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一種電容式觸摸屏金屬刻蝕工藝的制作方法與工藝

文檔序號(hào):12662051閱讀:212來源:國知局
一種電容式觸摸屏金屬刻蝕工藝的制作方法與工藝
本發(fā)明涉及電子產(chǎn)品的觸摸屏加工方法,主要涉及一種電容式觸摸屏金屬刻蝕工藝。

背景技術(shù):
傳統(tǒng)的電容屏金屬走線刻蝕工藝,需要將大部分金屬鍍膜層刻蝕掉,并形成金屬走線和“架橋”線條,因受集成生產(chǎn)時(shí)需要基板玻璃邊緣留有較多的空間作為“對準(zhǔn)”等符號(hào)與無效邊緣(通常有10~15mm),四邊的無效空間原來都是將金屬鍍膜層全部刻蝕掉,露出透明玻璃,從而消耗掉更多的蝕刻溶液,浪費(fèi)材料,同時(shí)也增大了成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的是提供一種電容式觸摸屏金屬刻蝕工藝,該生產(chǎn)工藝可以有效節(jié)省蝕刻溶液的用量從而節(jié)省生產(chǎn)成本。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種電容式觸摸屏金屬刻蝕工藝,其特征在于包括以下步驟:步驟1:對電容式觸摸屏金屬鍍膜層涂光刻保護(hù)膠,涂光刻保護(hù)膠區(qū)域包括經(jīng)過后續(xù)加工最終保留在觸摸屏上的有效金屬走線、架橋線條以及最終將被去除掉的四邊無效金屬鍍膜層;步驟2:對不涂有光刻保護(hù)膠的金屬鍍膜層進(jìn)行蝕刻;步驟3:對電容式觸摸屏進(jìn)行切割成形,切割去除掉四邊無效金屬鍍膜層區(qū)域。本發(fā)明是將這些四邊無效空間的金屬鍍膜層不進(jìn)行蝕刻,從而節(jié)省刻蝕液,對370X470玻璃可以節(jié)省約10%~15%的刻蝕液,680X880產(chǎn)品可以節(jié)省約8%~10%的刻蝕液,如果是混排方式,可以節(jié)省8%~30%的刻蝕液。作為優(yōu)選,步驟1中有效金屬走線、架橋線條與四邊無效金屬鍍膜層之間留有不涂光刻保護(hù)膠的切割縫隙。該優(yōu)選使得產(chǎn)品的后續(xù)切割時(shí)更加方便、高效,定位精度高,有效保護(hù)產(chǎn)品加工后的質(zhì)量。作為優(yōu)選,步驟1中涂光刻保護(hù)膠的工藝采用直接的局部涂膠的絲印工藝,并作烘烤、堅(jiān)膜處理。該優(yōu)選使得加工更加快速、便捷。作為優(yōu)選,步驟1中涂光刻保護(hù)膠的工藝采用光刻工藝,首先對金屬鍍膜層進(jìn)行全部涂布光刻保護(hù)膠,然后烘干,接著采用一塊掩膜板(MASK板)對光刻保護(hù)膠進(jìn)行曝光、顯影、堅(jiān)膜處理,掩膜板的遮掩圖形包括有效金屬走線、架橋線條以及四邊無效金屬鍍膜層圖形。該工藝的涂膠精確度更高,有效提高產(chǎn)品良率。作為優(yōu)選,曝光工序采用黃光光刻,曝光量40mj/cm2-100mj/cm2,時(shí)間1s-5s,照度20mw/cm2-50mw/cm2;作為優(yōu)選,步驟1中涂的保護(hù)膠膜厚1μm-2μm。作為優(yōu)選,光刻保護(hù)膠烘干工序時(shí)在100℃-150℃下,烘烤8min-13min。作為優(yōu)選,顯影工序時(shí)采用濃度為0.5%-1.5%的NaOH堿液,顯影時(shí)間50s-150s。作為優(yōu)選,步驟2中蝕刻工序采用酸性蝕刻溶液為:磷酸60%~100%+醋酸10%~15%。作為優(yōu)選,蝕刻時(shí)間為5-15分鐘。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和效果如下:本發(fā)明通過對四邊無效金屬鍍膜層涂光刻保護(hù)膠,刻蝕時(shí),此部分金屬層因有光刻保護(hù)膠保護(hù),不與蝕刻溶液發(fā)生反應(yīng),從而減少了蝕刻溶液的消耗,同時(shí)也能精確定位,在后續(xù)的切割過程中,切掉這些無效區(qū)域,成本上可節(jié)約10%~30%。