本技術(shù)涉及晶圓缺陷檢測(cè)，尤其是涉及一種圖像處理方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，晶圓的加工質(zhì)量直接決定了后續(xù)芯片產(chǎn)品的良率和質(zhì)量。晶圓表面包含了芯片的線路等，受工藝、原材料等各種因素的影響，晶圓表面缺陷通常非常微小，且形態(tài)結(jié)構(gòu)多樣，因此，晶圓表面缺陷通常需要獲取多張高精度且清晰的晶圓圖像，以檢測(cè)晶圓表面的缺陷。同時(shí)，在晶圓制造過(guò)程中，晶圓背面也可能存在劃痕、腐蝕等缺陷，背面的劃痕、腐蝕等缺陷可能會(huì)導(dǎo)致芯片出現(xiàn)裂紋，因此，對(duì)晶圓背面的缺陷進(jìn)行檢測(cè)，以保證晶圓質(zhì)量，提高晶圓良率。

2、晶圓背面的缺陷檢測(cè)根據(jù)采集的晶圓圖像進(jìn)行檢測(cè)，由于晶圓背面的非絕對(duì)平坦度，也即晶圓存在高度差，為了得到清晰的圖像，需要針對(duì)不同的焦距進(jìn)行晶圓拍攝并進(jìn)行圖像融合，以得到清晰的圖像、提高圖像質(zhì)量，從而可以提高缺陷的檢出率；然而，晶圓背面結(jié)構(gòu)相對(duì)較為簡(jiǎn)單，對(duì)采集的所有圖像進(jìn)行圖像融合，會(huì)使得處理的圖像數(shù)據(jù)量大，圖像處理耗時(shí)長(zhǎng)，進(jìn)而導(dǎo)致晶圓缺陷檢測(cè)的效率降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了有助于解決晶圓背面結(jié)構(gòu)相對(duì)較為簡(jiǎn)單，對(duì)采集的所有圖像進(jìn)行圖像融合，會(huì)使得處理的圖像數(shù)據(jù)量大，圖像處理耗時(shí)長(zhǎng)，進(jìn)而導(dǎo)致晶圓缺陷檢測(cè)的效率降低的問(wèn)題，本技術(shù)提供一種圖像處理方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。

2、第一方面，本技術(shù)提供一種圖像處理方法，采用如下技術(shù)方案：所述方法應(yīng)用于晶圓背面缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，所述晶圓背面缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)包括顯微鏡頭，所述顯微鏡頭用于采集晶圓背面的圖像，所述顯微鏡頭的焦距可調(diào)節(jié)，所述方法包括：

3、應(yīng)用于被采集晶圓背面的任一起始位置，根據(jù)獲取到的所述顯微鏡頭的最小的調(diào)焦距離及晶圓的允收高度差確定所述顯微鏡頭的起始焦距序列；

4、獲取所述顯微鏡頭在所述起始位置采集到的起始圖像序列，其中所述起始圖像序列與所述起始焦距序列相適應(yīng)；

5、基于預(yù)設(shè)的圖像清晰度評(píng)價(jià)算法對(duì)所述起始圖像序列中的各個(gè)圖像進(jìn)行清晰度計(jì)算，根據(jù)預(yù)設(shè)序列長(zhǎng)度確定圖像子序列，并確定清晰度得分最高的圖像子序列為起始目標(biāo)圖像子序列；

6、將所述起始目標(biāo)圖像子序列中的圖像進(jìn)行圖像融合處理，得到所述起始位置的目標(biāo)清晰圖像。

7、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，在所述將所述起始目標(biāo)圖像子序列中的圖像進(jìn)行圖像融合處理，得到所述起始位置的目標(biāo)清晰圖像之后，還包括：

8、應(yīng)用于被采集晶圓背面的任一非起始位置，根據(jù)上一位置的目標(biāo)圖像子序列，確定當(dāng)前位置的目標(biāo)焦距；

9、獲取所述顯微鏡頭在所述當(dāng)前位置采集到的第一圖像，其中所述第一圖像與所述目標(biāo)焦距相適應(yīng)；

10、基于預(yù)設(shè)的圖像清晰度評(píng)價(jià)算法對(duì)所述第一圖像進(jìn)行清晰度計(jì)算，判斷所述第一圖像的清晰度是否在第一預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，并根據(jù)判斷結(jié)果確定所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像。

11、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述根據(jù)判斷結(jié)果確定所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像包括：

12、若所述第一圖像的清晰度值在第一預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則判定所述第一圖像為所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像；

13、若所述第一圖像的清晰度值不在所述第一預(yù)設(shè)閾值范圍值內(nèi)，則根據(jù)所述當(dāng)前位置的目標(biāo)焦距確定當(dāng)前位置的初始焦距子序列，并根據(jù)所述當(dāng)前位置的初始焦距子序列確定所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像。

14、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述根據(jù)所述當(dāng)前位置的初始焦距子序列確定所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像包括：

