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成像領(lǐng)域中的改進(jìn)的制作方法

文檔序號(hào):6595611閱讀:237來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:成像領(lǐng)域中的改進(jìn)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及用于提供可以從中生成目標(biāo)對(duì)象圖像的圖像數(shù)據(jù)的經(jīng)改進(jìn)的方法和
直O(jiān)
背景技術(shù)
WO 2005/106531(其內(nèi)容結(jié)合于此作為參考)公開(kāi)了一種用于產(chǎn)生目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的高分辨率圖像的方法和裝置。在所公開(kāi)的裝置和方法中,入射輻射落在目標(biāo)對(duì)象上并在其穿過(guò)和越過(guò)目標(biāo)對(duì)象時(shí)被散射,使得入射輻射的波函數(shù)相對(duì)于對(duì)象前目標(biāo)側(cè)處的入射輻射的波函數(shù)在振幅和相位這兩方面都被修改。諸如CCD檢測(cè)器的檢測(cè)器陣列被配置為與目標(biāo)對(duì)象相距適當(dāng)?shù)木嚯x,并且衍射圖樣通過(guò)傳播至衍射面而形成。在一個(gè)實(shí)施方式中,孔徑定位在對(duì)象之后,以選擇目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域用于研究。在另一實(shí)施方式中,弱調(diào)焦透鏡被用于照明對(duì)象的區(qū)域。使用所形成的衍射圖樣作為由檢測(cè)器陣列測(cè)量的輸入數(shù)據(jù)以及使用知曉的、通過(guò)孔徑或弱調(diào)焦透鏡形成的探針函數(shù),一種算法被用于按照二維復(fù)值函數(shù)的形式來(lái)確定用于目標(biāo)對(duì)象的對(duì)象函數(shù)。在WO 2005/106531中具體參照該文獻(xiàn)的圖7解釋了此算法。應(yīng)該理解,該算法需要重復(fù)迭代,直到發(fā)生預(yù)定事件。例如,該迭代可以重復(fù)1000次,或者直到誤差平方和(SSE)足夠小。算法的重復(fù)意味著相當(dāng)大的處理需求,即使在相對(duì)快速的處理器上也要耗費(fèi)可觀的處理時(shí)間。例如,使用具有因特爾“Core22GHZ”中央處理單元(CPU) 的PC的測(cè)試示出了該方法的單次迭代對(duì)于641000X 1000像素衍射圖樣的集合耗費(fèi)85秒。 典型地,可能需要該方法的10次迭代(其耗費(fèi)大約14分鐘)來(lái)產(chǎn)生高分辨率圖像。期望克服或至少緩解該問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施方式的一個(gè)目的在于允許在較短的時(shí)段內(nèi)產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù),從中可以任選地產(chǎn)生包括高分辨率圖像的圖像。本發(fā)明實(shí)施方式的一個(gè)目的在于提供用于在相對(duì)較短的時(shí)段內(nèi)生成波長(zhǎng)受限圖像數(shù)據(jù)的方法和裝置。根據(jù)本發(fā)明的第一方面,提供了一種用于提供目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)的、基于計(jì)算機(jī)的方法,包括以下步驟估計(jì)表示目標(biāo)對(duì)象的該區(qū)域的第一子區(qū)域的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù);估計(jì)表示目標(biāo)對(duì)象的該區(qū)域的第二子區(qū)域的至少一個(gè)特征的第二中間對(duì)象函數(shù);以及組合第一中間對(duì)象函數(shù)和第二中間對(duì)象函數(shù),以形成表示目標(biāo)對(duì)象的該區(qū)域的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。根據(jù)本發(fā)明的第二方面,提供了一種在沒(méi)有相對(duì)于目標(biāo)對(duì)象以高分辨率定位目標(biāo)對(duì)象后側(cè)的孔徑或入射輻射的情況下,提供目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)的方法,包括以下步驟在目標(biāo)對(duì)象處提供來(lái)自輻射源的入射輻射;經(jīng)由至少一個(gè)檢測(cè)器,檢測(cè)由該目標(biāo)對(duì)象散射的輻射強(qiáng)度;響應(yīng)于檢測(cè)到的強(qiáng)度,估計(jì)分別表示目標(biāo)對(duì)象的該區(qū)域的第一子區(qū)域的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù)以及第二子區(qū)域的至少一個(gè)特征的第二中間對(duì)象函數(shù);以及組合第一對(duì)象函數(shù)和第二對(duì)象函數(shù),以形成表示目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。根據(jù)本發(fā)明的第三方面,提供了一種用于提供關(guān)于目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)的裝置,包括第一計(jì)算單元,被配置為估計(jì)表示目標(biāo)對(duì)象的該區(qū)域的第一子區(qū)域的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù);以及第二計(jì)算單元,用于估計(jì)表示目標(biāo)對(duì)象的該區(qū)域的第二子區(qū)域的至少一個(gè)特征的第二中間對(duì)象函數(shù);其中,計(jì)算單元,被配置為組合第一對(duì)象函數(shù)和第二對(duì)象函數(shù),以形成表示目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。