1.2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:具體包括如下步驟:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:所述步驟1中,2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)包括三層,頂層包括沿水平方向設(shè)置的兩個(gè)存儲(chǔ)芯片(2)和邏輯芯片(3),邏輯芯片(3)位于兩個(gè)存儲(chǔ)芯片(2)之間;中間層包括從上到下依次設(shè)置的上二氧化硅層(10)、硅中間層(9)和下二氧化硅層(11),硅中間層(9)內(nèi)設(shè)有tsv陣列;底層包括水平設(shè)置的基板(1)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:所述存儲(chǔ)芯片(2)與上二氧化硅層(10)之間通過(guò)焊球a(6)連接;邏輯芯片(3)與上二氧化硅層(10)之間通過(guò)焊球b(7)連接,下二氧化硅層(11)與基板(1)之間通過(guò)焊球c(8)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:兩個(gè)所述存儲(chǔ)芯片(2)、邏輯芯片(3)所使用的材料為硅;基板(1)的材料為fr4;焊球a(6)、焊球b(7)、焊球c(8)的材料均為64sn-40pb;tsv的材料為銅。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:所述步驟2的具體過(guò)程為:
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:所述步驟3的具體過(guò)程為:
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的2.5d?chiplet結(jié)構(gòu)物理場(chǎng)耦合特性分析方法,其特征在于:所述步驟4的具體過(guò)程為: