一種半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，包括提供用于存儲試驗信息建立平臺中已經(jīng)試驗過的每個產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)庫；其中，產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)庫的層次結(jié)構(gòu)由每個產(chǎn)品的名稱和編號為索引，每個產(chǎn)品至少對應(yīng)一個工藝流程，每一個工藝流程由很多個工藝站點串聯(lián)起來的，每個工藝站點中又包含了至少一條工藝流程條件的輔助信息；在建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺前，以產(chǎn)品的名稱搜索所述數(shù)據(jù)庫，如果有相同產(chǎn)品名稱的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，在數(shù)據(jù)庫中將該工藝流程數(shù)據(jù)記錄復(fù)制在新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄中；其中，新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄賦予與原記錄相同的名稱，以及與原記錄以示區(qū)別的編號，并將記錄存儲到數(shù)據(jù)庫中。
【專利說明】一種半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System,簡稱MES)【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，涉及一種用于半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，從半導(dǎo)體單晶片到制成最終成品，須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠，并有高的成品率，根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況，對所有工藝步驟都要有嚴(yán)格的具體要求。
[0003]制造執(zhí)行系統(tǒng)MES 是美國 AMR 公司(Advanced Manufacturing Research, Inc.)在90年代初提出的，旨在加強物料需求計劃(Material Requirement Planning,簡稱MRP)的執(zhí)行功能，把MRP計劃同車間作業(yè)現(xiàn)場控制，通過執(zhí)行系統(tǒng)聯(lián)系起來，這里的現(xiàn)場控制包括可編程控制器PLC、數(shù)據(jù)采集器、條形碼、各種計量及檢測儀器、機械手等。
[0004]通常，在制造執(zhí)行系統(tǒng)控制下，進行不同的工藝流程具有不同的工藝條件，工藝圖就是一種半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程的示意，包括原料投入到產(chǎn)品包裝的全過程，一般是用一個方框表不一個工序，旁邊簡單注明工藝條件(如溫度，壓力，酸堿度，PH值等),方框與方框之間用箭頭表示工序的走向，關(guān)鍵設(shè)備可畫出形象性示意圖；一般熟練的工藝技術(shù)人員可根據(jù)工藝流程圖組織和管理生產(chǎn)。
[0005]在生產(chǎn)過程前，由于客戶為了得到產(chǎn)品更高的良率會對工藝提出多方面的改革更新要求，針對于這些變更，生產(chǎn)線上無法隨時更改已經(jīng)下線的工藝流程，那么就會利用這個試驗系統(tǒng)去驗證客戶的需求變更，同時也會驗證有利于客戶需求的更有效的工藝條件，從而使廣品的工藝能夠達(dá)到最聞的良率。
[0006]目前，產(chǎn)品試驗有一個專門的系統(tǒng)去建立這個試驗的每個步驟條件，在這個系統(tǒng)中所有的數(shù)據(jù)都需要人為去建立設(shè)定，建立工藝流程的方式，需要把每一個工藝步驟中相應(yīng)的工藝條件一步一步輸入，比如設(shè)備信息，程式信息，數(shù)據(jù)收集信息等。產(chǎn)品試驗有一個專門的系統(tǒng)去建立這個試驗的每個步驟條件，在這個系統(tǒng)中所有的數(shù)據(jù)都需要人為去建立設(shè)定。
[0007]請參閱圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，該系統(tǒng)包括主工藝系統(tǒng)平臺(執(zhí)行制造系統(tǒng)的RC)和試驗信息建立平臺(執(zhí)行制造系統(tǒng)附加功能的RC);也就是說，試驗信息建立平臺是在另一個系統(tǒng)平臺中建立的，跟主工藝系統(tǒng)平臺不是同一個，所以在建立試驗工藝流程是相當(dāng)于在實驗信息平臺中重新建立一條工藝流程。
[0008]本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，一條工藝流程由很多個站點串聯(lián)起來的，每個站點又包含了工藝流程的輔助信息，比如，這個站點需要在哪個設(shè)備上執(zhí)行，用什么工藝條件(化學(xué)品、溫度和時間)等。
