晶圓cmp加工信息管理系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),用于科學(xué)地管理每一片晶圓的CMP加工信息,方便工藝人員登錄和訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù),包括:客戶端,用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問(wèn)請(qǐng)求建立連接并要求各項(xiàng)服務(wù);以及服務(wù)器端,用于響應(yīng)客戶端的訪問(wèn)請(qǐng)求與客戶端建立連接,并提供服務(wù)??蛻舳诉\(yùn)行在上位機(jī)IPC中。服務(wù)器端,利用MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)建立數(shù)據(jù)庫(kù),用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫(kù)中,根據(jù)晶圓編號(hào)、晶圓狀態(tài)、加工時(shí)間和工藝配方名稱(chēng)等主要字段,建立一系列完整的晶圓CMP加工信息數(shù)據(jù)表格。對(duì)于MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)的訪問(wèn)方法,本發(fā)明利用Qt的數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)接口,自行編譯MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)驅(qū)動(dòng)。數(shù)據(jù)庫(kù)登陸成功后,客戶端使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL來(lái)對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行操作。
【專(zhuān)利說(shuō)明】晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械拋光【技術(shù)領(lǐng)域】,特別涉及一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)?!颈尘凹夹g(shù)】
[0002]化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(ChemicalMechanical Planarization,簡(jiǎn)稱(chēng)CMP)是當(dāng)前ULSI時(shí)代最廣泛使用的全局平坦化技術(shù)。與現(xiàn)有的一些平坦化技術(shù)相比,CMP技術(shù)在有效兼顧表面的局部和全局平坦度的同時(shí),滿足了制造特征尺寸更小、金屬互連層數(shù)更多的芯片的要求。本CMP系統(tǒng)針對(duì)銅CMP工藝而設(shè)計(jì),用于去除晶圓表面多余的銅。在工藝實(shí)踐中,工藝人員需及時(shí)掌握每一片晶圓的工藝信息,包括晶圓編號(hào),晶圓狀態(tài),加工時(shí)間及其拋光時(shí)使用的工藝配方名稱(chēng)等,從而科學(xué)管理晶圓的加工過(guò)程。
[0003]然而,現(xiàn)有的一些數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)不適合本CMP控制系統(tǒng),不便于晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明的目的旨在至少解決上述的技術(shù)缺陷之一。
[0005]為此,本發(fā)明需要提供一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),用于科學(xué)管理晶圓的CMP加工信息,并方便工藝人員登錄和訪問(wèn)晶圓加工信息數(shù)據(jù)庫(kù)。
[0006]有鑒于此,本發(fā)明的實(shí)施例提出一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),包括:客戶端,用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問(wèn)請(qǐng)求建立連接,并要求服務(wù)器端提供服務(wù);以及服務(wù)器端,用于響應(yīng)所述訪問(wèn)請(qǐng)求與所述客戶端建立連接,并提供服務(wù),所述客戶端通過(guò)所述服務(wù)器端登錄和訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù),以對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。
[0007]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng),服務(wù)器端利用MySQL開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng),建立數(shù)據(jù)庫(kù),用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù),方便了數(shù)據(jù)訪問(wèn)過(guò)程,提高了處理效率。另外,客戶端利用Qt OpenSource實(shí)現(xiàn)其圖形用戶界面的開(kāi)發(fā)和數(shù)據(jù)庫(kù)的訪問(wèn)驅(qū)動(dòng),降低了其開(kāi)發(fā)難度。
[0008]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述服務(wù)器端通過(guò)MySQL開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫(kù),所述數(shù)據(jù)庫(kù)用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。
