專利名稱：產(chǎn)品的制造方法及制造系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及產(chǎn)品的制造方法以及制造系統(tǒng)，尤其涉及使用了存儲(chǔ)制造條件的存儲(chǔ)裝置的產(chǎn)品的制造方法以及制造系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在制造產(chǎn)品的制造裝置中，具有存儲(chǔ)制造條件的存儲(chǔ)裝置。例如日本特開(kāi)平4-99279號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中公開(kāi)了一種具備微型計(jì)算機(jī)的供給裝置，該微型計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)加熱器的加熱輸出模式和載氣的輸出模式作為上述制造條件。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平4-99279號(hào)公報(bào)如上述公報(bào)的供給裝置那樣的制造裝置被設(shè)置的場(chǎng)所大多在信息管理的方面不是嚴(yán)格地限制人的進(jìn)入的場(chǎng)所(以下稱作“限制區(qū)域”)。因此，存在制造系統(tǒng)中存儲(chǔ)的制造條件的信息容易泄露的問(wèn)題。另一方面，當(dāng)制造系統(tǒng)整體被設(shè)置在限制區(qū)域時(shí)，雖然可以防止信息的泄露，但進(jìn)行制造系統(tǒng)的保養(yǎng)以及/或者檢查的操作者會(huì)受到進(jìn)入限制。因此，存在制造系統(tǒng)的保養(yǎng)以及/或者檢查變得困難的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此，本發(fā)明的目的在于，提供一種可容易地進(jìn)行保養(yǎng)以及/或者檢查，并可以防止表示制造條件的信息泄露的制造方法以及制造系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明的某個(gè)方案，產(chǎn)品的制造方法是在第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存對(duì)作為產(chǎn)品的制造條件的目標(biāo)值進(jìn)行表示的第1信息的第1裝置、與基于所述目標(biāo)值控制制造裝置的第2 裝置被設(shè)置在不同的區(qū)域的制造系統(tǒng)中的所述產(chǎn)品的制造方法，該產(chǎn)品的制造方法包括 向所述第2裝置發(fā)送所述第1信息的步驟；在所述第2裝置的第2存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存發(fā)送來(lái)的所述第1信息的步驟；基于所述第2存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存的所述第1信息控制所述制造裝置來(lái)制造所述產(chǎn)品的步驟；向所述第2存儲(chǔ)部發(fā)送制造所述產(chǎn)品時(shí)的針對(duì)所述目標(biāo)值的測(cè)量值、 即第2信息，并將該第2信息儲(chǔ)存到該第2存儲(chǔ)部的步驟；在制造所述產(chǎn)品的步驟之后，從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第1信息的步驟；向所述第1裝置發(fā)送所述第2信息的步驟；將發(fā)送來(lái)的所述第2信息儲(chǔ)存到所述第1存儲(chǔ)部的步驟；以及在向所述第1裝置發(fā)送了所述第2信息之后，從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第2信息的步驟。在上述產(chǎn)品的制造方法中，第1裝置被設(shè)置在比設(shè)置了第2裝置的區(qū)域的安全等級(jí)高的區(qū)域中。在上述產(chǎn)品的制造方法中，第1裝置中還包括對(duì)第1信息進(jìn)行加密的步驟，在向第 2裝置發(fā)送第1信息的步驟中，以加密后的狀態(tài)發(fā)送該第1信息。在上述產(chǎn)品的制造方法中，第2裝置中還包括對(duì)第2信息進(jìn)行加密的步驟，在向第 1裝置發(fā)送第2信息的步驟中，以加密后的狀態(tài)發(fā)送該第2信息。
在上述產(chǎn)品的制造方法中，在向第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存第1信息以及/或者第2信息的步驟中，以加密后的狀態(tài)向該第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存該第1信息以及/或者第2信息。在上述產(chǎn)品的制造方法中，第2裝置中還包括將第1信息以及第2信息中的至少任意一個(gè)變更為相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)的步驟；以及利用輸出裝置顯示相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)的步
馬聚ο在上述產(chǎn)品的制造方法中，還包括在從第2存儲(chǔ)部中刪除第1信息的步驟之后， 生成請(qǐng)求從第1裝置向第2裝置發(fā)送新的第1信息的請(qǐng)求信號(hào)的步驟；以及向第1裝置發(fā)送請(qǐng)求信號(hào)的步驟。在上述產(chǎn)品的制造方法中，在第2裝置中制造裝置具有分別進(jìn)行用于制造該產(chǎn)品的處理的多個(gè)處理部，該制造方法包括按每個(gè)處理部在第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存與該處理部對(duì)應(yīng)的第1信息的步驟；使請(qǐng)求信號(hào)中包含確定多個(gè)處理部的任意一個(gè)的第3信息，并發(fā)送包含該第3信息的請(qǐng)求信號(hào)的步驟；向第2裝置發(fā)送第1信息的步驟；第2裝置使用通過(guò)第3 信息確定出的處理部來(lái)進(jìn)行基于第1信息的處理的步驟；按每個(gè)處理部使由該處理部發(fā)送來(lái)的第2信息中包含第3信息，并將包含該第3信息的第2信息儲(chǔ)存到第2存儲(chǔ)部的步驟； 向第1裝置發(fā)送包含第3信息的第2信息的步驟；以及在第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存發(fā)送來(lái)的第2 信息的步驟。在上述產(chǎn)品的制造方法中，包括以分別加密后的狀態(tài)將第1信息與第2信息儲(chǔ)存到第ι存儲(chǔ)部的步驟；通過(guò)第1裝置的解密部對(duì)被加密后的第1信息以及/或者第2信息進(jìn)行解密的步驟；以及向與第1裝置連接的第3裝置發(fā)送解密后的第1信息以及/或者第 2信息的步驟。在上述產(chǎn)品的制造方法中，在第1裝置中具備多個(gè)第2裝置，該制造方法包括第 1裝置和各第2裝置使用按每個(gè)第2裝置而不同的專用線路，向第2存儲(chǔ)部發(fā)送第1信息的步驟；以及向第1存儲(chǔ)部發(fā)送第2信息的步驟。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方案，制造系統(tǒng)是具備制造產(chǎn)品的制造裝置、控制制造裝置的動(dòng)作的控制裝置、和能夠與控制裝置通信的信息處理裝置的制造系統(tǒng)，其中，信息處理裝置被配置在與制造裝置以及控制裝置不同的區(qū)域中，信息處理裝置包含第1存儲(chǔ)部，其儲(chǔ)存有對(duì)作為產(chǎn)品的制造條件的目標(biāo)值進(jìn)行表示的第1信息；以及第1發(fā)送部，其向控制裝置發(fā)送第1信息；制造裝置通過(guò)控制裝置基于第1信息進(jìn)行的控制來(lái)制造產(chǎn)品，并向控制裝置發(fā)送制造產(chǎn)品時(shí)針對(duì)目標(biāo)值的測(cè)量值、即第2信息，所述控制裝置包含第2存儲(chǔ)部，其儲(chǔ)存由信息處理裝置發(fā)送來(lái)的第1信息和由制造裝置發(fā)送來(lái)的第2信息；刪除部，其基于產(chǎn)品已被制造出而從第2存儲(chǔ)部中刪除第1信息；以及第2發(fā)送部，其向信息處理裝置發(fā)送第2信息；信息處理裝置將由控制裝置發(fā)送來(lái)的第2信息儲(chǔ)存到所述第1存儲(chǔ)部中，刪除部在向信息處理裝置發(fā)送了第2信息之后，從第2存儲(chǔ)部中刪除第2信息。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠防止表示制造條件的信息泄露。而且，能夠容易地進(jìn)行制造系統(tǒng)的保養(yǎng)以及/或者檢查。


圖1是表示制造系統(tǒng)的簡(jiǎn)要構(gòu)成的圖。圖2是表示作為控制裝置發(fā)揮功能的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件構(gòu)成的框圖。
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圖3是表示制造系統(tǒng)的模塊的圖。圖4是表示制造系統(tǒng)中的動(dòng)作序列的圖。圖5是表示制造條件數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)構(gòu)造的例子的圖。圖6是表示過(guò)程數(shù)據(jù)(process data)的數(shù)據(jù)構(gòu)造的例子的圖。圖7是表示保存裝置中的處理的流程的流程圖。圖8是表示控制裝置中的處理的流程的流程圖。圖9是表示制造裝置中的處理的流程的流程圖。圖10是表示制造系統(tǒng)中的處理的流程的流程圖。圖11是表示另一個(gè)制造系統(tǒng)的模塊的圖。圖12是表示圖11的制造系統(tǒng)中的前半段處理的流程的流程圖。圖13是表示圖11的制造系統(tǒng)中的后半段處理的流程的流程圖。圖14是表示又一個(gè)制造系統(tǒng)的模塊的圖。圖15是表示圖14的制造系統(tǒng)中的前半段處理的流程的流程圖。圖16是表示圖14的又一個(gè)制造系統(tǒng)中的后半段處理的流程的流程圖。圖17是表示另一個(gè)其他制造系統(tǒng)的模塊的圖。圖18是表示圖17的制造系統(tǒng)中的前半段處理的流程的流程圖。圖19是表示圖17的制造系統(tǒng)中的后半段處理的流程的流程圖。圖20是表示成膜制造系統(tǒng)的模塊的圖。圖21是表示基板的移動(dòng)方向的圖。圖22是表示使基板從前室移動(dòng)到各成膜部之后的成膜裝置的狀態(tài)的圖。圖23是表示對(duì)基板正進(jìn)行成膜處理的狀態(tài)的圖。圖M是表示從第1成膜部將成膜完畢的基板傳送到前室后的成膜裝置的狀態(tài)的圖。圖25是表示傳送部將新的基板從前室傳送到第1成膜部后的成膜裝置的狀態(tài)的圖。圖沈是表示多個(gè)控制裝置與保存裝置連接的制造系統(tǒng)的構(gòu)成的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下的說(shuō)明中，對(duì)同一部件標(biāo)注同一符號(hào)。它們的名稱以及作用也相同。因此，不再重復(fù)對(duì)它們的詳細(xì)說(shuō)明?！矊?shí)施方式1〕參照?qǐng)D1 圖10對(duì)本發(fā)明涉及的制造系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行以下說(shuō)明。<制造系統(tǒng)1的概要>圖1是表示本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)1的簡(jiǎn)要構(gòu)成的圖。參照?qǐng)D1，制造系統(tǒng)1 具備保存裝置(信息處理裝置、第1裝置)10與基本系統(tǒng)9。基本系統(tǒng)9具備控制裝置(第 2裝置)20與制造裝置30。保存裝置10被設(shè)置在區(qū)域CA中?？刂蒲b置20以及制造裝置30被設(shè)置在區(qū)域PA 中。區(qū)域CA安全性是比區(qū)域PA高的區(qū)域。具體而言，從確保信息安全性的觀點(diǎn)出發(fā)，區(qū)域 CA是比區(qū)域PA嚴(yán)格限制人的進(jìn)入的區(qū)域(限制區(qū)域)。
