽數(shù)據(jù)組，根據(jù)上述測(cè)試數(shù)據(jù)的值將該偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)分類成合 格品數(shù)據(jù)和不合格品數(shù)據(jù)，算出上述合格品數(shù)據(jù)的平均值，用該平均值填充該偽數(shù)據(jù)組內(nèi) 的空欄，按照上述各偽數(shù)據(jù)組的上述合格品數(shù)據(jù)的平均值基準(zhǔn)點(diǎn)相同的方式，將上述各偽 數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)變換到特征量空間，在上述特征量空間中，提取對(duì)上述不合格品數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的點(diǎn)與上述基準(zhǔn)點(diǎn)之間的 距離有貢獻(xiàn)的特征量，根據(jù)上述提取出的特征量，特定影響上述測(cè)試數(shù)據(jù)的上述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要 因。在這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，能高精度地特定影響上述測(cè)試數(shù)據(jù)的上 述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因。此外，上述基準(zhǔn)點(diǎn)最好是上述特征空間的原點(diǎn)。在這種情況下，計(jì)算處理簡(jiǎn)單。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在將上述各偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù) 變換到特征量空間時(shí)，將上述各偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化，使得上述合格品數(shù)據(jù)的平均值 為0而且標(biāo)準(zhǔn)偏差為1，之后，進(jìn)行上述變換。在這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，將上述各偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化，使 得上述合格品數(shù)據(jù)的平均值為0而且標(biāo)準(zhǔn)偏差為1。也就是說，使全部說明變量的尺度統(tǒng) 一。因而，能用相同的評(píng)價(jià)基準(zhǔn)評(píng)價(jià)各說明變量的影響度。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，算出定量表示上述工藝數(shù)據(jù)內(nèi) 的影響要因近似準(zhǔn)確的程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)，根據(jù)算出的評(píng)價(jià)指標(biāo)將上述影響要因作為候補(bǔ)排 列并輸出。在這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，根據(jù)算出的評(píng)價(jià)指標(biāo)將上述影響要因作 為候補(bǔ)排列并輸出。該輸出能取一覽表顯示的形態(tài)。因而，根據(jù)該輸出，用戶(包含制造工 藝的維護(hù)負(fù)責(zé)人、操作者，下文相同)能方便地判斷影響要因的確實(shí)性。即，用戶能從所輸 出的影響要因候補(bǔ)中最近似準(zhǔn)確的候補(bǔ)開始，依次確認(rèn)該候補(bǔ)是否實(shí)際為產(chǎn)生不合格品的 要因。因而，能以最小限度的勞力確認(rèn)發(fā)生不合格品的要因。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，利用主分量分析獲得上述特征
量空間。這一實(shí)施方式的影響要因特定方法，利用主分量分析獲得上述特征量空間。在這 種情況下，能防止說明變量之間具有強(qiáng)相關(guān)關(guān)系時(shí)的過量擬合。因而，分析精度提高。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在上述特征量空間中，算出將上 述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基準(zhǔn)的各上述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)，根據(jù)該貢獻(xiàn)獲得定 量表示上述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因近似準(zhǔn)確程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)。