[0009]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述晶圓CMP加工信息包括晶圓編號(hào)、晶圓狀態(tài)、加工時(shí)間和工藝配方名稱(chēng)。
[0010]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述數(shù)據(jù)庫(kù)根據(jù)所述每片晶圓的所述晶圓CMP加工信息建立數(shù)據(jù)表格,使所述晶圓CMP加工信息以數(shù)據(jù)表格的形式存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中。
[0011]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述服務(wù)器端通過(guò)監(jiān)聽(tīng)端口監(jiān)聽(tīng)所述客戶端的請(qǐng)求,如果所述客戶端有請(qǐng)求,則根據(jù)所述客戶端的要求進(jìn)行服務(wù),所述客戶端根據(jù)所述服務(wù)器端的IP地址和所述監(jiān)聽(tīng)端口與所述服務(wù)器端建立連接,并要求服務(wù)。
[0012]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,在所述客戶端連接到所述服務(wù)器端之后,所述服務(wù)器端對(duì)所述客戶端的用戶身份進(jìn)行驗(yàn)證,并在驗(yàn)證通過(guò)后,所述客戶端在所述用戶權(quán)限內(nèi)對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的所述晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。[0013]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,在所述客戶端與所述服務(wù)器端的連接失敗次數(shù)大于預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí),所述服務(wù)器端向所述客戶端發(fā)出提示信息。
[0014]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,在所述服務(wù)器端與所述客戶端的連接失敗次數(shù)不大于預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí),所述客戶端與所述服務(wù)器端繼續(xù)建立連接。
[0015]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述客戶端通過(guò)Qt的數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)接口訪問(wèn)所述數(shù)據(jù)庫(kù)。
[0016]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,在所述客戶端登錄到所述數(shù)據(jù)庫(kù)后,所述客戶端使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL語(yǔ)句發(fā)送指令,并利用函數(shù)value從讀取到的每條所述晶圓CMP加工信息的記錄中依次獲取各項(xiàng)數(shù)據(jù),再轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)類(lèi)型以進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理。
[0017]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0018]本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解,其中:
[0019]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖;
[0020]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的客戶端登陸數(shù)據(jù)庫(kù)的流程圖;
[0021]圖3為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的加工信息主要內(nèi)容的示意圖;以及
[0022]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的客戶端的訪問(wèn)過(guò)程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例,實(shí)施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的,僅用于解釋本發(fā)明,而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0024]在本發(fā)明的描述中,需要理解的是,術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外,術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0025]在本發(fā)明的描述中,需要說(shuō)明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
[0026]圖1為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖。如圖1所示,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng)包括:客戶端100和服務(wù)器端200。