保存裝置10以能夠通信的方式與控制裝置20連接?？刂蒲b置20以能夠通信的方式與制造裝置30連接。保存裝置10根據(jù)來(lái)自控制裝置20的請(qǐng)求，向控制裝置20發(fā)送數(shù)據(jù)?？刂蒲b置20基于該數(shù)據(jù)來(lái)控制制造裝置30的動(dòng)作。制造裝置30基于來(lái)自控制裝置20的控制信號(hào)來(lái)制造預(yù)先確定的產(chǎn)品。關(guān)于保存裝置10、控制裝置20以及制造裝置30 的詳細(xì)情況將后述。圖2是表示作為控制裝置20發(fā)揮功能的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000的硬件構(gòu)成的框圖。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000包含下述主要的構(gòu)成要素由控制裝置與運(yùn)算裝置構(gòu)成的 CPU (Central Processing Unit) 2010 ；作為對(duì)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000的輸入裝置的鼠標(biāo)2020以及鍵盤2030 ；RAM (Random Access Memory) 2040，其是易失性儲(chǔ)存通過(guò)CPU2010的運(yùn)算而生成的數(shù)據(jù)以及/或者通過(guò)上述輸入裝置輸入的數(shù)據(jù)的主存儲(chǔ)裝置；硬盤2050，其是非易失性儲(chǔ)存上述數(shù)據(jù)的輔助存儲(chǔ)裝置；驅(qū)動(dòng)裝置2060，其操縱能裝卸的可移動(dòng)介質(zhì)(Removable Media)；作為輸出裝置的顯示器2070 ；以及與利用通信線連接的外部裝置相互進(jìn)行通信的通信IF2080。各構(gòu)成要素相互通過(guò)數(shù)據(jù)總線連接。在驅(qū)動(dòng)裝置2060中安裝有對(duì)應(yīng)的可移動(dòng)介質(zhì)2061。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000中的處理通過(guò)CPU2010以及各硬件基于作為計(jì)算機(jī)命令的程序的集合體、即軟件進(jìn)行動(dòng)作來(lái)實(shí)現(xiàn)。這樣的軟件被預(yù)先存儲(chǔ)在硬盤2050中。或者，也可以儲(chǔ)存在可移動(dòng)介質(zhì)2061等存儲(chǔ)介質(zhì)中?；蛘撸€可以作為能夠下載的程序制品而由所謂的與因特網(wǎng)連接的信息提供企業(yè)者提供。上述軟件被驅(qū)動(dòng)裝置2060等讀取裝置從存儲(chǔ)介質(zhì)中讀取，或者，在經(jīng)由通信IF2080下載后被儲(chǔ)存于硬盤2050中。上述軟件在動(dòng)作時(shí)，被 CPU2010從硬盤2050中讀出，以能夠執(zhí)行的程序的形式儲(chǔ)存于RAM2040中。CPU2010基于上述程序來(lái)執(zhí)行運(yùn)算。該圖所示的構(gòu)成計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000的各構(gòu)成要素是普通的部件。因此，也可以說(shuō)本發(fā)明的本質(zhì)性部分是儲(chǔ)存于RAM2040、硬盤2050、可移動(dòng)介質(zhì)2061等存儲(chǔ)介質(zhì)中的軟件，或者可以經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)而下載的軟件。其中，由于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000的各硬件的動(dòng)作是眾所周知的，所以不再重復(fù)詳細(xì)的說(shuō)明。此外，也可以使用由半導(dǎo)體存儲(chǔ)元件構(gòu)成的硅盤、FLASH-SDD(Flash Solid State Drive)來(lái)取代作為非易失性儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的輔助存儲(chǔ)裝置的硬盤2050。其中，作為可移動(dòng)介質(zhì)2061等存儲(chǔ)介質(zhì)，不限于DVD-R0M(Digital Versatile Disc Read-Only Memory)、CD-ROM (Compact Disk Read-Only Memory)、光卡等光學(xué)存儲(chǔ)介質(zhì)，只要是如 MO (Magnetic Optical Disc)/MD (Mini Disc)等光磁存儲(chǔ)介質(zhì)、FD (Flexible Disk)、可移動(dòng)硬盤、磁帶、盒式帶等磁存儲(chǔ)介質(zhì)、ICantegrated Circuit)卡、掩模型ROM、 EPROM(Electronically Programmable Read-Only Memory) > EEPROM(Electronically Erasable Programmable Read-Only Memory)、閃存等半導(dǎo)體存儲(chǔ)元件那樣固定承載程序的介質(zhì)即可。這里所說(shuō)的程序不僅是可以由CPU直接執(zhí)行的程序，也包含源程序形式的程序、 被壓縮處理后的程序、加密后的程序等。此外，控制裝置20不限于圖2所示的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000，也可以作為 PLC (Programmable Logic Controller 可編程邏輯控制器)來(lái)實(shí)現(xiàn)。其中，由于保存裝置10具有與控制裝置20(圖2所示的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2000)同樣的
8構(gòu)成，所以不再重復(fù)關(guān)于保存裝置10的硬件構(gòu)成的說(shuō)明。此外，保存裝置10也可以是省略了顯示器2070、驅(qū)動(dòng)裝置2060、鍵盤2030以及鼠標(biāo)2020中的至少1個(gè)的構(gòu)成。<制造系統(tǒng)1的模塊>圖3是表示制造系統(tǒng)1的模塊的圖。制造系統(tǒng)1具備保存裝置10 (信息處理裝置、 第1裝置)、控制裝置20 (第2裝置)、以及制造裝置30。以下，對(duì)各裝置10、20、30的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。(保存裝置10)保存裝置10具備存儲(chǔ)部11、控制部12以及通信部13。通信部13具備接收部131 和發(fā)送部132。存儲(chǔ)部11由半導(dǎo)體存儲(chǔ)元件以及/或者硬盤構(gòu)成。存儲(chǔ)部11儲(chǔ)存有使保存裝置 10執(zhí)行規(guī)定的動(dòng)作的操作系統(tǒng)以及軟件。而且，存儲(chǔ)部11儲(chǔ)存有通過(guò)制造裝置30制造的產(chǎn)品的制造條件等。更具體而言，存儲(chǔ)部11至少儲(chǔ)存有對(duì)作為上述產(chǎn)品的制造條件的目標(biāo)值進(jìn)行表示的信息(第1信息)。其中，以下將該信息稱為“制造條件數(shù)據(jù)”?？刂撇?2控制保存裝置10的動(dòng)作。例如，控制部12讀出存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)，并向通信部13發(fā)送。另外，控制部12將經(jīng)由通信部13接收到的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11 中。通信部13與控制裝置20進(jìn)行數(shù)據(jù)通信。接收部131接收由控制裝置20發(fā)送來(lái)的數(shù)據(jù)。當(dāng)接收到數(shù)據(jù)時(shí)，接收部131將該數(shù)據(jù)發(fā)送給控制部12。發(fā)送部132向控制裝置 20發(fā)送由控制部12發(fā)送來(lái)的數(shù)據(jù)。其中，關(guān)于通信部13發(fā)送接收的其他數(shù)據(jù)將后述。(控制裝置20)控制裝置20具備存儲(chǔ)部21、控制部22、顯示部23以及通信部M?？刂撇?2具備顯示控制部221、生成部222以及刪除部223。通信部M具備接收部241和發(fā)送部M2。存儲(chǔ)部21由半導(dǎo)體存儲(chǔ)元件以及/或者硬盤構(gòu)成。存儲(chǔ)部21儲(chǔ)存有使控制裝置 20執(zhí)行規(guī)定的動(dòng)作的操作系統(tǒng)以及軟件。關(guān)于存儲(chǔ)部21儲(chǔ)存的其他信息將后述。顯示部23是液晶顯示器、CRT (Cathode Ray Tube)等圖像顯示裝置。顯示部23相當(dāng)于圖2的顯示器2070。通信部M與保存裝置10進(jìn)行數(shù)據(jù)通信。發(fā)送部M2向保存裝置10發(fā)送由控制部22發(fā)送來(lái)的數(shù)據(jù)信號(hào)。接收部241接收由保存裝置10發(fā)送來(lái)的數(shù)據(jù)信號(hào)(例如制造條件數(shù)據(jù))。接收部Ml向控制部22發(fā)送接收到的數(shù)據(jù)信號(hào)。其中，關(guān)于通信部對(duì)發(fā)送接收的其他數(shù)據(jù)將后述。接著，對(duì)控制部22進(jìn)行說(shuō)明?？刂撇?2對(duì)控制裝置20以及制造裝置30的動(dòng)作進(jìn)行控制。例如，控制部22讀出存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)，并向通信部13發(fā)送。另外，控制部22將經(jīng)由通信部13接收到的數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。而且，控制部22向制造裝置30 發(fā)送控制信號(hào)。其中，制造裝置30基于該控制信號(hào)而動(dòng)作。顯示控制部221控制顯示部23上的顯示內(nèi)容。顯示控制部221例如使顯示部23 顯示過(guò)程數(shù)據(jù)(第2信息)。這里，“過(guò)程數(shù)據(jù)”是指表示制造裝置30基于上述控制信號(hào)制造產(chǎn)品時(shí)相對(duì)上述目標(biāo)值的測(cè)量值(控制量)的數(shù)據(jù)。過(guò)程數(shù)據(jù)是數(shù)值信息等。其中，控制部22將過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存在存儲(chǔ)部21中。其中，在以下說(shuō)明中，過(guò)程數(shù)據(jù)以及/或者制造條件數(shù)據(jù)只要儲(chǔ)存在存儲(chǔ)部21中就能夠在顯示部23上顯示。生成部222生成向保存裝置10請(qǐng)求上述制造條件數(shù)據(jù)的發(fā)送的請(qǐng)求信號(hào)。其中， 控制部22經(jīng)由通信部M向保存裝置10發(fā)送生成部222生成的請(qǐng)求信號(hào)。關(guān)于生成部222 生成上述請(qǐng)求信號(hào)的定時(shí)將后述。刪除部223將存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的上述制造條件數(shù)據(jù)刪除。而且，刪除部223將儲(chǔ)存在存儲(chǔ)部21中的上述過(guò)程數(shù)據(jù)刪除。關(guān)于刪除部223刪除制造條件數(shù)據(jù)的定時(shí)、以及刪除部223刪除過(guò)程數(shù)據(jù)的定時(shí)將后述。(制造裝置30)制造裝置30具備處理部31。處理部31基于來(lái)自控制部22的控制信號(hào)來(lái)執(zhí)行用于制造產(chǎn)品的各種處理。