本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
，特別是涉及一種制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
：現(xiàn)代化大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)是高科技的制造過程，因產(chǎn)品種類繁多、加工工序復(fù)雜，要求半導(dǎo)體企業(yè)對生產(chǎn)過程實施更加精益化的管理，而制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)為用戶提供了一個精細化的制造業(yè)環(huán)境，幫助企業(yè)降低成本、按期交貨、提高產(chǎn)品的質(zhì)量和提高服務(wù)質(zhì)量。因此所有的半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)都設(shè)有生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)(MES)來監(jiān)控和管理生產(chǎn)現(xiàn)場?？梢哉fMES系統(tǒng)對先進晶圓廠的生產(chǎn)至關(guān)重要。MES系統(tǒng)對工藝流程和產(chǎn)品跑貨的數(shù)據(jù)隨著生產(chǎn)過程的持續(xù)進行，就會在數(shù)據(jù)庫中大量堆積起來，在現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓批次(lot)在工藝流程中產(chǎn)生的數(shù)據(jù)的歸檔方式是：將MES系統(tǒng)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫按季度做備份，然后刪除過期的lot的工藝流程數(shù)據(jù)。具體的，lot出貨后，即lot的生產(chǎn)狀態(tài)表現(xiàn)為“shipped”三個月后，MES自動刪除此lot所有的工藝流程數(shù)據(jù)。此外，IT工程師每個季度的第一個月初，即1月初、4月初、7月初和10月初，對上一個季度周期的MES生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫進行全備份，并存儲到一備份數(shù)據(jù)庫中。如果用戶有需求要恢復(fù)某一lot的工藝流程數(shù)據(jù)做重加工(rework)或者復(fù)查，IT工程師會先找到相應(yīng)年份和月份的備份數(shù)據(jù)庫，然后恢復(fù)這個備份數(shù)據(jù)庫，數(shù)據(jù)庫恢復(fù)之后，從中得到lot的工藝流程的數(shù)據(jù)包，再將這個數(shù)據(jù)包輸入到生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫當(dāng)中，通知用戶對lot做重新加工。然而，隨著生產(chǎn)過程的持續(xù)進行和生產(chǎn)流程的日益復(fù)雜，生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫也會越來越龐大，將生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫按季度做備份，需要有很大的硬盤空間來支持，這加大了硬件資源的消耗成本，同時也增加了數(shù)據(jù)庫維護人員的人力成本。并且， 恢復(fù)備份數(shù)據(jù)庫非常耗時間，從用戶提交申請恢復(fù)，到數(shù)據(jù)恢復(fù)到用戶手里，至少需要一個星期的周期，這增加了用戶對lot工藝流程數(shù)據(jù)的等待時間和停工時間，影響了lot重新加工的流程。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于，提供一種制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法，能夠有效地減少硬件資源的消耗成本、數(shù)據(jù)庫維護人員的人力成本以及時間成本。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)，包括：備份數(shù)據(jù)庫設(shè)置模塊，根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫建立備份數(shù)據(jù)庫，所述備份數(shù)據(jù)庫中對晶圓批次的信息的存儲方式與所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中對晶圓批次的信息的存儲方式相同；數(shù)據(jù)關(guān)系包生成模塊，根據(jù)晶圓批次信息抽取機制，將滿足期限的晶圓批次的信息導(dǎo)入所述備份數(shù)據(jù)庫；數(shù)據(jù)刪除模塊，根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括：鍵入模塊，用于鍵入一待查詢的晶圓批次的序號；查詢引擎，分別連接所述鍵入模塊和備份數(shù)據(jù)庫，根據(jù)所述待查詢的晶圓批次的序號，在所述備份數(shù)據(jù)庫中查找到所述待查詢的晶圓批次的信息。可選的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述鍵入模塊為所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的一鍵入界面?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括一恢復(fù)模塊，所述恢復(fù)模塊將待恢復(fù)的晶圓批次的信息從所述備份數(shù)據(jù)庫導(dǎo)入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，并保留所述備份數(shù)據(jù)庫中對應(yīng)的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括一子晶圓批次判斷單元，所述子晶圓批次判斷單元判斷已導(dǎo) 入的晶圓批次是否為子晶圓批次，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為母晶圓批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為子晶圓批次，且所述已導(dǎo)入的晶圓批次的母晶圓批次在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為子晶圓批次，且所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中不存在所述已導(dǎo)入的晶圓批次的母晶圓批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括一空擋片批次判斷單元，所述空擋片批次判斷單元判斷已導(dǎo)入的晶圓批次是否為空擋片批次，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為空擋片批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次不為空擋片批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括一恢復(fù)晶圓批次判斷單元，所述恢復(fù)晶圓批次判斷單元判斷已導(dǎo)入的晶圓批次是否在特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次在所述特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次未在所述特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息。可選的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，根據(jù)數(shù)據(jù)庫視圖的方法建立所述晶圓批次信息抽取機制。