根據(jù)本發(fā)明的第四方面,提供了一種用于提供圖像數(shù)據(jù)的設(shè)備,該圖像數(shù)據(jù)用于生成目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像,該設(shè)備包括定位裝置,用于將目標(biāo)對(duì)象定位于預(yù)定位置;輻射源,用于在通過(guò)該定位裝置定位的目標(biāo)對(duì)象處提供入射輻射;至少一個(gè)檢測(cè)器裝置,用于檢測(cè)由該目標(biāo)對(duì)象散射的輻射強(qiáng)度;輻射定位裝置,用于在相對(duì)于該目標(biāo)對(duì)象的一個(gè)或多個(gè)位置處定位位于目標(biāo)對(duì)象后側(cè)的入射輻射或者孔徑;第一處理裝置,用于響應(yīng)于檢測(cè)到的來(lái)自目標(biāo)對(duì)象的子區(qū)域的散射的輻射強(qiáng)度來(lái)確定第一中間對(duì)象函數(shù),該目標(biāo)對(duì)象的子區(qū)域包括由輻射定位裝置選擇的一個(gè)或多個(gè)區(qū)域;以及第二處理裝置,用于響應(yīng)于檢測(cè)到的來(lái)自目標(biāo)對(duì)象的子區(qū)域的散射的輻射強(qiáng)度來(lái)確定第二中間對(duì)象函數(shù),該目標(biāo)對(duì)象的子區(qū)域包括由輻射定位裝置選擇的一個(gè)或多個(gè)區(qū)域;其中,第一或第二處理裝置中的一個(gè)或者第三處理裝置被配置為組合第一對(duì)象函數(shù)和第二對(duì)象函數(shù),以形成表示目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。本發(fā)明的實(shí)施方式通過(guò)采用并行處理減少了計(jì)算對(duì)象函數(shù)的時(shí)間。兩個(gè)以上計(jì)算單元均用于計(jì)算中間對(duì)象函數(shù)。在計(jì)算中間對(duì)象函數(shù)之后,計(jì)算單元將中間對(duì)象函數(shù)進(jìn)行組合以形成對(duì)象函數(shù)的估計(jì)來(lái)用于迭代。在隨后的迭代中,兩個(gè)以上處理單元利用對(duì)象函數(shù)的先前估計(jì)來(lái)再次形成中間對(duì)象函數(shù),隨后該中間對(duì)象函數(shù)由計(jì)算單元進(jìn)行組合以形成對(duì)象函數(shù)的隨后迭代的估計(jì)。以這種方式,利用對(duì)于中間對(duì)象函數(shù)的并行處理。然而,通過(guò)中間對(duì)象函數(shù)估計(jì)的頻繁組合,不會(huì)發(fā)生針對(duì)各個(gè)區(qū)域估計(jì)的對(duì)象函數(shù)之間的不一致,或者至少使這種不一致最小化。


現(xiàn)在將參照附圖,僅通過(guò)示例方式來(lái)描述本發(fā)明的實(shí)施方式,其中圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)已知的移動(dòng)孔徑配置;圖2示出了現(xiàn)有技術(shù)已知的移動(dòng)后對(duì)象孔徑的示圖;圖3示出了現(xiàn)有技術(shù)的相位恢復(fù)算法;圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的方法的第一實(shí)施方式的示圖;圖5示意性示出了四個(gè)孔徑位置;圖6示意性示出了本發(fā)明實(shí)施方式的計(jì)算單元的配置;以及圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的方法的第二實(shí)施方式的示圖。在附圖中,相同的參考標(biāo)號(hào)指代相同的部分。
具體實(shí)施例方式
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在討論本發(fā)明的實(shí)施方式之前,將提供對(duì)WO 2005/106531(其全部?jī)?nèi)容結(jié)合于此作為參考)所公開(kāi)的現(xiàn)有技術(shù)的裝置、方法和算法的簡(jiǎn)要介紹。所討論的現(xiàn)有技術(shù)的實(shí)施方式是在WO 2005/106531中公開(kāi)的移動(dòng)孔徑配置。然而,應(yīng)該意識(shí)到,還已知移動(dòng)弱調(diào)焦透鏡的現(xiàn)有技術(shù)的方法,并且本發(fā)明的實(shí)施方式還可以用于與這種弱調(diào)焦透鏡的配置相結(jié)合。此外,本發(fā)明的實(shí)施方式還可以使用目標(biāo)前的孔徑來(lái)照明對(duì)象的區(qū)域。
參照?qǐng)D1,示出了現(xiàn)有技術(shù)的配置,其中,使入射輻射30落在目標(biāo)對(duì)象31上。應(yīng)該理解,術(shù)語(yǔ)目標(biāo)對(duì)象是指放置在入射輻射的路徑中的、引起該輻射的散射的任何樣品或物品。應(yīng)該理解,目標(biāo)對(duì)象對(duì)于入射輻射應(yīng)該是至少部分透明的。目標(biāo)對(duì)象可以具有或者不具有一些重復(fù)結(jié)構(gòu)。應(yīng)該理解,術(shù)語(yǔ)輻射被廣義地理解為來(lái)自輻射源的能量。這將包括電磁輻射(包括X射線)、諸如電子和/或聲波的發(fā)射粒子。這種輻射可以通過(guò)波函數(shù)ψ (r)來(lái)表示。該波函數(shù)包括本領(lǐng)域技術(shù)人員所理解的實(shí)部和虛部。這可以通過(guò)波函數(shù)模數(shù)和相位來(lái)表示。 ψ or是ψ ω與ψω的復(fù)共軛,ψ or= ψ ω |2,其中,ι ψ (r) ι2是可以針對(duì)波函數(shù)測(cè)量的強(qiáng)度。入射輻射30在其穿過(guò)和越過(guò)目標(biāo)對(duì)象31時(shí)被散射。因?yàn)?,?dāng)入射輻射離開(kāi)目標(biāo)對(duì)象31時(shí)其波函數(shù)將相對(duì)于目標(biāo)對(duì)象31的目標(biāo)側(cè)之前處的入射輻射的波函數(shù)在振幅和相位兩方面均被修改。所發(fā)生的散射可以包括傅里葉衍射、折射和/或菲涅耳衍射以及任何其他形式的散射,其中,入射輻射的特征由于在目標(biāo)對(duì)象31之后傳播而被修改。如果諸如CXD檢測(cè)器32的檢測(cè)器陣列被配置為距離目標(biāo)對(duì)象31較長(zhǎng)距離,則在衍射面33處形成衍射圖樣。如果檢測(cè)器32被定位為與目標(biāo)對(duì)象31相距距離D,則將形成傅里葉衍射圖樣, 其中,D對(duì)于從點(diǎn)源中有效形成的衍射圖樣來(lái)說(shuō)足夠長(zhǎng)。如果通過(guò)將檢測(cè)器定位得較近而使衍射面被形成為更接近目標(biāo)對(duì)象31,則將形成菲涅耳衍射圖樣??讖?4被定位在目標(biāo)對(duì)象的后方,從而選擇目標(biāo)的區(qū)域用于研究。在蔽光框中形成孔徑,使得孔徑定義了 “支持 (support)”。支持是函數(shù)不為零的函數(shù)區(qū)域。換句話說(shuō),在該支持的外部,函數(shù)為零。