半導體檢測系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法
【專利摘要】半導體檢測系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法包括選擇一檢測功能；將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)其屬性，分類為不同的篩選群組；以及于該用戶界面顯示該些篩選群組并以圖像方式表示各篩選群組之間的關系。
【專利說明】半導體檢測系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明有關于一種半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面，更明確地說，有關于在該用戶界面上以群組化的方式來顯示該半導體檢測系統(tǒng)于檢測時所需的檢測臨界條件的方法。
【背景技術】
[0002]在半導體檢測系統(tǒng)中，用戶界面的顯示方法繁多。以自動光學檢測系統(tǒng)為例，其用戶需要設定判斷晶粒有瑕疵的臨界條件或參數(shù)，而各種晶粒瑕疵皆有相同或不同的臨界條件或參數(shù)。因此用戶在使用自動光學檢測系統(tǒng)前，需要將各種晶粒瑕疵所需要的臨界條件皆設定完成，如此才能通過該自動光學檢測系統(tǒng)來對待測晶粒進行檢測。
[0003]請參考圖1。圖1說明先前技術的自動光學檢測系統(tǒng)的用戶界面。在先前技術中，其用戶界面將所有檢測功能所需設定的所有臨界條件全部顯示出來。于圖1中，“問號“表示該設定值仍未設定，待使用者設定。如此用戶并不會知道各個檢測功能各自需要哪些檢測條件，也不知道各個臨界條件之間是否有關連性，而且也無法判斷該自動光學檢測系統(tǒng)所采用的算法與這些臨界條件的關系。因此，用戶需事先了解這些檢測功能判斷瑕疵的法貝U，或者該算法進行的流程，才能知道要如何設定這些臨界條件。如此一來，將會花費使用者相當長的時間，才能完成臨界條件的設定。
[0004]另一種自動光學檢測系統(tǒng)的用戶界面是一次僅顯示一個檢測功能的一個臨界條件。在用戶設定該臨界條件后，該用戶界面才會跳出該檢測功能所需的下一個臨界條件。如此一來，使用者便需要逐次設定單一檢測功能的多個臨界條件。在這種情況下，倘若使用者要設定多個檢測功能的所有臨界條件，亦會花費使用者相當長的時間，造成使用者不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。其中，此半導體檢測系統(tǒng)例如為自動光學檢測系統(tǒng)。該顯示方法包括選擇一檢測功能；將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)該多個臨界條件于該半導體檢測系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組與一進階篩選群組；以及于該用戶界面顯示該初步篩選群組與該進階篩選群組并以一圖像告知一用戶該初步篩選群組、該進階篩選群組與該檢測功能是有關的；其中當一待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒未通過該進階篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該進階篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒通過該初步篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒通過該檢測功能；當該待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)；當該待測晶粒通過該進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
[0006]本發(fā)明另提供一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。該顯示方法包括選擇一檢測功能；將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)該多個臨界條件于該半導體檢測系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組、一第一進階篩選群組與一第二進階篩選群組；以及于該用戶界面顯示該初步篩選群組、該第一進階篩選群組與該第二進階篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該初步篩選群組、該第一進階篩選群組、該第二進階篩選群組與該檢測功能是有關的；其中當一待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒未通過該第一進階篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該第一進階篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒未通過該第二進階篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該第二進階篩選群組所包括的一臨界條件；當一待測晶粒通過該初步篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒通過該檢測功能；當該待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該第一進階篩選群組與該第二進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0007]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中當該待測晶粒通過該第一進階篩選群組且通過該第二進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
