數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法、描畫系統(tǒng)及記錄介質(zhì)的制作方法
【專利摘要】提供數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法、描畫系統(tǒng)及記錄介質(zhì)。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置將在作為矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)中的表現(xiàn)為層疊的多個圖層圖形的圖形要素劃分成規(guī)定寬度的單位區(qū)域，生成要素輸出數(shù)據(jù)，該要素輸出數(shù)據(jù)為各單位區(qū)域的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合。利用與單位區(qū)域重疊的圖層圖形組的起點坐標及終點坐標將各單位區(qū)域劃分成多個劃分區(qū)間，將各劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性設(shè)為該劃分區(qū)間的填涂中空屬性。然后，基于多個劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成各單位區(qū)域的單位掃描寬度數(shù)據(jù)。由此，由于不需要將多個圖層圖形的矢量數(shù)據(jù)分別轉(zhuǎn)換成掃描寬度數(shù)據(jù)，所以能夠縮短從要素輸入數(shù)據(jù)向要素輸出數(shù)據(jù)進行的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
【專利說明】數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法、描畫系統(tǒng)及記錄介質(zhì)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將圖形要素的矢量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為掃描寬度數(shù)據(jù)的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]以往以來，通過向在半導(dǎo)體基板、印刷基板、或者等離子顯示裝置、液晶顯示裝置用的玻璃基板等(以下，稱為“基板”)形成的感光材料照射光，來描畫圖案。近年來，伴隨著圖案的高清化，使用一種在感光材料上利用光束掃描來直接描畫圖案的圖案描畫裝置。
[0003]在設(shè)計階段，通常，利用CAD (計算機輔助設(shè)計)數(shù)據(jù)等的矢量數(shù)據(jù)表現(xiàn)這種圖案，在利用圖案描畫裝置描畫圖案時，進行如下的光柵圖像處理(RIP:Raster ImageProcessing):將該矢量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成能夠被圖案描畫裝置使用的掃描寬度數(shù)據(jù)(run lengthdata)等的光柵數(shù)據(jù)。
[0004]例如，在日本特開2006-350013號公報(文獻I)中，提出了將Gerber (PCB行業(yè)的工業(yè)標準)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成柵格數(shù)據(jù)的圖像處理裝置。在該裝置中，就Gerber數(shù)據(jù)而言，在通過對層疊的多個圖層圖形相加或者相減來表示目標圖像(配線圖案)的情況下，判斷圖層數(shù)是否超過上限，在超過上限的情況下，將錯誤類型信息存儲在存儲器內(nèi)。在該裝置中，圖像被減去的部分為不進行描畫的中空區(qū)域，圖像被疊加的部分為進行描畫的填涂(中涂層)區(qū)域。
[0005]另一方面，在專利第2659584號公報(文獻2)中，公開了在表示填涂區(qū)域與中空區(qū)域的邊界的閉環(huán)數(shù)很多的情況下所使用的圖形填涂方法。在該方法中，首先，利用與掃描線平行延伸的多個線段填涂所有填涂區(qū)域的輪廓(即，外周緣)內(nèi)側(cè)的整體區(qū)域。此后，在求出各填涂線段與所有的中空區(qū)域的輪廓之間的交點之后，去掉各填涂線段中的存在于中空區(qū)域內(nèi)的部分，使圖形變?yōu)橹锌铡?br> [0006]在此，若將文獻2的方法替換成像文獻I那樣的對圖層圖形進行加減的方法，則文獻2的方法相當于如下的方法:將表示所有填涂區(qū)域的輪廓的圖層圖形轉(zhuǎn)換成填涂掃描寬度數(shù)據(jù)，將表示所有的中空區(qū)域的輪廓的圖層圖形轉(zhuǎn)換成中空掃描寬度數(shù)據(jù)，將填涂掃描寬度數(shù)據(jù)減去中空掃描寬度數(shù)據(jù)。在這種方法中，需要創(chuàng)建與各圖層圖形對應(yīng)的掃描寬度數(shù)據(jù)的中間文件，若表示一個圖形要素的圖層圖形組的層疊數(shù)量增加，則中間文件的數(shù)量也變大。
[0007]近年來，在半導(dǎo)體基板等上描畫的圖案用的CAD數(shù)據(jù)有由數(shù)萬的圖層圖形層疊而成的數(shù)據(jù)。若利用像文獻2那樣的方法將這種CAD數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為柵格數(shù)據(jù)，則數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換需要大量的時間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明提供一種將作為圖形要素的矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為作為掃描寬度數(shù)據(jù)的要素輸出數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法。本發(fā)明還提供一種在基板上描畫圖案的描畫系統(tǒng)。本發(fā)明還提供一種記錄將作為圖形要素的矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為作為掃描寬度數(shù)據(jù)的要素輸出數(shù)據(jù)的程序的記錄介質(zhì)。本發(fā)明的目的在于縮短數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
[0009]本發(fā)明的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法具有:(a)工序，基于要素輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線，以規(guī)定寬度劃分配置有所述圖形要素的配置區(qū)域，從而設(shè)定在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述規(guī)定寬度的多個單位區(qū)域，所述要素輸入數(shù)據(jù)是通過分別層疊具有填涂或者中空的填涂中空屬性的多個圖層圖形來表現(xiàn)的圖形要素的矢量數(shù)據(jù)，
(b)工序，針對多個所述單位區(qū)域的各單位區(qū)域，在多個所述圖層圖形中提取與所述各單位區(qū)域重疊的單位區(qū)域圖形組，利用端部坐標，將所述各單位區(qū)域劃分成在所述第一方向上排列的多個劃分區(qū)間，決定多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，所述端部坐標是所述單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的所述各單位區(qū)域內(nèi)的起點坐標或者大于所述起點坐標的終點坐標，(c)工序，基于在所述(b)工序中決定的所述各單位區(qū)域的多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成表示所述各單位區(qū)域的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，獲取掃描寬度數(shù)據(jù)來作為要素輸出數(shù)據(jù)，所述掃描寬度數(shù)據(jù)是多個所述單位區(qū)域各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合；在所述(b)工序中，針對所述各單位區(qū)域執(zhí)行如下工序:(bl)工序，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為所述單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)表示所述單位區(qū)域圖形組的所述各圖層圖形的所述起點坐標、所述終點坐標、填涂中空屬性及所述單位區(qū)域圖形組的描畫優(yōu)先級，(b2)工序，按照所述起點坐標的升序，對所述各圖層圖形的所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序，(b3)工序，在所述各圖層圖形的所述起點坐標中，將最小的起點坐標作為一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，(b4)工序，將在第一范圍內(nèi)存在的任意一個端部坐標作為區(qū)間結(jié)束坐標，將第二范圍設(shè)定為所述劃分區(qū)間，將所述劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的所述圖層圖形的填涂中空屬性作為所述劃分區(qū)間的填涂中空屬性，所述第一范圍是指，從所述區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍，所述第二范圍是指，在所述區(qū)間開始坐標與所述區(qū)間結(jié)束坐標之間的范圍，(b5)工序，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間的區(qū)間結(jié)束坐標作為下一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，重復(fù)所述(b4)工序，直到設(shè)定完多個所述劃分區(qū)間為止。由此，能夠縮短數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
[0010]在本發(fā)明的一個優(yōu)選的實施方式中，在所述(b4)工序中，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標設(shè)定為所述區(qū)間結(jié)束坐標。
[0011]本發(fā)明的另一個優(yōu)選的實施方式中，所述(b4)工序具有:(dl)工序，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標作為臨時區(qū)間結(jié)束坐標，(d2)在第一優(yōu)先級在第二優(yōu)先級以上的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為所述區(qū)間結(jié)束坐標，在所述第一優(yōu)先級低于所述第二優(yōu)先級的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標變更為與所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標相鄰并且大于所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標，直到所述第一優(yōu)先級都變?yōu)樗龅诙?yōu)先級以上為止，其中，所述第一優(yōu)先級是將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為端部坐標的圖層圖形的描畫優(yōu)先級；在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的起點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是所述一個圖層圖形的描畫優(yōu)先級，在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的終點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是指，在所述單位區(qū)域圖形組中，從所述區(qū)間開始坐標擴展至大于所述區(qū)間開始坐標的坐標范圍為止的圖層圖形組的描畫優(yōu)先級中的最大的描畫優(yōu)先級。
[0012]本發(fā)明的描畫系統(tǒng)具有:數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置，其利用規(guī)定的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法，將要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成要素輸出數(shù)據(jù)，描畫裝置，其基于由所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置生成的所述要素輸出數(shù)據(jù)，在基板上描畫圖案；所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法具有:(a)工序，基于要素輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線，以規(guī)定寬度劃分配置有圖形要素的配置區(qū)域，從而設(shè)定在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述規(guī)定寬度的多個單位區(qū)域，所述要素輸入數(shù)據(jù)是通過分別層疊具有填涂或者中空的填涂中空屬性的多個圖層圖形來表現(xiàn)的所述圖形要素的矢量數(shù)據(jù)，(b)工序，針對多個所述單位區(qū)域的各單位區(qū)域，在多個所述圖層圖形中提取與所述各單位區(qū)域重疊的單位區(qū)域圖形組，利用端部坐標，將所述各單位區(qū)域劃分成在所述第一方向上排列的多個劃分區(qū)間，決定多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，所述端部坐標是所述單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的所述各單位區(qū)域內(nèi)的起點坐標或者大于所述起點坐標的終點坐標，(C)工序，基于在所述(b)工序中決定的所述各單位區(qū)域的多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成表示所述各單位區(qū)域的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，獲取掃描寬度數(shù)據(jù)來作為要素輸出數(shù)據(jù)，所述掃描寬度數(shù)據(jù)是多個所述單位區(qū)域各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合；在所述(b)工序中，針對所述各單位區(qū)域執(zhí)行如下工序:(bl)工序，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為所述單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)表示所述單位區(qū)域圖形組的所述各圖層圖形的所述起點坐標、所述終點坐標、填涂中空屬性及所述單位區(qū)域圖形組的描畫優(yōu)先級，(b2)工序，按照所述起點坐標的升序，對所述各圖層圖形的所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序，(b3)工序，在所述各圖層圖形的所述起點坐標中，將最小的起點坐標作為一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，(b4)工序，將在第一范圍內(nèi)存在的任意一個端部坐標作為區(qū)間結(jié)束坐標，將第二范圍設(shè)定為所述劃分區(qū)間，將所述劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的所述圖層圖形的填涂中空屬性作為所述劃分區(qū)間的填涂中空屬性，所述第一范圍是指，從所述區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍，所述第二范圍是指，在所述區(qū)間開始坐標與所述區(qū)間結(jié)束坐標之間的范圍，(b5)工序，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間的區(qū)間結(jié)束坐標作為下一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，重復(fù)所述(b4)工序，直到設(shè)定完多個所述劃分區(qū)間為止；所述描畫裝置具有:基板保持部，其保持所述基板，光調(diào)制元件，其對所述基板照射光，照射位置移動機構(gòu)，其使從所述光調(diào)制元件導(dǎo)出的光在所述基板上的照射位置沿著所述基板上的與所述第一方向?qū)?yīng)的方向，相對于所述基板移動，光調(diào)制元件控制部，其基于所述要素輸出數(shù)據(jù)，控制所述光調(diào)制元件調(diào)制光。由此，能夠縮短數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
[0013]通過計算機執(zhí)行記錄在本發(fā)明的記錄介質(zhì)內(nèi)的所述程序，使計算機執(zhí)行如下的工序:(a)工序，基于要素輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線，以規(guī)定寬度劃分配置有所述圖形要素的配置區(qū)域，從而設(shè)定在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述規(guī)定寬度的多個單位區(qū)域，所述要素輸入數(shù)據(jù)是通過分別層疊具有填涂或者中空的填涂中空屬性的多個圖層圖形來表現(xiàn)的圖形要素的矢量數(shù)據(jù)，(b)工序，針對多個所述單位區(qū)域的各單位區(qū)域，在多個所述圖層圖形中提取與所述各單位區(qū)域重疊的單位區(qū)域圖形組，利用端部坐標，將所述各單位區(qū)域劃分成在所述第一方向上排列的多個劃分區(qū)間，決定多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，所述端部坐標是所述單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的所述各單位區(qū)域內(nèi)的起點坐標或者大于所述起點坐標的終點坐標，(C)工序,基于在所述(b)工序中決定的所述各單位區(qū)域的多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成表示所述各單位區(qū)域的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，獲取掃描寬度數(shù)據(jù)來作為要素輸出數(shù)據(jù)，所述掃描寬度數(shù)據(jù)是多個所述單位區(qū)域各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合；在所述(b)工序中，針對所述各單位區(qū)域執(zhí)行如下工序:(bl)工序，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為所述單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)表示所述單位區(qū)域圖形組的所述各圖層圖形的所述起點坐標、所述終點坐標、填涂中空屬性及所述單位區(qū)域圖形組的描畫優(yōu)先級，(b2)工序，按照所述起點坐標的升序，對所述各圖層圖形的所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序，(b3)工序，在所述各圖層圖形的所述起點坐標中，將最小的起點坐標作為一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，(b4)工序，將在第一范圍內(nèi)存在的任意一個端部坐標作為區(qū)間結(jié)束坐標，將第二范圍設(shè)定為所述劃分區(qū)間，將所述劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的所述圖層圖形的填涂中空屬性作為所述劃分區(qū)間的填涂中空屬性，所述第一范圍是指，從所述區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍，所述第二范圍是指，在所述區(qū)間開始坐標與所述區(qū)間結(jié)束坐標之間的范圍，(b5)工序，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間的區(qū)間結(jié)束坐標作為下一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，重復(fù)所述(b4)工序，直到設(shè)定完多個所述劃分區(qū)間為止。。由此，能夠縮短數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
[0014]下面，通過參照附圖對本發(fā)明進行的詳細的說明，來明確上述的目的及其它的目的、特征、形態(tài)及優(yōu)點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是表不一個實施方式的描畫系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。
[0016]圖2是描畫裝置的側(cè)視圖。
[0017]圖3是描畫裝置的俯視圖。
[0018]圖4是放大表不空間光調(diào)制器的圖。
[0019]圖5A是表示光調(diào)制元件的剖面的圖。
[0020]圖5B是表示光調(diào)制元件的剖面的圖。
[0021]圖6是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0022]圖7是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的流程的圖。
[0023]圖8是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的流程的一部分的圖。
[0024]圖9是表示圖形要素的圖。
[0025]圖1OA是表示圖層圖形的圖。
[0026]圖1OB是表示圖層圖形的圖。
[0027]圖1OC是表示圖層圖形的圖。
[0028]圖11是表示圖形要素的圖。
[0029]圖12是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的處理時間的圖。
[0030]圖13是表示圖形要素的圖。
[0031]圖14是表示圖層圖形的圖。
[0032]圖15A是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的流程的一部分的圖。
[0033]圖15B是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的流程的一部分的圖。
[0034]圖16是表示圖形要素的圖。[0035]其中，附圖標記說明如下:
[0036]I描畫裝置，
[0037]3基板保持部，
[0038]7數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置，
[0039]9 基板，
[0040]25主掃描機構(gòu)，
[0041]61光調(diào)制元件控制部，
[0042]80配置區(qū)域，
[0043]81、81a 圖形要素，
[0044]82?85圖層圖形，
[0045]100描畫系統(tǒng)，
[0046]461光調(diào)制元件，
[0047]707 程序，
[0048]800單位區(qū)域，
[0049]801 掃描線，
[0050]802劃分區(qū)間，
[0051]Sll ?S14、S121 ?S129、S221 ?S232 步驟。
【具體實施方式】
[0052]圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的描畫系統(tǒng)100的結(jié)構(gòu)的圖。描畫系統(tǒng)100是利用光在液晶顯示裝置用的玻璃基板(下面，簡稱為“基板”)上的感光材料上描畫圖案的系統(tǒng)。如圖1所示，描畫系統(tǒng)100具有數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7、描畫裝置I。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7將作為表示圖案的矢量數(shù)據(jù)的輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成作為掃描寬度數(shù)據(jù)的輸出數(shù)據(jù)(即，進行光柵化處理)。描畫裝置I基于由數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7生成的輸出數(shù)據(jù)，在基板上描畫圖案。在圖1中，一并顯示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7的各功能。下面，在針對描畫裝置I進行了說明之后，針對數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7及由數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7處理的數(shù)據(jù)進行說明。