在該支持的外部,蔽光框阻擋輻射的透射。用于本發(fā)明的孔徑不必是有限制的及被嚴(yán)格定義的。 它們可以是可移動(dòng)的并且在其邊緣處緩慢變化。以這種方式,平穩(wěn)變化的照射函數(shù)或透射率不是由高空間頻率組成。換句話說(shuō),其是帶寬受限函數(shù)。由于沒(méi)有使用透鏡,因此可以通過(guò)檢測(cè)器32來(lái)測(cè)量較大的視場(chǎng)。術(shù)語(yǔ)孔徑描述了輻射的局部透射函數(shù)。這可以通過(guò)具有 0和1之間的模數(shù)值的二維復(fù)值變量來(lái)表示。一個(gè)實(shí)例是具有變化透射率的物理孔徑區(qū)域的蔽光框。圖2示意性示出了通過(guò)圖1的配置的波的傳播。入射輻射30落在目標(biāo)對(duì)象31的上游側(cè),并在其透射時(shí)被目標(biāo)對(duì)象31散射。目標(biāo)對(duì)象波0(r)是與目標(biāo)對(duì)象31相互作用之后的輻射的出射波函數(shù)。以這種方式,0(r)表示二維復(fù)值函數(shù),使得0(r)(其中,r是二維坐標(biāo))中的每個(gè)點(diǎn)均與其復(fù)數(shù)相關(guān)聯(lián)。0(r)將物理地表示會(huì)從平面波所照射的目標(biāo)對(duì)象31 發(fā)射的出射波。例如,在電子散射的情況下,0(r)將表示作為穿過(guò)感興趣的目標(biāo)對(duì)象31的結(jié)果而引入到入射波的相位和振幅變化??讖?4提供了探針函數(shù)P(r)(或?yàn)V波函數(shù)),其選擇對(duì)象出射波函數(shù)的一部分用于分析。應(yīng)該理解,除選擇孔徑之外,可以在對(duì)象功能元件的下游定位透射光柵或其他這種濾波功能元件。探針函數(shù)P(r-R)是孔徑在位置R處的孔徑透射函數(shù)。探針函數(shù)可以表示為具有由以下的模數(shù)和相位給出的復(fù)數(shù)值的復(fù)值函數(shù),其
10中,該模數(shù)和相位表示由對(duì)于入射到其上的理想平面波的探測(cè)所引入的模數(shù)和相位變化。出射波函數(shù)Ψ (r, R) 43是該輻射在離開(kāi)孔徑34時(shí)的出射波函數(shù)。該出射波Ψ (r, R)43在衍射面33處形成衍射圖樣Ψ (k,R)44。這里,r是實(shí)空間中的向量坐標(biāo),k是衍射空間中的向量坐標(biāo)。圖3示出了現(xiàn)有技術(shù)的算法,用于獲得對(duì)象的波函數(shù)并由此用于獲得隨后可用來(lái)生成對(duì)象的高分辨率圖像的圖像數(shù)據(jù)。圖3示出了使用圖1和圖2所示配置的方法,并且在測(cè)量衍射圖樣之后將孔徑從第一位置移動(dòng)到可以測(cè)量第二對(duì)應(yīng)衍射圖樣的第二位置。注意,上述0(r)和P(r)表示二維復(fù)值函數(shù),即,0(r)和P (r)(其中,r是二維坐標(biāo))中的每個(gè)點(diǎn)均將其與預(yù)期復(fù)數(shù)相關(guān)聯(lián)。在下文中,0(r)將物理地表示會(huì)從平面波照射的對(duì)象功能元件發(fā)射的出射波。例如,在電子散射的情況下,0(r)將表示作為穿過(guò)感興趣對(duì)象的結(jié)果的入射波的相位和振幅變化。在下文中,P(r)表示照射函數(shù)(諸如通過(guò)由透鏡或其他光學(xué)部件形成的焦散或照射輪廓所生成的函數(shù))或?yàn)V波函數(shù)(諸如對(duì)象功能元件下游安裝的孔徑或透射光柵)。在下文中,可以假設(shè)0(r)或P(r)彼此相對(duì)移動(dòng)各種距離R。根據(jù)移動(dòng)P(r)書(shū)寫(xiě)所采用的命名法,但也可以等效地改為相對(duì)于P(r)移動(dòng)0(r)。在這兩種情況下,通過(guò)形成 0(r)與P(r-R)的乘積來(lái)改變0(r)的復(fù)值以給出Ψ (r)的總出射波函數(shù),即,Ψ (r, R) = 0(r)P(r-R)(1)執(zhí)行該算法以找到復(fù)數(shù)函數(shù)Ψ (r,R)的相位和強(qiáng)度。其要求輸入已知的函數(shù) P(r-R),以及在與包含目標(biāo)對(duì)象31的平面不同的平面中的波函數(shù)的強(qiáng)度的一個(gè)或多個(gè)(優(yōu)選為數(shù)個(gè))測(cè)量值。使用與通過(guò)傅里葉變換得到的樣本平面相關(guān)的衍射平面是便利的。在這種情況下,測(cè)量到的輸入數(shù)據(jù)是一個(gè)或多個(gè)探針/孔徑位置處衍射圖樣的強(qiáng)度。然而,還可以基于與樣本/孔徑的出射面相距一些距離處的一組散焦圖像來(lái)執(zhí)行算法。在這種情況下,自由空間傳播函數(shù)(propagator,傳播子)替換傅里葉變換。該算法并不限于使用這兩種變換。其他有效變換也可以用于從信息的一個(gè)平面移動(dòng)到另一個(gè)。在下文中,一般的變換T是指將波函數(shù)從第一平面(稱為平面1)變換到第二平面(稱為平面2)。算法如下進(jìn)行操作并參照?qǐng)D3 1.在步驟S700中開(kāi)始對(duì)于對(duì)象函數(shù)0g,n(r)的猜測(cè),其中,下標(biāo)g,η表示算法第 η次迭代的所猜測(cè)的波。這些函數(shù)在平面1(如果使用傅里葉變換,則其為實(shí)空間平面)中。 0g,η(r)的第一猜測(cè)可以在所有點(diǎn)r處均等一致。這對(duì)應(yīng)于缺少樣本??商鎿Q地,0g,n(r) 可以在每個(gè)點(diǎn)處設(shè)置為隨機(jī)值。2.在步驟S701中根據(jù)位置和特征選擇已知的孔徑。這提供了探針函數(shù)P(r-R)。 在步驟S702中,對(duì)象函數(shù)處的當(dāng)前猜測(cè)與當(dāng)前位置R處的孔徑或探針P(r-R)相乘。其針對(duì)位置R產(chǎn)生猜測(cè)的出射波函數(shù)(仍然在平面1中),n(r,R) = 0g, η (r) P (r-R)(2)3.接下來(lái),在步驟S703中,變換Wg,n(r,R)以針對(duì)該位置R獲得平面2(如果使用傅里葉變換,則可以為衍射空間平面)中的對(duì)應(yīng)波函數(shù)。這里,T用于表示一些普通的變換(通??梢詾楦道锶~變換,還可以為菲涅耳自由空間傳播函數(shù))或者適合于該算法的特定應(yīng)用的一些其他變換。n(k, R) = Τ[Ψδ, n(r,R)](3)