制造裝置30以預(yù)先規(guī)定的間隔從處理部31取得上述過(guò)程數(shù)據(jù)， 并向控制裝置20發(fā)送該取得的過(guò)程數(shù)據(jù)?！磩?dòng)作序列〉圖4是表示制造系統(tǒng)1中的動(dòng)作序列的圖。參照?qǐng)D4，在步驟Sl中，控制裝置20 向保存裝置10發(fā)送上述請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S2中，保存裝置10向控制裝置20發(fā)送上述制造條件數(shù)據(jù)。在步驟S3中，控制裝置20向制造裝置30發(fā)送上述控制信號(hào)。在步驟S4中，制造裝置30向控制裝置20發(fā)送上述過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S5中，控制裝置20向保存裝置10發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)。<數(shù)據(jù)構(gòu)造>圖5是表示制造條件數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)構(gòu)造的例子的圖。參照?qǐng)D5，在制造條件數(shù)據(jù)Dl 中，對(duì)應(yīng)于時(shí)間，溫度和氣體流量被建立關(guān)連。對(duì)于圖5的例子，制造條件數(shù)據(jù)Dl中規(guī)定了例如在0秒 30秒的期間將溫度設(shè)定為T1°C，并且將氣體流量設(shè)定為F1。其中，T1、T2、 Τ3、Fl、F2、F3等值是上述目標(biāo)值。此外，制造條件數(shù)據(jù)不限于圖5所示的數(shù)據(jù)。圖6是表示過(guò)程數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)構(gòu)造的例子的圖。參照?qǐng)D6，在過(guò)程數(shù)據(jù)D2中，按規(guī)定時(shí)間間隔(圖5中為5秒)記錄溫度與氣體流量作為針對(duì)上述目標(biāo)值的測(cè)量值。此外，測(cè)量間隔不限于每隔5秒。控制裝置20也可以是以比5秒短的間隔進(jìn)行采樣的構(gòu)成，還可以是以比5秒長(zhǎng)的間隔進(jìn)行采樣的構(gòu)成。另外，過(guò)程數(shù)據(jù)不限于圖6所示的數(shù)據(jù)。<控制構(gòu)造>接著，對(duì)構(gòu)成制造系統(tǒng)1的各裝置10、20、30中的控制構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。然后，對(duì)制造系統(tǒng)1的控制構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。(保存裝置10)圖7是表示保存裝置10中的處理的流程的流程圖。參照?qǐng)D7，在步驟Sll中，保存裝置10將制造條件數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。該處理例如通過(guò)制造系統(tǒng)1的用戶對(duì)保存裝置10輸入數(shù)據(jù)來(lái)實(shí)現(xiàn)。在步驟S13中，保存裝置10從控制裝置20接收上述的請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S15中， 保存裝置10基于接收到請(qǐng)求信號(hào)而向控制裝置20發(fā)送存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的制造條件數(shù)據(jù)。在步驟S17中，保存裝置10從控制裝置20接收上述的過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S19中， 保存裝置10將接收到的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。(控制裝置20)
圖8是表示控制裝置20中的處理的流程的流程圖。參照?qǐng)D8，在步驟S31中，控制裝置20生成上述請(qǐng)求信號(hào)。其中，步驟S31中的請(qǐng)求信號(hào)的生成例如基于來(lái)自制造系統(tǒng)1 的用戶的輸入指示而執(zhí)行。在步驟S33中，控制裝置20向保存裝置10發(fā)送生成的請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S35中， 控制裝置20基于請(qǐng)求信號(hào)的發(fā)送，從保存裝置10接收制造條件數(shù)據(jù)。在步驟S37中，控制裝置20向制造裝置30發(fā)送基于接收到的制造條件數(shù)據(jù)的控制信號(hào)。在步驟S39中，控制裝置20基于上述控制信號(hào)的發(fā)送，從制造裝置30取得上述過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S41中，控制裝置20將過(guò)程數(shù)據(jù)顯示到顯示部23上。在步驟S43中，控制裝置20將取得的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。在步驟S45中，控制裝置20判斷產(chǎn)品的制造是否已完成。例如，控制裝置20以制造裝置30制造出預(yù)先設(shè)定的個(gè)數(shù)的產(chǎn)品為條件，判斷為產(chǎn)品的制造已完成。或者，控制裝置20以經(jīng)過(guò)了預(yù)先設(shè)定的時(shí)間為條件，判斷為產(chǎn)品的制造已完成。此外，表示產(chǎn)品的制造已完成的基準(zhǔn)并不限于此。例如，控制裝置20也能夠以制造裝置30中的成為處理對(duì)象的作業(yè)(work)不存在為條件，判斷為產(chǎn)品的制造已完成。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造已完成時(shí)(在步驟S45中為是)，控制裝置20在步驟S47中， 向保存裝置10發(fā)送存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S49中，控制裝置20基于向保存裝置10發(fā)送了過(guò)程數(shù)據(jù)而從存儲(chǔ)部21中刪除過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)。此外，制造條件數(shù)據(jù)的刪除只要在產(chǎn)品的制造已完成的基礎(chǔ)之上進(jìn)行即可，也可以在控制裝置20向保存裝置10發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)之前進(jìn)行。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造未完成時(shí)(在步驟S45中為否)，控制裝置20使處理返回到步驟S39。即，控制裝置20繼續(xù)進(jìn)行過(guò)程數(shù)據(jù)的取得。在步驟S51中，控制裝置20判斷是否經(jīng)由鍵盤2030等輸入裝置接收到用戶的請(qǐng)求信號(hào)的發(fā)送指示。當(dāng)判斷為接收到發(fā)送指示時(shí)(在步驟S51中為是)，控制裝置20使處理返回到步驟S31。當(dāng)判斷為未接收到發(fā)送指示時(shí)(在步驟S51中為否)，控制裝置20結(jié)束一系列的處理。此外，在該ー系列的處理結(jié)束后，例如執(zhí)行由用戶進(jìn)行的制造裝置30的維護(hù)作業(yè)。(制造裝置30)圖9是表示制造裝置30中的處理的流程的流程圖。參照?qǐng)D9，在步驟S71中，制造裝置30從控制裝置20接收上述控制信號(hào)。在步驟S73中，制造裝置30基于上述控制信號(hào)開(kāi)始產(chǎn)品的制造。在步驟S75中，制造裝置30向控制裝置20發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S77中，制造裝置30基于來(lái)自控制裝置20的控制信號(hào)，判斷產(chǎn)品的制造是否已完成。例如，在制造裝置30制造了產(chǎn)品后經(jīng)過(guò)一定時(shí)間制造裝置30也未接收到上述控制信號(hào)吋，制造裝置30判斷為產(chǎn)品的制造已完成。此外，判斷為產(chǎn)品的制造已完成的基準(zhǔn)不限于上述。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造已完成時(shí)(在步驟S77中為是)，制造裝置30結(jié)束一系列的處理。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造未完成時(shí)(在步驟S77中為否)，制造裝置30使處理返回到步驟S75。即，制造裝置30繼續(xù)向控制裝置20發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)。更具體而言，制造裝置30向控制裝置20傳遞構(gòu)成圖6的過(guò)程數(shù)據(jù)的下ー個(gè)采樣定時(shí)的時(shí)間(例如時(shí)間t = 40秒)時(shí)的溫度的信息與氣體流量的信息。
(制造系統(tǒng)1)圖10是表示制造系統(tǒng)1中的處理的流程的流程圖。參照?qǐng)D10，在步驟SlOl中，保存裝置10將制造條件數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。在步驟S103中，控制裝置20生成請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S105中，控制裝置20向保存裝置10發(fā)送生成的請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S107中，保存裝置10接收由控制裝置20發(fā)送來(lái)的請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S109 中，保存裝置10基于上述請(qǐng)求信號(hào)的接收，向控制裝置20發(fā)送存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的制造條件數(shù)據(jù)。在步驟Slll中，控制裝置20接收由保存裝置10發(fā)送來(lái)的制造條件數(shù)據(jù)。在步驟S113中，控制裝置20生成基于制造條件數(shù)據(jù)的控制信號(hào)，并向制造裝置30 發(fā)送該生成的控制信號(hào)。在步驟S115中，制造裝置30基于該控制信號(hào)開(kāi)始產(chǎn)品的制造。在步驟S117中，控制裝置20基于產(chǎn)品的制造開(kāi)始，從制造裝置30取得過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S119中，控制裝置20將取得的過(guò)程數(shù)據(jù)顯示在顯示部23上。例如，控制裝置20沿著時(shí)間序列顯示所取得的過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S121中，控制裝置20將上述過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。在步驟S123中，控制裝置20判斷產(chǎn)品的制造是否已完成。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造已完成時(shí)(在步驟S123中為是)，在步驟S125中，控制裝置20向保存裝置10發(fā)送存儲(chǔ)部 21中儲(chǔ)存的過(guò)程數(shù)據(jù)。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造未完成時(shí)(在步驟S123中為否)，控制裝置20 使處理返回到步驟S117。在步驟S127中，保存裝置10從控制裝置20接收過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟SU9中，保存裝置10將接收到的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。