本發(fā)明涉及微機械系統(tǒng)
技術領域：
，特別是涉及一種靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法和系統(tǒng)。
背景技術：
：微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanicalsystem，mems)，也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、liga、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件，廣泛應用于高新技術產(chǎn)業(yè)。根據(jù)不同的驅動方式mems器件可分為熱驅動型、形狀記憶合金驅動型、壓電驅動型、電磁驅動型和靜電驅動型，其中靜電驅動型mems是應用非常廣泛地一類mems產(chǎn)品。驅動電壓(actuationvoltage)，又叫下拉電壓(pulldownvoltage)或吸合電壓(pull-involtage)，是指微固支梁與襯底之間施加偏置電壓v，使梁與襯底之間產(chǎn)生靜電力，靜電力作用下，梁向襯底方向發(fā)生彎曲變形。偏置電壓越大，變形就越大，當變形超過一定的值，梁就失去穩(wěn)定而突然倒向襯底方向，最后與襯底發(fā)生接觸。這時的偏置電壓就稱為驅動電壓，發(fā)生吸合時梁的變形稱為吸合位置。驅動電壓是mems的重要技術參數(shù)。階梯型微固支梁是mems中的一種常見結構，廣泛應用于射頻微開關、微傳感器、微執(zhí)行器等。驅動電壓是靜電驅動mems產(chǎn)品一個重要技術參數(shù)，決定著mems產(chǎn)品的性能、可靠性及應用范圍，因此準確預測mems產(chǎn)品的吸合電壓非常關鍵。目前，常用的階梯型微固支梁結構的mems產(chǎn)品吸合電壓預測方法主要分為模型預測法和有限元預測法。模型預測法主要是將微固支梁簡化為質量—彈簧模型，通過估算等效的彈簧常數(shù)來預測吸合電壓，這類方法基于線性模型，與微結構實際的非線性行為相比，模型過于簡化，計算誤差較大，計算中考慮的影響因素較少，是一種粗略的估計方法。第二類是利用商業(yè)化有限元軟件預測吸合電壓，如coventorware、intellisuite、ansys、cosmol等。這一類方法存在著建模過程復雜、計算工作量大，計算結果的精度受有限元單元類型、網(wǎng)格大小影響，需要經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術人員才能完成。技術實現(xiàn)要素：基于此，有必要針對現(xiàn)有預測方法存在計算量大、計算結果誤差大問題，提供一種靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法和系統(tǒng)。一種靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，包括以下步驟：獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)；根據(jù)取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)；根據(jù)所述階梯型微固支梁的結構參數(shù)和所述試臨界函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓。一種靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)，包括：信息獲取模塊，用于獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)；臨界試函數(shù)系數(shù)確定模塊，用于根據(jù)取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)；驅動電壓計算模塊，用于根據(jù)所述階梯型微固支梁的結構參數(shù)和所述試臨界函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓。一種計算機設備，包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上并可在處理器上運行的計算機程序，所述處理器執(zhí)行所述程序時實現(xiàn)以下步驟：獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)；根據(jù)階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)；根據(jù)所述階梯型微固支梁的結構參數(shù)和所述試臨界函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓。一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，該程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)以下步驟：獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)；根據(jù)階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)；根據(jù)所述階梯型微固支梁的結構參數(shù)和所述試臨界函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓。本發(fā)明中利用階梯型微懸臂梁與襯底固定電極之間的間隙模型、階梯型微懸臂梁在靜電力作用下發(fā)生的變形的試函數(shù)模型來計算微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函系數(shù)，然后根據(jù)微固支梁的結構參數(shù)和臨界試函系數(shù)來確定階梯型微固支梁的驅動電壓。