k是平面2中的坐標(biāo)。(對(duì)于傅里葉變換,k可以為通常的倒易空間坐標(biāo)。對(duì)于傳播函數(shù),k可以為散焦平面中的xy坐標(biāo)。)需要特別注意的是,Wg,n(k,R)是平面2中的實(shí)際波函數(shù)的“猜測(cè)”版本,原因在于其是由猜測(cè)的對(duì)象函數(shù)0g,n(r)來(lái)生成。該算法的連續(xù)迭代將愈加產(chǎn)生Wg,n(k,R)的精確版本。注意,可以按照以下形式書(shū)寫(xiě)Wg,n(k,R)n(k, R) = I n(k, R) |ei0g'n(k'E)(4)其中,|Wg,n(k,R) |是(猜測(cè)的)波函數(shù)振幅,以及eg,n(k,R)是針對(duì)位置R的迭代η次的平面2中的(猜測(cè))相位。通過(guò)已知技術(shù)(諸如檢測(cè)器陣列32)測(cè)量衍射圖樣的強(qiáng)度,知曉有關(guān)實(shí)際變換的出射波函數(shù)的信息。由此,衍射圖樣(其中,孔徑處于第一位置)的測(cè)量強(qiáng)度形成衍射圖樣的復(fù)波函數(shù)的估計(jì)的基礎(chǔ)。然而,測(cè)量到的強(qiáng)度未提供關(guān)于波函數(shù)的相位的信息。相反地, 測(cè)量到的強(qiáng)度可以與Ψ (r)的平方模數(shù)相比較。其為|Ψ(ι·)|2。一旦在步驟S704中已知平面2中衍射圖樣中輻射的強(qiáng)度,則可以執(zhí)行以下步驟。4.在步驟S705中,將猜測(cè)的平面2波函數(shù)的強(qiáng)度校正為已知值。Wc,n(k,R) = |W(k,R) |e"g,n(k,K)(5)其中,I Ψ (k,R) I是已知的平面2模數(shù)。這是圖像平面處測(cè)量強(qiáng)度的平方根。5.在S706中逆變換返回至實(shí)空間,以在出射波函數(shù)(在平面1)處獲得新的且改進(jìn)的猜測(cè)CT1表示先前所使用的變換τ的逆變換),Ψο, n(r, R) = Τ_1[Ψο, n(k, R)](6)6.經(jīng)由步驟S707,使用更新函數(shù)來(lái)更新被孔徑或探針覆蓋的區(qū)域中的所猜測(cè)的對(duì)象波函數(shù)0g, n+1 (r) = 0g, η(r) +1P(r-R) 1P*(r-R) β (Ψο, n(r,n(r, R)) Pmax(r -R) HlPM) |2+δ) (7)其中,參數(shù)β、δ和1被適當(dāng)選擇,并且|PmaX(r-R) |是P(r)的振幅的最大值。 結(jié)果是針對(duì)對(duì)象函數(shù)的新猜測(cè)(S708)。更新函數(shù)有助于進(jìn)行可能發(fā)生的有效去卷積,并引入使對(duì)象函數(shù)被最大程度(其中,探針函數(shù)具有最大振幅)更新的加權(quán)因子??蛇x擇的常數(shù)1可以被設(shè)置為1。其可以選擇為0至3范圍內(nèi)的任何值,并且不必是整數(shù)值。當(dāng)存在許多噪聲時(shí),設(shè)置1 > 1是有用的。當(dāng)由于散射幾何條件,檢測(cè)強(qiáng)度為Gabor全息圖或類似的形式時(shí),1可以被選擇為1 < 1。值S用于防止如果|P(r-R) I = 0時(shí)發(fā)生被零除。δ是通常應(yīng)用于維納濾波器的小實(shí)數(shù),并且通常(盡管不是必須的)小于Pmax,并且如果在所記錄數(shù)據(jù)中存在的噪聲較小, 則δ可以相當(dāng)小。常數(shù)β控制算法中的反饋量,并且有利地可以在大概0.1至1之間進(jìn)行變化。當(dāng)β小于0.5時(shí),對(duì)象的先前估計(jì)被認(rèn)為比新估計(jì)更加重要。之間的值改變兩個(gè)估計(jì)的相對(duì)重要性。β確定如何快速地到達(dá)解。δ是可以被設(shè)置為固定值的參數(shù),或者其可以進(jìn)行變化。其表示所記錄的數(shù)據(jù)有多大噪聲,并用于對(duì)響應(yīng)于這些環(huán)境如何執(zhí)行更新來(lái)進(jìn)行削弱。如果對(duì)于數(shù)據(jù)收集存在良好條件(也就是說(shuō)具有高射束流(高通量),其意味著低散粒噪聲),則使用所收集的結(jié)果來(lái)更新猜測(cè)的估計(jì)是較為安全的。從而,δ的值可以為Pmax的小分?jǐn)?shù)(例如,小于1/10)。表達(dá)式
12
|Ριτωχ(·/-../ |(g)使|P(r-R) |在其中較大的區(qū)域的更新效果最大化。這是有益的,原因在于其是接收入射輻射的最大量的那些區(qū)域,因此,包含具有相對(duì)較高信噪比的信息。該信息明顯比來(lái)自入射非常小的輻射且被噪聲嚴(yán)重影響的區(qū)域的信息更有價(jià)值。對(duì)于β = 1、1 = 0且δ =0,以及函數(shù)P(r-R)是可以通過(guò)其值一致而其他地方為零的區(qū)域或者支持函數(shù)表示的蔽光框的情況,則算法與已知Fienup算法具有一些類似性。如果在這種情況下僅使用一個(gè)位置R,則該算法簡(jiǎn)化為數(shù)學(xué)地與基本Fienup算法相同。 在使用多于一個(gè)位置R的情況下,該算法與已知方法相比具有顯著的優(yōu)勢(shì),包括其不經(jīng)受唯一性問(wèn)題的事實(shí),并且可以成像更寬的視場(chǎng)。隨后更新猜測(cè)的運(yùn)行估計(jì),圖7所示的算法進(jìn)行到選擇新位置R,該位置至少部分地與先前位置重疊。重疊應(yīng)該優(yōu)選為大于20%,并且優(yōu)選為50%以上。這可以通過(guò)在圖1 所示箭頭A的方向上將孔徑移動(dòng)預(yù)定量或者通過(guò)使照射輻射落在目標(biāo)的不同區(qū)域上來(lái)實(shí)現(xiàn)。應(yīng)該理解,可以提供用于目標(biāo)對(duì)象的一個(gè)位置的圖像數(shù)據(jù),而對(duì)孔徑或入射輻射的位置沒(méi)有任何改變。在這種實(shí)施方式中,在步驟S708之后,算法返回到步驟S702。代替載入對(duì)象函數(shù)0(r)的初始估計(jì),載入步驟S708的用于0(r)的新猜測(cè)。在每次迭代,用于對(duì)象函數(shù)的新猜測(cè)都將由于已知強(qiáng)度的每個(gè)迭代信息而更加接近實(shí)際對(duì)象函數(shù),由此,添加入射輻射的已知振幅分量以提高估計(jì)的精度。然而,更加優(yōu)選的方法為移動(dòng)到新位置R,該位置部分地與圖3所示的先前位置重疊。在步驟S709中識(shí)別第二位置處已知的探針函數(shù)P(r_R2),然后重復(fù)上面提到的步驟,使得在步驟S708中生成的新猜測(cè)與在步驟S709中識(shí)別的新的已知探針函數(shù)相乘。這在步驟S710中示出。有效地,其根據(jù)所關(guān)注的實(shí)施方式生成了樣本后或孔徑后的出射波函數(shù)。所得到的出射波函數(shù)在步驟S711中傳播,以提供對(duì)于應(yīng)該在該位置處檢測(cè)到的散射圖樣的估計(jì)。在步驟S712中測(cè)量衍射圖樣,這提供強(qiáng)度信息,并由此提供關(guān)于經(jīng)變換的波函數(shù)的振幅信息。