在步驟S131中，控制裝置20從存儲(chǔ)部 21中刪除過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)。在步驟S133中，控制裝置20判斷是否接收到例如用戶經(jīng)由鍵盤2030等輸入裝置的請(qǐng)求信號(hào)的發(fā)送指示。20當(dāng)判斷為接收到發(fā)送指示時(shí)(在步驟S133中為是)，控制裝置使處理返回到步驟S103。當(dāng)判斷為未接收到發(fā)送指示時(shí)(在步驟S133中為否)，控制裝置 20結(jié)束一系列的處理。此外，在該ー系列的處理結(jié)束之后，例如進(jìn)行用戶對(duì)制造裝置30的維護(hù)作業(yè)。在圖10所示的流程圖中，只有在步驟S131中從存儲(chǔ)部21刪除過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)之后，在步驟S133中控制裝置20接收到請(qǐng)求信號(hào)的發(fā)送指示時(shí)，控制裝置20生成請(qǐng)求信號(hào)(步驟S103)。但是，不限于這樣的構(gòu)成，也可以按照基于從存儲(chǔ)部21刪除了過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)(即以被刪除作為觸發(fā))，生成部222生成請(qǐng)求信號(hào)的方式構(gòu)成控制裝置20。該情況下，用戶能夠省去向控制裝置20反復(fù)輸入上述發(fā)送指示的勞カ和時(shí)間。く 總結(jié)〉如上所述，制造系統(tǒng)1具備制造產(chǎn)品的制造裝置30、控制制造裝置30的動(dòng)作的控制裝置20、和能夠與控制裝置20通信的保存裝置10。保存裝置10至少包含儲(chǔ)存有對(duì)作為產(chǎn)品的制造條件的目標(biāo)值進(jìn)行表示的制造條件數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部11。另外，保存裝置10包含向控制裝置20發(fā)送存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的上述制造條件數(shù)據(jù)的發(fā)送部132。制造裝置30基于上述制造條件數(shù)據(jù)來(lái)制造上述產(chǎn)品。控制裝置20包含存儲(chǔ)部21，該存儲(chǔ)部21儲(chǔ)存由保存裝置10發(fā)送出的上述制造條件數(shù)據(jù)、和表示制造產(chǎn)品時(shí)針對(duì)上述目標(biāo)值的測(cè)量值的過(guò)程數(shù)據(jù)。而且，控制裝置20包含刪除部223，該刪除部223基于產(chǎn)品被制造出而從存儲(chǔ)部21刪除上述制造條件數(shù)據(jù)。并且，控制裝置20包含向保存裝置10發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)的發(fā)送部M2。保存裝置10將由控制裝置20發(fā)送來(lái)的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中?？刂蒲b置 20的刪除部223基于向保存裝置10發(fā)送了過(guò)程數(shù)據(jù)而從存儲(chǔ)部21中刪除該過(guò)程數(shù)據(jù)。這樣，控制裝置20在基于存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的制造條件數(shù)據(jù)控制制造裝置30，使該制造裝置30制造出產(chǎn)品之后，從存儲(chǔ)部21中刪除制造條件數(shù)據(jù)。因此，在制造系統(tǒng)1中不會(huì)從控制裝置20泄露上述制造條件數(shù)據(jù)。從而，制造系統(tǒng)1與在產(chǎn)品的制造后也在保存裝置10與控制裝置20中儲(chǔ)存制造條件數(shù)據(jù)的構(gòu)成相比，能夠以更高的級(jí)別防止信息的泄露。當(dāng)在產(chǎn)品的制造完成后等控制裝置20的存儲(chǔ)部21中還儲(chǔ)存過(guò)程數(shù)據(jù)時(shí)，也可能發(fā)生上述用戶以外的第三者通過(guò)顯示部23偷看過(guò)程數(shù)據(jù)的情況。而且，第三者也可能基于過(guò)程數(shù)據(jù)容易地推測(cè)出制造條件數(shù)據(jù)。但是，控制裝置20在向保存裝置10發(fā)送了過(guò)程數(shù)據(jù)后，從存儲(chǔ)部21刪除該過(guò)程數(shù)據(jù)。因此，如上述那樣第三者在控制裝置20中偷看過(guò)程數(shù)據(jù)的可能性極低。從而，能夠以控制裝置20為基礎(chǔ)防止制造條件數(shù)據(jù)泄露這一事態(tài)。這樣，由于制造系統(tǒng)1從存儲(chǔ)部21中刪除過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)，所以與從存儲(chǔ)部21中僅刪除制造條件數(shù)據(jù)的構(gòu)成相比，成為安全等級(jí)更高的系統(tǒng)。另外，在本實(shí)施方式中，保存裝置10被配置在安全等級(jí)比區(qū)域PA高的區(qū)域CA中。 因此，與保存裝置10被配置于區(qū)域PA的構(gòu)成相比，保存裝置10中儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)的安全性變
問(wèn)ο另外，由于控制裝置20被配置在與保存裝置10不同的區(qū)域PA中，所以進(jìn)行基本系統(tǒng)9的保養(yǎng)以及檢查的操作者也可以通過(guò)直接操作控制裝置20(即不經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)作業(yè))，來(lái)訪問(wèn)控制裝置20的存儲(chǔ)部21。由此，使用了控制裝置20的、伴隨制造裝置30的動(dòng)作的該制造裝置的保養(yǎng)以及檢查成為可能。另外，若控制裝置20的存儲(chǔ)部21是易失性的存儲(chǔ)裝置，則存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的信息在控制裝置20的電源切斷的情況下消失。因此，能夠更可靠地防止制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)從存儲(chǔ)部21泄露。另外，通過(guò)保存裝置10的存儲(chǔ)部11為非易失性，即使在保存裝置10的電源被切斷的情況下，存儲(chǔ)部11中也能夠繼續(xù)保存制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)。優(yōu)選制造系統(tǒng)1構(gòu)成為在存儲(chǔ)部11的外部(例如區(qū)域PA內(nèi))非易失性地存儲(chǔ)制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)。由此，當(dāng)制造系統(tǒng)1的電源被切斷吋，在存儲(chǔ)部11的外部不存在制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)。因此，制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)僅殘留在位于安全等級(jí)比區(qū)域PA高的區(qū)域CA的存儲(chǔ)部11中。從而，制造系統(tǒng)1能夠更可靠地防止制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)的泄露。另外，控制裝置20在如上述那樣刪除了制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)后，產(chǎn)生從保存裝置10的存儲(chǔ)部11向控制裝置20的存儲(chǔ)部21發(fā)送接下來(lái)要制造的產(chǎn)品的制造條件數(shù)據(jù)的請(qǐng)求信號(hào)。由此，在控制裝置20的存儲(chǔ)部21中再次儲(chǔ)存接下來(lái)要制造的產(chǎn)品的制造條件數(shù)據(jù)。因此，制造系統(tǒng)1能夠繼續(xù)制造產(chǎn)品。即，制造系統(tǒng)1能夠重復(fù)產(chǎn)品的制造?！矊?shí)施方式2〕參照?qǐng)D11 圖13對(duì)本發(fā)明涉及的制造系統(tǒng)的另一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行以下說(shuō)明。本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)與實(shí)施方式1的制造系統(tǒng)1的不同之處在于關(guān)于保存裝置與控
13制裝置之間的數(shù)據(jù)通信，以將上述的制造條件數(shù)據(jù)以及上述的過(guò)程數(shù)據(jù)加密后的狀態(tài)進(jìn)行通信。〈制造系統(tǒng)2的模塊〉圖11是表示本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)2的模塊的圖。參照?qǐng)D11，制造系統(tǒng)2 具備保存裝置IOA (信息處理裝置、第1裝置)與基本系統(tǒng)9A。基本系統(tǒng)9A具備控制裝置 20A(第2裝置)和制造裝置30。(保存裝置10A)保存裝置IOA具備存儲(chǔ)部11、控制部12A和通信部13。控制部12A具備加密部 121與解密部122。S卩，控制部12A與實(shí)施方式1的控制部12的不同之處在于具備加密部 121與解密部122。加密部121對(duì)存儲(chǔ)部11中存儲(chǔ)的制造條件數(shù)據(jù)加密。其中，存儲(chǔ)部11中還儲(chǔ)存有通過(guò)規(guī)定的方法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行加密用的程序。在加密時(shí)，加密部121使用該程序來(lái)進(jìn)行制造條件數(shù)據(jù)的加密?；蛘撸部梢允褂眠M(jìn)行加密的硬件來(lái)取代上述加密程序。解密部122對(duì)以被加密的狀態(tài)從控制裝置20A發(fā)送來(lái)的數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。具體而言， 解密部122對(duì)在控制裝置20A中被加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。其中，存儲(chǔ)部11中還儲(chǔ)存有用于對(duì)通過(guò)上述規(guī)定的方法加密后的數(shù)據(jù)進(jìn)行解密的程序。在解密時(shí)，解密部122使用該程序來(lái)進(jìn)行制造條件數(shù)據(jù)的加密。或者，也可以使用進(jìn)行解密的硬件來(lái)取代上述解密程序。如上所述，保存裝置IOA以對(duì)制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行了加密的狀態(tài)將其發(fā)送給控制裝置20A。另外，保存裝置IOA從控制裝置20A接收被加密的狀態(tài)的過(guò)程數(shù)據(jù)，并對(duì)該接收到的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。(控制裝置20A)控制裝置20A具備存儲(chǔ)部21、控制部22A、顯示部23以及通信部對(duì)?？刂撇?2A 具備顯示控制部221、生成部222、刪除部223、解密部224以及加密部225。即，控制部22A 與實(shí)施方式1的控制部22的不同之處在于具備解密部2 與加密部225。解密部2 對(duì)由保存裝置IOA發(fā)送來(lái)的加密后的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密?？刂撇?22A基于該解密后的制造條件數(shù)據(jù)來(lái)控制制造裝置30。其中，存儲(chǔ)部21中還儲(chǔ)存有用于對(duì)通過(guò)上述規(guī)定的方法加密后的數(shù)據(jù)進(jìn)行解密的程序。在解密時(shí)，解密部2M使用該程序來(lái)進(jìn)行制造條件數(shù)據(jù)的解密。或者，也可以使用進(jìn)行解密的硬件來(lái)取代上述解密程序。加密部225對(duì)從制造裝置30取得的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行加密?？刂撇?2A經(jīng)由通信部 24向保存裝置IOA發(fā)送該加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)。其中，存儲(chǔ)部21中還儲(chǔ)存有通過(guò)規(guī)定的方法加密數(shù)據(jù)用的程序。在加密時(shí)，加密部225使用該程序來(lái)進(jìn)行過(guò)程數(shù)據(jù)的加密。或者，也可以使用進(jìn)行加密的硬件來(lái)取代上述加密程序。如上所述，控制裝置20A從保存裝置IOA接收加密后的狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)，并對(duì)該接收到的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。另外，控制裝置20A以對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)加密后的狀態(tài)將其發(fā)送給保存裝置10A。〈控制構(gòu)造〉圖12是表示制造系統(tǒng)2中的前半段處理的流程的流程圖。圖13是表示制造系統(tǒng) 2中的后半段處理的流程的流程圖。