[0008]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中當該待測晶粒通過該第一進階篩選群組或通過該第二進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
[0009]本發(fā)明另提供一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。該顯示方法包括選擇一檢測功能；將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)該多個臨界條件的屬性，分類為一第一篩選群組與一第二篩選群組；以及于該用戶界面顯示該第一篩選群組與該第二篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該第一篩選群組、該第二篩選群組與該檢測功能是有關的；其中該半導體檢測系統(tǒng)根據(jù)一待測晶粒與該第一篩選群組與該第二篩選群組的關系，判斷該待測晶粒是否通過該檢測功能。
[0010]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中該半導體檢測系統(tǒng)根據(jù)該待測晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關系，判斷該待測晶粒是否通過該檢測功能包括當該待測晶粒未通過該第一篩選群組或該第二篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0011]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中該半導體檢測系統(tǒng)根據(jù)該待測晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關系，判斷該待測晶粒是否通過該檢測功能包括當該待測晶粒未通過該第一篩選群組且未通過該第二篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0012]本發(fā)明另提供一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。該顯示方法包括選擇一第一檢測功能；將該第一檢測功能所需的多個臨界條件，分類為一篩選群組；以及于該用戶界面顯示該篩選群組，并顯示一圖像以告知一用戶該第一檢測功能、該篩選群組與一第二檢測功能有關；其中當一待測晶粒未通過該篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0013]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中該圖像為直線、箭頭、字體、顏色、外框、背景，或符號。[0014]于本發(fā)明所提供的顯示方法中，在用戶設定半導體檢測系統(tǒng)所需要的參數(shù)/臨界條件時，可以按照各參數(shù)/臨界條件的屬性分類，再按照參數(shù)/臨界條件的分類，顯示在用戶界面上，同時以圖像方式顯示出各參數(shù)/臨界條件的關聯(lián)性，而讓使用者能更迅速地完成各參數(shù)/臨界條件的設定，提供給使用者更大的便利性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1說明先前技術的自動光學檢測系統(tǒng)的用戶界面。
[0016]圖2說明根據(jù)本發(fā)明的自動光學檢測系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法的流程圖。
[0017]圖3說明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第一實施例。
[0018]圖4說明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第二實施例。
[0019]圖5說明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第三實施例。
【具體實施方式】
[0020]為讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點更能明顯易懂，下文將以實施例并配合附圖，作詳細說明如下。需注意的是，所附圖式中的各組件僅是示意，并未按照各組件的實際比例進行繪示。
[0021]本發(fā)明系提出半 導體檢測系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法，可適用于各種半導體檢測系統(tǒng)中，以下為了便于說明，將以自動光學檢測系統(tǒng)為例。請參考圖2。圖2說明根據(jù)本發(fā)明的自動光學檢測系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法200的流程圖。步驟說明如下:
[0022]步驟201:選擇一檢測功能；
[0023]步驟202:將該檢測功能所需要的參數(shù)分類成不同的篩選群組；
[0024]步驟203:在用戶界面上顯示各篩選群組并以圖像方式表現(xiàn)各篩選群組之間的關系。
[0025]由于自動光學檢測系統(tǒng)有眾多檢測功能，如電極瑕疵檢測、電極無針痕檢測、斷線檢測、連接點檢測、金線瑕疵檢測...等，本發(fā)明針對各檢測功能所需的參數(shù)/臨界條件，分類成不同的篩選群組。不同于先前技術將自動光學檢測系統(tǒng)的所有臨界條件全部顯示在用戶界面上，本發(fā)明在步驟201中，在用戶界面上僅顯示與所選的檢測功能相關的參數(shù)/臨界條件。如此一來，當用戶選擇一個檢測功能之后，便不會看到與所選檢測功能無關的參數(shù)/臨界條件，而能夠較清楚地知道該設定哪些參數(shù)/臨界條件。較佳地，在使用者未選擇一檢測功能前，所有的檢測功能相關參數(shù)/臨界條件是以較淡的顏色或是被折收起來的方式來顯示在用戶界面上，并且無法輸入數(shù)值。當用戶選擇/開啟一檢測功能后，該所選擇的檢測功能的相關參數(shù)/臨界條件才會浮顯或是展開出來，并且可以輸入或設定數(shù)值。
[0026]在步驟202中，本發(fā)明會根據(jù)所選檢測功能的判斷規(guī)則、算法，或者參數(shù)/臨界條件的屬性，將所需的參數(shù)/臨界條件分類。舉例來說，若步驟201中所選擇的檢測功能為N電極瑕疵，則所需的臨界條件包括有:灰階值上限、灰階值下限、比較周圍像素距離、灰階差量上限、忽略瑕疵面積、細小瑕疵濾除次數(shù)、邊界向延伸大小、最大單一瑕疵面積、瑕疵占整體百分比、最大瑕疵總面積、寬度上限、高度上限、最大瑕疵數(shù)量…等。而本發(fā)明可將這些臨界條件分類為灰階范圍、鄰近差異、面積設定、面積判定，以及幾何判定。更明確地說，“N電極瑕疵”檢測功能包括:“灰階范圍”篩選群組、“鄰近差異”篩選群組、“面積設定”篩選群組、“面積判定”篩選群組，以及“幾何判定”篩選群組?！盎译A范圍”篩選群組包括:灰階值上限、灰階值下限；“鄰近差界”篩選群組包括:比較周圍像素距離、灰階差量上限面積設定”篩選群組包括:忽略瑕疵面積、細小瑕疵濾除次數(shù)、邊界向內(nèi)延伸大??；“面積判定”篩選群組包括:最大單一瑕疵面積、瑕疵占整體百分比、最大瑕疵總面積；“幾何判定”篩選群組包括:寬度上限、高度上限、最大瑕疵數(shù)量。被歸類在同一個篩選群組內(nèi)的臨界條件，皆具有類似的屬性。舉例來說，灰階值上限與灰階值下限的屬性接近，因此被歸類在同一個“灰階范圍”篩選群組；比較周圍像素距離與灰階差值上限的屬性接近，因此被歸類在同一個“鄰近差異”篩選群組。而這些篩選群組，又可根據(jù)自動光學檢測系統(tǒng)所使用的算法，分類為初步篩選群組與進階篩選群組。舉例來說，“灰階范圍”篩選群組、“鄰近差異”篩選群組可被歸類為初步篩選群組；而“面積設定”篩選群組、“面積判定”篩選群組、“幾何判定”篩選群組可被歸類為進階篩選群組。初步篩選群組表示當待測晶粒未通過初步篩選群組的臨界條件時，則自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵，而自動光學檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)；當該待測晶粒通過該進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)；當待測晶粒已通過初步篩選群組所有的臨界條件時，該自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)而不再繼續(xù)以進階篩選群組的臨界條件對該待測晶粒進行后續(xù)檢測。舉例來說，若使用者選擇“N電極瑕疵”檢測功能時，自動光學檢測系統(tǒng)會先判斷該待測晶粒的影像是否落在灰階值上限與灰階值下限之間。若待測晶粒的影像的灰階值落在灰階值上限與灰階值下限的范圍，則表示待測晶粒通過“灰階范圍”篩選群組，因此自動光學檢測系統(tǒng)會判斷該待測晶粒沒有N電極瑕疵。若待測晶粒的影像的灰階值超出灰階值上限與灰階值下限之間，則表示待測晶粒未通過“灰階范圍”初步篩選群組，而自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵，而自動光學檢測系統(tǒng)需繼續(xù)判斷該待測晶粒是否有通過“面積設定”、“面積判定”、“幾何判定”等進階篩選群組以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。若待測晶粒皆通過或部分通過上述篩選群組的臨界條件(端看用戶設定)，自動光學檢測系統(tǒng)才會判斷該待測晶粒沒有N電極瑕疵。
[0027]在步驟203中，本發(fā)明會將于步驟202中所分類的篩選群組，顯示于用戶界面上，并以圖像的方式表示各篩選群組之間的關系。舉例來說，本發(fā)明可將屬于初步篩選群組的“灰階范圍”篩選群組，以及“鄰近差`異”篩選群組顯示在用戶界面的同一區(qū)塊，而將屬于進階篩選群組的“面積設定”篩選群組、“面積判定”篩選群組、以及“幾何判定”篩選群組顯示在用戶界面的另一區(qū)塊。另外，本發(fā)明可再以圖像來表示各篩選群組之間的關聯(lián)性。舉例來說，表達關聯(lián)性的圖像可為直線、箭頭、字體、顏色、外框、背景、符號…等。如此一來，用戶在選擇檢測功能之后，便能對于所要設定的臨界條件與彼此間的關系一目了然，而能加速使用者設定這些臨界條件的速度。