這一實(shí)施方式的影響要因特定方法，在上述特征量空間算出將上述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基 準(zhǔn)的各上述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)，根據(jù)該貢獻(xiàn)獲得上述評(píng)價(jià)指標(biāo)。在 這種情況下，能算出相對(duì)于離開主分量空間內(nèi)的基準(zhǔn)點(diǎn)(其典型為原點(diǎn))的距離的各說明 變量的影響度。也就是說，可用數(shù)值方式表示各說明變量在何種程度上影響不合格品的發(fā) 生。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在上述特征量空間分別算出將 上述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基準(zhǔn)的各上述合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)和各上述不合格品 數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)，將表示這些貢獻(xiàn)之比的值作為定量表示上述工藝數(shù)據(jù)內(nèi) 的影響要因近似準(zhǔn)確程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)。這一實(shí)施方式的影響要因特定方法，將表示上述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基準(zhǔn)的各上述合格品 數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)與各上述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)之比 的值作為上述評(píng)價(jià)指標(biāo)。因而，能評(píng)價(jià)合格品條件與不合格品條件的差異。也就是說，即使 目的變量與要因的相關(guān)關(guān)系為線性相關(guān)和非線性相關(guān)中的任一相關(guān)關(guān)系，也能特定影響目 的變量的要因。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在上述特征量空間，從上述影響 要因的候補(bǔ)去除以上述基本點(diǎn)為基準(zhǔn)的各上述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn) 比某閾值要小的變量。這一實(shí)施方式的影響要因特定方法，從上述影響要因的候補(bǔ)去除以上述基準(zhǔn)點(diǎn)為 基準(zhǔn)的各上述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)比某閾值要小的變量。因而，可去 掉對(duì)不合格品的產(chǎn)生幾乎沒有影響的噪聲等造成的微小影響要因。一種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在基板上制造多個(gè)上述制品，對(duì)每一上述基板進(jìn)行基于上述測(cè)試數(shù)據(jù)的值的合格品和不合格品的判別。這一一實(shí)施方式的影響要因特定方法，對(duì)每一基板進(jìn)行合格品和非合格品的判 別。這樣進(jìn)行的情況下，與對(duì)每一上述制品進(jìn)行合格品和非合格品判別時(shí)相比，能減少數(shù) 據(jù)，對(duì)概略掌握并分析產(chǎn)生不合格品的趨勢(shì)有效。—種實(shí)施方式的影響要因特定方法，其特征在于，在基板上制造多個(gè)上述制品，對(duì)每一上述制品進(jìn)行基于上述測(cè)試數(shù)據(jù)的值的合格品和不合格品的判別。這一實(shí)施方式的影響要因特定方法，對(duì)每一上述制品進(jìn)行基于上述測(cè)試數(shù)據(jù)的值 的合格品和不合格品的判別。因而，能以制品為單位精度良好地分析產(chǎn)生不合格品的要因。 還能通過將制品在基板上的位置用于說明變量，分析基板上的位置與產(chǎn)生不合格的關(guān)系。本發(fā)明的影響要因特定裝置，對(duì)分析對(duì)象數(shù)據(jù)特定說明變量中影響目的變量的要因，該分析對(duì)象數(shù)據(jù)根據(jù)這些 變量的變化包含多組數(shù)據(jù)，上述多組數(shù)據(jù)相當(dāng)于含1種以上的質(zhì)變量和該質(zhì)變量所對(duì)應(yīng)的 1種以上的量變量的上述說明變量的數(shù)據(jù)、和相當(dāng)于用上述說明變量說明的上述目的變量 的數(shù)據(jù)，上述影響要因特定裝置包括數(shù)據(jù)變換部，該數(shù)據(jù)變換部根據(jù)上述說明變量中的上述質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)將上述說明變量中的上述量變量組成的各數(shù)據(jù)組分別分成多個(gè)段，對(duì)每一上述段分別用該段和補(bǔ) 足該段的空欄獲得能作為量變量處理的偽數(shù)據(jù)組；以及，影響要因分析部，該影響要因分析部對(duì)由上述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和 上述目的變量應(yīng)用多變量分析法，來特定影響上述目的變量的影響要因。在本發(fā)明的影響要因特定裝置中，首先，數(shù)據(jù)變換部根據(jù)上述說明變量中的上述 質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)將分析對(duì)象數(shù)據(jù)包含的說明變量中的量變量組成的各數(shù)據(jù)組分別劃分 成多個(gè)段。由此，對(duì)每一上述段分別用該段和補(bǔ)足該段的空欄獲得能作為量變量處理的偽 數(shù)據(jù)組。然后，影響要因分析部對(duì)由上述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和上述目的變量 應(yīng)用多變量分析法，來特定影響上述目的變量的影響要因。