附圖說明圖1是本發(fā)明實(shí)施例1中產(chǎn)品全部涂光刻保護(hù)膠后的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是圖1中產(chǎn)品進(jìn)行曝光、顯影、堅(jiān)膜后的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是圖2中產(chǎn)品蝕刻后的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是圖3中產(chǎn)品去除光刻保護(hù)膠、清洗、切割后的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:1-光刻保護(hù)膠、2-有效金屬走線、架橋線條、3-四邊無效金屬鍍膜層、4-切割縫隙。具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清晰明白,一下結(jié)合實(shí)施案例,對本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用與限定本發(fā)明。實(shí)施例1如圖1、2、3、4所示,步驟1:對電容式觸摸屏金屬鍍膜層涂光刻保護(hù)膠1,涂光刻保護(hù)膠1區(qū)域包括經(jīng)過后續(xù)加工最終保留在觸摸屏上的有效金屬走線、架橋線條2以及最終將被去除掉的四邊無效金屬鍍膜層3;步驟2:對不涂有光刻保護(hù)膠1的金屬鍍膜層進(jìn)行蝕刻;步驟3:對電容式觸摸屏進(jìn)行切割成形,切割去除掉四邊無效金屬鍍膜層3區(qū)域。步驟1中有效金屬走線、架橋線條2與四邊無效金屬鍍膜層3之間留有不涂光刻保護(hù)膠1的切割縫隙4,涂光刻保護(hù)膠1的工藝采用光刻工藝,首先對金屬鍍膜層進(jìn)行全部涂布光刻保護(hù)膠1,然后烘干,接著采用一塊掩膜板對光刻保護(hù)膠1進(jìn)行曝光、顯影、堅(jiān)膜處理,掩膜板的遮掩圖形包括有效金屬走線、架橋線條2圖形以及四邊無效金屬鍍膜層3圖形,涂的光刻保護(hù)膠1膜厚1μm,曝光工序采用黃光光刻,曝光量40mj/cm2,時(shí)間1s,照度20mw/cm2,光刻保護(hù)膠1烘干工序時(shí)在100℃下,烘烤8min,顯影工序時(shí)采用濃度為0.5%的NaOH堿液,顯影時(shí)間50s;步驟2中蝕刻工序采用酸性蝕刻溶液為:磷酸60%+醋酸10%,蝕刻時(shí)間為5分鐘;去除光刻保護(hù)膠1并清洗。實(shí)施例2其與實(shí)施例1的區(qū)別在于:步驟1中涂的光刻保護(hù)膠1膜厚1.5μm,曝光工序采用黃光光刻,曝光量70mj/cm2,時(shí)間3s,照度35mw/cm2,光刻保護(hù)膠1烘干工序時(shí)在125℃下,烘烤11min,顯影工序時(shí)采用濃度為1.0%的NaOH堿液,顯影時(shí)間100s;步驟2中蝕刻工序采用酸性蝕刻溶液為:磷酸80%+醋酸13%,蝕刻時(shí)間為5-15分鐘。實(shí)施例3其與實(shí)施例2的區(qū)別在于:步驟1中涂的光刻保護(hù)膠1膜厚2μm,曝光工序采用黃光光刻,曝光量100mj/cm2,時(shí)間-5s,照度50mw/cm2,光刻保護(hù)膠1烘干工序時(shí)在150℃下,烘烤13min,顯影工序時(shí)采用濃度為1.5%的NaOH堿液,顯影時(shí)間150s;步驟2中蝕刻工序采用酸性蝕刻溶液為:磷酸100%+醋酸15%,蝕刻時(shí)間為15分鐘。實(shí)施例4其與實(shí)施例1的區(qū)別在于:步驟1中涂光刻保護(hù)膠1的工藝采用直接的局部涂膠的絲印工藝,并作烘烤、堅(jiān)膜處理,并形成有效金屬走線、架橋線條2以及四邊無效金屬鍍膜層3的光刻保護(hù)膠1層。
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