本申請涉及半導體，尤其涉及一種誤差標定方法、裝置、設備及存儲介質(zhì)。

背景技術：

1、在半導體技術領域內(nèi)，針對各種形式的鍵合、貼片、錫膏印刷等制造工藝中所遇到的上下點位對準不佳、偏差測定繁瑣、偏差補償不統(tǒng)一等問題，通過同軸相機完成加工前的點位對準、方位調(diào)整和偏差補償后，能夠解決上述問題，并且能在大批量生產(chǎn)中達到高精度、優(yōu)良質(zhì)量、高良品率。

2、但是同軸相機自身同樣存在著同軸誤差（一般指上、下相機之間光軸的同軸誤差），其源自于組裝零件的加工誤差和形狀公差。此外，在使用過程中，同軸相機有一定高度尺寸，需配有升降軸來彌補這一高度，而且升降軸在升降過程中同樣存在一定程度的升降偏移誤差，同軸相機帶來的同軸誤差與升降偏移誤差重疊形成的綜合誤差難以進行檢測，而不利于對其進行誤差補償。

技術實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┝艘环N誤差標定裝置、方法、設備及存儲介質(zhì)，解決了相關技術中同軸誤差與升降偏移誤差重疊形成的綜合誤差難以檢測而難以對其進行誤差補償?shù)募夹g問題，本方案能夠通過利用標記點作為基準，以對比移動前后所獲取的坐標確定綜合誤差，從而快速且有效地實現(xiàn)對誤差的標定以及補償。

2、第一方面，本申請還提供了一種誤差標定裝置，其包括第一標定板、第二標定板、多軸運動機構(gòu)、輔助相機和同軸相機。

3、其中，第一標定板上設置有多個標定標記點，多個標定標記點分別位于第一標定板上不同的位置；多軸運動機構(gòu)與第一標定板連接，多軸運動機構(gòu)用于帶動第一標定板在三個相互垂直的軸向方向以及一旋轉(zhuǎn)軸向上移動；第二標定板上設置有多個固定標記點，且第二標定板上設置固定標記點的區(qū)域為透明區(qū)域，固定標記點的位置與標定標記點的位置一一對應；輔助相機位于第二標定板的第一側(cè)之外，第二標定板的第一側(cè)為遠離第一標定板的一側(cè)；同軸相機包括在同一軸向上的第一相機和第二相機，同軸相機位于第一標定板和第二標定板之間，第一相機用于拍攝第一標定板上的標定標記點，第二相機用于拍攝第二標定板上的固定標記點。

4、第二方面，本申請還提供了一種誤差標定方法，應用于如第一方面提供的誤差標定裝置，該誤差標定方法包括：

5、控制所述第一標定板和所述第二標定板間隔預設距離，所述預設距離大于所述同軸相機的厚度；

6、利用所述同軸相機拍攝位于同一軸向方向上的所述固定標記點和所述標定標記點，并通過所述多軸運動機構(gòu)控制所述第一標定板平行于所述第二標定板地移動，以將任意兩個所述固定標記點與對應的所述標定標記點對齊，并基于所述輔助相機確定對應所述固定標記點的第一坐標；

7、移開所述同軸相機，通過所述多軸運動機構(gòu)控制所述第一標定板沿垂直于所述第二標定板的方向朝向所述第二標定板移動，以使得所述第一標定板貼合所述第二標定板；

8、在所述第一標定板貼合所述第二標定板的情況下，基于所述輔助相機確定對應所述標定標記點的第二坐標；

9、根據(jù)所述第一坐標與所述第二坐標，確定所述誤差標定裝置是否存在綜合誤差；

10、若確定存在所述綜合誤差，則基于所述第一坐標和所述第二坐標對所述綜合誤差進行標定補償。

11、第三方面，本申請還提供了一種測試設備，其包括如第一方面提供的誤差標定裝置，還包括：

12、一個或多個處理器；

13、存儲裝置，用于存儲一個或多個程序，

14、當一個或多個程序被一個或多個處理器執(zhí)行，使得一個或多個處理器實現(xiàn)本申請的誤差標定方法。

15、第四方面，本申請還提供了一種存儲計算機可執(zhí)行指令的存儲介質(zhì)，計算機可執(zhí)行指令在由處理器執(zhí)行時用于執(zhí)行本申請的誤差標定方法。

16、本申請的誤差標定裝置作為同軸相機使用場景下對綜合誤差進行誤差標定的裝置，其能夠應用于需要使用同軸相機的測試設備中，基于誤差標定裝置，測試設備能夠利用輔助相機以及同軸相機觀測識別兩個標定板上的標記點，將輔助相機與第二標定板的固定標記點作為基準，觀測同軸相機與第一標定板的標定標記點在升降前后的位置坐標，以對比升降前后所獲取的坐標以確綜合誤差，有助于減少誤差變量的累積影響，從而快速且有效地實現(xiàn)對誤差的標定，使得對精度的補償能夠更精確、更簡化。

技術特征：

1.一種誤差標定裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的誤差標定裝置，其特征在于，所述固定標記點和所述標定標記點均設置有四個，且四個所述標定標記點呈陣列方式設置在所述第一標定板上，四個所述固定標記點呈陣列方式設置在所述第二標定板上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的誤差標定裝置，其特征在于，所述誤差標定裝置設置有兩個所述輔助相機，每一個所述輔助相機對應拍攝任一個固定標記點。

4.一種誤差標定方法，其特征在于，應用于如權(quán)利要求1-3任一項所述的誤差標定裝置，所述誤差標定方法包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的誤差標定方法，其特征在于，所述根據(jù)所述第一坐標與所述第二坐標，確定所述誤差標定裝置是否存在綜合誤差，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的誤差標定方法，其特征在于，在所述誤差標定裝置包括多個所述輔助相機的情況下，所述若所述第一坐標與所述第二坐標重合，則確定不存在所述綜合誤差，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的誤差標定方法，其特征在于，所述若所述第一坐標與所述第二坐標未重合，則確定存在所述綜合誤差，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的誤差標定方法，其特征在于，所述若確定存在所述綜合誤差，則基于所述第一坐標和所述第二坐標對所述綜合誤差進行標定補償，包括：

9.一種測試設備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-3任一項所述的誤差標定裝置，所述測試設備還包括：

10.一種存儲計算機可執(zhí)行指令的存儲介質(zhì)，其特征在于，所述計算機可執(zhí)行指令在由處理器執(zhí)行時用于執(zhí)行如權(quán)利要求4-8任一項所述的誤差標定方法。

技術總結(jié)
本申請實施例提供一種誤差標定裝置、方法、設備及存儲介質(zhì)，涉及半導體技術領域，解決了同軸誤差與升降偏移誤差重疊形成的綜合誤差難以檢測而難以對其進行誤差補償?shù)募夹g問題，本方案的誤差標定裝置能夠應用于需要使用同軸相機的測試設備中，測試設備能夠利用輔助相機以及同軸相機觀測識別兩個標定板上的標記點，將輔助相機與第二標定板的固定標記點作為基準，觀測同軸相機與第一標定板的標定標記點在升降前后的位置坐標，以對比升降前后所獲取的坐標以確定在目標方向上的綜合誤差，有助于減少誤差變量的累積影響，從而快速且有效地實現(xiàn)對誤差的標定，使得對精度的補償能夠更精確、更簡化。

技術研發(fā)人員：戚家鴻,于久寶,江敏,陳萬群,王正根
受保護的技術使用者：邁為技術（珠海）有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/9