強(qiáng)度信息用于校正經(jīng)變換的波函數(shù)的振幅,而在步驟S713中保持相位信息。該校正的波函數(shù)經(jīng)由傅里葉變換(當(dāng)圖像形成在遠(yuǎn)場(chǎng)中時(shí))、菲涅耳變換(當(dāng)圖像形成在菲涅耳衍射占優(yōu)勢(shì)的位置處時(shí))或者通過(guò)任何其他適當(dāng)?shù)淖儞Q被逆向傳播。這在步驟 S714中示出。然后,在步驟S715中根據(jù)上面示出的更新函數(shù)校正0(r)的運(yùn)行估計(jì),并且結(jié)果是在步驟S716中示出的用于對(duì)象函數(shù)的新猜測(cè)。在該階段,可以將照射或孔徑進(jìn)一步移動(dòng)至第三或其他位置。再次,在先前照射的位置之間發(fā)生一些重疊的位置是優(yōu)選的。以這種方式,整個(gè)目標(biāo)對(duì)象可以被任選地映射??商鎿Q地,在步驟S716中生成的新猜測(cè)可以被重復(fù),而沒(méi)有進(jìn)一步定位知曉已知的衍射圖樣結(jié)果。在圖3中,迭代方法被示為通過(guò)返回到步驟S702進(jìn)行重復(fù),在該步驟中,步驟S716 中生成的新猜測(cè)而非在步驟S700中所提供對(duì)象函數(shù)的初始估計(jì)被輸入至乘法階段??梢灾貜?fù)迭代方法,直到發(fā)生預(yù)定事件。例如,迭代可以重復(fù)預(yù)定的次數(shù)(例如, 1000次)或者直到誤差平方和(SSE)足夠小。在平面2中測(cè)量SSE為
權(quán)利要求
1.一種用于提供目標(biāo)對(duì)象的區(qū)的圖像數(shù)據(jù)的基于計(jì)算機(jī)的方法,其特征在于,包括以下步驟估計(jì)(706)表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第一子區(qū)(501,50 的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù);估計(jì)(706)表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第二子區(qū)(501,50 的至少一個(gè)特征的第二中間對(duì)象函數(shù);以及組合(707)所述第一中間對(duì)象函數(shù)和第二中間對(duì)象函數(shù),以形成表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,至少部分地并行估計(jì)所述中間對(duì)象函數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括將每個(gè)中間對(duì)象函數(shù)的所述估計(jì)分配給對(duì)應(yīng)的計(jì)算單元(601,602,603)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括在計(jì)算單元(601,602,603) 之間傳遞至少一個(gè)中間對(duì)象函數(shù),以與至少一個(gè)其他中間對(duì)象函數(shù)組合。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括估計(jì)另外的中間對(duì)象函數(shù),每一個(gè)所述另外的中間對(duì)象函數(shù)均與所述目標(biāo)對(duì)象的另外的子區(qū)相關(guān),其中,所述另外的中間對(duì)象函數(shù)與所述第一對(duì)象函數(shù)和所述第二對(duì)象函數(shù)組合以形成所述組合對(duì)象函數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,中間對(duì)象函數(shù)的數(shù)量是預(yù)定的。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的每個(gè)子區(qū)均包括與所述目標(biāo)對(duì)象的一個(gè)或多個(gè)選定區(qū)域(501,502,503,504)相關(guān)的
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,通過(guò)相對(duì)于所述目標(biāo)對(duì)象重新定位入射輻射或孔徑來(lái)選擇所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述選定區(qū)域(501,502,503,504)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域(501,502,503,504),使得每個(gè)子區(qū)均包括相等數(shù)量的區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括在所述子區(qū)間再分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域(501,502,503,504)。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括迭代地重新估計(jì) (710)所述中間對(duì)象函數(shù),從而隨著每次迭代改進(jìn)所述組合對(duì)象函數(shù)的運(yùn)行估計(jì)的精度。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,所述中間對(duì)象函數(shù)的所述重新估計(jì)(710)基于來(lái)自先前迭代的所述組合(711)對(duì)象函數(shù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括當(dāng)預(yù)定事件發(fā)生時(shí),終止 (712)迭代處理。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,所述預(yù)定事件包括迭代的次數(shù)滿足預(yù)定條件。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,所述預(yù)定事件包括誤差平方和滿足預(yù)定條件。
17.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括確定(704,709)每個(gè)所述子區(qū)的加權(quán)因子,其中,根據(jù)所述子區(qū)的對(duì)應(yīng)的加權(quán)因子來(lái)組合多個(gè)所述中間對(duì)象函數(shù)。