根據(jù)本發(fā)明的另一面，還提供一種制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法，包括：根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫建立備份數(shù)據(jù)庫，所述備份數(shù)據(jù)庫中對晶圓批次的信息的存儲方式與所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中對晶圓批次的信息的存儲方式相同；根據(jù)晶圓批次信息抽取機制，將滿足期限的晶圓批次的信息導(dǎo)入所述備份數(shù)據(jù)庫；根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順 序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息。可選的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法還包括：鍵入一待查詢的晶圓批次的序號；根據(jù)所述待查詢的晶圓批次的序號，在所述備份數(shù)據(jù)庫中查找到所述待查詢的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的一鍵入界面鍵入所示待查詢的晶圓批次的序號。可選的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法還包括：將待恢復(fù)的晶圓批次的信息從所述備份數(shù)據(jù)庫導(dǎo)入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，并保留所述備份數(shù)據(jù)庫中對應(yīng)的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，所述根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息的步驟包括：判斷已導(dǎo)入的晶圓批次是否為子批次，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為母批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為子批次，且所述已導(dǎo)入的晶圓批次的母批次在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為子批次，且所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中不存在所述已導(dǎo)入的晶圓批次的母批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息。可選的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，所述根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息的步驟包括：判斷已導(dǎo)入的晶圓批次是否為空擋片批次，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次為空擋片批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次不為空擋片批次，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所 述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，所述根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息的步驟包括：判斷已導(dǎo)入的晶圓批次是否在特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次在所述特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次未在所述特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中已導(dǎo)入的晶圓批次的信息?？蛇x的，在所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法中，根據(jù)數(shù)據(jù)庫視圖的方法建立所述晶圓批次信息抽取機制。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法具有以下優(yōu)點：在本發(fā)明提供的制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)中，所述數(shù)據(jù)關(guān)系包生成模塊根據(jù)晶圓批次信息抽取機制，將滿足期限的晶圓批次的信息導(dǎo)入所述備份數(shù)據(jù)庫，所述數(shù)據(jù)刪除模塊根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息，從而使得所述備份數(shù)據(jù)庫中僅保存晶圓批次(lot)的信息，避免在所述備份數(shù)據(jù)庫中保存機臺PM(預(yù)防性維護)或OCAP(OutofControlActionPlan，異常管制計劃)等過多的記錄，從而節(jié)約存儲空間；并且，制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)時刻隨時自動地對數(shù)據(jù)進行備份，避免IT工程師人工進行備份，節(jié)約人力資源。附圖說明圖1為本發(fā)明一實施例中制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)的示意圖；圖2為本發(fā)明一實施例中制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法的流程圖。具體實施方式下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法進行更詳細的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以 修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。本發(fā)明的核心思想在于，提供一種制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)，如圖1所示，包括：備份數(shù)據(jù)庫設(shè)置模塊110，根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)MES的生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1建立備份數(shù)據(jù)庫DB2，所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中對晶圓批次lot的存儲方式與所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中對晶圓批次lot的存儲方式相同；數(shù)據(jù)關(guān)系包生成模塊120，根據(jù)晶圓批次信息抽取機制，將滿足期限的晶圓批次lot的信息導(dǎo)入所述備份數(shù)據(jù)庫DB2；數(shù)據(jù)刪除模塊130，根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中DB2晶圓批次lot的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次lot的信息。所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中僅保存晶圓批次(lot)的信息，避免在所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中保存機臺PM(預(yù)防性維護)或OCAP(OutofControlActionPlan，異常管制計劃)等過多的記錄，從而節(jié)約存儲空間；并且，制造執(zhí)行系統(tǒng)MES的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)時刻隨時自動地對數(shù)據(jù)進行備份，避免IT工程師人工進行備份，節(jié)約人力資源。