[0009]如果用戶需要對一個產(chǎn)品做改善工藝的實驗時，需要在這個實驗系統(tǒng)平臺中把站點一步一步組建起來，設(shè)定好設(shè)備等工藝條件信息。當(dāng)然，一個產(chǎn)品可能無法很有效的證明實驗條件的完善性，那么就會在多個產(chǎn)品上做相同的工藝實驗，來證明這個工藝流程以及工藝條件確實對芯片帶來了很高的良率，這樣，用戶必須對其它產(chǎn)品再次建立實驗工藝流程，一步一步將實驗工藝流程組建起來。
[0010]然而，上述建立方法由于步驟比較繁瑣，存在效率低下的缺點，主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
[0011]①、人工建立一個試驗過程需耗費很長時間，如果是一個簡短小型試驗，需要花費5?10分鐘的時間，如果是一段工藝上的改革試驗，則建立這個試驗的時候需花費10?20分鐘，按照每天有上百個試驗需要設(shè)定的量，那么在試驗設(shè)定這一方面就會占很大一部分時間，該效率會大大影響的工藝進程；
[0012]②、客戶為了得到產(chǎn)品更高的良率，會對工藝提出多方面的改革更新要求，針對于這些變更，生產(chǎn)線上無法隨時更改已經(jīng)下線的工藝流程；
[0013]③、按照客戶對工藝流程上的更新要求，會做出多個試驗計劃去驗證對產(chǎn)品良率最有效的工藝條件，那么會對多個產(chǎn)品進行類似的試驗甚至于是完全相同試驗步驟，只是調(diào)整了不同的溫度濕度或者時間或者化學(xué)品等一切會影響到工藝品質(zhì)的條件。
[0014]因此，任何提高在多個產(chǎn)品上設(shè)定一種試驗數(shù)據(jù)條件的效率是目前業(yè)界急需解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，本方法有效的提高了在多個產(chǎn)品上設(shè)定一種試驗數(shù)據(jù)條件的效率，減少很多時間人力去重復(fù)建立試驗過程，以及相關(guān)的數(shù)據(jù)條件。
[0016]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0017]一種半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，包括:
[0018]步驟S01，提供用于存儲試驗信息建立平臺中已經(jīng)試驗過的每個產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)庫；其中，所述產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)庫的層次結(jié)構(gòu)由每個產(chǎn)品的名稱和編號為索引，每個產(chǎn)品至少對應(yīng)一個工藝流程，每一個所述工藝流程由很多個工藝站點串聯(lián)起來的，每個所述工藝站點中又包含了至少一條工藝流程條件的輔助信息；
[0019]步驟S02，在建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺前，以所述產(chǎn)品的名稱搜索所述數(shù)據(jù)庫，如果有相同產(chǎn)品名稱的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，執(zhí)行步驟S03 ;否則，執(zhí)行步驟S04 ；
[0020]步驟S03:在數(shù)據(jù)庫中將所述工藝流程數(shù)據(jù)記錄復(fù)制在所述新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄中；其中，所述新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄賦予與所述原記錄相同的名稱，以及與所述原記錄以示區(qū)別的編號，并將所述記錄存儲到所述數(shù)據(jù)庫中；執(zhí)行步驟S05 ；
[0021]步驟S04:進行建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺工作，并將所述新產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，存儲到所述數(shù)據(jù)庫中；
[0022]步驟S05:按照所述新產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄進行產(chǎn)品試驗。
[0023]優(yōu)選地，若所述每個產(chǎn)品對應(yīng)I個工藝流程，所述數(shù)據(jù)庫中相同產(chǎn)品名稱的記錄編號采用新建為I且以后按存入數(shù)據(jù)庫中的順序依次增加的方式建立；若所述每個產(chǎn)品對應(yīng)多個工藝流程，所述數(shù)據(jù)庫中相同產(chǎn)品名稱的記錄編號采用陣列單元的方式建立。
[0024]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明利用復(fù)制這個功能，正好可以幫助用戶去節(jié)省這個工藝流程建立的時間，即利用這個試驗系統(tǒng)去驗證客戶的需求變更，同時也會驗證有利于客戶需求的更有效的工藝條件，從而使產(chǎn)品的工藝能夠達(dá)到最高的良率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中生成半導(dǎo)體制造執(zhí)彳丁系統(tǒng)RC的結(jié)構(gòu)不意圖
[0026]圖2為本發(fā)明生成半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)RC的結(jié)構(gòu)示意圖