本發(fā)明中采用的建模方法簡單、計算量小，可以在快速完成復雜結構的吸合電壓高精度預測，并且預測結果準確度高。附圖說明圖1為靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法在一個實施例中的流程示意圖；圖2為靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法在其中一個實施例中的流程示意圖；圖3為靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法在一個實施例中的流程示意圖；圖4為靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)在一個實施例中的結構示意圖；圖5為本發(fā)明的計算機設備在一個實施例中的結構示意圖；圖6為靜電驅動階梯型微固支梁結構的結構示意圖。具體實施方式下面將結合較佳實施例及附圖對本發(fā)明的內容作進一步詳細描述。顯然，下文所描述的實施例僅用于解釋本發(fā)明，而非對本發(fā)明的限定。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。應當說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本發(fā)明相關的部分而非全部內容。圖1為本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法在一個實施例中的流程示意圖，如圖1所示，本發(fā)明實施例中的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，包括以下步驟：步驟s110，獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)。具體而言，針對現(xiàn)有的階梯型微固支梁，對其結構進行評估時，首先要獲得相應的結構參數(shù)。如圖5所示，階梯型微固支梁結構參數(shù)主要包括階梯型微固支梁總長度l、階梯型微固支梁厚度h、階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙g0、階梯型微固支梁非靜電力作用區(qū)的微梁長度l1、階梯型微固支梁靜電力作用區(qū)的長度l2、階梯型微固支梁非靜電力作用區(qū)寬度b1以及階梯型微固支梁靜電力作用區(qū)寬度b2等。另外，在微固支梁與襯底之間施加偏置電壓，微固支梁梁與襯底之間產(chǎn)生靜電力，在靜電力作用下，梁向襯底方向發(fā)生彎曲變形。偏置電壓越大，變形就越大，當變形超過一定的值，微固支梁就失去穩(wěn)定而突然倒向襯底方向，最后與襯底發(fā)生接觸。這時的偏置電壓就稱為驅動電壓，由此可知，微固支梁的驅動電壓與微固支梁的彎曲變形、以及階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型之間有關系。步驟s120，根據(jù)階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)。具體地，本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法的基本原理是基于修正的偶應力理論和歐拉-伯努利梁理論，利用能量法建立電壓預測模型。階梯型微固支梁在偏置電壓作用下將向襯底方向發(fā)生彎曲變形，產(chǎn)生微固支梁的應變能。另外，靜電驅動階梯型微固支梁在某一偏置電壓作用下的總勢能為微固支梁的應變能和電勢能之和，微固支梁處于靜態(tài)平衡狀態(tài)時。根據(jù)最小勢能原理有：總勢能的一階變分為零，可建立關于電壓和微固支梁變形的平衡方程。隨著偏置電壓的增大，微固支梁變形增大。當偏置電壓增大到吸合電壓時，微固支梁處于由靜態(tài)平衡向失穩(wěn)狀態(tài)的過渡的臨界狀態(tài)，總勢能的二階變分為零，可建立關于電壓和微固支梁變形的臨界方程，聯(lián)合平衡方程和臨界方程可獲得發(fā)生吸合時對應的電壓(即驅動電壓)和微固支梁變形函數(shù)。在本實施例中，可以利用階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)。步驟s130，根據(jù)階梯型微固支梁的結構參數(shù)和臨界試函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓。具體地，階梯型微固支梁的驅動電壓與微固支梁變形試函數(shù)以及階梯型微固支梁的結構參數(shù)有關，因此采用微固支梁變形試函數(shù)結合階梯型微固支梁的結構參數(shù)計算階梯型微固支梁的驅動電壓。上述的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，利用階梯型微固支梁與襯底固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型來計算微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函系數(shù)，然后根據(jù)微固支梁的結構參數(shù)和臨界試函系數(shù)來確定階梯型微固支梁的驅動電壓。本發(fā)明中采用的建模方法簡單、計算量小，可以在快速完成復雜結構的吸合電壓高精度預測，并且預測結果準確度高。在其中一個具體的實施例中，如圖2所示，在獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)之前，還包括：步驟s140，建立獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型，所述間隙模型表達式為：g(x)＝g0+gx，其中g0為階梯型微固支梁固定端與底部固定電極之間的初始間隙，gx為階梯型微固支梁上任意位置x到底部固定電極的豎向距離(參照圖5)。