[0028]請參考圖3。圖3說明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第一實施例。圖3同樣舉“N電極瑕疵”檢測功能為例。于圖3中，以左至右來表示算法進行的順序，而在虛線方框內(nèi)的篩選群組表示為同時進行。于圖3中，“問號”表示該設定值仍未設定，待使用者設定。也就是說，自動光學檢測系統(tǒng)會先進行“灰階范圍”篩選群組以及“鄰近差異”篩選群組的判斷，然后進行“面積設定”篩選群組的判斷，最后同時進行“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組的判斷。當自動光學檢測系統(tǒng)進行初步篩選群組的判斷時，用戶可以設定自動光學檢測系統(tǒng)判斷晶粒瑕疵的條件。舉例來說，使用者可以設定當待測晶粒只要不通過“灰階范圍”篩選群組或“鄰近差界”篩選群組，自動光學檢測系統(tǒng)便判斷晶粒有N電極瑕疵，而自動光學檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)?；蛘?，使用者可以設定當待測晶粒不通過“灰階范圍”篩選群組且不通過“鄰近差異”篩選群組，自動光學檢測系統(tǒng)才判斷晶粒有N電極瑕疵，而自動光學檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。而在此一階段待測晶粒所需通過的進階篩選群組系為“面積設定”篩選群組。若待測晶粒通過面積設定篩選群組，自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)，而不再以“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組，對該待測晶粒進行后續(xù)的檢測。若待測晶粒未通過“面積設定”篩選群組，自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒的瑕疵有可能是超出可接受范圍內(nèi)，而需繼續(xù)以“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組，對該待測晶粒進行后續(xù)的檢測。若待測晶粒未通過“面積判定”篩選群組與/或“幾何判定”篩選群組，自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒的瑕疵是超出可接受范圍內(nèi)，表示該待測晶粒未通過N電極瑕疵檢測功能。若待測晶粒通過“面積判定”篩選群組與/或“幾何判定”篩選群組，自動光學檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒的瑕疵是落在可接受范圍內(nèi)，表示該待測晶粒通過N電極瑕疵檢測功能。對于進階篩選群組，如“面積判定”篩選群組以及“幾何判定”篩選群組，使用者亦可進行如上述的設定。
[0029]另外，在圖3中，多個初步篩選群組對應到一進階篩選群組，然本領域具有通常知識者應可明白用戶界面也可需要設計成一個初步篩選群組對應到多個進階篩選群組。在圖3中，本發(fā)明以“直線”做為圖像說明，以此方式來表示各篩選群組之間的關聯(lián)性。更明確地說，“灰階范圍”篩選群組以及“鄰近差異”篩選群組的設定會影響“面積設定”篩選群組；而“面積設定”篩選群組又會更進一步影響“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組。如此，使用者便可清楚了解在設定某一篩選群組，會影響哪些篩選群組的設定，而進而可以更方便使用者設定各篩選群組的臨界條件。另外，表達關聯(lián)性的圖像若是以“字體?‘顏色?‘外框” “背景”來呈現(xiàn)，則可以將有關聯(lián)的篩選群組，以相同的“字體” “顏色” “外框” “背景”來呈現(xiàn)。舉例來說，“灰階范圍”、“鄰近差異”、“面積設定”篩選群組可以使用相同的字體，而“面積設定”、“面積判定”、“幾何判定”可以使用相同的顏色。也就是說，“面積設定”篩選群組與“灰階范圍”、“鄰近差界”篩選群組具有相同的字體，而且與“面積判定”、“幾何判定”篩選群組具有相同的顏色。如此便 可以告知使用者這些篩選群組之間的關聯(lián)性。
[0030]請參考圖4。圖4說明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第二實施例。圖4改舉“N電極無針痕”檢測功能為例。于圖4中，“問號”表示該設定值仍未設定，待使用者設定。由于不同的檢測功能可能需要的臨界條件不一樣，又或者不同算法對于使用臨界條件的順序也不一樣，因此最后通過本發(fā)明的顯示方法200所顯示在用戶界面上的篩選群組，實際上會與圖3有所出入。舉例來說，如圖4所示，“N電極無針痕”檢測功能所需要的臨界條件包括:灰階值上限、灰階值下限、區(qū)域最小 面積、最小針痕面積。本發(fā)明可將這些臨界條件分類為N針痕條件、N面積設定、N無針痕判定。更明確地說，“N電極無針痕”檢測功能包括:“N針痕條件”篩選群組、“N面積設定”篩選群組，以及“N無針痕判定”篩選群組?！癗針痕條件”篩選群組包括:灰階值上限、灰階值下限；“N面積設定”篩選群組包括:區(qū)域最小面積；“N無針痕判定”篩選群組包括:最小針痕面積。根據(jù)自動光學檢測系統(tǒng)所使用的算法，可將“N針痕條件”篩選群組分類為初步篩選群組，而“N面積設定”篩選群組以及“N無針痕判定”篩選群組則可被分類為進階篩選群組。由此可知，若使用者選擇“N電極無針痕”檢測功能，通過本發(fā)明的顯示方法，用戶便可知道在進行這項檢測功能時，所需設定的各臨界條件以及各臨界條件之間的關系，是與“N電極瑕疵”檢測功能不同的。換句話說，本發(fā)明通過圖像化的方式，顯示各項檢測功能所需的臨界條件與關聯(lián)性，而能讓用戶通過用戶界面，在不了解算法的情況下，便可以知道如何設定臨界條件，而能夠加速設定的速度。
