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用于將合成全息圖合并于半色調(diào)圖像中的方法與流程

文檔序號:12556544閱讀:來源:國知局
用于將合成全息圖合并于半色調(diào)圖像中的方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種用于將合成全息圖合并于場景的可直接觀察到的圖像中的方法,所述方法包括以下步驟:定義所述場景的第一圖像(IMAGE_G),所述第一圖像包括灰度像素;從所述第一圖像形成第一矩陣和第二矩陣,根據(jù)所述第一圖像(IMAGE_G)的對應(yīng)像素具有大于閾值α的灰度值或小于閾值α的灰度值,所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)包括第一色調(diào)的像素或第二色調(diào)的像素,所述第二矩陣(IMAGE_G')的各個元素包括等于所述第一圖像(IMAGE_G)的對應(yīng)像素和所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)的對應(yīng)像素之間的灰度值之差的值;通過計算源自所述全息圖的第二源圖像(IMAGE_H)的圖像的傅里葉變換的相位圖像來形成第三相位圖像形成第四像素矩陣(IMAGE_F),所述第四像素矩陣的各個像素包括中心區(qū)域,所述中心區(qū)域具有基于所述第二矩陣(IMAGE_G')的對應(yīng)元素確定的且根據(jù)所述第三相位圖像的對應(yīng)像素而在像素中偏離中心的表面區(qū)域;以及根據(jù)由所述第四像素矩陣(IMAGE_F)定義的圖案在晶片的表面上進行不透明層的光刻,如果所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)的等效像素為所述第一色調(diào)的像素,則光刻用于從像素中去除所述中心區(qū)域內(nèi)的不透明層,如果第一矩陣(IMAGE_GB&W)的等效像素為所述第二色調(diào)的像素,則光刻用于去除所述中心區(qū)域外的不透明層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,根據(jù)第五振幅圖像(IMAGE_GA)的對應(yīng)像素的值計算所述第四像素矩陣(IMAGE_F)的各個像素的所述中心區(qū)域的尺寸,通過計算在像素中限定的孔的衍射幅值來獲得所述第五振幅圖像(IMAGE_GA)的各個像素,所述孔的表面積與所述像素的表面積的比率等于所述第二矩陣(IMAGE_G')的對應(yīng)元素的值。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中,所述第五振幅圖像(IMAGE_GA)的像素的幅值A(chǔ)hnm根據(jù)下列關(guān)系式取決于所述第二矩陣(IMAGE_G')的對應(yīng)元素的值Inm:其中,J1為第一貝塞爾函數(shù)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中,通過進行下列步驟來獲得所述第三相位圖像(a)通過執(zhí)行與能夠從所述第二矩陣(IMAGE_G')獲得所述第五振幅圖像(IMAGE_GA)的步驟相同的步驟,來計算從所述全息圖的第二源圖像(IMAGE_H)獲得的第六振幅矩陣(IMAGE_HA);(b)將所述第六振幅矩陣(IMAGE_HA)的像素與隨機相位分布結(jié)合或?qū)⑺龅诹穹仃?IMAGE_HA)的像素與連續(xù)分量結(jié)合以獲得復(fù)值;以及(c)計算所述復(fù)值的傅里葉變換的相位圖像。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其中,通過利用所述第五振幅圖像(IMAGE_GA)的優(yōu)化方法來獲得所述第三相位圖像6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法,其中,所述優(yōu)化方法包括下列步驟:(a)通過執(zhí)行與能夠從所述第二矩陣(IMAGE_G')獲得所述第五振幅圖像(IMAGE_GA)的步驟相同的步驟,來計算從所述全息圖的第二源圖像(IMAGE_H)獲得的第六振幅矩陣(IMAGE_HA);(b)將所述第六振幅矩陣(IMAGE_HA)的像素與隨機相位分布結(jié)合(82)或?qū)⑺龅诹穹仃?IMAGE_HA)的像素與連續(xù)分量結(jié)合(82)以獲得第一復(fù)值;(c)計算(84)所述第一復(fù)值的傅里葉變換;(d)將所述第五振幅圖像(IMAGE_GA)的像素與由步驟(c)的傅里葉變換產(chǎn)生的相位圖像的像素結(jié)合(86)以獲得第二復(fù)值;(e)計算(88)所述第二復(fù)值的傅里葉反變換;(f)將所述第六振幅矩陣(IMAGE_HA)的像素與由步驟(e)的計算(88)產(chǎn)生的相位圖像的像素結(jié)合(82)以獲得新的第一復(fù)值;以及(g)重復(fù)步驟(c)以計算(84)所述新的第一復(fù)值的傅里葉變換,所述第三相位圖像對應(yīng)于通過最后一次傅里葉變換而獲得的相位圖像。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其中,所述優(yōu)化方法還包括以下步驟:重復(fù)步驟(d)至步驟(g),所述第三相位圖像對應(yīng)于在多次循環(huán)重復(fù)步驟(d)至步驟(g)后在步驟(g)中獲得的相位圖像。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其中,至少執(zhí)行三次循環(huán)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述第四像素矩陣(IMAGE_F)的各個像素的所述中心區(qū)域的偏心值直接與所述第三相位圖像的對應(yīng)像素的值成比例。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,在歸一化的灰度級上,所述灰度值的閾值α等于0.5±10%。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述第四像素矩陣(IMAGE_F)的各個像素的所述中心區(qū)域是橢圓形的。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法,其中,所述第四像素矩陣(IMAGE_F)的各個像素的橢圓形中心區(qū)域的縱橫比等于π/2。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)的所述第一色調(diào)為最小色調(diào),所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)的所述第二色調(diào)為最大色調(diào),如果所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)的等效像素具有所述第一色調(diào),則光刻用于去除像素的所述中心區(qū)域內(nèi)的不透明層,并且如果所述第一矩陣(IMAGE_GB&W)的等效像素具有所述第二色調(diào),則光刻用于去除像素的所述中心區(qū)域外的不透明層。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中,所述第四像素矩陣(IMAGE_F)的各個像素的所述中心區(qū)域的最小尺寸被施加嚴(yán)格控制。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法,其中,在歸一化的灰度級上,所述第四像素矩陣(IMAGE_F)的像素的所述中心區(qū)域的最小尺寸對應(yīng)于暗像素色調(diào)的灰度值0.02和亮像素色調(diào)的灰度值0.98。
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