15、獲取所述顯微鏡頭在所述當(dāng)前位置采集到的初始圖像子序列，其中所述初始圖像子序列與所述當(dāng)前位置的初始焦距子序列相適應(yīng)；

16、基于預(yù)設(shè)的圖像清晰度評(píng)價(jià)算法對(duì)所述初始圖像子序列中的各個(gè)圖像進(jìn)行清晰度計(jì)算，若每個(gè)圖像的清晰度值均在第二預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則判定所述初始圖像子序列為所述當(dāng)前位置的目標(biāo)圖像子序列；

17、將所述目標(biāo)圖像子序列中的圖像進(jìn)行圖像融合處理，得到所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像。

18、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，在所述將所述目標(biāo)圖像子序列中的圖像進(jìn)行圖像融合處理，得到所述當(dāng)前位置的目標(biāo)清晰圖像之前，還包括：

19、若每個(gè)圖像的清晰度值不均在第二預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則根據(jù)圖像清晰度計(jì)算結(jié)果和所述顯微鏡頭的最小的調(diào)焦距離，調(diào)整所述當(dāng)前位置的初始焦距子序列，生成所述當(dāng)前位置的調(diào)整焦距子序列；

20、獲取與所述當(dāng)前位置的調(diào)整焦距子序列相對(duì)應(yīng)的調(diào)整圖像子序列，并重新判斷所述調(diào)整圖像子序列中各圖像的清晰度值是否均在第二預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，若所述調(diào)整圖像子序列中各圖像的清晰度值均在第二預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，則判定所述調(diào)整圖像子序列為所述當(dāng)前位置的目標(biāo)圖像子序列。

21、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述根據(jù)上一位置的目標(biāo)圖像子序列，確定當(dāng)前位置的目標(biāo)焦距包括：

22、根據(jù)預(yù)設(shè)的圖像清晰度評(píng)價(jià)算法計(jì)算所述上一位置的目標(biāo)圖像子序列中各圖像的清晰度，并確定清晰度最高的圖像對(duì)應(yīng)的焦距；

23、計(jì)算當(dāng)前位置與上一位置間的高度差，根據(jù)所述高度差和上一位置清晰度最高的圖像對(duì)應(yīng)的焦距，確定所述當(dāng)前位置的目標(biāo)焦距。

24、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述預(yù)設(shè)序列長(zhǎng)度至少為2。

25、第二方面，本技術(shù)提供一種圖像處理裝置，采用如下技術(shù)方案：所述裝置應(yīng)用于晶圓背面缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，所述晶圓背面缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)包括顯微鏡頭，所述顯微鏡頭用于采集晶圓背面的圖像，所述顯微鏡頭的焦距可調(diào)節(jié)，所述裝置包括：

26、起始序列確定模塊，用于應(yīng)用于被采集晶圓背面的任一起始位置，根據(jù)獲取到的所述顯微鏡頭的最小的調(diào)焦距離及晶圓的允收高度差確定所述顯微鏡頭的起始焦距序列；

27、起始圖像獲取模塊，用于獲取所述顯微鏡頭在所述起始位置采集到的起始圖像序列，其中所述起始圖像序列與所述起始焦距序列相適應(yīng)；

28、目標(biāo)圖像確定模塊，用于基于預(yù)設(shè)的圖像清晰度評(píng)價(jià)算法對(duì)所述起始圖像序列中的各個(gè)圖像進(jìn)行清晰度計(jì)算，根據(jù)預(yù)設(shè)序列長(zhǎng)度確定圖像子序列，并確定清晰度得分最高的圖像子序列為起始目標(biāo)圖像子序列；

29、清晰圖像生成模塊，用于將所述起始目標(biāo)圖像子序列中的圖像進(jìn)行圖像融合處理，得到所述起始位置的目標(biāo)清晰圖像。

30、第三方面，本技術(shù)提供一種計(jì)算機(jī)設(shè)備，采用如下技術(shù)方案：包括存儲(chǔ)器和處理器，所述存儲(chǔ)器上存儲(chǔ)有能夠被處理器加載并執(zhí)行如上述任一種圖像處理方法的計(jì)算機(jī)程序。

31、第四方面，本技術(shù)提供一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，采用如下技術(shù)方案：存儲(chǔ)有能夠被處理器加載并執(zhí)行上述任一種圖像處理方法的計(jì)算機(jī)程序。

32、綜上所述，本技術(shù)具有以下有益技術(shù)效果：

33、通過(guò)獲取最大數(shù)量的晶圓背面圖像后根據(jù)圖像清晰度確定清晰度較高的起始目標(biāo)圖像子序列，起始目標(biāo)圖像子序列的數(shù)量可由用戶決定，從而可以減少圖像融合的數(shù)量，減少晶圓檢測(cè)圖像的采集時(shí)間，同時(shí)可以節(jié)省晶圓圖像融合的處理時(shí)間，進(jìn)而可以提高晶圓圖像融合以及晶圓缺陷檢測(cè)的效率。