[0053]圖2及圖3分別是表示描畫裝置I的側(cè)視圖及俯視圖。如圖2及圖3所示，描畫裝置I具有保持部移動機構(gòu)2、基板保持部3、光照射部4、機架12?；灞３植?在(+ Z)一側(cè)的主面91 (以下，稱為“上表面91”)上，保持形成有感光材料層的基板9。保持部移動機構(gòu)2設(shè)置在基臺11上，使基板保持部3向與Z方向垂直的X方向及Y方向移動。機架12以跨過基板保持部3及保持部移動機構(gòu)2的方式固定于基臺11。光照射部4安裝在機架12上，對基板9上的感光材料照射調(diào)制后的光。另外，如圖2所示，描畫裝置I具有對保持部移動機構(gòu)2、光照射部4等的各結(jié)構(gòu)進行控制的控制部6。
[0054]如圖2及圖3所示，基板保持部3具有載物臺31、載物臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu)32、支撐板33?；?載置在載物臺31上。支撐板33以能夠使載物臺31旋轉(zhuǎn)的方式支撐該載物臺31。載物臺旋轉(zhuǎn)機構(gòu)32在支撐板33上，以與基板9的上表面91垂直的旋轉(zhuǎn)軸321為中心，旋轉(zhuǎn)載物臺31。
[0055]保持部移動機構(gòu)2具有副掃描機構(gòu)23、基板24、主掃描機構(gòu)25。副掃描機構(gòu)23使基板保持部3向圖2及圖3中的X方向(以下，稱為“副掃描方向”)移動?；?4借助副掃描機構(gòu)23來對支撐板33進行支撐。主掃描機構(gòu)25使基板保持部3與基板24 —并在與X方向垂直的Y方向(以下，稱為“主掃描方向”)上移動。在描畫裝置I中，通過保持部移動機構(gòu)2，使基板保持部3在與基板9的上表面91平行的主掃描方向及副掃描方向上移動。
[0056]如圖2及圖3所示，副掃描機構(gòu)23具有線性馬達231、一對線性導(dǎo)軌232。線性馬達231在支撐板33的下側(cè)(B卩，(-Z) 一側(cè))，沿著與載物臺31的主面平行并且與主掃描方向垂直的副掃描方向延伸。一對線性導(dǎo)軌232在線性馬達231的(+Y)—側(cè)及(-Y)—側(cè)沿著副掃描方向延伸。主掃描機構(gòu)25具有線性馬達251、一對氣動滑板(air slider)252。線性馬達251在基板24的下側(cè)，沿著與載物臺31的主面平行的主掃描方向延伸。一對氣動滑板252在線性馬達251的(+ X) —側(cè)及(-X) —側(cè)沿著主掃描方向延伸。
[0057]如圖3所示，光照射部4具有多個(在本實施方式中，為8個)光學(xué)頭部41，該多個光學(xué)頭部41沿著副掃描方向以等間隔排列而安裝在機架12上。另外，如圖2所示，光照射部4具有與各光學(xué)頭部41連接的光源光學(xué)系統(tǒng)42、出射紫外線的UV (紫外線濾光鏡)光源43及光源驅(qū)動部44。UV光源43為固體激光器。通過驅(qū)動光源驅(qū)動部44，從UV光源43出射波長為355nm的紫外線，并經(jīng)由光源光學(xué)系統(tǒng)42將紫外線引導(dǎo)至光學(xué)頭部41。
[0058]各光學(xué)頭部41具有出射部45、光學(xué)系統(tǒng)451、47、空間光調(diào)制器46。出射部45朝向下方出射來自UV光源43的光。光學(xué)系統(tǒng)451對來自出射部45的光進行反射并將其引導(dǎo)至空間光調(diào)制器46?？臻g光調(diào)制器46對經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)451而照射來的來自出射部45的光進行調(diào)制并進行反射。光學(xué)系統(tǒng)47將來自空間光調(diào)制器46的調(diào)制后的光引導(dǎo)至設(shè)置于基板9的上表面91的感光材料上。
[0059]圖4是放大表示空間光調(diào)制器46的圖。如圖4所示，空間光調(diào)制器46具有衍射光柵型的多個光調(diào)制元件461，該多個光調(diào)制元件461借助出射部45將照射來的來自UV光源43 (參照圖2)的光 引導(dǎo)至基板9的上表面91。利用半導(dǎo)體裝置制造技術(shù)制造光調(diào)制元件461，該光調(diào)制元件461為能夠改變光柵深度的衍射光柵。在光調(diào)制元件461以平行排列的方式交替形成有多個撓性帶(ribbon)461a及多個固定帶461b,多個撓性帶461a設(shè)置為相對于背后的基準面能夠單個地(沿著垂直于基準面的方向)進行上下移動，多個固定帶461b相對于基準面固定。作為衍射光柵型的光調(diào)制元件,例如，已知有GLV(Grating LightValve:光柵光閥)(Silicon Light Machines (加利福尼亞州森尼韋爾)的注冊商標)。
[0060]圖5A及圖5B是表示在與撓性帶461a及固定帶461b垂直的面上的光調(diào)制元件461的剖面的圖。如圖5A所示,在撓性帶461a及固定帶461b相對于基準面461c位于同一高度的(即，撓性帶461a不彎曲變形)情況下，光調(diào)制元件461的表面位于同一水平面上，將入射光LI的反射光作為零級光L2導(dǎo)出。另一方面，如圖5B所示，在與固定帶461b相比，撓性帶461a向基準面461c —側(cè)彎曲變形的情況下，撓性帶461a變?yōu)檠苌涔鈻诺牟鄣牡酌?，從入射有入射光LI的光調(diào)制元件461導(dǎo)出一級衍射光L3 (進而，可導(dǎo)出高級衍射光)，零級光消失。像這樣，光調(diào)制元件461利用衍射光柵來進行光調(diào)制。
[0061]在圖2示出的光照射部4中，來自UV光源43的光通過光源光學(xué)系統(tǒng)42變?yōu)榫€狀光(光束剖面為線狀的光)，經(jīng)由出射部45照射至空間光調(diào)制器46的排列成線狀的多個撓性帶461a及固定帶461b (參照圖5A及圖5B。在光調(diào)制元件461中，將相鄰的各一條撓性帶461a及固定帶461b作為一對帶對，三個以上的帶對與所描畫的圖案的一個畫素對應(yīng)。
[0062]在光調(diào)制元件461中，基于來自與各空間光調(diào)制器46連接的光調(diào)制元件控制部61的信號，分別控制與圖案的各畫素對應(yīng)的帶對的撓性帶461a，使這些撓性帶461a能夠在如圖5A示出的狀態(tài)與如圖5B示出的狀態(tài)之間轉(zhuǎn)變，如圖5A示出的狀態(tài)是指，與各畫素對應(yīng)的帶對出射零級光(正反射光)的狀態(tài)，如圖5B示出的狀態(tài)是指，出射非零階衍射光(主要為一級衍射光((+ I)階衍射光及(-1)階衍射光))的狀態(tài)。另外，通過使撓性帶461a彎曲變形至在圖5A示出的狀態(tài)與圖5B示出的狀態(tài)之間的狀態(tài)，使光調(diào)制元件461處于出射比圖5A示出的狀態(tài)強度小的零級光的狀態(tài)。
[0063]將從光調(diào)制元件461出射的零級光引導(dǎo)至光學(xué)系統(tǒng)47，將一級衍射光引導(dǎo)至與光學(xué)系統(tǒng)47不同的方向。此外，為了防止變?yōu)殡s散光，通過圖示省略的遮光部遮住一級衍射光。來自光調(diào)制兀件461的零級光經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)47而被引導(dǎo)至基板9的上表面91,由此，在基板9的上表面91上，對在X方向(即，副掃描方向)上排列的多個照射位置分別照射調(diào)制后的光。
[0064]在圖2及圖3示出的描畫裝置I中，從光照射部4的光調(diào)制元件461，對由保持部移動機構(gòu)2的主掃描機構(gòu)25在主掃描方向上移動的基板9照射調(diào)制后的光。換言之，主掃描機構(gòu)25為如下的照射位置移動機構(gòu):使從光調(diào)制元件461引導(dǎo)至基板9的光在基板9上的照射位置相對于基板9在主掃描方向上移動。此外，在描畫裝置I中，例如，可以不移動基板9，而是通過使光調(diào)制元件461在主掃描方向上移動，來使基板9上的照射位置在主掃描方向上移動。描畫裝置I 一邊使基板9在主掃描方向上移動,一邊通過圖2不出的控制部6的光調(diào)制元件控制部61，基于從數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7向描畫裝置I輸出的輸出數(shù)據(jù)，控制光調(diào)制元件461調(diào)制光，由此，在基板9上描畫向數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7輸入的輸入數(shù)據(jù)所表示的圖案。
[0065]接著，針對數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7進行說明。圖6是表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7的結(jié)構(gòu)的圖。與通常的計算機同樣地 ，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7為連接了如下的部分的結(jié)構(gòu):進行各種運算處理的CPU (中央處理器)701、存儲被執(zhí)行的程序或者作為運算處理的作業(yè)區(qū)域的RAM (隨機存儲器)702、存儲基本程序的ROM (只讀存儲器)703、存儲各種信息的固定磁盤704、向作業(yè)者顯示各種信息的顯示器705、鍵盤、鼠標等的輸入部706等。在固定磁盤704內(nèi)存儲有由數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7執(zhí)行的程序707。程序707為將輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成作為掃描寬度數(shù)據(jù)的輸出數(shù)據(jù)的(即，進行光柵化)程序，其中輸入數(shù)據(jù)為表示描畫在基板上的預(yù)計的圖案的矢量數(shù)據(jù)。
[0066]在圖1中，利用功能框表示數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7的CPU701 (參照圖6)等通過按照程序707來進行運算處理等(B卩，程序707由數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7執(zhí)行)而實現(xiàn)的功能。圖1中的數(shù)據(jù)接收部71、單位區(qū)域設(shè)定部72、劃分區(qū)間設(shè)定部73、單位掃描寬度數(shù)據(jù)生成部74、掃描寬度存儲部75、輸出數(shù)據(jù)生成部76、格式轉(zhuǎn)換部77、數(shù)據(jù)輸出部78相當于由CPU701等實現(xiàn)的功能。此外，這些功能可以由多臺計算機來實現(xiàn)。
[0067]接著，針對利用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7進行的從輸入數(shù)據(jù)向輸出數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換進行說明。圖7及圖8是表示利用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7進行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的流程的圖。在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7中，首先，由圖1示出的數(shù)據(jù)接收部71接收作為矢量數(shù)據(jù)的輸入數(shù)據(jù)。