[0027]具體地,客戶端100用于向服務(wù)器端200發(fā)出訪問(wèn)請(qǐng)求建立連接,并要求服務(wù)器端200提供服務(wù)。服務(wù)器端200用于響應(yīng)訪問(wèn)請(qǐng)求與客戶端建立連接,并提供服務(wù)??蛻舳?00通過(guò)服務(wù)器端200登錄和訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù),以對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)中的晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。在客戶端100/服務(wù)器端200的架構(gòu)下,系統(tǒng)需保持客戶端100和服務(wù)器端200兩個(gè)進(jìn)程,并且應(yīng)先啟動(dòng)服務(wù)器端的應(yīng)用程序。由于實(shí)時(shí)性的需要,數(shù)據(jù)庫(kù)需要不斷更新與補(bǔ)充,所以服務(wù)器端200的應(yīng)用程序應(yīng)在工作階段持續(xù)運(yùn)行。
[0028]MySQL是瑞典MySQL AB公司開(kāi)發(fā)的開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng),源代碼開(kāi)放并可免費(fèi)使用。目前,在眾多的數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)中,MySQL以其開(kāi)源特性和卓越性能成為很多人建立信息管理系統(tǒng)的首選。作為一種關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng),它將數(shù)據(jù)間的關(guān)系以數(shù)據(jù)庫(kù)表的形式加以表達(dá),并將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在表格中以便查詢。
[0029]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng),服務(wù)器端利用MySQL開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng),建立數(shù)據(jù)庫(kù),用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù),方便了數(shù)據(jù)訪問(wèn)過(guò)程,提高了處理效率。另外,客戶端利用Qt OpenSource實(shí)現(xiàn)其圖形用戶界面的開(kāi)發(fā)和數(shù)據(jù)庫(kù)的訪問(wèn)驅(qū)動(dòng),降低了其開(kāi)發(fā)難度。
[0030]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,所述服務(wù)器端通過(guò)MySQL開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫(kù),所述數(shù)據(jù)庫(kù)用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。服務(wù)器端200實(shí)時(shí)獲取CMP主控制系統(tǒng)提交的晶圓CMP加工信息,并將晶圓CMP加工信息添加到數(shù)據(jù)庫(kù)中,其中CMP主控制系統(tǒng)具有最高的數(shù)據(jù)訪問(wèn)權(quán)限。具體地,工藝人員每選定一批次晶圓進(jìn)行CMP工藝后,控制系統(tǒng)自動(dòng)將本批次的晶圓CMP加工信息填加到數(shù)據(jù)庫(kù)中。該晶圓CMP加工信包括晶圓編號(hào)、晶圓狀態(tài)、加工時(shí)間和工藝配方名稱(chēng)等數(shù)據(jù)。圖3為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的晶圓CMP加工信主要內(nèi)容的示意圖。如圖3所示,服務(wù)器端200的資源管理器連接到MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)后,將每片晶圓CMP加工信息,即晶圓編號(hào)、晶圓狀態(tài)、加工時(shí)間和工藝配方名稱(chēng)等建立一系列完整的數(shù)據(jù)表格。其中,晶圓狀態(tài)表示晶圓已完成工藝處理或未完成工藝處理。當(dāng)客戶端100連接服務(wù)器端200,并驗(yàn)證用戶身份正確后便可以獲取當(dāng)前用戶權(quán)限內(nèi)的全部信息。服務(wù)器端200以各晶圓CMP加工信息為參數(shù)項(xiàng)建立數(shù)據(jù)表格,使晶圓CMP加工信以數(shù)據(jù)表格的形式存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中。表格中的每一行對(duì)應(yīng)一條完整的晶圓CMP加工信記錄。
[0031]在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,服務(wù)器端200通過(guò)監(jiān)聽(tīng)端口(例如端口號(hào)為3306)監(jiān)聽(tīng)客戶端100的連接請(qǐng)求,如果客戶端有請(qǐng)求,則按照客戶端的要求進(jìn)行服務(wù)??蛻舳?00根據(jù)服務(wù)器端200的IP地址和監(jiān)聽(tīng)端口與客戶端100建立連接,并要求服務(wù)。在客戶端100連接到服務(wù)器端200之后,客戶端進(jìn)一步提供當(dāng)前用戶的用戶名和密碼。服務(wù)器端200對(duì)客戶端100的用戶身份驗(yàn)證正確后,客戶端100在用戶權(quán)限內(nèi)對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)操作,服務(wù)器端200則根據(jù)用戶的操作向數(shù)據(jù)庫(kù)提交SQL指令。如果身份驗(yàn)證失敗,則服務(wù)器端200向客戶端100發(fā)出提示信息,例如“密碼錯(cuò)誤”等提示信息。在客戶端與服務(wù)器端連接過(guò)程中,如果服務(wù)器端200與客戶端100的連接失敗次數(shù)大于預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí),服務(wù)器端200向客戶端100發(fā)出提示信息,例如“服務(wù)器不存在”或“ IP地址錯(cuò)誤”等,否則客戶端100根據(jù)服務(wù)器端200名稱(chēng)和監(jiān)聽(tīng)端口與服務(wù)器端200繼續(xù)建立連接。該預(yù)設(shè)次數(shù)可以為3次。
