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傳感器探頭的制作方法

文檔序號(hào):12250930閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種傳感器探頭,用于超聲波指紋傳感器,其特征在于,所述傳感器探頭包括:

壓電層,所述壓電層包括呈陣列排列的多個(gè)壓電柱;

形成在所述壓電層上方的多條接收極線,每條接收極線與對(duì)應(yīng)一列所述壓電柱連接;

形成在所述壓電層下方的多條發(fā)射極線,每條發(fā)射極線與對(duì)應(yīng)一行所述壓電柱連接;

基板,用于承載所述發(fā)射極線、所述壓電層及所述發(fā)射極線;

形成在所述基板與所述發(fā)射極線相背一側(cè)的連接電極;及

引線,用于連接所述接收極線與所述連接電極及連接所述發(fā)射極線與所述連接電極。

2.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,所述壓電層還包括用于填充所述多個(gè)壓電柱之間形成的間隙的填充物。

3.如權(quán)利要求2所述的傳感器探頭,其特征在于,所述填充物包括黑膠材料。

4.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,每個(gè)所述壓電柱具有矩形橫截面,寬度為30微米,高度為70-80微米。

5.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,所述接收極線的厚度為2.5微米和/或發(fā)射極線的厚度為2.5微米。

6.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,所述基板包括玻璃。

7.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,所述基板厚度為100-300微米。

8.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,所述傳感器探頭還包括如下中的至少一個(gè):

形成為覆蓋所述接收極線的上保護(hù)層;

形成為覆蓋所述發(fā)射極線的下保護(hù)層,所述下保護(hù)層與所述基板粘連。

9.如權(quán)利要求1所述的傳感器探頭,其特征在于,所述引線包括:形成為覆蓋所述連接電極的覆蓋部;及

形成為連接所述覆蓋部與所述接收極線及連接所述覆蓋部與所述發(fā)射極線的連接部。

10.如權(quán)利要求9所述的傳感器探頭,其特征在于,所述傳感器探頭還包括如下中的至少一個(gè):

形成為覆蓋所述連接部的保護(hù)層;

形成為覆蓋所述覆蓋部的錫球。

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