專利名稱：檢測(cè)傳感器及其制造方法、指示體位置檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測(cè)傳感器、指示體位置檢測(cè)裝置及檢測(cè)傳感器的制造方法，上述檢測(cè)傳感器配置在顯示畫面的表面而進(jìn)行指示體的位置檢測(cè)。
背景技術(shù)：
以往，公知有如下的靜電電容型輸入裝置，被配置在液晶顯示裝置的顯示畫面的表面上，在使用者的手指等接觸時(shí)檢測(cè)其位置，從而輸入與顯示的指示圖像對(duì)應(yīng)的信息 (例如參照專利文獻(xiàn)I)。在該靜電電容型輸入裝置中，在透光性基板的表面上形成有互相交叉的透光性電極圖案，根據(jù)使用者的手指與上述表面接觸時(shí)產(chǎn)生的靜電電容的變化檢測(cè)手指的位置。專利文獻(xiàn)I :日本特開2009-259203號(hào)公報(bào)(該專利文獻(xiàn)I的第5_15頁(yè)、圖1-11)在上述的專利文獻(xiàn)I所公開的靜電電容型輸入裝置中，從互相交叉的各第一透光性電極圖案11和第二透光性電極圖案12引出的金屬布線9a在透光性基板15的端部附近相鄰配置，其端部的端子19a與撓性基板19連接。在該透光性基板15上，除了金屬布線9a 以外的范圍被設(shè)定為輸入?yún)^(qū)域10a，但是若使用者的手指等接觸到與兩種透光性電極圖案 11、12對(duì)應(yīng)的金屬布線9a相鄰配置的布線區(qū)域，則與使用者的手指接觸到輸入?yún)^(qū)域IOa的情況同樣地，兩種透光性電極圖案11、12之間的靜電電容變化，因此存在發(fā)生輸入位置的錯(cuò)誤檢測(cè)的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而做出的，其目的在于提供一種檢測(cè)傳感器、指示體位置檢測(cè)裝置及檢測(cè)傳感器的制造方法，能夠防止手指等指示體接觸到周圍的布線區(qū)域時(shí)的錯(cuò)誤檢測(cè)。為了解決上述課題，本發(fā)明的一種檢測(cè)傳感器，在基材上形成有多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體，被配置在第一方向上；多個(gè)第一信號(hào)線路，與多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體的各導(dǎo)體對(duì)應(yīng)地連接；多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體，被配置在與第一方向交叉的第二方向上；以及多個(gè)第二信號(hào)線路，與多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的各導(dǎo)體對(duì)應(yīng)地連接，檢測(cè)傳感器的特征在于，在第一信號(hào)線路與基材之間形成有第一導(dǎo)電圖案，該第一導(dǎo)電圖案由與多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體或多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體相同的材料構(gòu)成，并且該第一導(dǎo)電圖案與多個(gè)第一信號(hào)線路電絕緣且被設(shè)定為預(yù)定的電位。即使在基材上的布線區(qū)域中第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路相鄰的情況下，由于與第一信號(hào)線路重疊形成有預(yù)定電位的第一導(dǎo)電圖案，因此在指示體靠近第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路相鄰的區(qū)域時(shí)也能夠降低第一及第二信號(hào)線路之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。此外，優(yōu)選的是，多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體及多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體被配置在基材的同一表面?zhèn)?，通過(guò)在多個(gè)第一信號(hào)線路與第一導(dǎo)電圖案之間配置絕緣材料而進(jìn)行彼此的電絕緣，并且多個(gè)第一信號(hào)線路與上述第一導(dǎo)電圖案之間所設(shè)置的絕緣材料被配置在第一傳感器導(dǎo)體與第二傳感器導(dǎo)體交叉的區(qū)域，從而進(jìn)行多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體與多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體之間的電絕緣。由此，能夠同時(shí)形成使第一傳感器導(dǎo)體與第二傳感器導(dǎo)體之間絕緣的絕緣材料和使第一信號(hào)線路與基材之間絕緣的絕緣材料，能夠通過(guò)工序的簡(jiǎn)化而降低制造成本。此外，優(yōu)選的是，第一傳感器導(dǎo)體由通過(guò)多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體而分離的多個(gè)導(dǎo)體片構(gòu)成，通過(guò)與第一傳感器導(dǎo)體和第二傳感器導(dǎo)體交叉的區(qū)域上所配置的絕緣材料重疊配置的導(dǎo)電材料，多個(gè)導(dǎo)體片彼此電連接。由此，第一傳感器導(dǎo)體和第二傳感器導(dǎo)體能夠形成為單一層，因此能夠確保穩(wěn)定的特性，并且能夠通過(guò)工序的簡(jiǎn)化而降低制造成本。此外，優(yōu)選的是，與多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體和多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體交叉的區(qū)域上所配置的絕緣材料重疊配置的導(dǎo)電材料是與多個(gè)第一信號(hào)線路或多個(gè)第二信號(hào)線路相同的材料。由此，能夠同時(shí)形成電連接多個(gè)導(dǎo)體片的導(dǎo)電材料和第一或第二信號(hào)線路，能夠通過(guò)工序的簡(jiǎn)化而降低制造成本。此外，優(yōu)選的是，多個(gè)第一信號(hào)線路及多個(gè)第二信號(hào)線路具有比多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體及多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性。由此，能夠降低第一傳感器導(dǎo)體和第一信號(hào)線路整體、第二傳感器導(dǎo)體和第二信號(hào)線路整體的電阻而提高信號(hào)的傳送特性。此外，優(yōu)選的是，在多個(gè)第一信號(hào)線路的附近配置有多個(gè)第二信號(hào)線路，并且，在第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路之間配置有第二導(dǎo)電圖案，第二導(dǎo)電圖案被設(shè)定為預(yù)定的電位。此外，優(yōu)選的是，第二導(dǎo)電圖案與第一導(dǎo)電圖案重疊配置，并且與第一導(dǎo)電圖案電連接。 通過(guò)在相鄰的第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路之間配置第二導(dǎo)電圖案，能夠降低第一級(jí)第二信號(hào)線路的相鄰位置處的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。此外，優(yōu)選的是，第二導(dǎo)電圖案由第一線狀導(dǎo)體及第二線狀導(dǎo)體構(gòu)成，第一線狀導(dǎo)體與第一導(dǎo)電圖案重疊配置，并且與第一導(dǎo)電圖案電連接。由此，能夠進(jìn)一步降低第一線狀導(dǎo)體及第一導(dǎo)電圖案所對(duì)應(yīng)的第一信號(hào)線路與第二線狀導(dǎo)體所對(duì)應(yīng)的第二信號(hào)線路之間的電耦合，能夠進(jìn)一步減少錯(cuò)誤檢測(cè)。此外，優(yōu)選的是，從分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體向多個(gè)第二信號(hào)線路供給信號(hào)，為了向多個(gè)第一信號(hào)線路供給信號(hào)強(qiáng)度比從多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體向多個(gè)第二信號(hào)線路供給的信號(hào)強(qiáng)的信號(hào)，將構(gòu)成被設(shè)定為預(yù)定的電位的第二導(dǎo)電圖案的第一線狀導(dǎo)體形成為比第二線狀導(dǎo)體寬。由此，例如向第一信號(hào)線路及第一傳感器導(dǎo)體輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度大時(shí)，能夠通過(guò)寬的第一線狀導(dǎo)體有效地屏蔽由該信號(hào)強(qiáng)度大的第一信號(hào)線路生成的電場(chǎng)。