參照?qǐng)D12，在步驟S201中，保存裝置IOA將制造條件數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。在步驟S203中，控制裝置20A生成請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S205中，控制裝置20A向保存裝置IOA 發(fā)送生成的請(qǐng)求信號(hào)。在步驟S207中，保存裝置IOA接收從控制裝置20A發(fā)送來(lái)的請(qǐng)求信號(hào)。在步驟 S209中，保存裝置IOA對(duì)存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行加密。在步驟S211中，保存裝置IOA基于上述請(qǐng)求信號(hào)的接收，向控制裝置20A發(fā)送加密后的制造條件數(shù)據(jù)。在步驟S213中，控制裝置20A接收從保存裝置IOA發(fā)送來(lái)的被加密后的制造條件數(shù)據(jù)。在步驟 S215中，控制裝置20A對(duì)加密后的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。該解密后的制造條件數(shù)據(jù)被儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。此外，也可以按照下述方式構(gòu)成控制裝置20A 在存儲(chǔ)部21中暫時(shí)存儲(chǔ)了加密后的制造條件數(shù)據(jù)之后，從存儲(chǔ)部21中讀出該制造條件數(shù)據(jù)，并對(duì)該讀出的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。在步驟S217中，控制裝置20A將制造條件數(shù)據(jù)顯示到顯示部23上。在步驟S218 中，控制裝置20A生成基于解密后的制造條件數(shù)據(jù)的控制信號(hào)，井向制造裝置30發(fā)送該生成的控制信號(hào)。在步驟S219中，制造裝置30基于該控制信號(hào)開(kāi)始產(chǎn)品的制造。在步驟S221 中，控制裝置20A基于產(chǎn)品的制造開(kāi)始，從制造裝置30中取得過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟S223中，控制裝置20A將上述過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。在步驟S225 中，控制裝置20A在顯示部23上顯示所取得的過(guò)程數(shù)據(jù)。例如，控制裝置20A沿時(shí)間序列顯示所取得的過(guò)程數(shù)據(jù)。參照?qǐng)D13，在步驟S227中，控制裝置20A讀出存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的過(guò)程數(shù)據(jù)，并對(duì)該讀出的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行加密。在步驟中，控制裝置20A判斷產(chǎn)品的制造是否已完成。 當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造已完成時(shí)(在步驟中為是)，在步驟S231中，控制裝置20A向保存裝置IOA發(fā)送加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)。當(dāng)判斷為產(chǎn)品的制造未完成時(shí)(在步驟中為否)， 控制裝置20A使處理返回到步驟S221。在步驟S233中，保存裝置IOA從控制裝置20A接收加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)。在步驟 S235中，保存裝置IOA對(duì)該加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。在步驟S237中，保存裝置IOA將解密后的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。此外，也可以按照下述方式構(gòu)成保存裝置IOA 在存儲(chǔ)部11中暫時(shí)存儲(chǔ)了加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)之后，從存儲(chǔ)部11中讀出該過(guò)程數(shù)據(jù)，并對(duì)該讀出的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。在步驟S239中，控制裝置20A從存儲(chǔ)部21中刪除過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)。其中，只要如實(shí)施方式1中敘述那樣，制造條件數(shù)據(jù)的刪除基于產(chǎn)品的制造完成而進(jìn)行即可， 可以在控制裝置20A向保存裝置10發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)之前進(jìn)行。在步驟S241中，控制裝置20A判斷是否接收到例如用戶經(jīng)由鍵盤2030等輸入裝置發(fā)出的請(qǐng)求信號(hào)的發(fā)送指示。當(dāng)判斷為接收到發(fā)送指示時(shí)(在步驟S241中為是)，控制裝置20A使處理返回到步驟S203。當(dāng)判斷為沒(méi)有接受發(fā)送指示時(shí)(在步驟S241中為否)， 控制裝置20A結(jié)束一系列的處理。此外，在該ー系列的處理結(jié)束之后，例如進(jìn)行用戶對(duì)制造裝置30的維護(hù)作業(yè)。く 總結(jié)〉如上所述，在制造系統(tǒng)2中，保存裝置IOA具備對(duì)制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行加密的加密部121。而且，保存裝置IOA的發(fā)送部132以對(duì)上述制造條件數(shù)據(jù)加密后的狀態(tài)將其發(fā)送給控制裝置20A?？刂蒲b置20A具備對(duì)加密后的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密的解密部224?？刂蒲b置20A將被解密部2 解密后的制造條件數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。因此，在制造系統(tǒng)2中，制造條件數(shù)據(jù)在保存裝置IOA與控制裝置20A之間以被加密的狀態(tài)進(jìn)行通信。因此，即使在第三者從將保存裝置IOA與控制裝置20A連接成可通信的通信線的中途引出分支的通信線的情況下，該第三者也難以確認(rèn)制造條件數(shù)據(jù)的內(nèi)容。這樣，由于制造條件數(shù)據(jù)以被加密后的狀態(tài)在保存裝置IOA與控制裝置20A之間通信，所以制造系統(tǒng)2與實(shí)施方式1的制造系統(tǒng)1相比，安全等級(jí)變高。另外，由于制造條件數(shù)據(jù)的解密在控制裝置20A中執(zhí)行，所以該被解密后的制造條件數(shù)據(jù)從上述第三者引出的上述通信線泄露的可能性降低。另外，如上所述，在制造系統(tǒng)2中，控制裝置20A具備對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行加密的加密部225。控制裝置20A的發(fā)送部M2以對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行加密后的狀態(tài)將其發(fā)送給保存裝置 IOA0保存裝置IOA具備對(duì)上述被加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行解密的解密部122。保存裝置IOA 將被解密部122解密后的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。因此，在制造系統(tǒng)2中，過(guò)程數(shù)據(jù)在保存裝置IOA與控制裝置20A之間以被加密后的狀態(tài)通信。因此，即使在第三者從將保存裝置IOA與控制裝置20A連接成能夠通信的通信線的中途引出分支的通信線的情況下，該第三者也難以確認(rèn)過(guò)程數(shù)據(jù)的內(nèi)容。這樣，由于過(guò)程數(shù)據(jù)以被加密后的狀態(tài)在保存裝置IOA與控制裝置20A之間通信，所以制造系統(tǒng)2與實(shí)施方式1的制造系統(tǒng)1相比，安全等級(jí)變高。另外，由于過(guò)程數(shù)據(jù)的解密在控制裝置20A中執(zhí)行，所以該被解密后的過(guò)程數(shù)據(jù)從上述第三者引出的上述通信線泄露的可能性降低?！醋冃卫翟谏鲜龅恼f(shuō)明中，保存裝置IOA以未對(duì)制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行加密的狀態(tài)將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中，但也能夠以對(duì)制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行了加密的狀態(tài)將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。這樣，以對(duì)制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行了加密的狀態(tài)將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中的情況與以未加密的狀態(tài)儲(chǔ)存的情況相比，能夠使安全等級(jí)提高。另外，雖然控制裝置20A以未對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行加密的狀態(tài)將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21 中，但也能夠以對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行了加密的狀態(tài)將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中。這樣，以對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行了加密的狀態(tài)將其儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部21中的情況與以未加密的狀態(tài)儲(chǔ)存的情況相比， 能夠使安全等級(jí)提高。〔實(shí)施方式3〕參照?qǐng)D14 圖16對(duì)本發(fā)明涉及的制造系統(tǒng)的又一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行如下說(shuō)明。本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)與實(shí)施方式2的制造系統(tǒng)2的不同之處在于顯示部23中的過(guò)程數(shù)據(jù)的顯示方式。〈制造系統(tǒng)3的模塊〉圖14是表示本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)3的模塊的圖。參照?qǐng)D14，制造系統(tǒng)3具備保存裝置IOA (信息處理裝置、第1裝置)以及基本系統(tǒng)9B?；鞠到y(tǒng)9B具備控制裝置 20B (第2裝置)和制造裝置30。(控制裝置20B)