在這樣處理的情況下，即使說明變量中混有質(zhì)變量和量變量也能進(jìn)行分析。不需 要目的變量與說明變量的相關(guān)關(guān)系為線性的前提。而且，不產(chǎn)生信息損失。一種實(shí)施方式的影響要因特定裝置，其特征在于，上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)是涉及包含1個(gè)以上制造工序的制造工藝的數(shù)據(jù)，上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)中包含的上述說明變量由記錄上述各制造工序的制造條件的 工藝數(shù)據(jù)組成，上述目的變量由將對(duì)上述制造工藝的制品的檢查結(jié)果作為質(zhì)變量或量變量記錄 的測(cè)試數(shù)據(jù)組成，上述各變量的變化相當(dāng)于上述工藝數(shù)據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)在每一制品的變化，上述影響要因特定裝置包括數(shù)據(jù)讀入部，該數(shù)據(jù)讀入部帶有關(guān)聯(lián)關(guān)系地取得上述工藝數(shù)據(jù)和上述測(cè)試數(shù)據(jù)； 以及，輸出部，該輸出部進(jìn)行表示上述影響要因分析部特定的影響要因的顯示。這一實(shí)施方式的影響要因特定裝置中，作為上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)讀入部帶有 關(guān)聯(lián)關(guān)系地取得涉及制造工藝的上述工藝數(shù)據(jù)和上述測(cè)試數(shù)據(jù)。然后，輸出部進(jìn)行表示上 述影響要因分析部特定的影響要因的顯示。因而，根據(jù)該顯示，用戶能方便地判斷影響要因 的確實(shí)性。一種實(shí)施方式的影響要因特定裝置，其特征在于，包括算出表示上述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因的近似準(zhǔn)確程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)的評(píng)價(jià)指 標(biāo)計(jì)算部，上述輸出部根據(jù)該算出的評(píng)價(jià)指標(biāo)排列并輸出上述影響要因的候補(bǔ)。這一實(shí)施方式的影響要因特定裝置中，上述輸出部根據(jù)算出的定量的評(píng)價(jià)指標(biāo)排 列并輸出上述影響要因的候補(bǔ)。該輸出能取一覽表顯示的形態(tài)。因而，根據(jù)該輸出，用戶能 方便地判斷影響要因的確實(shí)性。即，用戶能從所輸出的影響要因候補(bǔ)中最近似準(zhǔn)確的候補(bǔ) 開始，依次確認(rèn)該候補(bǔ)是否實(shí)際為發(fā)生不合格品的要因。因而，能以最小限度的勞力確認(rèn)產(chǎn) 生不合格品的要因。此外，上述輸出部最好根據(jù)用戶的指示或自動(dòng)地使對(duì)該影響要因的候補(bǔ)的工藝數(shù) 據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)、以及將這些工藝數(shù)據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)圖形化的數(shù)據(jù)顯示在顯示屏幕上。這樣處 理的情況下，用戶能方便地從所輸出的影響要因候補(bǔ)中最近似準(zhǔn)確的候補(bǔ)開始，依次確認(rèn) 該候補(bǔ)是否實(shí)際為發(fā)生不合格品的要因。
本發(fā)明的影響要因特定程序用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行上述影響要因特定方法。本發(fā)明的記錄介質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀取，其特征在于，記錄上述影響要因特定程序。


圖1是用于說明應(yīng)用以往的I類數(shù)量化法的方法的、示例說明變量中混有質(zhì)變量 和量變量的數(shù)據(jù)的圖。圖2是示出將圖1中的變量變換成虛擬變量而得到的數(shù)據(jù)的圖。圖3是示出累計(jì)圖2中的數(shù)據(jù)而得到的交叉制表。圖4是示出本發(fā)明一實(shí)施方式的影響要因特定方法的處理流程的圖。圖5是示出減少質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)中用于劃分?jǐn)?shù)據(jù)組的水準(zhǔn)的數(shù)量的處理流程 的圖。圖6是將應(yīng)用影響要因特定方法的分析對(duì)象數(shù)據(jù)作為數(shù)據(jù)陣示出的圖。圖7是將包含偽數(shù)據(jù)組的集合的新分析對(duì)象數(shù)據(jù)作為數(shù)據(jù)陣示出的圖，該偽數(shù)據(jù) 組是根據(jù)各說明變量中的質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)分別將圖6中說明變量中的量變量組成的各 數(shù)據(jù)組分成多個(gè)段而得到的。圖8是示出包含圖7所示偽數(shù)據(jù)組集合的數(shù)據(jù)陣中建立合格品數(shù)據(jù)的局部陣Xg 的圖。圖9是示出包含圖7所示偽數(shù)據(jù)組集合的數(shù)據(jù)陣中建立不合格品數(shù)據(jù)的局部陣Xb 的圖。圖10是示出將圖8所示的陣Xg標(biāo)準(zhǔn)化后得到的陣的圖。圖11是示出將圖9所示的陣Xb標(biāo)準(zhǔn)化后得到的陣的圖。