此外，優(yōu)選的是，配置有多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體及多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的基材的預(yù)定的區(qū)域具有透過(guò)性。由此，能夠與顯示畫面重疊配置而進(jìn)行顯示畫面上的位置檢測(cè)。此外，本發(fā)明的一種指示體位置檢測(cè)裝置，具有上述檢測(cè)傳感器，用于檢測(cè)指示體指示的位置；和電路，用于向檢測(cè)傳感器供給發(fā)送信號(hào)，并且根據(jù)從檢測(cè)傳感器獲得的接收信號(hào)檢測(cè)指示體指示的位置。即使在檢測(cè)傳感器的基材上的布線區(qū)域中第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路相鄰的情況下，由于與第一信號(hào)線路重疊形成有預(yù)定電位的第一導(dǎo)電圖案，因此在指示體靠近第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路相鄰的區(qū)域時(shí)也能夠降低第一及第二信號(hào)線路之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。此外，本發(fā)明的一種檢測(cè)傳感器的制造方法，檢測(cè)傳感器用于檢測(cè)指示體指示的位置，在具有透過(guò)性的基材的一個(gè)面上具有多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體，被配置在第一方向上； 和多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體，被配置在與第一方向交叉的第二方向上，檢測(cè)傳感器的制造方法的特征在于，包括以下工序通過(guò)金屬成膜處理，在基材的一個(gè)面上形成具有透過(guò)性的多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體、多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體之間所配置的用于形成多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體的具有透過(guò)性的多個(gè)導(dǎo)體片，并在預(yù)定的區(qū)域形成第一導(dǎo)電圖案；對(duì)基材的一個(gè)面上夾著第二傳感器導(dǎo)體的導(dǎo)體片之間的區(qū)域和第一導(dǎo)電圖案的區(qū)域的各區(qū)域配置絕緣材料；以及通過(guò)金屬成膜處理，將具有比基材的一個(gè)面上所配置的多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體、第二傳感器導(dǎo)體及第一導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性的金屬膜重疊配置在絕緣材料上，從而將多個(gè)導(dǎo)體片彼此電連接而形成第一傳感器導(dǎo)體，并且形成與第一傳感器導(dǎo)體的一端部電連接且在第一導(dǎo)電圖案上夾著絕緣材料而配置的第一信號(hào)線路、與第二傳感器導(dǎo)體的一端部電連接的第二信號(hào)線路。在如上所述制造的檢測(cè)傳感器中，即使在基材上的布線區(qū)域中第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路相鄰的情況下，由于與第一信號(hào)線路重疊形成有預(yù)定電位的第一導(dǎo)電圖案，因此在指示體靠近第一信號(hào)線路與第二信號(hào)線路相鄰的區(qū)域時(shí)也能夠降低第一及第二信號(hào)線路之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。


圖I是表示一個(gè)實(shí)施方式的指示體位置檢測(cè)裝置的概略性外觀形狀的圖。圖2是表示指示體位置檢測(cè)裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖3是檢測(cè)傳感器的剖視圖。圖4是表示多頻信號(hào)供給電路的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。圖5是表示發(fā)送導(dǎo)體選擇電路的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。圖6是表示接收導(dǎo)體選擇電路及放大電路的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。圖7是由信號(hào)檢測(cè)電路檢測(cè)的信號(hào)強(qiáng)度的說(shuō)明圖。圖8是傳感器部的整體圖。圖9是檢測(cè)區(qū)域的局部放大俯視圖。圖10是表示透過(guò)區(qū)域中包含的I根發(fā)送導(dǎo)體和與其交叉的接收導(dǎo)體的詳細(xì)情況的局部放大圖。圖11是沿著透過(guò)區(qū)域中的發(fā)送導(dǎo)體的長(zhǎng)度方向的剖視圖。圖12是表示非透過(guò)區(qū)域中包含的I根發(fā)送導(dǎo)體和與其交叉的接收導(dǎo)體的詳細(xì)情況的局部放大圖。圖13是沿著非透過(guò)區(qū)域中的發(fā)送導(dǎo)體的長(zhǎng)度方向的剖視圖。圖14是部分表示圖8所示的布線區(qū)域的詳細(xì)情況的俯視圖。圖15是在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體與第一玻璃基板之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖。圖16是表示圖15所示的結(jié)構(gòu)的變形例的圖。圖17是在與接收導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體與第一玻璃基板之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖。圖18是在與發(fā)送導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體及與接收導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體雙方與第一玻璃基板之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖。圖19是在與發(fā)送導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體和與接收導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖。圖20是表示圖19所示的結(jié)構(gòu)的變形例的圖。圖21是表不具有圖15所不結(jié)構(gòu)的檢測(cè)傳感器的制造工序的圖。圖22是表示具有圖19所示結(jié)構(gòu)的位置檢測(cè)裝置的制造工序的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

適用本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的指示體位置檢測(cè)裝置。圖I是表示一個(gè)實(shí)施方式的指示體位置檢測(cè)裝置的概略性外觀形狀的圖。本實(shí)施方式的指示體位置檢測(cè)裝置包括LCD(Liquid CrystalDisplay :液晶顯示器)等顯示裝置 200 ;和檢測(cè)傳感器100，在上述顯示裝置200的顯示畫面上重疊配置，檢測(cè)由使用者的手指等構(gòu)成的指示體300的指示位置。另外，“指示體”還包括在前端部具有導(dǎo)電體并通過(guò)吸收靜電場(chǎng)而進(jìn)行檢測(cè)的筆，其原理與通過(guò)經(jīng)由人體而對(duì)地連接的路徑檢測(cè)手指的原理相同， “指示體”還包括從筆本身發(fā)送信號(hào)的筆。在圖I中，檢測(cè)傳感器100具有檢測(cè)區(qū)域112，該檢測(cè)區(qū)域112能夠透過(guò)重疊配置的顯示裝置200的顯示畫面觀察到，并且是指示體300的位置檢測(cè)范圍。此外，在該檢測(cè)區(qū)域112的周圍設(shè)定有布線區(qū)域116。圖2是表示指示體位置檢測(cè)裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。如圖2所示，指示體位置檢測(cè)裝置具有檢測(cè)傳感器100和由發(fā)送部20、接收部30及控制部40構(gòu)成的電路。檢測(cè)傳感器 100具有包括發(fā)送導(dǎo)體組12和接收導(dǎo)體組14的導(dǎo)體圖案，上述發(fā)送導(dǎo)體組12包括作為在預(yù)定方向(第一方向)上等間隔配置的具有透過(guò)性的多個(gè)透明導(dǎo)體的發(fā)送導(dǎo)體11 (第一傳感器導(dǎo)體)，上述接收導(dǎo)體組14包括作為在與多個(gè)發(fā)送導(dǎo)體11的排列方向正交的方向(第二方向)上等間隔配置的具有透過(guò)性的多個(gè)透明導(dǎo)體的接收導(dǎo)體13 (第二傳感器導(dǎo)體)。