[0032]圖2為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的客戶端登陸數(shù)據(jù)庫(kù)的流程圖。如圖2所示,客戶端100通過(guò)服務(wù)器的IP地址,及監(jiān)聽(tīng)端口號(hào)與服務(wù)器端200建立連接。如果連接成功,根據(jù)用戶通過(guò)客戶端100提供的用戶名和密碼進(jìn)行身份驗(yàn)證。身份驗(yàn)證正確后,允許客戶端100登陸到數(shù)據(jù)庫(kù),進(jìn)而允許客戶端100在用戶權(quán)限以內(nèi)進(jìn)行操作數(shù)據(jù)。如果身份驗(yàn)證失敗,則向客戶端100發(fā)出提示信息,例如“驗(yàn)證失敗”等提示信息。如果客戶端100與服務(wù)器端200連接失敗,首先判斷其連接次數(shù)是否大于預(yù)設(shè)次數(shù),如果不大于預(yù)設(shè)次數(shù),則繼續(xù)根據(jù)服務(wù)器的IP地址和監(jiān)聽(tīng)端口號(hào)與服務(wù)器端200建立連接,否則向客戶端100發(fā)送錯(cuò)誤信息或提示信息,例如“服務(wù)器不存在”或“IP地址錯(cuò)誤”等信息。如果客戶端100登陸數(shù)據(jù)庫(kù)成功,服務(wù)器端200根據(jù)用戶的操作或指令向數(shù)據(jù)庫(kù)提交SQL指令,并把返回結(jié)果反饋給客戶端100。
[0033]客戶端100運(yùn)行在上位機(jī)IPC中,客戶端100具有獨(dú)立的操作界面,用戶可以根據(jù)該操作界登陸數(shù)據(jù)庫(kù)??蛻舳?00的主要功能包括:(1)用戶可隨時(shí)通過(guò)客戶端100連接至|J數(shù)據(jù)庫(kù),并訪問(wèn)該用戶權(quán)限以內(nèi)全部晶圓CMP加工信息。(2)登陸到該數(shù)據(jù)庫(kù)之后,用戶可對(duì)本權(quán)限以內(nèi)對(duì)晶圓CMP加工信記錄進(jìn)行讀取或刪除操作。其中,數(shù)據(jù)庫(kù)運(yùn)行在服務(wù)器端200上。本發(fā)明中基于Visual Studio2008軟件開(kāi)發(fā)平臺(tái),利用Qt Designer完成客戶端圖形用戶界面的開(kāi)發(fā),并使用Qt的數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)接口,編譯MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)驅(qū)動(dòng)。該驅(qū)動(dòng)在客戶端中以插件的形式應(yīng)用。在本發(fā)明的客戶端實(shí)現(xiàn)中,創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫(kù)連接需要以下操作:激活驅(qū)動(dòng)程序,設(shè)置連接信息,打開(kāi)連接。
[0034]圖4為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的客戶端的訪問(wèn)過(guò)程示意圖。如圖4所示,客戶端100的操作過(guò)程大致可分為(1)打開(kāi)客戶端,連接數(shù)據(jù)庫(kù),(2)對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)操作和(3)退出客戶端,中斷連接。
[0035](1)打開(kāi)客戶端,連接數(shù)據(jù)庫(kù)
[0036]在客戶端100的界面中,輸入服務(wù)器的IP地址、服務(wù)器端的監(jiān)聽(tīng)端口號(hào)、數(shù)據(jù)庫(kù)名稱(chēng)、用戶名以及密碼。如果連接和驗(yàn)證成功,即可登錄存儲(chǔ)有晶圓CMP加工信的數(shù)據(jù)庫(kù)。
[0037](2)數(shù)據(jù)庫(kù)的操作
[0038]客戶端100將包含各種操作信息的請(qǐng)求傳送給服務(wù)器端200。該請(qǐng)求操作信息包括讀取和刪除等。其中,讀取操作是根據(jù)當(dāng)前用戶的權(quán)限,將該用戶權(quán)限內(nèi)的全部記錄反饋給該用戶,而且用戶可進(jìn)一步設(shè)置過(guò)濾條件,查看所需數(shù)據(jù)。該刪除操作為偽刪除操作,即只是將該刪除的信息不再出現(xiàn)在當(dāng)前用戶的查詢結(jié)果中(并不能從數(shù)據(jù)庫(kù)中真正刪除所選記錄,只有具有刪除權(quán)限的用戶才可刪除記錄)。當(dāng)服務(wù)器端200獲取用戶的操作指令后,可將相應(yīng)的結(jié)果發(fā)送到客戶端100呈現(xiàn)給用戶。
[0039](3)退出客戶端,中斷連接,即關(guān)閉窗口,釋放客戶端100的進(jìn)程。