控制裝置20B具備存儲(chǔ)部21、控制部22B、顯示部23以及通信部24?？刂撇?2B具備顯示控制部221、生成部222、刪除部223、解密部224、加密部225以及變更部226。艮口，控制部22B與實(shí)施方式2的控制部22A的不同之處在于具備變更部226。例如當(dāng)經(jīng)由鍵盤2030等輸入裝置從用戶接收到在顯示部23上顯示過(guò)程數(shù)據(jù)的指示時(shí)，變更部2 從存儲(chǔ)部21中讀出過(guò)程數(shù)據(jù)，并將該讀出的過(guò)程數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值。具體而言，變更部2 基于預(yù)先儲(chǔ)存于存儲(chǔ)部21的基準(zhǔn)值來(lái)算出作為數(shù)值信息的過(guò)程數(shù)據(jù)是上述基準(zhǔn)值的多少倍或者多少百分比的值。然后，變更部226向顯示控制部221發(fā)送該算出的值(即相對(duì)值)。顯示控制部221使基于上述算出的相對(duì)值的內(nèi)容顯示在顯示部23上。其中，基準(zhǔn)值是對(duì)上述第三者保密的值。另外，也可以是下述構(gòu)成在制造產(chǎn)品的中途，不必接受經(jīng)由上述輸入裝置的來(lái)自用戶的指示，變更部2 從存儲(chǔ)部21中讀出過(guò)程數(shù)據(jù)，顯示控制部221使顯示部23顯示相對(duì)值。另外，當(dāng)經(jīng)由鍵盤2030等輸入裝置從用戶接收到使制造條件數(shù)據(jù)在顯示部23上顯示的指示時(shí)，變更部2 從存儲(chǔ)部21中讀出制造條件數(shù)據(jù)，并將該讀出的制造條件數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值。具體而言，變更部2 基于上述基準(zhǔn)值來(lái)算出作為數(shù)值信息的制造條件數(shù)據(jù)是上述基準(zhǔn)值的多少倍或者多少百分比的值。然后，變更部226向顯示控制部221發(fā)送該算出的值(即相對(duì)值)。顯示控制部221使顯示部23顯示基于上述算出的相對(duì)值的內(nèi)容。另外，以上舉例說(shuō)明了控制裝置20B將制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值的情況，但也可以是控制裝置20B將制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)變更為偽數(shù)據(jù)(dummydata)的構(gòu)成。具體而言，變更部2 根據(jù)由預(yù)先儲(chǔ)存于存儲(chǔ)部21的顯示變更用的程序規(guī)定的規(guī)則，例如將數(shù)值(制造條件數(shù)據(jù)、過(guò)程數(shù)據(jù))變更為英文?；蛘?，變更部2 根據(jù)由該程序規(guī)定的規(guī)則，將該數(shù)值變更為不是相對(duì)值的數(shù)值。例如，變更部2 通過(guò)對(duì)該數(shù)值加上規(guī)定的值等來(lái)變更該數(shù)值。上述是數(shù)值數(shù)據(jù)的例子，對(duì)于其他的數(shù)據(jù)也同樣，制造條件數(shù)據(jù)以及/或者過(guò)程數(shù)據(jù)的內(nèi)容可以變更成第3者難以推定的顯示?！纯刂茦?gòu)造〉圖15是表示制造系統(tǒng)3中的前半段處理的流程的流程圖。圖16是表示制造系統(tǒng)3中的后半段處理的流程的流程圖。而且，圖15以及圖16是對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行上述變更處理時(shí)的流程圖。首先，對(duì)圖15所示的步驟S301 S325與實(shí)施方式2的圖12所示的步驟S201 S225的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。參照?qǐng)D15和圖12，第1個(gè)不同點(diǎn)是控制裝置的參照符號(hào)(附圖中的表示部件的符號(hào)(例如編號(hào)))不同。第2個(gè)不同點(diǎn)是圖15中包含步驟S316的步驟。第3個(gè)不同點(diǎn)是圖15中包含步驟S3M以及步驟S325的步驟來(lái)取代圖12所示的步驟S225的步驟。除此之外，圖15與圖12相同。因此，對(duì)于圖15中的步驟S301 S321、S325的處理內(nèi)容的說(shuō)明，除了一部分的處理內(nèi)容這里不再重復(fù)。其中，圖15的步驟與圖12的步驟中步驟編號(hào)(“301”、“303”、“201”、“203”等)的后2位數(shù)字(“01”、“03”等)相同的步驟相互對(duì)應(yīng)。在步驟S316中，控制裝置20B將制造條件數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)。其中，在步驟S317中，控制裝置20B顯示該相對(duì)值或者該偽數(shù)據(jù)。
在步驟S3M中，控制裝置20B將過(guò)程數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)。然后，在步驟S325中，控制裝置20B在顯示部23上顯示相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)。參照?qǐng)D16與圖13，圖16所示的步驟S327 S341與實(shí)施方式2的圖13所示的步驟S227 S241的不同點(diǎn)在于控制裝置的參照符號(hào)不同。因此，對(duì)于圖16中的步驟S327 S341的處理內(nèi)容的說(shuō)明這里不再重復(fù)。需要說(shuō)明的是，圖16的步驟與圖13的步驟中步驟編號(hào)(327、329、227、229等)的后2位數(shù)字(27J9等)相同的步驟相互對(duì)應(yīng)。此外，上面對(duì)控制裝置20B將制造條件數(shù)據(jù)與過(guò)程數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以是控制裝置20B將制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)中的任意1個(gè)變更為相對(duì)值的構(gòu)成。〈總結(jié)〉以上所述，控制裝置20B具備將制造條件數(shù)據(jù)以及/或者過(guò)程數(shù)據(jù)變更為相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)的變更部226。而且，顯示控制部221使變更后的值(相對(duì)值)或者變更后的數(shù)據(jù)(偽數(shù)據(jù))顯示在顯示部23上。這樣，控制裝置20B是不在顯示部23上顯示制造條件數(shù)據(jù)本身以及/或者過(guò)程數(shù)據(jù)本身而顯示相對(duì)值、偽數(shù)據(jù)的構(gòu)成。因此，例如即使在產(chǎn)品的制造中第三者偷看到顯示部上顯示的相對(duì)值、偽數(shù)據(jù)，對(duì)于第三者而言，也不能得知制造條件數(shù)據(jù)本身以及/或者過(guò)程數(shù)據(jù)本身。因此，制造系統(tǒng)3與實(shí)施方式2的制造系統(tǒng)2相比，安全等級(jí)變高?！矊?shí)施方式4〕參照?qǐng)D17 圖19對(duì)本發(fā)明涉及的制造系統(tǒng)的其他實(shí)施方式進(jìn)行如下說(shuō)明。本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)與實(shí)施方式3的制造系統(tǒng)3的不同之處在于具備服務(wù)器裝置。〈制造系統(tǒng)4的模塊〉圖17是表示本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)4的模塊的圖。參照?qǐng)D17，制造系統(tǒng)4具備保存裝置IOB (信息處理裝置、第1裝置)、基本系統(tǒng)9B、終端裝置(第3裝置)40。終端裝置40與保存裝置IOB同樣被配置在區(qū)域CA。(保存裝置10B)保存裝置IOB具備存儲(chǔ)部11、控制部12B以及通信部13。下面，設(shè)保存裝置IOB以加密后的狀態(tài)將制造條件數(shù)據(jù)儲(chǔ)存于存儲(chǔ)部11。并且，保存裝置IOB對(duì)于從控制裝置20B (第2裝置)接收到的過(guò)程數(shù)據(jù)也以加密后的狀態(tài)儲(chǔ)存于存儲(chǔ)部11。控制部12B除了具有實(shí)施方式3中的控制部12A(參照?qǐng)D14)的功能之外，還具有經(jīng)由通信部13與終端裝置40進(jìn)行數(shù)據(jù)通信的功能。例如當(dāng)保存裝置IOB收到預(yù)先設(shè)定的指示時(shí)，控制部12B從存儲(chǔ)部11中讀出存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的被加密的狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)以及被加密的狀態(tài)的過(guò)程數(shù)據(jù)。進(jìn)而，控制部12B的解密部122對(duì)該讀出的被加密后的狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)以及被加密后的狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。然后，發(fā)送部132在控制部12B的控制之下，向終端裝置40發(fā)送解密后的制造條件數(shù)據(jù)以及解密后的過(guò)程數(shù)據(jù)。(終端裝置40)終端裝置40是操作者用于對(duì)在保存裝置IOB內(nèi)以加密的狀態(tài)保存的數(shù)據(jù)進(jìn)行解密來(lái)參照以及/或者利用的操作終端。終端裝置40具備儲(chǔ)存數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部(未圖示)。終端裝置40在該存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存