圖3是檢測(cè)傳感器100的剖視圖，表示沿著一根發(fā)送導(dǎo)體11的局部橫剖視圖。在檢測(cè)傳感器100中，在作為具有透過(guò)性的透明基材的第一玻璃基板15的表面(一個(gè)面)上形成有發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13雙方，并在該表面上通過(guò)墊片16配置有作為透明基板的第二玻璃基板17。此外，如圖3所示，發(fā)送導(dǎo)體11在長(zhǎng)度方向(延伸方向)上通過(guò)配置有接收導(dǎo)體13的位置所形成的間隙被分割為多個(gè)導(dǎo)體片11A。此外，以跨過(guò)接收導(dǎo)體13的方式形成有作為導(dǎo)電材料的金屬跳線18，相鄰的兩個(gè)導(dǎo)體片IlA經(jīng)由該金屬跳線18電連接。發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13具有平板形狀，使用例如由ITO膜構(gòu)成的透明電極膜形成。在本實(shí)施方式中，例如有64根發(fā)送導(dǎo)體11以預(yù)定間隔排列在垂直方向(Y方向)上。 此外，128根接收導(dǎo)體13以預(yù)定間隔排列在水平方向(X方向)上。在圖2中，Ytl Y63分別對(duì)應(yīng)于64根發(fā)送導(dǎo)體11，發(fā)送導(dǎo)體11以Ytl Y63的順序排列。此外，Xtl-X127分別對(duì)應(yīng)于128根接收導(dǎo)體13，接收導(dǎo)體13以Xtl X127的順序排列。墊片16是絕緣體，例如使用PVB(PolyVinyl Butyral,聚乙烯醇縮丁醒)、 EVA (Ethylene Vinyl Acetate,乙烯-醋酸乙烯共聚物)、娃橡膠等形成。第一及第二玻璃基板15、17也可以用由合成樹脂等構(gòu)成的片狀(膜狀)基材代替。圖2所示的發(fā)送部20包括時(shí)鐘產(chǎn)生電路21、多頻信號(hào)供給電路22及發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23。時(shí)鐘產(chǎn)生電路21生成預(yù)定頻率的基準(zhǔn)信號(hào)。多頻信號(hào)供給電路22利用從時(shí)鐘產(chǎn)生電路21輸出的基準(zhǔn)信號(hào)而生成例如16種頻率……、f15的信號(hào)，并行輸出上述信號(hào)。另外，在圖2中，發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23連接在各發(fā)送導(dǎo)體11的右端，但實(shí)際上各發(fā)送導(dǎo)體11的右端和左端雙方與發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23連接，從兩端部對(duì)一根發(fā)送導(dǎo)體11輸入信號(hào)。圖4是表示多頻信號(hào)供給電路22的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。多頻信號(hào)供給電路22具有分別產(chǎn)生16種頻率f^fi、……汀15的信號(hào)的16個(gè)信號(hào)生成部22-0、22-1、……、22_15。各信號(hào)生成部22-0 22-15根據(jù)從時(shí)鐘產(chǎn)生電路21輸出的基準(zhǔn)信號(hào)生成頻率& f15的信號(hào)。例如，各信號(hào)生成部22-0 22-15對(duì)從時(shí)鐘產(chǎn)生電路21輸出的基準(zhǔn)信號(hào)進(jìn)行分頻或倍頻而生成預(yù)定頻率的信號(hào)。或者，各信號(hào)生成部22-0 22-15具有保存周期彼此不同的正弦波的波形數(shù)據(jù)的波形數(shù)據(jù)R0M，與從時(shí)鐘產(chǎn)生電路21輸出的基準(zhǔn)信號(hào)同步地讀出該波形數(shù)據(jù)，從而生成頻率fo f15的正弦波信號(hào)。發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23選擇作為從多頻信號(hào)供給電路22并行輸出的16個(gè)信號(hào)的供給目標(biāo)的發(fā)送導(dǎo)體11，并且依次切換作為選擇目標(biāo)的發(fā)送導(dǎo)體11。圖5是表示發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23具有分別輸入16種頻率f。、^、……、f15的信號(hào)的16個(gè)切換開關(guān)23-0、23-1、……、23_15。在本實(shí)施方式中，64根發(fā)送導(dǎo)體11被分割為16個(gè)塊BO B15而分組(分區(qū))。塊BO包含由Y。 Y3表示的彼此相鄰配置的4根發(fā)送導(dǎo)體11。切換開關(guān)23_0按照Y3、Y2、Y1, Y0的順序以預(yù)定的時(shí)間間隔反復(fù)切換作為信號(hào)生成部22-0輸出的頻率L的信號(hào)的供給目標(biāo)的發(fā)送導(dǎo)體11。另外，在圖5中，切換開關(guān)23-0 23-15內(nèi)所圖示的箭頭表不發(fā)送導(dǎo)體11的切換方向。塊BI包含由Y4 Y7表示的彼此相鄰配置的4根發(fā)送導(dǎo)體11。切換開關(guān)23-1按照Y4、Y5、Y6、Y7的順序以預(yù)定的時(shí)間間隔反復(fù)切換作為信號(hào)生成部22-1輸出的頻率的信號(hào)的供給目標(biāo)的發(fā)送導(dǎo)體11。其他塊B2 B 15及切換開關(guān)23_2 23_15也同樣，切換開關(guān)23_2 23-15分別以預(yù)定的順序及時(shí)間間隔反復(fù)切換作為對(duì)應(yīng)的信號(hào)生成部22-2 22-15輸出的信號(hào)的供給目標(biāo)的發(fā)送導(dǎo)體11。圖2所示的接收部30包括接收導(dǎo)體選擇電路31、放大電路32、模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換電路(A/D)33、信號(hào)檢測(cè)電路34及位置計(jì)算電路35。圖6是表示接收導(dǎo)體選擇電路31及放大電路32的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。接收導(dǎo)體選擇電路31具有依次切換對(duì)應(yīng)的8根接收導(dǎo)體13的16個(gè)切換開關(guān)31-0、31-1、……、31_15。 在本實(shí)施方式中，128根接收導(dǎo)體13被分割為16個(gè)塊DO D15而分組(分區(qū))。塊DO包含由Xtl X7表示的彼此相鄰配置的8根接收導(dǎo)體13。切換開關(guān)31_0從上述8根接收導(dǎo)體13中選擇I根，并且按照的順序以預(yù)定的時(shí)間間隔反復(fù)切換該選擇狀態(tài)。另外，在圖6中，切換開關(guān)31-0 31-15內(nèi)所圖示的箭頭表示接收導(dǎo)體13的切換方向。塊Dl包含由X8 X15表示的彼此相鄰配置的8根接收導(dǎo)體13。切換開關(guān)31_1從上述8根接收導(dǎo)體13中選擇I根，并且按照乂15314、乂13312、乂1131。、\、&的順序以預(yù)定的時(shí)間間隔反復(fù)切換該選擇狀態(tài)。其他塊D2 D15及切換開關(guān)31_2 31-15也同樣，切換開關(guān)31_2 31-15分別從對(duì)應(yīng)的塊D2 D15中包含的彼此相鄰配置的8根接收導(dǎo)體13中選擇I根，并且以預(yù)定的順序及時(shí)間間隔反復(fù)切換該選擇狀態(tài)。放大電路32具有16個(gè)電流-電壓轉(zhuǎn)換電路(I/V)32-0、32-l、……、32_15和切換開關(guān)32A。各電流-電壓轉(zhuǎn)換電路32-0 32-15與各切換開關(guān)31-0 31-15 —對(duì)一對(duì)應(yīng)。 各電流-電壓轉(zhuǎn)換電路32-0 32-15以預(yù)定的增益放大從對(duì)應(yīng)的切換開關(guān)31-0等選擇的接收導(dǎo)體13輸出的電流I，并且轉(zhuǎn)換為電壓V。切換開關(guān)32A依次選擇從16個(gè)電流-電壓轉(zhuǎn)換電路32-0 32-15輸出的信號(hào)(電壓)并輸入到模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換電路33。模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換電路33將由切換開關(guān)32A依次選擇的16個(gè)電流-電壓轉(zhuǎn)換電路 32-0 32-15各自的輸出電壓轉(zhuǎn)換為預(yù)定位數(shù)的數(shù)據(jù)。