[0031]請參考圖5。圖5說明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第三實施例。圖5改舉多個檢測功能為例。于圖5中，“問號”表示該設定值仍未設定，待使用者設定；“x”表示使用者不需設定。由于不同的檢測功能有時會有相同的臨界條件，因此通過本發(fā)明的顯示方法200，可以將多檢測功能與相同對應的檢測條件之間的關聯(lián)性顯示出來。舉例來說，如圖5所示，“斷線”、“連接點”、“金線瑕疵”檢測功能同樣需要的臨界條件包括灰階值上限、灰階值下限。本發(fā)明可將這些臨界條件歸類為金線條件。更明確地說，“金線條件”篩選群組是“斷線” “連接點” “金線瑕疵”檢測功能同樣需要的篩選群組。如此以本發(fā)明的顯示方法，顯示出“斷線”、“連接點”、“金線瑕疵”檢測功能與“金線條件”篩選群組的關聯(lián)性，讓使用者知道“金線條件”篩選群組只要設定一次，便可對應到“斷線”、“連接點”、“金線瑕疵”檢測功能，而不需要針對各檢測功能，再次設定同樣的“金線條件”篩選群組。另外，于圖5中，用戶僅選擇“斷線”檢測功能，因此僅需設定與斷線檢測功能有關的“金線條件”、“斷線設定”、“斷線判定”篩選群組，而在第5圖中與斷線檢測功能無關的篩選群組，使用者便不須設定，因此在圖5中，其他無關斷線檢測功能的篩選群組，在設定值字段中以“χ”來告知使用者不需設定。如此也不會造成使用者誤設其他無關的參數(shù)。除了以上述方式來告知使用者不需設定無關參數(shù)之外，本發(fā)明亦可在用戶界面上將該些無關參數(shù)限制為不讓使用者輸入。舉例來說，將無關參數(shù)的文字跟輸入字段的顏色變淡，或者直接將無關參數(shù)的字段折收起來，如此以限制不讓使用者輸入。
[0032]另外，于本發(fā)明所述的初步篩選群組、進階篩選群組，僅為表達先后順序的概念，而非用來限定初步篩選群組一定是在算法中首先執(zhí)行的步驟。舉例來說，于圖3中，“灰階范圍”、“鄰近差異”篩選群組相對于“面積設定”篩選群組系為初步篩選群組，而“面積設定”篩選群組相對于“灰階范圍”、“鄰近差異”篩選群組系為進階篩選群組；“面積設定”篩選群組相對于“面積判定”篩選群組“幾何判定”篩選群組系為初步篩選群組，而“面積判定”、“幾何判定”篩選群組相對于“面積設定”篩選群組系為進階篩選群組。換句話說，在一第二篩選群組先前執(zhí)行的一第一篩選群組可視為該第二篩選群組的初步篩選群組，而在該第二篩選群組之后執(zhí)行的一第三篩選群組可視為該第二篩選群組的進階篩選群組。
[0033]綜上所述，本發(fā)明所提供的顯示方法，在用戶設定自動光學檢測系統(tǒng)或其他種類的半導體檢測系統(tǒng)所需要的參數(shù)/臨界條件時，可以按照各參數(shù)/臨界條件的屬性分類，再按照參數(shù)/臨界條件的分類，顯示在用戶界面上，同時以圖像方式顯示出各參數(shù)/臨界條件的關聯(lián)性，而讓使用者能更迅速地完成各參數(shù)/臨界條件的設定，提供給使用者更大的便利性。
[0034]以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實施例，非局限本發(fā)明專利的專利保護范圍，故凡運用本發(fā)明說明書及圖式內(nèi)容所為的等效變化與修飾，均同理包括于本發(fā)明的權利要求保護范圍，合予陳明。
【權利要求】
1.一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一檢測功能； 將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)該多個臨界條件于該半導體檢測系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組與一進階篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該初步篩選群組與該進階篩選群組并以一圖像告知一用戶該初步篩選群組、該進階篩選群組與該檢測功能是有關的； 其中當一待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒未通過該進階篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該進階篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒通過該初步篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒通過該檢測功能；當該待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)；當該待測晶粒通過該進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
