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關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法

文檔序號(hào):6382698閱讀:516來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法。
背景技術(shù)
隨著CMOS半導(dǎo)體器件工藝的發(fā)展以及電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA, Electronic DesignAutomat ion)工具的發(fā)展,完成效率對(duì)于企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力起著越來(lái)越大的作用。關(guān)鍵尺寸條狀圖形(⑶Bar,Critical Dimension Bar)是集成電路制造公司在芯片生產(chǎn)中用于測(cè)量特征線寬尺寸的圖形。一般CD Bar的版圖繪制,除了全手動(dòng)繪制,就是通過(guò)版圖工具產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)單元,需要人工調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)單元,進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置、排列來(lái)生成所需要的版圖。上述方法比較耗費(fèi)時(shí)間、人力,而且重復(fù)性和出錯(cuò)率都很高,對(duì)于集成電路制造行業(yè),這些時(shí)間的消耗以及出錯(cuò)率,無(wú)疑會(huì)延誤一個(gè)產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。因此,有必要對(duì)現(xiàn)有的⑶Bar的生成方法進(jìn)行改進(jìn),以提高⑶Bar的生成效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,以提聞關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。為解決上述問(wèn)題,本發(fā)明提出一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形??蛇x的,該方法具體包括如下步驟根據(jù)光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,利用第一 EDA工具生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形基本圖形;將關(guān)鍵尺寸條狀圖形的變量設(shè)置成隨光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則中不同式樣的值的不同而變化的參數(shù);按照光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,將所述參數(shù)整理成excl表格,生成所需的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單元庫(kù);按照光刻結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,整理式樣的excl表格,生成最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形??蛇x的,所述第一 EDA工具為smartcell工具??蛇x的,所述參數(shù)包括層名稱(Iayerid),掩模版(masknumber),版本號(hào)(typeversion)。可選的,所述最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形由第二 EDA工具生成。可選的,所述第二 EDA工具為tcmagic工具。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形;從而大大提聞關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的流程圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的步驟框圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是,附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率,僅用于方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。本發(fā)明的核心思想在于,提供一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形;從而大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形。因而能大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的具體流程請(qǐng)參考圖I及圖2,其中,圖I為本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的流程圖,圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法的步驟框圖,結(jié)合圖I及圖2,本發(fā)明實(shí)施例提供的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法具體包括如下步驟SI :根據(jù)光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,利用第一 EDA工具生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形基本圖形;S2:將關(guān)鍵尺寸條狀圖形的變量設(shè)置成隨光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則中不同式樣的值的不同而變化的參數(shù);S3 :按照光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,將所述參數(shù)整理成excl表格,生成所需的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單元庫(kù);S4 :按照光刻結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,整理式樣的excl表格,生成最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形。進(jìn)一步地,所述第一 EDA工具為smartcell工具。進(jìn)一步地,所述參數(shù)包括層名稱(Iayerid),掩模版(masknumber),版本號(hào)(typeversion)。進(jìn)一步地,所述最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形由第二 EDA工具生成且,所述第二 EDA工具為tcmagic工具。
綜上所述,本發(fā)明提供了一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形;從而大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,其特征在于,該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形。
2.如權(quán)利要求I所述的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,其特征在于,該方法具體包括如下步驟 根據(jù)光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,利用第一 EDA工具生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形基本圖形; 將關(guān)鍵尺寸條狀圖形的變量設(shè)置成隨光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則中不同式樣的值的不同而變化的參數(shù); 按照光刻版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,將所述參數(shù)整理成excl表格,生成所需的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單元庫(kù); 按照光刻結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規(guī)則的要求,整理式樣的excl表格,生成最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形。
3.如權(quán)利要求2所述的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,其特征在于,所述第一EDA工具為 smartcell 工具。
4.如權(quán)利要求2所述的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,其特征在于,所述參數(shù)包括層名稱(Iayerid),掩模版(masknumber),版本號(hào)(typeversion)。
5.如權(quán)利要求2所述的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,其特征在于,所述最終所需要的關(guān)鍵尺寸條狀圖形由第二 EDA工具生成。
6.如權(quán)利要求5所述的關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,其特征在于,所述第二EDA工具為tcmagic工具。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成方法,該方法在畫關(guān)鍵尺寸的過(guò)程中,采用單元庫(kù)參數(shù)法,通過(guò)改變參數(shù)來(lái)確定關(guān)鍵尺寸條狀圖形的單個(gè)單元,并且將所述單元按所需要求進(jìn)行分類,用可以清楚識(shí)別的參數(shù)描述,實(shí)現(xiàn)單元至參數(shù)的轉(zhuǎn)化,在此之后就只需控制參數(shù)來(lái)生成關(guān)鍵尺寸條狀圖形;從而大大提高關(guān)鍵尺寸條狀圖形的生成效率。
文檔編號(hào)G06F17/50GK102982207SQ20121050176
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月29日
發(fā)明者韓曉壬, 宋輝英, 潘虎 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司
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