圖2所示的信號(hào)檢測(cè)電路34根據(jù)從模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換電路33輸出的數(shù)據(jù)來(lái)檢測(cè)從多頻信號(hào)供給電路22輸出的16種頻率……^15的各成分的信號(hào)強(qiáng)度。圖7是由信號(hào)檢測(cè)電路34檢測(cè)的信號(hào)強(qiáng)度的說(shuō)明圖。圖7㈧表示作為指示體的人體的手指沒(méi)有靠近發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13的交叉點(diǎn)(交叉的位置)的狀態(tài)。此外， 圖7(B)表示手指靠近交叉點(diǎn)的狀態(tài)。如圖7(A)所示，在手指沒(méi)有靠近交叉點(diǎn)的狀態(tài)下，在該交叉點(diǎn)，發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13經(jīng)由墊片16電容耦合，從發(fā)送導(dǎo)體11出來(lái)的電場(chǎng)收斂于接收導(dǎo)體13。因此，若向發(fā)送導(dǎo)體11供給預(yù)定頻率中的任一個(gè))的信號(hào)，則能夠從與發(fā)送導(dǎo)體11電容耦合的接收導(dǎo)體13獲得與電容耦合的程度對(duì)應(yīng)的電流。另一方面，如圖7(B)所示，在手指靠近交叉點(diǎn)的狀態(tài)下，能夠從接收導(dǎo)體13獲得電流這一點(diǎn)與手指沒(méi)有靠近的狀態(tài)的情況相同，但是發(fā)送導(dǎo)體11與接收導(dǎo)體13之間的電容耦合的程度不同。即，從發(fā)送導(dǎo)體11出來(lái)的電場(chǎng)的一部分收斂于手指，因此與接收導(dǎo)體13之間的電容耦合的程度減弱，從接收導(dǎo)體13獲得的電流減少。在本實(shí)施方式中，向與I根接收導(dǎo)體13交叉的16根發(fā)送導(dǎo)體11中的各發(fā)送導(dǎo)體 11并行供給16種頻率……、f15的信號(hào)，因此與該接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)中包含上述16種頻率成分。在信號(hào)檢測(cè)電路34中，分別提取上述16種頻率成分(例如進(jìn)行同步檢波而提取)，檢測(cè)與各頻率成分對(duì)應(yīng)的信號(hào)強(qiáng)度。通過(guò)信號(hào)檢測(cè)電路34檢測(cè)的信號(hào)強(qiáng)度與交叉點(diǎn)的位置對(duì)應(yīng)地存儲(chǔ)。例如，將確定發(fā)送導(dǎo)體11的Ytl Y63與確定接收導(dǎo)體13的Xtl X127的組合作為表示交叉點(diǎn)的位置的地址，存儲(chǔ)該地址和該交叉點(diǎn)對(duì)應(yīng)的信號(hào)強(qiáng)度的組合。另外，在考慮從一個(gè)接收導(dǎo)體13輸出的信號(hào)中所包含的16中頻率成分的情況下，由于知道該時(shí)間點(diǎn)下向發(fā)送導(dǎo)體組12的各塊 BO B15各自中的哪個(gè)發(fā)送導(dǎo)體11供給信號(hào)，因此能夠分別確定作為每個(gè)頻率的信號(hào)的供給目標(biāo)的發(fā)送導(dǎo)體11。位置檢測(cè)電路35以發(fā)送導(dǎo)體選擇電路23內(nèi)的各切換開關(guān)23_0 23_15的切換動(dòng)作和接收導(dǎo)體選擇電路31內(nèi)的各切換開關(guān)31-0 31-15的切換動(dòng)作進(jìn)行了一輪的定時(shí)， 即檢測(cè)傳感器100的發(fā)送導(dǎo)體組12的所有發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體組14的所有接收導(dǎo)體 13交叉的所有交叉點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的信號(hào)強(qiáng)度的檢測(cè)動(dòng)作結(jié)束的定時(shí)，將信號(hào)強(qiáng)度低的交叉點(diǎn)作為手指(指示體300)靠近的位置而計(jì)算出。
本實(shí)施方式的指示體位置檢測(cè)裝置具有上述結(jié)構(gòu)，接著說(shuō)明檢測(cè)傳感器100的詳細(xì)情況。圖8是檢測(cè)傳感器100的整體圖。如圖8所示，檢測(cè)傳感器100具有占據(jù)該檢測(cè)傳感器100的中央的大部分的檢測(cè)區(qū)域112和被配置為包圍該檢測(cè)區(qū)域112的周圍的布線區(qū)域116。檢測(cè)區(qū)域112中包括透過(guò)區(qū)域110，能夠透過(guò)重疊配置的顯示裝置200的顯示畫面而觀察到；和預(yù)定寬度的非透過(guò)區(qū)域114，設(shè)置于該透過(guò)區(qū)域110的周圍。圖9是檢測(cè)區(qū)域112的局部放大俯視圖，表示從指示體300接觸的面的相反側(cè)觀察的結(jié)構(gòu)。如上所述，設(shè)定有比透過(guò)區(qū)域110寬預(yù)定寬度的檢測(cè)區(qū)域112。該檢測(cè)區(qū)域112 包括透過(guò)區(qū)域110和配置在其周圍的預(yù)定寬度的非透過(guò)區(qū)域114雙方?？紤]顯示裝置200 設(shè)置為顯示畫面在橫向上較長(zhǎng)且傾斜為相對(duì)于地面接近垂直的情況，以長(zhǎng)度方向水平的方式彼此平行配置的多個(gè)發(fā)送導(dǎo)體11和以長(zhǎng)度方向垂直的方式彼此平行配置的多個(gè)接收導(dǎo)體13形成為橫跨透過(guò)區(qū)域110和非透過(guò)區(qū)域114雙方。圖10是表示透過(guò)區(qū)域110中包含的I根發(fā)送導(dǎo)體11和與其交叉的接收導(dǎo)體13 的詳細(xì)情況的局部放大圖。如圖10所示，在水平方向上延伸的發(fā)送導(dǎo)體11包括多個(gè)導(dǎo)體片11A，由與接收導(dǎo)體13交叉的位置上所形成的間隙分割；和金屬跳線18，電連接隔著上述間隙而相鄰的兩個(gè)導(dǎo)體片11A。此外，在垂直方向上延伸的接收導(dǎo)體13中，與發(fā)送導(dǎo)體11 的間隙對(duì)應(yīng)的部分的寬度比其他部分細(xì)，但是形成為整體連續(xù)的I根導(dǎo)體。圖11是沿著透過(guò)區(qū)域110中的發(fā)送導(dǎo)體11的長(zhǎng)度方向的剖視圖，表示金屬跳線 18及其周圍的結(jié)構(gòu)。如圖11所示，金屬跳線18連接隔著間隙而相鄰的兩個(gè)導(dǎo)體片IlA的端部，并且具有與配置于該間隙的接收導(dǎo)體13分離的狀態(tài)(通過(guò)與接收導(dǎo)體13之間設(shè)置絕緣材料而保持電絕緣的狀態(tài))。圖12是表示非透過(guò)區(qū)域114中包含的I根發(fā)送導(dǎo)體11和與其交叉的接收導(dǎo)體13 的詳細(xì)情況的局部放大圖。如圖12所示，在非透過(guò)區(qū)域114中，在水平方向上延伸的發(fā)送導(dǎo)體11包括多個(gè)導(dǎo)體片11A，由與接收導(dǎo)體13交叉的位置上所形成的間隙分割；金屬跳線18，電連接隔著上述間隙而相鄰的兩個(gè)導(dǎo)體片IlA ;以及金屬布線圖案11C，與上述金屬跳線18 —體而在導(dǎo)體片IlA的表面上沿著長(zhǎng)度方向形成。S卩，與圖10所示的透過(guò)區(qū)域110 的結(jié)構(gòu)相比，增加了金屬布線圖案IlC這一點(diǎn)不同，發(fā)送導(dǎo)體11(導(dǎo)體片11A)及接收導(dǎo)體 13本身的形狀及配置等相同。該金屬布線圖案IlC通過(guò)非透過(guò)區(qū)域114與透過(guò)區(qū)域110的邊界上所形成的金屬跳線18直接沿著發(fā)送導(dǎo)體11延長(zhǎng)至非透過(guò)區(qū)域114內(nèi)而形成。圖13是沿著非透過(guò)區(qū)域114中的發(fā)送導(dǎo)體11的長(zhǎng)度方向的剖視圖，表示金屬跳線18、金屬布線圖案IlC及其周圍的結(jié)構(gòu)。如圖13所示，金屬跳線18連接隔著間隙而相鄰的兩個(gè)導(dǎo)體片IlA的端部，并且具有與配置于該間隙的接收導(dǎo)體13分離的狀態(tài)。此外，非透過(guò)區(qū)域114中所包含的發(fā)送導(dǎo)體11的表面上，不隔著絕緣層形成有端部與金屬跳線18 電連接的金屬布線圖案11C。圖14是部分表示圖8所示的布線區(qū)域116的詳細(xì)情況的俯視圖。如圖14所示， 在發(fā)送導(dǎo)體11的左端部連接有作為第一信號(hào)線路的金屬布線導(dǎo)體19A。與多個(gè)發(fā)送導(dǎo)體 11各自的左端部對(duì)應(yīng)的多個(gè)金屬布線導(dǎo)體19A引出到檢測(cè)區(qū)域112的左側(cè)后沿著檢測(cè)區(qū)域 112的左邊朝下方向環(huán)繞，進(jìn)而沿著檢測(cè)區(qū)域112的下邊環(huán)繞到其中央部附近。