18由保存裝置IOB發(fā)送來(lái)的解密狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)。根據(jù)該構(gòu)成，上述操作者能夠參照以及/或者利用解密狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)以及/或者過(guò)程數(shù)據(jù)。其中，優(yōu)選采用下述構(gòu)成在操作者執(zhí)行的操作結(jié)束后，暫時(shí)被解密并保存于終端裝置40內(nèi)的存儲(chǔ)裝置(硬盤等)的數(shù)據(jù)被重新發(fā)送給保存裝置10B，并不殘留于終端裝置40地被刪除。另外，更優(yōu)選具有密碼、認(rèn)證卡等安全性鎖，以便在使用終端裝置40時(shí)僅具有權(quán)限的人可以操縱?！纯刂茦?gòu)造〉圖18是表示制造系統(tǒng)4中的前半段處理的流程的流程圖。圖19是表示制造系統(tǒng)4中的后半段處理的流程的流程圖。而且，圖18以及圖19與實(shí)施方式3的圖15以及圖16同樣，是對(duì)過(guò)程數(shù)據(jù)進(jìn)行上述變更處理時(shí)的流程圖。首先，圖18所示的步驟S401 S425與實(shí)施方式3的圖15所示的步驟S301 S325的不同點(diǎn)在于保存裝置的參照符號(hào)不同。因此，對(duì)于圖18中的步驟S401 S425的處理內(nèi)容的說(shuō)明這里不再重復(fù)。其中，圖18的步驟與圖15的步驟中步驟編號(hào)(401、403、301、303等)的后2位數(shù)字(01、03等)相同的步驟相互對(duì)應(yīng)。接著，對(duì)圖19所示的步驟S427 S447與實(shí)施方式3的圖16所示的步驟S327 S341的不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。參照?qǐng)D19與圖16，第1個(gè)不同點(diǎn)在于保存裝置的部件編號(hào)不同。第2個(gè)不同點(diǎn)在于圖19中不存在與圖16的步驟S335對(duì)應(yīng)的步驟。第3個(gè)不同點(diǎn)是圖19設(shè)置了步驟S437來(lái)取代圖16的步驟S337。第4個(gè)不同點(diǎn)是圖19中新設(shè)置了表示為步驟S443 449的步驟。因此，對(duì)于圖19中的步驟S427 S433、S439、S441的處理內(nèi)容的說(shuō)明這里不再重復(fù)。其中，圖19的步驟與圖16的步驟中步驟編號(hào)的后2位數(shù)字相同的步驟相互對(duì)應(yīng)。保存裝置IOB在步驟S437中將被加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部11中。在步驟S443中，保存裝置IOB判斷是否接收到作為上述預(yù)先設(shè)定的指示的向終端裝置40進(jìn)行數(shù)據(jù)發(fā)送的指示。當(dāng)判斷為接收到上述指示時(shí)(在步驟S443中為是)，在步驟S445中，保存裝置IOB從存儲(chǔ)部11中讀出被加密后的過(guò)程數(shù)據(jù)以及被加密后的制造條件數(shù)據(jù)。當(dāng)判斷為未接收到上述指示時(shí)(在步驟S443中為否)，保存裝置IOB結(jié)束處理。在步驟S447中，保存裝置IOB對(duì)讀出的過(guò)程數(shù)據(jù)以及制造條件數(shù)據(jù)進(jìn)行解密。在步驟S449中，保存裝置IOB向終端裝置40發(fā)送被解密后的過(guò)程數(shù)據(jù)以及被解密后的制造條件數(shù)據(jù)。其中，終端裝置40將該過(guò)程數(shù)據(jù)以及該制造條件數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到終端裝置40的存儲(chǔ)部中。〈總結(jié)〉如上所述，在制造系統(tǒng)4中，制造條件數(shù)據(jù)與過(guò)程數(shù)據(jù)以被加密的狀態(tài)儲(chǔ)存到保存裝置IOB的存儲(chǔ)部11中。保存裝置IOB的發(fā)送部132向與保存裝置IOB配置于相同區(qū)域CA中的終端裝置40以分別被解密的狀態(tài)發(fā)送存儲(chǔ)部11中儲(chǔ)存的被加密的狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)以及過(guò)程數(shù)據(jù)。因此，在保存裝置IOB中能夠以加密的狀態(tài)儲(chǔ)存制造條件數(shù)據(jù)與過(guò)程數(shù)據(jù)，另一方面，在終端裝置40中能夠以解密的狀態(tài)儲(chǔ)存制造條件數(shù)據(jù)與過(guò)程數(shù)據(jù)。因此，操作者在終端裝置40中能夠參照以及/或者利用解密狀態(tài)的制造條件數(shù)據(jù)以及/或者過(guò)程數(shù)據(jù)。〔實(shí)施方式5〕參照?qǐng)D20 圖25對(duì)本發(fā)明涉及的制造系統(tǒng)的其他實(shí)施方式進(jìn)行如下說(shuō)明。其中，本實(shí)施方式涉及的制造系統(tǒng)是將實(shí)施方式1的制造系統(tǒng)1應(yīng)用于半導(dǎo)體的薄膜制造的例子。<成膜制造系統(tǒng)5的模塊>圖20是表示本實(shí)施方式涉及的成膜制造系統(tǒng)5的模塊的圖。參照?qǐng)D20，成膜制造系統(tǒng)5具備保存裝置10 (信息處理裝置、第1裝置)與成膜基本系統(tǒng)9M。成膜基本系統(tǒng)9M具備成膜裝置30M與控制裝置20(第2裝置)。其中，保存裝置10被配置于區(qū)域CA。成膜基本系統(tǒng)9M被配置于區(qū)域PA。(成膜裝置30M)成膜裝置30M是具有多個(gè)成膜室的CVD (Chemical Vapor D印osition)裝置。成膜裝置30M具備第1成膜部31a、第2成膜部31b、第3成膜部31c、傳送部32以及前室33。即，成膜裝置30M與實(shí)施方式1的制造裝置30的不同之處在于具備多個(gè)處理部(即第1成膜部31a、第2成膜部31b以及第3成膜部31c)。其中，各成膜部31a、31b、31c是成膜室及其內(nèi)部構(gòu)造。第1成膜部31a、第2成膜部31b、第3成膜部31c分別在基板上進(jìn)行成膜。各成膜部31a、31b、31c被控制裝置20控制動(dòng)作。即，在本實(shí)施方式中，控制裝置20控制多個(gè)處理部的動(dòng)作。其中，以下為了方便說(shuō)明，設(shè)成為用于控制各成膜部31a、31b、31c的控制信號(hào)的基礎(chǔ)的制造條件數(shù)據(jù)對(duì)于各成膜部31a、31b、31c是不同的。S卩，控制裝置20的存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存有3組制造條件數(shù)據(jù)。傳送部32在各個(gè)成膜部31a、31b、31c與前室33之間傳送基板。其中，傳送部32被控制裝置20的控制部22控制動(dòng)作。圖21是表示基板的移動(dòng)方向的圖。參照?qǐng)D21，傳送部32在各個(gè)成膜部31a、31b、31c與前室33之間，沿箭頭的方向傳送基板。圖22是表示使基板70從前室33移動(dòng)到各成膜部31a、31b、31c后的成膜裝置30M的狀態(tài)的圖。各基板70通過(guò)傳送部32的傳送而經(jīng)由各路徑II、12、13移動(dòng)到各成膜部31a、31b、31c0圖23是表示正對(duì)基板70進(jìn)行成膜處理的狀態(tài)的圖。其中，成膜結(jié)束的定時(shí)在各成膜部31a、31b、31c之間不一定相同。例如，在某個(gè)定時(shí)，僅在第1成膜部31a中結(jié)束成膜。即，在第1成膜部31a中得到成膜完畢的基板(產(chǎn)品)。圖M是表示將成膜完畢的基板71從第1成膜部31a傳送到前室33后的成膜裝置30M的狀態(tài)的圖。圖25是表示傳送部32將新的基板70從前室33傳送到第1成膜部31a后的成膜裝置30M的狀態(tài)的圖。參照?qǐng)D25，每當(dāng)在1個(gè)成膜部中產(chǎn)品的制造結(jié)束時(shí)，成膜裝置30M便向該成膜部傳送新的基板。每當(dāng)在各成膜部31a、31b、31c的任意一個(gè)中產(chǎn)品的制造結(jié)束時(shí)，控制裝置20便刪除存儲(chǔ)部21中儲(chǔ)存的與該產(chǎn)品的制造結(jié)束了的成膜部對(duì)應(yīng)的制造條件數(shù)據(jù)。即，控制裝置20從存儲(chǔ)部21中暫時(shí)刪除在產(chǎn)品的制造結(jié)束了的成膜部中使用的制造條件數(shù)據(jù)。另外，當(dāng)重新在該成膜部中制造產(chǎn)品時(shí)，控制裝置20從保存裝置10取得該制造條件數(shù)據(jù)。關(guān)于該制造條件數(shù)據(jù)的取得，下面進(jìn)行更詳細(xì)的說(shuō)明?？刂蒲b置20使為了從保存裝置10取得制造條件數(shù)據(jù)而發(fā)送的上述請(qǐng)求信號(hào)中包含用于確定多個(gè)成膜部31a、31b、31c中任意一個(gè)成膜部的信息。保存裝置10從存儲(chǔ)部11中讀出多個(gè)制造條件數(shù)據(jù)中基于該信息的制造條件數(shù)據(jù)。然后，保存裝置10向控制裝置20發(fā)送該讀出的制造條件數(shù)據(jù)。這樣，在成膜制造系統(tǒng)5中，由于各成膜部31a 31c所使用的制造條件數(shù)據(jù)(成膜條件)中特定的數(shù)據(jù)被選擇性地向控制裝置20發(fā)送，所以能夠使用分別適合各成膜部31a 31c的成膜條件。另外，在成膜制造系統(tǒng)5中，各成膜部31a 31c所使用的成膜條件中的特定的條件被選擇性地刪除。因此，各成膜條件中的正被用于控制中的條件不被刪除。由此，可以防止因成膜條件的刪除而對(duì)成膜造成障礙。另外，針對(duì)各成膜部31a 31c，將各自的過(guò)程數(shù)據(jù)保存在存儲(chǔ)部21中。此時(shí)，各過(guò)程數(shù)據(jù)被追加用于確定在多個(gè)成膜部31a、31b、31c的哪一個(gè)中進(jìn)行了處理的第3信息。所述過(guò)程數(shù)據(jù)在各制造處理完成后立即包含第3信息被發(fā)送給保存裝置，并在發(fā)送后從存儲(chǔ)部21中將其刪除。另外，也可以是下述構(gòu)成在上述成膜制造系統(tǒng)5中，請(qǐng)求信號(hào)中不包含用于確定多個(gè)成膜部31a、31b、31c中的哪個(gè)成膜部的信息，在被發(fā)送給控制裝置后，控制部從多個(gè)成膜部中選擇處理。該情況下，請(qǐng)求信號(hào)中不包含第3信息，但過(guò)程數(shù)據(jù)中包含第3信息。此外，作為制造系統(tǒng)的一個(gè)例子，本實(shí)施方式對(duì)成膜系統(tǒng)進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于此，該制造系統(tǒng)例如也可以是具有蝕刻裝置的蝕刻系統(tǒng)?！纯偨Y(jié)〉如上所述，成膜制造系統(tǒng)5的成膜裝置30M包含分別進(jìn)行用于制造產(chǎn)品的處理的多個(gè)處理部。為從保存裝置10中取得制造條件數(shù)據(jù)而發(fā)送的請(qǐng)求信號(hào)包含確定多個(gè)處理部的哪一個(gè)的信息(第3信息)。保存裝置10的存儲(chǔ)部11按每個(gè)處理部?jī)?chǔ)存有與該處理部對(duì)應(yīng)的制造條件數(shù)據(jù)。發(fā)送部132向控制裝置20發(fā)送多個(gè)制造條件數(shù)據(jù)中的基于該信息(第3信息)的制造條件數(shù)據(jù)。因此，控制裝置20能夠從保存裝置10中取得與各處理部對(duì)應(yīng)的制造條件數(shù)據(jù)?！沧冃卫吃趯?shí)施方式1 5的制造系統(tǒng)1 5中，以1個(gè)控制裝置與保存裝置連接的構(gòu)成為例進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以是多個(gè)控制裝置與保存裝置連接的構(gòu)成。圖沈是表示多個(gè)控制裝置與保存裝置連接的制造系統(tǒng)的構(gòu)成的圖。參照?qǐng)D沈，制造系統(tǒng)6具備保存裝置10與多個(gè)基本系統(tǒng)9。各基本系統(tǒng)9的各控制裝置20被連接成可以通過(guò)通信線相互通信。優(yōu)選各基本系統(tǒng)9的各控制裝置20分別通過(guò)1根專用線路L1、L2、L3與保存裝置10連接。即，按每個(gè)控制裝置20具備專用的通信線路，在各線路的中途不具備用于將該通信線路分支的通信用設(shè)備(例如LAN (Local Area Network)用的集線器)等。因此，制造系統(tǒng)6能夠防止信息從將保存裝置10與各控制裝置20連接的線路泄露。另外，由于通過(guò)使用專用線能夠防止從分支處泄露信息，所以可以進(jìn)一步提高安全等級(jí)。