圖12是示出將圖7所示數(shù)據(jù)陣作為對(duì)象時(shí)在主分量分析過程算出的陣SR的圖。圖13是示出將圖7所示數(shù)據(jù)陣作為對(duì)象時(shí)在主分量分析過程算出的陣VR的圖。圖14是示出相當(dāng)于上述主分量分析的特征量空間中的合格品數(shù)據(jù)的坐標(biāo)的主分 量得分TgR的圖。圖15是示出相當(dāng)于上述主分量分析的特征量空間中的不合格品數(shù)據(jù)的坐標(biāo)的主 分量得分TbR的圖。圖16是示出上述主分量分析的主分量得分TR的協(xié)方差陣Σ T的圖。圖17是示出上述主分量分析的霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的圖。圖18是示出對(duì)上述主分量分析中的第ρ變量的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)的圖。圖19是示出對(duì)上述合格品數(shù)據(jù)算出的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)的圖。圖20是示出對(duì)上述不合格品數(shù)據(jù)算出的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)的圖。圖21是示出對(duì)上述合格品數(shù)據(jù)的第ρ變量的T2統(tǒng)計(jì)量的歸一化后的貢獻(xiàn)的圖。圖22是示出對(duì)上述不合格品數(shù)據(jù)的第ρ變量的T2統(tǒng)計(jì)量的歸一化后的貢獻(xiàn)的圖。圖23是示出將圖7所示數(shù)據(jù)陣當(dāng)作對(duì)象時(shí)作為用于影響要因特定的評(píng)價(jià)指標(biāo)算 出的乖離度指標(biāo)IoK的圖。圖24是示出用該乖離度指標(biāo)IoK按遞減的順序以一覽表的形態(tài)輸出影響要因的 候補(bǔ)的例子的圖。圖25是畫出作為影響要因候補(bǔ)的項(xiàng)目“Α工序_A1 (1號(hào)機(jī))”的值與檢查結(jié)果的對(duì)應(yīng)關(guān)系的分布圖。圖26是示出對(duì)作為圖6所示A工序所涉及的質(zhì)變量的裝置編號(hào)1號(hào)機(jī)、2號(hào)機(jī)和 作為B工序所涉及質(zhì)變量的裝置編號(hào)1號(hào)機(jī)、2號(hào)機(jī)總結(jié)投放數(shù)、不合格數(shù)、不合格率而得到 的表的圖。圖27是示出總結(jié)作為A工序的1號(hào)機(jī)、2號(hào)機(jī)所涉及的目的變量的檢查結(jié)果(測(cè) 試數(shù)據(jù))而得到的表的圖。圖28是示出總結(jié)作為B工序的1號(hào)機(jī)、2號(hào)機(jī)所涉及的目的變量的檢查結(jié)果(測(cè) 試數(shù)據(jù))而得到的表的圖。圖29是示出適合實(shí)施上述影響要因特定方法的影響要因特定裝置的方框結(jié)構(gòu)的 圖。符號(hào)說明
200-影響要因特定裝置
201-輸入裝置
202-用戶接口
203-數(shù)據(jù)讀入部
204-數(shù)據(jù)處理部
205-評(píng)價(jià)值計(jì)算部
206-輸出部
207-顯示裝置
208-工藝數(shù)據(jù)保管裝置
213-測(cè)試數(shù)據(jù)保管裝置
220-主體
300-制造工藝
具體實(shí)施例方式下面，利用附圖所示的實(shí)施方式詳細(xì)說明本發(fā)明。本發(fā)明一實(shí)施方式的影響要因特定方法將涉及包含A工序和B工序這兩個(gè)制造工 序的制造工藝的數(shù)據(jù)作為分析對(duì)象數(shù)據(jù)。上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)中包含的說明變量包含記錄各制造工序的制造條件的工藝數(shù) 據(jù)。各制造工序的制造條件廣泛包含作為質(zhì)變量的裝置編號(hào)或制造訣竅、負(fù)責(zé)人等類別、及 作為量變量的裝置調(diào)整值、溫度、壓力、氣體流量等運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。在圖6的例子中，在A工序中 包含作為質(zhì)變量的裝置編號(hào)(1號(hào)機(jī)、2號(hào)機(jī))、作為量變量的調(diào)整值(A工序_A1、A工序_ A2)。另外，在B工序中包含作為質(zhì)變量的裝置編號(hào)(1號(hào)機(jī)、2號(hào)機(jī))、作為量變量的調(diào)整值 (B工序_B1、B工序_B2)。上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)中包含的目的變量由測(cè)試數(shù)據(jù)組成，該測(cè)試數(shù)據(jù)將上述制造工 藝的制品的檢查結(jié)果(做出的結(jié)果或性能評(píng)價(jià)結(jié)果)記錄作為質(zhì)變量或量變量。在圖6的 例子中，作為量變量(數(shù)值數(shù)據(jù))包含對(duì)制品的檢查結(jié)果。使每一制品(Lot01、Lot02、……)與上述說明變量和目的變量相對(duì)應(yīng)。上述說明 變量、目的變量的變化分別相當(dāng)于上述工藝數(shù)據(jù)、測(cè)試數(shù)據(jù)在每一制品的變化。