另外，雖然省略圖示，但在發(fā)送導(dǎo)體11的右端部也連接有作為第一布線圖案的金屬布線導(dǎo)體19A，同樣進(jìn)行環(huán)繞。即，與多個(gè)發(fā)送導(dǎo)體11各自的右端部對(duì)應(yīng)的多個(gè)金屬布線導(dǎo)體19A引出到檢測(cè)區(qū)域112的右側(cè)后沿著檢測(cè)區(qū)域112的右邊朝下方向環(huán)繞，進(jìn)而沿著檢測(cè)區(qū)域112的下邊環(huán)繞到其中央部附近。此外，在接收導(dǎo)體13的下端部連接有作為第二信號(hào)線路的金屬布線導(dǎo)體19B。與多個(gè)接收導(dǎo)體13各自的下端部對(duì)應(yīng)的多個(gè)金屬布線導(dǎo)體19B引出到檢測(cè)區(qū)域112的下側(cè)后沿著檢測(cè)區(qū)域112的下邊向其中央部環(huán)繞。這樣，在環(huán)繞到檢測(cè)區(qū)域112的下邊中央部的金屬布線導(dǎo)體19A、19B的端部連接有搭載著圖2所示的發(fā)送部20、接收部30、控制電路 40等的撓性基板400。該連接例如使用各向異性導(dǎo)電膜(ACF :Anisotropic Conductive Film)來(lái)進(jìn)行。然而，在本實(shí)施方式中，在布線區(qū)域16中作為第一布線圖案的金屬布線導(dǎo)體19A 和作為第二布線圖案的金屬布線導(dǎo)體19B相鄰而靠近的區(qū)域(檢測(cè)區(qū)域112的下側(cè))，形成有與預(yù)定的電位連接的(例如接地的)接地層。關(guān)于該接地層的形成位置，考慮例如以下四種情況⑴ (4)。另外，預(yù)定的電位也可以是接地以外的固定電位。(I)在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A與指示體300的指示位置之間(如圖3所示，在從第一玻璃基板15 —側(cè)進(jìn)行指示體300的指示時(shí)為金屬布線導(dǎo)體19A與第一玻璃基板15之間)形成接地層。(2)在與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19B與指示體300的指示位置之間形成接地層。(3)在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A及與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19B雙方與指示體300的指示位置之間形成接地層。(4)在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A和與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19B之間形成接地層。圖15是在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A與第一玻璃基板15之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖，對(duì)應(yīng)于上述⑴的情況。如圖15所示，在金屬布線導(dǎo)體19A與第一玻璃基板15之間形成有作為第一導(dǎo)電圖案的接地層120和作為絕緣材料的絕緣層140。金屬布線導(dǎo)體19A在接地層120上隔著絕緣層140而配置。接地層120由與發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13相同的材質(zhì)(例如由ITO膜構(gòu)成的透明電極膜)形成，在形成發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13的工序中同時(shí)還形成該接地層120。 此外，在接地層120的端部附近且接收導(dǎo)體13 —側(cè)，形成有沿著各發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體 13的延伸方向的長(zhǎng)條形的作為第二導(dǎo)電圖案的端子電極130。接地層120經(jīng)由該端子電極 130接地。此外，如圖15所示，在發(fā)送導(dǎo)體11與接收導(dǎo)體13之間，與接地層120平行地形成有作為第二導(dǎo)電圖案的接地層121。該接地層121具有沿著接收導(dǎo)體13的延伸方向的長(zhǎng)條形狀，與接地層120同樣地接地。通過(guò)分開形成與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)地形成的接地層120和與接收導(dǎo)體13相鄰的接地層121，防止在接地層120、121之間傳遞電位的變動(dòng)。另外，由于接地層121不與金屬布線導(dǎo)體19A、金屬布線導(dǎo)體19B重疊，因此能夠使用與上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B相同的金屬導(dǎo)體并且與上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B同時(shí)形成。此外，端子電極130與第一線狀導(dǎo)體對(duì)應(yīng)，接地層121與第二線狀導(dǎo)體對(duì)應(yīng)。此外，在圖15所示的例子中，比較發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13之間所形成的端子電極130與接地層121，端子電極130被設(shè)定為更寬。比較向發(fā)送導(dǎo)體11輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度與向接收導(dǎo)體13輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度，向發(fā)送導(dǎo)體11輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度大， 但是通過(guò)將發(fā)送導(dǎo)體11 一側(cè)的端子電極130設(shè)定得寬，能夠通過(guò)寬的端子電極130有效地屏蔽由該信號(hào)強(qiáng)度大的發(fā)送導(dǎo)體11生成的電場(chǎng)。圖16是表示圖15所示的結(jié)構(gòu)的變形例的圖。在圖15所示的結(jié)構(gòu)中，在發(fā)送導(dǎo)體 11與第一玻璃基板15之間所配置的接地層120向接收導(dǎo)體13 —側(cè)露出，在該露出部分配置有端子電極130。而在圖16所示的變形例中，接地層120不僅向接收導(dǎo)體13—側(cè)露出， 還向接收導(dǎo)體13的相反側(cè)露出，在雙方的露出部分配置有端子電子130。由此，能夠進(jìn)一步防止接地層120整體的電位的變動(dòng)。圖17是在與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19B與第一玻璃基板15之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖，對(duì)應(yīng)于上述⑵的情況。如圖17所示，在金屬布線導(dǎo)體19B與第一玻璃基板15之間形成有接地層122和絕緣層142。金屬布線導(dǎo)體19B在接地層122上隔著絕緣層142而配置。接地層122由與發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13相同的材質(zhì)(例如由ITO膜構(gòu)成的透明電極膜)形成，在形成發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13的工序中同時(shí)還形成該接地層122。此外，在接地層122的端部附近且發(fā)送導(dǎo)體11 一側(cè)，形成有沿著各發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13 的延伸方向的長(zhǎng)條形的端子電極132。接地層122經(jīng)由該端子電極132接地。此外，如圖17所示，在發(fā)送導(dǎo)體11與接收導(dǎo)體13之間，與接地層122平行地形成有接地層123。該接地層123具有沿著發(fā)送導(dǎo)體11的延伸方向的長(zhǎng)條形狀，與接地層122 同樣地接地。通過(guò)分開形成與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)地形成的接地層122和與發(fā)送導(dǎo)體11相鄰的接地層123，防止在接地層122、123之間傳遞電位的變動(dòng)。另外，由于接地層123不與金屬布線導(dǎo)體19A、金屬布線導(dǎo)體19B重疊，因此能夠使用與上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B相同的金屬導(dǎo)體并且與上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B同時(shí)形成。