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壓力傳感裝置、壓力檢測器及包括這些的裝置的制作方法

文檔序號:11828208閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種壓力傳感裝置,其特征在于,

包括:

電極;

驅動部,其對所述電極施加驅動信號;

檢測部,其通過所述電極接收包含如下信息在內的接收信號,所述信息是有關根據與所述電極分隔的基準電位層和所述電極之間的相對距離而變化的所述電極和所述基準電位層之間的靜電容量的信息;以及

所述驅動部和所述電極之間的第一阻抗以及所述檢測部和所述電極之間的第二阻抗。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感裝置,其特征在于,

所述檢測部能夠輸出相對于所述電極和所述基準電位層之間的距離具有線性關系的信號。

3.根據權利要求2所述的壓力傳感裝置,其特征在于,

所述檢測部包括放大器和連結在所述放大器的負輸入端與輸出端之間的反饋電容器;

相對于所述距離具有線性關系的信號是所述放大器的輸出信號。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的壓力傳感裝置,其特征在于,

所述第一阻抗及所述第二阻抗是靜電容量性元件。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的壓力傳感裝置,其特征在于,

所述第一阻抗及所述第二阻抗中的至少一個,被集成在與所述驅動部及所述檢測部相同的集成電路上。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的壓力傳感裝置,其特征在于,

所述第一阻抗及所述第二阻抗中的任一個是電阻性元件。

7.根據權利要求1至3中任一項所述的壓力傳感裝置,其特征在于,

所述基準電位層是接地電位層。

8.一種裝置,其構成為包括:

權利要求1至3中任一項所述的壓力傳感裝置;以及

所述基準電位層。

9.一種壓力檢測器,其特征在于,

包括:驅動部,其對電極施加驅動信號;和

檢測部,其通過所述電極接收包含如下信息在內的接收信號,所述信息是有關根據與所述電極分隔的基準電位層和所述電極之間的相對距離而變化的所述電極和所述基準電位層之間的靜電容量的信息,

所述驅動信號在通過位于所述驅動部和所述電極之間的第一阻抗之后施加于所述電極,所述接收信號在通過位于所述檢測部和所述電極之間的第二阻抗之后被所述檢測部接收。

10.根據權利要求9所述的壓力檢測器,其特征在于,

所述檢測部能夠輸出相對于所述電極和所述基準電位層之間的距離具有線性關系的信號。

11.根據權利要求10所述的壓力檢測器,其特征在于,

所述檢測部包括放大器和連結在所述放大器的負輸入端與輸出端之間的反饋電容器;

相對于所述距離具有線性關系的信號是所述放大器的輸出信號。

12.根據權利要求9至11中任一項所述的壓力檢測器,其特征在于,

所述第一阻抗及所述第二阻抗是靜電容量性元件。

13.根據權利要求9至11中任一項所述的壓力檢測器,其特征在于,

所述第一阻抗及所述第二阻抗中的至少一個,被集成在與所述驅動部及所述檢測部相同的集成電路上。

14.根據權利要求9至11中任一項所述的壓力檢測器,其特征在于,

所述第一阻抗及所述第二阻抗中的任一個是電阻性元件。

15.根據權利要求9至11中任一項所述的壓力檢測器,其特征在于,

所述基準電位層是接地電位層。

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