在圖6的例子中，對(duì)于每一制品(Lot01、Lot02、……)，作為目的變量的檢查結(jié)果 (測(cè)試數(shù)據(jù))按2. 10,2. 71、……這樣進(jìn)行變化。在本例中，若檢查結(jié)果為0至3. 5范圍內(nèi) 的值，則為“合格品”，若為該范圍以外的值，則為“不合格品”。另外，對(duì)于每一制品(Lot01、Lot02、……)，作為說明變量的工藝數(shù)據(jù)被設(shè)定或變 化如下。即，A工序中，制品LotOl至制品LotlO使用裝置編號(hào)“1號(hào)機(jī)”，制品Lotll至制 品Lot20使用裝置編號(hào)“2號(hào)機(jī)”。A工序中，對(duì)于每一制品(LotOU Lot02、……)，調(diào)整值 “A工序_A1”按0. 17、0.41、……這樣進(jìn)行變化，調(diào)整值“Α工序_Α2”按0. 31、0. 76、…… 這樣進(jìn)行變化。另一方面，B工序中，制品LotOl至制品Lot05使用裝置編號(hào)“1號(hào)機(jī)”，制品 Lot06至制品LotlO使用裝置編號(hào)“2號(hào)機(jī)”，制品Lotll至制品Lotl5使用裝置編號(hào)“1號(hào) 機(jī)”，并且制品Lotl6至制品Lot20使用裝置編號(hào)“2號(hào)機(jī)”。B工序中，對(duì)于每一制品(LotO 1、 Lot02、……)，調(diào)整值1工序_81”按0.16、0.35、……這樣進(jìn)行變化，調(diào)整值“B工序_ B2”按0.98、0.03、……這樣進(jìn)行變化。在圖6的例子中，將工藝數(shù)據(jù)中A工序的裝置編號(hào)“1號(hào)機(jī)”和“2號(hào)機(jī)”、B工序的 裝置編號(hào)“1號(hào)機(jī)”和“2號(hào)機(jī)”分別作為質(zhì)變量具有的“水準(zhǔn)”加以掌握。另外，將圖6中的量變量組成的數(shù)據(jù)(例如調(diào)整值“A工序_A1”的數(shù)據(jù))從制品 LotOl至Lot20發(fā)生變化的20個(gè)數(shù)據(jù)的組稱為“數(shù)據(jù)組”。在這一實(shí)施方式的影響要因特定方法中，對(duì)上述分析對(duì)象數(shù)據(jù)按照?qǐng)D4所示的流 程來特定作為說明變量的工藝數(shù)據(jù)中的、對(duì)作為目的變量的檢查結(jié)果施加影響的要因。(i)首先，圖4的步驟SlOl中，根據(jù)說明變量中的質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)分別將說明變 量中的量變量組成的各數(shù)據(jù)組分成多個(gè)段。例如，將圖6中的調(diào)整值“A工序_A1”的數(shù)據(jù)組如圖7所示那樣根據(jù)A工序的裝 置編號(hào)“ 1號(hào)機(jī)”和“2號(hào)機(jī)”的這兩個(gè)水準(zhǔn)分成兩個(gè)段(“Α工序_A1 (1號(hào)機(jī))，，欄的10個(gè) 數(shù)據(jù)和“A工序_A1(2號(hào)機(jī))”欄)的10個(gè)數(shù)據(jù)。同樣，將圖6中的調(diào)整值“A工序_A2”的 數(shù)據(jù)組如圖7所示那樣根據(jù)A工序的裝置編號(hào)“ 1號(hào)機(jī)”和“2號(hào)機(jī)”這兩個(gè)水準(zhǔn)分成兩個(gè) 段(“A工序_A2 (1號(hào)機(jī))，，欄的10個(gè)數(shù)據(jù)和“A工序_A2 (2號(hào)機(jī))，，欄的10個(gè)數(shù)據(jù)。另外，將圖6中的調(diào)整值“B工序_B1”的數(shù)據(jù)組如圖7所示那樣根據(jù)B工序的裝置 編號(hào)“ 1號(hào)機(jī)”和“2號(hào)機(jī)”這兩個(gè)水準(zhǔn)分成兩個(gè)段(“B工序_B1 (1號(hào)機(jī))”欄的5個(gè)X 2 (共 10個(gè))數(shù)據(jù)和“B工序_B1 (2號(hào)機(jī))”欄的5個(gè)X 2 (共10個(gè))數(shù)據(jù)。同樣，將圖6中的調(diào) 整值“B工序_B2”的數(shù)據(jù)組如圖7所示那樣根據(jù)B工序的裝置編號(hào)“1號(hào)機(jī)”和“2號(hào)機(jī)” 這兩個(gè)水準(zhǔn)分成兩個(gè)段(“B工序_B2 (1號(hào)機(jī))”欄的5個(gè)X 2 (共10個(gè))數(shù)據(jù)和“B工序 _B2(2號(hào)機(jī))”欄的5個(gè)X2(共10個(gè))數(shù)據(jù)。(ii)其次，在圖4中的步驟S102,如這種的"A工序_A1 (1號(hào)機(jī))，，欄、‘‘A工序_ Al (2號(hào)機(jī))”欄、“B工序_B1 (1號(hào)機(jī))”欄、“B工序_B1 (2號(hào)機(jī))”欄那樣，分別將作為量變 量的數(shù)據(jù)段和補(bǔ)足該數(shù)據(jù)段的空欄(圖7中斜線所示的部分)組成的組當(dāng)作“偽數(shù)據(jù)組”。 在該階段中，空欄中無數(shù)據(jù)。這些偽數(shù)據(jù)組可作為量變量處理，后文將講述。(iii)接著，在圖4中的步驟ST103，對(duì)上述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和上 述目的變量應(yīng)用多變量分析法來特定影響上述目的變量的影響要因。在該例中，作為多變 量分析法，進(jìn)行主分量分析。如對(duì)圖6所述那樣，在本例中，若作為上述目的變量的檢查結(jié)果(測(cè)試數(shù)據(jù))為O至3. 5范圍內(nèi)的值，則為“合格品”，若為該范圍以外的值則為“不合格品”。