2.一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一檢測功能； 將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)該多個臨界條件于該半導體檢測系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組、一第一進階篩選群組與一第二進階篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該初步篩選群組、該第一進階篩選群組與該第二進階篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該初步篩選群組、該第一進階篩選群組、該第二進階篩選群組與該檢測功能是有關的； 其中當一待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒未通過該第一進階篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該第一進階篩選群組所包括的一臨界條件；當該待測晶粒未通過該第二進階篩選群組時，表示該待測晶粒未通過該第二進階篩選群組所包括的一臨界條件；當一待測晶粒通過該初步篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒通過該檢測功能；當該待測晶粒未通過該初步篩選群組時，表示該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)以該第一進階篩選群組與該第二進階篩選群組對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
3.如權利要求2所述的顯示方法，其特征在于，該顯示方法當該待測晶粒通過該第一進階篩選群組且通過該第二進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
4.如權利要求2所述的顯示方法，其特征在于，當所述待測晶粒通過該第一進階篩選群組或通過該第二進階篩選群組時，表示該待測晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
5.一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一檢測功能；將該檢測功能所需的多個臨界條件，根據(jù)該多個臨界條件的屬性，分類為一第一篩選群組與一第二篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該第一篩選群組與該第二篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該第一篩選群組、該第二篩選群組與該檢測功能是有關的； 其中該半導體檢測系統(tǒng)根據(jù)一待測晶粒與該第一篩選群組與該第二篩選群組的關系，判斷該待測晶粒是否通過該檢測功能。
6.如權利要求5所述的顯示方法，其特征在于，該半導體檢測系統(tǒng)根據(jù)該待測晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關系，判斷該待測晶粒是否通過該檢測功能包括: 當該待測晶粒未通過該第一篩選群組或該第二篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
7.如權利要求5所述的顯示方法，其特征在于，該半導體檢測系統(tǒng)根據(jù)該待測晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關系，判斷該待測晶粒是否通過該檢測功能包括: 當該待測晶粒未通過該第一篩選群組且未通過該第二篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
8.一種于一半導體檢測系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一第一檢測功能；` 將該第一檢測功能所需的多個臨界條件，分類為一篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該篩選群組，并顯示一圖像以告知一用戶該第一檢測功能、該篩選群組與一第二檢測功能有關； 其中當一待測晶粒未通過該篩選群組時，該半導體檢測系統(tǒng)判斷該待測晶粒有瑕疵而該半導體檢測系統(tǒng)需繼續(xù)對該待測晶粒進行檢測以判斷該待測晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
9.如權利要求1、2、5、8中任一項所述的顯示方法，其特征在于，該圖像為直線、箭頭、字體、顏色、外框、背景，或符號。
10.如權利要求1、2、5、8中任一項所述的顯示方法，其特征在于，該半導體檢測系統(tǒng)為一自動光學檢測系統(tǒng)。
【文檔編號】G06F3/0481GK103513854SQ201210209915
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月19日 優(yōu)先權日:2012年6月19日
【發(fā)明者】周明澔, 楊上毅, 吳佳興 申請人:旺矽科技股份有限公司