18.根據(jù)權(quán)利要求7至11中任一項(xiàng)或從屬于它們的任一權(quán)利要求所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括確定所述目標(biāo)對(duì)象的每個(gè)選定區(qū)域的加權(quán)因子。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,每個(gè)選定區(qū)域的加權(quán)因子基于該區(qū)域的探針函數(shù)的相對(duì)振幅。
20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,每個(gè)子區(qū)的加權(quán)因子基于分配給每個(gè)子區(qū)的所述選定區(qū)域的加權(quán)因子。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,在將選定區(qū)域再分配至子區(qū)中的一個(gè)之后,重新確定(709)該子區(qū)的加權(quán)因子。
22.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,估計(jì)每個(gè)中間對(duì)象函數(shù)包括將所述對(duì)象函數(shù)與表示所述目標(biāo)對(duì)象處入射輻射的至少一個(gè)特征的探針函數(shù)相乘; 響應(yīng)于所述相乘的結(jié)果提供出射波函數(shù); 傳播所述出射波函數(shù),以提供預(yù)期散射圖樣的估計(jì);以及根據(jù)檢測(cè)到的強(qiáng)度校正所述預(yù)期散射圖樣的至少一個(gè)特征。
23.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括根據(jù)以下公式,更新用于第j+1步的每個(gè)中間對(duì)象函數(shù)
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,O們對(duì)應(yīng)于先前的組合對(duì)象函數(shù)0g,i。
25.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的基于計(jì)算機(jī)的方法,其中,根據(jù)以下等式,對(duì)于第i+Ι次迭代組合中間對(duì)象函數(shù)
26. 一種在沒(méi)有相對(duì)于目標(biāo)對(duì)象(31)以高分辨率定位入射輻射或目標(biāo)對(duì)象后的孔徑的情況下提供所述目標(biāo)對(duì)象的區(qū)的圖像數(shù)據(jù)的方法,其特征在于,包括以下步驟在所述目標(biāo)對(duì)象(31)處提供來(lái)自輻射源的入射輻射(30);經(jīng)由至少一個(gè)檢測(cè)器(32),檢測(cè)由所述目標(biāo)對(duì)象(31)散射的輻射的強(qiáng)度;響應(yīng)于檢測(cè)到的所述強(qiáng)度,估計(jì)(706)分別表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第一子區(qū) (501,503)的至少一個(gè)特征和第二子區(qū)(502,504)的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù)和第二中間對(duì)象函數(shù);以及組合(707)所述第一對(duì)象函數(shù)和所述第二對(duì)象函數(shù),以形成表示所述目標(biāo)對(duì)象(31)的所述區(qū)的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。
27.根據(jù)權(quán)利要求沈所述的方法,其中,至少部分地并行估計(jì)所述第一中間對(duì)象函數(shù)和所述第二中間對(duì)象函數(shù)。
28.根據(jù)權(quán)利要求沈或27所述的方法,包括將每個(gè)中間對(duì)象函數(shù)的估計(jì)分配給對(duì)應(yīng)的計(jì)算單元(601,602,603)。
29.根據(jù)權(quán)利要求26,27或28所述的方法,包括在計(jì)算單元(601,602,603)之間傳遞至少一個(gè)中間對(duì)象函數(shù),以與至少一個(gè)其他中間對(duì)象函數(shù)組合。
30.根據(jù)權(quán)利要求沈至四中任一項(xiàng)所述的方法,包括估計(jì)(706)另外的中間對(duì)象函數(shù),每一個(gè)所述另外的中間對(duì)象函數(shù)均與所述目標(biāo)對(duì)象的另外的子區(qū)相關(guān),其中,所述另外的中間對(duì)象函數(shù)與所述第一對(duì)象函數(shù)和所述第二對(duì)象函數(shù)組合以形成所述組合對(duì)象函數(shù)。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的方法,其中,中間對(duì)象函數(shù)的數(shù)量是預(yù)定的。
32.根據(jù)權(quán)利要求沈至31中任一項(xiàng)所述的方法,其中,所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的每個(gè)子區(qū)均包括與所述目標(biāo)對(duì)象的一個(gè)或多個(gè)選定區(qū)域(501,502,503,504)相關(guān)的信息。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的方法,其中,通過(guò)相對(duì)于所述目標(biāo)對(duì)象重新定位入射輻射或孔徑來(lái)選擇所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域(501,502,503,504)。
34.根據(jù)權(quán)利要求32或33所述的方法,包括在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述選定區(qū)域(501,502,503,504)。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法,其中,在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域, 使得每個(gè)子區(qū)均包括相等數(shù)量的區(qū)域。
36.根據(jù)權(quán)利要求34或35所述的方法,包括在所述子區(qū)間再分配(708)所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域(501,502,503,504)。