將包含圖7所示偽數(shù)據(jù)組的集合的工藝數(shù)據(jù)建立的數(shù)據(jù)陣X設(shè)為下式(N 數(shù)據(jù)的 數(shù)量，P 變量的數(shù)量)。X e Rnxp然后，對(duì)于每一偽數(shù)據(jù)組，根據(jù)上述測(cè)試數(shù)據(jù)的值，將該偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)判別為 合格品數(shù)據(jù)和不合格品數(shù)據(jù)。然后，將該數(shù)據(jù)陣X中的、對(duì)基于測(cè)試數(shù)據(jù)被判斷為合格品的 制品的數(shù)據(jù)(下文稱為“合格品數(shù)據(jù)”)建立的局部陣Xg如圖8所示那樣設(shè)為下式(Ng:特 性正常的數(shù)據(jù)的數(shù)量)。Xg e Rnsxp又將該數(shù)據(jù)陣X中的、對(duì)基于測(cè)試數(shù)據(jù)被判斷為不合格品的制品的數(shù)據(jù)(下文稱 為“不合格品數(shù)據(jù)”)建立的局部陣Xb如圖9所示那樣設(shè)為下式(Nb 特性不合格的數(shù)據(jù)的
數(shù)量)。Xb e RNbxp此外，在本例中，用合格品、不合格品的全部數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，但也可用將合格品或 不合格品或者這兩者的數(shù)據(jù)分群，來使用一部分?jǐn)?shù)據(jù)的方法。接著，在圖8所示的陣Xg中，對(duì)每一偽數(shù)據(jù)組算出該偽數(shù)據(jù)組中所包含的合格品 數(shù)據(jù)的平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差值。在本例中，用該平均值填充該偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的空欄。對(duì)每一偽 數(shù)據(jù)組，用上述平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差值對(duì)該偽數(shù)據(jù)組進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。如圖10所示，將由該標(biāo)準(zhǔn) 化得到的陣設(shè)為&。另外，在圖9所示的陣Xb中，對(duì)于每一偽數(shù)據(jù)組，用該數(shù)據(jù)組所對(duì)應(yīng)的 陣Xg中的偽數(shù)據(jù)組的標(biāo)準(zhǔn)化中所使用的上述平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差值來進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化。如圖11 所示，將由該標(biāo)準(zhǔn)化得到的陣設(shè)為涵。應(yīng)當(dāng)注意的是，圖10、圖11中，在圖8、圖9中分別形 成空欄的部位因使用上述平均值的上述標(biāo)準(zhǔn)化而數(shù)據(jù)變?yōu)?。接著，將圖10、圖11所示的&、萬作為對(duì)象進(jìn)行主分量分析。首先，對(duì)圖10所示的陣進(jìn)行奇異值分解并獲得下式。
__「y ο Xg = USV =[UR U0] ^ s [VR Vj此處，上式中，U和V是正交陣。S是對(duì)角陣，在該對(duì)角元素中，奇異值sr按降序排 列。R是采用的主分量的數(shù)量。UR是將U中到第R列為止的部分作為元素的局部陣。SR是 如圖12所示那樣將S中到R行、R列為止的部分作為元素的局部陣。另外，VR是如圖13所 示那樣將V中到第R列為止的部分作為元素的局部陣。對(duì)于該陣，利用下式算出相當(dāng)于特征量空間中的合格品數(shù)據(jù)的坐標(biāo)的主分量得分 TgR (參考圖14)。TgR=XgVR同樣，對(duì)于圖11所示的陣，利用下式算出相當(dāng)于特征量空間中的不合格品數(shù)據(jù)的 坐標(biāo)的主分量得分TbR(參考圖15)。Tbft = XbVR圖14、圖15所示的TgR、TbR中，從第1列開始，依次為第1主分量、第2主分量、……、第R主分量。(iv)接著，在圖4中的步驟S103中進(jìn)行特定影響要因用的分析。首先，利用下式算出主分量得分TR的協(xié)方差陣Σ Τ(參考圖16)。
權(quán)利要求
1.一種影響要因特定方法，其特征在于，對(duì)分析對(duì)象數(shù)據(jù)特定說明變量中影響目的變量的要因，該分析對(duì)象數(shù)據(jù)根據(jù)這些變 量的變化包含多組數(shù)據(jù)，該多組數(shù)據(jù)相當(dāng)于含1種以上的質(zhì)變量及該質(zhì)變量所對(duì)應(yīng)的1種 以上的量變量的所述說明變量的數(shù)據(jù)、和相當(dāng)于用所述說明變量說明的所述目的變量的數(shù) 據(jù)，根據(jù)所述說明變量中的所述質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)將由所述說明變量中的所述量變量組 成的各數(shù)據(jù)組分別分成多個(gè)段，對(duì)每一所述段分別用該段和補(bǔ)足該段的空欄獲得能作為量 變量處理的偽數(shù)據(jù)組，對(duì)由所述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和所述目的變量應(yīng)用多變量分析法，來特定 影響所述目的變量的影響要因。