[0040]訪問(wèn)MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)的方式有三種。第一種是使用MySQL的C API接口。第二種是使用開(kāi)放數(shù)據(jù)庫(kù)互連接口 MySQL ODBC。第三種是使用基于標(biāo)準(zhǔn)C++的MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)弓|擎MySQL++。第一種和第二種方式是MySQL早期提供的訪問(wèn)方式,而MySQL++是一種新的訪問(wèn)方式,該訪問(wèn)方式是基于標(biāo)準(zhǔn)C++的源代碼級(jí)MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)引擎,具有功能強(qiáng)大、訪問(wèn)性能高,還可以跨平臺(tái)。
[0041 ] Qt提供了無(wú)關(guān)平臺(tái)的數(shù)據(jù)庫(kù)編程接口,可更好地?cái)U(kuò)展新的不同的數(shù)據(jù)庫(kù)。此外,利用Qt的模型/視圖結(jié)構(gòu),可方便信息的存儲(chǔ)與瀏覽。因此,在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,采用Qt提供的數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)接口。由于Qt自身沒(méi)有帶MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)的驅(qū)動(dòng),只有源代碼文件,所以本發(fā)明編譯了 MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)驅(qū)動(dòng),使其以插件的形式應(yīng)用。編譯過(guò)程具體如下所示。
[0042]第一步,下載MySQL的安裝程序。在安裝時(shí)選擇定制安裝,選中Libs和Include文件,假設(shè)安裝位置是C: \MySQL。
[0043]第二步,進(jìn)行編譯??梢园凑諏?shí)際情況輸入如下指令:
[0044]a.cd%QTDIR%\src\plugins\sqldrivers\mysql[0045]b.qmake"INCLUDEPATH+=C: \MySQL\include""LIBS+=C: \MYSQL\MySQLServer<version>\lib\opt\libmysql.lib〃mysql.pro
[0046]c.nmake
[0047]第三步,將C: \MySQL\bin目錄下的libmySQL.dll文件復(fù)制到Qt Creator安裝目錄下的qt\bin目錄中即可。
[0048]由于Qt的SQL模塊可以通過(guò)插件的形式在運(yùn)行期動(dòng)態(tài)地裝載新的驅(qū)動(dòng)程序,所以一旦該插件被建立,Qt就可以自動(dòng)地裝載它,之后為QSqlDatabase所用。
[0049]在本發(fā)明的客戶端100在運(yùn)行過(guò)程中,創(chuàng)建數(shù)據(jù)庫(kù)連接的具體操作為:首先,激活驅(qū)動(dòng)程序,設(shè)置連接信息,打開(kāi)連接。在數(shù)據(jù)庫(kù)連接成功后,就可以使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL對(duì)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行讀取和刪除等常規(guī)操作。以下結(jié)合Qt的SQL模塊所提供的主要函數(shù),簡(jiǎn)述查詢過(guò)程。
[0050]首先,建立與數(shù)據(jù)庫(kù)的連接。所以,可調(diào)用函數(shù)QSqlDatabase::addDatabase創(chuàng)建QSqlDatabase對(duì)象。函數(shù)addDatabase的第一個(gè)參數(shù)指定了 Qt使用哪一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)驅(qū)動(dòng)程序來(lái)訪問(wèn)這個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù),本發(fā)明使用的是MySQL數(shù)據(jù)庫(kù)。
[0051]然后,需要設(shè)置數(shù)據(jù)庫(kù)的服務(wù)器名,端口號(hào),數(shù)據(jù)庫(kù)名,用戶名及密碼,并且打開(kāi)這個(gè)連接。一般情況下,常用參數(shù)設(shè)置可進(jìn)行保存。當(dāng)用戶二次登陸時(shí),在指定位置讀取已保存參數(shù)即可。
[0052]當(dāng)建立連接時(shí),可以使用QSqlQuery執(zhí)行底層數(shù)據(jù)庫(kù)支持的任何SQL語(yǔ)句。在執(zhí)行SQL語(yǔ)句前,需要?jiǎng)?chuàng)建一個(gè)QSqlQuery對(duì)象,然后利用函數(shù)QSqlQuery:: exec進(jìn)行相應(yīng)處理。其QSqlQuery對(duì)象的創(chuàng)建如下。
[0053]QSqlQuery query·;
[0054]query, exec (QString ("SELECT^FROM CMPmsg WHERE cid=’%1’ORDER BYcreatetime DESC〃).arg(parameter::userID));
[0055]通過(guò)上述查詢代碼將返回當(dāng)前用戶權(quán)限下的所有記錄,并按生成日期降序排列。在執(zhí)行完函數(shù)exec后,QSqlQuery的內(nèi)部指針被定位到結(jié)果集的第一個(gè)記錄之前,可以使用函數(shù)QSqlQuery::next將指針定位到第一條記錄。隨后每次調(diào)用函數(shù)next,都會(huì)把記錄指針移到下一條記錄。這時(shí),利用函數(shù)value將每條記錄中不同數(shù)據(jù)類(lèi)型的參數(shù)以統(tǒng)一的QVariant類(lèi)型返回再轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的數(shù)據(jù)類(lèi)型,從而實(shí)現(xiàn)依次提取各項(xiàng)參數(shù)。