[0068]圖9是表示利用輸入數(shù)據(jù)表現(xiàn)的圖案的一部分的圖。在輸入數(shù)據(jù)中，捕捉了多個圖形要素來作為在規(guī)定的配置區(qū)域80中描畫的圖案，在此基礎(chǔ)上，多個圖形要素分別表現(xiàn)為數(shù)據(jù)要素，該數(shù)據(jù)要素為表示各圖形要素的形狀、在基板9上的位置等的矢量數(shù)據(jù)的集合。在圖9中示出該圖案所包含的一個圖形要素81。實際的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7對與輸入數(shù)據(jù)所包含的多個圖形要素對應(yīng)的數(shù)據(jù)要素進行后述的處理，在以下的說明中，為了便于理解，將圖形要素自身作為處理的操作對象進行說明。此外，通常，實際的輸入數(shù)據(jù)包括表示具有多種多樣的形狀的多個圖形要素的數(shù)據(jù)要素。
[0069]以下，就一個圖形要素81而言，針對在將作為與該圖形要素81對應(yīng)的矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成作為掃描寬度數(shù)據(jù)的要素輸出數(shù)據(jù)時的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法的流程進行說明。在實際上，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7對多個圖形要素進行同樣的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換，將包括多個圖形要素的矢量數(shù)據(jù)的輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成包括多個圖形要素的掃描寬度數(shù)據(jù)的輸出數(shù)據(jù)。
[0070]圖9示出的圖形要素81的外形為長方形。圖形要素81具有內(nèi)側(cè)被填涂的填涂區(qū)域811、813和內(nèi)側(cè)沒有填涂的中空的中空區(qū)域812。在圖形要素81中，矩形框狀的中空區(qū)域812包圍長方形的填涂區(qū)域813的周圍，矩形框狀的填涂區(qū)域811包圍中空區(qū)域812的周圍。描畫裝置I對基板9上的與填涂區(qū)域811、813對應(yīng)的區(qū)域進行描畫，在基板9上的與中空區(qū)域812對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)，不進行描畫。在圖9中，在填涂區(qū)域811、813內(nèi)填涂平行斜線(在圖11、圖13及圖16中也同樣)。
[0071]就圖形要素81的要素輸入數(shù)據(jù)而言，通過將圖1OA?圖1OC示出的三個圖層圖形82?84層疊，來表現(xiàn)圖形要素81。在以下的說明中，在區(qū)別圖層圖形82?84的情況下，將圖層圖形82?84分別稱為“第一圖層圖形82”、“第二圖層圖形83”及“第三圖層圖形84”。
[0072]圖1OA示出的第一圖層圖形82為長方形。第一圖層圖形82的輪廓與圖9示出的圖形要素81的矩形框狀的填涂區(qū)域811的輪廓(即，外周緣)一致。用于表示第一圖層圖形82是被填涂還是中空的“填涂中空屬性”，為“填涂”。在圖1OA中，通過對第一圖層圖形82填涂平行斜線，來表示第一圖層圖形82的填涂中空屬性為“填涂”。在以下的同樣的附圖(圖10B、圖1OC及圖14)中，對填涂屬性的圖層圖形填涂平行斜線，對中空屬性的圖層圖形不填涂平行斜線。
[0073]圖1OB示出的第二圖層圖形83為小于第一圖層圖形82的長方形。第二圖層圖形83的輪廓與圖9示出的圖形要素81的矩形框狀的中空區(qū)域812的輪廓(即，外周緣)一致。第二圖層圖形83的填涂中空屬性為“中空”(被剪切為中空)。圖1OC示出的第三圖層圖形84為小于第二圖層圖形83的長方形。第三圖層圖形84的輪廓與圖9示出的圖形要素81的長方形的填涂區(qū)域813的輪廓一致。
[0074]就要素輸入數(shù)據(jù)而言，通過層疊分別具有填涂中空屬性的多個圖層圖形82?84，來表現(xiàn)具有填涂區(qū)域811、813及中空區(qū)域812的圖形要素81。具體來說，在第一圖層圖形82上層疊第二圖層圖形83，在第二圖層圖形83上層疊第三圖層圖形84。就要素輸入數(shù)據(jù)而言，在配置有層疊在上側(cè)的圖層圖形(即，在要素輸入數(shù)據(jù)內(nèi)，與后述的數(shù)據(jù)要素對應(yīng)的圖層圖形)的區(qū)域內(nèi)，優(yōu)先應(yīng)用該圖層圖形的填涂中空屬性。因此，第一圖層圖形82中的與第二圖層圖形83重疊的區(qū)域為中空屬性，除此以外的區(qū)域為填涂屬性。另外，第二圖層圖形83中的與第三圖層圖形84重疊的區(qū)域為填涂屬性，除此以外的區(qū)域為中空屬性。
[0075]在圖9中，從圖中的上側(cè)朝向下側(cè)的方向(以下，稱為“第一方向”)與圖2及圖3示出的描畫裝置I中的從(+ Y)側(cè)朝向(-Y)側(cè)的主掃描方向?qū)?yīng)，從圖中的左側(cè)朝向右側(cè)的方向(即，與第一方向垂直的方向，以下，稱為“第二方向”)與描畫裝置I中的從(+ X)側(cè)朝向(-X)側(cè)的副掃描方向?qū)?yīng)。圖9的左側(cè)不出了表不第一方向的位置的坐標值(在圖IOA?圖10C、圖11、圖13、圖14及圖16中也同樣)。
[0076]若接收到輸入數(shù)據(jù)，則單位區(qū)域設(shè)定部72 (參照圖1)基于輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線801，按照規(guī)定寬度劃分圖9示出的配置有圖形要素81的配置區(qū)域80。由此，設(shè)定沿著第二方向排列的具有該規(guī)定寬度的多個區(qū)域800 (步驟S11)。直線801為描畫裝置I的與主掃描方向平行的直線，以下，稱為“掃描線801”。上述的規(guī)定寬度為基于描畫裝置I的描畫的分辨率來決定的寬度，以下，稱為“單位寬度”。另外，以下，將區(qū)域800稱為“單位區(qū)域800”。
[0077]在本實施方式中，圖形要素81配置成跨過從左側(cè)起第一個(下面，僅稱為“第一個”)單位區(qū)域800到第七個單位區(qū)域800。另外，如圖1OA?圖1OC所示，第一圖層圖形82配置成跨過第一個單位區(qū)域800到第七個單位區(qū)域800。第二圖層圖形83配置成跨過第二個單位區(qū)域800到第六個單位區(qū)域800，第三圖層圖形84配置成跨過第三個單位區(qū)域800到第五個單位區(qū)域800。
[0078]若設(shè)定了多個單位區(qū)域800，則劃分區(qū)間設(shè)定部73針對各單位區(qū)域800，提取單位區(qū)域圖形組，該單位區(qū)域圖形組為多個圖層圖形82?84中的與各單位區(qū)域800重疊的圖層圖形的集合。然后，利用單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的各單位區(qū)域800中的起點坐標或者終點坐標，將各單位區(qū)域800劃分成沿著第一方向排列的多個劃分區(qū)間，決定多個劃分區(qū)間的各自的填涂中空屬性(步驟S12)。
[0079]針對劃分單位區(qū)域800及決定填涂中空屬性的詳細內(nèi)容，以從左側(cè)起第三個單位區(qū)域800為例進行說明。首先，提取第一圖層圖形82、第二圖層圖形83及第三圖層圖形84，來作為與該單位區(qū)域800重疊的單位區(qū)域圖形組(圖8:步驟S121)。接著，針對單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形，基于圖形要素81的要素輸入數(shù)據(jù)，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)，并獲取單位區(qū)域圖形組的所有的圖層圖形的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組(步驟S122)。
[0080]單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為表示與單位區(qū)域800重疊的圖層圖形的起點坐標、終點坐標、填涂中空屬性及該單位區(qū)域800中的圖層圖形的描畫優(yōu)先級的數(shù)據(jù)。起點坐標及終點坐標表示單位區(qū)域800內(nèi)的圖層圖形的起點及終點在第一方向上的坐標值。圖層圖形的起點是指，在圖1OA?圖1OC示出的單位區(qū)域800中，存在圖層圖形的范圍的上端；圖層圖形的終點是指，在單位區(qū)域800中，存在圖層圖形的范圍的下端。換言之，圖層圖形的起點及終點是指，在單位區(qū)域800中的存在圖層圖形的范圍內(nèi)，在第一方向上的坐標值為最小及最大的位置。因此，終點坐標大于起點坐標。第一圖層圖形82的起點坐標及終點坐標為(0,100)o第二圖層圖形83的起點坐標及終點坐標為(20，80)。第三圖層圖形84的起點坐標及終點坐標為(40,60)。
[0081]圖層圖形的填涂中空屬性為各圖層圖形固有的屬性，描畫優(yōu)先級由要素輸入數(shù)據(jù)中的圖層圖形的數(shù)據(jù)要素的記載順序決定。與要素輸入數(shù)據(jù)內(nèi)的記載順序在后的數(shù)據(jù)要素對應(yīng)的圖層圖形的描畫優(yōu)先級更高。在本實施方式中，利用一個正整數(shù)(以下，稱為“屬性值”)表示圖層圖形的填涂中空屬性及描畫優(yōu)先級。若屬性值為奇數(shù)，則填涂中空屬性為“填涂”，若為偶數(shù)，則為“中空”。另外，屬性值越大，描畫優(yōu)先級變得越高。
[0082]在要素輸入數(shù)據(jù)中記載的最初的圖層圖形具有填涂屬性的情況下，將該圖層圖形的屬性值設(shè)為“1”，在具有中空屬性的情況下，設(shè)為“2”。然后，在要素輸入數(shù)據(jù)中記載的下一個圖層圖形的填涂中空屬性不同的情況下，對下一個圖層圖形的屬性值賦予僅比前一個圖層圖形的屬性值大于I的值，在填涂中空屬性相同的情況下，賦予與前一個圖層圖形的屬性值相等的值。就與第三個單位區(qū)域800重疊的單位區(qū)域圖形組而言，第一圖層圖形82的屬性值為“1”，第二圖層圖形83的屬性值為“2”，第三圖層圖形84的屬性值為“3”。
[0083]就在步驟S122中獲取的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組而言，第一圖層圖形82的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為“(0，100)，1”，第二圖層圖形83的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為“(20，80)，2”，第三圖層圖形84的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為“(40，60)，3”。
[0084]若獲取了單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，則按照起點坐標的升序來對各圖層圖形的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序(步驟S123)。接著，將各圖層圖形的起點坐標中最小的起點坐標設(shè)定為從圖9中的上側(cè)起第一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標(步驟S124)。在本實施方式中，按照第一圖層圖形82、第二圖層圖形83、第三圖層圖形84的順序排列單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)，將第一圖層圖形82的起點坐標的“O”設(shè)定為區(qū)間開始坐標。
[0085]接著，設(shè)定與區(qū)間開始坐標相鄰并且大于區(qū)間開始坐標的起點坐標或者終點坐標(下面，將起點坐標及終點坐標統(tǒng)稱為“端部坐標”)，來作為區(qū)間結(jié)束坐標(步驟S125)。在該情況下，設(shè)定第二圖層圖形83的起點坐標的“20”，來作為區(qū)間結(jié)束坐標。如上所述，通過對單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序，能夠易于設(shè)定區(qū)間開始坐標及區(qū)間結(jié)束坐標。
[0086]然后，如圖11所示，設(shè)定在第三個單位區(qū)域800中的區(qū)間開始坐標“O”與區(qū)間結(jié)束坐標“20”之間的范圍“O?20”，來作為第一個劃分區(qū)間802 (步驟S126)。在圖11中，用粗線包圍劃分區(qū)間802 (在圖16中也同樣)。