37.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,包括迭代地重新估計(jì)(710)所述中間對(duì)象函數(shù),從而隨著每次迭代改進(jìn)所述組合對(duì)象函數(shù)的運(yùn)行估計(jì)的精度。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的方法,其中,所述中間對(duì)象函數(shù)的所述重新估計(jì)(710)基于來(lái)自先前迭代的所述組合對(duì)象函數(shù)。
39.根據(jù)權(quán)利要求37或38所述的方法,包括當(dāng)預(yù)定事件發(fā)生時(shí),終止(71 迭代處理。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的方法,其中,所述預(yù)定事件包括迭代的次數(shù)滿足預(yù)定條件。
41.根據(jù)權(quán)利要求39所述的方法,其中,所述預(yù)定事件包括誤差平方和滿足預(yù)定條件。
42.根據(jù)權(quán)利要求沈至41中任一項(xiàng)所述的方法,包括確定(704)每個(gè)所述子區(qū)的加權(quán)因子,其中,根據(jù)所述子區(qū)的對(duì)應(yīng)的加權(quán)因子來(lái)組合多個(gè)所述中間對(duì)象函數(shù)。
43.根據(jù)權(quán)利要求32至36中任一項(xiàng)或者從屬于它們的任一權(quán)利要求所述的方法,包括確定所述目標(biāo)對(duì)象的每個(gè)選定區(qū)域的加權(quán)因子。
44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的方法,其中,每個(gè)選定區(qū)域的加權(quán)因子基于該區(qū)域的探針函數(shù)的相對(duì)振幅。
45.根據(jù)權(quán)利要求43或44所述的方法,其中,每個(gè)子區(qū)的加權(quán)因子基于分配給每個(gè)子區(qū)的所述選定區(qū)域的加權(quán)因子。
46.根據(jù)權(quán)利要求45所述的方法,其中,在將選定區(qū)域再分配至子區(qū)中的一個(gè)之后,重新確定該子區(qū)的加權(quán)因子。
47.根據(jù)權(quán)利要求沈至46中任一項(xiàng)所述的方法,其中,估計(jì)每個(gè)中間對(duì)象函數(shù)包括 將所述對(duì)象函數(shù)與表示所述目標(biāo)對(duì)象處入射輻射的至少一個(gè)特征的探針函數(shù)相乘; 響應(yīng)于所述相乘的結(jié)果提供出射波函數(shù);傳播所述出射波函數(shù),以提供預(yù)期散射圖樣的估計(jì);以及根據(jù)檢測(cè)到的強(qiáng)度校正所述預(yù)期散射圖樣的至少一個(gè)特征。
48.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,包括根據(jù)以下公式,更新用于第j+Ι步的每個(gè)中間對(duì)象函數(shù)其中,O 是用于第j步的中間對(duì)象函數(shù),./e L…·一+-I其中,η是選定區(qū)域的數(shù)
49.根據(jù)權(quán)利要求48所述的方法,其中,O、./π對(duì)應(yīng)于先前的組合對(duì)象函數(shù)Og, ”
50.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其中,根據(jù)以下等式,對(duì)于第i+Ι次迭代組合中間對(duì)象函數(shù)
51.一種用于提供與目標(biāo)對(duì)象的區(qū)相關(guān)的圖像數(shù)據(jù)的設(shè)備,其特征在于第一計(jì)算單元(602),被配置為估計(jì)表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第一子區(qū)的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù);第二計(jì)算單元(603),被配置為估計(jì)表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第二子區(qū)的至少一個(gè)特征的第二中間對(duì)象函數(shù);其中,計(jì)算單元(601)被配置為組合所述第一對(duì)象函數(shù)和所述第二對(duì)象函數(shù),以形成表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。
52.根據(jù)權(quán)利要求51所述的設(shè)備,其中,所述第一計(jì)算單元(60 和所述第二計(jì)算單元 (603)是單獨(dú)的處理器。
53.根據(jù)權(quán)利要求51所述的設(shè)備,其中,所述第一計(jì)算單元和所述第二計(jì)算單元是一個(gè)或多個(gè)多核處理器的核。
54.根據(jù)權(quán)利要求51至53中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,計(jì)算單元之間的通信是通過(guò)通信總線或網(wǎng)絡(luò)、或者其組合進(jìn)行的。
55.根據(jù)權(quán)利要求51所述的設(shè)備,其中,所述第一計(jì)算單元和所述第二計(jì)算單元被配置為至少部分地并行估計(jì)所述中間對(duì)象函數(shù)。
56.根據(jù)權(quán)利要求51至55中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,一個(gè)或多個(gè)計(jì)算單元被配置為將至少一個(gè)中間對(duì)象函數(shù)傳遞至被配置為組合所述中間對(duì)象函數(shù)的計(jì)算單元。
57.根據(jù)權(quán)利要求51至56中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,包括通過(guò)相對(duì)于所述目標(biāo)對(duì)象重新定位入射輻射或孔徑來(lái)選擇所述目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的裝置,其中,所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的每個(gè)子區(qū)均包括與所述目標(biāo)對(duì)象的一個(gè)或多個(gè)選定區(qū)域相關(guān)的信息。
58.根據(jù)權(quán)利要求57所述的設(shè)備,其中,計(jì)算單元中的一個(gè)被配置為在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述選定區(qū)域。
59.根據(jù)權(quán)利要求58所述的設(shè)備,其中,在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)域, 使得每個(gè)子區(qū)均包括相等數(shù)量的區(qū)域。