此外，在圖17所示的例子中，在接收導(dǎo)體13與第一玻璃基板15之間所配置的接地層122向發(fā)送導(dǎo)體11 一側(cè)露出，在該露出部分配置有端子電極132，但是也可以使接地層 122不僅向發(fā)送導(dǎo)體11 一側(cè)露出，還向發(fā)送導(dǎo)體11的相反側(cè)露出，在雙方的露出部分配置端子電子132。由此，能夠進(jìn)一步防止接地層122整體的電位的變動(dòng)。圖18是在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A及與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19B雙方與第一玻璃基板15之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖，對(duì)應(yīng)于上述(3)的情況。如圖18所示，在金屬布線導(dǎo)體19A與第一玻璃基板15之間形成有接地層120和絕緣層140，在金屬布線導(dǎo)體19B與第一玻璃基板15之間形成有接地層122 和絕緣層142。金屬布線導(dǎo)體19A在接地層120上隔著絕緣層140而配置。此外，金屬布線導(dǎo)體19B在接地層122上隔著絕緣層142而配置。接地層120、122由與發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13相同的材質(zhì)(例如由ITO膜構(gòu)成的透明電極膜)形成，在形成發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13的工序中同時(shí)還形成上述接地層 120、122。此外，在接地層120的端部附近且接收導(dǎo)體13 —側(cè)，形成有沿著各發(fā)送導(dǎo)體11 和接收導(dǎo)體13的延伸方向的長(zhǎng)條形的端子電極130。接地層120經(jīng)由該端子電極130接地。在接地層122的端部附近且發(fā)送導(dǎo)體11 一側(cè)，形成有沿著各發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體 13的延伸方向的長(zhǎng)條形的端子電極132。接地層122經(jīng)由該端子電極132接地。這樣，通過(guò)分離接地層120、122，防止在上述接地層120、122之間傳遞電位的變動(dòng)。此外，在圖18所示的例子中，比較發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13之間所形成的端子電極130與端子電極132，端子電極130被設(shè)定為更寬。比較向發(fā)送導(dǎo)體11輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度與向接收導(dǎo)體13輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度，向發(fā)送導(dǎo)體11輸入輸出的信號(hào)的強(qiáng)度大，但是通過(guò)將發(fā)送導(dǎo)體11 一側(cè)的端子電極130設(shè)定得寬，能夠通過(guò)寬的端子電極130有效地屏蔽由該信號(hào)強(qiáng)度大的發(fā)送導(dǎo)體11生成的電場(chǎng)。圖19是在與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A和與接收導(dǎo)體13對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19B之間形成接地層的情況的圖14的A-A線剖視圖，對(duì)應(yīng)于上述(4)的情況。如圖19所不,在第一玻璃基板15上形成有金屬布線導(dǎo)體19A和金屬布線導(dǎo)體19B雙方,在它們之間隔著預(yù)定的間隙配置有接地層124。該接地層124與發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13的延伸方向平行地具有分離上述兩種導(dǎo)體之間的長(zhǎng)條形狀，與接地層120同樣地接地。由于在金屬布線導(dǎo)體19A、19B之間配置有接地層124，因此能夠降低上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B 之間的信號(hào)干擾。圖20是表示圖19所示的結(jié)構(gòu)的變形例的圖。在圖19所示的結(jié)構(gòu)中，在金屬布線導(dǎo)體19A、19B之間形成有一個(gè)接地層124，但是也可以將其分為兩個(gè)，分為與金屬布線導(dǎo)體 19A相鄰的接地層124A和與金屬布線導(dǎo)體19B相鄰的接地層124B。由此，能夠進(jìn)一步防止與發(fā)送導(dǎo)體11對(duì)應(yīng)的金屬布線導(dǎo)體19A的電位的變動(dòng)經(jīng)由接地層124A傳遞到接收導(dǎo)體13一側(cè)。這樣，在本實(shí)施方式的檢測(cè)傳感器100中，即使在第一玻璃基板15上的布線區(qū)域中金屬布線導(dǎo)體19A與金屬布線導(dǎo)體19B相鄰的情況下，由于與金屬布線導(dǎo)體19A重疊形成有預(yù)定電位的接地層120，因此在指示體靠近金屬布線導(dǎo)體19A與金屬布線導(dǎo)體19B相鄰的區(qū)域時(shí)也能夠降低金屬布線導(dǎo)體19A與金屬布線導(dǎo)體19B之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。此外，在金屬布線導(dǎo)體19A與接地層120之間配置有用于將其電絕緣的絕緣層 140，通過(guò)與該絕緣層140相同的絕緣材料進(jìn)行發(fā)送導(dǎo)體11的導(dǎo)體片IlA與接收導(dǎo)體13之間的電絕緣。因此，能夠同時(shí)形成上述絕緣材料，能夠通過(guò)工序的簡(jiǎn)化而降低制造成本。此外，發(fā)送導(dǎo)體11和接收導(dǎo)體13能夠形成為單一層，因此能夠確保穩(wěn)定的特性，并且能夠通過(guò)工序的簡(jiǎn)化而降低制造成本。此外，通過(guò)由相同的材料形成連接發(fā)送導(dǎo)體11的導(dǎo)體片IlA的金屬跳線18、金屬布線導(dǎo)體19A及金屬布線導(dǎo)體19B(也可以是任一方)，能夠同時(shí)形成金屬跳線18、金屬布線導(dǎo)體19A及金屬布線導(dǎo)體19B，能夠通過(guò)工序的簡(jiǎn)化而降低制造成本。此外，金屬布線導(dǎo)體19A及金屬布線導(dǎo)體19B具有比發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13 的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性，因此能夠降低發(fā)送導(dǎo)體11和金屬布線導(dǎo)體19A整體、接收導(dǎo)體13和金屬布線導(dǎo)體19B整體的電阻而提高信號(hào)的傳送特性。此外，通過(guò)在金屬布線導(dǎo)體19A與金屬布線導(dǎo)體19B之間配置被設(shè)定為預(yù)定的電位的端子電極130、接地層121等，能夠降低金屬布線導(dǎo)體19A和金屬布線導(dǎo)體19B的相鄰位置上的信號(hào)的干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。接著，說(shuō)明檢測(cè)傳感器100的制造工序的具體例。圖21是表示圖15所示的檢測(cè)傳感器100的制造工序的圖。
(I)在顯示畫面上重疊配置的作為透明基板的第一玻璃基板15的一個(gè)面上形成具有透過(guò)性的作為導(dǎo)電膜的ITO膜211 (第一工序，圖21 (A))。(2)處理ITO膜211 (例如光刻及蝕刻)，從第一玻璃基板15的一個(gè)面上的ITO膜 211形成作為導(dǎo)電圖案的接收導(dǎo)體13、導(dǎo)體片11A、接地層120 (第二工序，圖21(B))。此時(shí)， 接收導(dǎo)體13形成為連續(xù)的線狀，導(dǎo)體片IlA形成為與接收導(dǎo)體13的交叉部分被切斷的點(diǎn)線的線狀。(3)使用涂布機(jī)在形成有導(dǎo)體片11A、接收導(dǎo)體13及接地層120的第一玻璃基板 15的一個(gè)面上形成作為絕緣材料的絕緣層21ID (第三工序，圖21 (C))。(4)處理絕緣層211D (例如光刻及蝕刻)而去除絕緣層211D的不需要部分，從而在導(dǎo)體片IlA與接收導(dǎo)體13的交叉部分(夾有接收導(dǎo)體13的導(dǎo)體片IlA之間的區(qū)域)和接地層120的各自所對(duì)應(yīng)的區(qū)域保留絕緣層211D(第四工序，圖21(D))。由此，在導(dǎo)體片 IlA與接收導(dǎo)體13的交叉部分形成絕緣層11D，在接地層120上形成絕緣層140。(5)通過(guò)金屬成膜處理(例如濺射金屬)，在形成有導(dǎo)體片11A、接收導(dǎo)體13及接地層120的第一玻璃基板15的一個(gè)面上形成作為具有比上述導(dǎo)體片IlA等的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性的金屬膜的金屬層218 (第五工序，圖21 (E))。