[0087]若設(shè)定了劃分區(qū)間802，則提取劃分區(qū)間802所包含的圖層圖形組，將該圖層圖形組中的描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性決定為該劃分區(qū)間802的填涂中空屬性(步驟S127)。具體來說，暫時存儲在步驟S127中提取的圖層圖形組，來作為劃分區(qū)間含有圖形組，獲取劃分區(qū)間含有圖形組所包含的圖層圖形的屬性值的最大值，來作為劃分區(qū)間802的屬性值。在該屬性值為奇數(shù)的情況下，將劃分區(qū)間802設(shè)為填涂屬性，在為偶數(shù)的情況下，設(shè)為中空屬性。就第一個劃分區(qū)間802而言，由于在劃分區(qū)間含有圖形組中僅包含第一圖層圖形82，所以劃分區(qū)間802的屬性值為“1”，劃分區(qū)間802為填涂屬性。
[0088]若決定了劃分區(qū)間802的填涂中空屬性，則確認是否有大于區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標。在存在大于區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標的情況下，存在在單位區(qū)域800內(nèi)沒有設(shè)定劃分區(qū)間802的區(qū)域，因此，判斷為劃分區(qū)間802的設(shè)定未完成(步驟S128)。
[0089]在劃分區(qū)間802的設(shè)定沒有結(jié)束的情況下，對設(shè)定完成的劃分區(qū)間802的區(qū)間結(jié)束坐標(在存在多個設(shè)定完成的劃分區(qū)間802的情況下，為最大的區(qū)間結(jié)束坐標)進行設(shè)定，來作為下一個劃分區(qū)間802的區(qū)間開始坐標(步驟S129)。然后，返回步驟S125，決定區(qū)間結(jié)束坐標、設(shè)定劃分區(qū)間802及決定劃分區(qū)間802的填涂中空屬性(步驟S125?S127)。
[0090]第二個劃分區(qū)間802的區(qū)間開始坐標及區(qū)間結(jié)束坐標為“20”及“40”，劃分區(qū)間含有圖形組包括第一圖層圖形82及第二圖層圖形83。通過以下的方式來提取劃分區(qū)間含有圖形組:例如，在單位區(qū)域圖形組中，將沒有包含在劃分區(qū)間含有圖形組內(nèi)并且起點坐標小于區(qū)間結(jié)束坐標的圖層圖形納入劃分區(qū)間含有圖形組，而且，在劃分區(qū)間含有圖形組所含的圖層圖形中，從劃分區(qū)間含有圖形組中刪除終點坐標在區(qū)間開始坐標以下的圖層圖形。第二個劃分區(qū)間802的屬性值等于第二圖層圖形83的屬性值，為“2”，將該劃分區(qū)間802的填涂中空屬性決定為“中空”。
[0091]第三個劃分區(qū)間802的區(qū)間開始坐標及區(qū)間結(jié)束坐標為“40”及“60”，劃分區(qū)間含有圖形組包括第一圖層圖形82、第二圖層圖形83及第三圖層圖形84。第三個劃分區(qū)間802的屬性值等于第三圖層圖形84的屬性值，為“3”，將該劃分區(qū)間802的填涂中空屬性決定為“填涂”。
[0092]就劃分區(qū)間設(shè)定部73 (參照圖1)而言，直到在單位區(qū)域800的整個區(qū)域內(nèi)設(shè)定劃分區(qū)間802為止，重復(fù)步驟S125?S129。由此，將單位區(qū)域800劃分成多個劃分區(qū)間802。如圖11所示，將從左側(cè)起第三個單位區(qū)域800劃分成五個劃分區(qū)間802。雖然省略圖示，但與第三個單位區(qū)域800同樣地，將從左側(cè)起第四個及第五個單位區(qū)域800也分別劃分成五個劃分區(qū)間。另外，分別將第二個及第六個單位區(qū)域800劃分成三個劃分區(qū)間，分別將第一個及第七個單位區(qū)域800的整體作為一個劃分區(qū)間802。
[0093]若步驟S12結(jié)束，則單位掃描寬度數(shù)據(jù)生成部74基于在步驟S12中決定的各單位區(qū)域800的多個劃分區(qū)間802各自的填涂中空屬性，生成表示各單位區(qū)域800的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，并存儲在掃描寬度存儲部75內(nèi)(步驟S13)。
[0094]然后，通過輸出數(shù)據(jù)生成部76對這些單位掃描寬度數(shù)據(jù)與表示對應(yīng)的單位區(qū)域800的位置的數(shù)據(jù)建立對應(yīng)關(guān)系，來獲取要素輸出數(shù)據(jù)，該要素輸出數(shù)據(jù)為將要素輸入數(shù)據(jù)所表示的圖形要素81表示為沿著第一方向的掃描寬度的集合的掃描寬度數(shù)據(jù)(步驟S14)。要素輸出數(shù)據(jù)為作為多個單位區(qū)域800各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合的掃描寬度數(shù)據(jù)。
[0095]與上述同樣地，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7針對由數(shù)據(jù)接收部71接收的輸入數(shù)據(jù)所包含的所有的圖形要素，進行從要素輸入數(shù)據(jù)(矢量數(shù)據(jù))向要素輸出數(shù)據(jù)(掃描寬度數(shù)據(jù))的轉(zhuǎn)換，生成輸出數(shù)據(jù)，輸出數(shù)據(jù)為所有的圖形要素的要素輸出數(shù)據(jù)的集合。然后，在利用格式轉(zhuǎn)換部77對該輸出數(shù)據(jù)進行格式轉(zhuǎn)換，將其轉(zhuǎn)換為適合描畫裝置I的處理的格式之后，通過數(shù)據(jù)輸出部78輸出至描畫裝置I。在描畫裝置I中，基于格式轉(zhuǎn)換之后的數(shù)據(jù)，從圖2示出的控制部6的光調(diào)制兀件控制部61向各空間光調(diào)制器46發(fā)送信號，并且通過主掃描機構(gòu)25使基板9在主掃描方向(即，與基板9上的上述第一方向?qū)?yīng)的方向)上移動，以在基板9上的感光材料上描畫輸入至數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7的輸入數(shù)據(jù)所表示的圖案。
[0096]如上所述，通過數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7利用上述的步驟Sll?S14的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法轉(zhuǎn)換作為表現(xiàn)為層疊的多個圖層圖形的圖形要素81的矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)，不將該多個圖層圖形的矢量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成掃描寬度數(shù)據(jù)，就能夠獲取要素輸出數(shù)據(jù)。由此，與比較例的轉(zhuǎn)換方法相比，能夠縮短從要素輸入數(shù)據(jù)向要素輸出數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間，比較例的轉(zhuǎn)換方法為如下的方法:通過將要素輸入數(shù)據(jù)所包含的各圖層圖形的矢量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成掃描寬度數(shù)據(jù)，并合成這些掃描寬度數(shù)據(jù)來生成要素輸出數(shù)據(jù)。
[0097]另外，就設(shè)定步驟S12的劃分區(qū)間802而言，在步驟S125中，將與區(qū)間開始坐標相鄰并且大于區(qū)間開始坐標的端部坐標設(shè)定為區(qū)間結(jié)束坐標。像這樣，通過簡化區(qū)間結(jié)束坐標的設(shè)定方法，能夠簡單地設(shè)定劃分區(qū)間802。
[0098]圖12是對在利用本實施方式的轉(zhuǎn)換方法將輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成輸出數(shù)據(jù)的情況下的處理時間與在利用上述的比較例的轉(zhuǎn)換方法將輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成輸出數(shù)據(jù)的情況下的處理時間進行比較的圖。在圖12中，輸出了九種輸入數(shù)據(jù)的處理時間。這些輸入數(shù)據(jù)的圖形要素的數(shù)量、形狀、圖層圖形的層疊數(shù)等不同。圖12的橫軸表示九種輸入數(shù)據(jù)。圖12的左側(cè)的縱軸表示處理時間，右側(cè)的縱軸表示各輸入數(shù)據(jù)(各種實例)的圖層圖形的層疊數(shù)(圖層數(shù))。各種實例的柱形圖中左側(cè)的中空的柱形圖表示基于比較例的轉(zhuǎn)換方法的處理時間，右側(cè)的填涂黑色的柱形圖表示基于本實施方式的上述的轉(zhuǎn)換方法的處理時間。由圖12可知，無論圖層數(shù)多大，基于本實施方式的轉(zhuǎn)換方法的處理時間都比比較例的處理時間短。另外，圖層數(shù)越大，在從比較例的轉(zhuǎn)換方法向本實施方式的轉(zhuǎn)換方法轉(zhuǎn)換的情況下的處理時間的縮短率越大。
[0099]接著，針對劃分區(qū)間802的另一種優(yōu)選的設(shè)定方法進行說明。圖13是表示由輸入數(shù)據(jù)表示的圖案的一部分的圖。在圖13中示出了該圖案所包含的一個圖形要素81a。圖形要素81a的外形為長方形。圖形要素81a具有大致呈矩形框狀的填涂區(qū)域811、呈正方形的兩個填涂區(qū)域813及在填涂區(qū)域811的內(nèi)側(cè)包圍兩個填涂區(qū)域813的周圍的中空區(qū)域812。中空區(qū)域812為大致呈矩形框狀的兩個區(qū)域沿著第二方向(即，圖13中的左右方向)連續(xù)的形狀。中空區(qū)域812的第二方向的中央部在第一方向上，朝向外方向(即，朝向上下方向)關(guān)出。
[0100]就圖形要素81a的要素輸入數(shù)據(jù)而言，通過按照圖1OA?圖1OC示出的第一圖層圖形82、第二圖層圖形83及第三圖層圖形84、以及圖14示出的第四圖層圖形85的順序，從下側(cè)開始層疊這些圖層圖形，來表現(xiàn)圖形要素81a。第四圖層圖形85為沿著第一方向延伸的長方形，填涂中空屬性為“中空”。在圖14中，利用兩點劃線表示第二圖層圖形83及第三圖層圖形84。第四圖層圖形85沿著第一方向穿過第二圖層圖形83及第三圖層圖形84。換言之，第四圖層圖形85配置成跨過第二圖層圖形83的輪廓及第三圖層圖形84的輪廓，并位于該輪廓的兩側(cè)。另外，第四圖層圖形85僅配置在從左側(cè)起第四個單位區(qū)域800內(nèi)。第四圖層圖形85層疊在第一圖層圖形82、第二圖層圖形83及第三圖層圖形84上。因此，存在第四圖層圖形85的區(qū)域全部為中空屬性。
[0101]與上述的步驟S12同樣地，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7針對圖形要素81a，利用劃分區(qū)間設(shè)定部73針對各單位區(qū)域800來提取單位區(qū)域圖形組，該單位區(qū)域圖形組為多個圖層圖形82?85中的與各單位區(qū)域800重疊的圖層圖形的集合。然后，利用單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的各單位區(qū)域內(nèi)的端部坐標(即，起點坐標或者終點坐標)，將各單位區(qū)域800劃分為沿著第一方向排列的多個劃分區(qū)間，決定多個劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性。
[0102]但是，劃分單位區(qū)域800及決定填涂中空屬性的詳細內(nèi)容與圖8示出的步驟S121?S129不同。數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7進行圖15A及圖15B示出的步驟S221?S232。以下，以從左側(cè)起第四個單位區(qū)域800為例進行說明。首先，提取第一圖層圖形82、第二圖層圖形83、第三圖層圖形84及第四圖層圖形85，來作為與該單位區(qū)域800重疊的單位區(qū)域圖形組(步驟 S221)。
[0103]接著，針對單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形，基于圖形要素81a的要素輸入數(shù)據(jù)，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)，獲取單位區(qū)域圖形組的所有的圖層圖形的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組(步驟S222)。如上所述，單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為表示圖層圖形的起點坐標、終點坐標、填涂中空屬性及該單位區(qū)域800內(nèi)的圖層圖形的描畫優(yōu)先級的數(shù)據(jù)。