60.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,計(jì)算單元被配置為迭代地重新估計(jì)所述中間對(duì)象函數(shù),從而隨著每次迭代改進(jìn)所述組合對(duì)象函數(shù)的運(yùn)行估計(jì)的精度。
61.根據(jù)權(quán)利要求60所述的設(shè)備,其中,所述中間對(duì)象函數(shù)的所述重新估計(jì)基于來(lái)自先前迭代的所述組合對(duì)象函數(shù)。
62.根據(jù)權(quán)利要求51至61中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,每個(gè)計(jì)算單元均被配置為確定每個(gè)子區(qū)的加權(quán)因子,并且所述計(jì)算單元被配置為根據(jù)所述子區(qū)的對(duì)應(yīng)的加權(quán)因子組合多個(gè)所述中間對(duì)象函數(shù)。
63.一種用于提供圖像數(shù)據(jù)的設(shè)備,其中,所述圖像數(shù)據(jù)用于生成目標(biāo)對(duì)象(31)的區(qū)的圖像,所述設(shè)備特征在于定位裝置,用于將目標(biāo)對(duì)象(31)定位于預(yù)定位置;輻射源,用于在通過(guò)所述定位裝置定位的所述目標(biāo)對(duì)象(31)處提供入射輻射(30);至少一個(gè)檢測(cè)器器件(32),用于檢測(cè)由所述目標(biāo)對(duì)象散射的輻射的強(qiáng)度;輻射定位裝置(34),用于在相對(duì)于所述目標(biāo)對(duì)象(31)的一個(gè)或多個(gè)位置處定位位于目標(biāo)對(duì)象后側(cè)的孔徑或者入射輻射;第一處理裝置(602),用于響應(yīng)于檢測(cè)到的、來(lái)自包括由所述輻射定位裝置選擇的一個(gè)或多個(gè)區(qū)域的所述目標(biāo)對(duì)象的子區(qū)的散射輻射的強(qiáng)度來(lái)確定第一中間對(duì)象函數(shù);以及第二處理裝置(603),用于響應(yīng)于檢測(cè)到的、來(lái)自包括由所述輻射定位裝置選擇的一個(gè)或多個(gè)區(qū)域的所述目標(biāo)對(duì)象的子區(qū)的散射輻射的強(qiáng)度來(lái)確定第二中間對(duì)象函數(shù);其中,所述第一處理裝置(60 或所述第二處理裝置(60 之一或者第三處理裝置被配置為組合所述第一對(duì)象函數(shù)和所述第二對(duì)象函數(shù),以形成表示所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。
64.根據(jù)權(quán)利要求63所述的設(shè)備,其中,處理裝置(601,602,60;3)是單獨(dú)的處理器。
65.根據(jù)權(quán)利要求63所述的設(shè)備,其中,處理裝置(601,602,60 是一個(gè)或多個(gè)多核處理器的核。
66.根據(jù)權(quán)利要求63、64或55所述的設(shè)備,其中,處理裝置(601,602,60 之間的通信是通過(guò)通信總線或網(wǎng)絡(luò)、或者其組合進(jìn)行的。
67.根據(jù)權(quán)利要求63所述的設(shè)備,其中,所述第一處理裝置(60 和所述第二處理裝置 (603)被配置為至少部分地并行估計(jì)所述中間對(duì)象函數(shù)。
68.根據(jù)權(quán)利要求51至55中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,一個(gè)或多個(gè)計(jì)算單元被配置為將至少一個(gè)中間對(duì)象函數(shù)傳遞至被配置為組合所述中間對(duì)象函數(shù)的計(jì)算單元。
69.根據(jù)權(quán)利要求63至68中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,所述輻射定位裝置被配置為選擇所述目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域,并且所述目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的每個(gè)子區(qū)均包括與所述目標(biāo)對(duì)象的一個(gè)或多個(gè)選定區(qū)域相關(guān)的信息。
70.根據(jù)權(quán)利要求69所述的設(shè)備,其中,處理裝置中的一個(gè)被配置為在所述子區(qū)間分配所述目標(biāo)對(duì)象的所述選定區(qū)域。
71.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的設(shè)備,其中,處理裝置被配置為迭代地重新估計(jì)所述中間對(duì)象函數(shù),從而隨著每次迭代改進(jìn)所述組合對(duì)象函數(shù)的運(yùn)行估計(jì)的精度。
72.根據(jù)權(quán)利要求71所述的設(shè)備,其中,所述中間對(duì)象函數(shù)的所述重新估計(jì)基于來(lái)自先前迭代的所述組合對(duì)象函數(shù)。
73.一種計(jì)算機(jī)可讀數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有指令,當(dāng)通過(guò)計(jì)算機(jī)執(zhí)行所述指令時(shí)執(zhí)行權(quán)利要求1至50中任一項(xiàng)所述的方法。
全文摘要
本發(fā)明的實(shí)施方式提供了用于提供目標(biāo)對(duì)象(31)的區(qū)的圖像數(shù)據(jù)的基于計(jì)算機(jī)的方法,包括以下步驟估計(jì)(706)表示目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第一子區(qū)(501,503)的至少一個(gè)特征的第一中間對(duì)象函數(shù);估計(jì)(706)表示目標(biāo)對(duì)象的所述區(qū)的第二子區(qū)(502,504)的至少一個(gè)特征的第二中間對(duì)象函數(shù);以及組合(707)第一和第二中間對(duì)象函數(shù),以形成表示目標(biāo)對(duì)象(31)的區(qū)的至少一個(gè)特征的組合對(duì)象函數(shù)。
文檔編號(hào)G06T11/00GK102227751SQ200980147396
公開(kāi)日2011年10月26日 申請(qǐng)日期2009年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月26日
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