(6)加工金屬層218 (例如光刻及蝕刻)，同時(shí)形成沿著導(dǎo)體片IlA的長(zhǎng)度方向電連接相鄰的導(dǎo)體片IlA的金屬跳線18、絕緣層140上的金屬布線導(dǎo)體19A、接地層120上的端子電極130 (在圖21中未圖示)、第一玻璃基板15上的金屬布線導(dǎo)體19B (在圖21中未圖示)(第六工序，圖21 (F))。之后，涂布外涂材料而完成檢測(cè)傳感器100。在這樣制造的檢測(cè)傳感器100中，即使在布線區(qū)域116中兩種金屬布線導(dǎo)體19A、 19B相鄰的情況下，由于與上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B重疊形成有接地層120等，因此在指示體300靠近布線區(qū)域116時(shí)也能夠降低上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。此外，發(fā)送導(dǎo)體11及接收導(dǎo)體13和接地層120等能夠通過(guò)作為單一層的透明導(dǎo)體來(lái)形成，確保兩種導(dǎo)體(發(fā)送導(dǎo)體11、接收導(dǎo)體13)的穩(wěn)定的特性，并且不需要追加增設(shè)接地層120等時(shí)的工序，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)確保性能和抑制制造成本增加。另外，圖21所示的制造工序與圖15所示的結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng),但是對(duì)于圖16、圖17、圖18所示的結(jié)構(gòu)也相同。圖22是表示具有圖19所示結(jié)構(gòu)的檢測(cè)傳感器100的制造工序的圖。(I)在顯示畫面上重疊配置的作為透明基板的第一玻璃基板15的一個(gè)面上形成具有透過(guò)性的作為導(dǎo)電膜的ITO膜211 (第一工序，圖22(A))。(2)處理ITO膜211 (例如光刻及蝕刻)，從第一玻璃基板15的一個(gè)面上的ITO膜 211形成作為導(dǎo)電圖案的接收導(dǎo)體13、導(dǎo)體片IlA(第二工序，圖22(B))。此時(shí)，接收導(dǎo)體 13形成為連續(xù)的線狀，導(dǎo)體片IlA形成為與接收導(dǎo)體13的交叉部分被切斷的點(diǎn)線的線狀。(3)使用涂布機(jī)在形成有導(dǎo)體片IlA及接收導(dǎo)體13的第一玻璃基板15的一個(gè)面上形成作為絕緣材料的絕緣層21ID (第三工序，圖22(C))。(4)處理絕緣層21ID (例如光刻及蝕刻)而去除絕緣層21ID的不需要部分，從而在導(dǎo)體片IlA與接收導(dǎo)體13的交叉部分(夾有接收導(dǎo)體13的導(dǎo)體片IlA之間的區(qū)域)所對(duì)應(yīng)的區(qū)域保留絕緣層211D(第四工序，圖22(D))。由此，在導(dǎo)體片IlA與接收導(dǎo)體13的交叉部分形成絕緣層11D。
(5)通過(guò)金屬成膜處理(例如濺射金屬)，在形成有導(dǎo)體片IlA及接收導(dǎo)體13的第一玻璃基板15的一個(gè)面上形成作為具有比上述導(dǎo)體片IlA等的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性的金屬膜的金屬層218 (第五工序，圖22 (E))。(6)加工金屬層218 (例如光刻及蝕刻)，同時(shí)形成沿著導(dǎo)體片IlA的長(zhǎng)度方向電連接相鄰的導(dǎo)體片IlA的金屬跳線18、玻璃基板15上的金屬布線導(dǎo)體19A、19B及接地層 124 (弟TK工序，圖22 (F))。之后，涂布外涂材料而完成檢測(cè)傳感器100。在這樣制造的檢測(cè)傳感器100中，即使在布線區(qū)域116中兩種金屬布線導(dǎo)體19A、 19B相鄰的情況下，由于在上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B之間形成有接地層124，因此在指示體300靠近布線區(qū)域116時(shí)也能夠降低上述金屬布線導(dǎo)體19A、19B之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。另外，圖22所示的制造工序與圖19所示的結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)，但是對(duì)于圖 20所示的結(jié)構(gòu)也相同。另外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，可以在本發(fā)明要旨的范圍內(nèi)實(shí)施各種變形。例如，在上述各實(shí)施方式中，說(shuō)明了發(fā)送導(dǎo)體11與接收導(dǎo)體13正交的情況，但是以90 度以外的角度交叉的情況也能夠適用本發(fā)明。此外，在上述各實(shí)施方式中，發(fā)送導(dǎo)體組12和接收導(dǎo)體組14分別劃分為15個(gè)塊， 但是塊的數(shù)量可以變更，發(fā)送導(dǎo)體組12的塊數(shù)量和接收導(dǎo)體組14的塊數(shù)量也可以不同。此外，也可以設(shè)置對(duì)接收導(dǎo)體組14所包含的各接收導(dǎo)體13分別檢測(cè)電流的結(jié)構(gòu)，省略接收導(dǎo)體13 —側(cè)的切換動(dòng)作。此外，在上述各實(shí)施方式中，假設(shè)了多頻信號(hào)作為向發(fā)送導(dǎo)體11側(cè)供給的信號(hào)， 但是供給信號(hào)也可以是多頻信號(hào)以外的信號(hào)。例如，在將多個(gè)擴(kuò)頻碼信號(hào)具體地說(shuō)將頻譜擴(kuò)頻碼供給到劃分為各塊的發(fā)送導(dǎo)體11的指示體位置檢測(cè)裝置中，也能夠獲得相同的效果。此外，在將特定的擴(kuò)頻碼的相位偏移而供給到劃分為各塊的發(fā)送導(dǎo)體11的指示體位置檢測(cè)裝置中，也能夠獲得相同的效果。此外，在上述各實(shí)施方式中，在向發(fā)送導(dǎo)體11側(cè)供給信號(hào)且檢測(cè)從接收導(dǎo)體13側(cè)輸出的電流的靜電電容方式的檢測(cè)傳感器100及指示體位置檢測(cè)裝置中適用了本發(fā)明，但是如日本特開2009-162538號(hào)公報(bào)所公開的那樣檢測(cè)彼此交叉的兩種導(dǎo)體(電極)各自的靜電電容值而檢測(cè)指示體的位置的靜電電容方式的指示體位置檢測(cè)裝置也能夠適用本發(fā)明。此外，若是依次切換導(dǎo)體的檢測(cè)傳感器及指示體位置檢測(cè)裝置，則即使采用靜電電容方式以外的方式，也能夠適用本發(fā)明。此外，在上述實(shí)施方式中，使用作為具有透過(guò)性的導(dǎo)電膜的ITO膜形成了發(fā)送導(dǎo)體、接收導(dǎo)體及接地層等，但是也可以使用ITO膜以外的具有透過(guò)性的導(dǎo)電膜。此外，如果關(guān)注指示體靠近兩種信號(hào)線路(金屬布線導(dǎo)體)相鄰的區(qū)域時(shí)的信號(hào)干擾降低的效果，則也可以使用非透過(guò)材料形成發(fā)送導(dǎo)體、接收導(dǎo)體及接地層等。根據(jù)本發(fā)明，即使在第一玻璃基板15上的布線區(qū)域中作為第一信號(hào)線路的金屬布線導(dǎo)體19A和作為第二信號(hào)線路的金屬布線導(dǎo)體19B相鄰的情況下，由于與金屬布線導(dǎo)體19A重疊形成有預(yù)定電位的接地層120，因此在指示體靠近金屬布線導(dǎo)體19A和金屬布線導(dǎo)體19B相鄰的區(qū)域時(shí)也能夠降低金屬布線導(dǎo)體19A與金屬布線導(dǎo)體19B之間的信號(hào)干擾，能夠防止指示體的錯(cuò)誤檢測(cè)。
權(quán)利要求
1.一種用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，在基材上形成有多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體，被配置在第一方向上；多個(gè)第一信號(hào)線路，與上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體的各導(dǎo)體對(duì)應(yīng)地連接；多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體，被配置在與上述第一方向交叉的第二方向上；以及多個(gè)第二信號(hào)線路，與上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的各導(dǎo)體對(duì)應(yīng)地連接，上述檢測(cè)傳感器的特征在于，在上述第一信號(hào)線路與上述基材之間形成有第一導(dǎo)電圖案，該第一導(dǎo)電圖案由與上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體或上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體相同的材料構(gòu)成，并且該第一導(dǎo)電圖案與上述多個(gè)第一信號(hào)線路電絕緣且被設(shè)定為預(yù)定的電位。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體及上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體被配置在上述基材的同一表面?zhèn)?，通過(guò)在上述多個(gè)第一信號(hào)線路與上述第一導(dǎo)電圖案之間配置絕緣材料而進(jìn)行彼此的電絕緣，并且上述多個(gè)第一信號(hào)線路與上述第一導(dǎo)電圖案之間所設(shè)置的上述絕緣材料被