[0104]如上所述，第一圖層圖形82、第二圖層圖形83及第三圖層圖形84的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為“(0，100)，1”、“(20，80)，2”及“(40，60)，3”。第四圖層圖形85的起點坐標及終點坐標為(10，90)，第四圖層圖形85的屬性值為“4”。因此，第四圖層圖形85的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)為“(10，90)，4”。
[0105]若獲取了單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，則按照起點坐標的升序來對各圖層圖形的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序(步驟S223)。接著，設(shè)定各圖層圖形的起點坐標中最小的起點坐標來作為圖13中的從上側(cè)起第一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標(步驟S224)。在本實施方式中，按照第一圖層圖形82、第四圖層圖形85、第二圖層圖形83、第三圖層圖形84的順序排列單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)，將第一圖層圖形82的起點坐標“O”設(shè)定為區(qū)間開始坐標。
[0106]若設(shè)定了區(qū)間開始坐標，則將與區(qū)間開始坐標相鄰并且大于區(qū)間開始坐標的端部坐標設(shè)定為臨時的區(qū)間結(jié)束坐標(以下，稱為“臨時區(qū)間結(jié)束坐標”)(步驟S225)。在該情況下，將第四圖層圖形83的起點坐標的“10”設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標。如上所述，通過對單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序，能夠簡單地設(shè)定區(qū)間開始坐標及臨時區(qū)間結(jié)束坐標。
[0107]接著，獲取表示將臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為端部坐標的圖層圖形的填涂中空屬性及描畫優(yōu)先級的屬性值，將該屬性值設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標的第一優(yōu)先級。另外，還設(shè)定區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級。在區(qū)間開始坐標為一個圖層圖形的起點坐標的情況下，獲取表示該一個圖層圖形的填涂中空屬性及描畫優(yōu)先級的屬性值，將該屬性值設(shè)定為區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級。另一方面，在區(qū)間開始坐標為一個圖層圖形的終點坐標的情況下，從單位區(qū)域圖形組中，選擇如下的圖層圖形組:從該區(qū)間開始坐標擴展至大于區(qū)間開始坐標的坐標范圍(即，在圖13中，為比該區(qū)間開始坐標靠近下側(cè)的范圍)的單個或者多個圖層圖形。然后，將該圖層圖形組所包含的圖層圖形的屬性值中最大的屬性值設(shè)定為區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級。
[0108]就從左側(cè)起第四個單位區(qū)域800而言，將臨時區(qū)間結(jié)束坐標“10”作為端部坐標的第四圖層圖形85的屬性值“4”設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標的第一優(yōu)先級。另外，將區(qū)間開始坐標“O”作為起點坐標的第一圖層圖形82的屬性值“I”設(shè)定為區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級。
[0109]若設(shè)定了第一優(yōu)先級及第二優(yōu)先級，則對第一優(yōu)先級與第二優(yōu)先級進行比較(步驟S226)。第一優(yōu)先級“4”在第二優(yōu)先級“I”以上，因此，將臨時區(qū)間結(jié)束坐標“10”設(shè)定為區(qū)間結(jié)束坐標(步驟S228)。然后，如圖16所示，將第四個單位區(qū)域800內(nèi)的區(qū)間開始坐標“O”與區(qū)間結(jié)束坐標“10”之間的范圍“O?10”設(shè)定為第一個劃分區(qū)間802 (步驟S229)。
[0110]若設(shè)定了劃分區(qū)間802，則提取劃分區(qū)間802所包含的圖層圖形組，將該圖層圖形組中描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性決定為該劃分區(qū)間802的填涂中空屬性(步驟S230)。具體來說，暫時存儲在步驟S230中提取的圖層圖形組，來作為劃分區(qū)間含有圖形組，獲取劃分區(qū)間含有圖形組所包含的圖層圖形的屬性值的最大值，來作為劃分區(qū)間802的屬性值。在該屬性值為奇數(shù)的情況下，將劃分區(qū)間802設(shè)為填涂屬性，在為偶數(shù)的情況下，設(shè)為中空屬性。就第一個劃分區(qū)間802而言，劃分區(qū)間含有圖形組僅包括第一圖層圖形82，因此，該劃分區(qū)間802的屬性值為“1”，將填涂中空屬性決定為“填涂”。
[0111]若決定了劃分區(qū)間802的填涂中空屬性，則確認是否有大于區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標。在存在大于區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標的情況下，存在單位區(qū)域800內(nèi)沒有設(shè)定劃分區(qū)間802的區(qū)域，因此判斷為劃分區(qū)間802的設(shè)定未結(jié)束(步驟S231)。
[0112]在劃分區(qū)間802的設(shè)定沒有結(jié)束的情況下，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間802的區(qū)間結(jié)束坐標(在存在多個設(shè)定完成的劃分區(qū)間802的情況下，為最大的區(qū)間結(jié)束坐標)“10”設(shè)定為下一個劃分區(qū)間802的區(qū)間開始坐標(步驟S232)。然后，返回步驟S225，將與區(qū)間開始坐標相鄰并且大于區(qū)間開始坐標的端部坐標，即第二圖層圖形83的起點坐標“20”，設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標(步驟S225)。
[0113]接著，獲取第二圖層圖形83的屬性值“2”，將該屬性值“2”設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標的第一優(yōu)先級，其中，第二圖層圖形83為作為將臨時區(qū)間結(jié)束坐標“20”作為端部坐標的圖層圖形。另外，設(shè)定將區(qū)間開始坐標“10”作為起點坐標的第四圖層圖形85的屬性值“4”來作為區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級。接著，對第一優(yōu)先級和第二優(yōu)先級進行比較(步驟S226)。
[0114]由于第一優(yōu)先級“2”小于第二優(yōu)先級“4”，即，第一優(yōu)先級低于第二優(yōu)先級，所以改變臨時區(qū)間結(jié)束坐標，設(shè)定下一個臨時區(qū)間結(jié)束坐標。將下一個臨時區(qū)間結(jié)束坐標設(shè)為如下的坐標:與改變之前的臨時區(qū)間結(jié)束坐標“20”相鄰，并且大于改變之前的臨時區(qū)間結(jié)束坐標“20”的端部坐標。將臨時區(qū)間結(jié)束坐標從第二圖層圖形83的起點坐標“20”改變?yōu)榈谌龍D層圖形84的起點坐標“40”(步驟S227)。
[0115]若改變了臨時區(qū)間結(jié)束坐標，則返回步驟S226，將第三圖層圖形84的屬性值“3”設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標的第一優(yōu)先級，與區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級“4”進行比較(步驟S226)。由于第一優(yōu)先級“3”小于第二優(yōu)先級“4”，即，第一優(yōu)先級低于第二優(yōu)先級，所以將臨時區(qū)間結(jié)束坐標變?yōu)樽鳛橄乱粋€臨時區(qū)間結(jié)束坐標的第三圖層圖形84的終點坐標“60”(步驟S227)，返回步驟S226。
[0116]數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7重復(fù)進行將臨時區(qū)間結(jié)束坐標變?yōu)橄乱粋€臨時區(qū)間結(jié)束坐標然后返回步驟S226的工序， 直到第一優(yōu)先級變?yōu)榈诙?yōu)先級以上為止。在圖16示出的例子中，將臨時區(qū)間結(jié)束坐標設(shè)定為第四圖層圖形85的終點坐標“90”，重復(fù)步驟S227、S226，直到第一優(yōu)先級等于第二優(yōu)先級即等于“4”為止，將臨時區(qū)間結(jié)束坐標“90”設(shè)定為區(qū)間結(jié)束坐標(步驟S228)。
[0117]將區(qū)間開始坐標“10”與區(qū)間結(jié)束坐標“90”之間的范圍“10~90”設(shè)定為第二個劃分區(qū)間802 (步驟S229)。第二個劃分區(qū)間802的劃分區(qū)間含有圖形組包括第一圖層圖形82、第二圖層圖形83、第三圖層圖形84及第四圖層圖形85。將第二個劃分區(qū)間802的屬性值設(shè)定為描畫優(yōu)先級最高的第四圖層圖形85的屬性值“4”。決定第二個劃分區(qū)間802的填涂中空屬性為“中空”(步驟S230)。
[0118]接著，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間802的區(qū)間結(jié)束坐標“90”設(shè)定為下一個劃分區(qū)間802的區(qū)間開始坐標(步驟S231、S232)。接著，返回步驟S225。將第一圖層圖形82的終點坐標“100”設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標(步驟S225)，第一圖層圖形82的終點坐標“100”為與區(qū)間開始坐標相鄰并且大于區(qū)間開始坐標的端部坐標。然后，將臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為端部坐標的第一圖層圖形82的屬性值“I”設(shè)定為臨時區(qū)間結(jié)束坐標的第一優(yōu)先級。另外，選擇第一圖層圖形82，來作為從區(qū)間開始坐標“90”擴展至大于區(qū)間開始坐標的坐標范圍的圖層圖形組，將該圖層圖形組所包含的圖層圖形的屬性值中最大的屬性值(在該情況下，為第一圖層圖形82的屬性值“I”)設(shè)定為區(qū)間開始坐標的第二優(yōu)先級。
[0119]第一優(yōu)先級“I”在第二優(yōu)先級“I”以上，因此，將臨時區(qū)間結(jié)束坐標“100”設(shè)定為區(qū)間結(jié)束坐標(步驟S226、S228 )，將區(qū)間開始坐標“ 90 ”與區(qū)間結(jié)束坐標“ 100 ”之間的范圍“90?100”設(shè)定為第三個劃分區(qū)間802 (步驟S229)。此后，將劃分區(qū)間802所包含的圖層圖形組中描畫優(yōu)先級最高的第一圖層圖形82的填涂中空屬性“填涂”決定為該劃分區(qū)間802的填涂中空屬性(步驟S230)。然后，結(jié)束對從左側(cè)起第四個單位區(qū)域800進行的劃分區(qū)間802的設(shè)定，以及結(jié)束對各劃分區(qū)間802的填涂中空屬性進行的決定(步驟S231)。
[0120]像這樣，在劃分區(qū)間設(shè)定部73 (參照圖1)中，重復(fù)步驟S225?S232，直到在單位區(qū)域800的整個區(qū)域內(nèi)設(shè)定劃分區(qū)間802為止，從而將單位區(qū)域800劃分成多個劃分區(qū)間802。如圖16所示，將從左側(cè)起第四個單位區(qū)域800劃分成三個劃分區(qū)間802。省略圖示，與進行了上述的步驟S121?S129的情況同樣地，劃分其它的六個單位區(qū)域800。