[0056]對(duì)于獲取到的數(shù)據(jù),客戶端將其顯示在用戶界面中數(shù)據(jù)表格的指定位置上。對(duì)于一般數(shù)據(jù),可利用Qt提供的QSQlTableModel和QTableView處理數(shù)據(jù),并對(duì)其進(jìn)行適當(dāng)渲染。
[0057]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的系統(tǒng),服務(wù)器端利用MySQL開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng),建立數(shù)據(jù)庫(kù),用于記錄和保存被提交的數(shù)據(jù),方便了數(shù)據(jù)訪問(wèn)過(guò)程,提高了處理效率。另外,客戶端利用Qt實(shí)現(xiàn)其圖形用戶界面的開(kāi)發(fā)和數(shù)據(jù)庫(kù)的訪問(wèn)驅(qū)動(dòng),降低了其開(kāi)發(fā)難度。
[0058]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例,可以理解的是,上述實(shí)施例是示例性的,不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,包括:客戶端,用于向服務(wù)器端發(fā)出訪問(wèn)請(qǐng)求建立連接,并要求服務(wù)器端提供服務(wù);以及服務(wù)器端,用于響應(yīng)所述訪問(wèn)請(qǐng)求與所述客戶端建立連接,并提供服務(wù),所述客戶端通過(guò)所述服務(wù)器端登錄和訪問(wèn)數(shù)據(jù)庫(kù),以對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,所述服務(wù)器端通過(guò)MySQL開(kāi)源數(shù)據(jù)庫(kù)管理系統(tǒng)建立所述數(shù)據(jù)庫(kù),所述數(shù)據(jù)庫(kù)用于記錄和保存所述晶圓CMP加工信息。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,所述晶圓CMP加工信息包括晶圓編號(hào)、晶圓狀態(tài)、加工時(shí)間和工藝配方名稱(chēng)。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,所述數(shù)據(jù)庫(kù)根據(jù)所述每片晶圓的所述晶圓CMP加工信息建立數(shù)據(jù)表格,使所述晶圓CMP加工信息以數(shù)據(jù)表格的形式存儲(chǔ)在所述數(shù)據(jù)庫(kù)中。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,所述服務(wù)器端通過(guò)監(jiān)聽(tīng)端口監(jiān)聽(tīng)所述客戶端的請(qǐng)求,如果所述客戶端有請(qǐng)求,則根據(jù)所述客戶端的要求進(jìn)行服務(wù),所述客戶端根據(jù)所述服務(wù)器端的IP地址和所述監(jiān)聽(tīng)端口與所述服務(wù)器端建立連接,并要求服務(wù)。
6.如權(quán)利要求5所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,在所述客戶端連接到所述服務(wù)器端之后,所述服務(wù)器端對(duì)所述客戶端的用戶身份進(jìn)行驗(yàn)證,并在驗(yàn)證通過(guò)后,所述客戶端在所述用戶權(quán)限內(nèi)對(duì)所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的所述晶圓CMP加工信息進(jìn)行讀取或刪除操作。
7.如權(quán)利要求5所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,在所述客戶端與所述服務(wù)器端的連接失敗次數(shù)大于預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí),所述服務(wù)器端向所述客戶端發(fā)出提示信息。
8.如權(quán)利要求7所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,在所述服務(wù)器端與所述客戶端的連接失敗次數(shù)不大于預(yù)設(shè)次數(shù)時(shí),所述客戶端與所述服務(wù)器端繼續(xù)建立連接。
9.如權(quán)利要求2所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,所述客戶端通過(guò)Qt的數(shù)據(jù)庫(kù)訪問(wèn)接口訪問(wèn)所述數(shù)據(jù)庫(kù)。
10.如權(quán)利要求2所述的晶圓CMP加工信息管理系統(tǒng),其特征在于,在所述客戶端登錄到所述數(shù)據(jù)庫(kù)后,所述客戶端使用標(biāo)準(zhǔn)的SQL語(yǔ)句發(fā)送指令,并利用函數(shù)value從讀取到的每條所述晶圓CMP加工信息的記錄中依次獲取各項(xiàng)數(shù)據(jù),再轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)類(lèi)型以進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)處理。
【文檔編號(hào)】G06Q10/06GK103679368SQ201310683737
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月13日
【發(fā)明者】路新春, 李弘愷, 田芳馨, 王同慶, 趙乾, 何永勇 申請(qǐng)人:清華大學(xué)