進一步，結(jié)合上述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)，本發(fā)明還提供了一種制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份方法，如圖2所示，包括：步驟S1，根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫建立備份數(shù)據(jù)庫，所述備份數(shù)據(jù)庫中對晶圓批次的信息的存儲方式與所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中對晶圓批次的信息的存儲方式相同；步驟S2，根據(jù)晶圓批次信息抽取機制，將滿足期限的晶圓批次的信息導(dǎo)入 所述備份數(shù)據(jù)庫；步驟S3，根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫中晶圓批次的結(jié)果，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次的信息。以下結(jié)合具體的實施例說明本發(fā)明的制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法。如圖1所示，所述數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)包括備份數(shù)據(jù)庫設(shè)置模塊110、數(shù)據(jù)關(guān)系包生成模塊120以及數(shù)據(jù)刪除模塊130。當(dāng)所述數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)進行數(shù)據(jù)備份時，首先進行步驟S1，所述備份數(shù)據(jù)庫設(shè)置模塊110根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)MES的生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1建立備份數(shù)據(jù)庫DB2，其中，所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中對晶圓批次lot信息的存儲方式與所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中對晶圓批次lot信息的存儲方式相同。即所述備份數(shù)據(jù)庫DB2和生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1有相同的架構(gòu)、表、索引、主鍵，并將所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中與lot信息相關(guān)的14張配置表的數(shù)據(jù)同步這個所述備份數(shù)據(jù)庫DB2，另外在所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中建立11張和lot信息相關(guān)的查詢視圖，最后在所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中建立權(quán)限控制表，其中，所述備份數(shù)據(jù)庫DB2用于存放數(shù)據(jù)的單元格為空的。TableDataIndexDataAX1DX2BY1EY2CZ1FZ2表1TableDataIndexDataADBECF表2例如，表1為所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中對晶圓批次lot信息的存儲方式，所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1的數(shù)據(jù)表包括Table(表，包括A、B、C等項目)及其Data(包括X1、Y1、Z1等具體數(shù)據(jù))、Index(索引，包括D、E、F等項目)及其Data(包括X2、Y2、Z2等具體數(shù)據(jù))。表2為所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中對晶圓 批次lot信息的存儲方式，所述備份數(shù)據(jù)庫DB2的數(shù)據(jù)表包括Table(表，包括A、B、C等項目)及其Data(其中具體數(shù)據(jù)為空)、Index(索引，包括D、E、F等項目)及其Data(其中具體數(shù)據(jù)為空)。然后進行步驟S2，所述數(shù)據(jù)關(guān)系包生成模塊120根據(jù)晶圓批次信息抽取機制，將滿足期限的晶圓批次lot的信息導(dǎo)入所述備份數(shù)據(jù)庫DB2。較佳的，根據(jù)數(shù)據(jù)庫視圖的方法建立所述晶圓批次信息抽取機制，數(shù)據(jù)庫視圖的方法為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解的。具體的，工程師根據(jù)所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中l(wèi)ot數(shù)據(jù)表關(guān)系，建立一個完整的lot信息抽取機制，當(dāng)輸入晶圓批次的序號(lotID)時候，可以得到關(guān)于lot的全部數(shù)據(jù)集合，從而將所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中該lot的所有數(shù)據(jù)毫無差錯地導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫DB2里面。之后進行步驟S3，所述數(shù)據(jù)刪除模塊130根據(jù)導(dǎo)入到所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中晶圓批次lot的結(jié)果，以lotID為輸入源，在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中按順序刪除已導(dǎo)入的晶圓批次lot的信息。較佳的，在所述步驟S3中，還包括，根據(jù)lotID為輸入源，對各個lot的基本情況依次進行判斷，如圖1所示，所述數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括lot基本情況判斷單元170，具體的，所述lot基本情況判斷單元170包括子批次判斷單元171、空擋片批次判斷單元172、恢復(fù)晶圓批次判斷單元173。在所述數(shù)據(jù)備份方法中，步驟S3中包括步驟S31、步驟S32和步驟S33：進行所述步驟S31，所述子批次判斷單元171依次判斷在步驟S2中已導(dǎo)入的晶圓批次lot是否為子批次(子lot)，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot為母批次(母lot)，所述數(shù)據(jù)刪除模塊130刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中已導(dǎo)入的晶圓批次lot的信息；如果在步驟S2中所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot為子批次，且所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot的母lot在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中(即該子lot的母lot在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中)，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊130不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中已導(dǎo)入的晶圓批次(該子lot)的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot為子lot，且所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中不存在所述已導(dǎo)入的晶圓批次的母批次(即該子lot的母lot不在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中)，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊130刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中已導(dǎo)入的晶圓批次(該子lot)的信息；進行所述步驟S32，所述空擋片批次判斷單元172依次判斷在步驟S2中已 