[0121]若上述步驟S221?S232 (步驟S12)結(jié)束，則如上所述，單位掃描寬度數(shù)據(jù)生成部74基于在步驟S221?S232中決定的各單位區(qū)域800的多個劃分區(qū)間802各自的填涂中空屬性，生成表示各單位區(qū)域800的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，并將其存儲至掃描寬度存儲部75 (步驟S13)。然后，輸出數(shù)據(jù)生成部76獲取要素輸出數(shù)據(jù)，該要素輸出數(shù)據(jù)為多個單位區(qū)域800各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合(步驟S14)。
[0122]如上所述，數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7在圖7示出的步驟S12中進行上述的步驟S221?S229，由此，能夠在描畫優(yōu)先級高的圖層圖形(第四圖層圖形85)沿著第一方向穿過描畫優(yōu)先級低的圖層圖形(第二圖層圖形83及第三圖層圖形84)的單位區(qū)域800內(nèi)，減少劃分區(qū)間802的個數(shù)。其結(jié)果為，能夠進一步縮短從要素輸入數(shù)據(jù)向要素輸出數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
[0123]上述描畫系統(tǒng)100能夠進行各種各樣的變更。
[0124]例如，利用正整數(shù)的屬性值表示單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的填涂中空屬性及描畫優(yōu)先級，還可以利用其它的各種各樣的方法表示。另外，分別利用不同的系數(shù)等來表示填涂中空屬性和描畫優(yōu)先級。
[0125]數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7可以對輸入數(shù)據(jù)所包含的所有的圖形要素執(zhí)行在上述的步驟S12中的步驟S121?S129示出的工序及步驟S221?S232示出的工序中的任意一組工序，還可以與作為對象的圖形要素對應(yīng)地，選擇性地執(zhí)行某一組工序。
[0126]不一定非要通過步驟S125示出的工序或者步驟S225?S228示出的工序來設(shè)定步驟S12劃分區(qū)間802的區(qū)間結(jié)束坐標。在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7中，在設(shè)定了區(qū)間開始坐標之后，只要將在區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍內(nèi)存在的某一個端部坐標，設(shè)定為區(qū)間結(jié)束坐標即可。例如，就圖16示出的圖形要素81a的左側(cè)起第四個單位區(qū)域800而言，只要將第二圖層圖形83的起點坐標“20”、第三圖層圖形84的起點坐標“40”、第三圖層圖形84的終點坐標“60”、第二圖層圖形83的終點坐標“80”及第四圖層圖形85的終點坐標“90”中的某一個端部坐標設(shè)定為第二個劃分區(qū)間802的區(qū)間結(jié)束坐標即可。即使在該情況下，與上述同樣地，能夠縮短從要素輸入數(shù)據(jù)向要素輸出數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換所需的時間。
[0127]在上述實施方式的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7中，輸入數(shù)據(jù)所包含的圖形要素可以為包括多個子圖形要素的子圖形要素組。另外，可以將輸入數(shù)據(jù)設(shè)為一個圖形要素參照其它圖形要素的分層結(jié)構(gòu)。
[0128]在描畫系統(tǒng)100中，可以不在數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7中對輸出數(shù)據(jù)進行格式轉(zhuǎn)換而直接將其輸出至描畫裝置1，在描畫裝置I中進行格式轉(zhuǎn)換。[0129]由數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置7轉(zhuǎn)換成輸出數(shù)據(jù)的輸入數(shù)據(jù)不限于表示在液晶顯示裝置用的玻璃基板上描畫的圖案的數(shù)據(jù)，例如，可以為表示描畫在等離子顯示裝置等的其它平板顯示裝置或者光掩模用的玻璃基板上的圖案的數(shù)據(jù)，可以為LSI (大規(guī)模集成電路)用的圖案數(shù)據(jù)。另外，利用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置將用于其它的各種各樣的目的的輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成輸出數(shù)據(jù)。
[0130]描畫裝置I不限于具有上述的結(jié)構(gòu)，只要基于作為掃描寬度數(shù)據(jù)的輸出數(shù)據(jù)來進行描畫的裝置即可。例如，描畫裝置I的光照射部4還可以包括具有GLV以外的其它的光調(diào)制元件的空間光調(diào)制器。
[0131]上述實施方式及各彎曲變形例的結(jié)構(gòu)可以在彼此不矛盾的前提下適當?shù)剡M行組
口 ο
[0132]詳細地描述并說明了發(fā)明，但上述的說明為例示性的，而非限定。因此，在不脫離本發(fā)明的范圍的前提下，能夠進行各種彎曲變形或方式。
【權(quán)利要求】
1.一種數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法，將作為圖形要素的矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成作為掃描寬度數(shù)據(jù)的要素輸出數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法，其特征在于， 包括: (a)工序，基于要素輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線，以規(guī)定寬度劃分配置有所述圖形要素的配置區(qū)域，從而設(shè)定在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述規(guī)定寬度的多個單位區(qū)域，所述要素輸入數(shù)據(jù)是通過分別層疊具有填涂或者中空的填涂中空屬性的多個圖層圖形來表現(xiàn)的圖形要素的矢量數(shù)據(jù)， (b)工序，針對多個所述單位區(qū)域的各單位區(qū)域，在多個所述圖層圖形中提取與所述各單位區(qū)域重疊的單位區(qū)域圖形組，利用端部坐標，將所述各單位區(qū)域劃分成在所述第一方向上排列的多個劃分區(qū)間，決定多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，所述端部坐標是所述單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的所述各單位區(qū)域內(nèi)的起點坐標或者大于所述起點坐標的終點坐標， (C)工序，基于在所述(b)工序中決定的所述各單位區(qū)域的多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成表示所述各單位區(qū)域的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，獲取掃描寬度數(shù)據(jù)來作為要素輸出數(shù)據(jù)，所述掃描寬度數(shù)據(jù)是多個所述單位區(qū)域各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合； 在所述(b)工序中，針對所述各單位區(qū)域執(zhí)行如下工序: (bl)工序，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為所述單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)表示所述單位區(qū)域圖形組的所述各圖層圖形的所述起點坐標、所述終點坐標、填涂中空屬性及所述單位區(qū)域圖形組的描畫優(yōu)先級， (b2)工序，按照所述起點坐標的升序，對所述各圖層圖形的所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序， (b3)工序，在所述各圖層圖形的所述起點坐標中，將最小的起點坐標作為一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標， (b4)工序，將在第一范圍內(nèi)存在的任意一個端部坐標作為區(qū)間結(jié)束坐標，將第二范圍設(shè)定為所述劃分區(qū)間，將所述劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的所述圖層圖形的填涂中空屬性作為所述劃分區(qū)間的填涂中空屬性，所述第一范圍是指，從所述區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍，所述第二范圍是指，在所述區(qū)間開始坐標與所述區(qū)間結(jié)束坐標之間的范圍， (b5)工序，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間的區(qū)間結(jié)束坐標作為下一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，重復(fù)所述(b4)工序，直到設(shè)定完多個所述劃分區(qū)間為止。
2.如權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法，其特征在于， 在所述(b4)工序中，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標設(shè)定為所述區(qū)間結(jié)束坐標。
3.如權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法，其特征在于， 所述(b4)工序具有: (dl)工序，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標作為臨時區(qū)間結(jié)束坐標， (d2)在第一優(yōu)先級在第二優(yōu)先級以上的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為所述區(qū)間結(jié)束坐標，在所述第一優(yōu)先級低于所述第二優(yōu)先級的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標變更為與所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標相鄰并且大于所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標，直到所述第一優(yōu)先級都變?yōu)樗龅诙?yōu)先級以上為止，其中，所述第一優(yōu)先級是將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為端部坐標的圖層圖形的描畫優(yōu)先級； 在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的起點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是所述一個圖層圖形的描畫優(yōu)先級， 在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的終點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是指，在所述單位區(qū)域圖形組中，從所述區(qū)間開始坐標擴展至大于所述區(qū)間開始坐標的坐標范圍為止的圖層圖形組的描畫優(yōu)先級中的最大的描畫優(yōu)先級。