[0027]圖3為本發(fā)明半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法一較佳實施例的流程示意圖
【具體實施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖2-3，對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步的詳細(xì)說明。
[0029]需要說明的是，本發(fā)明的半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，適合應(yīng)用于半導(dǎo)體系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)庫和處理單元的系統(tǒng)。上述系統(tǒng)中數(shù)據(jù)庫和處理單元可以由硬件、軟件或軟硬件相結(jié)合實現(xiàn)，在本實施例中，上述單元由上位機+下位機架構(gòu)構(gòu)成；其中，下位機為可編程控制器(Programmable Logic Device,簡稱 PLD)。
[0030]請參閱圖2，圖2為本發(fā)明生成半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)RC的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，該系統(tǒng)包括主工藝系統(tǒng)平臺(執(zhí)行制造系統(tǒng)的RC)和試驗信息建立平臺(執(zhí)行制造系統(tǒng)附加功能的RC);同現(xiàn)有技術(shù)相同，試驗信息建立平臺是在另一個系統(tǒng)平臺中建立的，跟主工藝系統(tǒng)平臺不是同一個，所以在建立試驗工藝流程是相當(dāng)于在實驗信息平臺中重新建立一條工藝流程。
[0031]與現(xiàn)有技術(shù)不相同的是，在上位機中，本發(fā)明實施例中提供了一個用于存儲試驗信息建立平臺中已經(jīng)試驗過的每個產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)庫。利用復(fù)制這個功能，在第一個產(chǎn)品實驗建立完成之后，所有的數(shù)據(jù)都會在這個實驗系統(tǒng)平臺的數(shù)據(jù)庫中保存著，可以隨時拿來查看或者調(diào)用。
[0032]也就是說，每個實驗都會以每個產(chǎn)品的名稱和編號保存在系統(tǒng)中。其中，產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)庫的層次結(jié)構(gòu)由每個產(chǎn)品的名稱和編號為索引，每個產(chǎn)品至少對應(yīng)一個工藝流程，每一個工藝流程由很多個工藝站點串聯(lián)起來的，每個工藝站點中又包含了至少一條工藝流程條件的輔助信息。工藝流程的輔助信息通常包括這個設(shè)備信息(即需要在哪個設(shè)備上執(zhí)行)、程式信息(用什么工藝條件，如化學(xué)品，溫度和時間)以及數(shù)據(jù)收集信息等。
[0033]當(dāng)產(chǎn)品試驗步驟以及條件相同時，可利用數(shù)據(jù)復(fù)制方式建立，快速方便又直接，提高效率。即當(dāng)?shù)诙€和第三個產(chǎn)品如果跟第一個產(chǎn)品實驗相同，那么就可以直接將第一個產(chǎn)品的實驗信息復(fù)制到第二個產(chǎn)品或者第三個產(chǎn)品上，復(fù)制過來就會以產(chǎn)品名稱和編號命名，這樣，如果數(shù)據(jù)庫中有相同產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，就可以幫助用戶去節(jié)省這個工藝流程建立的時間。尤其在客戶為了得到產(chǎn)品更高的良率會對工藝提出多方面的改革更新要求時，有些試驗步驟以及相應(yīng)的試驗條件都可以從其他試驗流程中復(fù)制過來，如果利用這個試驗系統(tǒng)去驗證客戶的需求變更，以及驗證有利于客戶需求的更有效的工藝條件，可以使廣品的工藝能夠達(dá)到最聞的良率，且節(jié)省了建立每個步驟的時間以及人力，提聞了試驗建立設(shè)定的效率。
[0034]在本實施例中，若每個產(chǎn)品對應(yīng)I個工藝流程，那么，該數(shù)據(jù)庫中相同產(chǎn)品名稱的記錄編號采用新建為I且以后按存入數(shù)據(jù)庫中的順序依次增加的方式建立。若每個產(chǎn)品對應(yīng)多個工藝流程，該數(shù)據(jù)庫中相同產(chǎn)品名稱的記錄編號采用陣列單元的方式建立。
[0035]請參閱圖3，圖3為本發(fā)明半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法一較佳實施例的流程示意圖。如圖所示，在本實施例中，本發(fā)明半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立的方法可以具體包括如下:
[0036]步驟S01，提供用于存儲試驗信息建立平臺中已經(jīng)試驗過的每個產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)庫；其中，所述產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)庫的層次結(jié)構(gòu)由每個產(chǎn)品的名稱和編號為索引，每個產(chǎn)品至少對應(yīng)一個工藝流程，每一個所述工藝流程由很多個工藝站點串聯(lián)起來的，每個所述工藝站點中又包含了至少一條工藝流程條件的輔助信息；