2.如權(quán)利要求1所述的影響要因特定方法，其特征在于，在將由所述說明變量中的所述量變量組成的各數(shù)據(jù)組分成多個(gè)段前， 選擇所述說明變量中的某質(zhì)變量具有的某水準(zhǔn)， 根據(jù)該水準(zhǔn)將所述說明變量中包含的全部數(shù)據(jù)組分成多個(gè)數(shù)據(jù)群， 在分群后的所述多個(gè)數(shù)據(jù)群之間判斷這些數(shù)據(jù)群對(duì)應(yīng)的所述目的變量的值之間是否 存在顯著差，僅在存在所述顯著差時(shí)采用該水準(zhǔn)。
3.如權(quán)利要求2所述的影響要因特定方法，其特征在于，判斷所述目的變量的值之間是否存在顯著差時(shí)，使用F檢驗(yàn)、決策樹分析或相關(guān)法則。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的影響要因特定方法，其特征在于，所述分析對(duì)象數(shù)據(jù)是涉及包含1個(gè)以上制造工序的制造工藝的數(shù)據(jù)， 所述分析對(duì)象數(shù)據(jù)中包含的所述說明變量由記錄所述各制造工序的制造條件的工藝 數(shù)據(jù)組成，所述目的變量由將所述制造工藝得到的制品的檢查結(jié)果作為質(zhì)變量或量變量以記錄 的測(cè)試數(shù)據(jù)組成，所述各變量的變化相當(dāng)于所述工藝數(shù)據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)在每一制品的變化。
5.如權(quán)利要求4所述的影響要因特定方法，其特征在于，對(duì)由所述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和所述目的變量應(yīng)用多變量分析法，這時(shí)， 對(duì)每一所述偽數(shù)據(jù)組根據(jù)所述測(cè)試數(shù)據(jù)的值將該偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)分類成合格品數(shù) 據(jù)和不合格品數(shù)據(jù)，并算出所述合格品數(shù)據(jù)的平均值，用該平均值填充該偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的空 欄，以所述各偽數(shù)據(jù)組的所述合格品數(shù)據(jù)的平均值成為同一基準(zhǔn)點(diǎn)的方式，將所述各偽數(shù) 據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)變換到特征量空間，在所述特征量空間提取對(duì)與所述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的點(diǎn)和所述基準(zhǔn)點(diǎn)之間的距離有 貢獻(xiàn)的特征量，根據(jù)所述提取出的特征量特定影響所述測(cè)試數(shù)據(jù)的所述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因。
6.如權(quán)利要求5所述的影響要因特定方法，其特征在于，在將所述各偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)變換到特征量空間時(shí)，將所述各偽數(shù)據(jù)組內(nèi)的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn) 化，使得所述合格品數(shù)據(jù)的平均值為0且標(biāo)準(zhǔn)偏差為1，然后，進(jìn)行所述變換。
7.如權(quán)利要求5所述的影響要因特定方法，其特征在于，算出定量表示所述工藝規(guī)程數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因近似準(zhǔn)確的程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)，根據(jù)算出 的評(píng)價(jià)指標(biāo)將所述影響要因作為候補(bǔ)排列并輸出。
8.如權(quán)利要求5所述的影響要因特定方法，其特征在于，利用主分量分析獲得所述特征量空間。
9.如權(quán)利要求8所述的影響要因特定方法，其特征在于，在所述特征量空間，算出將所述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基準(zhǔn)的各所述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2 統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)，根據(jù)此貢獻(xiàn)獲得定量表示所述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因近似準(zhǔn)確程度的評(píng)價(jià) 指標(biāo)。
10.如權(quán)利要求8所述的影響要因特定方法，其特征在于，在所述特征量空間，分別算出將所述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基準(zhǔn)的各所述合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的 T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)和各所述不合格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)，將表示這些貢獻(xiàn)之比 的值作為定量表示所述工藝規(guī)程數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因近似準(zhǔn)確程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)。