4.一種描畫系統(tǒng)，在基板上描畫圖案，其特征在于， 具有: 數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置，其利用規(guī)定的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法，將要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成要素輸出數(shù)據(jù)， 描畫裝置，其基于由所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換裝置生成的所述要素輸出數(shù)據(jù)，在基板上描畫圖案; 所述數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換方法具有: (a)工序，基于要素輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線，以規(guī)定寬度劃分配置有圖形要素的配置區(qū)域，從 而設(shè)定在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述規(guī)定寬度的多個單位區(qū)域，所述要素輸入數(shù)據(jù)是通過分別層疊具有填涂或者中空的填涂中空屬性的多個圖層圖形來表現(xiàn)的所述圖形要素的矢量數(shù)據(jù)， (b)工序，針對多個所述單位區(qū)域的各單位區(qū)域，在多個所述圖層圖形中提取與所述各單位區(qū)域重疊的單位區(qū)域圖形組，利用端部坐標，將所述各單位區(qū)域劃分成在所述第一方向上排列的多個劃分區(qū)間，決定多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，所述端部坐標是所述單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的所述各單位區(qū)域內(nèi)的起點坐標或者大于所述起點坐標的終點坐標， (C)工序，基于在所述(b)工序中決定的所述各單位區(qū)域的多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成表示所述各單位區(qū)域的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，獲取掃描寬度數(shù)據(jù)來作為要素輸出數(shù)據(jù)，所述掃描寬度數(shù)據(jù)是多個所述單位區(qū)域各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合； 在所述(b)工序中，針對所述各單位區(qū)域執(zhí)行如下工序: (bl)工序，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為所述單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)表示所述單位區(qū)域圖形組的所述各圖層圖形的所述起點坐標、所述終點坐標、填涂中空屬性及所述單位區(qū)域圖形組的描畫優(yōu)先級， (b2)工序，按照所述起點坐標的升序，對所述各圖層圖形的所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序， (b3)工序，在所述各圖層圖形的所述起點坐標中，將最小的起點坐標作為一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標， (b4)工序，將在第一范圍內(nèi)存在的任意一個端部坐標作為區(qū)間結(jié)束坐標，將第二范圍設(shè)定為所述劃分區(qū)間，將所述劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的所述圖層圖形的填涂中空屬性作為所述劃分區(qū)間的填涂中空屬性，所述第一范圍是指，從所述區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍，所述第二范圍是指，在所述區(qū)間開始坐標與所述區(qū)間結(jié)束坐標之間的范圍， (b5)工序，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間的區(qū)間結(jié)束坐標作為下一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，重復(fù)所述(b4)工序，直到設(shè)定完多個所述劃分區(qū)間為止； 所述描畫裝置具有: 基板保持部，其保持所述基板， 光調(diào)制元件，其對所述基板照射光， 照射位置移動機構(gòu)，其使從所述光調(diào)制元件導(dǎo)出的光在所述基板上的照射位置沿著所述基板上的與所述第一方向?qū)?yīng)的方向，相對于所述基板移動， 光調(diào)制元件控制部，其基于所述要素輸出數(shù)據(jù)，控制所述光調(diào)制元件調(diào)制光。
5.如權(quán)利要求4所述的描畫系統(tǒng)，其特征在于， 在所述(b4)工序中，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標設(shè)定為所述區(qū)間結(jié)束坐標。
6.如權(quán)利要求4所述的描畫系統(tǒng)，其特征在于， 所述(b4)工序具有: (dl)工序，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標作為臨時區(qū)間結(jié)束坐標， (d2)在第一優(yōu)先級在第二優(yōu)先級以上的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為所述區(qū)間結(jié)束坐標，在所述第一優(yōu)先級低于所述第二優(yōu)先級的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標變更為與所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標相鄰并且大于所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標，直到所述第一優(yōu)先級都變?yōu)樗龅诙?yōu)先級以上為止，其中，所述第一優(yōu)先級是將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為端部坐標的圖層圖形的描畫優(yōu)先級； 在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的起點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是所述一個圖層圖形的描畫優(yōu)先級， 在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的終點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是指，在所述單位區(qū)域圖形組中，從所述區(qū)間開始坐標擴展至大于所述區(qū)間開始坐標的坐標范圍為止的圖層圖形組的描畫優(yōu)先級中的最大的描畫優(yōu)先級。
7.—種記錄介質(zhì)，記錄將作為圖形要素的矢量數(shù)據(jù)的要素輸入數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成作為掃描寬度數(shù)據(jù)的要素輸出數(shù)據(jù)的程序，其特征在于， 通過所述計算機執(zhí)行所述程序，來使計算機執(zhí)行如下的工序: (a)工序，基于要素輸入數(shù)據(jù)，利用沿著第一方向的多條直線，以規(guī)定寬度劃分配置有所述圖形要素的配置區(qū)域，從而設(shè)定在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的具有所述規(guī)定寬度的多個單位區(qū)域，所述要素輸入數(shù)據(jù)是通過分別層疊具有填涂或者中空的填涂中空屬性的多個圖層圖形來表現(xiàn)的圖形要素的矢量數(shù)據(jù)， (b)工序，針對多個所述單位區(qū)域的各單位區(qū)域，在多個所述圖層圖形中提取與所述各單位區(qū)域重疊的單位區(qū)域圖形組，利用端部坐標，將所述各單位區(qū)域劃分成在所述第一方向上排列的多個劃分區(qū)間，決定多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，所述端部坐標是所述單位區(qū)域圖形組的各圖層圖形的所述各單位區(qū)域內(nèi)的起點坐標或者大于所述起點坐標的終點坐標，(C)工序，基于在所述(b)工序中決定的所述各單位區(qū)域的多個所述劃分區(qū)間各自的填涂中空屬性，生成表示所述各單位區(qū)域的掃描寬度的單位掃描寬度數(shù)據(jù)，獲取掃描寬度數(shù)據(jù)來作為要素輸出數(shù)據(jù)，所述掃描寬度數(shù)據(jù)是多個所述單位區(qū)域各自的單位掃描寬度數(shù)據(jù)的集合； 在所述(b)工序中，針對所述各單位區(qū)域執(zhí)行如下工序: (bl)工序，獲取單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)的集合，來作為所述單位區(qū)域圖形組的單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)組，所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)表示所述單位區(qū)域圖形組的所述各圖層圖形的所述起點坐標、所述終點坐標、填涂中空屬性及所述單位區(qū)域圖形組的描畫優(yōu)先級，(b2)工序，按照所述起點坐標的升序，對所述各圖層圖形的所述單位區(qū)域圖形描畫數(shù)據(jù)進行排序， (b3)工序，在所述各圖層圖形的所述起點坐標中，將最小的起點坐標作為一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標， (b4)工序，將在第一范圍內(nèi)存在的任意一個端部坐標作為區(qū)間結(jié)束坐標，將第二范圍設(shè)定為所述劃分區(qū)間，將所述劃分區(qū)間所包含的描畫優(yōu)先級最高的所述圖層圖形的填涂中空屬性作為所述劃分區(qū)間的填涂中空屬性，所述第一范圍是指，從所述區(qū)間開始坐標連續(xù)并且描畫優(yōu)先級最高的圖層圖形的填涂中空屬性相同的范圍，所述第二范圍是指，在所述區(qū)間開始坐標與所述區(qū)間結(jié)束坐標之間的范圍， (b5)工序，將設(shè)定完成的劃分區(qū)間的區(qū)間結(jié)束坐標作為下一個劃分區(qū)間的區(qū)間開始坐標，重復(fù)所述(b4)工序，直到設(shè)定完多個所述劃分區(qū)間為止。
8.如權(quán)利要求7所述的記錄介質(zhì),其特征在于， 在所述(b4)工序中，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標設(shè)定為所述區(qū)間結(jié)束坐標。
9.如權(quán)利要求7所述的記錄介質(zhì),其特征在于， 所述(b4)工序具有: (dl)工序，將與所述區(qū)間開始坐標相鄰并且大于所述區(qū)間開始坐標的端部坐標作為臨時區(qū)間結(jié)束坐標， (d2)在第一優(yōu)先級在第二優(yōu)先級以上的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為所述區(qū)間結(jié)束坐標，在所述第一優(yōu)先級低于所述第二優(yōu)先級的情況下，將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標變更為與所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標相鄰并且大于所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標的端部坐標，直到所述第一優(yōu)先級都變?yōu)樗龅诙?yōu)先級以上為止，其中，所述第一優(yōu)先級是將所述臨時區(qū)間結(jié)束坐標作為端部坐標的圖層圖形的描畫優(yōu)先級； 在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的起點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是所述一個圖層圖形的描畫優(yōu)先級， 在所述區(qū)間開始坐標是一個圖層圖形的終點坐標的情況下，所述第二優(yōu)先級是指，在所述單位區(qū)域圖形組中，從所述區(qū)間開始坐標擴展至大于所述區(qū)間開始坐標的坐標范圍為止的圖層圖形組的描畫優(yōu)先級中的最大的描畫優(yōu)先級。
【文檔編號】G06F17/50GK104021237SQ201410037793
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年1月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月1日
【發(fā)明者】山田亮 申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會社