在其中一個具體的實施例中，如圖2所示，在獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)之前，還包括：步驟s150，建立階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，所述試函數(shù)模型的表達式為：其中，m為常數(shù)，α為階梯型微固支梁無量綱長度比值、β為階梯型微固支梁無量綱寬度比值，具體地，在靜電力作用下階梯型微固支梁變形的試函數(shù)模型應滿足階梯型微固支梁的邊界條件，在本實施例中，試函數(shù)模型是單位均布載荷作用下階梯型微固支梁的變形函數(shù)，具體地，基于單位均布載荷作用在單位長度階梯型固支梁上，利用位移法得到無量綱試函數(shù)表達式?？蛇x地，m可以為常數(shù)，即試函數(shù)模型的表達式可以是多個，所有試函數(shù)模型表達是滿足倍數(shù)關系。階梯型微固支梁變形的試函數(shù)模型與階梯型微固支梁無量綱長度比值α和階梯型微固支梁無量綱寬度比值β有關系，因此，要先計算微固支梁無量綱長度比值α和階梯型微固支梁無量綱寬度比值β。其中，階梯型微固支梁無量綱長度比值α的計算公式為：α＝l2/l，階梯型微固支梁無量綱寬度比值β的計算公式為：β＝b1/b2，l2為階梯型微固支梁靜電力作用區(qū)長度、l為階梯型微固支梁總長度、為b1為階梯型微固支梁非靜電力作用區(qū)寬度、b2為階梯型微固支梁靜電力作用區(qū)寬度(參照圖5)。另外，在本實施例中，步驟140和步驟150的順序可以互換。在其中一個實施例中，如圖3所示，根據(jù)取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)，還包括：步驟s151，采用單變量非線性方程獲得臨界試函數(shù)系數(shù)η，其中單變量非線性方程表達式為：其中k(η)＝kb+3kaη2+kr，η為臨界試函數(shù)系數(shù)，為試函數(shù)模型的表達式的一階導數(shù)、為的二階導數(shù)，e為材料彈性模量，h為階梯型微固支梁厚度，l為階梯型微固支梁總長度，σr為階梯型微固支梁殘余應力，κ＝1+12gl2/eh2為尺度效應系數(shù)，g為剪切模量，l為材料特性長度參數(shù)，g0為階梯型微固支梁固定端與底部固定電極之間的初始間隙，gx為階梯型微固支梁上任意位置x到底部固定電極的豎向距離。具體地，采用非線性方程函數(shù)計算得到臨界試函數(shù)系數(shù)η，計算得到的結果更加準確，誤差小。在其中一個實施例中，如圖2所示，根據(jù)階梯型微固支梁的結構參數(shù)和試臨界函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓的過程包括：步驟s131，根據(jù)以下表達式計算驅動電壓：其中，vp為階梯型微固支梁的驅動電壓，ε0為真空介電常數(shù)，εr為介質的相對介電常數(shù)，e為材料彈性模量，h為階梯型微固支梁厚度，l為階梯型微固支梁總長度，g0為階梯型微固支梁固定端與底部固定電極之間的初始間隙，η為臨界試函數(shù)系數(shù)，k(η)和q(η)可參照步驟s151中的表達式。根據(jù)上述本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，本發(fā)明還提供一種靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)，下面結合附圖及較佳實施例對靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)進行詳細說明。圖4為本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)在一個實施例中的結構示意圖。如圖4所示，該實施例中的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)，包括：信息獲取模塊10，用于獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型、階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型和階梯型微固支梁的結構參數(shù)；臨界試函數(shù)系數(shù)確定模塊20，用于根據(jù)取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型和所述階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，確定階梯型微固支梁發(fā)生吸合時的臨界試函數(shù)系數(shù)；驅動電壓計算模塊30，用于根據(jù)所述階梯型微固支梁的結構參數(shù)和所述試臨界函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓。在其中一個實施例中，如圖4所示，還包括：間隙模型建立模塊40，用于建立獲取階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型，間隙模型表達式為：g(x)＝g0+gx，其中g0為階梯型微固支梁固定端與底部固定電極之間的初始間隙，gx為階梯型微固支梁上任意位置x到底部固定電極的豎向距離。在其中一個實施例中，如圖4所示，還包括：試函數(shù)模型建立模塊50，用于建立階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型，試函數(shù)模型的表達式為：其中，m為常數(shù)，α為階梯型微固支梁長度比值、β為階梯型微固支梁寬度比值，在其中一個實施例中，所述臨界試函數(shù)系數(shù)確定模塊20用于采用單變量非線性方程計算臨界試函數(shù)系數(shù)η，其中單變量非線性方程表達式為：其中，k(η)＝kb+3kaη2+kr，η為試函數(shù)系數(shù)，為試函數(shù)模型的表達式的一階導數(shù)、為的二階導數(shù)，e為材料彈性模量，h為階梯型微固支梁厚度，l為階梯型微固支梁總長度，σr為階梯型微固支梁殘余應力，κ＝1+12gl2/eh2為尺度效應系數(shù)，g為剪切模量，l為材料特性長度參數(shù)，g0為階梯型微固支梁固定端與底部固定電極之間的初始間隙，gx為階梯型微固支梁上任意位置x到底部固定電極的豎向距離。