11.如權(quán)利要求8所述的影響要因特定方法，其特征在于，在所述特征量空間，從所述影響要因的候補(bǔ)去除將所述基準(zhǔn)點(diǎn)作為基準(zhǔn)的各所述不合 格品數(shù)據(jù)對(duì)霍特林的T2統(tǒng)計(jì)量的貢獻(xiàn)比某閾值要小的變量。
12.如權(quán)利要求5所述的影響要因特定方法，其特征在于，在基板上制造多個(gè)所述制品，對(duì)每一所述基板進(jìn)行基于所述測(cè)試數(shù)據(jù)的值的合格品和不合格品的判別。
13.如權(quán)利要求5所述的影響要因特定方法，其特征在于，在基板上制造多個(gè)所述制品，對(duì)每一所述制品進(jìn)行基于所述測(cè)試數(shù)據(jù)的值的合格品和不合格品的判別。
14.一種影響要因特定裝置，其特征在于，對(duì)分析對(duì)象數(shù)據(jù)特定說明變量中影響目的變量的要因，該分析對(duì)象數(shù)據(jù)根據(jù)這些變 量的變化包含多組數(shù)據(jù)，該多組數(shù)據(jù)相當(dāng)于含1種以上的質(zhì)變量及該質(zhì)變量所對(duì)應(yīng)的1種 以上的量變量的所述說明變量的數(shù)據(jù)、和相當(dāng)于用所述說明變量說明的所述目的變量的數(shù) 據(jù)，所述影響要因特定裝置包括數(shù)據(jù)變換部，該數(shù)據(jù)變換部根據(jù)所述說明變量中的所述質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)將由所述說 明變量中的所述量變量組成的各數(shù)據(jù)組分別分成多個(gè)段，對(duì)每一所述段分別用該段和補(bǔ)足 該段的空欄獲得能作為量變量處理的偽數(shù)據(jù)組；影響要因分析部，該影響要因分析部對(duì)由所述偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和所述 目的變量應(yīng)用多變量分析法，來特定影響所述目的變量的影響要因。
15.如權(quán)利要求14所述的影響要因特定裝置，其特征在于，所述分析對(duì)象數(shù)據(jù)是涉及包含1個(gè)以上制造工序的制造工藝的數(shù)據(jù)，所述分析對(duì)象數(shù)據(jù)中包含的所述說明變量由記錄所述各制造工序的制造條件的工藝 數(shù)據(jù)組成，所述目的變量由將所述制造工藝得到的制品的檢查結(jié)果作為質(zhì)變量或量變量以記錄 的測(cè)試數(shù)據(jù)組成，所述各變量的變化相當(dāng)于所述工藝數(shù)據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)在每一制品的變化；所述影響要因特定裝置包括數(shù)據(jù)讀入部，該數(shù)據(jù)讀入部帶有關(guān)聯(lián)關(guān)系地取得所述工藝數(shù)據(jù)和所述測(cè)試數(shù)據(jù)；以及， 輸出部，該輸出部進(jìn)行表示所述影響要因分析部特定的影響要因的顯示。
16.如權(quán)利要求15所述的影響要因特定裝置，其特征在于，包括算出表示所述工藝數(shù)據(jù)內(nèi)的影響要因的近似準(zhǔn)確程度的評(píng)價(jià)指標(biāo)的評(píng)價(jià)指標(biāo)計(jì) 算部，所述輸出部根據(jù)該算出的評(píng)價(jià)指標(biāo)排列并輸出所述影響要因的候補(bǔ)。
17.一種影響要因特定程序，其特征在于，用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行權(quán)利要求1中記載的影響要因特定方法。
18.—種記錄介質(zhì)，計(jì)算機(jī)可讀取，其特征在于，記錄權(quán)利要求17中記載的影響要因特定程序。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種影響要因特定方法。分析對(duì)象數(shù)據(jù)根據(jù)說明變量和目的變量的變化，包含多組數(shù)據(jù)，該多組數(shù)據(jù)相當(dāng)于含1種以上的質(zhì)變量與該質(zhì)變量所對(duì)應(yīng)的1種以上的量變量的所述說明變量的數(shù)據(jù)、和相當(dāng)于用所述說明變量說明的所述目的變量的數(shù)據(jù)。根據(jù)所述說明變量中的質(zhì)變量具有的水準(zhǔn)將說明變量中的量變量組成的各數(shù)據(jù)組分別分成多個(gè)段(S101)。由此，對(duì)每一段分別用該段和補(bǔ)足該段的空欄獲得能作為量變量處理的偽數(shù)據(jù)組(S102)。對(duì)由偽數(shù)據(jù)組的集合組成的說明變量和目的變量應(yīng)用多變量分析法特定影響目的變量的影響要因(S103)。
文檔編號(hào)G06Q50/00GK102007510SQ20098011373
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2009年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月15日
發(fā)明者一色昭壽 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社