導(dǎo)入的晶圓批次lot是否為空擋片批次(Vlot)，如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot為空擋片批次(Vlot)，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊130不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中已導(dǎo)入的晶圓批次(該Vlot)的信息；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot不為空擋片批次(Vlot)，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊130刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中已導(dǎo)入的晶圓批次(該Vlot)的信息；進行所述步驟S33，所述恢復(fù)晶圓批次判斷單元173依次判斷在步驟S2中已導(dǎo)入的晶圓批次lot是否在特定時間內(nèi)重新進入(restore)所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1，所述特定時間根據(jù)具體情況進行設(shè)置，在此不做限定。例如所述特定時間可以為7天，則判斷已導(dǎo)入的晶圓批次lot在7天內(nèi)是否做過restore的操作。如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot在所述特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊130不刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中的該lot；如果所述已導(dǎo)入的晶圓批次lot未在所述特定時間內(nèi)重新進入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1，則所述數(shù)據(jù)刪除模塊130刪除所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中的該lot。其中，步驟S31、步驟S32和步驟S33的先后順序不做限定。經(jīng)過步驟S1-步驟S3，將所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中的lot信息備份到所述備份數(shù)據(jù)庫DB2，所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中僅保存晶圓批次(lot)的信息，避免在所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中保存機臺PM(預(yù)防性維護)或OCAP(OutofControlActionPlan，異常管制計劃)等過多的記錄，從而節(jié)約存儲空間；并且，制造執(zhí)行系統(tǒng)MES的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)時刻隨時自動地對數(shù)據(jù)進行備份，避免IT工程師人工進行備份，節(jié)約人力資源。為了方便客戶查詢在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中被刪除的晶圓批次lot的信息，較佳的，如圖1所示，所述數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括鍵入模塊140和查詢引擎150，所述查詢引擎150分別連接所述鍵入模塊140和備份數(shù)據(jù)庫DB2。在所述數(shù)據(jù)備份方法中，還包括步驟S4，具體包括步驟S41和步驟S42：進行步驟S41，客戶在所述140鍵入模塊中鍵入一待查詢的晶圓批次的序號(lotID)，該待查詢的晶圓批次為在所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中被刪除的晶圓批次；進行步驟S42，所述查詢引擎150根據(jù)所述待查詢的晶圓批次的序號(lotID)，在所述備份數(shù)據(jù)庫中DB2查找到所述待查詢的晶圓批次的信息。優(yōu)選的，所述鍵入模塊140為所述MES的一鍵入界面，在所述制造執(zhí)行系 統(tǒng)MES建立所述鍵入界面，以方便客戶直接在MES系統(tǒng)中進行查詢，并將查詢結(jié)果顯示在MES系統(tǒng)的結(jié)果顯示界面中。為了方便將被刪除的晶圓批次lot的信息從所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中恢復(fù)到所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1中，較佳的，如圖1所示，所述數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)還包括一恢復(fù)模塊160。在所述數(shù)據(jù)備份方法中，還包括步驟S5，具體包括：所述恢復(fù)模塊160將待恢復(fù)的晶圓批次lot的信息從所述備份數(shù)據(jù)庫DB2導(dǎo)入所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1，以方便待恢復(fù)的晶圓批次lot進行重新加工(rework)；同時，保留所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中對應(yīng)的晶圓批次lot的信息。其中，所述待恢復(fù)的晶圓批次lot可以為所述步驟S4中查找到的晶圓批次lot。經(jīng)過步驟S4、步驟S5，客戶可以隨時根據(jù)需要，自己在MES系統(tǒng)進行查找，避免向IT工程師提交申請，客戶通過本發(fā)明的所述數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法可以快速地查找和恢復(fù)所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中的lot信息，節(jié)約時間。并且，步驟S5中，所述恢復(fù)模塊160保留所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中對應(yīng)的晶圓批次lot的信息，而是在該lot再一次倒入所述備份數(shù)據(jù)庫DB2時，再刪除上一次倒入的信息。這樣做可以避免該Lot數(shù)據(jù)回到所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫DB1之后，如果有意外情況出現(xiàn)，比如lot數(shù)據(jù)異常，用戶誤操作數(shù)據(jù)，需要重新再來一次restorelot數(shù)據(jù)時，所述備份數(shù)據(jù)庫DB2中的lot源數(shù)據(jù)已丟失。此外，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的數(shù)據(jù)備份系統(tǒng)及方法還可以對機臺的信息進行備份和恢復(fù)，此為本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解的，在此不做贅述。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。當(dāng)前第1頁1 2 3