在其中一個實施例中，所述驅動電壓計算模塊30用于根據(jù)以下表達式計算所述驅動電壓：vp為階梯型微固支梁的驅動電壓，ε0為真空介電常數(shù)，εr為介質的相對介電常數(shù)，e為材料彈性模量，h為階梯型微固支梁厚度，l為階梯型微固支梁總長度，g0為階梯型微固支梁固定端與底部固定電極之間的初始間隙，η為臨界試函數(shù)系數(shù)，k(η)和q(η)可參照步驟上一個實施例中的表達式。上述靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測系統(tǒng)可執(zhí)行本發(fā)明實施例所提供的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，具備執(zhí)行方法相應的功能模塊和有益效果。至于其中各個功能模塊所執(zhí)行的處理方法，例如信息獲取模塊10、臨界試函數(shù)系數(shù)確定模塊20、驅動電壓計算模塊30、間隙模型建立模塊40、試函數(shù)模型建立模塊50，可參照上述方法實施例中的描述，此處不再進行贅述。根據(jù)上述本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法和系統(tǒng)，本發(fā)明還提供一種計算機設備，下面結合附圖及較佳實施例對本發(fā)明的計算機設備進行詳細說明。圖5為本發(fā)明的計算機設備在一個實施例中的結構示意圖。如圖5所示，該實施例中的計算機設備500，包括存儲器501、處理器502及存儲在存儲器上并可在處理器上運行的計算機程序，其中處理器執(zhí)行程序時可實現(xiàn)本發(fā)明方法實施例中的所有方法步驟。上述計算機設備500中處理器502可執(zhí)行本發(fā)明實施例所提供的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，具備執(zhí)行方法相應的有益效果。可參照上述方法實施例中的描述，此處不再進行贅述。根據(jù)上述本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法、系統(tǒng)和計算機設備，本發(fā)明還提供一種計算機可讀存儲介質，下面結合附圖及較佳實施例對本發(fā)明的計算機可讀存儲介質進行詳細說明。本發(fā)明實施例中的計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，該程序被處理器執(zhí)行時可以實現(xiàn)本發(fā)明方法實施例中的所有方法步驟。本領域普通技術人員可以理解實現(xiàn)上述實施例方法中的全部或部分流程，是可以通過計算機程序來指令相關的硬件來完成，所述的程序可存儲于一計算機可讀取存儲介質中，該程序在執(zhí)行時，可包括如上述各方法的實施例的流程。其中，所述的存儲介質可為磁碟、光盤、只讀存儲記憶體(read-onlymemory，rom)或隨機存儲記憶體(randomaccessmemory，ram)等。上述計算機可讀存儲介質用于存儲本發(fā)明實施例所提供的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法的程序(指令)，其中執(zhí)行該程序可以執(zhí)行本發(fā)明實施例所提供的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法，具備執(zhí)行方法相應有益效果?？蓞⒄丈鲜龇椒▽嵤├械拿枋?，此處不再進行贅述。為了便于理解本發(fā)明方案，下面將結合圖6，以某各階梯型微固支梁結構的mems開關為例，對本技術發(fā)明方案的具體實施過程和帶來的有效果作進一步說明。應用實施例1對本發(fā)明的計算精度、計算速度、尺度效應功能作進一步闡述。mems開關1的結構如圖6所示，結構參數(shù)與材料參數(shù)見表1。表1開關1結構與材料參數(shù)參數(shù)數(shù)值l700μmb160μml2100μmb2120μmh1.2μmg02.5μmσr0mpae78gpag0.44l0μmε08.854e-12f/mεr1(1)建立階梯型微固支梁與底部固定電極之間的間隙模型，g(x)＝2.5；(2)建立階梯型微固支梁在靜電力作用下發(fā)生變形的試函數(shù)模型：(3)根據(jù)階梯型微固支梁的試函數(shù)模型和間隙模型，計算階梯型微固支梁的試函數(shù)系數(shù)為η＝0.4885；(4)根據(jù)階梯型微固支梁結構參數(shù)以及階梯型微固支梁的試函數(shù)系數(shù)，計算階梯型微固支梁的驅動電壓vp＝5.59v。應用實施例2為了進一步說明本發(fā)明的靜電驅動階梯型微固支梁的驅動電壓預測方法的優(yōu)勢，利用本發(fā)明的預測方法和采用有限元方法利用同一計算機平臺對同一結構的驅動電壓進行計算。其中，本發(fā)明是基于matlab平臺編程計算，有限元方法是基于ansys平臺計算。結果見1。可以看出，本發(fā)明的驅動電壓預測方法結果在精度、計算耗時方面具有明顯優(yōu)勢。同時需要指出的是，ansys計算耗時是與有限元網(wǎng)格數(shù)成正比，也就是與實際結構尺寸、網(wǎng)格大小等相關，本次利用ansys平臺的有限元方法的耗時時間不包括建模過程。而本發(fā)明的驅動電壓預測方法不需要建模，使用非常方便。表1不同預測方法驅動電壓預測結果對比以上所述實施例的各技術特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術特征的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的范圍。以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。當前第1頁12