此外，對(duì)于實(shí)施方式1 5的制造系統(tǒng)1 5，也可以如圖沈所示那樣應(yīng)用多個(gè)控制裝置與保存裝置連接的構(gòu)成。另外，實(shí)施方式1 5的制造系統(tǒng)1 5可以應(yīng)用于單晶/多晶太陽(yáng)能電池、薄膜硅太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體太陽(yáng)能電池等太陽(yáng)能電池制造裝置以及制造系統(tǒng)。本次公開(kāi)的實(shí)施方式僅是例示，并不僅限定于上述內(nèi)容。本發(fā)明保護(hù)范圍由權(quán)利要求表示，旨在包含與權(quán)利要求均等的含意以及范圍內(nèi)的所有變更。附圖標(biāo)記說(shuō)明1-制造系統(tǒng)；2-制造系統(tǒng)；3-制造系統(tǒng)；4-制造系統(tǒng)；5-成膜制造系統(tǒng)(制造系統(tǒng))；6-制造系統(tǒng)；9-基本系統(tǒng)；9A-基本系統(tǒng)；9B-基本系統(tǒng)；9M-成膜基本系統(tǒng)；10-保存裝置(信息處理裝置、第1裝置)；IOA-保存裝置(信息處理裝置、第1裝置)；IOB-保存裝置(信息處理裝置、第1裝置)；11-存儲(chǔ)部(第1存儲(chǔ)部)；12-控制部；12A-控制部；12B-控制部；13-通信部；20-控制裝置(第2裝置)；20A-控制裝置(第2裝置)；20B-控制裝置(第2裝置)；21-存儲(chǔ)部(第2存儲(chǔ)部)；22-控制部；22A-控制部；22B-控制部；23-顯示部；24-通信部；30-制造裝置；30M-成膜裝置；31-處理部；31a_成膜部；31b-成膜部；31c-成膜部；32-傳送部；33-前室；40-終端裝置(第3裝置)；121-加密部；122-解密部；131-接收部；132-發(fā)送部(第1發(fā)送部)；221-顯示控制部；222-生成部；223-刪除部；224-解密部；225-加密部；226-變更部；Ml-接收部J42-發(fā)送部(第2發(fā)送部)；2000-計(jì)算機(jī)系統(tǒng)；2030-鍵盤；2040-RAM ；2050-硬盤；2070-顯示器；2080-通信IF ；Dl-制造條件數(shù)據(jù)；D2-過(guò)程數(shù)據(jù)；Ll-專用線路1 ；L2-專用線路2 ；L3-專用線路3 ；CA-區(qū)域；PA-區(qū)域。
2權(quán)利要求
1.一種產(chǎn)品的制造方法，是制造系統(tǒng)(1、2、3、4、5、6)中的產(chǎn)品的制造方法，在該制造系統(tǒng)中，第1存儲(chǔ)部(11)中儲(chǔ)存對(duì)作為產(chǎn)品的制造條件的目標(biāo)值進(jìn)行表示的第1信息的第 1裝置(10、10A、10B)與基于所述目標(biāo)值控制制造裝置(30、30M)的第2裝置(20、20A、20B) 被設(shè)置在不同的區(qū)域中，該產(chǎn)品的制造方法包括所述第1裝置向所述第2裝置發(fā)送所述第1信息的步驟； 所述第2裝置將所述發(fā)送來(lái)的所述第1信息儲(chǔ)存到所述第2裝置的第2存儲(chǔ)部的步驟；所述第2裝置基于所述第2存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存的所述第1信息來(lái)控制所述制造裝置，使該制造裝置制造所述產(chǎn)品的步驟；所述第2裝置將制造所述產(chǎn)品時(shí)針對(duì)所述目標(biāo)值的測(cè)量值、即第2信息儲(chǔ)存到所述第 2存儲(chǔ)部的步驟；所述第2裝置在制造所述產(chǎn)品的步驟之后，從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第1信息的步驟；所述第2裝置向所述第1裝置發(fā)送所述第2信息的步驟；所述第1裝置將所述發(fā)送來(lái)的所述第2信息儲(chǔ)存到所述第1裝置的所述第1存儲(chǔ)部的步驟；以及所述第2裝置在向所述第1裝置發(fā)送了所述第2信息之后，從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第2信息的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品的制造方法，其中，所述第1裝置被設(shè)置在比設(shè)置有所述第2裝置的區(qū)域(PA)安全等級(jí)高的區(qū)域(CA)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的產(chǎn)品的制造方法，其中， 還包括所述第1裝置對(duì)所述第1信息進(jìn)行加密的步驟，所述第1裝置在向所述第2裝置發(fā)送所述第1信息的步驟中，以加密后的狀態(tài)發(fā)送該弟1 fn息。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中， 還包括所述第2裝置對(duì)所述第2信息進(jìn)行加密的步驟，所述第2裝置在向所述第1裝置發(fā)送所述第2信息的步驟中，以加密后的狀態(tài)發(fā)送該弟2 fn息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中，所述第1裝置在向所述第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存所述第1信息以及/或者所述第2信息的步驟中，以加密后的狀態(tài)向該第1存儲(chǔ)部中儲(chǔ)存該第1信息以及/或者第2信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中， 還包括所述第2裝置將所述第1信息以及所述第2信息中的至少任意一個(gè)變更為相對(duì)值或者偽數(shù)據(jù)的步驟；以及所述第2裝置利用輸出裝置顯示所述相對(duì)值或者所述偽數(shù)據(jù)的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中， 還包括在從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第1信息的步驟之后，所述第2裝置生成請(qǐng)求從所述第1裝置向所述第2裝置發(fā)送新的所述第1信息的請(qǐng)求信號(hào)的步驟；以及所述第2裝置向所述第1裝置發(fā)送所述請(qǐng)求信號(hào)的步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中，所述制造裝置具有分別進(jìn)行用于制造該產(chǎn)品的處理的多個(gè)處理部(31a、31b、31c)， 所述制造方法包括所述第1裝置按每個(gè)所述處理部將與該處理部對(duì)應(yīng)的所述第1信息儲(chǔ)存到所述第1存儲(chǔ)部的步驟；所述第2裝置使所述請(qǐng)求信號(hào)中包含確定所述多個(gè)處理部的任意一個(gè)的第3信息，并發(fā)送包含該第3信息的所述請(qǐng)求信號(hào)的步驟；所述第1裝置向所述第2裝置發(fā)送所述第1信息的步驟；所述第2裝置利用由所述第3信息確定出的處理部來(lái)進(jìn)行基于所述第1信息的處理的步驟；所述第2裝置按每個(gè)所述處理部使由該處理部發(fā)送來(lái)的所述第2信息中包含所述第3 信息，并將包含該第3信息的所述第2信息儲(chǔ)存到所述第2存儲(chǔ)部的步驟；所述第2裝置向所述第1裝置發(fā)送包含所述第3信息的所述第2信息的步驟；以及所述第1裝置將發(fā)送來(lái)的所述第2信息儲(chǔ)存到所述第1存儲(chǔ)部的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中，包括所述第1裝置以分別加密后的狀態(tài)將所述第1信息與所述第2信息儲(chǔ)存到所述第1存儲(chǔ)部的步驟；所述第1裝置通過(guò)所述第1裝置的解密部對(duì)所述被加密后的第1信息以及/或者第2 信息進(jìn)行解密的步驟；以及所述第1裝置向與所述第1裝置連接的第3裝置00)發(fā)送所述解密后的第1信息以及/或者第2信息的步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9中任意一項(xiàng)所述的產(chǎn)品的制造方法，其中， 所述制造系統(tǒng)具備多個(gè)所述第2裝置，該產(chǎn)品的制造方法具備所述第1裝置使用按每個(gè)所述第2裝置而不同的專用線路 (Li、L2、L3)，向各所述第2裝置的所述第2存儲(chǔ)部發(fā)送所述第1信息的步驟；以及各所述第2裝置向所述第1存儲(chǔ)部發(fā)送所述第2信息的步驟。
11.一種制造系統(tǒng)(1、2、3、4、5、6)，其具備制造產(chǎn)品的制造裝置(30、30M)、控制所述制造裝置的動(dòng)作的控制裝置O0、20A、20B)、以及能夠與所述控制裝置通信的信息處理裝置 (10、IOA、10Β)，在該制造系統(tǒng)中，所述信息處理裝置被配置在與所述制造裝置以及所述控制裝置不同的區(qū)域(CA)， 所述信息處理裝置具備第1存儲(chǔ)部(11)，其儲(chǔ)存有對(duì)作為所述產(chǎn)品的制造條件的目標(biāo)值進(jìn)行表示的第1信息；以及第1發(fā)送部(132)，其向所述控制裝置發(fā)送所述第1信息； 所述制造裝置通過(guò)所述控制裝置基于所述第1信息進(jìn)行的控制來(lái)制造所述產(chǎn)品， 向所述控制裝置發(fā)送制造所述產(chǎn)品時(shí)針對(duì)所述目標(biāo)值的測(cè)量值、即第2信息， 所述控制裝置包括第2存儲(chǔ)部(21)，其儲(chǔ)存由所述信息處理裝置發(fā)送來(lái)的所述第1信息和由所述制造裝置發(fā)送來(lái)的所述第2信息；刪除部023)，其基于制造出所述產(chǎn)品而從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第1信息；以及第2發(fā)送部042)，其向所述信息處理裝置發(fā)送所述第2信息；所述信息處理裝置將從所述控制裝置發(fā)送來(lái)的所述第2信息儲(chǔ)存到所述第1存儲(chǔ)部中，所述刪除部在向所述信息處理裝置發(fā)送了所述第2信息之后，從所述第2存儲(chǔ)部中刪除所述第2信息。
全文摘要
向配置于與保存裝置(10)被配置的區(qū)域(PA)不同的區(qū)域(CA)的控制裝置(20)發(fā)送保存裝置(10)的存儲(chǔ)部(11)中儲(chǔ)存的制造條件數(shù)據(jù)。在控制裝置(20)的存儲(chǔ)部(21)中存儲(chǔ)該發(fā)送來(lái)的制造條件數(shù)據(jù)?；诖鎯?chǔ)部(21)中存儲(chǔ)的制造條件數(shù)據(jù)控制制造裝置(30)來(lái)制造產(chǎn)品。發(fā)送針對(duì)制造條件數(shù)據(jù)的過(guò)程數(shù)據(jù)，并儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部(21)中。在制造產(chǎn)品的步驟之后，從存儲(chǔ)部(21)中刪除制造條件數(shù)據(jù)。向保存裝置(10)發(fā)送過(guò)程數(shù)據(jù)。將發(fā)送來(lái)的過(guò)程數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到存儲(chǔ)部(11)中。在向保存裝置(10)發(fā)送了過(guò)程數(shù)據(jù)之后，從存儲(chǔ)部(21)中刪除過(guò)程數(shù)據(jù)。由此，可以容易地進(jìn)行保養(yǎng)以及/或者檢查，并且可以防止表示制造條件的信息泄露。
文檔編號(hào)G06Q10/00GK102598029SQ20108004806
公開(kāi)日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2010年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月26日
發(fā)明者伴千治, 卜部益弘, 宮正智昭, 川崎隆史 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社