[0037]步驟S02，在建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺前，以所述產(chǎn)品的名稱搜索所述數(shù)據(jù)庫，如果有相同產(chǎn)品名稱的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，執(zhí)行步驟S03 ;否則，執(zhí)行步驟S04 ；
[0038]步驟S03:在數(shù)據(jù)庫中將所述工藝流程數(shù)據(jù)記錄復(fù)制在所述新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄中；其中，所述新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄賦予與所述原記錄相同的名稱，以及與所述原記錄以示區(qū)別的編號，并將所述記錄存儲到所述數(shù)據(jù)庫中；執(zhí)行步驟S05 ；
[0039]步驟S04:進行建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺工作，并將所述新產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，存儲到所述數(shù)據(jù)庫中；
[0040]步驟S05:按照所述新產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄進行產(chǎn)品試驗。
[0041]綜上所述，本發(fā)明一種試驗信息建立是在另一個系統(tǒng)平臺中建立的，在試驗設(shè)定建立過程中，相同或者類似的試驗可直接通過復(fù)制的方法去建立試驗步驟，時間上節(jié)省了50%以上，同時也節(jié)省人力對試驗每一個步驟進行輸入數(shù)據(jù)設(shè)定條件，提高試驗效率的同時也不影響線上正常執(zhí)行的工藝流程。
[0042]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，所述實施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護范圍，因此凡是運用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，其特征在于，包括: 步驟S01，提供用于存儲試驗信息建立平臺中已經(jīng)試驗過的每個產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄的數(shù)據(jù)庫；其中，所述產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)庫的層次結(jié)構(gòu)由每個產(chǎn)品的名稱和編號為索引，每個產(chǎn)品至少對應(yīng)一個工藝流程，每一個所述工藝流程由很多個工藝站點串聯(lián)起來的，每個所述工藝站點中又包含了至少一條工藝流程條件的輔助信息； 步驟S02，在建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺前，以所述產(chǎn)品的名稱搜索所述數(shù)據(jù)庫，如果有相同產(chǎn)品名稱的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，執(zhí)行步驟S03 ;否則，執(zhí)行步驟S04 ； 步驟S03:在數(shù)據(jù)庫中將所述工藝流程數(shù)據(jù)記錄復(fù)制在所述新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄中；其中，所述新產(chǎn)品工藝流程數(shù)據(jù)記錄賦予與所述原記錄相同的名稱，以及與所述原記錄以示區(qū)別的編號，并將所述記錄存儲到所述數(shù)據(jù)庫中；執(zhí)行步驟S05 ； 步驟S04:進行建立新產(chǎn)品試驗信息建立平臺工作，并將所述新產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄，存儲到所述數(shù)據(jù)庫中； 步驟S05:按照所述新產(chǎn)品的工藝流程數(shù)據(jù)記錄進行產(chǎn)品試驗。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，其特征在于，所述每個產(chǎn)品對應(yīng)I個工藝流程，所述數(shù)據(jù)庫中相同產(chǎn)品名稱的記錄編號采用新建為I且以后按存入數(shù)據(jù)庫中的順序依次增加的方式建立。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造試驗工藝流程的建立方法，其特征在于，所述每個產(chǎn)品對應(yīng)多個工藝流程，所述數(shù)據(jù)庫中相同產(chǎn)品名稱的記錄編號采用陣列單元的方式建立。
【文檔編號】G06F9/44GK103870587SQ201410118200
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年3月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月27日
【發(fā)明者】朱燕萍, 邵雄 申請人:上海華力微電子有限公司