技術(shù)特征：

1.一種光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法，其特征在于，所述步驟s1包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法，其特征在于，所述步驟s2還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法，其特征在于，所述s21步驟中，包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法，其特征在于，所述s3步驟中，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法，其特征在于，所述s4步驟中，包括：

7.一種光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類系統(tǒng)，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種光掩模版清洗后的缺陷檢測(cè)分類方法和系統(tǒng)，包括：S1：多波長(zhǎng)的光源照射光掩模版；S2：對(duì)多波長(zhǎng)拍攝的標(biāo)注樣本圖像進(jìn)行預(yù)處理；S3：獲取已標(biāo)注好缺陷類別的光掩模版圖像樣本訓(xùn)練Defect?CNN算法；S4：采用訓(xùn)練后的Defect?CNN模型對(duì)待分類的光掩模圖像進(jìn)行缺陷檢測(cè)和分類，并生成檢測(cè)報(bào)告；通過(guò)多波段圖像融合與智能化的缺陷分類，實(shí)現(xiàn)了更高精度、更高效率的缺陷檢測(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：李弋舟,李珍,柳鵬輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)沙韶光芯材科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23