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于，上述第一傳感器導(dǎo)體由通過(guò)上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體而分離的多個(gè)導(dǎo)體片構(gòu)成，通過(guò)與上述第一傳感器導(dǎo)體和上述第二傳感器導(dǎo)體交叉的區(qū)域上所配置的上述絕緣材料重疊配置的導(dǎo)電材料，上述多個(gè)導(dǎo)體片彼此電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 與上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體和上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體交叉的區(qū)域上所配置的上述絕緣材料重疊配置的上述導(dǎo)電材料是與上述多個(gè)第一信號(hào)線路或上述多個(gè)第二信號(hào)線路相同的材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 上述多個(gè)第一信號(hào)線路及上述多個(gè)第二信號(hào)線路具有比上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體及上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 在上述多個(gè)第一信號(hào)線路的附近配置有上述多個(gè)第二信號(hào)線路，并且，在上述第一信號(hào)線路與上述第二信號(hào)線路之間配置有第二導(dǎo)電圖案，上述第二導(dǎo)電圖案被設(shè)定為預(yù)定的電位。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 上述第二導(dǎo)電圖案與上述第一導(dǎo)電圖案重疊配置，并且與上述第一導(dǎo)電圖案電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 上述第二導(dǎo)電圖案由第一線狀導(dǎo)體及第二線狀導(dǎo)體構(gòu)成，上述第一線狀導(dǎo)體與上述第一導(dǎo)電圖案重疊配置，并且與上述第一導(dǎo)電圖案電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 從分別對(duì)應(yīng)的上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體向上述多個(gè)第二信號(hào)線路供給信號(hào)，為了向上述多個(gè)第一信號(hào)線路供給信號(hào)強(qiáng)度比從上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體向上述多個(gè)第二信號(hào)線路供給的信號(hào)強(qiáng)的信號(hào)，將構(gòu)成被設(shè)定為上述預(yù)定的電位的上述第二導(dǎo)電圖案的上述第一線狀導(dǎo)體形成為比上述第二線狀導(dǎo)體寬。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于檢測(cè)指示體的指示位置的檢測(cè)傳感器，其特征在于， 配置有上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體及上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的上述基材的預(yù)定的區(qū)域具有透過(guò)性。
11.一種指示體位置檢測(cè)裝置，具有檢測(cè)傳感器，用于檢測(cè)指示體指示的位置；和電路，用于向上述檢測(cè)傳感器供給發(fā)送信號(hào)，并且根據(jù)從上述檢測(cè)傳感器獲得的接收信號(hào)檢測(cè)上述指示體指示的位置，上述指示體位置檢測(cè)裝置的特征在于，用于檢測(cè)上述指示體指示的位置的檢測(cè)傳感器在基材上形成有多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體，被配置在第一方向上；多個(gè)第一信號(hào)線路，與上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體的各導(dǎo)體對(duì)應(yīng)地連接；多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體，被配置在與上述第一方向交叉的第二方向上；以及多個(gè)第二信號(hào)線路，與上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體的各導(dǎo)體對(duì)應(yīng)地連接，在上述多個(gè)第一信號(hào)線路與上述基材之間形成有第一導(dǎo)電圖案，該第一導(dǎo)電圖案由與上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體或上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體相同的材料構(gòu)成，并且上述第一導(dǎo)電圖案與上述多個(gè)第一信號(hào)線路電絕緣且被設(shè)定為預(yù)定的電位。
12.—種檢測(cè)傳感器的制造方法，上述檢測(cè)傳感器用于檢測(cè)指示體指示的位置，在具有透過(guò)性的基材的一個(gè)面上具有多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體，被配置在第一方向上；和多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體，被配置在與上述第一方向交叉的第二方向上，上述檢測(cè)傳感器的制造方法的特征在于，包括以下工序通過(guò)金屬成膜處理，在上述基材的一個(gè)面上形成具有透過(guò)性的上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體、上述多個(gè)第二傳感器導(dǎo)體之間所配置的用于形成上述多個(gè)第一傳感器導(dǎo)體的具有透過(guò)性的多個(gè)導(dǎo)體片，并在預(yù)定的區(qū)域形成第一導(dǎo)電圖案；對(duì)上述基材的上述一個(gè)面上夾著上述第二傳感器導(dǎo)體的上述導(dǎo)體片之間的區(qū)域和上述第一導(dǎo)電圖案的區(qū)域的各區(qū)域配置絕緣材料；以及通過(guò)金屬成膜處理，將具有比上述基材的上述一個(gè)面上所配置的多個(gè)上述第一傳感器導(dǎo)體、第二傳感器導(dǎo)體及上述第一導(dǎo)電圖案的導(dǎo)電性高的導(dǎo)電性的金屬膜重疊配置在上述絕緣材料上，從而將上述多個(gè)導(dǎo)體片彼此電連接而形成上述第一傳感器導(dǎo)體，并且形成與上述第一傳感器導(dǎo)體的一端部電連接且在上述第一導(dǎo)電圖案上夾著上述絕緣材料而配置的第一信號(hào)線路、與上述第二傳感器導(dǎo)體的一端部電連接的第二信號(hào)線路。
全文摘要
一種檢測(cè)傳感器及其制造方法、指示體位置檢測(cè)裝置，能夠防止手指等指示體接觸到周圍的布線區(qū)域時(shí)的錯(cuò)誤檢測(cè)。檢測(cè)傳感器(100)在第一玻璃基板(15)上具有多個(gè)發(fā)送導(dǎo)體(11)，被配置在第一方向上；多個(gè)接收導(dǎo)體(13)，被配置在與第一方向交叉的第二方向上；多個(gè)金屬布線導(dǎo)體(19A)，與發(fā)送導(dǎo)體(11)電連接；以及多個(gè)金屬布線導(dǎo)體(19B)，與接收導(dǎo)體(13)電連接。在金屬布線導(dǎo)體(19A)與第一玻璃基板(15)之間配置有接地層(120)，該接地層(120)與金屬布線導(dǎo)體(19A)電絕緣，并且被設(shè)定為預(yù)定的電位，由與發(fā)送導(dǎo)體(11)或接收導(dǎo)體(13)相同的材料構(gòu)成。
文檔編號(hào)G06F3/044GK102591539SQ201110390669
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2011年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月1日
發(fā)明者小田康雄, 巖本尚久, 杉山義久, 金田剛典 申請(qǐng)人:株式會(huì)社和冠